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TECHNISCHER HINTERGRUND
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verpackungsmaterial, das zum Verpacken von Präzisionsgegenständen und ähnlichem verwendet wird.
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Stand der Technik
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Ein Präzisionsgegegenstand, wie zum Beispiel ein Laseroszillator, der zum Herstellen einer Halbleitereinrichtung verwendet wird, wird mit einer extrem hohen Genauigkeit hergestellt. Es ist daher zu berücksichtigen, dass dieses die gewünschte Leistung nicht mehr erreichen kann, wenn es einem Stoß ausgesetzt wird oder wenn sich Staub oder Schmutz oder ähnliches beim Transport anlagern. Im Allgemeinen wird ein solcher Präzisionsgegenstand beim Transport durch Verpacken mit einer Plastikfolie, einem stoßdämpfenden Material und ähnlichem und anschließendes Aufnehmen in einen Transportbehälter, wie zum Beispiel eine Holzkiste oder eine Pappkiste, geschützt.
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Jedoch wird, wenn ein Präzisionsgegenstand durch ein Verpackungsmaterial, wie zum Beispiel eine Plastikfolie mit einer hohen Luftdichtigkeit verpackt wird und es zum Beispiel durch ein Verfahren wie Luftfracht transportiert wird, das Verpackungsmaterial aufgrund des Luftdruckunterschieds beschädigt, welcher sich zwischen dem Innenraum und der Umgebung des Verpackungsmaterials ergibt. Obwohl das Vorsehen eines Lochs in dem Verpackungsmaterial, um eine Beschädigung aufgrund des Luftdruckunterschieds zu verhindern, eine Gegenmaßnahme sein kann, kann dieses Verfahren nicht vollständig das Anhaften von Staub und Schmutz an dem Präzisionsgegenstand verhindern. Demgemäß wurden Studien vorgenommen, was eine Konfiguration angeht, bei der ein Filter durch eine poröse Folie (siehe zum Beispiel
japanische Offenlegungsschrift 2009-78866 ) an einem Durchlass eines Verpackungsmaterials befestigt wird, um die Luftdruckdifferenz abzuschwächen, die zwischen dem Innenraum und der Umgebung des Verpackungsmaterials erzeugt wird, während gleichzeitig das Anhaften von Staub und Schmutz verhindert wird.
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Der oben beschriebene Präzisionsgegenstand ist oftmals feuchtigkeitsempfindlich. Zum Beispiel können Probleme möglicherweise durch einen geringfügigen Temperaturanstieg in einem Laseroszillator erzeugt werden, der zum Herstellen einer Halbleitereinrichtung verwendet wird. Der oben beschriebene Filter mittels einer porösen Folie erlaubt den Durchtritt von Wasserdampf und auch von Luft und ist daher nicht effektiv was den Zweck angeht, Feuchtigkeit beim Transport zu verhindern.
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Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verpackungsmaterial bereitzustellen, das in der Lage ist, eine Feuchtigkeit beim Transport angemessen zu verhindern.
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Gemäß einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird ein Verpackungsmaterial mit einem Taschenkörper, welcher aus einer Bahn hergestellt ist, die beim Verpacken hermetisch abgedichtet wird, und der ein Verpackungsziel aufnehmen kann, einem Durchlass, der in dem Taschenkörper ausgebildet ist, um eine Ventilation zwischen dem Innenraum und der Umgebung des Taschenkörpers zu ermöglichen, wenn das Verpackungsziel verpackt ist, und einem Filter bereitgestellt, der bei dem Durchlass vorgesehen ist. Der Filter weist einen porösen Film, der so vorgesehen ist, dass er den Durchlass abdichtet und den Durchtritt von Wasser und Staub verhindert, während er den Durchgang der Luft ermöglicht, und auch eine Entfeuchtungsschicht auf, die innerhalb des porösen Films so ausgebildet ist, dass sie die gesamte Oberfläche der porösen Folie abdeckt und Feuchtigkeit absorbiert, die durch die poröse Schicht beim Eintritt hindurchtritt.
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Gemäß dieser Ausgestaltung ist der Filter einschließlich der porösen Schicht, die den Durchtritt von Luft ermöglicht und den Zutritt von Wasser (Flüssigkeit) und Staub verhindert und die Entfeuchtungslage, um Feuchtigkeit (Gas, Wasserdampf), die durch die poröse Schicht beim Eintritt hindurchtritt, zu absorbieren, an dem Durchlass des Taschenkörpers vorgesehen, in dem das Packungsziel aufzunehmen ist. Dies kann den Zutritt von Wasser und Staub in den Innenraum des Taschenkörpers und den Eintritt von Feuchtigkeit verhindern. Somit kann eine Erhöhung der Feuchtigkeit innerhalb des Taschenkörpers verhindert werden. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Verpackungsmaterial bereitgestellt werden, das in der Lage ist, Feuchtigkeit beim Transport angemessen zu verhindern.
