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Die Herstellung von elektronischen Schaltelementen unter Verwendung von Flüssigphasenabscheidungstechniken ist von grundlegendem Interesse, da solche Techniken potentiell kostengünstige Alternativen zu herkömmlichen, etablierten Technologien mit amorphem Silicium für elektronische Anwendungen wie z. B. Dünnschichttransistoren (TFTs), Licht emittierenden Dioden (LEDs), RFID-Tags, Solarzellen usw. bieten. Das Aufbringen und/oder Strukturieren von funktionellen Elektroden, Pixelkontaktflächen und Leiterbahnen, Leitungen und Spuren, welche die Leitfähigkeits-, Verarbeitungs- und Kostenanforderungen für praktische Anwendungen erfüllen, stellte jedoch eine große Herausforderung dar. Silber ist für leitende Elemente für elektronische Vorrichtungen von besonderem Interesse, da Silber weniger Kosten verursacht als Gold und eine viel bessere Umweltstabilität aufweist als Kupfer. Es besteht daher eine Lücke, die Gegenstand der Ausführungsformen hierin ist, was kostengünstigere Verfahren zur Herstellung von flüssig verarbeitbaren, stabilen Silberzusammensetzungen angeht, die für eine Herstellung von elektrisch leitfähigen Elementen von elektronischen Vorrichtungen geeignet sind.
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In Lösung verarbeitbare Leiter sind für gedruckte elektronische Anwendungen wie Elektroden, Leiterbahnen in Dünnschichttransistoren, RFID-Tags, Solarzellen usw. von großem Interesse. Leitfähige Tinten auf Basis von Silbernanopartikeln stellen eine vielversprechende Materialklasse für gedruckte Elektronik dar. Die meisten Silbernanopartikel benötigen jedoch Stabilisatoren mit großem Molekulargewicht, um eine geeignete Löslichkeit und Stabilität bei der Bildung einer druckbaren Lösung zu gewährleisten. Diese Stabilisatoren mit großem Molekulargewicht erhöhen unweigerlich die Tempertemperaturen für die Silbernanopartikel auf mehr als 200°C, um die Stabilisatoren zu entfernen, wobei diese Temperaturen mit den meisten kostengünstigen Kunststoffsubstraten unverträglich sind und Schäden oder Deformationen daran hervorrufen können.
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Des Weiteren kann die Verwendung von Stabilisatoren mit niedrigerem Molekulargewicht ebenfalls Probleme verursachen, da Stabilisatoren mit geringen Größen häufig nicht die gewünschte Löslichkeit bieten und häufig bei der effizienten Verhinderung von Koaleszenz oder Aggregation der Silbernanopartikel vor der Verwendung versagen. Daher bietet die Verwendung von Organoaminen als Stabilisatoren die gewünschte Löslichkeit und ermöglicht dabei aber doch die Koaleszenz oder Aggregation der Silbernanopartikel.
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Vorhergehende Verfahren im Labormaßstab zur Herstellung von Silbernanopartikeln verwendeten mehrere Schritte und waren umständlich und zeitaufwändig. Die Ergebnisse waren nicht reproduzierbar oder konnte nicht leicht für eine Herstellung in großem Maßstab hochskaliert werden. Außerdem erwies sich das resultierende Produkt typischerweise als klebrige Paste, die zu Handhabungsproblemen führte. Zudem hatte das Endprodukt eine kurze Lagerbeständigkeit und eine geringe Reinheit.
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Daher besteht ein Bedarf, der Gegenstand der Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung ist, an kostengünstigeren Verfahren zur Herstellung von flüssig verarbeitbaren, stabilen silberhaltigen Nanopartikelzusammensetzungen in großem Maßstab, die für eine Herstellung von elektrisch leitfähigen Elementen von elektronischen Vorrichtungen geeignet sind.
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Die vorliegende Anmeldung offenbart in verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen Verfahren zur Herstellung von silberhaltigen Nanopartikelzusammensetzungen sowie die so hergestellten Zusammensetzungen. Vorrichtungen wie z. B. Dünnschichttransistoren, die diese Nanopartikelzusammensetzungen einsetzen, werden ebenfalls offenbart.
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In Ausführungsformen wird ein Verfahren zur Herstellung von Organoamin stabilisierten Silbernanopartikeln offenbart, das Folgendes umfasst: Bilden einer erhitzten, ein organisches Lösungsmittel und eine erste Menge Organoamin umfassenden Lösung, Zugeben eines Silbersalzes zu der Lösung, Zugeben einer zweiten Menge Organoamin zu der Lösung, Zugeben eines Organohydrazins zu der Lösung, und Ausfällen der Lösung und Gewinnung der Organoamin stabilisierten Silbernanopartikel, wobei das Molverhältnis von Silbersalz zum gesamten Organoamin von etwa 1:4 bis etwa 1:10 beträgt.
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In Ausführungsformen wird auch ein Verfahren zur Herstellung von Organoamin stabilisierten Silbernanopartikeln offenbart, das Folgendes umfasst: Bilden einer ein organisches Lösungsmittel und eine erste Menge Organoamin enthaltenden Lösung mit einer ersten Temperatur; Zugeben des Silbersalzes zu der Lösung, Zugeben einer zweiten Menge Organoamin zu der Lösung; Herunterkühlen der Lösung auf eine zweite Temperatur, Zugeben eines Organohydrazins zu der Lösung, Ausfällen der Lösung und Gewinnung der Organoamin stabilisierten Silbernanopartikel, Herunterkühlen der Lösung auf eine dritte Temperatur, Zugeben eines Nichtlösungsmittels zu der Lösung; Zugeben von Isopropanol zu der Lösung, um die Silberpartikel aus der Lösung abzutrennen, und Waschen der Silbernanopartikel, wobei das Molverhältnis von Silbersalz zum gesamten Organoamin von etwa 1:4 bis etwa 1:10 beträgt.
