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1. Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Scrollpumpe, welche eine Pumpenkopf/Motor Baugruppe hat, welche eine stationäre Scrollplatte, welche einen stationären Scrollflügel hat, eine umlaufende Scrollplatte, welche einen Scrollflügel hat, der mit dem stationären Scrollflügel verschachtelt ist, und einen Pumpenmotor enthält, welcher einen rotierbaren Ausgang hat, welcher mit der umlaufenden Scrollplatte gekoppelt ist, um den umlaufenden Scrollflügel relativ zu dem stationären Scrollflügel anzutreiben. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Scrollpumpe, welche ein System hat, das den Lärm und die Vibration reduziert, welche von der Pumpenkopf/Motor Baugruppe erzeugt werden.
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HINTERGRUND
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2. Beschreibung des Stands der Technik
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Eine Scrollpumpe ist ein Pumpentyp, der eine stationäre Scrollplatte, die eine stationäre Platte und einen spiralförmigen stationären Scrollflügel hat, welcher axial daraus hervorsteht, und eine umlaufende Scrollplatte enthält, welche eine umlaufende Platte und einen spiralförmigen umlaufenden Scrollflügel hat, welcher axial daraus hervorsteht. Der stationäre und umlaufende Scrollflügel sind mit einem Spiel und einer vorbestimmten relativen Winkelpositionierung verschachtelt, so dass eine Tasche (oder Taschen) mittels und zwischen dem stationären und umlaufenden Scrollflügel abgegrenzt ist. Die stationäre Scrollplatte ist in der Pumpe befestigt. Die umlaufende Scrollplatte und somit der umlaufende Scrollflügel ist an einen exzentrischen Antriebsmechanismus gekoppelt. Die stationäre und umlaufende Scrollplatte und der exzentrische Antriebsmechanismus können das darstellen, was als ein Pumpenkopf bezeichnet wird.
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Der exzentrische Antriebsmechanismus ist wiederum verbunden mit einem Motor der Pumpe und angetrieben mittels des Motors der Pumpe, so dass die umlaufende Scrollplatte um eine Längsachse der Pumpe läuft, die durch einen axialen zentralen Teil des stationären Scrollflügels verläuft. Das Volumen der Tasche(n), welche mittels der Scrollflügel der Pumpe begrenzt wird, variiert, indem der umlaufende Scrollflügel sich relativ zu dem stationären Scrollflügel bewegt. Die umlaufende Bewegung des umlaufenden Scrollflügels veranlasst die Tasche(n), sich innerhalb der Pumpenkopf Baugruppe zu bewegen, so dass die Tasche(n) selektiv in einer offenen Verbindung mit einem Einlass und Auslass der Scrollpumpe platziert ist.
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In einem Beispiel einer solchen Scrollpumpe veranlasst die Bewegung des umlaufenden Scrollflügels relativ zu dem stationären Scrollflügel eine Tasche, welche abgeschlossen von dem Auslass der Pumpe ist und in offener Verbindung mit dem Einlass der Pumpe steht, zu expandieren. Entsprechend wird Fluid durch den Einlass in die Tasche gezogen. Dann wird die Tasche in eine Position bewegt, in welcher sie von dem Einlass der Pumpe abgeschlossen ist und in offener Verbindung zu dem Auslass der Pumpe steht und die Tasche wird zur gleichen Zeit kollabiert. Dadurch wird das Fluid in der Tasche komprimiert und dabei durch den Auslass der Pumpe entladen.
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Im Fall eines Vakuum-Typs einer Scrollpumpe ist der Einlass der Pumpe mit einer Kammer verbunden, welche zu entleeren ist. Umgekehrt ist, im Fall eines Kompressor-Typs der Scrollpumpe, der Auslass der Pumpe mit einer Kammer verbunden, welche mittels der Pumpe mit druckbeaufschlagtem Fluid zu versorgen ist.
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In jedem Fall erzeugen die rotierbaren Komponenten des Pumpenkopfs und des Motors Vibrationen. Diese Vibrationen können wiederum Schallwellen erzeugen, d.h. die rotierbaren Komponenten können eine signifikante Lärmmenge erzeugen. Die Vibrationen können auch an andere benachbarte Ausrüstung übertragen werden, was in einer reduzierten Leistung dieser Ausrüstung resultiert.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Es ist ein allgemeines Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Scrollpumpe bereitzustellen, in welcher Vibrationen einer Pumpenkopf/Motor Baugruppe der Pumpe von dem Äußeren der Pumpe isoliert werden, einschließlich der stützenden Basis, auf welcher die Pumpe aufliegt.
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Es ist ein spezifischeres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Scrollpumpe bereitzustellen, welche leise läuft.
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Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Scrollpumpe bereitzustellen, welche eine Pumpenkopf/Motor Baugruppe hat, welche mittels eines Vibrations-Isolationssystems gestützt wird und welche dennoch transportiert werden kann, ohne dass der Pumpenkopf/Motor Baugruppe ermöglicht ist, sich relativ zu anderen Komponenten der Pumpe zu bewegen und die Komponenten potentiell zu beschädigen.
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Es ist ebenfalls ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mittels welchem eine Scrollpumpe, welche eine Pumpenkopf/Motor Baugruppe hat, die mittels eines Vibrations-Isolationssystems gestützt wird, transportiert werden kann ohne beschädigt zu werden.
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Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Scrollpumpe bereitzustellen, welche ein System hat, das Vibrationen der Pumpenkopf/Motor Baugruppe isolieren kann und in welchem die Bewegung der Pumpenkopf/Motor Baugruppe unabhängig von dem Vibrations-Isolationssystem beschränkt ist, so dass ungünstige Stöße die Komponenten der Pumpe während des Betriebs nicht beschädigen.
