DE102010014579A1 - Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe mit 1.1 Bereitstellen einer elektrisch leitenden Folie, insbesondere einer Trägerfolie, 1.2 Bereitstellen mindestens eines elektrischen Bauteils mit mindestens einer elektrischen Kontaktstelle, 1.3 Anordnen des mindestens einen Bauteils mit der mindestens einen elektrischen Kontaktstelle auf der elektrisch leitenden Folie, 1.4 Bereitstellen eines Trägers, insbesondere aus einem flexiblen Material, 1.5 Laminieren der Folie mit dem Träger derart, dass das mindestens eine elektrische Bauteil zwischen Folie und Träger angeordnet ist und 1.6 Strukturieren der elektrisch leitenden Folie zu Leiterbahnen und ggfs. Kühlflächen. Dieses Verfahren ist teuer und zeitaufwändig, da für das Befestigen des Bauteils auf der Folie und das elektrische Kontaktieren des Bauteils mit der Folie jeweils mindestens ein Verfahrensschritt notwendig ist. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und ein Zwischenprodukt anzugeben, durch das ein schnelleres und günstigeres Befestigen und Kontaktieren möglich ist. Diese Aufgabe wird verfahrensseitig gelöst durch Bilden einer mechanischen und elektrischen Verbindung zwischen dem mindestens einen elektrischen Bauteil und der elektrisch leitenden Folie im Schritt 1.3.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe sowie ein Zwischenprodukt bei der Herstellung.
  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe mit 1.1 Bereitstellen einer elektrisch leitenden Folie, insbesondere einer Trägerfolie, 1.2 Bereitstellen mindestens eines elektrischen Bauteils mit mindestens einer elektrischen Kontaktstelle, 1.3 Anordnen des mindestens einen Bauteils mit der mindestens einen elektrischen Kontaktstelle auf der elektrisch leitenden Folie, 1.4 Bereitstellen eines Trägers, insbesondere aus einem flexiblen Material, 1.5 Laminieren der Folie mit dem Träger derart, dass das mindestens eine elektrische Bauteil zwischen Folie und Träger angeordnet ist und 1.6 Strukturieren der elektrisch leitenden Folie zu Leiterbahnen und ggfs. Kühlflächen.
  • Die Erfindung betrifft ferner ein Zwischenprodukt bei der Herstellung der elektronischen Baugruppe mit einer elektrisch leitenden Folie, mindestens einem elektrischen Bauteil, sowie einem Träger, wobei die Folie mit dem Träger derart laminiert ist, dass das mindestens eine elektrische Bauteil zwischen der Folie und dem Träger angeordnet ist, und das mindestens eine elektrische Bauteil mit der mindestens einen elektrischen Kontaktstelle auf der elektrisch leitenden Folie angeordnet ist.
  • Ein derartiges Verfahren bzw. ein derartiges Zwischenprodukt ist bekannt aus DE 10 2008 009 220 A1 .
  • Ein Nachteil des Verfahrens bzw. des Zwischenprodukts ist, dass für das Befestigen des Bauteils auf der Folie und das elektrische Kontaktieren des Bauteils mit der Folie jeweils mindestens ein Verfahrensschritt notwendig ist, wodurch das Verfahren teuer und zeitaufwändig ist.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren und ein Zwischenprodukt anzugeben, durch das ein schnelleres und günstigeres Befestigen und Kontaktieren möglich ist.
  • Diese Aufgabe wird verfahrensseitig gelöst durch Bilden einer mechanischen und elektrischen Verbindung zwischen dem mindestens einen elektrischen Bauteil und der elektrisch leitenden Folie im Schritt 1.3.
  • Vorteilhaft erfolgt das Bereitstellen der Folie im Schritt 1.1. durch das Bereitstellen einzelner, zugeschnittener Folienabschnitte oder durch das Bereitstellen einer Endlosfolie von einer Rolle.
  • Bevorzugt erfolgt das Bereitstellen des mindestens einen elektrischen Bauteils im Schritt 1.2 durch Bereitstellen desselben auf einer Endlosfolie oder Bereitstellen in einem Magazin.
  • Vorteilhaft erfolgt das Anordnen des mindestens einen elektrischen Bauteils im Schritt 1.3 automatisiert durch einen Bestückungsroboter oder von Hand, insbesondere mit Hilfe von Schablonen oder Positionsmarkern in bzw. auf der Folie.
