DE102010043088A1 - Halbleiteranordnung mit Schottkydiode - Google Patents
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Abstract
Halbleiteranordnung einer Super-Trench-Schottky-Barrier-Diode (STSBD), bestehend aus einem n+-Substrat 10, einer n-Epischicht 20, in die n-Epischicht 20 eingeätzten Gräben (Trenchs) 30 mit einer Breite Wt und einem Abstand zum. n+-Substrat 10 D_epi, Mesa-Bereichen 40 zwischen den benachbarten Gräben 30 mit einer Breite Wm, einer Metallschicht an der Vorderseite des Chips 50 die ein Schottky-Kontakt ist und als Anodenelektrode dient, und einer Metallschicht an der Rückseite des Chips 60 die ein ohmscher Kontakt ist und als Kathodenelektrode dient, dadurch gekennzeichnet, dass sich an der Trenchwand mehrere Schottky-Kontakte 70 mit einer Weite D_sk und einem Anstand zwischen den Schottky-Kontakten D_gap sowie zwischen dem Schottky-Kontakt 50 als Anodenelektrode und dem ersten Schottky-Kontakt 70 befinden.
Description
- Stand der Technik
- Bei dieser Erfindung handelt es sich um Schottkydiode, die sich für Hochspannungsanwendung eignet und gleichzeitig eine niedrige Flussspannung und eine kleine Schaltverlustleistung aufweist.
- Für Hochspannungsanwendung werden in der Regel Hochspannungs-PN-Dioden eingesetzt. Vorteile der Hochspannungs-PN-Dioden sind der niedrige Sperrstrom und die hohe Robustheit. Die Nachteile sind einerseits die hohe Flussspannung UF und andererseits die hohe Schaltverlustleistung.
- In einer Hochspannungs-PN-Diode wird die Spannung hauptsächlich von dem schwach dotierten Gebiet übernommen, d. h. die Raumladungszone dehnt sich hauptsächlich in dem schwach dotierten Gebiet aus. Die Dotierkonzentration und die Dicke dieses schwach dotierten Gebiets werden von der vorgegebenen Durchbruchspannung bestimmt. Eine hohe Durchbruchspannung bedeutet niedrige Dotierkonzentration und große Dicke dieses schwach dotierten Gebiets.
- Bei Betrieb mit hoher Stromdichte in Flussrichtung herrscht in Hochspannungs-PN-Dioden Hochinjektion, d. h. Elektronen und Löcher werden in das schwach dotierte Gebiet injiziert. Bei Hochinjektion ist deren Konzentration höher als die Dotierkonzentration des schwach dotierten Gebiets. Dadurch wird die Leitfähigkeit des schwach dotierten Gebiets moduliert, d. h. die Leitfähigkeit wird erhöht. Dies reduziert die Flussspannung in vorteilhafter Weise. Allerdings beginnt der Strom einer Hochspannungs-PN-Diode bei Raumtemperatur erst ab etwa einer Flussspannung UF = 0.7 V zu fließen. Unter normalen Betriebsbedingungen, z. B. bei einer Stromdichte > 100 A/cm2, steigt UF auf Werte bis über 1 V an. Damit verbunden ist eine entsprechend hohe, unerwünschte Verlustleistung. Da eine Hochspannungs-PN-Diode ein dickes schwach dotiertes Gebiet benötigt, ist daher der Spannungsabfall in der Flussrichtung über dem schwach dotierten Gebiet, trotz der Leitfähigkeitsmodulation, relativ groß.