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Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird eine Scrollpumpe bereitgestellt, die eine Pumpenkopf/Motor Baugruppe, ein schalldämpfendes Gehäuse, in welchem die Pumpenkopf/Motor Baugruppe aufgenommen ist, Füße, welche das schalldämpfende Gehäuse stützen und welche untere Oberflächen haben, welche die Unterseite der Pumpe bilden, und ein Vibrations-Isolationssystem hat, welches einen Satz von elastischen Vibrations-Isolatoren aufweist, wobei jeder ein oberes und ein unteres Ende hat und in welchem die Pumpenkopf/Motor Baugruppe an den Vibrations-Isolatoren an den Oberseiten davon befestigt ist, um mit den Vibrations-Isolatoren integriert zu sein, wobei das schalldämpfende Gehäuse an den Vibrations-Isolatoren an den unteren Enden davon befestigt ist, und wobei die Pumpenkopf/Motor Baugruppe in der Pumpe an dem schalldämpfenden Gehäuse via der Vibrations-Isolatoren angebracht ist. Daher ist die Pumpenkopf/Motor Baugruppe beweglich gemäß der Elastizität der Vibrations-Isolatoren relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse. Entsprechend isoliert das Vibrations-Isolationssystem das schalldämpfende Gehäuse von Vibrationen, die von der Pumpenkopf/Motor Baugruppe übertragen werden.
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Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Scrollpumpe bereitgestellt, welche eine Pumpenkopf/Motor Baugruppe, Füße, die untere Oberflächen haben, welche die Unterseite der Pumpe darstellen, ein Vibrations-Isolationssystem, an welchem die Pumpenkopf/Motor Baugruppe montiert ist, ein schalldämpfendes Gehäuse, welches zwischen dem Vibrations-Isolationssystem und den Füßen angeordnet ist, so dass auch das schalldämpfende Gehäuse zwischen der Pumpenkopf/Motor Baugruppe und den Füßen angeordnet ist, und ein selektives Fixierungssystem hat, mittels welchem die Bewegung der Pumpenkopf/Motor Baugruppe unabhängig von dem Vibrations-Isolationssystem an dem schalldämpfenden Gehäuse fixiert werden kann, und mittels welchem das schalldämpfende Gehäuse an derselben Stützoberfläche fixiert werden kann, auf welcher die Füße aufliegen, unabhängig von den Füßen und ohne dass die Pumpenkopf/Motor Baugruppe an dem schalldämpfenden Gehäuse fixiert wird, so dass die Pumpenkopf/Motor Baugruppe auf der Stützoberfläche nur via des Vibrations-Isolationssystems gestützt wird.
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Daher kann die Pumpe in einem ersten Modus platziert werden, in welchem die Füße an der Stützoberfläche anliegen, während die Pumpenkopf/Motor Baugruppe fest an dem schalldämpfenden Gehäuse montiert ist, so dass sie sich relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse nicht bewegen kann.
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Der erste Modus kann ein Versandmodus sein. In dem Versandmodus ist das schalldämpfende Gehäuse auch starr an der Stützoberfläche montiert. Wenn die Pumpe als geschlossenes Produkt versandt wird, ist die Stützoberfläche typischerweise eine Sperrholzbasis, welche die Unterseite eines Versandcontainers bildet. Alternativ kann die Stützoberfläche eine strukturelle Komponente eines größeren Ausrüstungsstückes sein, wenn die Pumpe integriert ist und als eine integrierte Komponente mit dem größeren Ausrüstungsstück versendet wird.
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Zusätzlich kann die Pumpe in einem zweiten Modus platziert werden, in welchem die Füße an einer Stützoberfläche anliegen, während die Pumpenkopf/Motor Baugruppe nicht an dem schalldämpfenden Gehäuse fixiert ist und das schalldämpfende Gehäuse an der Stützoberfläche unabhängig von den Füßen fixiert ist. Entsprechend kann das schalldämpfende Gehäuse fest an der Stützoberfläche montiert sein, so dass sie sich relativ zu der Stützoberfläche nicht bewegen kann, während die Pumpenkopf/Motor Baugruppe via des Vibrations-Isolationssystems frei an dem schalldämpfenden Gehäuse montiert ist, so dass die Pumpenkopf/Motor Baugruppe relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse und der Stützoberfläche vibrieren kann.
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Dieser zweite Modus kann eine Betriebskonfiguration der Pumpe sein, wenn sie eine integrierte Komponente eines größeren Teils einer Maschinenanlage ist, d.h. der zweite Modus kann etwas sein, was als integrierte Komponente in dem Betriebsmodus bezeichnet wird. In diesem Fall wäre die Stützoberfläche typischerweise eine strukturelle Oberfläche innerhalb des größeren Teils der Maschinenanlage. Dieser Modus ermöglicht es der Pumpenkopf/Motor Baugruppe, innerhalb des schalldämpfenden Gehäuses zu vibrieren, ohne Vibrationen zu der Ausrüstung oder Lärm zu dem Betreiber der Ausrüstung zu übertragen, während die Pumpe trotzdem sicher an der Stützoberfläche in der Ausrüstung befestigt ist.
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Zusätzlich kann die Pumpe in einem dritten Modus platziert sein, d.h. Bench Top Betriebsmodus, in welchem die Füße an einer Stützoberfläche anliegen, während die Pumpenkopf/Motor Baugruppe nicht an dem schalldämpfenden Gehäuse fixiert ist. Entsprechend ist das schalldämpfende Gehäuse nicht fest an der Stützoberfläche montiert und kann nach Bedarf angeordnet sein oder bewegt werden, während die Pumpenkopf/Motor Baugruppe frei via des Vibrations-Isolationssystems an dem schalldämpfenden Gehäuse befestigt ist, so dass die Pumpenkopf/Motor Baugruppe relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse und der stützenden Oberfläche vibrieren kann. Dieser dritte Modus ist die Betriebskonfiguration der Pumpe, wenn sie als eine eigenständige Komponente verwendet wird, welche nicht als eine Komponente innerhalb eines großen Teils der Ausrüstung integriert ist. Die stützende Oberfläche ist typischerweise ein Tisch oder ein Bench Top. Dieser Modus ermöglicht es der Pumpenkopf/Motor Baugruppe, innerhalb des schalldämpfenden Gehäuses zu vibrieren, ohne Vibrationen an die Stützoberfläche oder zu dem Betreiber der Ausrüstung zu übertragen, während er der Pumpe ermöglicht, einfach transportierbar zu sein. In diesem Modus ist das schalldämpfende Gehäuse via elastischer Füße mittels der Stützoberfläche gestützt, d.h. eines Tischs gestützt, was ferner übertragene Vibrationen reduziert.