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Außerdem wird in Ausführungsformen ein Verfahren zur Bildung von leitfähigen Merkmalen auf einem Substrat beschrieben, das Folgendes umfasst: Bereitstellen einer flüssigen, mit dem oben beschriebenen Verfahren hergestellte Zusammensetzung, die Organoamin stabilisierte Silbernanopartikel umfasst, Abscheiden der flüssigen Zusammensetzung auf einem Substrat zur Bildung von abgeschiedenen Merkmalen, und Erhitzen der abgeschiedenen Merkmale auf dem Substrat auf eine Temperatur von etwa 100°C bis etwa 200°C zur Bildung von leitfähigen Merkmalen auf dem Substrat, wobei das Molverhältnis von Silbersalz zum gesamten Organoamin von etwa 1:4 bis etwa 1:10 beträgt.
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Diese und andere Merkmale der vorliegenden Offenbarung werden im Folgenden genauer beschrieben.
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Hierin werden Verfahren zur Herstellung von Organoamin stabilisierten Silbernanopartikeln sowie Verfahren zur Schaffung von leitfähigen Merkmalen auf einem Substrat unter Verwendung der Organoamin stabilisierten Silbernanopartikel beschrieben. Die Verfahren zur Herstellung der Nanopartikel ergeben kristallinere Silbernanopartikel mit einem höheren Silbergehalt. Des Weiteren haben die Verfahren zur Herstellung der Silbernanopartikel einen höheren Durchsatz und eine höhere Ausbeute.
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Der Begriff „Nano” wie in „Silbernanopartikel” verwendet, bezieht sich auf zum Beispiel eine Partikelgröße von weniger als etwa 1000 nm, wie zum Beispiel von etwa 0,5 nm bis etwa 1.000 nm, von etwa 1 nm bis etwa 500 nm, von etwa 1 nm bis etwa 100 nm, von etwa 1 nm bis etwa 25 nm oder von etwa 1 nm bis etwa 10 nm. Die Partikelgröße bezieht sich auf den mittleren Durchmesser der Silberpartikel, bestimmt mittels TEM (Transmissionselektronenmikroskopie) oder anderer geeigneter Verfahren. Im Allgemeinen können die aus dem hierin beschriebenen Verfahren erhaltenen Silbernanopartikeln in einer Vielzahl von Partikelgrößen vorliegen. In Ausführungsformen ist das Vorliegen von verschieden großen Silbernanopartikeln akzeptabel.
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Die Verfahren der vorliegenden Offenbarung erzeugen Organoamin stabilisierte Silbernanopartikel. In Ausführungsformen umfasst das Verfahren: (a) Bilden einer erhitzten, ein organisches Lösungsmittel und eine erste Menge Organoamin umfassenden Lösung, (b) Zugeben eines Silbersalzes zu der Lösung, (c) Zugeben einer zweiten Menge Organoamin zu der Lösung, (d) Zugeben eines Organohydrazins zu der Lösung, und (e) Ausfällen der Lösung und Gewinnung der Organoamin stabilisierten Silbernanopartikel, wobei das Molverhältnis von Silbersalz zum gesamten zugegebenen Organoamin von etwa 1:4 bis etwa 1:10 beträgt, zum Beispiel von etwa 1:4 bis etwa 1:8 oder etwa 1:5.
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Das organische Lösungsmittel kann ein beliebiges geeignetes Lösungsmittel sein und kann zum Beispiel Toluol, Heptan, Hexan, Benzol, Cyclohexan, Pentan, Brombenzol, Chlorbenzol, andere Kohlenwasserstoffe sowie Mischungen davon umfassen. Beispielhafte organische Lösungsmittel umfassen isoparaffinische Lösungsmittel, die unter der Bezeichnung ISOPAR® von ExxonMobil Chemical erhältlich sind. Vorzugsweise ist das erste organische Lösungsmittel Toluol.
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Das Organoamin kann ein primäres, sekundäres oder tertiäres Amin sein. Beispielhafte Organoamine umfassen Propylamin, Butylamin, Pentylamin, Hexylamin, Heptylamin, Octylamin, Nonylamin, Decylamin, Undecylamin, Dodecylamin, Tridecylamin, Tetradecylamin, Pentadecylamin, Hexadecylamin, Heptadecylamin, Octadecylamin, N,N-Dimethylamin, N,N-Dipropylamin, N,N-Dibutylamin, N,N-Dipentylamin, N,N-Dihexylamin, N,N-Diheptylamin, N,N-Dioctylamin, N,N-Dinonylamin, N,N-Didecylamin, N,N-Diundecylamin, N,N-Didodecylamin, Methylpropylamin, Ethylpropylamin, Propylbutylamin, Ethylbutylamin, Ethylpentylamin, Propylpentylamin, Butylpentylamin, Triethylamin, Tripropylamin, Tributylamin, Tripentylamin, Trihexylamin, Triheptylamin, Trioctylamin, 1,2-Ethylendiamin, N,N,N',N'-Tetramethylethylendiamin, Propan-1,3-diamin, N,N,N',N'-Tetramethylpropan-1,3-diamin, Butan-1,4-diamin und N,N,N',N'-Tetramethylbutan-1,4-diamin und dergleichen sowie Mischungen davon. In spezifischen Ausführungsformen werden die Silbernanopartikel mit Dodecylamin, Tridecylamin, Tetradecylamin, Pentadecylamin, Hexadecylamin oder Mischungen davon stabilisiert.
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Das Organoamin wird vorzugsweise in zwei Schritten zugegeben. Eine erste Menge Organoamin ist in der Lösung schon vorhanden, bevor das Silbersalz zugegeben wird, und eine zweite Menge Organoamin wird nach oder während der Zugabe des Silbersalzes zugegeben. Das Gewichtsverhältnis von organischem Lösungsmittel zur ersten Menge Organoamin kann zum Beispiel von etwa 1:0,8 bis etwa 1:1,2 betragen, zum Beispiel von etwa 1:0,9 bis etwa 1:1,1 oder etwa 1:1. Das Gewichtsverhältnis von erster Menge Organoamin zur zweiten Menge Organoamin kann zum Beispiel von etwa 1,7:1 bis etwa 1:1,7 betragen, zum Beispiel von etwa 1:0,9 bis etwa 1:1,1 oder etwa 1:1. Das als erste Menge und als zweite Menge zu der Lösung gegebene Organoamin kann das gleiche oder ein unterschiedliche Organoamin sein.