- Die Ladungsträger Elektronen und Löcher, die während des Betriebs in der Flussrichtung in das schwach dotierte Gebiet injiziert und dort gespeichert sind, müssen beim Abschalten, z. B. bei einer abrupten Stromkommutierung, erst abgebaut werden, bevor die Hochspannungs-PN-Diode überhaupt in der Lage ist wieder Sperrspannung zu übernehmen. Daher fließt der Strom bei einer abrupten Stromkommutierung zuerst in Sperrrichtung weiter, bis die gespeicherten Ladungsträger abgebaut bzw. ausgeräumt sind. Dieser Strom wird auch als Ausräumstrom oder Reverse Recovery Current bezeichnet. Dieser Vorgang, also die Höhe und die Dauer des Ausräumstroms, ist in erster Linie von der Menge der im schwach dotierten Gebiet gespeicherten Ladungsträger bestimmt. Je mehr die Ladungsträger vorliegen, desto höher ist der Ausräumstrom. Ein höherer Ausräumstrom bedeutet auch eine höhere Abschaltverlustleistung. Aus der Integration des Abschaltstroms über die Zeit erhält man die Speicherladung Qrr (Reverse Recovery Charge), die eine wichtige Größe zur Beschreibung der Abschaltverlustleistung ist und möglichst klein sein soll.
- Bei der Auslegung Hochspannungs-PN-Dioden muss man immer Kompromisse zwischen der Durchbruchspannung, der Flussspannung und der Abschaltverlustleistung schließen.
- Im Vergleich zu Hochspannungs-PN-Dioden ist die Abschaltverlustleistung bei Hochspannungs-Schottkydioden deutlich geringer. Die Hochspannungs-Schottkydiode ist ein sog. Majoriätsladungsträger-Bauelement, in dem auch bei hoher Stromdichte im Betrieb in der Flussrichtung keine Hochinjektion vorkommt, also keine Injektion von Elektronen und Löchern in das schwach dotierten Gebiet während des Betriebs in Flussrichtung stattfindet.
- Da bei einer Hochspannungs-Schottkydiode keine Hochinjektion mit Leitfähigkeitsmodulation auftritt, fällt beim Betrieb mit hohen Strömen am schwach dotierten Gebiet allerdings eine hohe Spannung ab. Dies beschränkt bisher den Einsatz von hochsperrenden Schottkydioden auf sehr kleine Ströme.
- Hochspannungs-Schottkydioden in Siliziumtechnik für hohe Ströme sind daher nicht bekannt.
- Offenbarung der Erfindung
- Es wird eine Hochspannungs-Schottkydiode in Trenchtechnik (STSBD = Super-Trench-Schottky-Barrier-Diode) mit niedriger Flussspannung vorgeschlagen, die bei hohen Stromdichten betrieben werden kann und eine kleine Abschaltverlustleistung aufweist. Die bislang gültige Beschränkung auf kleine Flussströme wird damit aufgehoben.
- Kern und Vorteile der Erfindung
- Die Super-Trench-Schottky-Barrier-Diode (STSBD) dieser Erfindung stellt eine Trenchstruktur mit mehreren gefloateten Schottky-Kontakten an der Trenchwand dar. Dadurch bildet sich im Mesa-Bereich eine periodisch homogene Feldverteilung und eine nahezu lineare Spannungsverteilung aus. Die Dotierkonzentration für eine vorgegebene Durchbruchspannung kann etwa um den Faktor 5 bis 10 höher gewählt werden als bei einer konventionellen Hochspannungs-PN-Diode oder -Schottkydiode. Dadurch wird ein sehr vorteilhafter Designkompromiss zwischen Durchbruchspannung, Flussspannung und Abschaltverlustleistung erzielt.
- Besonderer Vorteil der Erfindung:
- Im Vergleich zu Hochspannungs-PN-Dioden: niedrigere oder vergleichbare Flussspannung bei hoher Stromdichte, aber deutlich kleinerer Abschaltverlustleistung.
- Im Vergleich zu Hochspannungs-Schottkydioden: deutlich niedrigere Flussspannung bei hoher Stromdichte.