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Die oben genannten und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art und Weise, in der diese umgesetzt werden kann, werden offenbar werden und die Erfindung selbst wird am besten verstanden werden aufgrund eines Studiums der folgenden Beschreibung und der beigefügten Ansprüche unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist ein schematisches Diagramm, welches die gesamte Ausgestaltung eines Verpackungsmaterials gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt;
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2 ist ein schematisches Querschnittsdiagramm, welches ein Ausgestaltungsbeispiel eines Filters zeigt, der für das Verpackungsmaterial gemäß der vorliegenden Erfindung verwandt wird; und
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3 ist ein schematisches Querschnittsdiagramm, welches ein Modifikationsbeispiel des Filters zeigt.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben. Im Folgenden wird ein Beispiel eines Verpackungsmaterials gezeigt, das zum Verpacken eines Präzisionsgegenstands, wie zum Beispiel einen Laseroszillator, verwendet wird. Jedoch ist der Verwendungszweck des Verpackungsmaterials gemäß der vorliegenden Erfindung nicht besonders beschränkt. 1 ist ein schematisches Diagramm, welches die gesamte Ausgestaltung eines Verpackungsmaterials gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. In 1 ist ein Verpackungsmaterial 1 zum Verpacken eines Verpackungsziels 2, wie zum Beispiel ein Laseroszillator, gezeigt. Wie in 1 gezeigt, enthält das Verpackungsmaterial 1 einen Taschenkörper 11, der das Verpackungsziel 2 von einer im Wesentlichen rechteckigen parallelepipedförmigen Gestalt umhüllt, und einen Filter 12, der an dem Taschenkörper 11 vorgesehen ist. Die Form des Verpackungsziels 2 ist nicht besonders beschränkt und kann eine kugelförmige Gestalt, eine flache Gestalt usw. sein.
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Der Taschenkörper 11 ist ein Objekt, das durch Verarbeiten einer Folie (Film) erhalten wurde, die aus einem synthetischen Harz, wie zum Beispiel Polyvinylchlorid oder Polyethylen, besteht, in Taschenform erhalten wurde und ist so ausgestaltet, dass es den Durchtritt von Wasser und Öl (Flüssigkeit), Luft und Wasserdampf (Gas) usw. zusätzlich zu Staub und Schmutz nicht ermöglicht. Beim Verpacken des Verpackungsziels 2 wird das Verpackungsziel 2 in den Taschenkörper 11 von einem Öffnungsteil (nicht dargestellt) des Taschenkörpers 11 aus eingeführt, und dieser Öffnungsteil wird durch ein Verfahren wie zum Beispiel ein Verschließen durch Wärme (thermisches Verschließen) verschlossen. Durch das hermetische Verschließen des Taschenkörpers 11, der das Verpackungsziel 2 so einhüllt, wird ein Anhaften von Staub, Schmutz, Wasser, Öl usw. an dem Verpackungsziel 2 verhindert.
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2 ist ein schematisches Querschnittsdiagramm, das ein Ausgestaltungsbeispiel des Filters zeigt, der für das Verpackungsmaterial gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird. Wie in 1 und 2 gezeigt, enthält der Filter 12 einen zylindrischen Körper 121 mit Öffnungsteilen 121a und 121b an beiden Endteilen. Der Körper 121 ist so ausgebildet, dass er den Durchtritt von Schmutz und Staub, Wasser und Öl (Flüssigkeit), Luft und Wasserdampf (Gas), usw. ähnlich zu dem Taschenkörper 11 nicht ermöglicht. Der Körper 121 ist an einem Durchlass 111 des Taschenkörpers 11 so befestigt, dass der Öffnungsteil 121a an einer Endseite zu der Umgebung des Taschenkörpers 11 hin offen liegt und der Öffnungsteil 121b an der anderen Endseite innerhalb des Taschenkörpers 11 positioniert ist. Ein äußerer Umfangsteil 121c des Körpers 121 ist an dem inneren Umfangsteil des Durchlasses 111 ohne Lücke verbunden.