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Die das organische Lösungsmittel und die erste Menge Organoamin enthaltende Lösung wird auf eine erste erhöhte Temperatur erhitzt. Diese erste erhöhte Temperatur kann von etwa 50°C bis etwa 80°C, zum Beispiel von etwa 60°C bis etwa 75°C, zum Beispiel etwa 65°C bis etwa 70°C betragen. Die Lösung wird im Allgemeinen bei Atmosphärendruck gehalten und die Lösung kann auch geschüttelt oder gerührt werden. Die Lösung sollte unter einer inerten Atmosphäre, wie z. B. Stickstoff oder Argon gehalten werden.
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Das Silbersalz wird zu der erhitzten Lösung gegeben. Beispielhafte Silbersalze umfassen Silberacetat, Silbernitrat, Silberoxid, Silberacetylacetonat, Silberbenzoat, Silberbromat, Silberbromid, Silbercarbonat, Silberchlorid, Silbercitrat, Silberfluorid, Silberiodat, Silberiodid, Silberaactat, Silbernitrit, Silberperchlorat, Silberphosphat, Silbersulfat, Silbersulfid, Silbertrifluoracetat oder Kombinationen davon. Das Silbersalz ist vorzugsweise für ein homogenes Dispergieren in der Lösung geeignet, was eine effiziente Reaktion unterstützt. Das Silbersalz kann bei der Zugabe zu der Lösung in einer Partikelform vorliegen. Die Silbersalzpartikel können im Allgemeinen rasch zugeben werden, da sie sich rasch auflösen.
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Anschließend wird die zweite Menge Organoamin zu der Lösung gegeben. Die erste Menge Organoamin und die zweite Menge Organoamin umfasst die Gesamtmenge Organoamin für die Lösung. Das Molverhältnis von Silbersalz zur zugegebenen Gesamtmenge Organoamin kann zum Beispiel von etwa 1:4 bis etwa 1:10, wie z. B. von etwa 1:4 bis etwa 1:8 oder etwa 1:5 betragen. Nach der Zugabe der zweiten Menge Organoamin kann die Lösung gekühlt werden. Die Lösung kann über einen Zeitraum von etwa 45 Minuten oder mehr gekühlt werden. Die Lösung kann auf eine niedrigere, zweite Temperatur von etwa 40°C bis etwa 60°C, zum Beispiel von etwa 45°C bis etwa 55°C, zum Beispiel etwa 48°C bis etwa 52°C heruntergekühlt werden.
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Dieser zweistufige Prozess der Zugabe des Organoamins kann zu einer konsistent reproduzierbaren Auflösung des Silbersalzes in der Lösung führen, was das Erreichen von qualitativ hochwertigen Silbernanopartikel erlaubt.
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Dann wird ein Hydrazin zu der Lösung gegeben. Ein Zweck des Hydrazins ist die Reduktion des Silbersalzes von Ag1+ zu Ag0. Das reduzierte Silbersalz und das Organoamin werden dann zur Reaktion gebracht, um einen Organoamin stabilisierten Silbernanopartikel zu bilden. Die Reaktion kann über einen Zeitraum im Bereich von etwa 5 Minuten bis etwa 2 Stunden erfolgen. Die Lösung kann während der Reaktion auch gemischt oder gerührt werden. Im Allgemeinen wird die Lösung während der Reaktion auf der zweiten Temperatur gehalten.
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Das Hydrazin-Reduktionsmittel wird als eine Hydrazin-Reduktionslösung in die Reaktionslösung eingeführt. Die Hydrazin-Reduktionslösung kann durch Mischen eines Hydrazin-Reduktionsmittels mit einem Lösungsmittel gebildet werden. Sobald diese Hydrazin-Reduktionslösung hergestellt ist, kann sie in die Reaktionslösung eingeführt werden. Die Hydrazin-Reduktionslösung hierin umfasst eine Hydrazinverbindung in einem flüssigen System. Wie hierin verwendet, bezeichnet der Begriff „Hydrazinverbindung” zum Beispiel ein Hydrazin (N2H4), substituierte Hydrazine oder geeignete Hydrate von Hydrazin. Das substituierte Hydrazin kann von etwa 1 Kohlenstoffatom bis etwa 30 Kohlenstoffatome enthalten, wie z. B. von etwa 1 Kohlenstoffatom bis etwa 25 Kohlenstoffatome, von etwa 2 Kohlenstoffatomen bis etwa 20 Kohlenstoffatome oder von etwa 2 Kohlenstoffatomen bis etwa 16 Kohlenstoffatome. In Ausführungsformen kann das substituierte Hydrazin zum Beispiel ein Hydrazin mit Kohlenwasserstoffresten, ein Hydrazid, ein Carbazat oder ein Sulfonohydrazid umfassen. Beispiele für geeignete Hydrate von Hydrazin umfassen zum Beispiel Hydrazin Tartrat, Hydrazin Monohydrobromid, Hydrazin Monohydrochlorid, Hydrazin Dichlorid, Hydrazin Monooxalat und Hydrazin Sulfat sowie Hydrate von substituierten Hydrazinen. Die Verwendung einer Hydrazinverbindung als Reduktionsmittel kann eine Reihe von Vorteilen haben, wie zum Beispiel 1) eine Löslichkeit in Wasser, polaren oder unpolaren organischen Lösungsmitteln, je nach Substitution; 2) ein starkes bis schwaches Reduktionsvermögen, je nach Substitution; und 3) das Fehlen von nichtflüchtigen Metallionen wie in anderen Reduktionsmittel, wie zum Beispiel Natriumborhydrid, was das Entfernen von Nebenprodukten oder unreagiertem Reduktionsmittel erleichtern würde.
