DE102011087211B4

DE102011087211B4 - Detektoranordnung eines ionisierende Strahlung detektierenden Detektors eines bildgebenden Systems mit Luftkühlung und Verfahren zur Kühlung der Detektoranordnung

Info

Publication number: DE102011087211B4
Application number: DE102011087211.6A
Authority: DE
Inventors: Dr. Niederlöhner Daniel; Claus Pohan
Original assignee: Siemens Healthcare GmbH
Current assignee: Siemens Healthcare GmbH
Priority date: 2011-11-28
Filing date: 2011-11-28
Publication date: 2019-06-27
Anticipated expiration: 2031-11-29
Also published as: CN103126708A; US20130134313A1; US8987673B2; DE102011087211A1; CN103126708B

Abstract

Detektoranordnung eines ionisierende Strahlung detektierenden Detektors eines bildgebenden Systems, aufweisend:1.1. einen Detektorträger (1),1.2. eine Vielzahl von am Detektorträger befestigten Detektormodulen (2),1.3. einen in Strahlrichtung vor den Detektormodulen (2) angeordneten Kollimator (3),1.4. wobei die Detektoranordnung auf einer um eine z-Achse rotierenden Gantry angeordnet ist und ihre größte Längenausdehnung in Umfangsrichtung aufweist, und1.5. die Detektormodule Messsensoren (8) mit einem Sensormaterial aufweisen, die auf der Seite einer einfallenden zu messenden Strahlung angeordnet sind, wobei1.6. die Messsensoren (8) Sensormaterial aufweisen, welches Röntgenstrahlung unmittelbar in elektrische Ladung umwandelt und die Detektormodule (2) Schaltungsanordnungen aufweisen, welche die Energie und die Anzahl einfallender Photonen bestimmen,dadurch gekennzeichnet, dass 1.7. zwischen dem Kollimator (3) und den Messsensoren (8) der Detektormodule (2) mindestens ein Kühlkanal(7) zur Durchleitung von Kühlluft angeordnet und derart ausgebildet ist, dass die Kühlluft unmittelbar über das Sensormaterial streicht und damit dort entstandene Wärme zumindest während des Betriebes stetig direkt an die Kühlluft abführt, wobei1.8. für jedes Detektormodul (2) ein Kühlkanal (7) sowie ein Zuluftkanal (5a) und ein Abluftkanal (5b) vorgesehen ist, sodass mittels einstellbarer Drosselelemente jedem Detektormodul (2) gezielt ein individueller Kühlluftstrom zugeordnet werden kann, und1.9. und die Zuluftkanäle (5a) und die Abluftkanäle (5b) jeweils derart auf der gleichen Seite der Detektormodule (2) angeordnet sind, dass eine Kühlluftströmung parallel zur z-Achse entsteht.