- Zeichnung
- Es zeigen:
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- Detaillierte Beschreibung von Aufbau und Funktion der erfindung mit möglichen Alternativen
- Ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel einer Super-Trench-Schottky-Barrier-Diode (STSBD) ist in
10 , einer n-Epischicht20 , in die n-Epischicht20 eingeätzten Gräben (Trenchs)30 mit einer Breite Wt und einem Abstand zum n+-Substrat10 D_epi, Mesa-Bereichen40 zwischen den benachbarten Gräben30 mit einer Breite Wm, einer als Schottky-Kontakt wirkenden Metallschicht an der Vorderseite des Chips50 – der Anodenelektrode -, einer Metallschicht an der Rückseite des Chips60 – der Kathodenelektrode -, und weiteren Schottky-Kontakten70 an der Trenchwand mit einer Weite bzw. einem Abstand D_sk und einem Abstand zwischen den Schottky-Kontakten D_gap. Die Metallschicht50 bedeckt die Trenchwand bis zu einer Tiefe D_anode und mit einem Abstand D_gap zum ersten Schottky-Kontakt70 . Die Schottky-Kontakte70 an der Trenchwand floaten. Der letzte gefloatete Schottky-Kontakt überdeckt den Trenchboden. - Bei der STSBD dieser Erfindung fließen Ströme in der Flussrichtung von dem Schottky-Kontakt
50 als Anodenelektrode durch den Mesa-Bereich40 , den Epi-Bereich zwischen dem Trenchboden und dem n+-Substrat10 , zur Metallschicht an der Rückseite des Chips60 als Kathodenelektrode. Über die gefloateten Schottky-Kontakte70 werden Ströme nur weiter geleitet, da sie niederohmige Strompfade darstellen. - Der Rückseitenkontakt stellt einen ohmschen Kontakt dar. Alle anderen Metall-Halbleiterkontakte sind Schottky-Konatkte.
- In der Sperrrichtung bildet sich in der unter dem Schottky-Kontakt
50 befindlichen n-Epischicht20 eine Raumladungszone aus. Die Raumladungszone dehnt sich mit steigender Spannung in der Richtung Trenchboden aus. Falls die Raumladungszone bei einer Spannung V1 den ersten gefloateten Schottky-Kontakt erreicht, wird diese Spannung V1 von dem ersten gefloateten Schottky-Kontakt übernommen. Die Raumladungszone dehnt sich mit weiter steigender Spannung in der Richtung Trenchboden weiter aus. Die Spannung an dem ersten gefloateten Schottky-Kontakt bleibt unverändert. - Analog erreicht die Raumladungszone bei einer höheren Spannung Vn den n-ten gefloateten Schottky-Kontakt. Dabei übernimmt der n-te gefloatete Schottky-Kontakt die Spannung Vn. Wiederum bleibt bei weiter steigender Spannung die Spannung am n-ten gefloateten Schottky-Kontakt unverändert.
- Falls die Weite D_sk und der Abstand D_gap in der STSBD-Struktur für alle Schottky-Kontakte
70 gleich gewählt sind, liegt im Mesa-Bereich40 eine periodisch homogene Feldverteilung vor. Dieser Sachverhalt wird als Simulationsergebnis in40 , wie als Simulationsergebnis in - Im Sperrzustand kann eine STSBD dieser Erfindung elektrisch als eine Reihenschaltung von mehreren Niederspannungsdioden aufgefasst werden. Im Vorwärtsbetrieb hingegen fällt, im Unterschied zu einer gewöhnlichen Reihenschaltung von Dioden, nur eine Flussspannung ab, nämlich der Flussspannung der Schottkydiode, die sich aus Anodenmetall
50 und n-Epischicht20 zusammensetzt. Daher kann, im Vergleich zu konventionellen Hochspannungs-PN-Dioden oder -Schottkydioden bei vergleichbaren Durchbruchsspannungen, die Dotierkonzentration des schwach dotierten Gebiets20 bei einer STSBD dieser Erfindung deutlich höher gewählt werden, beispielsweise um einen Faktor 5 bis 10. Dadurch fällt am hochohmigen n-Gebiet20 wesentlich weniger Spannung ab, bzw. es können bei vergleichbarer Flussspannung wesentlich höhere Flussströme fließen. - Sowohl gegenüber konventionellen Hochspannungs-Schottkydioden als auch gegenüber konventionellen Hochspannungs-PN-Dioden führt dies zu Vorteilen bei der Flussspannung. In
- a) Vergleich mit konventionellen Hochspannungs-Schottkydioden: Bei der STSBD ist die Flussspannung im Bereich hoher Stromdichte viel niedriger, da die Dotierkonzentration des schwach dotierten Gebiets wesentlich höher ist.
