DE102009052436A1 - Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen - Google Patents

Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen Download PDF

Info

Publication number
DE102009052436A1
DE102009052436A1 DE102009052436A DE102009052436A DE102009052436A1 DE 102009052436 A1 DE102009052436 A1 DE 102009052436A1 DE 102009052436 A DE102009052436 A DE 102009052436A DE 102009052436 A DE102009052436 A DE 102009052436A DE 102009052436 A1 DE102009052436 A1 DE 102009052436A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
arc
electrode
product
distance
metal product
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102009052436A
Other languages
English (en)
Inventor
Elena Nikitina
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE102009052436A priority Critical patent/DE102009052436A1/de
Priority to DE202009018474U priority patent/DE202009018474U1/de
Publication of DE102009052436A1 publication Critical patent/DE102009052436A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • H05H1/48Generating plasma using an arc
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B3/00Hearth-type furnaces, e.g. of reverberatory type; Tank furnaces
    • F27B3/08Hearth-type furnaces, e.g. of reverberatory type; Tank furnaces heated electrically, with or without any other source of heat
    • F27B3/085Arc furnaces
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B3/00Hearth-type furnaces, e.g. of reverberatory type; Tank furnaces
    • F27B3/10Details, accessories, or equipment peculiar to hearth-type furnaces
    • F27B3/28Arrangement of controlling, monitoring, alarm or the like devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D11/00Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces
    • F27D11/08Heating by electric discharge, e.g. arc discharge
    • F27D11/10Disposition of electrodes
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D19/00Arrangements of controlling devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D21/00Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
    • F27D21/0028Devices for monitoring the level of the melt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055Arc discharge

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen, welche eine Vakuumkammer, ein Vakuumierungssystem, das zu behandelnde Metallerzeugnis, eine Stromversorgung für einen Lichtbogen, eine oder mehrere Elektroden, eine Zündungseinrichtung für die Bogenzündung zwischen der Oberfläche des zu behandelnden Metallerzeugnisses und der Elektrode, eine Einrichtung zur Verlagerung des Metallerzeugnisses in Bezug auf die Elektrode oder eine Einrichtung zur Verlagerung der Elektrode in Bezug auf das Metallerzeugnis aufweist, wobei das positive Potential der Stromversorgung des Lichtbogens an die Elektrode und das negative Potential an das zu behandelnde Metallerzeugnis angeschlossen ist. Damit der Energieaufwand minimiert und die Oberflächengüte bei der Behandlung von Oberflächen von Metallerzeugnissen erhöht wird, sieht die Erfindung vor, dass eine (oder mehrere) Elektrode(n) bei einem Druck in der Vakuumkammer im Bereich von 10,0 bis 1 x 10-3 Hg in einem Abstand von der Oberfläche des zu behandelnden Metallerzeugnisses angeordnet ist (sind), wobei der Abstand innerhalb der freien Weglänge der Elektronen in der elektrischen Entladung, d.h. im Bereich von 2,0 bis 200,0 mm, liegt.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Die vorgeschlagene Einrichtung bezieht sich auf die Metallurgie, und zwar auf die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen im Vakuum. Sie kann in den Betrieben der Eisen- und Metallhüttenindustrie sowie in der Maschinenbauindustrie eingesetzt werden.
  • Es sind mehrere Verfahren und Einrichtungen zur Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen bekannt (Urheberscheine Nr. 122.603, 224.716, 367.980, 1.113.106, 1.189.618; Patente der RF Nr. 2.012.694, 2.021.391, 2.064.524, 2.068.029, 2.074.903, 2.135.316, 2.144.096, 2.165.474, 2.170.283, 2.195.517; Patente der USA Nr. 4.950.377 , 4.971.667 , 5.246.741 , Patente Großbritanniens Nr. 2.055.939 ,
    Figure 00020001
    Patent Frankreichs Nr. 2.403.860 ; EP-Patent Nr. 0.175.538 ; Patente WO Nr. 92/6.965 , 93/13,238 , 97/00.106 , 99/28.520 ; "Plasmaphysik", 11978, 4(4), S. 425–428; R. F. Ivanovsky und andere, "Metallbehandlung nach Sputtertechnik", M., "Radio und Fernmeldewesen", 1986, S. 156–158 und andere).
  • Der gemeinsame Nachteil der oben aufgezählten Verfahren und Einrichtungen zur Lichtbogenbehandlung der Metallerzeugnisse besteht darin, dass diese Behandlung mit hohen Energieverlusten, geringer Leistungsfähigkeit und niedriger Behandlungsgüte verbunden ist. Das hängt damit zusammen, dass die Reinigung der Metallerzeugnisse mittels Kathodenflecken der Lichtbogenentladung vorgenommen wird. Die Kathodenflecken bewegen sich chaotisch über die zu reinigende Oberfläche, wenn der Elektrodenabstand die freie Weglänge der Elektronen des Lichtbogenplasmas mehrfach überschreitet.
  • Um die Bewegung der Kathodenflecken über die Oberfläche des zu behandelten Erzeugnisses, zum Beispiel während der Lichtbogenreinigung (Lichtbogenplasma-Reinigung der Metallerzeugnisse, Zeitschrift "Metallurgie", Nr. 4, 2005, S. 44) zu ordnen, wird die Bewegung der Kathodenflecken mittels Magnetfelder (Patent der RF Nr. 2.195.517) gesteuert.
  • Die Überlagerung des Außenmagnetfeldes mit der Lichtbogenentladung erhöht die Energieverluste wesentlich. Das liegt daran, dass diese Überlagerung den Spannungsabfall in der Bogenentladung noch mehr vergrößert (V. I. Rakhovsky, Physikgrundlagen der elektrischen Stromschaltung im Vakuum, NAUKA-Verlag, M., 1970, S. 250). Deswegen ist aus den Energieeinsparungsgründen ein solches Verfahren zur Steuerung der Bewegung von Kathodenflecken vorteilhafter, bei dem kein Außenmagnetfeld eingesetzt wird.
  • Unter den bekannten Verfahren liegt das ”Verfahren zur Behandlung der Erzeugnisoberfläche mittels Bogenentladung im Vakuum und der Einrichtung für seine Ausführung” (Patent der RF Nr. 2.145.643, C23C14/02, 1998) dem vorgeschlagenen Verfahren am nächsten. Dieses Verfahren und diese Einrichtung werden als Prototype der Erfindung angesehen.
  • Gemäß der bekannten Einrichtung wird die Elektrode (die Anode) in der Nähe der Oberfläche des zu behandelten Erzeugnisses (der Kathode) in der Vakuumkammer bei einem Druck von 10–10–3 Hg angeordnet. Die elektrische Ladung wird zwischen der Elektrode und dem zu behandelnden Erzeugnis gezündet. Die Behandlung (Oberflächenhärtung oder Entfernung von Oxiden und sonstigen Verunreinigungen) wird mittels Kathodenflecken bei ihrer Bewegung über die Oberfläche des Erzeugnisses durchgeführt.
  • Um die Energiekosten zu senken und eine hohe Behandlungsgüte des Erzeugnisses zu erreichen, muss die Bewegung der Kathodenflecken so gestaltet werden, dass die wiederholte und zumal mehrfache Bewegung der Kathodenflecken über die bereits behandelte Oberfläche des Erzeugnisses ausgeschlossen ist. Das kann erzielt werden, wenn die Bewegung der Kathodenflecken über die Oberfläche des zu behandelten Erzeugnisses mittels Verlagerung der Anode zum Erzeugnis oder des Erzeugnisses zur Anode gestaltet wird, wie es in der bekannten und als Prototyp gewählten Einrichtung der Fall ist.
  • Jedoch ist sogar in diesem Fall die Ausführung der bekannten Einrichtung mit hohen Energieverlusten, geringer Leistung und niedriger Behandlungsgüte verbunden.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, den Energieaufwand im Zusammenhang mit der Behandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen nach dem Lichtbogenverfahren zu vermindern und die Oberflächengüte und die Leistungsfähigkeit zu erhöhen.
  • Die gestellte Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
  • Die Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen umfasst eine Vakuumkammer, ein Vakuumierungssystem, das zu behandelnde Metallerzeugnis, eine Stromversorgung für den Lichtbogen, eine oder mehrere Elektroden, eine Zündungseinrichtung für die Bogenzündung zwischen der Oberfläche des zu behandelten Metallerzeugnisses und der Elektrode, eine Einrichtung zur Verlagerung des Metallerzeugnisses in Bezug auf die Elektrode oder eine Einrichtung zur Verlagerung der Elektrode in Bezug auf Metallerzeugnis. Dabei ist das positive Potential der Stromversorgung des Lichtbogens an die Elektrode und das negative Potential an das zu behandelnde Metallerzeugnis angeschlossen. Diese Lösung zeichnet sich gegenüber dem Stand der Technik dadurch aus, dass bei einem Vakuumkammerdruck im Bereich von 10,0 bis 1 × 10–3 Hg die Elektrode oder mehrere Elektroden von der Oberfläche des zu behandelten Metallerzeugnisses in einem Abstand angeordnet sind, welcher innerhalb einer freien Weglänge der Elektronen bei der Lichtbogenentladung, d. h. von 2,0 bis 200,0 mm, liegt.
  • Die vorgeschlagene Einrichtung wird folgenderweise ausgeführt.
  • Um die Energiekosten zu minimieren und eine maximale Oberflächengüte des Metallerzeugnisses und die hohe Leistungsfähigkeit zu erreichen, muss für jeden Druckstand in der Vakuumkammer der Elektrodenabstand bzw. der Abstand zwischen der Elektrode (der Anode) und dem nächstliegenden Punkt der Oberfläche des zu behandelten Metallerzeugnisses entsprechend der vorgeschlagenen Einrichtung minimiert werden.
  • Es ist bekannt (V. P. Kulikov, "Schmelzschweißverfahren", Minsk, Verlag DESIGN PRO, 2000, S. 22), dass eine elektrische Ladung drei spezifische Zonen aufweist, nämlich den Kathodenraum, die Bogensäule und den Anodenraum. In jeder dieser Zonen wird Energie abgegeben, welche dem Produkt des Entladungsstroms und der Größe des Spannungsabfalls in diesen Ladungszonen gleich ist.
  • Bei der Behandlung der Oberfläche der Metallerzeugnisse wird nur der Kathodenraum der Entladung benutzt. Dieser Kathodenraum ist imstande, unabhängig, d. h. ohne andere Zonen der Entladung, dass so genannte Kurzlichtbögen entstehen (V. I. Rakhovsky, "Physikgrundlagen der elektrischen Stromschaltung im Vakuum», NAUKA-Verlag, M, 1970, S. 254). Dabei wird der geringstmögliche Spannungsabfall im Bogen unter vorgegebenen Bedingungen erreicht, welcher dem Kathodenabfall gleich ist. Folglich werden auch die niedrigsten Energieaufwände im Bogen erreicht.
  • Somit wird der geringste Energieaufwand im Zusammenhang mit der Aufrechterhaltung der Lichtbogenentladung unter sonst gleichen Umständen bei der Behandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen mittels Katodenflecken von Kurzlichtbögen erreicht. Gemäß den Angaben von zahlreichen Forschungen stimmt die Länge des Kathodenraums ungefähr mit der freien Weglänge des Elektrons überein. Diese freie Weglänge des Elektrons beträgt beim Druckbereich von 10–10–3 Hg ca. 7 × 10–3–200 mm. Mit Rücksicht auf diese Tatsache, um den geringstmöglichen Energieaufwand sicherzustellen, darf die Bogenlänge bei der Behandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen innerhalb des genannten Druckbereichs die oben erwähnten Größen nicht überschreiten ("Physikleistungen", Band 125, Ausgabe 4, 1978, S. 694).
  • Es sei bemerkt, dass es in der Praxis sehr schwer ist, die Elektrodenabstände von 7 × 10–3 mm in der Lichtbogenentladung zu realisieren. Deswegen muss als der kleinste Elektrodenabstand die Größe von 2,0 mm akzeptiert werden (V. I. Rakhovsky, "Physikgrundlagen der elektrischen Stromschaltung im Vakuum", NAUKA-Verlag, M., 1970, S. 200–202). Dieser Abstand kann ziemlich einfach bei der Produktion eingestellt werden. Es hat keinen Sinn, diesen Abstand unter 2,0 mm vorzugeben, weil dies einen geringfügig energiespezifischen Vorteil ergibt, während die Aufgabe der verfahrenstechnischen Bewerkstelligung eines solchen Abstands wesentlich erschwert wird.
  • Folglich können die geringsten Energieaufwände im Zusammenhang mit der Erhaltung des Elektrolichtbogens innerhalb eines Druckbereichs von 10–10–3 H bei einem Elektrodenabstand realisiert werden, welcher ungefähr der freien Weglänge der Elektronen des Plasmabogens, d. h. im Bereich von 2,0–200 mm, gleich ist.
  • Während der Versuche im Zusammenhang mit der Lichtbogenbehandlung von Metallerzeugnissen ("Metallicheskiye Stranitsy", Nr. 10, 2005, S. 2) wurde beobachtet, dass die Bewegungen der Kathodenflecken über die Oberfläche des zu behandelten Metallerzeugnisses bei der Verminderung des Elektrodenabstandes mehr geordnet und regelmäßiger werden. Während des elektrischen Schweißens wurde ebenfalls festgestellt (V. M. Nerovny, V. M. Yampolsky "Lichtbogenschweißabläufe im Vakuum», M., Maschinenbauverlag, 2002), dass es mit der Verminderung der Bogenlänge einfacher ist, die Kathodenflecken mittels einer Verlagerung der Elektroden oder des Metallerzeugnisses zu steuern.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, den Elektrodenabstand (als die zweite Elektrode wirkt dabei das zu behandelnde Metallerzeugnis) innerhalb von 2,0–200,0 mm bei einem Druck im Bereich von 10–10–3 Hg einzuhalten, bei dem die Verlagerung von Kathodenflecken über die Oberfläche des zu behandelten Erzeugnisses besser zu steuern ist, ohne dafür ein Außenmagnetfeld für diese Zwecke einsetzen zu müssen, das den Energieaufwand in der Lichtbogenentladung erhöht.
  • Die gestellte Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
  • Die Erfindung wird näher erläutert.
  • Später wird der Ablauf der Lichtbogenbehandlung der Oberfläche des Metallerzeugnisses beschrieben. Das Metallerzeugnis wird in die Vakuumkammer eingebracht. Das negative Potential wird von der Stromversorgung des Elektrolichtbogens dem Metallerzeugnis zugeführt. Über der zu behandelnden Oberfläche des Metallerzeugnisses werden die Elektrode und die Zündungseinrichtung angeordnet. Das positive Potential von der Stromversorgung des Elektrolichtbogens wird der Elektrode zugeführt. Der Abstand zwischen der Elektrode und der Oberfläche des Metallerzeugnisses wird innerhalb der freien Weglänge der Elektronen in der elektrischen Entladung eingestellt. Beim Druck in der Vakuumkammer im Bereich von 10 bis 1 × 10–3 Hg entspricht dieser Abstand ca. 2,0 bis 200,0 mm. Mit dem Vakuumierungssystem wird in der Vakuumkammer der gemäß dem Behandlungsprogramm des Metallerzeugnisses vorgegebene Druck aufgebaut. Dieser Druck liegt im Bereich von 10–1 × 10–3 Hg.
  • Nachdem der vorgegebene Druck in der Vakuumkammer erreicht ist, wird an die Elektrode und an das Metallerzeugnis eine Spannung von der Stromversorgung des Elektrolichtbogens angelegt. Anhand der Zündungseinrichtung für den Elektrolichtbogen wird eine Gasentladung erzeugt. Mit Hilfe der Einrichtung zur Verlagerung der Elektrode oder der Einrichtung zur Verlagerung des Metallerzeugnisses wird der Kathodenraum der elektrischen Entladung über die Oberfläche des Metallerzeugnisses bewegt.
  • Der wirtschaftliche Nutzeffekt der Verbesserung der Oberflächengüte (der Reinigung) der Oberfläche von Stahlerzeugnissen unter Einsatz der vorgeschlagenen Einrichtung wurde versuchsweise in den Anlagen von AOZT CLUSTER (St. Petersburg, Russland) nachgewiesen.
  • Die Lichtbogenbehandlung wurde an warmgewalzten Metallbändern mit einer Stärke von 3,0 mm, einer Breite von 250 mm und einer Länge von 2000 mm angewendet. Der Druck in der Vakuumkammer betrug während der Versuche 10–2 Hg. Die Stromstärke in der Lichtbogenentladung zwischen der Graphitelektrode und dem Metallband (wobei ihre Oberflächen parallel angeordnet waren) betrug ca. 600 A. Bei einer Bogenlänge von 300,0 mm und einer Stromstärke von 600 Ampere betrug der Spannungsabfall ca. 25,4 Volt. Das entspricht einer abgegebenen Bogenleistung von 15250 Watt.
  • Die Abnahme des Elektrodenabstandes (der Bogenlänge) bis auf 7,0 mm entsprach beim vorgegebenen Druck in der Vakuumkammer ungefähr der freien Weglänge der Elektronen in der Gasentladung im Vakuum einem Druck von 10–2 Hg. Bei dieser Abnahme des Elektrodenabstandes fiel die Bogenspannung bei der Stromstärke von 600 Ampere bis auf 17,2 Volt ab. Das entsprach einer abgegebenen Bogenleistung von 10320 Watt.
  • Der Vergleich der Behandlungsergebnisse der Stahlbandoberfläche (Ergebnisse der Oxidentfernung) hat gezeigt, dass die Behandlungsgüte bei gleicher Behandlungszeit (3 Sekunden) im Falle eines kurzen Lichtbogens (7 mm) höher ist, als bei einem langen Lichtbogen (300 mm). Dabei nahm der Energieaufwand im Zusammenhang mit der Reinigung beim kurzen Lichtbogen (7 mm) um 4920 Watt, d. h. um 32,3% ab. Die Behandlungsgüte des Stahlbandes wurde dadurch verbessert, dass die Bewegung der Kathodenflecken über die zu reinigende Oberfläche bei einer Verkürzung der Bogenlänge mehr geordnet war. Das heißt, die Kathodenflecken folgten der Bewegung der Elektrode 1 nach. Bei einem 300 mm langen Lichtbogen bewegten sich die Kathodenflecken entlang der zu reinigenden Oberfläche chaotisch. Dies verursachte hohe Energieverluste. Die Leistungsfähigkeit nahm mit der Verkürzung des Lichtbogens auch um 15–20% zu.
  • Die vorgeschlagene Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen stellt gegenüber dem Prototyp und anderen technischen Lösungen mit ähnlichem Anwendungszweck eine Senkung des Energieaufwandes im Zusammenhang mit der Behandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen sowie eine Erhöhung der Oberflächengüte und der Leistungsfähigkeit sicher.
  • Ein hoher Wirkungsgrad der vorgeschlagenen Einrichtung wurde durch Versuche nachgewiesen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • US 4950377 [0003]
    • US 497667 [0003]
    • US 5246741 [0003]
    • GB 2055939 [0003]
    • FR 2403860 [0003]
    • EP 0175538 [0003]
    • WO 92/6965 [0003]
    • WO 93/13238 [0003]
    • WO 97/00106 [0003]
    • WO 99/28520 [0003]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • ”Plasmaphysik”, 11978, 4(4), S. 425–428 [0003]
    • R. F. Ivanovsky und andere, ”Metallbehandlung nach Sputtertechnik”, M., ”Radio und Fernmeldewesen”, 1986, S. 156–158 [0003]
    • Lichtbogenplasma-Reinigung der Metallerzeugnisse, Zeitschrift ”Metallurgie”, Nr. 4, 2005, S. 44 [0005]
    • V. I. Rakhovsky, Physikgrundlagen der elektrischen Stromschaltung im Vakuum, NAUKA-Verlag, M., 1970, S. 250 [0006]
    • V. P. Kulikov, ”Schmelzschweißverfahren”, Minsk, Verlag DESIGN PRO, 2000, S. 22 [0016]
    • V. I. Rakhovsky, ”Physikgrundlagen der elektrischen Stromschaltung im Vakuum», NAUKA-Verlag, M, 1970, S. 254 [0017]
    • ”Physikleistungen”, Band 125, Ausgabe 4, 1978, S. 694 [0018]
    • V. I. Rakhovsky, ”Physikgrundlagen der elektrischen Stromschaltung im Vakuum”, NAUKA-Verlag, M., 1970, S. 200–202 [0019]
    • ”Metallicheskiye Stranitsy”, Nr. 10, 2005, S. 2 [0021]
    • V. M. Nerovny, V. M. Yampolsky ”Lichtbogenschweißabläufe im Vakuum», M., Maschinenbauverlag, 2002 [0021]

Claims (3)

  1. Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen, welche eine Vakuumkammer, ein Vakuumierungssystem, das zu behandelnde Metallerzeugnis, eine Stromversorgung für einen Lichtbogen, eine oder mehrere Elektroden, eine Zündungseinrichtung für die Bogenzündung zwischen der Oberfläche des zu behandelten Metallerzeugnisses und der Elektrode, eine Einrichtung zur Verlagerung des Metallerzeugnisses in Bezug auf Elektrode oder eine Einrichtung zur Verlagerung der Elektrode in Bezug auf das Metallerzeugnis aufweist, wobei das positive Potential (+) der Stromversorgung des Lichtbogens an die Elektrode und das negative Potential (–) an das zu behandelnde Metallerzeugnis angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine (oder mehrere) Elektroden bei einem Druck in der Vakuumkammer im Bereich von 10,0 bis 1 × 10–3 Hg in einem Abstand von der Oberfläche des zu behandelten Metallerzeugnisses angeordnet ist (sind), wobei der Abstand innerhalb der freien Weglänge der Elektronen in der elektrischen Entladung, d. h. im Bereich von 2,0 bis 200,0 mm, liegt.
  2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Behandlungsgüte bei gleicher Behandlungszeit (3 Sekunden) bei einem kurzen Lichtbogen (7 mm) höher ist als bei einem langen Lichtbogen (300 mm) und dass dabei der Energieaufwand bei der Behandlung des Metallerzeugnisses wesentlich reduziert ist.
  3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei einer Verkürzung der Bogenlänge (7 mm) die erzeugten Kathodenflecken der Bewegung der Elektrode gleichmäßig folgen.
DE102009052436A 2009-11-10 2009-11-10 Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen Withdrawn DE102009052436A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009052436A DE102009052436A1 (de) 2009-11-10 2009-11-10 Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen
DE202009018474U DE202009018474U1 (de) 2009-11-10 2009-11-10 Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009052436A DE102009052436A1 (de) 2009-11-10 2009-11-10 Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102009052436A1 true DE102009052436A1 (de) 2011-05-12

Family

ID=43852933

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE202009018474U Expired - Lifetime DE202009018474U1 (de) 2009-11-10 2009-11-10 Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen
DE102009052436A Withdrawn DE102009052436A1 (de) 2009-11-10 2009-11-10 Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE202009018474U Expired - Lifetime DE202009018474U1 (de) 2009-11-10 2009-11-10 Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen

Country Status (1)

Country Link
DE (2) DE202009018474U1 (de)

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US497667A (en) 1893-05-16 Wesley corry jones
FR2403860A1 (fr) 1977-09-26 1979-04-20 Union Carbide Corp Procede et appareil de decriquage thermochimique
GB2055939A (en) 1979-07-25 1981-03-11 Hopley B Shading method and means
DE3041138A1 (de) * 1980-10-31 1982-06-16 Vsesojuznyj naučno-issledovatel'skij institut Metiznoj promyšlennosti VNIIMETIZ, Magnitogorsk, Čeljabinskaja oblast' Verfahren zur lichtbogenreinigung von erzeugnisoberflaechen
DE3115279A1 (de) * 1981-04-15 1982-12-30 Vsesojuznyj naučno-issledovatel'skij institut Metiznoj promyšlennosti VNIIMETIZ, Magnitogorsk, Čeljabinskaja oblast' Verfahren zur lichtbogenbearbeitung der oberflaeche von werkstuecken
EP0175538A1 (de) 1984-09-14 1986-03-26 United Kingdom Atomic Energy Authority Oberflächenbehandlung von Metallen
EP0359966A2 (de) * 1988-09-23 1990-03-28 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zum reaktiven Ionenätzen
US4971667A (en) * 1988-02-05 1990-11-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Plasma processing method and apparatus
WO1992006965A1 (en) 1990-10-19 1992-04-30 Ici Australia Operations Proprietary Limited Herbicidal sulfonylurea derivatives
WO1993013238A1 (en) 1988-01-13 1993-07-08 Tadahiro Ohmi Vacuum surface treatment apparatus and method
US5246741A (en) 1989-12-22 1993-09-21 Hitachi, Ltd. Method for surface modification and apparatus therefor
EP0468110B1 (de) * 1990-07-24 1995-06-28 Institut Elektroniki Imeni U.A. Arifova Akademii Nauk Uzbexkoi Ssr Elektrische Lichtbogenbehandlung von Teilchen
DE19544123A1 (de) * 1994-11-28 1996-06-05 Tovariscestvo S Ogranjcennoj O Das Verfahren der plasmachemischen Beschichtung
WO1997000106A1 (en) 1995-06-16 1997-01-03 Virtual World Entertainment, Inc. Cockpit for providing a display system and user interface for an interactive computer system
WO1999028520A2 (de) 1997-12-03 1999-06-10 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Einrichtung zur behandlung von werkstücken in einem niederdruck-plasma

Patent Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US497667A (en) 1893-05-16 Wesley corry jones
FR2403860A1 (fr) 1977-09-26 1979-04-20 Union Carbide Corp Procede et appareil de decriquage thermochimique
DE2841704B2 (de) * 1977-09-26 1980-10-09 Union Carbide Corp., New York, N.Y. (V.St.A.) Verfahren und Vorrichtung zum thermochemischen Flämmen eines metallischen Werkstückes
GB2055939A (en) 1979-07-25 1981-03-11 Hopley B Shading method and means
DE3041138A1 (de) * 1980-10-31 1982-06-16 Vsesojuznyj naučno-issledovatel'skij institut Metiznoj promyšlennosti VNIIMETIZ, Magnitogorsk, Čeljabinskaja oblast' Verfahren zur lichtbogenreinigung von erzeugnisoberflaechen
DE3115279A1 (de) * 1981-04-15 1982-12-30 Vsesojuznyj naučno-issledovatel'skij institut Metiznoj promyšlennosti VNIIMETIZ, Magnitogorsk, Čeljabinskaja oblast' Verfahren zur lichtbogenbearbeitung der oberflaeche von werkstuecken
EP0175538A1 (de) 1984-09-14 1986-03-26 United Kingdom Atomic Energy Authority Oberflächenbehandlung von Metallen
EP0175538B1 (de) * 1984-09-14 1988-11-02 United Kingdom Atomic Energy Authority Oberflächenbehandlung von Metallen
WO1993013238A1 (en) 1988-01-13 1993-07-08 Tadahiro Ohmi Vacuum surface treatment apparatus and method
US4971667A (en) * 1988-02-05 1990-11-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Plasma processing method and apparatus
US4950377A (en) 1988-09-23 1990-08-21 Siemens Aktiengesellschaft Apparatus and method for reactive ion etching
EP0359966A2 (de) * 1988-09-23 1990-03-28 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zum reaktiven Ionenätzen
US5246741A (en) 1989-12-22 1993-09-21 Hitachi, Ltd. Method for surface modification and apparatus therefor
EP0468110B1 (de) * 1990-07-24 1995-06-28 Institut Elektroniki Imeni U.A. Arifova Akademii Nauk Uzbexkoi Ssr Elektrische Lichtbogenbehandlung von Teilchen
WO1992006965A1 (en) 1990-10-19 1992-04-30 Ici Australia Operations Proprietary Limited Herbicidal sulfonylurea derivatives
DE19544123A1 (de) * 1994-11-28 1996-06-05 Tovariscestvo S Ogranjcennoj O Das Verfahren der plasmachemischen Beschichtung
WO1997000106A1 (en) 1995-06-16 1997-01-03 Virtual World Entertainment, Inc. Cockpit for providing a display system and user interface for an interactive computer system
WO1999028520A2 (de) 1997-12-03 1999-06-10 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Einrichtung zur behandlung von werkstücken in einem niederdruck-plasma
DE19753684C1 (de) * 1997-12-03 1999-06-17 Fraunhofer Ges Forschung Einrichtung zur Behandlung von Werkstücken in einem Niederdruck-Plasma

Non-Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Metallicheskiye Stranitsy", Nr. 10, 2005, S. 2
"Physikleistungen", Band 125, Ausgabe 4, 1978, S. 694
"Plasmaphysik", 11978, 4(4), S. 425-428
Lichtbogenplasma-Reinigung der Metallerzeugnisse, Zeitschrift "Metallurgie", Nr. 4, 2005, S. 44
R. F. Ivanovsky und andere, "Metallbehandlung nach Sputtertechnik", M., "Radio und Fernmeldewesen", 1986, S. 156-158
V. I. Rakhovsky, "Physikgrundlagen der elektrischen Stromschaltung im Vakuum", NAUKA-Verlag, M., 1970, S. 200-202
V. I. Rakhovsky, "Physikgrundlagen der elektrischen Stromschaltung im Vakuum», NAUKA-Verlag, M, 1970, S. 254
V. I. Rakhovsky, Physikgrundlagen der elektrischen Stromschaltung im Vakuum, NAUKA-Verlag, M., 1970, S. 250
V. M. Nerovny, V. M. Yampolsky "Lichtbogenschweißabläufe im Vakuum», M., Maschinenbauverlag, 2002
V. P. Kulikov, "Schmelzschweißverfahren", Minsk, Verlag DESIGN PRO, 2000, S. 22

Also Published As

Publication number Publication date
DE202009018474U1 (de) 2011-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3234100C2 (de) Plasmalichtbogeneinrichtung zum Auftragen von Überzügen
DE602004007126T2 (de) Vorrichtung und verfahren zur bildung eines plasmas
DE2133173A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Abbeizen von oxydiertem Blech
DE102016116762B4 (de) Verfahren zum Abscheiden einer Schicht mittels einer Magnetronsputtereinrichtung
DE1440423B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum kontinuierlichen reinigen der oberflaeche eines in langgestreckter form vorliegenden elektrisch leitenden werkstuecks
DE102009052436A1 (de) Einrichtung für die Lichtbogenbehandlung der Oberfläche von Metallerzeugnissen
AT15637U1 (de) Verfahren zur additiven Fertigung
EP2087503B1 (de) Vorrichtung zum vorbehandeln von substraten
DE202013004822U1 (de) Elektrisches Raketentriebwerk für Dauerweltraumflüge
EP0371252B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ätzen von Substraten mit einer magnetfeldunterstützten Niederdruck-Entladung
DE102008028166B4 (de) Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma-Jets
DE1690663C3 (de) Einrichtung zur elektrischen Glimmnitrierung der Innenflächen von Bohrungen in Werkstücken aus Eisen oder Stahl
DE19500262C1 (de) Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken
WO2009124542A2 (de) Verfahren und vorrichtung zum zünden eines lichtbogens
DE102007051444B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Trockenätzen von kontinuierlich bewegten Materialien
DE102021111097B4 (de) Hohlkathodensystem zum Erzeugen eines Plasmas und Verfahren zum Betreiben eines solchen Hohlkathodensystems
DE4035131A1 (de) Substratheizen mit niedervoltbogenentladung und variablem magnetfeld
DE102006062375B4 (de) Anordnung und Verfahren zur Entfernung von Verunreinigungen oder Modifizierung von Oberflächen von Substraten mittels elektrischer Bogenentladung
DE1765185C3 (de) Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung
DE1121281B (de) Schmelzanlage zum Schmelzen von Metallen unter reduziertem Druck
DE19627509C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Ozon
DE1232433B (de) Verfahren zum Betrieb einer elektrischen Glimmentladung und Entladungsgefaess hierfuer
AT517728B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beseitigung von Schimmel
DE1565208C (de) Verfahren und Steuereinrichtung zum Verhindern von Lichtbogen beim elektro lvtischen Schleifen metallischer Werk stucke
DE634237C (de) Entladungsgefaess fuer die Zwecke der Gleichrichtung, Verstaerkung und Erzeugung vonSchwingungen

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20120601