  • Das Bereitstellen des Trägers im Schritt 1.4 kann durch Bereitstellen einzelner, zugeschnittener Trägerabschnitte oder durch Bereitstellen eines Endlosträgers von einer Rolle erfolgen.
  • Vorzugsweise erfolgt das Laminieren der Folie mit dem Träger im Schritt 1.5 durch Ausüben eines Anpressdruckes auf die Folie in Richtung des Trägers, insbesondere unter gleichzeitiger Wärmeeinwirkung.
  • Vorteilhaft erfolgt das Strukturieren der elektrisch leitenden Folie zu Leiterbahnen und ggfs. Kühlflächen im Schritt 1.6 durch Direktstrukturierung, z. B. mit einem Laser, oder durch Erzeugen einer Positiv- oder Negativmaske und anschließendem Ätzen.
  • Insbesondere kann das Bilden einer Verbindung im Schritt 1.7 durch Lasern, Ultraschallbeaufschlagung oder durch Sintern erfolgen.
  • Vorteilhaft erfolgt das Bilden einer Verbindung im Schritt 1.7 in einem Vakuum oder einer Atmosphäre aus Schutzgas.
  • Vorteilhaft wird die Folie mit dem Träger und dem mindestens einen elektrischen Bauteil nach dem Schritt 1.6 auf einer Rolle aufgewickelt.
  • In Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass ein Umhüllen des mindestens einen elektrischen Bauteils nach dem Schritt 1.3 mit einem Füllmaterial aus einem Polymer, insbesondere einem Thermoplast, Duroplast oder einem Elastomer erfolgt.
  • Vorteilhaft erfolgt das Füllen des Füllmaterials in eine vorbestimmte Form, insbesondere durch Gießen, Schäumen, Extrudieren oder Laminieren.
  • In Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass ein Erzeugen mindestens einer weiteren Trägerschicht auf den in Schritt 1.6 erzeugten Leiterbahnen erfolgt, wobei diese bevorzugt isolierend und/oder dieelektrisch ist und/oder weitere Leiterbahnen enthält.
  • Insbesondere kann nach dem Schritt 1.6 ein Aufbringen mindestens einer Verstärkungsschicht, vorzugsweise mehrerer Verstärkungsschichten, auf den Träger oder die Trägerschicht erfolgen. Es kann alternativ auch vorgesehen sein, dass der Träger ggfs. nach dem Schritt 1.6 entfernt wird.
  • In Weiterbildung der Erfindung kann ein Zuschneiden des Trägers in eine vorbestimmte Form zum Bilden der elektronischen Baugruppe, insbesondere vor und/oder nach dem Laminieren mit der Leiterplatte im Schritt 1.5. erfolgen.
  • Die Aufgabe wird bzgl. des Zwischenprodukts gelöst durch eine Verbindung zwischen dem mindestens einem elektrischen Bauteil und der elektrisch leitenden Folie, die das Bauelement an der Folie mechanisch fixiert und mit ihr elektrisch kontaktiert.
  • Dabei kann die elektrisch leitende Folie aus Metall, insbesondere Kupfer, elektrisch leitfähigem Kunststoff oder elektrisch leitfähiger Keramik bestehen, auf deren Oberfläche ggfs. zumindest bereichsweise eine Schicht aus Silber oder einer Silberverbindung und/oder eine dreidimensionale Struktur aus metallischen Nanopartikeln vorhanden ist und ggfs. durch eine Trägerfolie verstärkt ist.
  • Insbesondere kann vorgesehen sein, dass die elektrisch leitende Folie auf der dem mindestens einem elektrischen Bauteil zugewandten Seite glatt oder angerauht ist oder eine Höckerstruktur aufweist.
  • Es kann vorgesehen sein, dass das mindestens eine elektrische Bauteil ein passives oder aktives Bauelement, insbesondere ein Chip, ist, wobei es vorzugsweise außerhalb der Kontaktstellen mit einem Schutzüberzug, insbesondere einem Lack, versehen ist.
  • In Weiterbildung kann vorgesehen sein, dass der Schutzüberzug elektrisch isolierend und/oder ein Dieelektrikum ist.