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Beispiele für Hydrazine mit Kohlenwasserstoffresten umfassen zum Beispiel RNHNH2, RNHNHR' und RR'NNH2, bei denen ein Stickstoffatom mit R oder R' mono- oder disubstituiert ist und das andere Stickstoffatom gegebenenfalls mit R oder R mono- oder disubstituiert ist, wobei jedes R oder R' eine Kohlenwasserstoffgruppe ist. Beispiele für Hydrazine mit Kohlenwasserstoffresten umfassen zum Beispiel Methylhydrazin, tert-Butylhydrazin, 2-Hydroxyethylhydrazin, Benzylhydrazin, Phenylhydrazin, Tolylhydrazin, Bromphenylhydrazin, Chlorphenylhydrazin, Nitrophenylhydrazin, 1,1-Dimethylhydrazin, 1,1-Diphenylhydrazin, 1,2-Diethylhydrazin und 1,2-Diphenylhydrazin. Sofern nicht anders angegeben, umfasst bei der Identifizierung der Substituenten für R und R' bei den verschiedenen Hydrazinverbindungen der Begriff „Kohlenwasserstoffgruppe” sowohl unsubstituierte Kohlenwasserstoffgruppen als auch substituierte Kohlenwasserstoffgruppen. Unsubstituierte Kohlenwasserstoffgruppen können zum Beispiel beliebige, geeignete Substituenten umfassen, wie zum Beispiel ein Wasserstoffatom, eine Alkylgruppe mit gerader oder verzweigter Kette, eine Cycloalkylgruppe, eine Arylgruppe, eine Alkylarylgruppe, eine Arylalkylgruppe oder Kombinationen davon. Beispiele für Alkyl- und Cycloalkylsubstituenten umfassen zum Beispiel Methyl, Ethyl, Propyl, Butyl, Pentyl, Hexyl, Heptyl, Octyl, Nonyl, Decyl, Undecyl, Dodecyl, Tridecyl, Tetradecyl, Pentadecyl, Hexadecyl, Heptadecyl, Octadecyl, Nonadecyl oder Eicosanyl sowie Kombinationen davon. Arylgruppensubstituenten können von etwa 6 Kohlenstoffatome bis etwa 48 Kohlenstoffatome, wie z. B. von etwa 6 Kohlenstoffatome bis etwa 36 Kohlenstoffatome, von etwa 6 Kohlenstoffatome bis etwa 24 Kohlenstoffatome enthalten. Beispiele für Arylsubstituenten umfassen zum Beispiel Phenyl, Methylphenyl (Tolyl), Ethylphenyl, Propylphenyl, Butylphenyl, Pentylphenyl, Hexylphenyl, Heptylphenyl, Octylphenyl, Nonylphenyl, Decylphenyl, Undecylphenyl, Dodecylphenyl, Tridecylphenyl, Tetradecylphenyl, Pentadecylphenyl, Hexadecylphenyl, Heptadecylphenyl, Octadecylphenyl oder Kombinationen davon. Substituierte Kohlenwasserstoffgruppen können die hierin beschriebenen unsubstituierten Kohlenwasserstoffgruppen sein, die einfach, zweifach oder mehrfach mit zum Beispiel einem Halogen (Chlor, Fluor, Brom und Iod), einer Nitrogruppe, einer Cyanogruppe, einer Alkoxygruppe (Methoxyl, Ethoxyl und Propoxyl) oder Heteroarylen substituiert sind.
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Für die Reduktionsmittellösung mit Hydrazinverbindung kann eine beliebige, geeignete Flüssigkeit oder ein beliebiges, geeignetes Lösungsmittel verwendet werden, einschließlich zum Beispiel organischen Lösungsmitteln und Wasser. Das flüssige organische Lösungsmittel kann zum Beispiel einen Alkohol wie z. B. Methanol, Ethanol, Propanol, Butanol, Pentanol, Hexanol, Heptanol, Octanol, ein Kohlenwasserstoff-Lösungsmittel wie z. B. Pentan, Hexan, Cyclohexan, Heptan, Octan, Nonan, Decan, Undecan, Dodecan, Tridecan, Toluol, Xylol, Mesitylen, Tetrahydrofuran, Chlorbenzol, Dichlorbenzol, Trichlorbenzol, Nitrobenzol, Cyanobenzol, Acetonitril oder Mischungen davon umfassen.
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Der Gewichtsprozentanteil des Lösungsmittels in der Reduktionsmittellösung mit Hydrazinverbindung beträgt zum Beispiel von etwa 0 Gewichtsprozent bis etwa 95 Gewichtsprozent, wie z. B. von etwa 20 Gewichtsprozent bis etwa 80 Gewichtsprozent oder von etwa 30 Gewichtsprozent bis etwa 60 Gewichtsprozent des gesamten Lösungsgewichts. Die Konzentration der Hydrazinverbindung in der Reduktionsmittellösung kann zum Beispiel von etwa 1 Gewichtsprozent bis etwa 100 Gewichtsprozent, wie z. B. von etwa 5 Gewichtsprozent bis etwa 80 Gewichtsprozent oder von etwa 10 Gewichtsprozent bis etwa 60 Gewichtsprozent oder von etwa 15 Gewichtsprozent bis etwa 50 Gewichtsprozent der Lösung betragen.
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Es können ein, zwei oder mehrere Lösungsmittel in der Reduktionsmittellösung mit Hydrazinverbindung verwendet werden. In Ausführungsformen, in denen zwei oder mehr Lösungsmittel verwendet werden, kann jedes Lösungsmittel in einem beliebigen, geeigneten Volumenanteil oder Gewichtsanteil vorhanden sein, wie z. B. 99(erstes Lösungsmittel):1 (zweites Lösungsmittel) bis etwa 1(erstes Lösungsmittel):99 (zweites Lösungsmittel).
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Darüber hinaus kann das Organohydrazin die folgende Formel aufweisen: R1R2N-NR3R4 in der R1, R2, R3 und R4 unabhängig voneinander aus Wasserstoff, einer Alkylgruppe mit 1 bis 30 Kohlenstoffatomen, zum Beispiel Methyl, Ethyl, Propyl oder Butyl, und einer Arylgruppe mit 6 bis 48 Kohlenstoffatomen ausgewählt wird, wobei mindestens eines von R1, R2, R3 und R4 nicht Wasserstoff ist. In spezifischeren Ausführungsformen weist das Organohydrazin die Formel (R1R2N-NH2) auf. Beispielhafte Organohydrazine umfassen Phenylhydrazin.
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Beispiele für Hydrazinverbindungen können zum Beispiel auch Hydrazide RC(O)NHNH2 und RC(O)NHNHR' und RC(O)NHNHC(O)R umfassen, in denen ein oder beide Stickstoffatome durch eine Acylgruppe der Formel RC(O) substituiert sind, wobei jedes R unabhängig aus Wasserstoff und einer Kohlenwasserstoffgruppe ausgewählt ist, und in denen ein oder beide Stickstoffatome gegebenenfalls mit R mono- oder disubstituiert sind, wobei R' unabhängig aus Kohlenwasserstoffgruppen ausgewählt ist. Beispiele für Hydrazide können zum Beispiel Formylhydrazid, Acethydrazid, Benzhydrazid, Adipinsäuredihydrazid, Carbohydrazid, Butanohydrazid, Hexansäurehydrazid, Octansäurehydrazid, Oxamidsäurehydrazid, Maleinhydrazid, N-Methylhydrazin-carboxamid und -semicarbazid umfassen.
