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Die Erfindung betrifft ein Touch-Panel. Insbesondere betrifft die Erfindung ein kapazitives Touch-Panel, bei dem der widerstand an Elektrodenkreuzungspunkten verringert wird, widerstandsbedingte Signal- und Erfassungsverzögerungen vermieden werden und so die Berührungsempfindlichkeit erhöht wird, und ein mit dem Touch-Panel integriertes Flüssigkristallanzeigegerät.
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Im Zuge mit der modernen informationsabhängigen Gesellschaft wurden Anzeigen zur Darstellung elektrischer Informationssignale rapide weiterentwickelt. Vielfältige dünne, leichte und stromsparende Flachbildschirme werden üblicherweise als Alternativen für herkömmliche Kathodenstrahlröhren (CRT) eingesetzt.
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Beispiele vom Flachbildschirmen sind unter anderem Flüssigkristallanzeigen (LCD, Liquid Crystal Display), Plasmabildschirme (PDP, Plasma Display Panels), Feldemissionsbildschirme (FED, Field Emission Display) und Elektrolumineszenzanzeigen (ELD, Electroluminescent Display). Um ein Bild zu erzeugen benötigen diese Flachbildschirme zwangsweise ein flaches Anzeigepanel, wobei das flache Anzeigepanel eine Struktur aufweist, in der ein Paar von transparenten, isolierenden Substraten so verbunden ist, dass eine inhärent leuchtende oder polarisierende Materialschicht zwischen den Substraten eingebracht ist. Um ein Bild zu erzeugen, verwenden unter den Flachbildschirmen die Flüssigkristallanzeigegeräte ein elektrisches Feld, um die Lichtdurchlässigkeit der Flüssigkristalle zu steuern. Zu diesem Zweck beinhaltet ein Bildanzeigegerät ein Anzeigepanel mit Flüssigkristallzellen, eine Hintergrundbeleuchtung zum Beleuchten des Anzeigepanels und eine Betriebsschaltung zum Ansteuern der Flüssigkristallzellen.
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Das Anzeigepanel ist so ausgebildet, dass eine Vielzahl von Gate-Leitungen eine Vielzahl von Datenleitungen kreuzen, um eine Vielzahl von Einheitspixelbereiche festzulegen. Jeder Pixelbereich weist ein Dünnfilmtransistorarraysubstrat und ein gegenüberliegendes Farbfilterarraysubstrat, einen zwischen den zwei Substraten eingefügten Abstandhalter zum Gewährleisten eines vorbestimmten Zellspalts und ein den Zellspalt auffüllende Flüssigkristall auf.
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Das Dünnfilmtransistorarraysubstrat weist eine Vielzahl von Gate-Leitungen und eine Vielzahl von Datenleitungen, wobei an jedem Kreuzungspunkt der Gate-Leitung und der Datenleitung ein Dünnfilmtransistor als Schaltelement gebildet wird, eine in jeder Flüssigkristallzelle angeordnete und mit dem Dünnfilmtransistor verbundene Pixelelektrode und einen die resultierende Struktur überziehenden Orientierungsfilm auf. Die Gate-Leitungen und Datenleitungen empfangen über entsprechende Anschlussteile Signale der Betriebsschaltungen.
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Als Antwort auf die an die Gate-Leitungen angelegten Abtastsignale leitet der Dünnfilmtransistor die an Datenleitungen angelegten Pixelspannungssignale an die Pixelelektrode weiter.
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Weiter weist das Farbfilterarraysubstrat in entsprechenden Flüssigkristallzellen angeordnete Farbfilter, eine schwarze Matrize zum Aufteilen der Farbfilter und Reflektieren externen Lichts, eine gemeinsame Elektrode zum Anlegen einer Referenzspannung an die Flüssigkristallzellen, und einen die resultierende Struktur überziehenden Orientierungsfilm auf.
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Die so getrennt gebildeten Dünnfilmtransistor- und Farbfiltersubstrate werden angeordnet und dann so verbunden, dass sich beide Substrate gegenüberliegen, Flüssigkristall wird in einen zwischen den Substraten bereitgestellten Bereich injiziert und der Bereich wird versiegelt, um die Herstellung des Flüssigkristallanzeigegeräts abzuschließen.
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Es besteht ein steigender Bedarf ein Touch-Panel bereitzustellen, wobei ein mit der Hand oder separaten Eingabemittel berührter Bereich erfasst wird und als Antwort auf die Berührung weitere Informationen an das so hergestellte Flüssigkristallanzeigegerät übermittelt werden können. Ein solches Touch-Panel wird auf die äußere Oberfläche einer Flüssigkristallanzeige geklebt.
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Touch-Panels können je nach Art der Berührungserfassung in resistive Touch-Panel, kapazitive Touch-Panel und Infrarot-Touch-Panel geordnet werden. Kapazitive Touch-Panels haben aus Gründen wie der einfachen Herstellung und Empfindlichkeit besondere Aufmerksamkeit auf sich gezogen.
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Nachfolgend wird ein erfindungsgemäßes kapazitives Touch-Panel mit Bezug auf die angehängten Zeichnungen im Detail beschrieben.
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1 zeigt eine Draufsicht auf einen Elektrodenkreuzungspunkt von Touch-Panel gemäß dem Stand der Technik.
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Wie in 1 gezeigt, weist ein kapazitives Touch-Panel gemäß dem Stand der Technik eine Vielzahl von ersten Elektroden 13 und eine Vielzahl von zweiten Elektroden 14 auf, welche in unterschiedlichen Richtungen auf einem Substrat 10 angeordnet sind.
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Die zweiten Elektroden 14 werden durch Verbinden von Verbindungsteilen mit einer geringen Weite mit den in Längsrichtung verbundenen rauteförmigen Strukturen gebildet, und die erste Elektrode 13 und die zweite Elektrode 14 verzweigen sich an dem dazwischenliegenden Kreuzungspunkt ineinander. Bei den zweiten Elektroden 14 sind die rautenförmigen Strukturen mit den Verbindungsteilen integriert und die erste Elektrode 13 wird mit voneinander beabstandeten rautenförmigen Strukturen gebildet.
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Unter den ersten Elektroden 13 und den zweiten Elektroden 14 wird ein Isolierfilm 12 ist gebildet. Weiter wird auf dem Substrat 10 in einem Bereich zwischen den geteilten ersten Elektroden 13 ein Verbindungsmetall 11 gebildet. Dementsprechend kontaktiert das Verbindungsmetall 11 an einem Kontaktloch 12a zum teilweise Freilegen des Verbindungsmetalls 11 die erste Elektrode 13 elektrisch, so dass gemeinsame Signale an die getrennten ersten Elektroden 13 angelegt werden können.
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Die ersten und zweiten Elektroden 13 und 14 sind transparente Elektroden.
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In diesem Fall weist die zweite Elektrode bis auf den Verbindungsbereich eine Rautenform auf, und in praktischen Anwendungen weist der Verbindungsbereich zum Verbinden der rautenförmigen Strukturen der zweiten Elektroden 14 eine beträchtlich geringe Breite und demzufolge einen beträchtlich hohen Widerstand auf.
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Die ersten Elektroden 13 sind durch das aus Metall bestehende Verbindungsmetall 11 verbunden. Wegen unterschiedlichen Material und Struktur gibt es aus diesem Grund einen großen Unterschied im Widerstand zwischen dem Verbindungsteil der ersten Elektrode 13 und dem Verbindungsteil der zweiten Elektroden 14. Der große Widerstandsunterschied verursacht aufgrund von RC-Verzögerungen eine Verschlechterung beim Anlegen von Betriebsspannung, unter Berücksichtigung der Tatsache, dass Elektroden eine Vielzahl von diesen Verbindungsteilen enthalten, wird so die Berührungsempfindlichkeit verschlechtert. Insbesondere entspricht dem Widerstand an dem Verbindungsteil der zweiten Elektroden 14 20% oder mehr des Widerstands einer rautenförmigen Struktur, was auf seine Fläche bezogen viel ist.
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Des weiteren besteht der Verbindungsteil der zweiten Elektrode 14 mit hohen Widerstand aus einem transparenten Elektrodenmaterial, welches während elektrostatischer Tests leicht beschädigt und dadurch kurzgeschlossen oder schwer beschädigt werden kann. In diesem Fall kann das Panel nicht mehr eingesetzt werden.
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Das Touch-Panel gemäß dem Stand der Technik weist die folgenden Nachteile auf.
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Eine von der sich kreuzenden ersten Elektrode ist in einer Richtung angeordnet und die andere davon ist am Verbindungsteil voneinander beabstandet, und eine zweite Brückeelektrode zum Verbinden der Elektroden ist unter der Elektrode vorgesehen.
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In diesem Fall bestehen die ersten und die zweiten Elektroden aus einem transparenten Elektrodenmaterial und die in einer Richtung längsmäßig angeordneten Elektroden weisen eine geringe Breite und somit einen beträchtlich hohen Widerstand am Verbindungsteil auf.
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Der Verbindungsteil mit hohem Widerstand verursacht RC-Verzögerungen der Elektroden und Verschlechterung der Empfindlichkeit und Betriebsspannung und hemmt empfindliche Berührungserkennung.
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Des weiteren kann der Verbindungsteil der Elektroden mit einem hohen Widerstand bestehend aus einem transparenten Elektrodenmaterial durch elektrostatische Tests leicht beschädigt und dadurch kurzgeschlossen oder schwer beschädigt werden. In diesem Fall kann das Panel nicht mehr eingesetzt werden.
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Folglich zielt die vorliegende Erfindung auf ein Touch-Panel und ein Flüssigkristallanzeigegerät, das dieses aufweist, die eines oder mehrere der durch die Einschränkungen und Nachteile des Stands der Technik verursachten Probleme im Wesentlichen beseitigen.
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Eine Aufgabe der vorliegende Erfindung ist es, ein kapazitives Touch-Panel zum Reduzieren von Widerstand an Kreuzungspunkten, wo sich Elektroden kreuzen, widerstandsbedingte Signal- und Erfassungsverzögerungen zu vermeiden oder vermindern und so die Berührungsempfindlichkeit zu verbessern, sowie ein mit dem Touch-Panel integriertes Flüssigkristallanzeigegerät anzugeben.
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Um diese Aufgabe zu lösen und andere Vorteile zu erreichen und im Einklang mit dem Zweck dieser Erfindung, wie sie hier ausgeführt und umfassend beschrieben wird, ist vorgesehen ein Touch-Panel, umfassend eine Vielzahl von ersten, auf einem Substrat angeordneten Sensoren, wobei die Vielzahl von ersten Sensoren eine Vielzahl von ersten Elektroden, die zueinander in einer ersten Richtung beabstandet sind und eine erste Verbindungsstruktur zum Verbinden von zwei angrenzenden ersten Elektroden aufweist, wobei die Vielzahl von ersten Sensoren in einer zweiten, die erste Richtung kreuzende Richtung angeordnet sind, eine Vielzahl von zweiten, auf dem Substrat angeordneten Sensoren, wobei die Vielzahl von zweiten Sensoren eine Vielzahl von zweiten, von einander in der zweiten Richtung beabstandete Elektroden und eine zweite, aus einem Metall bestehende Verbindungsstruktur zum Verbinden von zwei angrenzenden zweiten Elektroden aufweist, wobei die Vielzahl von zweiten Sensoren in der ersten Richtung angeordnet sind, und mindestens eine, mit der ersten Verbindungsstruktur verbundene Metallstruktur, wobei die mindestens eine Metallstruktur die erste Verbindungsstruktur überlappt, sowie ein Flüssigkristallanzeigegerät, umfassend ein Flüssigkristallpanel, welches ein erstes Substrat, ein zweites Substrat und eine zwischen dem ersten und zweiten Substrat angeordnete Flüssigkristallschicht aufweist, eine auf einer Oberfläche des zweiten Substrats angeordnete Isolierschicht, eine Vielzahl von auf der Isolierschicht angeordneten ersten Sensoren, wobei die Vielzahl von ersten Sensoren eine Vielzahl von ersten, von einander in einer ersten Richtung beabstandeten Elektroden und eine erste Verbindungsstruktur zum Verbinden von zwei angrenzenden ersten Elektroden aufweist, wobei die Vielzahl von ersten Sensoren in einer zweiten, die erste Richtung kreuzende Richtung angeordnet sind, eine Vielzahl von zweiten Sensoren, die in der ersten Richtung auf der Isolierschicht angeordnet sind, wobei die Vielzahl von zweiten Sensoren eine Vielzahl von zweiten, voneinander in der zweiten Richtung beabstandeten Elektroden und eine zweite, aus einem Metall bestehende Verbindungsstruktur zum Verbinden von zwei angrenzenden zweiten Elektroden, aufweist, mindestens eine Metallstruktur, die die erste Verbindungsstruktur auf dem zweiten Substrat überlappt, und einen ersten Kontaktabschnitt in der Isolierschicht zum Verbinden von beiden Enden der zweiten Verbindungsstruktur mit den angrenzenden zweiten Elektroden, und einen zweiten Kontaktabschnitt in der Isolierschicht zum Verbinden von beiden Enden der mindestens einen Metallstruktur mit der ersten Verbindungsstruktur.
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Es versteht sich, dass sowohl die obige allgemeine Beschreibung, sowie die folgende detaillierte Beschreibung der vorliegenden Erfindung beispielhaft und erklärend sind und zur weiteren Erläuterung der beanspruchten Erfindung dienen sollen.
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Die beigefügten Zeichnungen dienen dem weiterführenden Verständnis der Erfindung und sind Bestandteil dieser Anmeldung. Sie zeigen Ausführungsbeispielen der Erfindung und erklären zusammen mit der Beschreibung das Prinzip der Erfindung.
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Es zeigen:
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1 eine Draufsicht auf einen Elektrodenkreuzungspunkt eines Touch-Panels gemäß dem Stand der Technik,
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2 eine Draufsicht auf einen Elektrodenkreuzungspunkt eines Touch-Panels gemäß einem ersten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung,
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3A und 3B Querschnitte entlang den Linien I-I' und II-II' in 2,
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4 eine Draufsicht auf einen Elektrodenkreuzungspunkt eines Touch-Panels gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung,
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5 eine Draufsicht auf einen Elektrodenkreuzungspunkt eines Touch-Panels gemäß eines dritten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung,
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6A bis 6C Draufsichten auf einen Elektrodenkreuzungspunkt eines Touch-Panels gemäß der vorliegenden Erfindung,
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7A bis 7C den 6A bis 6C entsprechende Querschnitte,
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8 einen Querschnitt durch ein modifiziertes Ausführungsbeispiel einer Elektrode eines Touch-Panels gemäß der vorliegenden Erfindung,
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9 eine Draufsicht auf einen Elektrodenkreuzungspunkt eines Touch-Panels gemäß eines vierten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung, und
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10 einen vergrößerten Ausschnitt eines Elektrodenkreuzungspunkt aus 9.
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Nachfolgend wird ein erfindungsgemäßes Touch-Panel und ein erfindungsgemäßes Flüssigkristallanzeigegerät, das dieses aufweist mit Bezug auf die Zeichnungen im Detail beschrieben.
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2 zeigt eine Draufsicht auf einen Elektrodenkreuzungspunkt eines Touch-Panels gemäß einem ersten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. 3A und 3B zeigen Querschnitte entlang den Linien I-I und II-II' in 2.
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Wie in den Figuren in 2 bis 3B mit Bezug auf 6C gezeigt, weist das Touch-Panel des ersten Ausführungsbeispiels einen ersten Sensor 1200 und einen zweiten Sensor 1100 auf, die so auf einem Substrat 100 angeordnet sind, dass sie sich kreuzen. Um ihren Widerstand zu verringern weist die Brücke (Kanal) des ersten Sensors 1200 weiter Metallstrukturen 130 und 135 auf. Bezugnehmend auf die 6A bis 6C und 2 ist eine erste Richtung eine Y-Achse-Richtung und eine zweite Richtung eine X-Achse-Richtung, oder umgekehrt.
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Der erste Sensor 1200 weist eine Vielzahl von ersten Elektroden (siehe Bezugszeichen 125 in 6C) in der Form von voneinander in der ersten Richtung beabstandeten Rautenstrukturen, integriert mit einer ersten, aus einer transparenten Elektrode bestehenden Brückenelektrode (oder erste Verbindungsstruktur) 120 zum Verbinden der angrenzenden ersten Elektroden auf dem Isolierfilm (oder Isolierschicht) 106, der auf dem Substrat vorhanden ist, auf.
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Der zweite Sensor 1100 weist eine Vielzahl von transparenten, voneinander in der zweiten Richtung beabstandeten Rautenstrukturen auf einem Bereich der Isolierschicht 106, wo keine ersten Elektroden gebildet sind, und eine zweite, aus Metall bestehende Brückenelektrode (oder Verbindungsstruktur) 105 zum Verbinden von angrenzenden zweiten Elektroden, auf.
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Die erste Brückenelektrode 120 und die zweite Brückenelektrode 105 bestehende respektive aus einer transparenten Elektrode und einem Metall, die in verschiedenen Schichten angeordnet sind, zum elektrischen Verbinden der angrenzenden ersten Elektroden oder zweiten Elektroden in verschiedenen Schichten angeordnet sind.
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Die transparente Elektrode hat einen mindestens 20-fach höheren spezifischen Widerstand als ein Metall und verursacht so Widerstandsunterschiede zwischen der ersten und zweiten Brückenelektrode 120 und 105. Das heißt, die erste aus einer transparenten Elektrode bestehende Brückenelektrode 120 hat einen höheren Widerstand. Um den Widerstand der ersten Brückenelektrode 120 zu reduzieren, werden Metallstrukturen 130 und 135 in derselben Schicht wie die zweite Brückenelektrode 105 gebildet.
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Die erste und die zweite Metallstruktur 130 und 135 entsprechend angrenzenden ersten Brückenelektroden 120 und reduzieren den Widerstand der Verbindungsstrukturen der ersten aus einer transparenten Elektrode mit hohen Widerstand bestehen Elektroden, auf den Widerstand der zweiten Brückenelektroden 105, die beabstandete zweite Elektroden 110 verbindet.
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Die ersten Elektroden 125 und die erste Brückenelektrode 120 bilden den ersten Sensor 1200, und die den zweiten Sensor 1100 bildenden zweiten Elektroden 110 sind transparente Elektroden.
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Der erste Sensor 1200, die von der zweiten Elektrode 110 in verschiedenen Schichten gebildeten Metallstrukturen 130 und 135, sowie die zweite Brückenelektrode 105 werden durch in dem Isolierfilm 106 vorgesehene Kontaktlöcher verbunden. Das heißt, der Isolierfilm 106 weist ein erstes, beide Enden der zweiten Brückenelektrode 105 freilegendes Kontaktloch 107 zum elektrischen Verbinden der zweite Brückenelektrode 105 mit den angrenzenden zweiten Elektroden 110 auf. Der Isolierfilm 106 weist zweite Kontaktlöcher 132 und 137 zum Freilegen von beiden Enden der Metallstrukturen 130 und 135 auf, um die Metallstrukturen 130 und 135 mit der sie überlappenden ersten Brückenelektrode 120 zu verbinden.
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Zu diesem Zeitpunkt sind die Metallstrukturen 130 und 135 in derselben Schicht wie die zweite Brückenelektrode 105 angeordnet. Dementsprechend werden die Metallstrukturen 130 und 135 in eine erste Metallstruktur 130 und eine zweite Metallstruktur 135 in der ersten Richtung aufgeteilt, so dass die zweite Brückenelektrode 105 dazwischen zu liegen kommt.
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Die zweiten Kontaktlöcher 132 und 137 sind an beiden Enden der ersten Metallstruktur 130 und der zweiten Metallstruktur 135 angeordnet.
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Die zweite Brückenelektrode 105 und die Metallstrukturen 130 und 135 können aus mindestens einem der Metalle Molybdän (Mo), Kupfer (Cu), Silber (Ag), Chrom (Cr), Aluminium (Al), Aluminium-Neodym (AlNd) oder Molybdän-Titan (MoTi), oder einen Laminat, das mindestens eines dieser Metalle aufweist, bestehen.
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Im Vergleich mit der aus einer transparenten Elektrode bestehenden ersten Brückenelektrode 120, hat das Metall etwa ein auf 1/20 verringerten spezifischen Widerstand, so dass der Widerstand erheblich reduziert wird, obwohl die erste Brückenelektrode 120 eine kleinere Fläche als die erste Elektrode 125 aufweist.
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In ein Ausführungsbeispiel können die zweite Brückenelektrode 105 sowie die Metallstrukturen 130 und 135 als Zweilagenlaminat, das Chrom (Cr) und Chromoxid (CrOx) aufweist, ausgebildet sein. In diesem Fall wird äußeres Licht durch das Chrom gut absorbiert, so dass die Blendwirkung durch die Metalloberfläche und so die Entblößung der Metallstrukturen gegenüber einem Benutzer vermieden oder reduziert werden.
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Die Metallstrukturen 130 und 135 haben eine Breite von 3 bis 20 μm und die erste Brückenelektrode 125 hat eine Breite von 10 bis 500 μm, welche größer als die der Metallstrukturen 130 und 135 ist.
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In diesem Fall liegt eine untere Grenze (3 μm) der ersten und zweiten Metallstrukturen 130 und 135 innerhalb eines akzeptablen Auflösungsniveaus. Im Fall von verbesserten Techniken und dadurch verbesserter Auflösung sind auch Breiten, die kleiner als die untere Grenze sind, möglich. Des Weiteren ist die obere Grenze von 20 μm eine unsichtbare maximale Breite (ein oberes, sichtbarwerdenvermeidendes Maximum) und die Metallstrukturen 130 und 135, sowie die Brückenelektrode 105 haben eine Breite, die kleiner als die obere Grenze von 20 μm ist. In einigen Fällen wird die Breite in einem Bereich gewählt, der die Reduzierung des Widerstandes der ersten und zweiten Metallstrukturen 130 und 135 und der ersten Brückenelektrode 120 ermöglicht.
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Der erste Sensor 1200 und der zweite Sensor 1100 können in X- oder Y-Richtung, oder umgekehrt, angeordnet werden. Die ersten und zweiten Elektroden 125 und 110 und die erste Brückenelektrode 120 bestehen aus einer transparenten Elektrode. Folglich ist es vorzuziehen, aber nicht notwendig, den ersten Sensor integriert mit einer transparenten Elektrode an die Seite mit der kürzeren Elektrodenlänge unter den X- und Y-Richtungen anzulegen, um so den Widerstand zu verringern.
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Währenddessen können in dem oben erwähnten ersten Ausführungsbeispiel die Metallstrukturen 130 und 135, sowie die zweite Brückenelektrode 105 in der gleichen Schicht (koplanar) gebildet werden. Alternativ können sie auch in verschiedenen Schichten gebildet werden. In diesem Fall sind die Metallstrukturen 130, 135 und die zweite Brückenstruktur 105 in unterschiedlichen Schichten angeordnet und die Metallstrukturen 130 und 135 kontaktieren die erste Brückenelektrode 120 direkt, ohne dass ein Isolierfilm benutzt wird.
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4 zeigt eine Draufsicht auf einen Elektrodenkreuzungspunkt eines Touch-Panels gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
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Wie 4 zeigt, unterscheidet sich das Touch-Panel des zweiten Ausführungsbeispiels von dem des ersten Ausführungsbeispiels dadurch, dass die ersten Metallstrukturen 231 und 232 und die zweiten Metallstrukturen 234 und 235 zwei voneinander getrennte Metalle aufweisend, ein dritter Kontaktabschnitt 233 und ein vierter Kontaktabschnitt 236 zum Verbinden der Metallstrukturen sind an beiden Enden der getrennten ersten Metallstrukturen 231 und 232 sowie den zweiten Metallstrukturen 234 und 235 vorgesehen.
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Die Formen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode 210, die Konfigurationen der ersten Brückenelektrode 220 und der zweiten Brückenelektrode 205, und die Konfiguration des ersten Kontaktlochs 207 in der zweiten Brückenelektrode 205 und der zweiten Elektrode 210 sind in dem oben genannten ersten Ausführungsbeispiel beschrieben.
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Im Gegensatz zum ersten Ausführungsbeispiel ist in dem zweiten Ausführungsbeispiel eine Vielzahl von voneinander getrennten Metallstrukturen 231, 232, 234, 235 unter der ersten Brückenelektrode 220 vorgesehen, um den elektrischen Kontakt zu verstärken und den Widerstand effizient zu reduzieren, um hierdurch Erfassungszögerungen effizient zu vermeiden oder zu reduzieren.
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Sowohl der dritte Kontaktabschnitt 233 als auch der vierte Kontaktabschnitt 236 können durch Verbinden eines Endes von der Vielzahl von Metallstrukturen definiert werden, und ein Kontaktloch für jeweilige Metallstrukturen kann auf einem Isolierfilm zwischen den darauf angeordneten Metallstrukturen und der ersten Elektrode 125 vorgesehen sein.
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5 zeigt eine Draufsicht auf eine Elektrodenkreuzung des Touch-Panels gemäß einem dritten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
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Wie in 5 gezeigt, weist das dritte Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung einen ersten Sensor 1200 mit ersten Elektroden 310 mit rautenförmiger Struktur und einer ersten Brückenelektrode 315 mit einer geringen Breite zum Verbinden der ersten Elektroden 310, einen zweiten, den ersten Sensor 1200 kreuzenden und zweite Elektroden 320 und eine zweite Brückenelektrode 330 zum Verbinden der angrenzenden zweiten Elektrode 320 aufweisenden Sensor 1100, einen Kontaktabschnitt zwischen der zweiten Brückenelektrode 330 und der zweiten Elektrode 320, und eine von der zweiten Brückenelektrode 330 beabstandete Metallstruktur 340, auf.
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Die Metallstruktur 340 kontaktiert die erste Elektrode 310 elektrisch über das Kontaktloch 341. Entgegen dem zuvor erwähnten ersten Ausführungsbeispiel ist die Metallstruktur 340 aus einem, die zweite Brückenelektrode 330 kreuzenden Stück gebildet, und die Metallstruktur 340 und die zweite Brückenelektrode 330 werden in unterschiedlichen Schichten gebildet, und die Metallstruktur 340 weist somit einen Kontaktabschnitt mit der Metallstruktur 340 auf.
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Weiter erstrecken sich im Vergleich zum ersten und zweiten Ausführungsbeispiel die Metallstrukturen 340 längsmäßig, so dass sie die erste Brückenelektrode 315 und anschließend die ersten Elektroden 310 durchqueren. Auf diese Weise können die Metallstrukturen eine für das bloße Auge unsichtbare Breite haben, und können um den Widerstand zu reduzieren so lange wie möglich sein.
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In diesem Fall sind Kreuzungspunkte zwischen den Metallstrukturen 340 und der zweiten Brückenelektrode 330 vorhanden. Aus diesem Grund werden die Metallstrukturen 340 und die zweite Brückenelektrode 330 in unterschiedlichen Schichten angeordnet, wodurch unterschiedliche Masken erforderlich sind. Zu diesem Zeitpunkt können die Metallstrukturen 340 die erste Elektrode 310 und die erste Brückenelektrode 315 direkt, ohne einen Isolierfilm zu verwenden, kontaktieren. Die zweite Brückenelektrode 330 kann stattdessen auch die zweite Elektrode 320 direkt kontaktieren. Dieses Ausführungsbeispiel kann die Notwendigkeit eines zusätzlichen, die Metallstrukturen 340 in Kontakt mit der ersten Elektrode bringenden Kontaktprozesses eliminieren oder reduzieren.
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Die Metallstrukturen 340 und die zweite Brückenelektrode 330 können derweil in verschiedenen Schichten gebildet werden. In diesem Fall kontaktieren sie sich gegenseitig auf der ersten Elektrode 310 direkt und können aus einem Metall wie Molybdän oder einer Molybdänlegierung gebildet werden.
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Die erste Elektrode ist von der zweiten Elektrode um 10 bis 30 μm beabstandet.
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Nachfolgend wird eine Herstellungsmethode für einen Touch-Panel gemäß der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die angehängten Zeichnungen im Detail beschrieben.
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6A bis 6C zeigen Draufsichten eines Elektrodenkreuzungspunkts eines Touch-Panels gemäß der vorliegenden Erfindung. 7A bis 7C sind den 6A bis 6C entsprechende Querschnitte.
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Auf dem Substrat 100 werden eine Vielzahl von Bereichen in denen erste Elektroden oder zweite Elektroden (im Folgenden als ”erster oder zweiter Elektrodenbereich” bezeichnet) mit rautenförmigen Strukturen zur Erfassungsdurchführung gebildet sind, festgelegt. Der Kreuzungspunkt zwischen den ersten und zweiten Elektrodenbereichen wird als Brückenelektrodenbereich (Kanalteil) definiert. Weiter weist das Substrat 100 in einem Zentrum eine aktive Region, in welcher die Elektroden gebildet sind, und einen, die aktive Region umgebenden anzeigefreien Bereich auf. Der anzeigenfreie Bereich ist an einer Seite mit einem Anschlussbereich versehen.
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Zunächst wird, wie in 6A und 7A gezeigt, ein Metall auf dem Substrat 100 abgelagert und wird selektiv entfernt, um voneinander in der ersten Richtung beabstandet eine erste Metallstruktur 130 und zweite Metallstruktur 135, und zwischen der ersten und zweiten Metallstruktur 130 und 135 in der zweiten, die erste Richtung kreuzenden Richtung eine zweite Brückenelektrode 105 zu bilden.
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Zu diesem Zeitpunkt wird ein FPC-Anschlussverbindungsbereich mit einer Vielzahl von Anschlusselektroden 146 in dem Anschlussbereich des Substrats 100 gebildet und eine Routingleitung 145 wird in einem Randbereich des Substrats 100 zwischen der zweiten Metallstruktur 135 und der zweiten Brückenelektrode 105 und dem FPC-Anschlussverbindungsbereich gebildet.
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Das Metallmaterial kann aus mindestens einem der Metalle Molybdän (Mo), Kupfer (Cu), Silber (Ag), Chrom (Cr), Aluminium (Al), Aluminium-Neodym (AlNd) oder Molybdän-Titan (Mori), oder einem Laminat, das mindestens eines dieser Metalle aufweist, ausgewählt werden. Das Metallmaterial wird mit einer Dicke von etwa 2.000 Å bis etwa 3.500 Å gebildet.
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Wie 6B und 7B zeigen, wird ein Isolierfilm 106 auf dem Substrat 100, welches die ersten und zweiten Metallstrukturen 130 und 135, die zweite Brückenelektrode 105, die Routingleitung 145 und die Anschlusselektrode 146 aufweist, abgelagert, und der Isolierfilm 106 wird selektiv entfernt, um ein erstes Kontaktloch 107 an beiden Enden der zweiten Brückenelektrode 105, ein zweites Kontaktloch (Bezugszeichen 132 und 173 in 3B) an beiden Enden der ersten und zweiten Metallstrukturen 130 und 135, sowie ein drittes Kontaktloch 147a zum Bestimmen des Anschlussteils der Routingleitung 145 und eine Anschlusselektrodenöffnung 147b, zu bilden.
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Der Isolierfilm 106 kann ein anorganischer Film, wie ein Nitritfilm (SiNx), ein Oxidfilm (SiOx) oder ein Nitritoxidfilm (SiNxOy), oder ein, aus einem Harz bestehender organischer Film sein, und weist eine Dicke von etwa 2.000 Å bis etwa 7.000 Å auf. Falls der Isolierfilm 106 ein organischer Film ist, ist es möglich, ein Harz, das beispielsweise Fotoacrylharz aufweist mit einer Dicke von etwa 1–2 μm zu verwenden.
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Wie 6C und 7C zeigen, wird eine transparente Elektrode auf die gesamte Oberfläche des Substrats 100 inklusive des ersten Kontaktlochs 107, der zweiten Kontaktlöcher 132 und 137 (siehe 2), des dritten Kontaktlochs 147a und der Anschlusselektrodenöffnung 147b abgelagert, und wird strukturiert, um erste Elektroden 125 in der ersten Richtung und zweite Elektroden 110 in einer zweiten, die erste Richtung kreuzende Richtung in den Elektrodenbereichen, sowie eine erste Brückenelektrode 120 zum Verbinden der angrenzenden ersten Elektroden 125 in der ersten Richtung, zu bilden. Gleichzeitig wird eine mit dem dritten Kontaktloch 147a verbundene Routingkontaktelektrode 148 in dem Routingbereich gebildet, um die Routingleitung 145 mit einem Ende der an einem Ende des angrenzenden ersten Sensors 1200 angeordneten ersten Elektrode 120 und mit einem Ende der an einem Ende des zweiten Sensors 1100 angeordneten zweiten Elektroden 110 zu verbinden.
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Die erste Brückenelektrode 120 ist so ausgebildet, dass sie die ersten Metallstrukturen 130 und die zweiten Metallstrukturen 135 in der ersten Richtung kontaktiert und überlappt und auch die zweite Brückenelektrode 105 in der ersten Richtung überschreitet.
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Die transparente Elektrode kann aus einem Material wie ITO, IZO oder ITZO mit einer Dicke von etwa 100 Å bis etwa 700 Å oder etwa 1.000 Å bis etwa 2.000 Å gebildet sein.
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Der Anschlussteil ist in zwei Teile aufgeteilt, um einen Betrieb auf zwei Abschnitten des Substrats 100 zu ermöglichen. In diesem Fall entsprechen verschiedene Betriebschips den zwei Teilen des Anschlussteils.
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In manchen Fällen kann das Substrat 100 aus einem, zwei oder mehreren Abschnitten bestehen. Die Aufteilung des Anschlussbereichs kann in Abhängigkeit von der Anzahl der Pins der verwendeten Chips bestimmt werden.
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Das erfindungsgemäße Touch-Panel kann mit mindestens drei Masken gebildet werden, ohne die Anzahl der Schichten und Masken im Vergleich zu konventionellen Strukturen zu erhöhen.
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In manchen Fällen, wie dem oben erwähnten dritten Ausführungsbeispiel von 5, erhöht sich die Anzahl der Masken wenn Metallstrukturen in von der zweiten Brückenelektrode verschiedenen Schichten gebildet werden.
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8 zeigt einen Querschnitt eines modifizierten Ausführungsbeispiels einer Elektrode eines erfindungsgemäßen Touch-Panels.
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8 zeigt ein Beispiel, in dem eine zweite Brückenelektrode 505 und eine Metallstruktur durch laminieren eines Chromfilms (oder -schicht) 501a und eines Chromoxidfilms (oder -schicht) 501b, in dieser Reihenfolge, von unten angefangen, gebildet werden.
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In diesem Fall können eine in der gleichen Schicht wie die zweite Brückenelektrode 505 gebildete Routingleitung 545 und eine Anschlusselektrode 546 auch die gleiche Laminatstruktur aufweisen.
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Die Verwendung von Chrom zum Bilden der zweiten Brückenelektrode 505 und der Metallstrukturen begründet sich darin, dass Chrom eine überlegene Absorption externen Lichts zeigt und somit die Blendwirkung aufgrund von Reflexionen von externen Licht verhindert oder vermindert und dadurch das Sichtbarwerden von Metallstrukturen für einen Benutzer vermieden wird.
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9 zeigt eine Draufsicht eines Elektrodenkreuzungspunkts eines Touch-Panels gemäß einem vierten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. 10 zeigt eine vergrößerte Ansicht des Elektrodenkreuzungspunkts von 9.
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Im Unterschied zu den bisher erwähnten Ausführungsbeispielen, weist das in 9 und 10 gezeigte Touch-Panel gemäß des vierten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung eine erste Richtung und eine zweite Richtung als eine X-Achsenrichtung bzw. eine Y-Achsenrichtung auf. Das heißt, das Touch-Panel weist einen ersten Sensor 1200, der in der ersten Richtung angeordnete ersten Elektroden 410 und eine erste, aus einer transparenten Elektrode bestehende Brückenelektrode 407 zum integralen Verbinden der angrenzenden ersten Elektroden 410 aufweist, einen zweiten Sensor 1100, der zweite, voneinander in der zweiten Richtung beabstandete Elektroden 420, aufweist und eine zweite Brückenelektrode 405 in der von der zweite Elektroden 420 verschiedenen Schicht auf. Die Metallstrukturen 415 und 416 sind in der gleichen Schicht wie die Metallstrukturen 405 angeordnet und sind durch die zweiten Kontaktlöcher 417a und 417b elektrisch mit der ersten Brückenelektrode 407 verbunden. Weiter ist die zweite Brückenelektrode 405 durch die ersten und zweiten Kontaktlöcher 406a und 406b mit den an ihren beiden Enden angrenzenden zweiten Elektroden 420 verbunden.
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Zusätzlich ist in 9, wenn der Kreuzungspunkt zwischen der ersten und zweiten Elektroden 410 und 420 vergrößert wird, weiter eine Platzhalterstruktur 430 zwischen der zweiten Elektrode 420 und der ersten Elektrode 410, der ersten Brückenelektrode 407 gezeigt.
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Die Platzhalterstruktur 430 ist potenzialfrei und nicht mit einer Routingleitung verbunden, was weiter vorzusehen ist, um die Bloßlegung der Strukturen durch die Lage der beabstandeten ersten und zweiten Elektroden 410 und 420 auf dem Kreuzungspunkt der zwischen zweiten Elektrode 420 und der ersten Elektrode 410, der ersten Brückenelektrode 407, zu verhindern oder zu reduzieren. In diesem Fall besteht die Platzhalterstruktur 430 aus einem transparenten Elektrodenmaterial und hat eine Breite von etwa 10 μm bis etwa 300 μm. Die Entfernung zwischen der Platzhalterstruktur 430 und der Peripherie der ersten und zweiten Elektroden 410 und 420 und der ersten Brückenelektrode 407 ist vorzugsweise etwa 10 μm bis etwa 30 μm, so dass eine Bloßlegung von Strukturen der ersten und zweiten Elektroden 410 und 420 und damit eine Verschlechterung der Kapazitätserfassung vermieden oder reduziert werden kann.
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Die Platzhalterstruktur 430 ist aus dem folgenden Grund vorgesehen. Beispielsweise können beim Testen von unter verschiedenen Winkel gegenüber dem Panel an der Oberfläche eines Touch-Panels gebildete Reflexionen im Fall, dass die erste Elektrode 410, die erste Brückenelektrode 407 und die zweite Elektrode 420 voneinander mit einer vorgegebenen oder größerer Breite beabstandet sind, Reflexionen an der äußeren Oberfläche auftreten. Weiter können, wenn die erste und zweite Elektroden 410 und 420 um einiges näher zueinander sind, Beugungen an der Grenzfläche auftreten, wodurch die Grenzflächen bloßgelegt werden. Aus diesem Grund wurde die Platzhalterstruktur 430 entworfen, um in einem potenzialfreien Zustand ohne Anlegen von irgendwelchen elektrischen Signalen zu sein, um so das Bloßlegen der Strukturen von der erste und zweiten Elektroden 410 und 420 zu vermeiden oder zu reduzieren.
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Das vierte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem oben erwähnten ersten Ausführungsbeispiel dadurch, dass die erste und zweite Elektrode um 90 Grad gedreht sind und weiter die Platzhalterstruktur 430 vorgesehen ist.
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Wie oben erwähnt, sind für eine Struktur mit einer aus einer transparenten Elektrode bestehenden Verbindungsstruktur, Metallstrukturen vorgesehen, die elektrisch mit der transparenten Elektrode verbunden sind, um den Widerstand der Verbindungsstrukturen zu verringern und somit die RC-Verzögerung zu reduzieren. Als Ergebnis kann diese Struktur den Widerstand um etwa 10 bis 20 gegenüber einer Struktur, die keine solchen Metallstrukturen aufweist, reduzieren.
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Dies bedeutet, dass aus der transparenten Elektrode bestehende Verbindungsstrukturen weiter reduziert werden können und die Größe der aus einer transparenten Elektrode bestehenden rautenförmigen Strukturen in dem übrigen Erfassungsbereich verringert werden kann.
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Dem entsprechend können großflächige Touch-Panels, wie PDAs, Notebooks, im allgemeinen Bildschirme, die größer als ein Mobilfunktelefon sind, den Widerstand genügend verringern und so verbesserte kapazitive Touch-Panels ermöglichen.
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In letzter Zeit weisen die Erfassungselektrodenbereiche eine Diagonale von etwa 7,5 mm und von 6,0 mm oder, für höhere Auflösungen, kleiner auf. Der Widerstand der aus einer transparenten Elektrode bestehenden Elektrode erhöht sich weiter. Das Vorhandensein der Metallstrukturen führt zu einer wesentlichen Verringerung des Widerstands.
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Zusätzlich wird die Leistung der Chips verbessert und somit die Notwendigkeit den Widerstand zu reduzieren verstärkt, obwohl ein Chip mit der gleichen Größe auf die gleiche Weise benutzt wird. In diesem Fall nehmen die Effekte der Widerstandsreduzierung weiter zu.
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Weiter bleibt die Anzahl der verwendeten Masken gleich, ohne zusätzliche Kosten für Masken und Prozesse mit sich zu bringen.
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Zusätzlich kann der Widerstand der aus transparenten Elektroden bestehenden Verbindungsstrukturen reduziert und Schäden während elektrostatischer Tests vermieden oder reduziert werden.
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Unterdessen kann das zuvor erwähnte Touch-Panel durch Verkleben des Touch-Panels an ein Flüssigkristallpanel oder durch Ausbilden von Elementen wie Elektroden auf der Rückseite des Flüssigkristallpanels gebildet werden.
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Das heißt, dass das Substrat 100 die keine Flüssigkristallschicht kreuzende rückseitige Fläche eines Substrats (im allgemeinen ein zweites Substrat mit einem Farbfilterarray) eines Flüssigkristallpanels nutzt.
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In diesem Fall weist das Flüssigkristallpanel sich kreuzende erste und zweite Substrate (100), eine zwischen dem ersten und zweiten Substrat eingefüllte Flüssigkristallschicht, ein auf dem ersten Substrat angeordnetes, der Flüssigkristallschicht zugewandtes Dünnfilmtransistorarray, und ein auf dem zweiten Substrat angeordnetes, der Flüssigkristallschicht zugewandtes Farbfilterarray auf.
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In diesem Fall weist das Dünnfilmtransistorarray eine Vielzahl von Gate-Leitungen und eine Vielzahl von Datenleitungen, die an ihren Kreuzungspunkten die Pixelbereiche definieren, einen an den Kreuzungspunkten von Gate-Leitung und Datenleitung angeordneten Dünnfilmtransistor (TFT), und eine in dem Pixelbereich angeordnete Pixelelektrode auf.
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Zusätzlich weist das Farbfilterarray eine schwarze Matrixschicht, eine Farbfilterschicht und eine gemeinsame Elektrode (Vcom (Treiberspannung)) auf.
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Weiter ist ein die erste und zweite Elektroden aufweisendes Touch-Panel auf dem zweiten Substrat vorgesehen und ein Abdeckglas zum Schützen der Elektroden von äußeren Beschädigungen kann weiter drauf vorgesehen sein.
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Als solches ist das mit einem Touch-Panel integrierte Flüssigkristallanzeigegerät vorzugsweise, aber nicht notwendigerweise in einem on-cell kapazitiven Typ gebildet, wobei ein Touch-Panel auf einem Flüssigkristallpanel angeordnet ist. Das Substrat des Touch-Panels verwendet das zweite Substrat des Flüssigkristallpanels, wodurch die Anzahl der verwendeten Substrate verringert wird.
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Zusätzlich kann das kapazitive Touch-Panel ein gegenkapazitiver Typ oder ein eigenkapazitiver Typ sein. Beispielsweise wird der kapazitive Typ, wo die erste Elektrode eine Treiberspannung empfängt und die zweite Elektrode eine durch das Vorhandensein von Berührungen variierende Spannung oder Kapazität oder elektrische Ladung erfasst, als gegenkapazitiver Typ definiert, und der kapazitive Typ, wo die erste und zweite Elektroden die Treiberspannung der Reihe nach empfangen und die erste und zweite Elektrode Veränderungen (Spannung oder Kapazität oder elektrische Ladung) durch das Vorhandensein von Berührungen getrennt detektieren, wird als eigenkapazitiver Typ definiert.
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Das erfindungsgemäße Touch-Panel und ein Flüssigkristallanzeigegerät, das dieses aufweist, weisen die folgenden Vorteile auf.
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Erstens wird für ein kapazitives Touch-Panel, in dem Elektroden in der Form von sich kreuzenden Rautenstrukturen angeordnet sind, ein Sensor durch Integration von rautenförmigen Elektroden mit einer Brückenelektrode zum Anschließen der Elektroden mit Hilfe einer transparenten Elektrode gebildet, und ein weiterer Sensor wird durch die Beabstandung von rautenförmigen Elektroden und elektrischem Verbinden der angrenzenden Elektroden des weiteren Sensors untereinander mittels einer aus einem Metall in einer separaten Schicht bestehenden Brückenelektrode gebildet. In diesem Fall ist zusätzlich eine Metallstruktur unter der aus der transparenten Elektrode bestehenden Brückenelektrode vorgesehen, und die Metallstruktur kontaktiert die Brückenelektrode, um den von der Brückenelektrode erzeugten Widerstand zu reduzieren, um so in erster Linie die vom erhöhten Widerstand hervorgerufenen RC-Verzögerungen zu vermeiden oder zu verringern. Als Ergebnis wird die Erfassungsrate von jeder Elektrode gleichmäßig gemacht und Empfindlichkeit und Berührungserfassung können so verbessert werden.
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Zweitens kann, falls die Sensoren unterschiedliche Längen aufweisen, der Widerstandsunterschied zwischen den Sensoren minimiert werden, deren Empfindlichkeit kann gleichmäßig gemacht werden und dadurch die Genauigkeit der Berührungserfassung verbessert werden, indem die Länge und Breite der unter dem Sensor mit dem höheren Widerstand angeordneten Metallstrukturen gesteuert wird.
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Drittens bestehen, falls vorhanden, die Metallstrukturen aus einem Metall mit einem spezifischen Widerstand von 1/20 oder weniger einer transparenten Elektrode, so dass der Widerstand des aus transparentem Elektrodenmaterial bestehenden Brückenelektrodenbereichs wesentlich reduziert wird.
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Viertens bestehenden die metallenen Brückenelektroden und die Metallstrukturen aus Chrom, welches eine überlegene Absorption von externem Licht zeigt oder einem, dieses aufweisendes Laminats, so dass die Blendwirkung aufgrund von Reflektion von externem Licht vermieden oder verringert und hierdurch die Sichtbarkeit verbessert wird.
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Fünftens wird der Widerstand in einem transparenten Elektrodenverbindungsbereich zwischen rautenförmigen Strukturen reduziert, so dass Beschädigungen der aus einem transparenten Elektrodenmaterial bestehen Brückenelektroden bei elektrostatischen Tests vermieden oder vermindert wird.
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Sechstens und letztens wird der Gesamtwiderstand der Elektroden verringert, und der Widerstandsunterschied zwischen den Verbindungsteilen wird reduziert, wodurch widerstandsbedingte Erfassungsverzögerung minimiert und großflächige kapazitive Touch-Panels ermöglicht werden.
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Für Kenner der Materie ist es offensichtlich, dass verschiedene Modifikationen und Abwandlungen der vorliegenden Erfindung gemacht werden können, ohne den Sinn oder Bereich der Erfindung zu verlassen. Deshalb ist es beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung auch Modifikationen und Abwandlungen diese Erfindung abdeckt, sofern sie in den Bereich der Ansprüche und deren Äquivalente fallen.
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Bezugszeichenliste
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- 10
- Substrat
- 11
- Verbindungsmetall
- 12
- Isolierfilm
- 12a
- Kontaktloch
- 13
- erste Elektrode
- 14
- zweite Elektrode
- 100
- Substrat
- 105
- zweite Brückenelektrode
- 106
- Isolierfilm, Isolierschicht
- 107
- erstes Kontaktloch
- 110
- zweite Elektrode
- 120
- erste Brückenelektrode
- 125
- erste Elektrode
- 130
- erste Metallstruktur
- 132, 137
- zweite Kontaktlöcher
- 135
- zweite Metallstruktur
- 145
- Routingleitung
- 147a
- drittes Kontaktloch
- 147b
- Anschlusselektrodenöffnung
- 148
- Routingkontaktelektrode
- 205
- zweite Brückenelektrode
- 207
- erstes Kontaktloch
- 210
- zweite Elektrode
- 220
- erste Brückenelektrode
- 231, 232
- erste Metallstruktur
- 233
- dritter Kontaktabschnitt
- 234, 235
- zweite Metallstruktur
- 236
- vierter Kontaktabschnitt
- 310
- erste Elektrode
- 315
- erste Brückenelektrode
- 320
- zweite Elektrode
- 330
- zweite Brückenelektrode
- 340
- Metallstruktur
- 341
- Kontaktloch
- 405
- zweite Brückenelektrode, Metallstruktur
- 406a
- erstes Kontaktloch
- 406b
- zweites Kontaktloch
- 407
- erste Brückenelektrode
- 410
- erste Elektrode
- 415, 416
- Metallstrukturen
- 417a, 417b
- zweite Kontaktlöcher
- 420
- erste Metallstruktur, zweite Elektrode
- 430
- Platzhalterstruktur
- 501a
- Chromfilm
- 501b
- Chromoxidfilm
- 505
- zweite Brückenelektrode
- 545
- Routingleitung
- 546
- Anschlusselektrode
- 1100
- zweiter Sensor
- 1200
- erster Sensor
