DE102014222184A1 - Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen und Verfahren zur Testkontaktierung - Google Patents

Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen und Verfahren zur Testkontaktierung Download PDF

Info

Publication number
DE102014222184A1
DE102014222184A1 DE102014222184.6A DE102014222184A DE102014222184A1 DE 102014222184 A1 DE102014222184 A1 DE 102014222184A1 DE 102014222184 A DE102014222184 A DE 102014222184A DE 102014222184 A1 DE102014222184 A1 DE 102014222184A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
contacting
plate
electronic components
test
carrier plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102014222184.6A
Other languages
English (en)
Inventor
Christoph KROENER
Johannes Hollkott
Thomas Kuemmel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102014222184.6A priority Critical patent/DE102014222184A1/de
Publication of DE102014222184A1 publication Critical patent/DE102014222184A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2863Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P21/00Testing or calibrating of apparatus or devices covered by the preceding groups
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen, mit einer Trägerplatte (1) zur Aufnahme elektronischer Bauteile (2) und mit einer Kontaktierungsplatte (4) zur Testkontaktierung der elektronischen Bauteile (2). Der Kern der Erfindung besteht darin, dass die Trägerplatte (1) und die Kontaktierungsplatte (4) derart aneinander anlegbar sind, dass ein hermetisch dichter Hohlraum besteht, welcher im Wesentlichen von der Trägerplatte (1) und der Kontaktierungsplatte (2) begrenzt ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Testkontaktierung von elektronischen Schaltungen.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen, mit einer Trägerplatte zur Aufnahme elektronischer Bauteile und mit einer Kontaktierungsplatte zur Testkontaktierung der elektronischen Bauteile.
  • Bei bestehenden Testkontaktierungen für Halbleiterbauteile werden Kontaktfedern unterschiedlicher Bauart verwendet. Um ein Bauteil zu kontaktieren, wird dieses durch einen Mechanismus gegen die Kontaktfedern gedrückt. Um die Kontaktkräfte aufzubringen und das Bauteil dabei nicht mechanisch zu schädigen, wir das Bauteil dabei von einem Träger gestützt, der ein Gegenlagen zu den Kontaktfedern bildet. Weiterhin wird durch den Träger dafür gesorgt, dass an jedem Kontakt möglichst der gleiche Federweg zugestellt wird.
  • Bei großflächigen Kontaktierungen, Bauteilen mit sehr vielen Kontakten und Kontaktierungen die eine große Anzahl von Bauteilen gleichzeitig kontaktieren, können die Kontaktkräfte in Summe sehr hoch werden. Um trotzdem für alle Kontakte einen gleichmäßigen Anpressdruck und Federweg der Kontaktfedern zu erreichen, wird hierzu die Trägerplatte teilweise sehr dick ausgeführt. Dies hat dann auch ein entsprechend hohes Gewicht zur Folge.
  • Bei Anlagen zum Test von Beschleunigungssensoren werden die Bauteile einschließlich der Testkontaktierung während des Testvorgangs einer Beschleunigung ausgesetzt.
  • Eine sehr dicke und schwere Trägerplatte führt hier zu Nachteilen im schwingungsdynamischen Verhalten der Maschine, und das höhere Gewicht macht einen stärkeren Antrieb notwendig, der wiederum zu erhöhten Beschaffungskosten und Flächenbedarf in einer Produktionslinie führt.
  • Vorteile der Erfindung
  • Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen, mit einer Trägerplatte zur Aufnahme elektronischer Bauteile und mit einer Kontaktierungsplatte zur Testkontaktierung der elektronischen Bauteile. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass die Trägerplatte und die Kontaktierungsplatte derart aneinander anlegbar sind, dass ein hermetisch dichter Hohlraum besteht, welcher im Wesentlichen von der Trägerplatte und der Kontaktierungsplatte begrenzt wird.
  • Kern der Erfindung ist, dass die Trägerplatte nicht punktuell durch eine Mechanik gegen die Kontaktierungsplatte gedrückt wird sondern durch Vakuum angesaugt wird. Die Trägerplatte kann so sehr dünn ausgeführt werden. Die Anpresskraft durch den Luftdruck wirkt gleichmäßig auf die gesamte Fläche der Trägerplatte. In allen Bereichen der Trägerplatte wirken gleiche und definierte Kräfte auf die Kontaktierung. Eine dünne und somit elastische Trägerplatte unterstützt dabei die gleichmäßige Kraftverteilung und gewährleistet so den gleichen Zustellweg an jeder Stelle der Kontaktierung.
  • Durch die Erfindung kann diese Trägerplatte kleiner und leichter ausgeführt werden als im Stand der Technik. Die oben genannten Nachteile treten somit nicht auf, wobei die gewünschten Kontaktkräfte weiterhin aufgebracht werden können.