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Beispiele für Hydrazinverbindungen können auch zum Beispiel Carbazate und Hydrazinocarboxylate umfassen, zum Beispiel ROC(O)NHNHR', ROC(O)NHNH2 und ROC(O)NHNHC(O)OR, bei denen ein oder beide Stickstoffatome durch eine Estergruppe der Formel ROC(O) substituiert sind, wobei jedes R unabhängig aus Wasserstoff und einer Kohlenwasserstoffgruppe ausgewählt wird, und in der ein oder beide Stickstoffatome gegebenenfalls mit R' mono- oder disubstituiert sind, wobei jedes R' eine unabhängig ausgewählte Kohlenwasserstoffgruppe ist. Beispiele für Carbazate können zum Beispiel Methylcarbazat (Methylhydrazinocarboxylat), Ethylcarbazat, Butylcarbazat, Benzylcarbazat und 2-Hydroxyethylcarbazat umfassen.
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Beispiele für Sulfonohydrazide umfassen zum Beispiel RSO2NHNH2, RSO2NHNHR' und RSO2NHNHSO2R, in denen ein oder beide Stickstoffatome durch eine Sulfonylgruppe der Formel RSO2 substituiert sind, wobei jedes R unabhängig aus Wasserstoff und einer Kohlenwasserstoffgruppe ausgewählt ist, und in denen ein oder beide Stickstoffatome gegebenenfalls mit R' mono- oder disubstituiert sind, wobei R' unabhängig aus Kohlenwasserstoffgruppen ausgewählt ist. Beispiele für Sulfonohydrazide können zum Beispiel Methansulfonohydrazid, Benzolsulfonohydrazin, 2,4,6-Trimethylbenzolsulfonohydrazid und p-Toluolsulfonohydrazid umfassen.
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Weitere Hydrazinverbindungen können zum Beispiel Aminoguanidin, Thiosemicarbazid, Methylhydrazin-carbimidothiolat und Tthiocarbohydrazid umfassen.
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Die gebildeten, Organoamin stabilisierten Silbernanopartikel können aus der Reaktionslösung gewonnen werden. Die Reaktionslösung kann auf eine niedrigere, dritte Temperatur wie z. B. von etwa 35°C bis etwa 45°C, zum Beispiel von etwa 37°C bis etwa 43°C, oder auf etwa 39°C bis etwa 41°C heruntergekühlt werden. Die Nanopartikel können durch Filtrieren der Nanopartikel von der Mutterlösung abgetrennt werden. Der Filtrationsprozess kann durch Filtrieren der Reaktionslösung unter Verwendung eines mit einem Filter mit geeigneter Größe ausgestatteten Filters, wie z. B. einer 0,5-μm-Goretex-Membran erfolgen. Die Silbernanopartikel können dann wieder aufgeschlämmt und erneut mit einem Lösungsmittel gewaschen und dann unter Verwendung der gleichen Filtermembran erneut filtriert werden. Dann können die Silbernanopartikel mit einem Nichtlösungsmittel gewaschen werden, um jegliches verbliebene Lösungsmittel von der Oberfläche der Nanopartikel zu entfernen. Ein Nichtlösungsmittel wird zugegeben, da die Nanopartikel sich bei dessen Zugabe nicht auflösen werden. Nach dem Nichtlösungsmittel wird ein Alkohol zugegeben; vorzugsweise wird Isopropanol zu der Lösung gegeben. Die Zugabe des Alkohols verursacht das Ausfallen der Silbernanopartikel aus der Aufschlämmung. Zudem kann die Verwendung von Nichtlösungsmittel und Alkohol die Lagerbeständigkeit und die Reinheit der Organoamin stabilisierten Silbernanopartikel verbessern. Beispielhafte Nichtlösungsmittel umfassen Aceton, Methanol, Ethanol, Propanol, Methylethylketon, Acetonitril, Isobutylalkohol, andere Ketone und Alkohole sowie Kombinationen davon. Ein ideales Nichtlösungsmittel ist Methanol. Vorzugsweise beträgt der Volumenanteil des Alkohols zum Nichtlösungsmittel etwa 0,4.
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Die gewaschenen Silbernanopartikel können anschließend in einem Vakuumofen bei etwa 30°C bis etwa 40°C über Nacht getrocknet werden. Die getrockneten Silbernanopartikel liegen in einer trockenen Pulverform mit einer metallisch blauen Farbe vor.
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Die resultierenden Nanopartikel haben einen mittleren Durchmesser von höchstens 1.000 Nanometern. In spezifischeren Ausführungsformen haben die Nanopartikel einen mittleren Durchmesser von etwa 1 Nanometer bis etwa 10 Nanometer, einschließlich von etwa 2 Nanometer bis etwa 8 Nanometer. In weiteren Ausführungsformen haben die Nanopartikel auch eine enge Partikelgrößenverteilung, wobei die Differenz zwischen dem Durchmesser des größten Nanopartikeln und dem Durchmesser des kleinsten Nanopartikels etwa 10 Nanometer beträgt.
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Die Nanopartikel haben einen Silbergehalt von mindestens 85%, einschließlich von 80% bis etwa 90%. Dieser Gehalt ist höher als der, der mittels gebräuchlicher Verfahren erzeugt wurde. Die Organoamin stabilisierten Silbernanopartikel liegen in Pulverform vor, sind leicht dispergierbar und weisen eine bessere Lagerbeständigkeit und Stabilität auf. Da die Nanopartikel nicht in einer Pastenform vorliegen, sind sie nicht klebrig, einfacher zu handhaben und homogener dispergierbar. Die Verfahren sind auch reproduzierbar und können konsistenter hochskaliert werden als frühere Verfahren.
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Die hierin beschriebenen Silbernanopartikel sind mit einem Organoamin stabilisiert, das an der Oberfläche des Silbernanopartikels gebunden ist und nicht entfernt wird, bis die Silbernanopartikel während der Bildung von Silbermerkmalen auf einem Substrat getempert werden.