  • Vorteilhaft kann der Träger eine Folie, insbesondere aus Metall, Kunststoff oder Keramik sein, eine Matte aus Naturmaterialien, wie z. B. Pflanzenfasern, ein Lederabschnitt, ein Textilabschnitt oder ein Abschnitt aus einem sonstigen Gewebe oder Verbundwerkstoff sein oder eine Leiterplatte, ein Keramikträger oder ein Glasträger sein.
  • In Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass dem Träger eine Verstärkungsschicht zugeordnet ist und insbesondere aus Metall, Kunststoff oder Keramik sein kann, aus Naturmaterialien, wie z. B. Pflanzenfasern, aus Leder, aus Textil oder aus einem sonstigen Gewebe oder Verbundwerkstoff sein kann oder eine Leiterplatte, ein Keramikträger oder ein Glasträger sein kann.
  • Bevorzugt ist die Verbindung eine Schweiß- oder Sinterverbindung.
  • Das mindestens eine elektrische Bauteil kann mindestens eine Kontaktseite aufweisen, in der jeweils mindestens eine elektrische Kontaktstelle angeordnet ist, wobei vorzugsweise die mindestens eine elektrische Kontaktstelle plan mit der entsprechenden Kontaktseite ist.
  • Vorteilhaft besteht die Kontaktstelle aus Kupfer oder einer Kupferverbindung, auf deren Oberfläche ggfs. eine Schicht aus Silber oder einer Silberverbindung und/oder eine dreidimensionale Struktur aus metallischen Nanopartikeln vorhanden sein kann.
  • In Weiterbildung kann vorgesehen sein, dass an dem mindestens einem elektrischen Bauteil ein Abschnitt der elektrisch leitenden Folie als Wärme abführender Kontaktbereich gebildet ist (Folienkühlabschnitt).
  • In Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass ein Kühlkörper oder ein Kühlkanal mit dem Folienkühlabschnitt und/oder dem mindestens einem elektronischen Bauteil verbunden ist.
  • Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorzüge der Erfindung ergeben sich aus den Patentansprüchen, deren Wortlaut durch Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht wird, der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung sowie anhand der Zeichnungen. Hierbei zeigen:
  • 1 schematisch die Seitenansicht einer elektrisch leitenden Folie als Ausgangsmaterial für das Verfahren;
  • 2 schematisch einen Querschnitt eines elektrischen Bauteils;
  • 2a einen vergrößerten Ausschnitt der 2;
  • 2b eine vergrößerte Darstellung einer Kontaktstelle des Bauteils der 2a;
  • 3 eine Seitenansicht der Folie der 1 mit zwei darauf angeordneten Bauteilen;
  • 4 die Anordnung der 3, wobei zusätzlich ein Füllmaterial aufgebracht ist;
  • 5 die Anordnung der 4, wobei zusätzlich ein Träger auflaminiert ist;
  • 6 die Anordnung der 5, wobei zusätzlich Leiterbahnen und ein Folienkühlabschnitt angeordnet sind;
  • 7 die Anordnung der 6, wobei zusätzlich Leiterbahnen und ein Folienkühlabschnitt angeordnet sind, wobei aber der Träger 9 wieder entfernt und eine Trägerschicht 9a mit einer weiteren Verstärkungsschicht 9b auf der Seite der Leiterbahnen auflaminiert wurde; und
  • 8 schematische Ansicht einer elektronischen Baugruppe
  • 1 zeigt schematisch einen Ausschnitt einer Seitenansicht einer von einer Rolle abgewickelten, elektrisch leitenden Folie 3 aus Kupfer. Eine Folienoberfläche 3o, welche nachher einem elektrischen Bauteil 5 zugewandt ist, ist mit einer gleichmäßigen Beschichtung von ca. 200–300 Nanometer Silber (oder einer silberhaltigen Legierung) versehen. Die Folie 3 ist an der der Seite 3o gegenüberliegenden Seite durch eine Trägerfolie 3a verstärkt, die auf die Folie 3 auflaminiert ist und aus einem Polymer besteht.
  • 2 zeigt schematisch ein elektrisches Bauteil 5, vorliegend einen Chip, in einer Schnittansicht. Das Bauteil 5 ist an allen Seiten von einer Schutzschicht 5a aus elektrisch isolierendem Lack überzogen. Das Bauteil 5 weist eine Kontaktseite 5b mit zwei Kontaktstellen 5c für die elektrische Kontaktierung mit der Folie 3 auf, die von der aufgetragenen Schutzschicht 5a ausgespart sind. Die Oberflächen der Kontaktstellen 5c sind, wie aus 2b ersichtlich, mit einer Schicht Silber (oder einer silberhaltigen Legierung) beschichtet. Die Bauteile 5 werden von einer von einer Rolle abgewickelten Folie bereitgestellt, auf der sie zueinander beabstandet angeordnet sind.
  • Ein Roboterarm greift jeweils ein oder mehrere Bauteile 5 von der Folie und setzt diese an definierten Stellen auf der beschichteten Oberfläche 3o der Folie 3 auf. Ein als Schweißelektrode ausgebildeter Stempel wird auf die Trägerfolie 3a aufgesetzt, um die Folie 3 mit dem Bauteil 5 wie folgt zu verschweißen: Der Stempel versetzt die Folie 3 in ultrahochfrequente Schwingungen und erwirkt nach kurzer Einwirkungszeit ein Kaltverschweißen der angrenzenden Oberflächen 3o und 5c.
  • Um ein Verrutschen des Bauteils 5 auf der Folie während des Schweißvorgangs zu verhindern, werden die Bauteile 5 auf der Folie 3 durch den Roboterarm oder durch einen Stempel fixiert. Der Schweißvorgang erfolgt unter einer Schutzatmosphäre, um eine Korrosion der Schweißstellen zu verhindern.
  • Die auf diese Weise hergestellte Verbindung 7 fixiert die Bauteile 5 mechanisch auf der Folie 3 und kontaktiert sie elektrisch mit ihr.
  • 3 zeigt die Anordnung von zwei derartig befestigten und kontaktierten Bauteilen 5 auf der Folie 3.
  • Von einer weiteren Rolle wird nun eine Folie eines thermoplastischen Polymers abgerollt und auf die Anordnung der 3 aufgelegt. Beides wird durch einen Spalt zwischen zwei erwärmten Walzen geführt, um die Folie des thermoplastischen Polymers zu erwärmen und diese gegen die Folie 3 zu drücken, um die Bauteile 5 zu umhüllen. Dadurch entsteht eine Umhüllung der Bauteile 5 mit einem Füllmaterial 19 (dem thermoplastischen Polymer) auf der Folie 3, die die Bauteile 5 vor Umwelteinflüssen schützt, s. 4.
  • Von einer weiteren Rolle wird nun eine Folie eines Kunststoffverbundmaterials, vorliegend in einem Epoxyharz angeordnete Glasfasern, abgewickelt und auf die Anordnung der 4 aufgelegt. Beides wird durch einen Spalt zwischen zwei erwärmten Walzen geführt, um die Folie des Kunststoffverbundmaterials zu erwärmen und diese gegen die Umhüllung 19 zu drücken, um das Kunststoffverbundmaterial auf die Umhüllung 19 aufzulaminieren. Wie in 5 dargestellt, bildet das auflaminierte Kunststoffverbundmaterial einen Träger 9 für die Anordnung der 4, vorliegend einen starren Träger 9.
  • Ein auf die Folienoberfläche 3u gerichteter Laserstrahl verdampft vorbestimmte Abschnitte der Folie 3. Die verbleibenden Abschnitte der Folie 3 bilden Leiterbahnen 11 und einen elektrisch nicht angebundenen Folienkühlabschnitt 13, s. 6.
  • Auf die in 6 obere Seite werden weitere Schichten 9a und 9b auflaminiert, wie oben beschrieben, wobei die Schicht 9a ein thermoplastisches Polymer ist und die Schicht 9b ein Kunststoffverbundmaterial, vorliegend in einem Epoxyharz angeordnete Glasfasern, ist, s. 7. In diesen Schichten ist ein Kühlkanal 15 durch Bohren gebildet, der mit einem Kühlkörper 17 verbunden ist.
  • Die laminierten Schichten 9, 9a, 9b und 19 mit den darin befindlichen, elektrischen Bauteilen 5 werden durch einen Laserstrahl in einzelne elektronische Baugruppen getrennt. In 8 ist eine teilweise weggebrochene perspektivische Ansicht der auf diese Weise hergestellten Baugruppe 1 dargestellt, die nun für ihren Einsatz, bspw. in Mobiltelephonen, zur Verfügung steht.
  • In dem oben dargestellten Ausführungsbeispiel wurde die Folie 3 mit dem Bauteil 5 durch Ultraschallschweißen verbunden. Alternativ kann die Folie 3 mit dem Bauteil 5 durch ein Sinterverfahren, wie folgend beschrieben, verbunden werden:
    Nachdem wie vorhergehend beschrieben ein oder mehrere Bauteile 5 an definierten Stellen auf der beschichteten Oberfläche 3o der Folie 3 aufgesetzt wurden, wird ein Stempel auf diese aufgesetzt und ein weiterer Stempel auf die gegenüberliegende Oberfläche 3u der Folie 3 aufgesetzt. Die Folie 3 ist in diesem Ausführungsbeispiel nicht durch eine Trägerfolie 3a verstärkt.
  • Beide Stempel werden in einem, an der jeweiligen Oberfläche anliegenden, Bereich aufgeheizt und erwärmen Folie 3 und das Bauteil 5 derart, dass die sich gegenüberliegenden Oberflächen 3o und 5c nach kurzer Einwirkungszeit aufschmelzen und sich miteinander verbinden.
  • Ein durch die Stempel aufgebrachter gegenseitiger Druck verstärkt die dabei entstehende Verbindung 7.
  • Anstelle der lokalen Aufheizung mit Stempeln ist auch eine Aufwärmung der Anordnung der 3 in einem Ofen oder ein Durchlaufen einer Wärmestation oder eine Erwärmung der Folie 3 mittels elektrisch induzierter Wärme oder eine Kombination dieser Verfahren möglich.
  • In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird die Folie 3 mit dem Bauteil 5 durch ein Laserschweissverfahren, wie folgend beschrieben, verbunden:
    Die Bauteile 5 werden wie geschildert auf der Folie 3 positioniert. Nun wird ein Laserstrahl auf die Oberfläche 3u der Folie 3 gerichtet und schmilzt die Folie 3 und die Oberfläche der Kontaktstelle 5c des Bauteils 5 auf, wobei es zu einer Vermengung der jeweiligen Schmelzen miteinander kommt. Nach Abschaltung des Lasers erstarren die Schmelzen und bilden die Verbindung 7. Dieser Vorgang kann beliebig oft wiederholt werden, bis die Verbindung 7 eine ausreichende Qualität erreicht hat. Der Laserstrahl kann dabei durch eine punkt- oder schlitzförmige Blende oder durch ein transparentes Medium geführt und während des Schweissvorgangs bewegt werden.
  • Um die Herstellung einer Verbindung 7 und die elektrische Leitfähigkeit in allen drei Ausführungsbeispielen zu unterstützen, ist es vorteilhaft, wenn zusätzlich die Oberfläche 3o zumindest im Bereich der Kontaktstellen und die Kontaktstellen 5c selber kontaktseitig eine Schicht aus Silber oder einer Silberverbindung und/oder eine dreidimensionale Struktur aus metallischen Nanopartikeln aus z. B. Gold, Silber, Nickel oder Kupfer oder aus einer Legierung aus diesen Metallen aufweisen, welche die Reaktionsfähigkeit bei dem Aufbau der Verbindung 7 unterstützen, insbesondere die Reaktionszeit und die benötigte Reaktionstemperatur herabsetzen. Damit wird z. B. ein Niedertemperatursintern bei ca. 130–200°C, insbesondere um 150°C, ermöglicht.
  • Ebenso kann zur Optimierung der Herstellung der Verbindung 7 anstelle einer Schutzatmosphäre auch ein Vakuum verwendet werden.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    elektronische Baugruppe
    3
    elektrisch leitende Folie
    3a
    Trägerfolie
    3o
    obere Seite der elektrisch leitenden Folie
    3u
    untere Seite der elektrisch leitenden Folie
    5
    elektrisches Bauteil
    5a
    Schutzüberzug
    5b
    Kontaktseite
    5c
    elektrische Kontaktstelle
    7
    Verbindung
    9
    Träger
    9a
    Trägerschicht
    9b
    Verstärkungsschicht
    11
    Leiterbahnen
    13
    Folienkühlabschnitt
    15
    Kühlkanal
    17
    Kühlkörper
    19
    Füllmaterial
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 102008009220 A1 [0004]

Claims (28)

  1. Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe (1) mit 1.1 Bereitstellen einer elektrisch leitenden Folie (3), insbesondere einer Trägerfolie (3a), 1.2 Bereitstellen mindestens eines elektrischen Bauteils (5) mit mindestens einer elektrischen Kontaktstelle (5c), 1.3 Anordnen des mindestens einen Bauteils (5) mit der mindestens einen elektrischen Kontaktstelle (5c) auf der elektrisch leitenden Folie (3), 1.4 Bereitstellen eines Trägers (9), insbesondere aus einem flexiblen Material, 1.5 Laminieren der Folie (3) mit dem Träger (9) derart, dass das mindestens eine elektrische Bauteil (5) zwischen Folie (3) und Träger (9) angeordnet ist, 1.6 Strukturieren der elektrisch leitenden Folie (3) zu Leiterbahnen (11) und ggfs. Kühlflächen (13), gekennzeichnet durch 1.7 Bilden einer mechanischen und elektrischen Verbindung (7) zwischen dem mindestens einem elektrischen Bauteil (5) und der elektrisch leitenden Folie (3) im Schritt 1.3.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Bereitstellen der Folie (3) im Schritt 1.1. durch das Bereitstellen einzelner, zugeschnittener Folienabschnitte oder durch das Bereitstellen einer Endlosfolie von einer Rolle erfolgt.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Bereitstellen des mindestens einen elektrischen Bauteils (5) im Schritt 1.2 durch Bereitstellen desselben auf einer Endlosfolie oder Bereitstellen in einem Magazin erfolgt.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Anordnen des mindestens einen elektrischen Bauteils (5) im Schritt 1.3 automatisiert durch einen Bestückungsroboter oder von Hand, insbesondere mit Hilfe von Schablonen oder Positionsmarkern in bzw. auf der Folie, erfolgt.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Bereitstellen des Trägers (9) im Schritt 1.4 durch Bereitstellen einzelner, zugeschnittener Trägerabschnitte oder durch Bereitstellen eines Endlosträgers von einer Rolle erfolgt.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Laminieren der Folie (3) mit dem Träger (9) im Schritt 1.5 durch Ausüben eines Anpressdruckes auf die Folie 3) in Richtung des Trägers (9) erfolgt, insbesondere unter gleichzeitiger Wärmeeinwirkung.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Strukturieren der elektrisch leitenden Folie (3) zu Leiterbahnen (11) und ggfs. Kühlflächen (13) im Schritt 1.6 durch Direktstrukturierung, z. B. mit einem Laser, oder durch Erzeugen einer Positiv- oder Negativmaske und anschließendem Ätzen erfolgt.
  8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Bilden einer Verbindung (7) im Schritt 1.7 durch Lasern, Ultraschallbeaufschlagung oder durch Sintern erfolgt.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Bilden einer Verbindung (7) im Schritt 1.7 in einem Vakuum oder einer Atmosphäre aus Schutzgas erfolgt.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Aufwickeln der Folie (3) mit dem Träger (9) und dem mindestens einen elektrischen Bauteil (5) nach dem Schritt 1.6 auf einer Rolle.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Umhüllen des mindestens einen elektrischen Bauteils nach dem Schritt 1.3 mit einem Füllmaterial (19) aus einem Polymer, insbesondere einem Thermoplast, Duroplast oder einem Elastomer.
  12. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, gekennzeichnet durch Füllen des Füllmaterials (19) in eine vorbestimmte Form, insbesondere durch Gießen, Schäumen, Extrudieren oder Laminieren.
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch das Erzeugen mindestens einer weiteren Trägerschicht (9a) auf den in Schritt 1.6 erzeugten Leiterbahnen (11), die bevorzugt isolierend und/oder dieelektrisch ist und/oder weitere Leiterbahnen enthält.
  14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet dadurch, dass nach dem Schritt 1.6 ein Aufbringen mindestens einer Verstärkungsschicht (9b), vorzugsweise mehrerer Verstärkungsschichten (9b), auf den Träger (9) oder die Trägerschicht (9a) erfolgt, oder dass der Träger (9) ggfs. nach dem Schritt 1.6 entfernt wird.
  15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Zuschneiden des Trägers (9) in eine vorbestimmte Form zum Bilden der elektronischen Baugruppe (1), insbesondere vor und/oder nach dem Laminieren mit dem Träger (9) im Schritt 1.5.
  16. Zwischenprodukt bei der Herstellung einer Elektronischen Baugruppe (1), mit 16.1 einer elektrisch leitenden Folie (3), 16.2 mindestens einem elektrischen Bauteil (5), sowie 16.3 einem Träger (9), wobei 16.4 die Folie (3) mit dem Träger (9) derart laminiert ist, dass das mindestens eine elektrische Bauteil (5) zwischen der Folie (3) und dem Träger (9) angeordnet ist, und 16.5 das mindestens eine elektrische Bauteil (5) mit mindestens einer elektrischen Kontaktstelle (5c) auf der elektrisch leitenden Folie angeordnet ist, gekennzeichnet durch 16.6 eine Verbindung (7) zwischen dem mindestens einem elektrischen Bauteil (5) und der elektrisch leitenden Folie (3), die das Bauelement (5) an der Folie (3) mechanisch fixiert und mit ihr elektrisch kontaktiert.
  17. Zwischenprodukt nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrisch leitende Folie (3) aus Metall, insbesondere Kupfer, elektrisch leitfähigem Kunststoff oder elektrisch leitfähiger Keramik besteht, auf deren Oberfläche (3o) ggfs. zumindest bereichsweise eine Schicht aus Silber oder einer Silberverbindung und/oder eine dreidimensionale Struktur aus metallischen Nanopartikeln vorhanden ist und ggfs. durch eine Trägerfolie (3a) verstärkt ist.
  18. Zwischenprodukt nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrisch leitende Folie (3) auf der dem mindestens einem elektrischen Bauteil (5) zugewandten Seite glatt oder angerauht ist oder eine Höckerstruktur aufweist.
  19. Zwischenprodukt nach Anspruch 16–18, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine elektrische Bauteil (5) ein passives oder aktives Bauelement, insbesondere ein Chip, ist, wobei es vorzugsweise außerhalb der Kontaktstellen (5c) mit einem Schutzüberzug (5a), insbesondere einem Lack, versehen ist.
  20. Zwischenprodukt nach Anspruch 16–19, wobei der Schutzüberzug (5a) elektrisch isolierend und/oder ein Dieelektrikum ist.
  21. Zwischenprodukt nach Anspruch 16–20, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (9) eine Folie, insbesondere aus Metall, Kunststoff oder Keramik, ist, eine Matte aus Naturmaterialien, wie z. B. Pflanzenfasern, ein Lederabschnitt, ein Textilabschnitt oder ein Abschnitt aus einem sonstigen Gewebe oder Verbundwerkstoff ist oder eine Leiterplatte, ein Keramikträger oder ein Glasträger ist.
  22. Zwischenprodukt nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass dem Träger (9) eine Verstärkungsschicht (9b) zugeordnet ist und insbesondere aus Metall, Kunststoff oder Keramik ist, aus Naturmaterialien, wie z. B. Pflanzenfasern, aus Leder, aus Textil oder einem sonstigen Gewebe oder ein Verbundwerkstoff ist oder eine Leiterplatte, ein Keramikträger oder ein Glasträger ist.
  23. Zwischenprodukt nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung (7) eine Schweiß- oder Sinterverbindung ist.
  24. Zwischenprodukt nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine elektrische Bauteil (5) mindestens eine Kontaktseite (5b) aufweist, in der jeweils mindestens eine elektrische Kontaktstelle (5c) angeordnet ist, wobei vorzugsweise die mindestens eine elektrische Kontaktstelle (5c) plan mit der entsprechenden Kontaktseite (5b) ist.
  25. Zwischenprodukt nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktstelle (5c) aus Kupfer oder einer Kupferverbindung besteht, auf deren Oberfläche ggfs. eine Schicht aus Silber oder einer Silberverbindung und/oder eine dreidimensionale Struktur aus metallischen Nanopartikeln vorhanden ist.
  26. Zwischenprodukt nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an dem mindestens einem elektrischen Bauteil (5) ein Abschnitt der elektrisch leitenden Folie (3) als Wärme abführender Kontaktbereich (13) gebildet ist (Folienkühlabschnitt).
  27. Zwischenprodukt nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Kühlkörper (17) oder ein Kühlkanal (15) mit dem Folienkühlabschnitt (13) und/oder dem mindestens einen elektronischen Bauteil (5) verbunden ist.
  28. Elektronische Baugruppe, hergestellt nach einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15.
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