  • In einem Schwingsystem zum Test von Beschleunigungssensoren hat eine solche leichte Trägerplatte nur geringen dynamischen Einfluss. Weiterhin kann auf mechanische Spannmechanismen zum Halten der Trägerplatte verzichtet werden. Dies verringert nochmals das Gesamtgewicht der Kontaktierung und ein solcher Spannmechanismus wäre auch, durch den komplexen mechanischen Aufbau schwingungstechnisch nur schwer zu beherrschen.
  • Eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen sieht vor, dass an der Trägerplatte und/oder an der Kontaktierungsplatte eine Vakuumdichtung 3 angeordnet ist, durch welche der Hohlraum hermetisch dichtbar ist. Vorteilhaft kann mit der Dichtung der Hohlraum sicher abgedichtet werden.
  • Eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen sieht vor, dass an der Trägerplatte und/oder an der Kontaktierungsplatte ein Vakuumanschluss angeordnet ist, derart, dass der Vakuumanschluss einen Zugang zum Hohlraum aufweist. Vorteilhaft kann mittels des Vakuumanschlusses leicht ein atmosphärischer Unterdruck im Hohlraum erzeugt werden.
  • Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen.
  • Zeichnung
  • 1 zeigt eine Trägerplatte einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen.
  • 2 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen.
  • 3 zeigt ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen.
  • Beschreibung
  • 1 zeigt eine Trägerplatte einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen.
  • Der Aufbau besteht aus einer Trägerplatte 1 mit einer gewissen Elastizität, auf der die zu testenden elektrischen oder elektronischen Bauteile 2, verteilt über die gesamte Fläche, angeordnet sind. Die Halterung der Bauteile 2 auf der Trägerplatte 1 kann durch einzelne Aufnahmen oder auch im Verbund durch einen Werkstückträger erfolgen. Am Rand der Trägerplatte 1 befindet sich eine vakuumtaugliche Dichtung 3.
  • 2 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen. Neben der oben beschriebenen Trägerplatte 1 weist die Vorrichtung eine Kontaktierungsplatte 4 auf. Trägerplatte 1 und Kontaktierungsplatte 4 sind aneinander anlegbar, derart, dass ein hermetisch abgeschlossener Hohlraum besteht, welcher im Wesentlichen von der Trägerplatte 1 und der Kontaktierungsplatte 4 begrenzt wird. Die vakuumtaugliche Dichtung 3 dichtet dabei die Anlagefläche ab. Mittels eines Vakuumanschlusses 6, der an der Kontaktierungsplatte 4 angeordnet ist, kann der Hohlraum evakuiert, oder wenigstens ein Unterdruck darin erzeugt werden, sodass die Trägerplatte 1 und die Kontaktierungsplatte 4 durch äußeren Druck aneinander gepresst werden. Dabei kontaktieren Kontaktstifte 5, welche an der Kontaktierungsplatte angeordnet sind, die Bauteile 2, wenn diese auf der Trägerplatte 1 angeordnet sind.
  • In einem alternativen Ausführungsbeispiel ist der Vakuumanschluss 6 an der Trägerplatte 1 angeordnet.
  • 3 zeigt ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen. Das Verfahren weist drei wesentliche Schritte auf:
    • (A) Bereitstellen einer Trägerplatte 1, welche mit elektronischen Bauteilen 2 bestückt ist und Bereitstellen einer Kontaktierungsplatte 4,
    • (B) Anlegen der Trägerplatte 1 an die Kontaktierungsplatte 4,
    • (C) Herstellen eines atmosphärischen Unterdrucks in einem Hohlraum, welcher von der Trägerplatte 1 und der Kontaktierungsplatte 4 begrenzt wird und in welchem sich die elektronischen Bauteile 2 befinden und Kontaktieren der elektronischen Bauteile 2 an der Kontaktierungsplatte 4.
  • Zum Test der Bauteile wird die mit den elektronischen Bauteilen 2 bestückte Trägerplatte 1 beispielsweise durch einen Zuführmechanismus gegen die Kontaktierungsplatte 4 gedrückt, bis die Dichtung 3 der Trägerplatte 1 an der Kontaktierungsplatte 4 im Wesentlichen dicht anliegt. Anschließend wird der Bereich innerhalb der Dichtfläche evakuiert, wodurch vom äußeren atmosphärischen Druck die Kräfte zum Kontaktieren der Bauteile 2 aufgebracht werden und jede Einzelkontaktierung, hier in Form des Kontaktstifts 5, bis zum vorgesehenen Anschlag einfedert.
  • Alternativ kann der Unterdruck im Hohlraum auch hergestellt werden, indem eine elastisch komprimierbare Dichtung verwendet wird und Trägerplatte und Kontaktierungsplatte initial fest zusammengepresst werden. Nach dem Ende des Zusammenpressens dehnt sich die Dichtung teilweise wieder aus, vergrößert den hermetisch dichten Hohlraum etwas und erzeugt so den erfindungsgemäßen Unterdruck im Hohlraum, welcher die Grundplatte und die Trägerplatte aneinander hält.
  • Durch die Elastizität der Trägerplatte 1 und die flächig wirkenden Kräfte des Vakuums bzw. des Unterdrucks ist gewährleistet, dass auf jedes einzelne Bauteil 2 gleiche Andruckkräfte wirken und ein gleichmäßiges Einfedern der Kontaktierung 5 gewährleistet ist. Dies sichert ein mechanisches Anliegen des Kontakts 5 an dem entsprechenden Bauteil 2 und ermöglicht so eine sichere elektrische Testkontaktierung.