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In Ausführungsformen ist der Stabilisator physikalisch oder chemisch mit der Oberfläche der Silbernanopartikel assoziiert. Auf diese Weise tragen die Nanopartikel den Stabilisator außerhalb einer flüssigen Lösung auf sich. Das heißt, dass die Nanopartikel mit dem Stabilisator darauf isoliert und aus einer Reaktionsmischungslösung gewonnen werden können, die bei der Bildung der Nanopartikel und des Stabilisatorkomplexes verwendet wurde. Die stabilisierten Nanopartikel können so anschließend ohne Weiteres und homogen in einem Lösungsmittel zur Bildung einer druckbaren Lösung dispergiert werden.
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Wie hierin verwendet kann der Begriff „physikalisch oder chemisch assoziiert” eine chemische Bindung und/oder eine andere physikalische Verknüpfung zwischen den Silbernanopartikeln und dem Stabilisator sein. Die chemische Bindung kann die Form zum Beispiel einer kovalenten Bindung, einer Wasserstoffbindung, einer Koordinationskomplexbindung oder ionischen Bindung oder einer Mischung der verschiedenen chemischen Bindungen einnehmen. Die physikalische Verknüpfung kann die Form von zum Beispiel Van-der-Waals-Kräften oder Dipol-Dipol-Wechselwirkungen oder einer Mischung verschiedener physikalischer Verknüpfungen einnehmen.
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Das Ausmaß der Bedeckung der Oberfläche der Metallnanopartikel mit Stabilisator kann variieren, zum Beispiel von einer teilweisen bis zu einer vollständigen Bedeckung, und zwar in Abhängigkeit von der Fähigkeit des Stabilisators zum Stabilisieren der Silbernanopartikel. Selbstverständlich besteht auch eine Variabilität im Ausmaß der Bedeckung mit Stabilisator unter den einzelnen Silbernanopartikeln.
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Der Gewichtsprozentanteil des Stabilisators in der Silbernanopartikel-Lösung kann zum Beispiel von etwa 5 Gewichtsprozent bis etwa 80 Gewichtsprozent, von etwa 10 Gewichtsprozent bis etwa 60 Gewichtsprozent oder von etwa 15 Gewichtsprozent bis etwa 50 Gewichtsprozent betragen.
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Die resultierenden Elemente können als Elektroden, leitfähige Kontaktflächen, Dünnschichttransistoren, Leiterbahnen und dergleichen in elektronischen Vorrichtungen wie z. B. Dünnschichttransistoren, organischen Licht emittierenden Dioden, RFID(Radiofrequenzidentifizierung)-Tags, Solarzellen, gedruckten Antennen und anderen elektronischen Vorrichtungen verwendet werden, die leitfähige Elemente oder Komponenten benötigen.
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In noch weiteren Ausführungsformen wird ein Dünnschichttransistor bereitgestellt, der Folgendes umfasst:
- (a) eine Isolierschicht;
- (b) eine Gateelektrode;
- (c) eine Halbleiterschicht;
- (d) eine Sourceelektrode; und
- (e) eine Drainelektrode,
wobei die Isolierschicht, die Gateelektrode, die Halbleiterschicht, die Sourceelektrode und die Drainelektrode in einer beliebigen Reihenfolge angeordnet sind, solange die Gateelektrode und die Halbleiterschicht beide mit der Isolierschicht in Kontakt stehen und die Sourceelektrode und die Drainelektrode beide mit der Halbleiterschicht in Kontakt stehen, und
wobei zumindest eine der Sourceelektrode, Drainelektrode und Gateelektrode gebildet wird, indem: eine die Silbernanopartikel und eine silikonmodifizierte Polyacrylatverbindung enthaltende Lösung geschaffen wird, die Lösung auf einem Substrat abgeschieden wird und die Lösung auf dem Substrat auf eine Temperatur von etwa 100°C bis etwa 200°C erhitzt wird, um leitfähige Merkmale auf dem Substrat zu bilden.
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So können eine Gateelektrode, eine Sourceelektrode und eine Drainelektrode durch die hierin beschriebenen Ausführungsformen hergestellt werden. Die Dicke der Gateelektrodenschicht liegt in einem Bereich von zum Beispiel etwa 10 bis etwa 2.000 nm. Typische Dicken der Source- und Drainelektroden betragen zum Beispiel von etwa 40 nm bis etwa 1 Mikrometer, mit einer spezifischeren Dicke von etwa 60 nm bis etwa 400 nm.
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Die Isolierschicht kann im Allgemeinen ein anorganischer Materialfilm oder ein organischer Polymerfilm sein. Beispiele für als Isolierschicht geeignete anorganische Materialien können zum Beispiel Siliciumoxid, Siliciumnitrid, Aluminiumoxid, Bariumtitanat, Bariumzirkoniumtitanat und dergleichen umfassen. Illustrierende Beispiele für organische Polymere für die Isolierschicht können zum Beispiel Polyester, Polycarbonate, Poly(vinylphenol), Polyimide, Polystyrol, Poly(methacrylat)e, Poly(acrylat)e, Epoxyharz und dergleichen umfassen. Die Dicke der Isolierschicht beträgt zum Beispiel von etwa 10 nm bis etwa 500 nm, je nach der Dielektrizitätskonstante des verwendeten dielektrischen Materials. Eine beispielhafte Dicke der Isolierschicht beträgt von etwa 100 nm bis etwa 500 nm. Die Isolierschicht kann eine Leitfähigkeit aufweisen, die zum Beispiel weniger als etwa 10–12 S/cm beträgt.