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Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Vibrations-Management Verfahren für eine Scrollpumpe bereitgestellt, welche eine Pumpenkopf/Motor Baugruppe hat, welche mittels eines Vibrations-Isolationssystems innerhalb eines Gehäuses gestützt wird. Das Verfahren enthält ein Stellen der Füße auf die Unterseite eines Gehäuses der Pumpe obenauf einer Stützoberfläche, so dass eine Pumpenkopf/Motor Baugruppe der Pumpe, welche innerhalb des Gehäuses aufgenommen ist, auf der Stützoberfläche nur via des Vibrations-Isolationssystems gestützt wird, und entweder anschließend ein Fixieren der Pumpenkopf/Motor Baugruppe an der Stützoberfläche, unabhängig von dem Vibrations-Isolationssystem, so dass die Pumpe zusammen mit der Stützoberfläche transportiert werden kann, in einem Zustand, in welchem die Pumpenkopf/Motor Baugruppe von einem Bewegen relativ zu der Stützoberfläche gehindert wird, oder ein Befestigen des Gehäuses unabhängig von den Füßen an der Stützoberfläche, während die Pumpe in einem Zustand betrieben wird, in dem die Pumpenkopf/Motor Baugruppe auf der Stützoberfläche nur via des Vibrations-Isolationssystems gestützt wird.
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Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Scrollpumpe bereitgestellt, wobei die Halter auch vertikale Beine mit jeweils einem Schlitz haben, welcher sich in der vertikalen Richtung erstreckt hindurch erstreckt, und wobei das Fixierungssystem ferner Befestigungsmittel aufweist, welche sich entsprechend durch die Schlitze hindurch erstrecken.
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Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Scrollpumpe bereitgestellt, wobei die Pumpenkopf/Motor Baugruppe einen Satz von Öffnungen mit Gewinden darin hat, und das Fixierungssystem Halter aufweist, von denen jeder ein horizontales Bein enthält, das eine Öffnung hat, die sich vertikal hindurch erstreckt, und durch welche ein Befestigungsmittel eingeführt werden kann, um den Halter an einer Stützoberfläche zu befestigen, ein vertikales Bein, welches einen Schlitz hat, welcher sich in der vertikalen Richtung hindurch erstreckt, und Befestigungsmittel mit Gewinde aufweist, welche sich jeweils frei durch die Schlitze in den vertikalen Beinen hindurch erstrecken und welche an das schalldämpfenden Gehäuse geschraubt sind, wobei die Halter relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse angehoben und abgesenkt werden können, zwischen einer ersten Position, in welcher Unterseiten der Halter über der Ebene der unteren Oberflächen der Füße in der Pumpe angeordnet sind und einer zweiten Position, in welcher die Unterseiten der Halter auf gleicher Höhe mit den unteren Oberflächen der Füße angeordnet sind, wobei Bewegungs-Arretierer integral mit dem schalldämpfenden Gehäuse sind und wobei Stellschrauben jeweils mit den Bewegungs-Arretierern verknüpft sind, wobei jede der Stellschrauben mit der Pumpenkopf/Motor Baugruppe gewunden ineinandergreift, jeweils innerhalb einer der Öffnungen mit Gewinde, und wobei jede der Stellschrauben relativ zu der Pumpenkopf/Motor Baugruppe beweglich ist, zwischen einer ersten Position, in welcher die Stellschraube frei von den Bewegungs-Arretierern ist, mit welchen sie verknüpft ist, und einer zweiten Position, in welcher die Stellschraube mit dem Bewegungs-Arretierer verbunden ist, mit welchem sie verknüpft ist.
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Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Scrollpumpe bereitgestellt, wobei jeder der Bewegungs-Arretierer eine Aussparung darin hat und jede der Stellschrauben, welche damit verknüpft ist, einen Kopf, eine Welle, welche ein Schraubengewinde hat, das mit der Pumpenkopf/Motor Baugruppe gewunden ineinandergreift, und einen Stopper hat, welcher integral mit der Welle ist, wobei der Stopper eine Form hat, die komplementär zu der Aussparung in dem bewegungsarretierenden Halter ist, und wobei der Stopper innerhalb der Aussparung des Bewegungs-Arretierers mit dem Bewegungs-Arretierer ineinandergreifend aufgenommen wird, wenn die Stellschraube in der zweiten Position davon ist.
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Gemäß einem weiteren Aspekt wird eine Scrollpumpe bereitgestellt, wobei der Stopper in der Aussparung aufgenommen wird, indem er radial von dem Bewegungs-Arretierer beabstandet ist, wenn die Stellschraube in der ersten Position davon ist, so dass das Fixierungs-Befestigungsmittel, welches die Stellschraube aufweist, eine Bewegung der Pumpenkopf/Motor Baugruppe relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse via des Vibrations-Isolationssystems ermöglicht, aber beschränkt, wenn die Stellschraube in der ersten Position davon ist.
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Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein Vibrations-Magagement Verfahren bereitgestellt, wobei das Verfahren ein Einstellen der Füße, welche sich von der Unterseite eines Gehäuses der Pumpe erstrecken, welches eine Pumpenkopf/Motor Baugruppe der Pumpe enthält, die mittels eines Vibrations-Isolationssystems oben auf einer Stützoberfläche gestützt wird, so dass die Pumpenkopf/Motor Baugruppe mittels der Stützoberfläche nur via des Vibrations-Isolationssystems gestützt wird, und entweder anschließendes Fixieren der Pumpenkopf/Motor Baugruppe an der Stützoberfläche, unabhängig von dem Vibrations-Isolationssystem, mit einem Fixierungssystem, so dass die Pumpe zusammen mit der Stützoberfläche transportiert werden kann, in einem Zustand, in welchem die Pumpenkopf/Motor Baugruppe daran gehindert ist, sich relativ zu der Stützoberfläche zu bewegen, oder nachfolgendes Befestigen des Gehäuses an der Stützoberfläche aufweist, unabhängig von den Füßen, während die Pumpe in einem Zustand betrieben wird, in dem die Pumpenkopf/Motor Baugruppe mittels der Stützoberfläche gestützt ist, nur via des Vibrations-Isolationssystems.
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KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
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Diese und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden besser verstanden aus der ausführlichen Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen davon, die mit Bezug auf die beigefügten Figuren folgt, in welchen:
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1A eine schematische Längsschnitt Ansicht einer Scrollpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung ist;
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1B eine schematische Längsschnitt Ansicht einer weiteren Version einer Scrollpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung ist;
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2 eine schematische Darstellung der Scrollpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung ist;
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3A eine vergrößerte Längsschnitt Ansicht eines Teils der Scrollpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung ist, welche ein Fixierungs-Befestigungsmittel der Pumpe veranschaulicht;
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3B eine Ansicht ist, welche der aus 3A ähnlich ist, aber das Fixierungs-Befestigungsmittel in einer anderen Position zeigt;
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3C eine vergrößerte Längsschnitt Ansicht eines anderen Teils der Scrollpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung ist, welche einen Fixierungshalter der Pumpe veranschaulicht; und
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4 eine Darstellung ist, welche die verschiedenen Modi oder Setups veranschaulicht, welche eine Scrollpumpe, die ein Fixierungssystem gemäß der vorliegenden Erfindung hat, annehmen kann beim Managen von Vibrationen der Pumpenkopf/Motor Baugruppe der Pumpe.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
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Verschiedene Ausführungsformen und Beispiele von Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Konzepts werden im Folgenden mit Bezug auf die beigefügten Figuren ausführlicher beschrieben. In den Figuren können die Größen und die relativen Größen von Elementen für die Klarheit übertrieben sein. Gleichermaßen können für die Klarheit und die Erleichterung des Verständnisses die Formen von Elementen übertrieben und/oder vereinfacht sein. Zudem werden gleiche Ziffern und Bezugszeichen verwendet, um gleiche Elemente in den Figuren durchgehend zu kennzeichnen.
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Ferner ist die Terminologie, welche hier für den Zweck der Beschreibung bestimmter Beispiele oder Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Konzepts verwendet wird, im Kontext zu betrachten. Beispielsweise deuten die Begriffe "weist auf" oder "aufweisend", wenn sie in dieser Spezifikation verwendet werden, die Gegenwart der genannten Merkmale oder Prozesse an, aber schließen nicht die Anwesenheit von zusätzlichen Merkmalen oder Prozessen aus. Der Begriff "Pumpe" kann eine Vorrichtung bezeichnen, die den Druck eines Fluids etc. antreibt, erhöht oder verringert. Der Begriff "befestigt" kann verwendet sein, um eine direkte Verbindung von zwei Teilen zueinander zu beschreiben, so dass sich die Teile relativ zueinander nicht bewegen können/nicht bewegen oder eine Verbindung der Teile durch ein Zwischenstück aus einem oder mehr zusätzlichen Teilen zu beschreiben, so dass sich die Teile relativ zueinander nicht bewegen können/nicht bewegen.
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Bezug nehmend auf 1A und 1B enthält eine Scrollpumpe 1 gemäß der vorliegenden Erfindung ein schalldämpfendes Gehäuse 100, einen Pumpenkopf 200, einen Pumpenmotor 300, und ein Kühlgebläse 400, welches in dem schalldämpfenden Gehäuse 100 aufgenommen ist. Besonders der Pumpenkopf 200, Pumpenmotor 300 und Kühlgebläse 400 sind entlang einer Längsachse der Scrollpumpe 1, d.h. in einer axialen Richtung der Scrollpumpe 1, nebeneinandergestellt. Ferner hat das schalldämpfende Gehäuse 100 entgegengesetzte Enden in der axialen Richtung. Die Enden des schalldämpfenden Gehäuses 100 definieren einen Lufteinlass 100A bzw. einen Luftauslass 100B. Der Luftauslass 100B kann mittels eines Gitters definiert sein.
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Der Pumpenkopf 200 enthält einen Rahmen 210, eine stationäre Scrollplatte (plate scroll) 220, eine umlaufende Scrollplatte (plate scroll) 230, einen exzentrischen Antriebsmechanismus 240, einen ringförmigen metallischen Federbalg 250 und Befestigungsmittel, welche die stationäre Scrollplatte 220 an den Rahmen 210 befestigen und den ringförmigen metallischen Federbalg 250 sowohl an den Rahmen 210 als auch an die umlaufende Scrollplatte 230 befestigen.
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Die stationäre Scrollplatte 220 weist einen stationären Scrollflügel 221 auf und die umlaufende Scrollplatte 230 weist einen umlaufenden Scrollflügel 231 auf. Der stationäre Scrollflügel 221 und der umlaufende Scrollflügel 231 sind mit einem Spiel und einer vorbestimmten relativen Winkel-Positionierung verschachtelt bzw. ineinander gesteckt, so dass eine Tasche oder Taschen mittels und zwischen dem stationären und umlaufenden Scrollflügel abgegrenzt sind. In dieser Hinsicht müssen sich Seitenflächen des stationären Scrollflügels 221 und des umlaufenden Scrollflügels 231 nicht berühren, um die Tasche(n) zu verschließen. Stattdessen können winzige Spiele zwischen den Seitenflächen des stationären Scrollflügels 221 und des umlaufenden Scrollflügels 231 eine Dichtung erzeugen, welche ausreichend zum Bilden einer zufriedenstellenden Tasche(n) ist.
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Der exzentrische Antriebsmechanismus 240 enthält eine Antriebswelle und Lager 246. In diesem Beispiel ist die Antriebswelle eine Kurbelwelle, welche einen Hauptteil 242 hat, welcher an den Pumpenmotor 300 gekoppelt ist, um mittels des Motors um eine Längsachse L der Scrollpumpe 1 rotiert zu werden, und eine Kurbel 243 hat, deren mittlere Längsachse in einer radialer Richtung von der Längsachse versetzt ist. Die Lager 246 weisen eine Mehrzahl von Lagersätzen auf, welche Rollelemente haben.
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Ebenfalls in diesem Beispiel ist der Hauptteil 242 der Kurbelwelle mittels des Rahmens 210 via eines oder mehr Lagersätzen 246 gestützt, um rotierbar relativ zu dem Rahmen 210 zu sein. Die umlaufende Scrollplatte 230 ist an der Kurbel 243 via eines weiteren Satzes oder Sätzen von Lagern 246 montiert. Dadurch wird die umlaufende Scrollplatte 230 mittels der Kurbel 243 getragen, um die Längsachse der Pumpe zu umlaufen, wenn der Hauptteil 242 mittels des Pumpenmotors 300 rotiert wird, und die umlaufende Scrollplatte 230 wird mittels der Kurbel gestützt, um rotierbar um die mittlere Längsachse der Kurbel 243 zu sein. Der Pumpenkopf 200 und der Pumpenmotor 300, welche mit dem Hauptteil 242 des exzentrischen Antriebsmechanismus 240 des Pumpenkopfs 200 verbunden sind, stellen zusammen eine Pumpenkopf/Motor Baugruppe dar, welche in dem schalldämpfenden Gehäuse 100 aufgenommen ist.
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Ferner hat der ringförmige metallische Federbalg 250 ein erstes Ende, an welchem der ringförmige metallische Federbalg 250 an der Rückseite der umlaufenden Scrollplatte 230 befestigt ist, und ein zweites Ende, an welchem der ringförmige metallische Federbalg 250 an dem Rahmen 210 befestigt ist. In dieser Hinsicht ist der ringförmige metallische Federbalg 250 radial flexibel genug, um dem ersten Ende davon zu ermöglichen, der umlaufenden Scrollplatte 230 zu folgen, während das zweite Ende des ringförmigen metallischen Federbalgs 250 an dem Rahmen 210 befestigt bleibt. Andererseits hat der ringförmige metallische Federbalg 250 eine Torsionssteifigkeit, die verhindert, dass das erste Ende des ringförmigen metallischen Federbalgs 250 signifikant um die mittlere Längsachse des ringförmigen metallischen Federbalgs 250 rotiert, d.h. signifikant in seiner Umfangsrichtung rotiert, während das zweite Ende des ringförmigen metallischen Federbalgs 250 an dem Rahmen 210 befestigt bleibt.
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Der ringförmige metallische Federbalg 250 kann im Wesentlichen das einzige Mittel sein, welches die Winkelsynchronisation des stationären Scrollflügels 221 und des umlaufenden Scrollflügels 231 während dem Betrieb der Scrollpumpe 1 bereitstellt. Zudem erstreckt sich der ringförmige metallische Federbalg 250 nicht nur zwischen dem Rahmen 210 und der umlaufenden Scrollplatte 230, sondern der ringförmige metallische Federbalg 250 erstreckt sich auch um einen Teil der Kurbel 243 und der Lager 246 des exzentrischen Antriebsmechanismus 240. So kann der ringförmige metallische Federbalg 250 auch die Lager 246 und Lageroberflächen von einem Raum verschließen, welcher zwischen dem ringförmigen metallischen Federbalg 250 und dem Rahmen 210 in der radialen Richtung definiert wird und welcher Raum die Arbeitskammer C darstellen kann, z.B. eine Vakuumkammer der Pumpe, durch welche Fluid hindurch gelangt, welches mittels der Pumpe bearbeitet wird. Entsprechend kann Schmiermittel, welches von den Lagern 246 verwendet wird, und/oder Partikel, welche mittels der Lageroberflächen erzeugt werden, mittels des ringförmigen metallischen Federbalgs 250 daran gehindert werden, in die Kammer C zu gelangen.
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Bezug nehmend auf 1A, 1B, und 2, wird die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 mittels eines Vibrations-Isolationssystems 500 gestützt, welches einen Satz von elastischen Vibrations-Isolatoren 500A aufweist, wobei jeder ein oberes und ein unteres Ende hat. Speziell ist die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 an den elastischen Vibrations-Isolatoren 500A an den oberen Enden davon befestigt, um mit den elastischen Vibrations-Isolatoren 500A integriert zu sein. Andererseits ist das schalldämpfende Gehäuse 100 an den elastischen Vibrations-Isolatoren 500A an dem unteren Ende der elastischen Vibrations-Isolatoren 500A befestigt,. Das schalldämpfende Gehäuse 100 ist auf den Füßen 510 angeordnet und mittels der Füße 510 gestützt, deren untere Oberflächen die Unterseite der Pumpe darstellen. Jeder elastische Vibrations-Isolator 500A kann durch das schalldämpfende Gehäuse 100 hindurch gelangen und einstückig mit einem entsprechenden Fuß 510 sein. Das schalldämpfende Gehäuse 100 sitzt auf den Füßen 510, so dass auch in diesem Fall das schalldämpfende Gehäuse 100 via der Füße 510 an den elastischen Vibrations-Isolatoren 500A befestigt ist, an den unteren Enden der elastischen Vibrations-Isolatoren 500A, wo die elastischen Vibrations-Isolatoren 500A die Füße 510 verbinden.
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Zudem sind die Füße 510 konfiguriert, um im Wesentlichen starr zu sein, besonders im Vergleich mit den elastischen Vibrations-Isolatoren 500A. Ferner ist die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 in der Pumpe an dem schalldämpfenden Gehäuse 100 nur durch die elastischen Vibrations-Isolatoren 500A angebracht, um beweglich (aufgrund der Elastizität der Vibrations-Isolatoren) relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse 100 zu sein. Daher isoliert das Vibrations-Isolationssystem 500 das schalldämpfende Gehäuse 100 von Vibrationen, welche von der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 übertragen werden. Weil das schalldämpfende Gehäuse 100 das Äußere der Scrollpumpe 1 darstellt, werden diese Vibrationen nicht an das Äußere der Scrollpumpe oder der Stützoberfläche übermittelt. Deshalb wird der übertragene Lärm und die Vibration, welche mittels der rotierbaren Komponenten der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 erzeugt wird, wesentlich reduziert.
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Um diesen Effekt zu verstärken, kann das schalldämpfende Gehäuse 100 zum Teil oder als Ganzes aus einem bekannten Typ von schall-absorbierendem Material (101 in 2) gebildet sein oder solches schall-absorbierende Material 101 kann an dem schalldämpfenden Gehäuse 100 angebracht sein.
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Eine ausführlichere Darlegung des schalldämpfenden Effekts, welcher mittels der vorliegenden Erfindung bereitgestellt wird, wird mit Bezug auf 2 beschrieben.
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Die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 ist als eine Masse auf den elastischen Vibrations-Isolatoren 500A als Federn gestützt. Daher sollten in dieser Hinsicht die elastischen Vibrations-Isolatoren 500A gestaltet sein, um die Vibration der Masse zu dämpfen. Speziell sollte die Federkonstante k der elastischen Vibrations-Isolatoren 500A so sein, dass die in Hertz gemessene Eigenfrequenz der Masse, welche mittels der Federn (1/2 pi√k/m) gestützt wird, wesentlich geringer ist als die niedrigste Frequenz der Vibrationen, die voraussichtlich mittels der Vorrichtung erzeugt wird. In dem Fall einer Vorrichtung wie einer Scrollpumpe sind die Komponenten, die Vibrationen der niedrigsten Frequenz erzeugen, die rotierbaren Komponenten, d.h. die niedrigste Vibrationsfrequenz korrespondiert typischerweise mit der niedrigsten Rotationsfrequenz ω der rotierbaren Komponenten, was in diesem Fall die Rotationsfrequenz des Pumpenmotors 300 ist. Dadurch ist das Vibrations-Isolationssystem so konfiguriert, dass die Eigenfrequenz der Masse (Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300), welche auf den Isolatoren mit der Federkonstanten k montiert ist, geringer als die Rotationsfrequenz des Pumpenmotors 300 ist.
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In diesem Fall sind die elastischen Vibrations-Isolatoren 500A effektiv darin, die Übertragung von Vibrationen zu reduzieren, welche mittels der Masse erzeugt werden. Dennoch, obwohl die niedrigste Vibrationsfrequenz (z.B. ~10–60 Hz), die mittels der rotierbaren Komponenten während des normalen Betriebs der Pumpe produziert wird, unter oder nahe den Bereich von hörbaren Frequenzen fällt, verursacht der Betrieb Oberschwingungen innerhalb des Bereichs von hörbaren Frequenzen. Daher können die elastischen Vibration-Isolatoren 500A wenig tun, um Luftschall zu vermeiden, welcher mittels der vibrierenden Masse (Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300) bei der Rotationsrate erzeugt wird. Allerdings können sie den übertragenen Lärm bei den höheren Oberschwingungen wesentlich reduzieren.
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Wie aus der obigen Beschreibung klar wird, ist das schalldämpfende Gehäuse 100 eine Einfassung für die vibrierende Masse. Ferner bleibt das schalldämpfende Gehäuse 100 stationär oder vibriert höchstens zu einem geringeren Grad als die Masse, da das schalldämpfende Gehäuse 100 an den elastischen Vibrations-Isolatoren 500A angebracht ist, was darauf hinausläuft, dass das stationäre Ende der Federn mittels der elastischen Vibrations-Isolatoren 500A dargestellt wird. Dadurch vibriert das schalldämpfende Gehäuse 100 nicht, um selbst Luftschall zu erzeugen, und blockiert die Schallwellen oder veranlasst die Schallwellen, welche mittels der Masse (Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300) erzeugt werden, sich abzuschwächen, wobei dabei der Schall gedämpft wird, der mittels der Masse erzeugt wird.
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In dieser Ausführungsform weist das schalldämpfende Gehäuse 100 eine Verkleidung 110 und eine Schale 120 auf. Die Schale 120 hat eine Oberseite und eine Unterseite und die elastischen Vibrations-Isolatoren 500A sind an der Schale 120 an der Oberseite davon montiert. Die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 wird mittels der Schale 120 auf den elastischen Vibrations-Isolatoren 500A gestützt und die Verkleidung 110 ist lösbar mit der Schale 120 in Positionen verbunden, welche von den elastischen Vibrations-Isolatoren 500A beabstandet sind. Die Verkleidung 110 kann aus einigen Teilen bestehen, um ihre Fähigkeit zu verbessern, an der Schale 120 gesichert und von der Schale 120 entfernt zu werden.
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Eine Scrollpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung enthält nicht nur die oben beschriebenen Mittel zum Unterdrücken von Lärm, der anderenfalls mittels des Vibrierens von Komponenten der Scrollpumpe 1 erzeugt würde, sondern kann auch Mittel zum Unterdrücken von Lärm enthalten, welcher anderenfalls mittels des Flusses von Fluid erzeugt würde, das von der Pumpe bearbeitet wird und durch den Auslass 100B entladen wird.
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Speziell kann die Scrollpumpe 1 auch einen internen Dämpfer enthalten. In der Version der Scrollpumpe 1, welche in 1A gezeigt wird, ist der Dämpfer 600A mit der Verkleidung 110 integriert und hat einen Einlass, der mit dem Auslass des Satzes von stationärer Scrollplatte 220 und umlaufender Scrollplatte 230 in Verbindung steht (durch ein Leitungssystem), um das Fluid zu empfangen, das zwischen dem stationären Scrollflügel 221 und dem umlaufenden Scrollflügel 231 der Scrollplatte bearbeitet wird. Daher wird, wie mittels der Pfeile gezeigt ist, das Fluid gezwungen, die Scrollpumpe 1 durch den Dämpfer 600A hindurch zu verlassen, so dass der Lärm, der anderenfalls mittels des entladenen Fluids erzeugt würde, gedämpft wird. In der Version, welche in 1B gezeigt ist, ist der Dämpfer 600B mit dem Rahmen 210 integriert. In diesem Fall hat der Dämpfer 600B auch einen Einlass, der mit dem Auslass des Satzes aus stationärer Scrollplatte 220 und umlaufender Scrollplatte 230 in Verbindung steht (durch das Leitungssystem), um das Fluid zu empfangen, das zwischen dem stationären Scrollflügel 221 und dem umlaufenden Scrollflügel 231 der Scrollplatte bearbeitet wird. Daher wird der Lärm, welcher mittels des Fluids erzeugt wird, gedämpft bevor das Fluid entladen wird.
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Als nächstes wird nun ausführlich ein Fixierungssystem zum Verwenden im Managen der Vibrationen und/oder Erleichtern des Transports der Pumpe auf eine sichere Weise beschrieben.
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Zunächst Bezug nehmend auf 1A, 1B und 3A–3C, weist das Fixierungssystem Fixierungs-Befestigungsmittel 540 (eines davon ist in 3A und 3B gezeigt) zum Befestigen der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 an dem schalldämpfenden Gehäuse 100, unabhängig von dem Vibrations-Isolationssystem 500, und einen Satz von Fixierungshaltern 560 (1 und 3C) auf, welche mittels des schalldämpfenden Gehäuses 100 getragen werden und durch welche Befestigungsmittel eingeführt werden können, um die Befestigungshalter 560 an einer Stützoberfläche zu befestigen. In Beispielen dieser Ausführungsform können zwei Fixierungshalter 560 an entgegengesetzten axialen Enden der Scrollpumpe 1 vorgesehen sein und drei oder vier Fixierungs-Befestigungsmittel 540 können jeweils an einer entsprechenden Seite oder axialem Ende der Scrollpumpe 1 vorgesehen sein. Beispielhafte Positionen für die Fixierungs-Befestigungsmittel 540 an den entgegengesetzten Seiten der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 sind in 1A und 1B angedeutet.
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Jedes Fixierungs-Befestigungsmittel 540 enthält eine Schraube, welche in die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 eingezogen ist und einen Bewegungs-Arretierhalter 120B (im Folgenden als "Bewegungs-Arretierer" bezeichnet), welcher integral mit dem schalldämpfenden Gehäuse 100 ist. Speziell hat die Schraube einen Kopf 546, welcher eine vieleckige Öffnung darin hat, z.B. eine quadratische oder sechseckige Aussparung, eine Welle 542, welche ein Schraubengewinde aufweist, und einen Stopper 544, welcher an der Welle 542 geformt ist, welche benachbart zu dem Kopf 546 ist, um integral mit der Welle 542 zu sein. Der Kopf 546 und der Stopper 544 können wie in den Figuren gezeigt einstückig sein, aus Kunststoff gebildet sein und an der Welle 542 geformt sein, so dass sich die Welle von dem Kopf 546/Stopper 544 erstreckt.
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Zusätzlich hat die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 Öffnungen mit Gewinde 200/300T darin, welche jeweils die Wellen 542 der Schrauben empfangen, so dass die Schrauben damit gewunden ineinandergreifen und daher mittels der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 getragen werden. Sowohl das schalldämpfende Gehäuse 100 als auch der Bewegungs-Arretierer 120B haben Öffnungen, welche axial mit einer Öffnung 200/300T mit Gewinde in der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 ausgerichtet sind, d.h. mit dem Kopf 546 der Schraube, welche mittels der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 getragen wird.
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Daher kann die Schraube mittels eines Werkzeugs 525 (3A) rotiert werden, welches in die Öffnung in dem Kopf 546 der Schraube eingeführt wird, um die Schraube zu veranlassen, sich relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse 100 zu versetzen. Dadurch kann der Stopper 544 entgegen dem Bewegungs-Arretierer 120B oder weg von dem Bewegungs-Arretierer 120B bewegt werden, wenn die Schraube rotiert wird. Insbesondere wenn die Schraube mit dem Werkzeug 525 im Uhrzeigersinn gedreht wird (d.h. festgezogen relativ zu dem Teil des schalldämpfenden Gehäuses, welcher die Öffnung mit Gewinde definiert, welche die Schraube empfängt), wird der Stopper 544 von dem Bewegungs-Arretierer 120B weg bewegt. Umgekehrt wird, wenn die Schraube entgegen dem Uhrzeigersinn gedreht wird, der Stopper 544 dem Bewegungs-Arretierer 120B entgegen bewegt. Entsprechend kann die Schraube als eine Stellschraube betrachtet werden.
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Zusätzlich hat der Bewegungs-Arretierer 120B in dieser Ausführungsform eine Aussparung in einer Seite davon, welche dem Stopper 544 zugewandt ist. Die Aussparung in dem Stopper 544 und eine Seite des Bewegungs-Arretierers 120B, welche der Aussparung zugewandt ist, haben komplementäre Formen. In diesem Beispiel haben zumindest ein Teil der Aussparung und ein Teil des Stoppers 544 komplementäre kegelstumpfförmige Formen.
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Bezug nehmend auf 3C enthält jeder der Fixierungshalter 560 ein horizontales Bein 560H, welches eine Öffnung hat, die sich vertikal hindurch erstreckt und durch welche ein Befestigungsmittel eingeführt werden kann, um den Fixierungshalter 560 an einer Stützoberfläche zu befestigen, und ein vertikales Bein 560V, welches einen Schlitz 560S hat, der sich in der vertikalen Richtung langgezogen hindurch erstreckt. Ein Befestigungsmittel (mit Gewinde) 560F erstreckt sich frei durch den Schlitz in dem vertikalen Bein 560V und klemmt den Fixierungshalter 560 an das schalldämpfende Gehäuse 100, welcher zwischen der Verkleidung 110 und der Schale 120 eingeschoben ist. Das Befestigungsmittel 560F kann gelockert und nachgezogen werden, um dem Fixierungshalter 560 zu ermöglichen, relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse dazwischen angehoben und abgesenkt zu werden (wie mittels der doppelköpfigen Pfeile gezeigt ist) und selektiv in einer ersten Position (durchgezogene Linien Position) befestigt zu werden, in der die Unterseite des Halters über der Ebene der unteren Oberflächen der Füße 510 in der Pumpe angeordnet ist und einer zweiten Position (Phantomlinien), in welcher die Unterseite der Fixierungshalter 560 auf gleicher Höhe mit den unteren Oberflächen der Füße 510 angeordnet ist.
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Der Betrieb und die Verwendung des Fixierungssystems der Scrollpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung werden im Folgenden mit Bezug auf 2–4 beschrieben.
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Im Grunde kann die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 unabhängig von dem Vibrations-Isolationssystem 500 an dem schalldämpfenden Gehäuse 100 fixiert werden. Zusätzlich kann das schalldämpfende Gehäuse 100 an derselben Stützoberfläche fixiert werden, auf dem die Füße 510 aufliegen, unabhängig von den Füßen und ohne dass die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 an dem schalldämpfenden Gehäuse 100 fixiert ist, so dass die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 auf der Stützoberfläche nur via der elastischen Vibrations-Isolatoren 500A des Vibrations-Isolationssystems 500 gestützt wird.
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Entsprechend kann die Scrollpumpe 1 unter Verwendung des Fixierungssystems in einem ersten Modus platziert werden, in welchem die Füße 510 der Stützoberfläche entgegengestellt werden, wobei die Fixierungshalter 560 in die abgesenkte Position (Phantomlinien Position) gestellt werden, welche in 3C gezeigt ist, und wobei die Fixierungs-Befestigungsmittel 540 in die Position gestellt sind, welche in 3A gezeigt ist, in welcher die Stopper 544 jeweils mit den Bewegungs-Arretierern 120B zusammenpassen. Daher ist die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 fest an dem schalldämpfenden Gehäuse 100 montiert, so dass sie sich relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse 100 nicht bewegen kann.
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Ferner können die Fixierungshalter 560 an der Stützoberfläche befestigt werden. Die Stützoberfläche kann eine Verpackungsbasis sein, so wie eine Sperrholzplatte. In diesem Fall ist der erste Modus ein Versandmodus, in welchem die Pumpe zusammen mit der Verpackungsbasis transportiert werden kann, in einem solchen Zustand, dass nahezu keine relative Bewegung zwischen der Verpackungsbasis, dem schalldämpfenden Gehäuse 100 und der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 stattfindet, trotz der Gegenwart des Vibrations-Isolationssystems 500 zwischen der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 und dem schalldämpfenden Gehäuse. Alternativ kann die Stützoberfläche eine strukturelle Komponente eines größeren Ausrüstungsteils sein, wenn die Pumpe integriert und versendet wird, als eine integrierte Komponente mit dem größeren Ausrüstungsteil.
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In beiden Fällen berührt und beschädigt die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 keine anderen Komponenten der Scrollpumpe 1, welche an dem schalldämpfenden Gehäuse montiert sind, so wie ein Kühlgebläse und/oder eine Schaltkreis Platine.
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Die Scrollpumpe 1 kann auch unter Verwendung des Fixierungssystems in einem zweiten Modus platziert werden, in welchem die Füße 510 einer Stützoberfläche entgegengestellt sind, wobei die Fixierungshalter 560 in die abgesenkte Position (Phantomlinien Position) gestellt sind, welche in 3C gezeigt ist, und wobei die Fixierungs-Befestigungsmittel 540 in die Position gestellt sind, welche in 3B gezeigt ist, in welcher die Stopper 544 sich jeweils von den Bewegungs-Arretierern 120B lösen und an die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 anstoßen.
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Ferner sind die Fixierungshalter 560 in dem zweiten Modus an der Stützoberfläche befestigt. Die Stützoberfläche kann eine Arbeitsfläche sein, auf welcher die Pumpe betrieben wird. Die Arbeitsfläche kann die Basis einer größeren Maschine sein. In diesem Fall ist der zweite Modus ein Modus, in welchem die Scrollpumpe 1 betrieben werden kann, während das schalldämpfende Gehäuse 100 fest an der Stützoberfläche montiert ist (d.h. sich relativ zu der Stützoberfläche nicht bewegen kann) und die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 frei an dem schalldämpfenden Gehäuse via des Vibrations-Isolationssystems 500 montiert ist (d.h. so dass die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse 100 vibrieren kann).
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Ferner kann die Scrollpumpe 1 in einem dritten Modus betrieben werden, in welchem die Füße 510 einer Stützoberfläche entgegengestellt sind, wobei die Fixierungshalter 560 in die angehobene Position (durchgezogene Linie Position) gestellt werden, welche in 3C gezeigt ist, und die Fixierungs-Befestigungsmittel 540 in die Position gestellt werden, welche in 3B gezeigt ist, in welcher die Stopper 544 jeweils von den Bewegungs-Arretierern 120B gelöst sind. Dies ist der Modus (Bench Top Modus), welcher Bezug nehmend auf 2 grundsätzlich gezeigt und beschrieben ist.
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Es ist zu beachten, dass, um die Pumpe entweder in dem zweiten oder dritten Modus zu platzieren, die Stellschrauben gedreht werden können (im Uhrzeigersinn), bis die Stopper 544 jeweils von den Bewegungs-Arretierern 120B gelöst sind und an der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 anstoßen. Trotz der Tatsache, dass die Stopper 544 von den Bewegungs-Arretierern gelöst sind, kann das Fixierungssystem den Bereich begrenzen, über welchen sich die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse 100 bewegen (vibrieren) kann aufgrund der Tatsache, dass Teile der Schrauben innerhalb der Aussparungen der Bewegungs-Arretierer 120B bleiben. In dieser Hinsicht ist das radiale Spiel zwischen der Schraube und dem Bewegungs-Arretierer 120B eingestellt, um der Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 zu ermöglichen, bis zu ihrer maximalen Amplitude (z.B. 0,5 mm) zu vibrieren, während des normalen Betriebs der Scrollpumpe 1. Dadurch können die Fixierungs-Befestigungsmittel 540 auch Bewegungs-Begrenzer darstellen, die verhindern, dass die Pumpenkopf/Motor Baugruppe 200/300 relativ zu dem schalldämpfenden Gehäuse abnormal vibriert, was anderenfalls in einer Beschädigung der Pumpe resultieren könnte.
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Letztlich wurden vorangehend Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Konzepts und Beispiele davon ausführlich beschrieben. Das erfindungsgemäße Konzept kann allerdings in vielen verschiedenen Formen verkörpert sein und sollte nicht als einschränkend auf die oben genannten Ausführungsformen interpretiert werden. Vielmehr wurden diese Ausführungsformen so beschrieben, dass diese Offenbarung genau und vollständig ist und dem Fachmann das erfindungsgemäße Konzept voll vermittelt. Dadurch ist der wahre Sinn und der Geltungsbereich des erfindungsgemäßen Konzepts nicht auf die Ausführungsformen und oben beschriebenen Beispiele beschränkt, sondern auf die folgenden Ansprüche.
