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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein optische Systeme zur Überprüfung
von Probekörpern, insbesondere auf solch ein System, bei
dem eine Kühlung des Probekörpers, beispielsweise
eines Halbleiterchips, erforderlich war.
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Verschiedene
optische Systeme verwenden Objektivlinsen, um den Probekörper
zu betrachten. Die Objektivlinse kann darauf zugeschnitten sein, eine
vorgegebene Vergrößerung und ein vorgegebenes
Blickfeld zu liefern. Im Allgemeinen liefert eine geringere Vergrößerung
ein größeres Blickfeld. Daher werden in einigen
Anwendungsfällen verschiedene Objektivlinsen auf einem
Drehhalter positioniert, so dass unterschiedliche Vergrößerungen
von dem Benutzer ausgewählt werden können. Beispielsweise
kann ein Benutzer als erstes eine geringe Vergrößerung
mit einem hohen Blickfeld auswählen, um ein interessierendes
Merkmal auf dem Probekörper zu lokalisieren, und er kann
dann eine Linse mit größerer Vergrößerung
auswählen, um das Merkmal von der Nähe aus zu überprüfen.
Zum Zwecke einer vergrößerten, numerischen Apertur
ist es auch bekannt, eine solide Immersionslinse (solid immersion
lens = SIL) im Zusammenhang mit dem Objektiv zu verwenden. Die Anordnung
der Objektivlinse und einer SIL kann als Sammelobjektiv bezeichnet
werden. Solch ein Sammelobjektiv ist besonders vorteilhaft für
die Überprüfung von Probekörpern mit
hoher Vergrößerung, beispielsweise zur Inspektion
und zum Testen von Halbleiterchips, wie beispielsweise in den
US-Patenten 6,594,086 ;
6,621,275 und
6,828,811 beschrieben ist. Beispiele
kommerzieller Systeme, die solche Objektive verwenden, umfassen
Laser-Spannungs-Prüfgeräte (laser voltage probing
= LVP), beispielsweise die Ruby
® und
Emissionsmikroskopie, beispielsweise die EmiScope
® und
Meridian
®, die beide von DCG Systems
in Fremont, Kalifornien erhältlich sind.
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Wenn
solche Objektive zur Prüfung von Chips verwendet werden,
wird die Einkapselung des Chips entfernt, und das Substrat des Chips
wird abgedünnt, gelegentlich auf 100 μm oder dergleichen. Der
Chip kann auch durch Testvektoren angeregt werden, beispielsweise
unter Verwendung eines herkömmlichen, automatisierten Testgeräts
(automated testing equipment = ATE). Unter solchen Bedingungen neigt
der Chip dazu, zu überhitzen oder wenigstens bei Temperaturen
oberhalb seiner normalen Betriebstemperaturen zu arbeiten. Daher
wurde vorgeschlagen, ein Strömungsmittelspray zu verwenden, um
den Chip zu kühlen. Dies ist beispielsweise in den
US-Patenten 6,621,275 ;
6,836,131 und
7,102,374 offenbart. Es besteht jedoch
ein Problem im Stand der Technik, dass es gelegentlich erwünscht
ist, die Vergrößerung während der Überprüfung
des Chips umzuschalten. Da der Chip Testvektoren empfängt,
erzeugt er Wärme und muss konstant gekühlt werden. Folglich
muss, wenn die Kühlung gestoppt wird, um die Vergrößerung
umzuschalten, den Prüfvorgang ebenfalls gestoppt werden,
um keine Überhitzung des Chips zu bewirken. Was im Stand
der Technik daher benötigt wird, ist ein Sammelobjektiv
mit variabler Vergrößerung, welches die Umschaltung
der Objektivlinse ermöglicht, ohne die Strömungsmittelkühlung
auszuschalten.
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Die
folgende Zusammenfassung ist dafür bestimmt, ein grundlegendes
Verständnis einiger Aspekte und Merkmale der Erfindung
zu geben. Die Zusammenfassung ist keine erschöpfende Übersicht über
die Erfindung, und sie ist als solches nicht dafür bestimmt,
Schlüsselelemente oder kritische Elemente der Erfindung
speziell zu identifizieren oder den Umfang der Erfindung aufzuzeigen.
Ihr einziger Zweck ist es, einige Konzepte der Erfindung in einer vereinfachten
Form als Vorbemerkung zu der detaillierteren Beschreibung anzugeben,
die im Folgenden gegeben wird.
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Ein
Sammelobjektiv, das eine variable Vergrößerung
hat und das die Sprühkühlung effektiv einsetzt.