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Die Halbleiterschicht befindet sich zum Beispiel zwischen und im Kontakt mit der Isolierschicht und den Source-/Drainelektroden, wobei die Dicke der Halbleiterschicht im Allgemeinen zum Beispiel etwa 10 nm bis etwa 1 Mikrometer oder etwa 40 bis etwa 100 nm beträgt. Zur Bildung dieser Schicht kann ein beliebiges Halbleitermaterial verwendet werden. Beispielhafte Halbleitermaterialien umfassen regioregelmäßige Polythiophene, Oligothiophene, Pentacen und die in der
US-Veröffentlichung Nr. 2003/0160230 A1 ; der
US-Veröffentlichung Nr. 2003/0160234 A1 ; der
US-Veröffentlichung Nr. 2003/0136958 A1 beschriebenen Halbleiterpolymere. Zur Bildung der Halbleiterschicht kann ein beliebiges geeignetes Verfahren verwendet werden. Ein solches Verfahren ist das Anlegen eines Vakuums von etwa 10
–5 torr bis 10
–7 torr an eine ein Substrat enthaltende Kammer und ein die Verbindung in Pulverform enthaltendes Quellengefäß und Erhitzen des Gefäßes, bis die Verbindung auf das Substrat sublimiert. Die Halbleiterschicht kann im Allgemeinen auch durch Lösungsverfahren wie z. B. Schleuderbeschichten, Gießen, Siebdruck, Prägen oder Tintenstrahldruck einer Lösung oder Dispersion des Halbleiters hergestellt werden.
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Die Isolierschicht, die Gateelektrode, die Halbleiterschicht, die Sourceelektrode und die Drainelektrode werden in einer beliebigen Reihenfolge gebildet, insbesondere wo in Ausführungsformen die Gateelektrode und die Halbleiterschicht beide mit der Isolierschicht in Kontakt stehen und die Sourceelektrode und die Drainelektrode beide mit der Halbleiterschicht in Kontakt stehen. Der Begriff „in einer beliebigen Reihenfolge” umfasst eine aufeinander folgende und eine gleichzeitige Bildung. Zum Beispiel können die Sourceelektrode und die Drainelektrode gleichzeitig oder aufeinander folgend gebildet werden. Die Zusammensetzung, Herstellung und der Betrieb von Dünnschichttransistoren werden im
US-Patent Nr. 6,107,117 beschrieben.
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In Ausführungsformen wird mindestens eine der Gate-, Source- oder Drainelektroden in einem Dünnschichttransistor unter Verwendung des hierin beschriebenen Verfahrens zur Bildung von leitfähigen Merkmalen auf einem Substrat gebildet, wobei eine viele Organoamin stabilisierte Silbernanopartikel enthaltende Lösung hergestellt wird, die Lösung auf dem Substrat abgeschieden wird, wobei während des Abscheidens oder nach dem Abscheiden der Lösung auf dem Substrat der Organoamin-Stabilisator zur Bildung von leitfähigen Merkmalen auf dem Substrat bei einer Temperatur von weniger als etwa 200°C entfernt wird.
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Ausführungsformen hierin werden weiter mittels der folgenden Beispiele erläutert. Alle Teile und Prozentangaben beziehen sich, wenn nicht anders angegeben, auf das Gewicht. Raumtemperatur bezieht sich auf eine Temperatur im Bereich von zum Beispiel etwa 20°C bis etwa 25°C.
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BEISPIELE
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VERGLEICHSBEISPIEL 1
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Eine erste Portion aus 144,6 Gramm Hexadecylamin mit 10 ml Toluol in einem 1:1 Gewichtsverhältnis wurde in einem 1 l fassenden, ummantelten Reaktor unter einer Stickstoffdecke auf etwa 65°C erhitzt und dabei mechanisch geschüttelt. Zu der Lösung wurden 20 Gramm Silberacetat gegeben. Eine zweite Portion aus 144,6 Gramm Hexadecylamin wurde zu der Lösung gegeben und die Lösung wurde auf 55°C heruntergekühlt. Nach dem Abkühlen wurde eine Lösung aus 7,13 Gramm Phenylhydrazin und 10 ml Toluol hergestellt und zu der Reaktionsmischung gegeben. Die vereinigte Lösung wurde weitere 15 Minuten lang gemischt, um eine vollständige Reaktion zu gewährleisten. Die Lösung wurde dann auf etwa 40°C heruntergekühlt.
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Zur Isolierung der Silbernanopartikel wurden Isopropanol und Methanol verwendet, indem zunächst 240 ml Isopropanol zu der Lösung gegeben wurden und anschließend 560 ml Methanol. Die Lösung wurde vor dem Ablassen weitere 5 Minuten lang geschüttelt. Die Silbernanopartikel wurden unter Verwendung eines mit einer 0,5-μm-Goretex-Membran ausgestatteten Filters aufgefangen. Der Filterkuchen wurde erneut aufgeschlämmt und eine halbe Stunde lang mit 100 ml Isopropanol gewaschen und durch den gleichen Filter erneut filtriert. Dann wurde dreimal mit 50 ml Methanol gespült, um das Isopropanol von den Partikeln zu entfernen. Die aufgefangenen Nanopartikel wurden dann über Nacht zwischen 30 und 40°C in einem Vakuumofen getrocknet. Die endgültige Produktausbeute betrug 15,2 Gramm (96% der Theorie) und das Produkt enthielt 80 Prozent Silber. Die endgültige Produktausbeute wurde unter Verwendung der Thermogravimetrieanalyse und Aschegehaltanalyse bestimmt.
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BEISPIEL 1 – Synthese von Hexadecylamin stabilisierten Silbernanopartikeln in einem 6-l-Maßstab
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Hexadecylamin wurde zum Schmelzen in einem gebräuchlichen Ofen auf 50–60°C vorgeheizt. 723 Gramm 1-Hexadecylamin (3 Mol, 5facher molarer Überschuss, Aldrich, 90% Reinheit) und 700 ml Toluol wurden unter Rühren in einem 6 l fassenden, ummantelten Reaktor unter einer Stickstoffdecke auf etwa 65°C erhitzt. Dann wurden 200 Gramm Silberacetat (1,2 Mol, Alfa aesar, 99% Reinheit) über 10 Minuten zu dem Reaktor gegeben und anschließend eine zusätzliche Menge von 100 ml Toluol. Eine zweite Portion Hexadecylamin (723 Gramm, 3 Mol) wurde in den Reaktor gegossen und die Reaktionsmischung wurde vor der Reduktion über einen Zeitraum von 1 Stunde auf 55°C gekühlt. Das Molverhältnis von Silbersalz zum gesamten Organoamin beträgt 1:5. Über 20 Minuten wurden 71,5 Gramm Phenylhydrazin (Aldrich, 97% Reinheit), verdünnt in 60 ml Toluol, zum Reaktor gegeben. Die Lösung nahm eine schwarz-rote Färbung an, was auf die Reduktion der Silberpartikel hindeutet. Die Lösung wurde weitere 15 Minuten lang gemischt, um eine vollständige Reduktionsreaktion zu gewährleisten.