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Wie in 2 gezeigt, ist bei dem Öffnungsteil 121a des Körpers 121 ein poröser Film 122, der den Öffnungsteil 121a abdichtet, vorgesehen. Der poröse Film 122 ist ein Film (Folie) mit kleinen Löchern, die den Durchtritt von Luft und Wasserdampf (Gas) usw. ermöglichen und den Durchtritt von Wasser und Öl (Flüssigkeiten), Staub und Schmutz (Feststoffe) usw. nicht ermöglichen. Als ein solcher poröser Film 122 kann zum Beispiel ein Film aus einem Fluorharz, wie zum Beispiel PTFE (Polytetrafluoroethylen), Polychlorotrifluoroethylen, Tetrafluoroethylen-Hexafluoropropylen-Copolymer oder Tetrafluoroethylen-Ethylen-Copolymer verwendet werden.
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Wie oben beschrieben wird der Öffnungsteil 121a des Filters 12 durch den porösen Film 122 abgedichtet. Somit treten Staub und Schmutz (Feststoffe), Wasser und Öl (Flüssigkeiten) usw. nicht in den Innenraum des Taschenkörpers 11 durch den Filter 12 ein. Jedoch ermöglicht der poröse Film 122 den Durchtritt von Gas. Daher tritt, obwohl der Taschenkörper 11 hermetisch abgedichtet ist, Luft durch den Filter 12 ein und aus und der Luftdruckunterschied zwischen dem Innenraum und der Umgebung des Taschenkörpers 11 wird abgeschwächt. Demgemäß kann eine Beschädigung des Verpackungsmaterials 1 aufgrund des Luftdruckunterschieds beim Transport verhindert werden.
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Somit tritt Wasser (Feuchtigkeit und Wasserdampf) in der Luft durch den porösen Film zusammen mit der Luft hindurch, um in den Innenraum des Taschenkörpers einzutreten. Daher tritt in dem Fall der Verwendung des Verpackungsmaterials, das mit dem Filter mit dem porösen Film ausgebildet ist, ein Problem beim Transport eines Verpackungsziels auf, welches feuchtigkeitsempfindlich ist. So kann ein mögliches Problem durch den geringfügigen Feuchtigkeitsanstieg in einem Laseroszillator oder ähnlichem verursacht werden, der zum Herstellen einer Halbleitereinrichtung verwendet wird. Somit wird in dem Verpackungsmaterial 1 gemäß der vorliegenden Erfindung eine Entfeuchtungsschicht 122 in dem Flussweg der Luft vorgesehen, die durch den porösen Film 122 des Filters 12 hindurchtritt und in den Taschenkörper 11 eintritt.
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Ein Netz 124, welches den Durchtritt der Luft ermöglicht, ist an dem Öffnungsteil 121b des Körpers 121 vorgesehen. In dem Bereich, der durch den porösen Film 122 und das Netz 124 in dem Körper 123 eingebettet ist, ist die Entfeuchtungsschicht 123 aus einem Entfeuchtungsmittel, wie zum Beispiel Silicagel, vorgesehen. Insbesondere ist die Entfeuchtungsschicht 123 so ausgebildet, dass sie die gesamten Oberflächen des porösen Films 122 und des Netzes 124 abdeckt. Das Gitter des Netzes 124 ist so feinporig, dass die Entfeuchtungsschicht 123 nicht aus dem Körper 121 herausfällt.
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Wie durch einen Pfeil A in 2 gezeigt, wird die Luft, die durch den porösen Film 122 hindurchgetreten ist, dem Innenraum des Taschenkörpers 11 durch die Entfeuchtungsschicht 123 in dem Körper 121 zugeführt. Zu diesem Zeitpunkt wird die Feuchtigkeit in der Luft durch die Entfeuchtungsschicht 123 entfernt und daher fließt eine hinreichend trockene Luft in den Innenraum des Taschenkörpers 11. Demgemäß wird die Feuchtigkeit in dem Taschenkörper 11 ausreichend niedrig gehalten. Im Fall einer Ausgestaltung, in der ein Entfeuchtungsmittel an einer beliebigen Position innerhalb des Taschenkörpers 11 vorgesehen ist, gibt es die Befürchtung, dass sich die Feuchtigkeit lokal um den Durchlass 111 herum erhöht. Jedoch wird gemäß der Ausgestaltung der vorliegenden Ausführungsform eine solche Befürchtung vermieden, da die Luft, die in den Innenraum des Taschenkörpers 11 fließt, durch die Entfeuchtungsschicht 123 zuverlässig entfeuchtet wird.
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Der Körper 121 hat eine vorher festgelegte Höhe (äquivalent zum Abstand vom Öffnungsteil 121a zum Öffnungsteil 121b), so dass der Flussweg der Luft, die in dem Körper 121 fließt, hinreichend lang ist. Daher wird die Luft, die in den Körper 121 durch den porösen Film 122 geflossen ist, während des Flusses in dem Körper 121 angemessen entfeuchtet. Ferner ist der Wandteil des Körpers 121 so ausgebildet, dass er den Durchtritt der Luft nicht ermöglicht. Daher tritt ein Luftfluss wie durch Pfeil B in 2 gezeigt nicht auf.