- b) Vergleich mit konventionellen Hochspannungs-PN-Dioden: Da durch geeignete Wahl des Barrierenmetalls die Flussspannung – gemessen bei niedrigen Stromdichten – einer STSBD kleiner als die vergleichbare Flussspannung einer PN-Diode gewählt werden kann, bleibt die Flussspannung auch bei höheren Strömen kleiner. Bis zu einer Stromdichte von etwa 100 A/cm2 bleibt beispielsweise die Flussspannung kleiner als 0,7 V und somit unterhalb einer PN-Flussspannung.
- Einen wesentlichen Vorteil gegenüber konventionellen Hochspannungs-PN-Dioden stellt insbesondere das schnelle, leistungsarme Ausschaltverhalten der STSBD dar. Da die STSBD dieser Erfindung eine Schottkydiode und in Folge dessen ein Majoritätsladungsträger-Bauelement ist, ist die Abschaltverlustleistung signifikant kleiner als die einer Hochspannungs-PN-Diode. Ein Beispiel des Vergleichs zwischen der STSBD dieser Erfindung und der Hochspannungs-PN-Diode ist in
- Bei der Designüberlegung lassen sich die folgenden Struktur-Parameter optimieren:
D_anode (Weite des Schottky-Kontakts50 als Anodenelektrode, die die Trenchwand bedeckt); Trade off zwischen Leckstroms und Flussspannung;
D_sk (Weite der gefloateten Schottky-Kontakte70 an der Trenchwand): beeinflusst Entkopplung der einzelnen periodischen Bereichen im Mesa;
D_gap (Abstand zwischen den gefloateten Schottky-Kontakte70 an der Trenchwand), beeinflusst Linearität der Spannungsverteilung im Mesa-Bereich;
Wt (Breite des Trenchbereichs30 ), beeinflusst Flussspannung;
Wm (Breite des Mesa-Bereichs40 ), Trade off zwischen Leckstrom und Flussspannung;
D_epi (Abstand zwischen dem Trenchboden und dem n+-Substrat10 ) Trade off von gesamter Durchbruchspannung und der Spannung des letzten Schottky-Kontakts beim Durchbruch. - Die
Dotierkonzentration der n-Epischicht = 1E16/cm3
Dotierkonzentration des n+-Substrats = 1E19/cm3
D_anode = 4 μm
D_sk = 0.4 μm
D_gap = 1.0 μm
Wt = Wm = 0.8 μm
D_epi = 5 μm - In
70 den gesamten Trenchbereich30 . Zwischen den Schottkykontakten70 befindet sich jeweils dielektrische Schichten80 , so dass die einzelnen floatenden Schottkykontakte70 elektrisch voneinander bzw. von dem Anodenkontakt50 isoliert sind. Als dielektrische Schichten finden bevorzugt Oxidschichten Verwendung. - Ein drittes Ausführungsbeispiel ist in
80 durch n-dotiertes Polysilizium oder Silizium90 ersetzt. Bevorzugt entspricht die Dotierung der Schichten90 der Dotierung der n-Epischicht20 .