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Der Reaktor wurde dann auf unter 50°C gekühlt und das Produkt wurde durch Zugabe von 1600 ml Methanol, gefolgt von 3900 ml Isopropanol zum Reaktor ausgefällt. Die Lösung nahm eine dunkelviolett/blaue Färbung an. Die Mischung wurde 10 Minuten lang gemischt, dann abgelassen und in eine Vakuumfiltrationseinheit mit einem Filter mit 8 inch Durchmesser (20,3 cm) mit einer 0,5 μm-Goretex-Membran überführt. Der metallisch blaue Filterkuchen wurde in 2400 ml Isopropanol dispergiert, um jegliches verbliebenes Amin und jegliche Nebenprodukte aus der Reaktion zu entfernen, und wurde unter Verwendung des gleichen Filtermediums filtriert. Der Filterkuchen wurde erneut in Isopropanol aufgeschlämmt und eine halbe Stunde lang gewaschen und unter Verwendung der gleichen Filtereinheit filtriert. Anschließend wurde dreimal mit Methanol gewaschen, um die Entfernung von Isopropanol von dem Produkt zu unterstützen (insgesamt 750 ml Methanol). Die Partikel wurden dann über Nacht bei 30–40°C in einem Vakuumofen getrocknet. Die Endausbeute des Produkts betrug 145 Gramm (96% der Theorie) und enthielt 86% Silber (geschätzt aus der Aschenanalyse).
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BEISPIEL 2 – Synthese von Hexadecylamin stabilisierten Silbernanopartikeln in einem 6-l-Maßstab
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Hexadecylamin wurde zum Schmelzen in einem gebräuchlichen Ofen auf 50–60°C vorgeheizt. 911 Gramm 1-Hexadecylamin (3,8 Mol, 5facher molarer Überschuss, Aldrich, 90% Reinheit) und 600 ml Toluol wurden unter Rühren in einem 6 l fassenden, ummantelten Reaktor unter einer Stickstoffdecke auf etwa 65°C erhitzt. Dann wurden 200 Gramm Silberacetat (1,2 Mol, Alfa aesar, 99% Reinheit) über 10 Minuten zu dem Reaktor gegeben und anschließend eine zusätzliche Menge von 100 ml Toluol. Eine zweite Portion Hexadecylamin (535 Gramm, 2,2 Mol) wurde in den Reaktor gegeben und die Reaktionsmischung wurde vor der Reduktion über einen Zeitraum von 1 Stunde auf 55°C gekühlt. Das Molverhältnis von Silbersalz zum gesamten Organoamin beträgt 1:5. Über 20 Minuten wurden 71,5 Gramm Phenylhydrazin (Aldrich, 97% Reinheit), verdünnt in 60 ml Toluol, zum Reaktor gegeben. Die Lösung nahm eine schwarz-rote Färbung an, was auf die Reduktion der Silberpartikel hindeutet. Die Lösung wurde weitere 15 Minuten lang gemischt, um eine vollständige Reduktionsreaktion zu gewährleisten.
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Der Reaktor wurde dann auf unter 50°C gekühlt und das Produkt wurde durch Zugabe von 1440 ml Isopropanol, gefolgt von 3360 ml Methanol zum Reaktor ausgefällt. Die Lösung nahm eine dunkelviolett/blaue Färbung an. Die Mischung wurde 10 Minuten lang gemischt, dann abgelassen und in eine Vakuumfiltrationseinheit mit einem Filter mit 8 inch Durchmesser (20,3 cm) mit einer 0,5 μm-Goretex-Membran überführt. Der metallisch blaue Filterkuchen wurde eine Stunde lang in 2400 ml Isopropanol dispergiert, um jegliches verbliebenes Amin und jegliche Nebenprodukte aus der Reaktion zu entfernen, und wurde unter Verwendung des gleichen Filtermediums filtriert. Der Filterkuchen wurde erneut in Isopropanol aufgeschlämmt und eine halbe Stunde lang gewaschen und unter Verwendung der gleichen Filtereinheit filtriert. Anschließend wurde dreimal mit Methanol gewaschen, um die Entfernung von Isopropanol von dem Produkt zu unterstützen (insgesamt 750 ml Methanol). Die Partikel wurden dann über Nacht bei 30–40°C in einem Vakuumofen getrocknet. Die Endausbeute des Produkts betrug 140 Gramm (96% der Theorie) und enthielt 86% Silber (geschätzt aus der Aschenanalyse).
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Prüfung und Ergebnisse
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Die mittlere Partikelgröße und der Silbergehalt der Silbernanopartikel aus Vergleichsbeispiel 1, Beispiel 1 und Beispiel 2 wurden untersucht. Darüber hinaus wurden mittels Aufbringen und Tempern bei 140°C über 10 Minuten Filme aus diesen Nanopartikeln hergestellt. Die Leitfähigkeit dieser Filme wurde gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst. Tabelle 1
Beispiel | Mittlere Partikelgröße (nm) | Leitfähigkeit (S/cm) | Silbergehalt (%) |
Vergleichbeispiel 1 | 4,8 | 5,5–7,7 × 105 | 80 |
Beispiel 1 | 5,1 | entsprach Vergleichbeispiel 1 | 86 |
Beispiel 2 | 4,6 | entsprach Vergleichbeispiel 1 | 86 |
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Die Ergebnisse zeigen, dass Verfahren aus den Beispielen 1 und 2 Nanopartikel erzeugten, die eine ähnliche Leitfähigkeit und einen höheren Silbergehalt im Vergleich zu Vergleichsbeispiel 1 aufwiesen. Sowohl die Zugabe eines Organoamins in zwei Schritten als auch die Verwendung eines Ausfällverfahrens mit zwei Lösungsmitteln unter Verwendung von Isopropanol und einem Nichtlösungsmittel (Methanol) trugen zu diesem Ergebnis bei.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- US 2003/0160230 A1 [0045]
- US 2003/0160234 A1 [0045]
- US 2003/0136958 A1 [0045]
- US 6107117 [0046]