Description

Die Erfindung betrifft eine Detektoranordnung eines CT-Systems, aufweisend einen Detektorträger, eine Vielzahl von am Detektorträger befestigten Detektormodulen und einen in Strahlrichtung vor den Detektormodulen angeordneten Kollimator, wobei die Detektormodule Messsensoren aufweisen, die auf der Seite einer einfallenden zu messenden Strahlung angeordnet sind. Außerdem betrifft die Erfindung auch ein Verfahren zur Kühlung einer Detektoranordnung eines um eine Systemachse rotierenden Detektors eines CT-Systems mit einer Vielzahl nebeneinander angeordneter Messsensoren und in Strahlrichtung vor den Messsensoren angeordnetem Kollimator.
Detektoranordnungen eines durch ionisierende Strahlung detektierenden Detektors eines bildgebenden Systems mit Luftkühlung und Kühlungsverfahren für solche Detektoranordnungen sind allgemein bekannt. Beispielhaft wird auf die Druckschrift US 2005/0117698 A1 verwiesen. Dort wird ein Strahlungsdetektor eines CT-Systems vorgestellt, bei dem ein umlaufender Luftstrom durch aktive Kühlungselemente, zum Beispiel ein Peltierelement, gekühlt wird und zur Kühlung des Detektors durch Zwischenräume der Detektorelektronik geführt wird.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine verbesserte Detektoranordnung eines ionisierende Strahlung detektierenden Detektors eines bildgebenden Systems mit Luftkühlung und ein verbessertes Verfahren zur Kühlung der Detektoranordnung zu finden.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand untergeordneter Ansprüche.
Messmodule von CT-Detektoren besitzen in der Regel temperaturabhängige Eigenschaften, so dass ohne korrigierende Maßnahmen wie Kühlung, Temperaturstabilisierung, etc. Temperaturabhängigkeiten der Sensoren zu Fehlern bei der Intensitätsmessung der Strahlung und damit zu Bildartefakten führen. Dies gilt insbesondere für Messmodule, bei denen in SandwichBauweise direkt unterhalb des aus Szintillatorarray und Photodiodenarray bestehenden Sensors Analog/Digital-Wandlerelemente angeordnet sind. Diese A/D-Wandler erzeugen Verlustwärme, die abgeführt werden muss. Noch kritischer ist dies Temperaturabhängigkeit des Sensors bei photonenzählenden Direktwandlersystemen, sog. „zählenden Detektoren“, deren Sensormaterial zum Beispiel auf CdTe basiert und bei denen die Bestrahlung des Sensormaterials und die Abführung der dort entstandenen Ladung durch eine angelegte Spannung selbst Wärme erzeugt.
Außerdem kann durch den funktionsmäßig notwendigen und schwer vermeidlich auch thermisch gekoppelten Sandwichaufbau der Sensoren mit der als ASIC ausgeführten Sensorelektronik - auch trotz einer Ankopplung rückseitiger Kühlkörper oder einer sonstigen gegebenenfalls vorhandenen Kühlung der Sensorelektronik - ein nicht unwesentlicher und damit bildrelevanter Wärmeeintrag in das Sensormaterial selbst erfolgen.
Die Erfinder haben erkannt, dass die Messgenauigkeit solcher Detektoren, insbesondere zählender Detektoren, wesentlich zu verbessern ist, wenn dafür gesorgt wird, dass ein Kühlluftstrom unmittelbar die Oberfläche des Sensormaterials überstreicht und damit diese auf einer während des Messvorganges immer gleichmäßigen Temperatur hält. Besonders günstig ist es bei dem flächig ausgebildeten Detektor die Strömungsrichtung derart zu wählen, dass sie entlang der kürzesten Länge der vom Sensormaterial gebildeten Fläche geleitet wird, damit möglichst kein relevanter Erwärmungsprozess der Kühlluft während des Überstreichens der Sensorfläche entsteht. Damit wird für eine gleichmäßige Kühlung über die gesamte Fläche des Detektors gesorgt und das temperaturabhängige Driften, insbesondere eines zählenden Detektors, stark reduziert bis vermieden.
Entsprechend dieser Erkenntnis schlagen die Erfinder vor, eine Detektoranordnung eines durch ionisierende Strahlung detektierenden Detektors eines bildgebenden Systems, aufweisend einen Detektorträger, eine Vielzahl von am Detektorträger befestigten Detektormodulen, einen in Strahlrichtung vor den Detektormodulen angeordneten Kollimator, wobei die Detektormodule Messsensoren aufweisen, die auf der Seite einer einfallenden zu messenden Strahlung angeordnet sind, dahingehend zu verbessern, dass zwischen dem Kollimator und den Messsensoren der Detektormodule mindestens ein Kühlkanal zur Durchleitung von Kühlluft angeordnet ist.
Dieser als Kanal wirkende Kühlkanal dient dazu, die Kühlluft für das Sensormaterial unmittelbar über das Sensormaterial streichen zu lassen und damit dort entstandene Wärme stetig und zumindest während des Betriebes abzuführen. Damit wird das Sensormaterial stets auf einer gleich bleibenden Temperatur gehalten, so dass eine Sensordrift möglichst vermieden wird.