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Somit kann die Luft, die in den Körper 121 durch den porösen Film 122 geflossen ist, durch die Entfeuchtungsschicht 123 angemessen entfeuchtet werden.
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Wie oben beschrieben ist bei dem Verpackungsmaterial 1 gemäß der vorliegenden Erfindung der Filter 12 der poröse Film 122, der den Durchtritt der Luft ermöglicht und den Eintritt von Wasser (Flüssigkeit) und Staub verhindert, und die Entfeuchtungsschicht 123, um Feuchtigkeit (Gas, Wasserdampf) zu absorbieren, welche durch den porösen Film 122 beim Eintritt hindurchtritt, ist an dem Durchlass 111 des Taschenkörpers 11 vorgesehen, in dem das Verpackungsziel 2 aufzunehmen ist. Dies kann den Zutritt von Wasser (Flüssigkeit) und Staub in den Innenraum des Taschenkörpers 11 und den Eintritt von Wasserdampf verhindern. Somit kann eine Erhöhung der Feuchtigkeit innerhalb des Taschenkörpers 11 verhindert werden.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Beschreibung der obigen Ausführungsform beschränkt und kann auch mit verschiedenen Abwandlungen durchgeführt werden. Zum Beispiel kann ein Filter mit zwei porösen Filmen für ein Verpackungsmaterial verwendet werden, um das Anhaften von Staub und Schmutz an einem Verpackungsziel besser zu verhindern. 3 ist ein schematisches Querschnittsdiagramm, das ein Modifikationsbeispiel des Filters zeigt. Ein Filter 13, der in 3 gezeigt ist, enthält einen zylindrischen Körper 131 mit Öffnungsteilen 131a und 131b an beiden Endteilen.
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Bei dem Öffnungsteil 131a des Körpers 131 ist ein poröser Film 132, der den Öffnungsteil 131a abdichtet, vorgesehen. Bei dem Öffnungsteil 131b des Körpers 131 ist ein poröser Film 134, der den Öffnungsteil 131b abdichtet, vorgesehen. In dem Körper 131 ist eine Entfeuchtungsschicht 133 in dem Bereich vorgesehen, der durch die porösen Filme 132 und 134 eingebettet ist. Das heißt der Filter 13 gemäß dem modifizierten Beispiel weist eine Konfiguration auf, die durch Ersetzen des Netzes 124 des Filters 12 der oben beschriebenen Ausführungsform durch den porösen Film 134 erhalten wurde. Da dieser Filter 13 die porösen Filme 132 und 134 an beiden Endteilen des Körpers 131 aufweist, kann das Eintreten von Staub, Schmutz usw. in den Taschenkörper 11 durch die zwei porösen Filme besser verhindert werden.
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Obwohl das Verpackungsmaterial, in dem der Filter mit dem porösen Film und mit der Entfeuchtungsschicht für den Taschenkörper vorgesehen ist, in der obigen Ausführungsform gezeigt wird, ist die Ausgestaltung des Verpackungsmaterials nicht darauf beschränkt. Zum Beispiel kann ein Verpackungsmaterial durch Befestigen des Filters an einem harten Gehäuse, das aus Plastik, Metall und ähnlichem besteht und welches luftdicht ist, anstelle des Taschenkörpers hergestellt werden.
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Obwohl das Verpackungsmaterial mit einem Filter in der obigen Ausführungsform als Beispiel beschrieben wurde, kann die Anzahl der Filter beliebig sein. Ferner ist, obwohl der Filter mit einem zylindrischen Körper in der obigen Ausführungsform beschrieben wurde, die Form des Filters auch nicht beschränkt. Jedoch ist es, um eine angemessene Entfeuchtung zu erreichen, wünschenswert, eine Form mit einer hinreichenden Höhe zu verwenden. Außerdem kann eine lösbare Abdichtung ohne Luftdurchlässigkeit an der Vorderseite des porösen Films befestigt sein und das Netz (gegenüberliegende Seite zur Entfeuchtungsschicht) und die Abdichtung kann bei Benutzung entfernt werden. In einer solchen Konfiguration kann eine Verschlechterung der Entfeuchtungsschicht vor der Verwendung verhindert werden.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die angehängten Ansprüche definiert, und alle Abwandlungen und Modifikationen, die in den Äquivalenzbereich des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, werden durch die Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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