Claims (4)

  1. Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen, mit einer Trägerplatte (1) zur Aufnahme elektronischer Bauteile (2) und mit einer Kontaktierungsplatte (4) zur Testkontaktierung der elektronischen Bauteile (2), dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerplatte (1) und die Kontaktierungsplatte (4) derart aneinander anlegbar sind, dass ein hermetisch dichter Hohlraum besteht, welcher im Wesentlichen von der Trägerplatte (1) und der Kontaktierungsplatte (2) begrenzt ist.
  2. Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an der Trägerplatte (1) und/oder an der Kontaktierungsplatte (4) eine Vakuumdichtung (3) angeordnet ist, durch welche der Hohlraum hermetisch dichtbar ist.
  3. Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass an der Trägerplatte (1) und/oder an der Kontaktierungsplatte (4) ein Vakuumanschluss (6) angeordnet ist, derart, dass der Vakuumanschluss (6) einen Zugang zum Hohlraum aufweist.
  4. Verfahren zur Testkontaktierung von elektronischen Schaltungen mit den Schritten: (A) Bereitstellen einer Trägerplatte (1), welche mit elektronischen Bauteilen (2) bestückt ist und Bereitstellen einer Kontaktierungsplatte(4), (B) Anlegen der Trägerplatte (1) an die Kontaktierungsplatte (4), (C) Herstellen eines atmosphärischen Unterdrucks in einem Hohlraum, welcher von der Trägerplatte (1) und der Kontaktierungsplatte (4) begrenzt wird und in welchem sich die elektronischen Bauteile (2) befinden und Kontaktieren der elektronischen Bauteile (2) an der Kontaktierungsplatte (4).
DE102014222184.6A 2014-10-30 2014-10-30 Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen und Verfahren zur Testkontaktierung Pending DE102014222184A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014222184.6A DE102014222184A1 (de) 2014-10-30 2014-10-30 Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen und Verfahren zur Testkontaktierung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014222184.6A DE102014222184A1 (de) 2014-10-30 2014-10-30 Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen und Verfahren zur Testkontaktierung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102014222184A1 true DE102014222184A1 (de) 2016-05-04