Claims (19)
- Halbleiteranordnung einer Super-Trench-Schottky-Barrier-Diode (STSBD), bestehend aus einem n+-Substrat (
10 ), einer n-Epischicht (20 ), in die n-Epischicht (20 ) eingeätzten Gräben bzw. Trenchs (30 ) mit einer Breite (Wt) und einem Abstand zum n+-Substrat (10 ) (D_epi), Mesa-Bereichen (40 ) zwischen den benachbarten Gräben (30 ) mit einer Breite (Wm), einer Metallschicht an der Vorderseite des Chips (50 ) die ein Schottky-Kontakt ist und als Anodenelektrode dient, und einer Metallschicht an der Rückseite des Chips (60 ) die ein ohmscher Kontakt ist und als Kathodenelektrode dient, wobei sich an der Trenchwand mehrere Schottky-Kontakte (70 ) mit einer Weite bzw. einem Abstand (D_sk) und einem Abstand zwischen den Schottky-Kontakten (D_gap) sowie zwischen dem Schottky-Kontakt (50 ) als Anodenelektrode und dem ersten Schottky-Kontakt (70 ) befinden. - Halbleiteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schottky-Kontakte (
70 ) an der Trenchwand gefloatet sind. - Halbleiteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht an der Vorderseite des Chips (
50 ), die ein Schottky-Kontakt ist und als Anodenelektrode dient, die Trenchwand bis zu einer Tiefe (D_anode) bedeckt. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht an der Vorderseite des Chips (
50 ) die Gräben (30 ) bis zu einer Tiefe (D_anode) ausfüllt. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass der letzte gefloatete Schottky-Kontakt den Trenchboden überdeckt und einen Abstand (D_ep)i zum n+-Substrat (
10 ) hat. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gegenzeichnet, dass sich die STSBD-Struktur über eine einheitliche Weite der gefloateten Schottky-Kontakte (
70 ) (D_sk) und über einen einheitlichen Abstand zwischen den Schottky-Kontakten (70 ) sowie zwischen dem Schottky-Kontakt (50 ) als Anodenelektrode und dem ersten Schottky-Kontakt (70 ) (D_gap) verfügt. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gegenzeichnet, dass sich die Feldverteilung im Mesa-Bereich nach einem Abstand (D_sk) + (D_gap) periodisch wiederholt.
- Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gegenzeichnet, dass die Spannungsverteilung im Mesa-Bereich nahezu linear ist.
- Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gegenzeichnet, dass die floatenden Schottkykontakte (
70 ) jeweils den gesamten Trenchbereich überdecken und dass sich zwischen den floatenden Schottkykontakten dielektrische Schichten befinden. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gegenzeichnet, dass die floatenden Schottkykontakte (
70 ) jeweils den gesamten Trenchbereich überdecken und dass sich zwischen den floatenden Schottkykontakten Silizium oder Polysilizium befindet. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gegenzeichnet, dass die Dotierkonzentration der Epischicht (
20 ) deutlich höher dotiert ist als in einer konventionellen Hochspannungs-PN-Diode oder -Schottkydiode. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung eine Durchbruchspannung im Bereich > 200 V aufweist.
- Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass die Gräben (
30 ) eine rechteckige Form oder eine U-Form oder ähnliche Form verfügen. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass die Gräben (
30 ) in Streifenanordnung oder als Inseln angeordnet sind, wobei die Inseln kreisförmig, sechseckig oder sonst wie gestaltet sein. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass die Gräben (
30 ) durch Ätzen in die n-Epischicht hergestellt werden. - Halbleiteranordnung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass alle Halbleiterschichten aus dem jeweils gegensätzlichen Leitfähigkeitstyp bestehen und die Bezeichnungen von Anoden- und Katodenanschlüsse vertauscht sind.
- Halbleiteranordnung nach einem der vorangestellten Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass sie als Bauelement ausgestaltet ist und eine lötbare Vorder- und Rückseitenmetallisierung besitzt.
- Halbleiteranordnung nach Anspruch 17 dadurch gekennzeichnet, dass die Bauelemente als Einpressdioden ausgestaltet sind und in einem Einpressdiodengehäuse montiert sind.
- Halbleiteranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einpressdioden in einem Gleichrichter eines Kfz-Generators eingesetzt sind.
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