Bei dieser Detektoranordnung sind am Detektorträger eine Vielzahl von Luftkanälen zum Kühllufttransport in und aus dem mindestens einen Kühlkanal ausgebildet ist. Hierdurch kann der Kühlluftstrom so ausgerichtet werden, dass möglichst keine Verluste an der Kühlleistung entstehen.
Günstig ist beim Vorhandensein solcher Luftkanäle, dass die Luftkanäle zumindest teilweise als Zuluftkanäle ausgebildet sind, welche eine gezielte Kühlluftzuführung an den mindestens einen Kühlkanal zwischen den Messsensoren und dem Kollimator bewirken. Andererseits sind die Luftkanäle zumindest teilweise als Abluftkanäle ausgebildet, welche eine gezielte Kühlluftabführung von dem mindestens einen Kühlkanal bewirken. Insgesamt kann durch die Zu- und Abluftkanäle eine gezielte Luftführung zur optimalen Kühlung der Messsensoren erreicht werden.
Erfindungsgemäß ist für jedes Detektormodul genau ein Kühlkanal und jeweils ein Zuluftkanal und ein Abluftkanal ausgebildet. Hierdurch wird jedem Detektormodul gezielt ein individueller Luftstrom zugeordnet, der individuell über einstellbare Drosselelemente beeinflussbar ist, so dass durch Steuerung oder Regelung des Durchflusses je Detektormodul insgesamt eine optimal gleichmäßige Temperatur über den gesamten Detektor möglich ist.
Zur Versorgung der Luftkanäle mit Kühlluft kann zum Beispiel ein mit Überdruck beaufschlagter Druckkanal am Detektorträger der Gantry angeordnet werden, welcher Kühlluft zuführt. Alternativ oder zusätzlich kann auch zum Abtransport der Kühlluft ein mit Unterdruck beaufschlagter Saugkanal am Detektorträger angeordnet sein, welcher verbrauchte Kühlluft abführt.
Erfindungsgemäß werden für eine gleichmäßige Kühlung einer auf einer um eine z-Achse rotierenden Gantry angeordneten Detektoranordnung mit einer größeren Längenausdehnung in Umfangsrichtung die Zuluftkanäle beziehungsweise die Abluftkanäle jeweils derart auf der jeweils gleichen Seite der Detektormodule angeordnet, dass eine Kühlluftströmung parallel zur z-Achse, auch Systemachsenrichtung genannt, entsteht. Dadurch wird vermieden, dass während des Weges der Kühlluft entlang der Sensorfläche eine relevante Erwärmung eintritt und der Kühlungseffekt entlang des Weges der Kühlluft auf der Sensorfläche weitestgehend gleich bleibt.
Bei der erfindungsgemäßen Detektoranordnung können die Detektormodule durch Detektormodulträger am Detektorträger befestigt sein und auch der Kollimator aus mehreren Modulen aufgebaut sein. Die Befestigung der Detektormodule kann dabei derart gestaltet sein, dass die Befestigungselemente, die die Detektormodule am Detektorträger befestigen, zusammen mit dem Detektorträger die Zu- und Abluftkanäle formen, wobei diese Kanäle auch durch Halteelemente, z.B. Schrauben, durchdrungen werden und an diesen Stellen zur Vermeidung von Widerständen Erweiterungen um die Halteelemente aufweisen.
Zusätzlich zu der erfindungsgemäß ausgebildeten Kühlung der Messsensoren kann die Detektoranordnung auch eine zusätzliche Kühlung der Detektormodule für die dort enthaltene Messelektronik aufweisen.
Weiterhin weisen die Messsensoren Sensormaterial auf, welches Röntgenstrahlung unmittelbar in elektrische Ladung umwandelt und die Detektormodule Schaltungsanordnungen aufweisen, welche die Energie und die Anzahl einfallender Photonen bestimmen. Das heißt, die Detektoranordnung kann als zählender, insbesondere photonenzählender, Detektor ausgebildet sein.
Weiterhin kann die Detektoranordnung vornehmlich in einem CT-System, einem PET-System, einem SPECT-System, oder in einer Kombination der vorgenannten Systeme verbaut sein.
Neben der erfindungsgemäßen Detektoranordnung schlagen die Erfinder auch ein Verfahren zur Kühlung einer Detektoranordnung eines um eine Systemachse rotierenden Detektors mit einer Vielzahl nebeneinander angeordneter Messsensoren und in Strahlrichtung vor den Messsensoren angeordnetem Kollimator vor, wobei zwischen dem Kollimator und den Messsensoren durch mindestens einen Kühlkanal Kühlluft in oder entgegen der Systemachsenrichtung gefördert wird, welche unmittelbar die Oberfläche der Messsensoren kühlt.
Im Folgenden wird die Erfindung anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispieles mit Hilfe der Figuren näher beschrieben, wobei nur die zum Verständnis der Erfindung notwendigen Merkmale dargestellt sind. Es werden folgende Bezugszeichen verwendet: C1: CT-System; C2: Röntgenröhre; C3: Detektor; C6: Gantrygehäuse; C8: Liege; C9: Systemachse / z-Achse; C10: Steuer- und Recheneinheit; 1: Detektorträger; 1a: Bodenplatte; 2: Detektormodule; 3: Kollimator; 4: Lufteinlassöffnungen; 5a: Zuluftkanal; 5b: Abluftkanal; 6, 6a: Modulträger; 7: Kühlkanal; 8: Messsensoren; P: Patient; Prg₁-Prg_n : Computerprogramm.
Es zeigen im Einzelnen:

1 ein CT-System mit zählendem Detektor mit erfindungsgemäßer Luftkühlung,
2 eine 3D-Ansicht eines Detektorträgers für eine Vielzahl von Detektormodulen mit zwei beispielhaft eingebauten Detektormodulen von radial außen,
3 eine Detailansicht im Bereich der verbauten Detektormodule aus 2 und
4 eine weitere 3D-Ansicht eines Detektorträgers für eine Vielzahl von Detektormodulen mit zwei beispielhaft eingebauten Detektormodulen von radial innen.

Die 1 zeigt ein CT-System C1 zur bildgebenden Darstellung eines Patienten P mit Hilfe tomographischer Darstellungen. Das CT-System besteht aus einem Gantrygehäuse C6, in dem sich eine nicht näher dargestellte Gantry befindet, an der ein Detektorsystem C3 mit einer erfindungsgemäßen Detektoranordnung befestigt ist. Zur Abtastung des Patienten P wird Röntgenstrahlung von einer gegenüberliegend an der Gantry angebrachten Röntgenröhre C2 zum Detektor C3 ausgestrahlt und die durch den Patienten geschwächte Strahlung pixelweise bezüglich ihrer Intensitätsschwächung aus einer Vielzahl von Projektionswinkeln bei rotierender Gantry gemessen. Während der Messung und Rotation der Gantry um die Systemachse beziehungsweise z-Achse C9 kann der Patient P mit Hilfe der entlang der Systemachse C9 verfahrbaren Liege C8 durch das Messfeld im Gantrygehäuse C6 kontinuierlich oder sequentiell bewegt werden, so dass eine spiralförmige oder kreisförmige Abtastung des Patienten P entsteht.
Gesteuert wird dieser Vorgang durch eine Steuer- und Recheneinheit C10, welche auch Programme Prg₁-Prg_n im Speicher aufweist, die im Betrieb die empfangenen Detektordaten auswertet und die Rekonstruktion tomographischer Aufnahmen durchführt. Wird der zählende Detektor C3 energieselektiv betrieben, so können energieselektive tomographische Bilddaten ermittelt werden und damit auch Materialzerlegungen oder p/Z-Zerlegungen ausgeführt werden. Hierfür sind allerdings sehr genaue Intensitätsmessungen mit dem Detektor C3 notwendig, damit keine Bildartefakte die Ergebnisse stören.
Erfindungsgemäß ist daher der Detektor entsprechend einer Detektoranordnung aufgebaut, wie sie in den 2 bis 4 gezeigt ist.
Die 2 zeigt eine 3D-Ansicht eines Detektorträgers für eine Vielzahl von Detektormodulen mit zwei beispielhaft eingebauten Detektormodulen 2 von radial außen. Eine Detailansicht dieser Ausgestaltung im Bereich der montiert gezeigten Detektormodule 2 ist in der 3 dargestellt und die 4 zeigt eine 3D-Ansicht der Detektorträgers von radial innen.
Der Detektor besteht dabei aus einem Detektorträger 1, in dem mehrere Detektormodule 2 bogenförmig und auf den Focus einer hier nicht dargestellten Strahlenquelle - zum Beispiel dem Fokus der Röntgenröhre C2 aus 1 - ausgerichtet montiert sind. Direkt unterhalb der Detektormodule 2 befindet sich ebenfalls bogenförmig angeordnet eine Reihe von Lufteinlassöffnungen 4 innerhalb der Bodenplatte 1a des Detektorträgers 1.
Diese Einlassöffnungen 4 sind im montierten Zustand des Detektors im CT-System mit einem nicht dargestellten Ausgleichskanal verbunden, der im Betrieb durch Überdruck eine Kühlluftströmung durch die Einlassöffnungen 4 in den Detektorinnenraum erzeugt. Diese Luftströmung wird zwischen dem Kollimator 3 und den Detektormodulen 2 direkt über die Oberfläche der Messsensoren 8 geleitet.
Dies wird dadurch erreicht, dass der Detektorträger 1 und die Detektormodule 2 konstruktiv so aufgebaut sind, dass ein durchgängiger Kühlkanal 7 zwischen den Messsensoren 8 bzw. deren Oberflächen und den davor befindlichen Kollimatoren 3 vorhanden ist.
Der komplette Kühlkanal 7 wird hierbei durch die folgenden Komponenten gebildet:

- unterhalb der Messsensoren 8 in z-Richtung: Lufteinlassöffnungen 4 und Modulträger 6, 6a beziehungsweise Auflagefläche des Detektormoduls 2 und unterer Luftkanal 5a, wobei der untere Luftkanal 5a hierbei eine volumenförmige Aussparung an der Modulanlagefläche im Detektorträger 1 ist;
- im Bereich der Messsensoren 8: Oberfläche der Messsensoren 8 und Strahlenaustrittsseite des Kollimators 3;
- oberhalb der Messsensoren 8 in z-Richtung: Auflagefläche des Detektormoduls 2 und oberer Luftkanal 5b.

Der Kühlkanal 7 im Bereich der Messsensoren 8 beziehungsweise der Abstand zwischen der Strahlenaustrittsseite des Kollimators 3 und der Messsensoren 8 wird in dem gezeigten Ausführungsbeispiel also dadurch realisiert, dass der brückenförmige Kollimator 3 im Gegensatz zu Ausführungen des Standes der Technik nicht direkt auf den Sensoroberflächen aufsitzt oder aufgeklebt ist, sondern von vorne separat in den Detektorträger 1 montiert ist und somit ein Abstand zwischen Sensorfläche und Kollimator eingehalten wird, so dass ein konstruktiver Spalt entsteht.
Alternativ kann der Kühlkanal 7 auch durch andersartige konstruktive Ausgestaltungen als in dem Ausführungsbeispiel realisiert werden. So können auch die Detektormodule 2 anstelle des Detektorträgers 1 entsprechende Ausnehmungen an den Anlageflächen zur Bildung des Luftkanals aufweisen. Auch ist eine Montage der brückenförmigen Kollimatoren 3 direkt auf den Detektormodulen 2 möglich, wenn die Kollimatoren 3 über Abstandshalter mit entsprechenden Lufteinlassöffnungen montiert werden. Diese Abstandshalter können auch integrierter Bestandteil der Kollimatoren 3 selbst sein.
Erfindungswesentlich ist bei der gezeigten Ausführung der Detektoranordnung, dass durch die hier gezeigte konstruktive Ausführung die Möglichkeit besteht, die temperaturempfindlichen Messsensoren 8 direkt an ihrer Oberfläche zu kühlen und damit eine wesentlich bessere Wärmeableitung als über dahinter befindliche Kühlkörper zu erreichen. Durch die Luftströmung in z-Richtung der Module ist gewährleistet, dass die Kühlluft nur einen relativ kurzen Weg über die in z-Richtung angeordneten Sensorelemente zurücklegen muss. Dies verhindert, dass sich die Luft über lange Wegstrecken stark aufheizen kann, was bei einer Durchströmung in φ-Richtung beziehungsweise bei einer über mehrere Detektormodule 2 übergreifenden Strömung der Kühlluft zu großen Temperaturgradienten führen würde.
Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, dass zur direkten Kühlung der Messsensoren 8 mit Ausnahme von Luft keine strahlenabsorbierenden Materialien zwischen der Röntgenstrahlquelle und den Messsensoren 8 notwendig sind. Es wird lediglich ein nur sehr gering Strahlung absorbierender Luftstrom über die Sensoroberflächen geführt. Durch die erfindungsgemäße direkte Luftkühlung über die Oberfläche der Sensoren können Temperaturschwankungen drastisch minimiert werden.
Obwohl die Erfindung im Detail durch das bevorzugte Ausführungsbeispiel näher illustriert und beschrieben wurde, so ist die Erfindung nicht durch die offenbarten Beispiele eingeschränkt und andere Variationen können vom Fachmann hieraus abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen.

Claims

Detektoranordnung eines ionisierende Strahlung detektierenden Detektors eines bildgebenden Systems, aufweisend: 1.1. einen Detektorträger (1), 1.2. eine Vielzahl von am Detektorträger befestigten Detektormodulen (2), 1.3. einen in Strahlrichtung vor den Detektormodulen (2) angeordneten Kollimator (3), 1.4. wobei die Detektoranordnung auf einer um eine z-Achse rotierenden Gantry angeordnet ist und ihre größte Längenausdehnung in Umfangsrichtung aufweist, und 1.5. die Detektormodule Messsensoren (8) mit einem Sensormaterial aufweisen, die auf der Seite einer einfallenden zu messenden Strahlung angeordnet sind, wobei 1.6. die Messsensoren (8) Sensormaterial aufweisen, welches Röntgenstrahlung unmittelbar in elektrische Ladung umwandelt und die Detektormodule (2) Schaltungsanordnungen aufweisen, welche die Energie und die Anzahl einfallender Photonen bestimmen, dadurch gekennzeichnet, dass 1.7. zwischen dem Kollimator (3) und den Messsensoren (8) der Detektormodule (2) mindestens ein Kühlkanal(7) zur Durchleitung von Kühlluft angeordnet und derart ausgebildet ist, dass die Kühlluft unmittelbar über das Sensormaterial streicht und damit dort entstandene Wärme zumindest während des Betriebes stetig direkt an die Kühlluft abführt, wobei 1.8. für jedes Detektormodul (2) ein Kühlkanal (7) sowie ein Zuluftkanal (5a) und ein Abluftkanal (5b) vorgesehen ist, sodass mittels einstellbarer Drosselelemente jedem Detektormodul (2) gezielt ein individueller Kühlluftstrom zugeordnet werden kann, und 1.9. und die Zuluftkanäle (5a) und die Abluftkanäle (5b) jeweils derart auf der gleichen Seite der Detektormodule (2) angeordnet sind, dass eine Kühlluftströmung parallel zur z-Achse entsteht.
Detektoranordnung gemäß dem voranstehenden Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein überdruckführender Druckkanal am Detektorträger (1) vorgesehen ist, welcher Kühlluft zuführt.
Detektoranordnung gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein unterdruckführender Saugkanal am Detektorträger (1) vorgesehen ist, welcher verbrauchte Kühlluft abführt.
Detektoranordnung gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektormodule (2) durch Detektormodulträger (6, 6a) am Detektorträger (1) befestigt sind.
Detektoranordnung gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Kollimator (3) aus mehreren Modulen besteht.
Detektoranordnung gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine zusätzliche Kühlung der Detektormodule (2) für die dort enthaltene Messelektronik vorgesehen ist.
Detektoranordnung gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoranordnung in einem System der nachfolgenden Liste verbaut ist: - CT-System, - PET-System, - SPECT-System, - Kombination der vorgenannten Systeme.
Verfahren zur Kühlung einer Detektoranordnung eines auf einer Gantry angeordneten um eine z-Achse rotierenden Detektors mit einer Vielzahl nebeneinander angeordneter Messsensoren (8) und in Strahlrichtung vor den Messsensoren (8) angeordnetem Kollimator (3) gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Kollimator (3) und den Messsensoren (8) durch mindestens einen Kühlkanal (7) Kühlluft in oder entgegen der z-Achse gefördert wird, welche unmittelbar die Oberfläche der Messsensoren (8) kühlt.