Family

ID=55753710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102014222184.6A Pending DE102014222184A1 (de) 2014-10-30 2014-10-30 Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen und Verfahren zur Testkontaktierung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102014222184A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107976631A (zh) * 2017-11-01 2018-05-01 超威电源有限公司 一种用于测试不同重量负极板上电流大小的方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107976631A (zh) * 2017-11-01 2018-05-01 超威电源有限公司 一种用于测试不同重量负极板上电流大小的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP4257966A3 (de) Massenspektrometrievorrichtung
US7841071B2 (en) Position-correction device for correcting the position of a component holder for electronic components
DE202009018726U1 (de) Vorrichtung zum Ausrichten und Halten einer Mehrzahl singulierter Halbleiterbauelemente in Aufnahmetaschen eines Klemmträgers
DE102014221391A1 (de) Spannvorrichtung zum Verhindern von Klapperschwingungen für ein Werkstück
EP2687823A2 (de) Vorrichtung zur Erfassung und Verarbeitung von Sensormesswerten und/oder zur Steuerung von Aktuatoren
DE102014222184A1 (de) Vorrichtung zur Testkontaktierung von elektronischen Bauteilen und Verfahren zur Testkontaktierung
DE102019110472A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines Zellstapels
DE102014007554A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen eines Fügeprozesses
DE102013205922A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Befestigung von Dichtungselementen
DE2905175C2 (de) Adaptiervorrichtung für das Verbinden von zu prüfenden Elektronikbaugruppen mit Prüfgeräten
DE112016001776T5 (de) Tablettenüberführapparat
DE1081096B (de) Presse zum Aufpressen eines elektrischen Verbinders auf einen elektrischen Leiter
DE102014118215B3 (de) Vorrichtung mit einem Messkopf
CN208538360U (zh) 箱体快速安装和锁定的装置
DE102008000889B4 (de) Wegbausensor und Verfahren zur Herstellung eines Wegbausensors mittels Einlegen und kraft-/formschlüssiger Verbindung
EP0436833A1 (de) Adapter für eine Saugpipette
US3700226A (en) Pressurized universal holding device
DE102018122499A1 (de) Einrichtung mit einem ersten und einem zweiten Roboter und Verfahren zu deren Betrieb
CN210322551U (zh) 一种辅助定位装置
DE4132405A1 (de) Traegervorrichtung fuer halbleiter-wafer
DE102015106277A1 (de) Vorrichtung zum Erzeugen eines Eindrucks
CN106851524B (zh) 可视保压装置
DE10106836B4 (de) Integrierte Schaltungsanordnung aus einem flächigen Substrat
DE102005007593B4 (de) Sockel-Vorrichtung zum Testen von Halbleiter-Bauelementen und Verfahren zum Aufnehmen eines Halbleiter-Bauelements in einer Sockel-Vorrichtung
US5014413A (en) Method and apparatus for facilitating loading of a panel processing machine and positioning of artwork on a work surface thereon

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed