KR102362428B1

KR102362428B1 - 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치

Info

Publication number: KR102362428B1
Application number: KR1020200036525A
Authority: KR
Inventors: 민흥식; 안영근; 양성진; 김종욱; 민진우
Original assignee: (주)씨엠테크
Priority date: 2020-03-26
Filing date: 2020-03-26
Publication date: 2022-02-14
Also published as: KR20210120180A

Abstract

본 발명은 진공펌프; 상기 진공펌프를 지지하기 위한 진공펌프 지지체; 상기 진공펌프 지지체가 안착되는 진공펌프 안착 판넬; 상기 진공펌프 안착 판넬이 배치되는 지지 프레임; 상기 지지 프레임과 상기 진공펌프 안착 판넬의 사이에 위치하는 제1완충부재; 및 상기 진공펌프 안착 판넬과 상기 진공펌프 지지체의 사이에 위치하는 제2완충부재를 포함하는 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치에 관한 것으로, 2중의 완충부재를 통해, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하더라도, 상기 진공펌프부의 진동을 최소화할 수 있는 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치를 제공할 수 있다.

Description

진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치{A VACUUM PUMP AND A STERILIZING APPARATUS COMPRISING THE SAME}

본 발명은 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 진공펌프부의 진동을 최소화할 수 있는 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치에 관한 것이다.

의료 기구는 통상 높은 압력 하에서 포화된 수증기를 이용하는 고압 증기 멸균법을 이용하거나, 열에 약한 기구나 재료에 손상을 주지 않는 에틸렌 옥사이드와 같은 화학 물질을 이용하는 에틸렌 옥사이드 가스 멸균법 등에 의해 멸균되고 있다.

이러한 의료 기구의 멸균에 사용되는 멸균장치의 경우, 일반적으로 진공펌프를 포함한다.

즉, 상기 멸균장치를 통해 멸균 공정을 수행하기 위해서는 높은 출력의 진공펌프부를 포함하여야 하는데, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하면, 상기 진공펌프부의 진동이 증가하게 되고, 특히 멸균장치의 메인 프레임의 크기가 작고, 가벼운 경우에는, 상기 진공펌프부의 작동에 따른 진동에 의하여 소음이 증가하게 되는 ㅁ문제점이 있다.

한국공개특허 10-2006-52161

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 개발된 것으로서, 진공펌프부의 진동을 최소화할 수 있는 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 지적된 문제점을 해결하기 위해서 본 발명은 진공펌프; 상기 진공펌프를 지지하기 위한 진공펌프 지지체; 상기 진공펌프 지지체가 안착되는 진공펌프 안착 판넬; 상기 진공펌프 안착 판넬이 배치되는 지지 프레임; 상기 지지 프레임과 상기 진공펌프 안착 판넬의 사이에 위치하는 제1완충부재; 및 상기 진공펌프 안착 판넬과 상기 진공펌프 지지체의 사이에 위치하는 제2완충부재를 포함하는 진공펌프부를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 진공펌프 안착 판넬은, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 폭방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트로부터 연장되며, 상기 베이스 플레이트의 상부 수직방향으로 연장되는 제1수직 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 폭방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트의 상부 수평방향으로 배치되며, 상기 제1수직 플레이트로부터 연장되는 제1수평 플레이트를 포함하는 진공펌프부를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 제1완충부재는, 상기 지지 프레임과 상기 진공펌프 안착 판넬의 상기 제1수평 플레이트의 사이에 위치하고, 상기 제2완충부재는, 상기 진공펌프 안착 판넬의 상기 베이스 플레이트와 상기 진공펌프 지지체의 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공펌프부를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 지지 프레임은, 상기 진공펌프 안착 판넬의 길이방향으로 배치되는 제1지지 프레임; 및 상기 진공펌프 안착 판넬의 길이방향으로 배치되고, 상기 제1지지 프레임과 일정 간격 이격하여 배치되는 제2지지 프레임을 포함하고, 상기 제1수직 플레이트는, 상기 베이스 플레이트의 폭방향의 일측에 위치하는 제1-1수직 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 폭방향의 타측에 위치하고, 상기 제1-1수직 플레이트와 일정 간격 이격하여 배치되는 제1-2수직 플레이트를 포함하며, 상기 제1수평 플레이트는, 상기 베이스 플레이트의 폭방향의 일측에 위치하는 제1-1수평 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 폭방향의 타측에 위치하고, 상기 제1-1수평 플레이트와 일정 간격 이격하여 배치되는 제1-2수평 플레이트를 포함하는 진공펌프부를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 제1완충부재는, 상기 제1지지 프레임과 상기 제1-2수평 플레이트의 사이에 위치하는 제1-1완충부재; 및 상기 제2지지 프레임과 상기 제1-1수평 플레이트의 사이에 위치하는 제1-2완충부재를 포함하고, 상기 제1-1완충부재는, 상기 제1-2수평 플레이트의 길이방향을 기준으로 전방 영역에 위치하는 전방 제1-1완충부재; 및 상기 제1-2수평 플레이트의 길이방향을 기준으로 후방 영역에 위치하는 후방 제1-1완충부재를 포함하며, 상기 제1-2완충부재는, 상기 제1-1수평 플레이트의 길이방향을 기준으로 전방 영역에 위치하는 전방 제1-2완충부재; 및 상기 제1-1수평 플레이트의 길이방향을 기준으로 후방 영역에 위치하는 후방 제1-2완충부재를 포함하는 진공펌프부를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 제2완충부재는, 상기 진공펌프 지지체의 일측 하부에 위치하는 일측 제2-1완충부재; 상기 진공펌프 지지체의 일측 하부에 위치하고, 상기 일측 제2-1완충부재와 일정 간격 이격하여 배치되며, 상기 일측 제2-1완충부재의 수평방향에 위치하는 일측 제2-2완충부재; 상기 진공펌프 지지체의 타측 하부에 위치하는 타측 제2-1완충부재; 상기 진공펌프 지지체의 타측 하부에 위치하고, 상기 타측 제2-1완충부재와 일정 간격 이격하여 배치되며, 상기 타측 제2-1완충부재의 수평방향에 위치하는 타측 제2-2완충부재를 포함하는 진공펌프부를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 진공펌프 안착 판넬은, 상기 베이스 플레이트의 길이방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트로부터 연장되며, 상기 베이스 플레이트의 상부 수직방향으로 연장되는 제2수직 플레이트; 및 상기 베이스 플레이트의 길이방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트의 상부 수평방향으로 배치되며, 상기 제2수직 플레이트로부터 연장되는 제2수평 플레이트를 더 포함하고, 상기 제2수직 플레이트는, 상기 베이스 플레이트의 길이방향의 일측에 위치하는 제2-1수직 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 길이방향의 타측에 위치하고, 상기 제2-1수직 플레이트와 일정 간격 이격하여 배치되는 제2-2수직 플레이트를 포함하며, 상기 제2수평 플레이트는, 상기 베이스 플레이트의 길이방향의 일측에 위치하는 제2-1수평 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 길이방향의 타측에 위치하고, 상기 제2-1수평 플레이트와 일정 간격 이격하여 배치되는 제2-2수평 플레이트를 포함하는 진공펌프부를 제공한다.

상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 상기 진공펌프 지지체가 안착되는 진공펌프 안착 판넬을 도입하고, 또한, 이를 통하여, 상기 진공펌프 안착 판넬(240)과 상기 지지 프레임의 사이에 위치하는 제1완충부재 및 상기 진공펌프 안착 판넬과 상기 진공펌프 지지체의 사이에 위치하는 제2완충부재를 도입함으로써, 2중의 완충부재를 통해, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하더라도, 상기 진공펌프부의 진동을 최소화할 수 있는 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 멸균제 수용액을 이용한 멸균장치를 도시한 개략적인 사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 멸균제 수용액을 이용한 멸균장치를 도시한 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 멸균제 수용액을 이용한 멸균장치의 멸균방법을 도시한 순서도이다.
도 4는 일반적인 구조의 진공펌프부를 도시하는 개략적인 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 진공펌프부를 도시하는 개략적인 사시도이고, 도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 진공펌프부를 도시하는 실사진이며, 도 8은 본 발명에 따른 진공펌프부의 진공펌프 안착 판넬을 도시하는 개략적인 사시도이다.
도 9는 일반적인 구조의 진공펌프부를 도시하는 정면 모식도이고, 도 10은 본 발명에 따른 진공펌프부를 도시하는 정면 모식도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

아래 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 상세히 설명한다. 도면에 관계없이 동일한 부재번호는 동일한 구성요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 구성 요소와 다른 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 구성요소들의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 구성요소를 뒤집을 경우, 다른 구성요소의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 구성요소는 다른 구성요소의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 구성요소는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 멸균제 수용액을 이용한 멸균장치를 도시한 개략적인 사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 멸균제 수용액을 이용한 멸균장치를 도시한 개략적인 구성도이다.

다만, 본 발명에서 상기 멸균제는 과산화수소일 수 있고, 상기 멸균제 수용액은 과산화수소수일 수 있으며, 이하에서는 설명의 편의를 위하여, 멸균제는 과산화수소로, 멸균제 수용액은 과산화수소수로 대응시켜 설명하기로 한다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 과산화수소수를 이용한 멸균장치(100)는 멸균챔버(110)를 포함한다.

상기 멸균챔버(110)는 멸균시키고자 하는 의료 기구나 수술용 도구와 같은 피멸균물을 넣을 수 있는 용기를 나타낸다. 이때, 상기 멸균챔버(110)의 일측에는 상기 피멸균물의 출입을 위한 도어를 포함할 수 있다.

또한, 상기 멸균챔버(110)의 일측에 연결되는 진공펌프부(120)를 포함하며, 상기 진공펌프부(120)는 상기 멸균챔버(110) 내부의 기체를 뽑아내어 진공 상태를 형성시킬 수 있다. 이때, 상기 멸균챔버(110)와 상기 진공펌프부(120)의 사이에는 상기 진공펌프부(120)의 동작을 제어할 수 있는 진공밸브(121)가 연결되어 있다.

계속해서 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 과산화수소수를 이용한 멸균장치(100)는 상기 멸균챔버(110)의 다른 일측에 연결되어, 상기 멸균챔버(110)에 과산화수소 증기를 공급하기 위한 기화기(130)(또는, 증발기로 명칭될 수 있음) 및 상기 기화기(130)에 과산화수소를 공급하기 위한 과산화수소 공급장치(150)를 포함한다.

이때, 상기 멸균챔버(110)와 상기 기화기(130)의 사이에는 기화밸브(131)를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 과산화수소수를 이용한 멸균장치(100)는 일측은 상기 기화기(130)과 연결되고, 타측은 상기 멸균챔버(110)와 연결되어, 상기 기화기(130)에 공급된 과산화수소를 농축시키기 위한 수집기(140)(또는, 수집기화기로 명칭될 수 있음)를 포함한다.

이때, 상기 멸균챔버(110)와 상기 수집기(140)의 사이에는 기화밸브(131)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 멸균챔버(110)와 상기 수집기(140)의 사이에는 수집밸브(141)를 포함할 수 있다.

즉, 상기 멸균챔버(110)와 상기 수집기(140)의 사이에는 기화밸브(131)와 수집밸브(141)가 병렬로 연결될 수 있다.

한편, 상술한 바와 같이, 상기 멸균챔버(110)와 상기 기화기(130)의 사이에는 기화밸브(131)를 포함할 수 있으며, 즉, 상기 기화밸브(130)는 일측은 멸균 챔버(110)와 연결되고, 타측은 기화기(130) 및 수집기(140)와 병렬 연결될 수 있다.

계속해서 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 과산화수소수를 이용한 멸균장치(100)는 상기 수집기(140)와 상기 기화밸브(131)를 연결하는 제1연결배관(142) 및 상기 기화밸브(131)와 상기 멸균챔버(110)를 연결하는 제2연결배관(133)을 포함할 수 있다.

또한, 상기 수집기(140)와 상기 수집밸브(141)를 연결하는 제3연결배관(143) 및 상기 수집밸브(141)와 상기 멸균챔버(110)를 연결하는 제4연결배관(144)를 포함할 수 있다.

이때, 도면에서는 상기 제4연결배관(144)이 상기 제2연결배관(133)과 연결되어, 멸균챔버(110)와 수집기(140)의 사이에서 기화밸브(131)와 수집밸브(141)가 병렬로 연결되는 것을 도시하고 있으나, 이와는 달리, 상기 제4연결배관(144)는 상기 멸균챔버(110)와 직접 연결되어, 멸균챔버(110)와 수집기(140)의 사이에서 기화밸브(131)와 수집밸브(141)가 병렬로 연결될 수 있다.

또한, 상기 기화기(130)와 상기 기화밸브(131)를 연결하는 제5연결배관(132)을 포함할 수 있으며, 이때, 도면에서는 상기 제5연결배관(132)이 상기 제1연결배관(142)과 연결되어, 기화밸브(130)가 기화기(130) 및 수집기(140)와 병렬 연결되는 것을 도시하고 있으나, 이와는 달리, 상기 제5연결배관(132)이 상기 기화밸브(131)와 직접 연결되어, 기화밸브(130)가 기화기(130) 및 수집기(140)와 병렬 연결될 수 있다.

이때, 상기 기화밸브(131) 및 상기 수집밸브(141)는 open/close 동작에 의해 상기 제1연결배관(142) 내지 상기 제5연결배관(132)의 유체의 흐름을 제어할 수 있으며, 또한, 상기 기화밸브(131) 및 상기 수집밸브(141)는 별도의 제어부에 의해 open/close 동작이 제어될 수 있다.

또한, 도면에 도시된 바와 같이, 수집기(140)와 기화밸브(131)를 연결하는 제1연결배관(142) 및 기화밸브(131)와 멸균챔버(110)를 연결하는 제2연결배관(133)은 다른 연결배관, 즉, 제3연결배관(143) 내지 제5연결배관(132)보다 내경이 클 수 있으며, 예를 들어, 제3연결배관(143) 내지 제5연결배관(132)이 1/4 inch 배관인 경우, 상기 제1연결배관(142) 및 제2연결배관(133)은 1 inch 배관일 수 있다. 이에 대해서는 후술하기로 한다.

한편, 도면에는 도시하지 않았으나, 상기 멸균챔버(110), 기화기(130) 및 수집기(140)의 온도를 제어하기 위한 온도제어수단을 포함할 수 있고, 상기 온도제어수단은 히터일 수 있으며, 이는 당업계에서 자명한 사항이므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

또한, 상기 수집기(140)의 경우, 온도제어수단으로 냉각수단을 더 포함할 수 있으며, 상기 냉각수단은 냉각수나 열전소자를 이용한 직접 냉각 또는 열교환기의 송풍을 통한 공냉식 등 적절한 수단을 사용할 수 있다.

이하에서는, 본 발명에 따른 멸균장치를 이용한 멸균방법에 대해 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명에 따른 멸균제 수용액을 이용한 멸균장치의 멸균방법을 도시한 순서도이다.

한편, 이하에서 설명하는 멸균방법은 상술한 도 1 및 도 2의 멸균장치의 도면부호를 병기하여 설명하기로 한다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 과산화수소수를 이용한 멸균장치의 멸균방법은 멸균챔버(110)(또는, 살균챔버로 명칭될 수 있음) 및 기화기(130)를 진공배기하는 단계를 포함한다(S110).

상기 멸균챔버(110) 및 상기 기화기(130)를 진공배기하는 단계는, 상기 진공펌프부(120)를 작동(on 상태)시키고, 상기 진공밸브(121)를 open 시킴으로써 진공배기할 수 있다.

한편, S110 단계, 즉, 멸균챔버 및 기화기를 진공배기하는 단계는 후술하는 S160 단계까지 지속될 수 있으며, 멸균챔버가 소정의 설정압력에 도달되고, 수분이 제거된 과산화수소 액체가 수집기에 수집이 완료되면 본 단계는 완료될 수 있다.

또한, 상기 기화기(130)를 진공배기하기 위하여, 상기 멸균챔버(110)와 상기 기화기(130)의 사이의 기화밸브(131), 또는 상기 멸균챔버(110)와 상기 수집기(140)의 사이의 수집밸브(141)는 open 상태로, 진공배기 중인 멸균챔버와 연통되어 대기압 이하의 압력이 되도록 하고 다음 단계에서 닫힌다.

한편, 상기 멸균챔버(110) 및 상기 기화기(130)를 진공배기하는 단계와 동시에, 상기 멸균챔버 및 상기 기화기를 상술한 온도제어수단에 의해 설정된 온도로 유지될 수 있다.

다음으로, 제1온도 및 제1압력의 기화기(130)에 제1농도의 과산화수소수를 투입하는 단계를 포함한다(S120).

상기 과산화수소수를 투입시키는 것은 제1농도의 과산화수소수를 저장하는 과산화수소 공급장치(150)를 통해 투입될 수 있으며, 한편, 도 1 및 도 2에는 도시하지 않았으나, 상기 기화기(130) 및 상기 과산화수소 공급장치(150)의 사이에 과산화수소수 공급조절 밸브(미도시)를 포함하여, 적절한 양의 과산화수소수를 공급할 수 있다.

이때, 상기 과산화수소수의 제1농도는 60중량% 이하일 수 있다.

상술한 바와 같이, 과산화수소 용액, 즉, 과산화수소수를 취급하는 데 있어서 과산화수소수의 농도가 60중량% 이하로 제한되어 있어서 그 이상의 높은 농도의 과산화수소를 멸균제로 쓰는 것은 현실적으로 어려운 일이다.

즉, 본 발명에서 상기 과산화수소수의 제1농도는 취급이 가능한 과산화수소수의 농도를 표시한 것으로, 본 발명의 취지를 이해하는데 있어서, 중요한 의미를 가지지 않는다.

또한, 상기 제1온도는 60 내지 70℃일 수 있으며, 상기 제1압력은 800 mb(미리바) 내지 대기압일 수 있다.

이때, S120 단계에서는 제1농도의 과산화수소수가 상기 기화기(130)에 투입되는 동안, 상기 기화밸브(131) 및 상기 수집밸브(141)는 close 상태에 해당할 수 있으며, 다만, 공급장치에 따라 open 상태 일 수 있다.

한편, S120 단계에서 상기 멸균챔버(110)의 압력은 600 mb 내지 대기압이고, 온도는 45 내지 55℃일 수 있으며, 또한, 상기 수집기(140)의 압력은 800 mb 내지 대기압이고, 온도는 38 내지 42℃일 수 있다.

이때, 본 발명에서 상기 제1온도는 상기 멸균챔버의 온도보다 높은 것을 특징으로 한다.

상기 제1온도의 경우, 과산화수소수로부터 수증기를 더 많이 기화시키는 과정에서 기화기의 온도에 해당하며, 수증기의 기화과정은 매우 강한 흡열 반응이 일어나서 기화 속도를 매우 강하게 억제하게 된다.

이때, 기화속도를 높이려면 기화기의 압력을 낮추어 진공도를 높이는 방법도 있지만, 과산화수소의 기화비율도 높아질 수 있게 되어 과산화수소의 소모가 증가하게 되는 단점이 있고, 또한 온도가 낮은 상태에서는 기화에 필요한 열량이 원할하게 공급되기 어렵기 때문에, 따라서, 제1온도는 적어도 멸균챔버의 온도보다 높은 것이 바람직하다.

다음으로, 상기 제1농도의 과산화수소수를 기화시켜 제2농도의 과산화수소수를 형성하는 단계를 포함한다(S130).

즉, 상기 기화기(130)에 투입된 제1농도의 과산화수소수가 기화(즉, 수분제거)되어 제2농도의 과산화수소수가 형성된다.

상기 과산화수소수의 제2농도는 75중량% 내지 85중량%일 수 있으며, S130 단계는 60중량% 이하의 과산화수소수 중 수분을 기화시킴으로써, 75중량% 내지 85중량% 농도의 과산화수소수를 형성하는 과산화수소수 제1농축 단계일 수 있다.

일반적으로, 동일한 온도와 압력에서, 물은 과산화수소보다 증기압이 높기 때문에 보다 신속하게 증발되고, 물의 분자량은 과산화수소보다 낮기 때문에 물이 과산화수소보다 신속하게 기상으로 확산된다.

따라서, 동일한 온도 및 압력조건에서 물(즉, 수분)은 과산화수소보다 신속하게 증발하여 확산되기 때문에, 과산화수소수에서의 물은 과산화수소보다 먼저 증발/확산되므로, 제2농도의 과산화수소수가 형성될 수 있다.

이때, 증발된 물은 멸균챔버(110)를 경유하여 진공펌프부를 통해 진공배기되며, 따라서, S130 단계에서 상기 진공펌프부(120)를 작동(on 상태)시키고, 상기 진공밸브(121) 및 기화밸브(131)는 open 상태에 해당한다.

한편, S130 단계에서, 상기 기화기(130)의 온도는 기화과정의 흡열반응에 의해 일시적으로 온도가 낮아지게 되어, 55 내지 65℃의 범위에 있으며, 압력은 30 내지 800 mb(미리바)일 수 있다.

또한, 증발된 물이 멸균챔버(110)를 경유하여, 진공펌프부를 통해 진공배기되는 동안, 상기 멸균챔버(110)의 압력은 10 내지 600 mb의 범위이고, 온도는 45 내지 55℃일 수 있으며, 또한, 상기 수집기(140)의 압력은 20 내지 500 mb의 범위이고, 온도는 35 내지 40℃일 수 있다.

다음으로, 제2온도 및 제2압력의 수집기에 상기 제2농도의 과산화수소수를 투입하는 단계를 포함한다(S140).

상기 제2농도의 과산화수소수를 제2온도 및 제2압력의 수집기(140)에 투입하기 위하여, 상기 진공펌프부(120)를 작동(on 상태)로, 상기 진공밸브(121)를 open 상태로, 상기 기화밸브(131)는 close 상태로, 상기 수집밸브(141)는 on 상태로 제어할 수 있다.

이때, 상기 제2온도는 35 내지 42℃일 수 있으며, 상기 제2압력은 8 내지 50 mb일 수 있다.

또한, 상기 제2농도의 과산화수소수가 기화기(130)로부터 수집기(140)로 이동하는 동안, 상기 기화기(130)의 압력은 10 내지 60 mb이고, 온도는 55 내지 60℃일 수 있으며, 상기 제2농도의 과산화수소수는 제5연결배관(132) 및 제1연결배관(142)을 경유하여, 기화기(130)로부터 수집기(140)로 이동할 수 있다.

한편, S140 단계에서도 상기 멸균챔버(110)는 계속적으로 진공배기되어, 상기 멸균챔버(110)의 압력은 1 내지 10 mb이고, 온도는 45 내지 55℃일 수 있다.

이때, 본 발명에서 상기 제2온도는 상기 멸균챔버의 온도보다 낮은 것을 특징으로 한다.

상기 제2온도의 경우, 제2농도의 과산화수소수가 수집되는 수집기의 온도에 해당하며, 기화기로부터 포화된 과산화수소 증기가 수집기를 경유하는 과정에서 챔버의 온도보다 높으면, 과산화수소 증기가 수집기에 응축되지 못하고 모두 챔버를 통해 배기될 수 있다.

압력이 다소 높은 S140/S150단계 초기에 과산화수소 증기가 일부 응축되더라도, 배기되는 챔버로 진공압력이 지속적으로 부과되는 단계에서 수집기가 챔버의 온도보다 높으면, 과산화수소 증발열은 수증기에 비해서는 낮기 때문에 쉽게 재기화되어 수집기에 남지 못하게 되어, 결국, 후술하는 S170단계를 수행할 수 없게 되므로, 따라서, 제2온도는 적어도 멸균챔버의 온도보다 낮은 것이 바람직하다.

이상에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에서는 S130 단계, 즉, 상기 제1농도의 과산화수소수를 기화시켜 제2농도의 과산화수소수를 형성하는 단계를 거친 후에, S140 단계, 즉, 제2온도 및 제2압력의 수집기에 상기 제2농도의 과산화수소수를 투입하는 단계를 수행한다.

예를 들어, S130 단계없이 S140 단계를 수행하는 것, 제1농도의 과산화수소수를 수집기에 곧바로 투입하는 것을 고려해 볼 수 있으나, 다음과 같은 이유로 바람직하지 않다.

하기 표 1은 과산화수소수의 농도별 과산화수소 증기의 기화비율의 예시를 나타낸다.

상기 표 1을 참조하면, 과산화수소수의 농도가 높아질수록, 또한, 설정온도가 높을수록, 과산화수소 증기의 기화비율이 수증기에 비하여 상대적으로 점점 높아지는 것을 알 수 있다.

예를 들어, 50℃에서, 60중량% 농도의 과산화수소수에서의 과산화수소 증기의 기화비율은 13%이므로, 나머지 87%는 수증기임을 의미하고, 80중량% 농도의 과산화수소수에서의 과산화수소 증기의 기화비율은 40%이므로, 나머지 60%가 수증기임을 의미한다.

즉, S130 단계 없이 S140 단계를 수행한다 함은 예를 들어, 60중량% 농도의 과산화수소수를 수집기에 투입하는 의미가 될 수 있으며, S130 단계를 수행 후 S140 단계를 수행한다 함은 80중량% 농도의 과산화수소수를 수집기에 투입하는 의미가 될 수 있다.

이때, S130 단계 없이 S140 단계를 수행하는 경우는, S130 단계를 수행 후 S140 단계를 수행하는 경우에 비해, 초기단계에서 수집기를 통과하는 수증기의 비율이 상대적으로 높게 된다.

수증기의 비율이 과산화수소 증기보다 상대적으로 높은 상태에서 수집기에 투입되면, 수집기의 압력이 높은 상태(수집기의 온도가 40도일 경우 포화수증기압은 75mb이므로 이보다 높은 압력)에서 수증기가 수집기에 진입되게 되므로, 수증기도 수집기에 응축될 수 있다.

수증기도 수집기에 응축된다 함은, 응축되는 수증기의 양 만큼, 농축되는 과산화수소수의 농도에 한계가 있음을 의미한다.

따라서, 본 발명에서는 수증기가 수집기에 먼저 응축되어, 농축되는 과산화수소수의 농도에 한계가 발생하는 것을 방지하기 위해, S130 단계, 즉, 상기 제1농도의 과산화수소수를 기화시켜 제2농도의 과산화수소수를 형성하는 단계를 거친 후에, S140 단계, 즉, 제2온도 및 제2압력의 수집기에 상기 제2농도의 과산화수소수를 투입하는 단계를 수행한다.

다음으로, 상기 제2농도의 과산화수소수 중 과산화수소 증기는 상기 수집기에 응축되고, 수증기는 상기 수집기로부터 배기시키는 단계를 포함한다(S150).상술한 바와 같이, 물은 과산화수소보다 증기압이 높기 때문에 보다 신속하게 증발되고, 물의 분자량은 과산화수소보다 낮기 때문에 물이 과산화수소보다 신속하게 기상으로 확산되므로, 따라서, 동일한 온도 및 압력조건에서 물(즉, 수분)은 과산화수소보다 신속하게 증발하여 확산되기 때문에, 과산화수소수에서의 물은 과산화수소보다 먼저 증발/확산되므로, 과산화수소 증기는 상기 수집기에 응축되고, 수증기는 상기 수집기로부터 배기되어, 제3농도의 과산화수소수가 형성될 수 있다.

즉, 물은 과산화수소보다 더 높은 증기압을 갖고, 따라서, 증기상태에서 과산화수소는 물보다 더 쉽게 응축된다. 따라서, 상기 수집기에 응축되는 과산화수소수는 투입된 제2농도의 과산화수소수의 농도보다 더 높은 농도의 과산화수소를 포함할 수 있게 된다.

한편, S140단계에서 과산화수소 증기와 수증기가 통과하는 배관은 제 5연결배관, 제1연결배관, 제3연결배관, 제4연결배관의 순으로 이동하며, 이때, 이들 연결배관들 중 내경이 작은 배관의 온도는 수집기(140)의 온도보다 높아야 한다.

이는 과산화수소 증기가 수집기에 도달되기 전후 단계의 배관 온도가 수집기보다 낮으면 먼저 배관에 응축된 상태로 잔존할 수 있고, 내경이 작은 배관에 응축된 과산화수소 증기는 S170단계에서 기화될 때 보다 높은 온도에 노출되어 챔버로 진입하는 단계에서 분해에 의한 수증기 함량이 높아질 수 있기 때문이다.

또한, 상기 표 1에서 도시한 바와 같이, 일단 농도가 높아진 상태(85중량% 미만)에서 물과 과산화수소의 증기비율은 비슷해지며, 기화비율에 의한 농축은 농축효율을 저하시키게 된다.

기체상태의 과산화수소 증기와 수증기는 같은 압력에서 응축할 수 있는 온도가 차이가 나는데, 예를 들어, 35도일 경우, 과산화수소는 5mb이상에서 응축되고, 수증기는 55mb이상에서 응축된다.

따라서, 이러한 차이는 예를 들어, 수집밸브를 통해 진공 배기 중인 수집기 온도가 35일 때, 그 압력이 5mb 내지 55mb의 범위에 있을 경우 과산화수소 증기는 응축되고, 수증기는 수집기로부터 배기될 수 있다.

이때, 상기 과산화수소수의 제3농도는 90중량% 내지 95중량%일 수 있으며, S150 단계는 75중량% 내지 85중량%의 과산화수소수 중 수분을 기화시킴으로써, 90중량% 내지 95중량% 농도의 과산화수소수를 형성하는 과산화수소수 제2농축 단계일 수 있다.

한편, 상기에서는 S140 단계의 제2온도 및 제2압력의 수집기에 상기 제2농도의 과산화수소수를 투입하는 단계 및 S150 단계의 상기 제2농도의 과산화수소수 중 과산화수소 증기는 상기 수집기에 응축되고, 수증기는 상기 수집기로부터 배기시키는 단계가 순차적으로 이루어지는 것으로 설명하였으나, 이와는 달리, S140 및 S150 단계는 동시에 일어나는 단계일 수 있다.

즉, 제2온도 및 제2압력의 수집기에 상기 제2농도의 과산화수소수를 투입하면서, 이와 동시에, 상기 제2농도의 과산화수소수 중 과산화수소 증기는 상기 수집기에 응축되고, 수증기는 상기 수집기로부터 배기될 수 있다.

이때, 증발된 물은 진공펌프부를 통해 진공배기되며, 따라서, S150 단계에서는 상기 진공펌프부(120)를 작동(on 상태)시키고, 상기 진공밸브(121)를 open 시킴으로써 진공배기할 수 있으며, 또한, 증발된 물이 진공펌프부를 통해 진공배기되기 위하여, 상기 수집밸브(141)는 open 상태에 해당한다.

다음으로, 상기 멸균챔버의 일정 압력까지 낮추는 단계 및 상기 제3농도의 과산화수소수를 제4농도의 과산화수소수로 농축하는 단계를 포함한다(S160).

이때, 상기 일정 압력이라 함은 멸균챔버에서 멸균을 하기 위한 설정압력이어야 하며, 또한, 멸균제가 과산화수소 증기인 경우, 확산이 용이한 진공도이어야 한다.

따라서, 상기 설정압력은 0.5 내지 1.3 mb일 수 있으며, 또한, 상기 멸균챔버의 온도는 45 내지 55℃일 수 있다.

또한, 상기 과산화수소수의 제4농도는 95중량% 이상일 수 있으며, S160 단계 90중량% 내지 95중량% 농도의 과산화수소수 중 수분을 기화시킴으로써, 95중량% 이상의 과산화수소수를 형성하는 과산화수소수 제3농축 단계일 수 있다.

이때, 증발된 물은 진공펌프부를 통해 진공배기되며, 따라서, S160 단계에서는 상기 진공펌프부(120)를 작동(on 상태)시키고, 상기 진공밸브(121)를 open 시킴으로써 진공배기할 수 있다.

한편, S160 단계에서 상기 수집밸브(141)는 open 상태 및 close 상태를 반복할 수 있다.

즉, 상기 제3농도의 과산화수소수를 제4농도의 과산화수소수로 농축함에 있어서, 고농도의 과산화수소수가 될수록, 액상의 과산화수소수가 증발될 수 있는 압력은 더 낮아진다.

예를 들면, 45 ℃의 동일한 온도조건에서, 80중량% 농도의 과산화수소수에서는 약 20mb 이하의 압력에서 과산화수소가 증발하게 되나, 90중량% 농도의 과산화수소수에서는 약 11mb 이하의 압력이 되어야 과산화수소가 증발하게 된다.

이는 상기 제3농도의 과산화수소수를 제4농도의 과산화수소수로 농축함에 있어서, 수분만 기화되는 것이 아니라, 과산화수소도 기화되게 되므로, 소정의 농도까지 과산화수소수를 농축하는 것이 어려워질 수 있다.

즉, 고농도의 과산화수소는 분해반응이 지속될 수 있으며, 분해 과정에서 생성된 수분은 과산화수소의 농도를 낮추게 된다.

따라서, 이러한 소량의 불순물인 수분을 제거하기 위해서는, 0.1 내지 2mb의 변동범위에서 압력의 상승/하강을 반복하는 경우, 기화되는 과산화수소가 제거되는 것을 억제하면서, 수분을 효과적으로 제거할 수 있다.

이러한 수분 제거 방법은 농도가 낮은 단계에서는 매우 긴 시간이 소요되지만, 농도가 높은 단계에서는 소량의 수분을 제거하기 위해 효과적이며, 적어도 높은 농도를 유지하는데 효과적이라 할 수 있다.

따라서, 상기 멸균챔버의 일정 압력까지 낮추는 단계에 의하여, 제3농도의 과산화수소수를 포함하고 있는 상기 수집기(140)의 압력이 지속적으로 낮아져서 보다 낮은 압력에서 과산화수소가 증발하는 것을 방지하기 위하여, 상기 수집밸브(141)는 open 상태 및 close 상태를 반복함으로써, 상기 수집기(140)의 압력이 지속적으로 낮아지는 것을 방지할 수 있다.

이때, 상기 수집기(140)의 압력은 5 내지 10 mb이고, 온도는 35 내지 40℃일 수 있으며, 상기 기화기(130)의 압력은 7 내지 10 mb이고, 온도는 60 내지 70℃일 수 있다.

한편, 상기 S160 단계에서는 기화기의 수용액은 완전히 소진된 상태이므로 진공상태에서 온도가 회복되고, 수집기는 고농축 과산화수소가 수집되어 소량의 수분이 제거되고 있거나, 적정 압력을 유지하면서 수집기에 머물게 된다.

이때 수집기는 과산화수소의 과도한 소진을 방지하기 위해 온도제어 수단에 의해 더 낮은 온도로 하강할 수 있다.

다음으로, 제4농도의 과산화수소수의 과산화수소 증기를 멸균챔버에 투입하여, 피처리물을 멸균처리하는 단계를 포함한다(S170).

S170 단계에서는 수집기(140)에 위치하는 제4농도의 과산화수소수의 과산화수소 증기를 멸균챔버(110)에 투입하기 위하여, 기화밸브(131)는 open 상태이고, 수집밸브는 open 또는 close 상태에 해당한다.

즉, 수집기(140)로부터 멸균챔버(110)로 과산화수소 증기가 이동하는 것은 제1연결배관(142) 및 제2연결배관(133)을 통해 이동할 수 있다.

이때, 상술한 바와 같이, 본 발명에서 수집기(140)와 기화밸브(131)를 연결하는 제1연결배관(142) 및 기화밸브(131)와 멸균챔버(110)를 연결하는 제2연결배관(133)은 다른 연결배관, 즉, 제3연결배관(143) 내지 제5연결배관(132)보다 내경이 클 수 있으며, 예를 들어, 제3연결배관(143) 내지 제5연결배관(132)이 1/4 inch 배관인 경우, 상기 제1연결배관(142) 및 제2연결배관(133)은 1 inch 배관일 수 있다.

이는 수집기(140)로부터 멸균챔버(110)로 과산화수소 증기가 제1연결배관(142) 및 제2연결배관(133)을 통해 이동함에 있어서, 제5연결배관(132)으로 과산화수소 증기가 유입되는 것을 방지하기 위함으로, 상대적으로 내경이 큰 제1연결배관(142)으로 과산화수소 증기가 유입되고, 상대적으로 내경이 작은 제5연결배관(132)으로는 과산화수소 증기가 유입되지 않을 수 있다.

또한, 본 발명에서는 과산화수소 증기가 멸균챔버에 투입되어, 피처리물을 멸균처리함에 있어서, 과산화수소 증기의 온도가 높지 않은 상태에서 투입되는 것이 바람직하다.

멸균 챔버에 과산화수소 증기가 충분히 포화되기 전에 수집기에서 기화된 과산화수소 증기의 온도가 멸균 챔버의 온도보다 높은 상태에서 멸균챔버에 진입하는 경우, 진입 경로에 과산화수소 증기의 밀도가 과도한 상태가 되어 응축되기 쉽고, 기체 상태로 멸균챔버에 확산하는 절대적인 양을 감소시키게 되며 멸균을 위한 확산 효과에 나쁜 영향을 줄 수 있게 된다.

이때, 본 발명에서는 수집기(140)와 멸균챔버(110) 사이 경로의 배관이 다른 경로의 배관보다 내경이 클 수 있는데, 배관의 내경이 크다 함은 기체의 이동 양이 많음을 의미하고, 배관의 내경이 크면 기체의 이동 양이 많아지는 만큼 진공도에 의한 기화 구동력이 강하게 상승하여 기체 상태의 과산화수소 증기의 온도 상승을 방지할 수 있다.

즉, 기체의 이동 양이 적은 경우, 과산화수소 증기가 수집기에 체류되는 시간이 그만큼 증가하게 되고, 과산화수소의 기화 및 이동을 위해 온도 상승이 필요한 수집기에서 과산화수소 증기의 분해반응속도는 증가하게 되어 분해 부산물인 수증기와 산소기체의 농도가 높아지게 된다. 이는 과산화수소 확산에 방해요소인 수증기 양을 최소화시키고자 하는 이전 단계의 목적이 기화단계에서 상실되어 멸균 성능을 약화시킬 수 있다.

따라서, 본 발명에서는 수집기(140)와 멸균챔버(110) 사이 경로의 배관이 다른 경로의 배관보다 내경을 크게 함으로써, 과산화수소 증기의 온도가 높지 않은 상태에서 멸균챔버에 투입될 수 있으며, 온도에 따른 분해 반응이 최소화되면서 기상으로 충분한 확산을 통해 과산화수소 증기가 피멸균물에 접근하는 것이 용이하므로, 양호한 멸균 효과를 얻을 수 있다.

한편, 제4농도의 과산화수소수의 과산화수소 증기를 멸균챔버에 투입함에 있어서, 과산화수소는 멸균챔버로 기화 확산되는데, 상기 수집기(140)의 온도가 상기 멸균챔버의 온도에 도달하기 전에 과산화수소의 기화가 대부분 완료되도록 상기 수집기(140)의 승온속도를 제어할 수 있다.

즉, 과산화수소의 기화를 촉진하기 위해, 상기 수집기(140)를 온도제어수단에 의해 가열할 수 있는데, 상기 수집기를 가열하는 것은, 수집기의 온도가 상기 멸균챔버의 온도에 도달하기 전에 과산화수소의 기화가 80% 이상 완료되도록 승온속도를 제어할 수 있다.

이때, 상기 멸균챔버(110)의 압력은 0.5 내지 15 mb일 수 있으며, 온도는 45 내지 55℃일 수 있다.

또한, 상기 수집기(140)의 압력은 0.5 내지 15 mb이고, 온도는 30 내지 70℃일 수 있으며, 상기 기화기(130)의 압력은 0.5 내지 15 mb이고, 온도는 60 내지 70℃ 이상일 수 있다.

상기 각 단계에서의 압력 및 온도 조건을 정리하면 하기 표 2와 같다.

또한, 각 단계에서의 진공펌프부 및 밸브의 상태를 정리하면 하기 표 3과 같다.

상술한 바와 같이, 멸균 성능을 향상시키기 위해, 보다 농축된 과산화수소수를 사용하는 것이 바람직한데, 보다 농축된 과산화수소 용액을 사용하는 것은, 과산화수소 용액을 취급하는 데 있어서 과산화수소 용액의 농도가 60중량% 이하로 제한되어 있어서 높은 농도의 과산화수소를 멸균제로 쓰는 어려움이 있다.

하지만, 본 발명에서는 각 단계별 농축과정을 통하여, 95중량% 이상의 과산화수소수를 멸균제로 사용할 수 있으며, 따라서, 수증기에 의한 확산방해 요인이 줄어들면서 멸균효과를 크게 향상시킬 수 있다.

또한, 상술한 S130 단계인, 최초에 공급된 제1농도의 과산화수소 수용액으로부터 수분을 제거하여 제2농도의 과산화수소 수용액을 준비한 이후에, 상술한 S140 단계 및 S150 단계를 진행함으로써, 수집기에 수분이 접촉할 수 있는 가능성을 감소시킬 수 있다.

또한, 과산화수소수를 수집기에 투입함에 있어서, 과산화수소수의 수집기의 압력과 수집기의 온도에 따른 수분의 포화수증기압, 즉, 기화/응축 경계 압력을 낮추어 줌으로써 수분이 수집기에 접촉하더라도, 응축할 수 없는 조건이 되도록 할 수 있다.

본 발명에서는 이상과 같은 멸균장치 및 이를 이용한 멸균방법에 의하여, 대상물을 멸균할 수 있으며, 다만 상술한 멸균장치 및 이를 이용한 멸균방법은 일예에 해당할 뿐, 본 발명에서는 기본적인 멸균장치의 구성 및 이를 이용한 멸균방법을 제한하는 것은 아니다.

이하에서는, 본 발명에 따른 멸균장치의 진공펌프부에 대해, 보다 상세히 설명하기로 한다.

상술한 바와 같이, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 멸균장치는 멸균챔버; 및 상기 멸균챔버의 일측에 연결되는 진공펌프부를 포함한다.

즉, 상기 멸균장치를 통해 멸균 공정을 수행하기 위해서는 높은 출력의 진공펌프부를 포함하여야 하는데, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하면, 상기 진공펌프부의 진동이 증가하게 되고, 특히 멸균장치의 메인 프레임의 크기가 작고, 가벼운 경우에는, 상기 진공펌프부의 작동에 따른 진동에 의하여 소음이 증가하게 된다.

따라서, 본 발명에서는 후술할 바와 같은 진공펌프부의 구성을 통하여, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하더라도, 상기 진공펌프부의 진동을 최소화하기 위한 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치를 제공하고자 한다.

도 4는 일반적인 구조의 진공펌프부를 도시하는 개략적인 사시도이다.

도 4를 참조하면, 일반적인 구조의 진공펌프부(10)는, 진공펌프(30); 상기 진공펌프(30)에 진공을 형성하기 위한 모터(20); 및 상기 진공펌프(30)를 지지하기 위한 진공펌프 지지체(31)를 포함한다.

이때, 상기 모터(20)는, 상기 진공펌프(30)의 일측에 체결되어, 상기 진공펌프(30)는 상기 모터(20)의 회전에 의하여 진공을 형성할 수 있으며, 이는 당업계에서 자명한 사항이므로, 이하 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

계속해서, 도 4를 참조하면, 상기 진공펌프부(10)는, 상기 진공펌프 지지체(31)가 배치되는 베이스 플레이트(40)를 포함할 수 있으며, 다만, 상기 베이스 플레이트(40)는 상술한 멸균장치의 구성에 해당할 수 있으나, 본 발명에서는 설명의 편의를 위하여, 상기 베이스 플레이트(40)가 진공펌프부(10)의 구성인 것으로 정의할 수 있다.

이때, 상기 진공펌프 지지체(31)는, 상기 진공펌프(30)가 배치되는 영역으로, 도면에서는, 설명의 편의를 위하여, 상기 진공펌프(30)와 상기 진공펌프 지지체(31)를 별개의 구성인 것으로 도시하고 있으나, 상기 진공펌프 지지체(31)는, 상기 진공펌프(30)를 일정 영역에 체결하기 위한 구성에 해당하는 것으로, 본 발명에서, 상기 진공펌프 지지체(31)의 형상을 제한하는 것은 아니다.

또한, 상기 모터(20)는 상기 진공펌프(30)의 일측에 체결됨으로써, 상기 진공펌프(30)와 상기 모터(20)는, 상기 진공펌프 지지체(31)에 의해 동시에 지지될 수 있다.

계속해서, 도 4를 참조하면, 상기 진공펌프부(10)는, 상기 진공펌프 지지체(31)와 상기 베이스 플레이트(40)의 사이에 위치하는 완충부재를 포함하며, 보다 구체적으로, 상기 완충부재의 일측은 상기 진공펌프 지지체(31)에 체결되고, 상기 완충부재의 타측은 상기 베이스 플레이트(40)에 체결됨으로써, 상기 완충부재는, 상기 진공펌프 지지체(31)와 상기 베이스 플레이트(40)의 사이에 위치할 수 있다.

이때, 상기 완충부재는, 상기 진공펌프 지지체(31)의 일측 하부에 위치하는 제1-1완충부재(51); 상기 진공펌프 지지체(31)의 일측 하부에 위치하고, 상기 제1-1완충부재(51)와 일정 간격 이격하여 배치되며, 상기 제1-1완충부재(51)의 수평방향에 위치하는 제1-2완충부재(미도시)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 완충부재는, 상기 진공펌프 지지체(31)의 타측 하부에 위치하는 제2-1완충부재(52); 상기 진공펌프 지지체(31)의 타측 하부에 위치하고, 상기 제2-1완충부재(52)와 일정 간격 이격하여 배치되며, 상기 제2-1완충부재(52)의 수평방향에 위치하는 제2-2완충부재(미도시)를 포함할 수 있다.

이때, 상기 진공펌프 지지체(31)의 일측과 상기 진공펌프 지지체(31)의 타측은, 상기 진공펌프 지지체(31)의 길이방향을 기준으로 정의될 수 있다.

예를 들어, 상기 진공펌프 지지체(31)의 일측은, 상기 진공펌프 지지체의 길이방향을 기준으로 전방에 위치하는 영역으로 정의할 수 있고, 또한, 상기 진공펌프 지지체(31)의 타측은, 상기 진공펌프 지지체의 길이방향을 기준으로 후방에 위치하는 영역으로 정의할 수 있다.

또한, 상기 제1-1완충부재(51)의 수평방향 및 상기 제2-1완충부재(52)의 수평방향은 상기 진공펌프 지지체(31)의 폭방향을 기준으로 정의될 수 있고, 이때, 상기 진공펌프 지지체(31)의 폭방향은 상기 진공펌프 지지체(31)의 길이방향과 수직한 방향으로 정의할 수 있다.

이로써, 상기 완충부재는, 상기 진공펌프 지지체(31)를 사각형의 형상으로 정의시, 상기 사각형의 각 꼭지점 영역에 위치하는 것으로 정의할 수 있다.

한편, 이와 같은, 일반적인 구조의 진공펌프부(10)의 완충부재의 경우, 상기 모터에서 발생되는 진동을 상기 완충부재가 흡수하게 되나, 이러한 일반적인 구조에서는, 예를 들어, 유효용적 100L 급의 멸균챔버에서, 2HP정도의 진공펌프를 사용하는 경우에는, 진동 흡수 효과가 충분하였다.

하지만, 예를 들어, 동일한 유효용적의 멸균챔버에서, 3HP정도의 진공펌프를 사용하는 경우에는, 진동 흡수 효과가 충분하지 않은 문제점이 있다.

즉, 상술한 바와 같이, 상기 멸균장치를 통해 멸균 공정을 수행하기 위해서는 높은 출력의 진공펌프부를 포함하여야 하는데, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하면, 상기 진공펌프부의 진동이 증가하게 되고, 특히 멸균장치의 메인 프레임의 크기가 작고, 가벼운 경우에는, 상기 진공펌프부의 작동에 따른 진동에 의하여 소음이 증가하게 된다.

따라서, 본 발명에서는 후술할 바와 같은 본 발명에 따른 진공펌프부의 구성을 통하여, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하더라도, 상기 진공펌프부의 진동을 최소화하기 위한 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치를 제공하고자 한다.

도 5는 본 발명에 따른 진공펌프부를 도시하는 개략적인 사시도이고, 도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 진공펌프부를 도시하는 실사진이며, 도 8은 본 발명에 따른 진공펌프부의 진공펌프 안착 판넬을 도시하는 개략적인 사시도이다.

먼저, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 진공펌프부(200)는, 진공펌프(230); 상기 진공펌프(230)에 진공을 형성하기 위한 모터(220); 및 상기 진공펌프(230)를 지지하기 위한 진공펌프 지지체(231)를 포함한다.

이때, 상기 모터(220)는, 상기 진공펌프(230)의 일측에 체결되어, 상기 진공펌프(230)는 상기 모터(220)의 회전에 의하여 진공을 형성할 수 있으며, 이는 당업계에서 자명한 사항이므로, 이하 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

또한, 상기 진공펌프 지지체(231)는, 상기 진공펌프(230)가 배치되는 영역으로, 도면에서는, 설명의 편의를 위하여, 상기 진공펌프(230)와 상기 진공펌프 지지체(231)를 별개의 구성인 것으로 도시하고 있으나, 상기 진공펌프 지지체(231)는, 상기 진공펌프(230)를 일정 영역에 체결하기 위한 구성에 해당하는 것으로, 본 발명에서, 상기 진공펌프 지지체(231)의 형상을 제한하는 것은 아니다.

또한, 상기 모터(220)는 상기 진공펌프(230)의 일측에 체결됨으로써, 상기 진공펌프(230)와 상기 모터(220)는, 상기 진공펌프 지지체(231)에 의해 동시에 지지될 수 있다.

계속해서, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 진공펌프부(200)는, 상기 진공펌프 지지체(231)가 안착되는 진공펌프 안착 판넬(240); 및 상기 진공펌프 안착 판넬(240)이 배치되는 지지 프레임(210)을 포함한다.

보다 구체적으로, 상기 지지 프레임(210)은, 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 길이방향으로 배치되는 제1지지 프레임(210a); 및 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 길이방향으로 배치되고, 상기 제1지지 프레임(210a)과 일정 간격 이격하여 배치되는 제2지지 프레임(210b)을 포함한다.

다만, 상기 지지 프레임(210)은 상술한 멸균장치의 구성에 해당할 수 있으나, 본 발명에서는 설명의 편의를 위하여, 상기 지지 프레임(210)이 진공펌프부(200)의 구성인 것으로 정의할 수 있다.

이하에서는, 본 발명에 따른 진공펌프 안착 판넬(240)을 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 진공펌프 안착 판넬(240)은, 베이스 플레이트(241); 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트(241)로부터 연장되며, 상기 베이스 플레이트(241)의 상부 수직방향으로 연장되는 제1수직 플레이트(242); 상기 베이스 플레이트(241)의 길이방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트(241)로부터 연장되며, 상기 베이스 플레이트(241)의 상부 수직방향으로 연장되는 제2수직 플레이트(243); 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트(241)의 상부 수평방향으로 배치되며, 상기 제1수직 플레이트(242)로부터 연장되는 제1수평 플레이트(244); 및 상기 베이스 플레이트(241)의 길이방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트(241)의 상부 수평방향으로 배치되며, 상기 제2수직 플레이트(243)로부터 연장되는 제2수평 플레이트(245)를 포함한다.

또한, 상기 진공펌프 안착 판넬(240)은, 상기 베이스 플레이트(241), 상기 제1수직 플레이트(242) 및 상기 제2수직 플레이트(243)에 의해 형성되는 내부공간(241a)을 포함하며, 상기 진공펌프 지지체(231)는 상기 내부공간(241a)에 안착된다.

이때, 상기 내부공간(241a)의 높이는, 상기 제1수직 플레이트(242) 및 상기 제2수직 플레이트(243)의 높이에 의해 결정될 수 있다.

한편, 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향은 상기 베이스 플레이트(241)의 길이방향과 수직한 방향으로 정의될 수 있으며, 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향은, 상기 진공펌프 지지체(231)의 폭방향과 동일방향에 해당한다.

또한, 상기 제1수평 플레이트(244)가 상기 제1수직 플레이트(242)로부터 연장되는 되는 것은, 상기 내부공간(241a)의 외측방향으로 연장되는 것이고, 상기 제2수평 플레이트(245)가 상기 제2수직 플레이트(243)로부터 연장되는 되는 것은, 상기 내부공간(241a)의 외측방향으로 연장되는 것으로 정의할 수 있다.

계속해서, 도 8을 참조하면, 상기 제1수직 플레이트(242)는, 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향의 일측에 위치하는 제1-1수직 플레이트(242a); 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향의 타측에 위치하고, 상기 제1-1수직 플레이트(242a)와 일정 간격 이격하여 배치되는 제1-2수직 플레이트(242b)를 포함한다.

또한, 상기 제2수직 플레이트(243)는, 상기 베이스 플레이트(241)의 길이방향의 일측에 위치하는 제2-1수직 플레이트(243a); 상기 베이스 플레이트(241)의 길이방향의 타측에 위치하고, 상기 제2-1수직 플레이트(243a)와 일정 간격 이격하여 배치되는 제2-2수직 플레이트(243b)를 포함한다.

또한, 상기 제1수평 플레이트(244)는, 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향의 일측에 위치하는 제1-1수평 플레이트(244a); 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향의 타측에 위치하고, 상기 제1-1수평 플레이트(244a)와 일정 간격 이격하여 배치되는 제1-2수평 플레이트(244b)를 포함한다.

또한, 상기 제2수평 플레이트(245)는, 상기 베이스 플레이트(241)의 길이방향의 일측에 위치하는 제2-1수평 플레이트(245a); 상기 베이스 플레이트(241)의 길이방향의 타측에 위치하고, 상기 제2-1수평 플레이트(245a)와 일정 간격 이격하여 배치되는 제2-2수평 플레이트(245b)를 포함한다.

다만, 본 발명에서 상기 제2수평 플레이트(245) 및 상기 제2수직 플레이트(243)는 필수적인 것은 아니며, 따라서, 본 발명에서 상기 제2수평 플레이트(245) 및 상기 제2수직 플레이트(243)의 유무를 제한하는 것은 아니다.

이 경우, 즉, 상기 제2수평 플레이트(245) 및 상기 제2수직 플레이트(243)가 존재하지 않는 경우, 상기 제1수평 플레이트(244) 및 상기 제1수직 플레이트(242)는 필수적인 것으로, 이하, 수평 플레이트 및 수직 플레이트의 역할에 대해 설명하기로 한다.

계속해서, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 상술한 바와 같이, 상기 진공펌프부(200)는, 상기 진공펌프 지지체(231)가 안착되는 진공펌프 안착 판넬(240); 및 상기 진공펌프 안착 판넬(240)이 배치되는 지지 프레임(210)을 포함하며, 이때, 상기 지지 프레임(210)은, 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 길이방향으로 배치되는 제1지지 프레임(210a); 및 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 길이방향으로 배치되고, 상기 제1지지 프레임(210a)과 일정 간격 이격하여 배치되는 제2지지 프레임(210b)을 포함한다.

이때, 본 발명에 따른 진공펌프부(200)는, 상기 지지 프레임(210)과 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 제1수평 플레이트(244)의 사이에 위치하는 제1완충부재를 포함한다.

보다 구체적으로, 상기 제1완충부재는, 상기 지지 프레임(210)의 상기 제1지지 프레임(210a)과 상기 제1수평 플레이트(244)의 상기 제1-2수평 플레이트(244b)의 사이에 위치하는 제1-1완충부재; 및 상기 지지 프레임(210)의 상기 제2지지 프레임(210b)과 상기 제1수평 플레이트(244)의 상기 제1-1수평 플레이트(244a)의 사이에 위치하는 제1-2완충부재를 포함한다.

또한, 상기 제1-1완충부재는, 상기 제1-2수평 플레이트(244b)의 길이방향을 기준으로 전방 영역에 위치하는 전방 제1-1완충부재(211); 및 상기 제1-2수평 플레이트(244b)의 길이방향을 기준으로 후방 영역에 위치하는 후방 제1-1완충부재(212)를 포함한다.

또한, 상기 제1-2완충부재는, 상기 제1-1수평 플레이트(244a)의 길이방향을 기준으로 전방 영역에 위치하는 전방 제1-2완충부재(미도시); 및 상기 제1-1수평 플레이트(244a)의 길이방향을 기준으로 후방 영역에 위치하는 후방 제1-2완충부재(미도시)를 포함한다.

이때, 상기 전방 제1-1완충부재(211)와 상기 전방 제1-2완충부재(미도시)는 마주보고 배치되고, 상기 후방 제1-1완충부재(212)와 상기 후방 제1-2완충부재(미도시)는 마주보고 배치된다.

한편, 상기 제1완충부재는, 고무재질의 완충재가 별도의 체결수단을 통해, 상기 지지 프레임(210)과 상기 제1수평 플레이트(244)의 사이에 체결되어 위치할 수 있으며, 다만, 본 발명에서 상기 제1완충부재의 체결방법을 제한하는 것은 아니다.

또한, 상기 제1완충부재는 스프링과 같은 탄성체가 별도의 체결수단을 통해, 상기 지지 프레임(210)과 상기 제1수평 플레이트(244)의 사이에 체결되어 위치할 수 있으며, 다만, 본 발명에서 상기 제1완충부재의 체결방법을 제한하는 것은 아니며, 또한, 본 발명에서는 상기 제1완충부재의 종류를 제한하는 것은 아니다.

계속해서, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 진공펌프부(200)는, 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 상기 베이스 플레이트(241)와 상기 진공펌프 지지체(231)의 사이에 위치하는 제2완충부재를 포함한다.

보다 구체적으로, 상기 제2완충부재는, 상기 진공펌프 지지체(231)의 일측 하부에 위치하는 일측 제2-1완충부재(251); 상기 진공펌프 지지체(231)의 일측 하부에 위치하고, 상기 일측 제2-1완충부재(251)와 일정 간격 이격하여 배치되며, 상기 일측 제2-1완충부재(251)의 수평방향에 위치하는 일측 제2-2완충부재(253)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 제2완충부재는, 상기 진공펌프 지지체(231)의 타측 하부에 위치하는 타측 제2-1완충부재(252); 상기 진공펌프 지지체(231)의 타측 하부에 위치하고, 상기 타측 제2-1완충부재(252)와 일정 간격 이격하여 배치되며, 상기 타측 제2-1완충부재(252)의 수평방향에 위치하는 타측 제2-2완충부재(미도시)를 포함할 수 있다.

이때, 상기 진공펌프 지지체(231)의 일측과 상기 진공펌프 지지체(231)의 타측은, 상기 진공펌프 지지체(231)의 길이방향을 기준으로 정의될 수 있다.

예를 들어, 상기 진공펌프 지지체(231)의 일측은, 상기 진공펌프 지지체의 길이방향을 기준으로 전방에 위치하는 영역으로 정의할 수 있고, 또한, 상기 진공펌프 지지체(231)의 타측은, 상기 진공펌프 지지체의 길이방향을 기준으로 후방에 위치하는 영역으로 정의할 수 있다.

또한, 상기 일측 제2-1완충부재(251)의 수평방향 및 상기 타측 제2-1완충부재(252)의 수평방향은 상기 진공펌프 지지체(231)의 폭방향을 기준으로 정의될 수 있고, 이때, 상기 진공펌프 지지체(231)의 폭방향은 상기 진공펌프 지지체(231)의 길이방향과 수직한 방향으로 정의할 수 있다.

이로써, 상기 제2완충부재는, 상기 진공펌프 지지체(231)를 사각형의 형상으로 정의시, 상기 사각형의 각 꼭지점 영역에 위치하는 것으로 정의할 수 있다.

이때, 상기 일측 제2-1완충부재(251)와 상기 일측 제2-2완충부재(253)는 마주보며 배치되고, 상기 타측 제2-1완충부재(252)와 상기 타측 제2-2완충부재(미도시)는 마주보며 배치되는 것으로 정의할 수 있다.

또한, 상기 지지 프레임(210)의 길이방향을 기준으로, 상기 일측 제2-1완충부재(251)와 상기 타측 제2-1완충부재(252)는 동일선상에 배치되고, 상기 일측 제2-2완충부재(253)와 상기 타측 제2-2완충부재(미도시)는 동일선상에 배치되는 것으로 정의할 수 있다.

한편, 상기 제2완충부재는, 고무재질의 완충재가 별도의 체결수단을 통해, 상기 베이스 플레이트(241)와 상기 진공펌프 지지체(231)의 사이에 체결되어 위치할 수 있으며, 다만, 본 발명에서 상기 제2완충부재의 체결방법을 제한하는 것은 아니다.

또한, 상기 제2완충부재는 스프링과 같은 탄성체가 별도의 체결수단을 통해, 상기 베이스 플레이트(241)와 상기 진공펌프 지지체(231)의 사이에 체결되어 위치할 수 있으며, 다만, 본 발명에서 상기 제2완충부재의 체결방법을 제한하는 것은 아니며, 또한, 본 발명에서는 상기 제2완충부재의 종류를 제한하는 것은 아니다.

이상과 같이, 본 발명에서는, 상기 진공펌프 지지체(231)가 안착되는 진공펌프 안착 판넬(240); 및 상기 진공펌프 안착 판넬(240)이 배치되는 지지 프레임(210)을 포함한다.

이때, 본 발명에 따른 진공펌프부(200)는, 상기 지지 프레임(210)과 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 제1수평 플레이트(244)의 사이에 위치하는 제1완충부재를 포함하고, 또한, 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 상기 베이스 플레이트(241)와 상기 진공펌프 지지체(231)의 사이에 위치하는 제2완충부재를 포함한다.

즉, 상술한 바와 같이, 일반적인 구조의 진공펌프부의 완충부재의 경우, 단일의 완충부재를 포함하고 있기 때문에, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하면, 상기 진공펌프부의 진동이 증가하게 되고, 특히 멸균장치의 메인 프레임의 크기가 작고, 가벼운 경우에는, 상기 진공펌프부의 작동에 따른 진동에 의하여 소음이 증가하게 된다.

하지만, 본 발명에서는, 상기 진공펌프 지지체(231)가 안착되는 진공펌프 안착 판넬(240)을 도입하고, 또한, 이를 통하여, 상기 진공펌프 안착 판넬(240)과 상기 지지 프레임(210)의 사이에 위치하는 제1완충부재 및 상기 진공펌프 안착 판넬(240)과 상기 진공펌프 지지체(231)의 사이에 위치하는 제2완충부재를 도입함으로써, 2중의 완충부재를 통해, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하더라도, 상기 진공펌프부의 진동을 최소화할 수 있는 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치를 제공할 수 있다.

도 9는 일반적인 구조의 진공펌프부를 도시하는 정면 모식도이고, 도 10은 본 발명에 따른 진공펌프부를 도시하는 정면 모식도이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 2중의 완충부재를 통해, 상기 진공펌프부의 출력이 증가하더라도, 상기 진공펌프부의 진동을 최소화할 수 있는 진공펌프부 및 이를 포함하는 멸균장치를 제공할 수 있다.

이때, 본 발명에서는, 이와 같은 완충부재를 통한 진동의 최소화와 함께, 상기 진공펌프 지지체(231)가 안착되는 진공펌프 안착 판넬(240)을 도입함으로써, 상기 진공펌프부가 상기 멸균장치 내에서 차지하는 공간을 최소화할 수 있다.

보다 구체적으로, 상술한 도 8에서와 같이, 본 발명에 따른 진공펌프 안착 판넬(240)은, 베이스 플레이트(241); 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트(241)로부터 연장되며, 상기 베이스 플레이트(241)의 상부 수직방향으로 연장되는 제1수직 플레이트(242); 상기 베이스 플레이트(241)의 길이방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트(241)로부터 연장되며, 상기 베이스 플레이트(241)의 상부 수직방향으로 연장되는 제2수직 플레이트(243); 상기 베이스 플레이트(241)의 폭방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트(241)의 상부 수평방향으로 배치되며, 상기 제1수직 플레이트(242)로부터 연장되는 제1수평 플레이트(244); 및 상기 베이스 플레이트(241)의 길이방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트(241)의 상부 수평방향으로 배치되며, 상기 제2수직 플레이트(243)로부터 연장되는 제2수평 플레이트(245)를 포함한다.

즉, 상기 제1수평 플레이트(244)는 상기 제1수직 플레이트(242)로부터 연장된다.

또한, 상기 내부공간(241a)의 높이는, 상기 제1수직 플레이트(242) 및 상기 제2수직 플레이트(243)의 높이에 의해 결정될 수 있다.

이때, 본 발명에서는, 이러한 진공펌프 안착 판넬(240)의 구조, 즉, 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 상기 제1수평 플레이트(244)가 상기 지지 프레임(210)에 체결시키고, 또한, 상기 제1수평 플레이트(244) 보다 낮은 단차를 갖는 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 상기 베이스 플레이트(241)에 상기 진공펌프 지지체(231)를 안착시키는 구조를 통하여, 상기 진공펌프부가 상기 멸균장치 내에서 차지하는 공간을 최소화할 수 있다.

즉, 도 9의 일반적인 구조의 진공펌프부와 도 10은 본 발명에 따른 진공펌프부를 비교시, 본 발명에서는, 상기 제1수평 플레이트(244) 보다 낮은 단차를 갖는 상기 진공펌프 안착 판넬(240)의 상기 베이스 플레이트(241)에 상기 진공펌프 지지체(231)를 안착됨에 의하여, 상기 진공펌프부가 상기 멸균창치 내에서 배치되는 높이가 낮아짐으로써, 상기 진공펌프부가 상기 멸균장치 내에서 차지하는 공간을 최소화할 수 있다.

이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims

진공펌프;
상기 진공펌프를 지지하기 위한 진공펌프 지지체;
상기 진공펌프 지지체가 안착되는 진공펌프 안착 판넬;
상기 진공펌프 안착 판넬이 배치되는 지지 프레임;
상기 지지 프레임과 상기 진공펌프 안착 판넬의 사이에 위치하는 제1완충부재; 및
상기 진공펌프 안착 판넬과 상기 진공펌프 지지체의 사이에 위치하는 제2완충부재를 포함하고,
상기 진공펌프 안착 판넬은, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 폭방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트로부터 연장되며, 상기 베이스 플레이트의 상부 수직방향으로 연장되는 제1수직 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 폭방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트의 상부 수평방향으로 배치되며, 상기 제1수직 플레이트로부터 연장되는 제1수평 플레이트를 포함하는 진공펌프부.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 제1완충부재는, 상기 지지 프레임과 상기 진공펌프 안착 판넬의 상기 제1수평 플레이트의 사이에 위치하고,
상기 제2완충부재는, 상기 진공펌프 안착 판넬의 상기 베이스 플레이트와 상기 진공펌프 지지체의 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공펌프부.
제 1 항에 있어서,
상기 지지 프레임은, 상기 진공펌프 안착 판넬의 길이방향으로 배치되는 제1지지 프레임; 및 상기 진공펌프 안착 판넬의 길이방향으로 배치되고, 상기 제1지지 프레임과 일정 간격 이격하여 배치되는 제2지지 프레임을 포함하고,
상기 제1수직 플레이트는, 상기 베이스 플레이트의 폭방향의 일측에 위치하는 제1-1수직 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 폭방향의 타측에 위치하고, 상기 제1-1수직 플레이트와 일정 간격 이격하여 배치되는 제1-2수직 플레이트를 포함하며,
상기 제1수평 플레이트는, 상기 베이스 플레이트의 폭방향의 일측에 위치하는 제1-1수평 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 폭방향의 타측에 위치하고, 상기 제1-1수평 플레이트와 일정 간격 이격하여 배치되는 제1-2수평 플레이트를 포함하는 진공펌프부.
제 4 항에 있어서,
상기 제1완충부재는, 상기 제1지지 프레임과 상기 제1-2수평 플레이트의 사이에 위치하는 제1-1완충부재; 및 상기 제2지지 프레임과 상기 제1-1수평 플레이트의 사이에 위치하는 제1-2완충부재를 포함하고,
상기 제1-1완충부재는, 상기 제1-2수평 플레이트의 길이방향을 기준으로 전방 영역에 위치하는 전방 제1-1완충부재; 및 상기 제1-2수평 플레이트의 길이방향을 기준으로 후방 영역에 위치하는 후방 제1-1완충부재를 포함하며,
상기 제1-2완충부재는, 상기 제1-1수평 플레이트의 길이방향을 기준으로 전방 영역에 위치하는 전방 제1-2완충부재; 및 상기 제1-1수평 플레이트의 길이방향을 기준으로 후방 영역에 위치하는 후방 제1-2완충부재를 포함하는 진공펌프부.
제 4 항에 있어서,
상기 제2완충부재는, 상기 진공펌프 지지체의 일측 하부에 위치하는 일측 제2-1완충부재; 상기 진공펌프 지지체의 일측 하부에 위치하고, 상기 일측 제2-1완충부재와 일정 간격 이격하여 배치되며, 상기 일측 제2-1완충부재의 수평방향에 위치하는 일측 제2-2완충부재; 상기 진공펌프 지지체의 타측 하부에 위치하는 타측 제2-1완충부재; 상기 진공펌프 지지체의 타측 하부에 위치하고, 상기 타측 제2-1완충부재와 일정 간격 이격하여 배치되며, 상기 타측 제2-1완충부재의 수평방향에 위치하는 타측 제2-2완충부재를 포함하는 진공펌프부.
제 1 항에 있어서,
상기 진공펌프 안착 판넬은, 상기 베이스 플레이트의 길이방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트로부터 연장되며, 상기 베이스 플레이트의 상부 수직방향으로 연장되는 제2수직 플레이트; 및 상기 베이스 플레이트의 길이방향에 배치되고, 상기 베이스 플레이트의 상부 수평방향으로 배치되며, 상기 제2수직 플레이트로부터 연장되는 제2수평 플레이트를 더 포함하고,
상기 제2수직 플레이트는, 상기 베이스 플레이트의 길이방향의 일측에 위치하는 제2-1수직 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 길이방향의 타측에 위치하고, 상기 제2-1수직 플레이트와 일정 간격 이격하여 배치되는 제2-2수직 플레이트를 포함하며,
상기 제2수평 플레이트는, 상기 베이스 플레이트의 길이방향의 일측에 위치하는 제2-1수평 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 길이방향의 타측에 위치하고, 상기 제2-1수평 플레이트와 일정 간격 이격하여 배치되는 제2-2수평 플레이트를 포함하는 진공펌프부.