In einem Ausführungsbeispiel umfasst das Sammelobjektiv
einen Drehhalter, der mehrere Objektivlinsen hat. Eine Strömungsmittelkühlung
umfasst ein Gehäuse, das oberhalb des Chips während des
Prüfvorgangs platziert wird. Das Gehäuse hat eine
Andockmündung, an die eine Objektivlinse zu einem Zeitpunkt
andocken kann. Wenn eine andere Objektivlinse benötigt
wird, wird die erste von dem Kühlgehäuse abgekoppelt,
und die zweite Linse wird stattdessen angedockt. Während
dieses Umschaltverfahrens können die Kühlung und
der Prüfvorgang ununterbrochen weitergehen. In einem Ausführungsbeispiel
umfasst das Kühlgehäuse ein transparentes Fenster,
beispielsweise ein Diamantfenster, während es anderweitig
eine SIL umfasst.
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Die
beigefügten Zeichnungen, die in diese Beschreibung mit
einbezogen werden und einen Teil derselben darstellen, zeigen Ausführungsbeispiele der
vorliegenden Erfindung und dienen zusammen mit der Beschreibung
dazu, die Prinzipien der Erfindung zu erläutern und zu
zeigen. Die Zeichnungen sind dafür bestimmt, hauptsächliche
Merkmale der Ausführungsbeispiele in einer schematischen
Weise zu zeigen. Die Zeichnungen sind nicht dafür bestimmt,
jedes Merkmal der tatsächlichen Ausführungsbeispiele
noch die relativen Dimensionen der gezeigten Elemente zu zeigen,
und sie sind nicht maßstabsgerecht gezeichnet.
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1 zeigt
ein Beispiel eines Sammelobjektivs mit variabler Vergrößerung
gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.
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2A und 2B zeigen
einen Querschnitt eines Ausführungsbeispiels wie es beispielsweise
in 1 gezeigt ist.
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3 zeigt
einen Querschnitt eines anderen Ausführungsbeispiels der
Erfindung.
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4A zeigt
einen Querschnitt einer Objektivlinse in einer angedockten Position,
während 4B einen Zustand zeigt, wo das
Objektiv in einer abgekoppelten Position ist.
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5 ist
ein schematisches Diagramm, das Ausführungsbeispiele für
Systeme gemäß der Erfindung zeigt.
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6 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung.
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7 zeigt
noch ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung.
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8 zeigt
noch ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung.
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9 ist
ein schematisches Diagramm, das ein Ausführungsbeispiel
für Systeme gemäß der Erfindung zeigt.
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Nach
den Ausführungsbeispielen der Erfindung wird ein Sammelobjektivsystem
bereitgestellt, das die Veränderung der Vergrößerung
während des Prüfvorgangs und ohne Stoppen der
Sprühkühlung ermöglicht. In bestimmten
Ausführungsbeispielen wird die variable Vergrößerung
durch einen Drehhalter geliefert, der mehrere Objektive mit unterschiedlichen
Vergrößerungsgraden trägt. Es ist jedoch
zu beachten, dass beliebige andere Mittel zum Umschalten zwischen
verschiedenen Objektivlinsen verwendet werden können, beispielsweise
ein linearer Schlitten mit mehreren Objektivlinsen mit unterschiedlichen
Vergrößerungsgraden. Das System kann sich sowohl
in einer Ebene als auch in der Höhe bewegen. Die Bewegung
in der Ebene, d. h. X-Y, ermöglicht es, das Objektiv auf
einen interessierenden Ort auf den Probekörper zu richten,
während die Höhenverstellbewegung, d. h. Z, das
Andocken des Objektivs auf das Strömungsmittelspray-Kühlsystem
ermöglicht. Ein Rahmen ist um den Probeköper herum vorgesehen,
um Sprühdüsen zu beherbergen und das Andocken
der Objektivlinse zu ermöglichen. Durch Drehung des Drehhalters
und durch Änderung seiner Höhenlage können
unterschiedliche Objektive des Drehhalters an dem Rahmen „angedockt” werden.
In einigen Ausführungsbeispielen umfasst der Rahmen ein
transparentes Fenster, beispielsweise ein Diamantfenster, während
in anderen der Rahmen eine SIL umfasst. Das Kühlsystem
kann beispielsweise ein Sprühkühlsystem sein,
das Strömungsmittel auf die unter Prüfung befindliche
Vorrichtung (device under test = DUT) sprüht.
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1 zeigt
ein Beispiel eines Sammelobjektivs mit variabler Vergrößerung
gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.
In dem Beispiel von 1 trägt ein Drehhalter 100 drei
Objektivlinsengehäuse 105A, 105B und 105C,
von denen jedes eine Objektivlinse unterschiedlicher Vergrößerung
beherbergt. Der Drehhalter ist in seiner Mechanik so ausgestaltet,
dass er sich dreht, wie durch den kurvenförmigen Pfeil
A gezeigt ist, und dass er sich linear auf und nieder bewegt, wie
durch den Pfeil B gezeigt ist. Die Drehung kann einfach durch Verwendung
eines Schrittmotors und dergleichen ausgeführt werden, während
die Linearbewegung unter Verwendung beispielsweise einer Zahnstangen-Ritzel-Anordnung 130 oder
anderen bekannten Mitteln ausgeführt werden kann.
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Ein
Tragerahmen 110 ist oberhalb des Drehhalters und in Ausrichtung
damit vorgesehen. Während des Einsatzes wird der Rahmen
um den DUT herum positioniert und liefert eine Strömungsmittelkühlung.
Düsen oder Öffnungen 135 sind in dem Rahmen
vorgesehen. Die Düsen oder Öffnungen 135 werden
mit einem gekühlten Strömungsmittel von einer
Kühleinrichtung 146 über einen Schlauch
oder ein Rohr 135 versorgt. Das Strömungsmittel
kann ein gekühltes Gas oder eine Flüssigkeit sein.
Der Rahmen 110 trägt eine Andockmündung 120 mit
einem Fenster 125, das starr oder federnd an dem Rahmen 110 befestigt
sein kann. In diesem Ausführungsbeispiel ist die Andockmündung 120 federnd
an dem Rahmen 110 befestigt, was als Beispiel durch Federn 115 gezeigt
ist. Das Fenster 125 kann beispielsweise ein Diamantfenster
sein, das bei der Wärmeableitung von dem Probekörper
mithilft. Alternativ kann es eine SIL sein, die eine höhere
Numerische Apertur liefert, wobei in diesem Fall die Andockmündung
auch als ein Gehäuse für die solide Immersionslinse
funktioniert und als solches bezeichnet werden kann. Der Rahmen 110 ist
in Ausrichtung mit dem Drehhalter 100, so dass, wenn eines
der Objektivgehäuse 105A–105C in
der aufrechten Position ist, es mit der Andockmündung 120 ausgerichtet
ist. Folglich kann, wenn eines der Objektivgehäuse 105A–105C sich
in der aufrechten Position befindet, der Drehhalter nach oben bewegt
werden, so dass das Objektivgehäuse auf der Andockmündung 120 „andockt”.
Um das Objektiv mit einem interessierenden Merkmal des Probekörpers
auszurichten, kann die gesamte Drehhalter-Rahmen-Anordnung auch
an eine herkömmliche X-Y-Stufe befestigt werden, wie schematisch
durch die X-Y-Stufe 140 gezeigt ist. Umgekehrt kann die Rahmen-Drehhalter-Anordnung
in der X-Y-Richtung festgemacht sein, während der Probekörperhalter
in X-Y-Richtung zur Ausrichtung bewegt werden kann.
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Die 2A und 2B zeigen
einen Querschnitt eines Ausführungsbeispiels, wie es in 1 gezeigt
ist. 2A zeigt den Drehhalter 200 in teilweiser
Darstellung in seiner abgesenkten Position, während 2B den
Drehhalter 200 in seiner angehobenen Position zeigt. Ein
Objektivgehäuse 205, welches das Objektiv 203 beherbergt,
ist in einer aufrechten Position und in X-Y-Ausrichtung mit dem SIL-Gehäuse 220 gezeigt.
Die Andockmündung 220 ist federnd an einem Rahmen 210 unter
Verwendung einer durch Federn vorgespannten Buchse 214 befestigt.
Die gesamte Anordnung ist unter dem Probekörper 255,
beispielsweise dem DUT vorgesehen, der an einem Probekörperhalter 250 befestigt
ist. Um die Betrachtung des Probekörpers zu ermöglichen, wird
der Drehhalter nach oben bewegt, wie durch den Pfeil B gezeigt ist,
so dass das Objektivgehäuse 205 auf der Andockmündung 220 angedockt
wird. Die Andockposition ist in 2B gezeigt.
Wenn die Rahmen-Drehhalter-Anordnung an einer X-Y-Stufe befestigt
ist, kann das Objektivgehäuse 205, das an der Andockmündung 220 angedockt
ist, zusammen in X-Y-Richtung bewegt werden, um eine Ausrichtung mit
einem interessierenden Merkmal des Probekörpers 255 zu
liefern.
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Wie
im Zusammenhang mit dem Ausführungsbeispiel von 1 erläutert
wurde, kann die Andockmündung 220 ein transparentes
Fenster oder eine SIL aufweisen. Ein interessanter Vorteil eines Ausführungsbeispiels
mit einer SIL liegt darin, dass die Andockmündung 220 federnd
an dem Rahmen 210 beispielsweise unter Verwendung einer
federbelasteten Buchse 215, befestigt ist. Nachdem das
Objektivgehäuse 205 auf der Andockmündung 220 angedockt
ist, wird, während der Drehhalter 200 sich um
kleine Beträge nach oben und nach unten bewegt, die Andockmündung 220 folglich
mit dem Objektivgehäuse 205 bewegt. Dies ermöglicht
eine Kontrolle der „Landung” der SIL 225 auf
dem Probekörper. Dies bedeutet, dass unter einigen Umständen
es erwünscht sein kann, dass die SIL 225 sehr
nahe an dem Probekörper 255 platziert wird, während
es unter anderen Umständen erwünscht sein kann,
dass die SIL 225 tatsächlich den Probekörper 255 berührt und
gelegentlich sogar darauf Druck ausübt. Indem die Andockmündung 225 federnd
an dem Rahmen 210 befestigt ist, wird ermöglicht,
dass die SIL 225 an unterschiedlichen Abständen
von dem Probekörper platziert wird oder den Probekörper
berührt oder Druck gegen ihn ausübt, indem einfach
der Drehhalter in der Z-Richtung, d. h. aufwärts oder abwärts,
bewegt wird, wie in 2B gezeigt ist. Wenn der Prüfvorgang abgeschlossen
ist, kann der Drehhalter sodann nach unten bewegt werden, um das
Objektivgehäuse 205 von der Andockmündung 220 abzukoppeln,
wobei an diesem Punkt die Andockmündung 220 ihre
normale Position einnimmt, wie in 2A gezeigt
ist, und wie es durch die federbelastete Buchse 210 oder
andere Federmittel vorgegeben ist. Dieses Ausführungsbeispiel
ist somit vorteilhaft selbst dann, wenn eine Sprühkühlung
nicht verwendet wird oder vorgesehen ist.
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Wenn
der Probekörper 255 mit einer anderen Vergrößerung
und/oder einem anderen Blickfeld betrachtet werden soll, wird der
Drehhalter 200 gedreht, so dass das richtige Objektiv sich
in der aufrechten Position und in Ausrichtung mit der Andockmündung 220 befindet.
Der Drehhalter 200 wird dann nach oben bewegt, um das neue
Objektivgehäuse auf die Andockmündung 220 anzudocken.
Auf diese Weise kann eine einzige SIL mit mehreren, unterschiedlichen
Objektiven mit unterschiedlicher Vergrößerung
und unterschiedlichem Blickfeld verwendet werden. Es ist insbesondere
dann sehr wichtig, wenn verschiedene kleine Merkmale, beispielsweise
Transistoren in einem Chip, betrachtet werden. Unter Verwendung
des Ausführungsbeispiels, das in den 1 und 2 gezeigt ist, kann man das Objektiv mit der
kleinsten Vergrößerung an der Andockmündung andocken,
um das größte Blickfeld zu erhalten. Diese Situation
macht es leicht, an eine gewünschte Steile auf dem Probekörper
zu navigieren. Wenn sodann die X-Y-Ausrichtung der Optik auf die
gewünschte Stelle auf dem Probekörper erreicht
ist, kann man den Drehhalter absenken, um das Objektiv mit der geringsten
Vergrößerung auszurücken, man kann den
Drehhalter so drehen, dass er auf ein Objektiv mit einer höheren
Vergrößerung mit der Andockmündung ausgerichtet
ist, und sodann kann der Drehhalter nach oben bewegt werden, um
das neue Objektiv auf der Andockmündung anzudocken. Da
die Andockmündung bereits mit der interessierenden Stelle ausgerichtet
ist, ist das neu angedockte Objektiv bereits auf die gleiche Stelle
ausgerichtet. Wenn mehr als zwei Objektive an dem Drehhalter befestigt
sind, kann es selbstverständlich einen Zwischenschritt
geben, bei dem das Objektiv mit der geringsten Vergrößerung
verwendet wird, um die Optik auf einen allgemeinen interessierenden
Bereich auf dem Probekörper zu platzieren, das Objektiv
mit der mittleren Vergrößerung wird verwendet,
um die Optik an der interessierenden Stelle genau zu platzieren,
und dann wird die Optik mit der größten Vergrößerung
für die tatsächliche Beobachtung/Überprüfung
der interessierenden Stelle auf dem Probekörper verwendet.
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3 zeigt
einen Querschnitt eines anderen Ausführungsbeispiels der
Erfindung. Zur Klarheit ist der Drehhalter in 3 nicht
gezeigt, es ist jedoch zu beachten, dass die Objektivgehäuse 305A und 305B an
dem Drehhalter wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen
befestigt ist. In 3 ist das Objektivgehäuse 305A in
Andockung an der Andockmündung 320 gezeigt. Die
Andockmündung 320 ist federnd an dem Rahmen 310 beispielsweise
unter Verwendung einer federbelasteten Buchse 315 befestigt.
In diesem Ausführungsbeispiel ist eine Sprühkühlungsanordnung
hinzugefügt, um den Probekörper während
des Prüfvorgangs zu kühlen. Daher dient die Buchse 315 auch
als eine Dichtung, die sich zwischen dem Rahmen 310 und
der Dockingstation 320 erstreckt. In 3 sind
zwei Kühlblöcke 360 an dem Rahmen 310 befestigt.
Jeder Kühlblock 360 hat Injektionsöffnungen
oder Düsen 365, um ein Kühlmittel, beispielsweise
gekühltes Gas oder Strömungsmittel, auf den Probekörper
zu sprühen. Das Kühlmittel wird zu dem Kühlblock
von einem Reservoir 370 über Leitungen 370 zugeführt. 4A zeigt
einen Querschnitt durch eine Objektivlinse in einer Andockmündung,
während 4B den Zustand zeigt, wo das
Objektiv in einer abgekoppelten Position ist. In 4A wird
der Drehhalter angehoben, um das Objektivgehäuse auf dem
SIL-Gehäuse anzudocken. Kühlströmungsmittel
wird auf den Probekörper gesprüht, um den Probekörper
während des Prüfvorgangs zu kühlen. 4B zeigt
das Objektiv in einer abgekoppelten Position, in der es von der
Andockmündung ausgerückt ist. In dieser Position
bewegt die federbelastete Buchse die Andockmündung in ihre
freie Position, die sich in X-Y-Ausrichtung mit der aufrechten Position
des Drehhalters befeindet. Wenn erforderlich, kann der Drehhalter
nun gedreht werden, um ein anderes Objektiv, beispielsweise 405B, in
die aufrechte Position zu bringen. Sodann kann der Drehhalter angehoben
werden, um das neue Objektivgehäuse auf der Andockmündung
anzudocken.
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5 zeigt
ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung. In 5 ist
der DUT 555 an einem Halter oder Adapter 550 befestigt.
Ein Rahmen 510 ist um den DUT 555 herum angeordnet.
Eine wahlweise vorgesehene Dichtung oder eine poröse Dichtung 552 kann
zwischen dem Rahmen 510 und dem Adapter 550 vorgesehen
sein. Eine Andockmündung 520 ist federnd an dem
Rahmen 510 über eine Dichtungsbuchse 515 befestigt.
Ein transparentes Fenster 525 ist auf der Andockmündung 520 vorgesehen. Das
Fenster 525 kann aus Saphir, Diamant oder dergleichen hergestellt
sein, so dass, wenn es mit dem DUT 555 in Kontakt kommt,
es bei der Ableitung von Wärme von dem DUT mithelfen kann.
Es verhindert auch, dass Kühlströmungsmittel in
das Objektivgehäuse eintritt, wenn es an der Andockmündung 520 angedockt
wird.
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6 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. In 6 ist
der DUT 655 an einem Halter oder Adapter 650 befestigt.
Ein Rahmen 610 ist über dem DUT 655 positioniert.
Eine wahlweise vorgesehene Dichtung oder eine poröse Dichtung 652 kann
zwischen dem Rahmen 610 und dem Adapter 650 vorgesehen
sein. Eine Andockmündung 620 ist federnd an dem
Rahmen 610 über die Dichtungsbuchse 615 befestigt.
Eine Abschirmung 622 ist auf der Andockmündung 620 vorgesehen,
um zu verhindern, dass Sprühströmungsmittel den
Bereich innerhalb der Abschirmung 266 erreicht. Die Abschirmung 266 kann
beispielsweise aus einem O-Ring oder dergleichen hergestellt sein,
so dass, wenn sie in Kontakt mit dem DUT 655 ist, sie verhindert,
dass Kühlströmungsmittel den Bereich des DUT erreicht, der
durch die Abschirmung 622 definiert ist. Sie verhindert
auch, dass Kühlströmungsmittel in das Objektivgehäuse
eintritt, wenn es an der Andockmündung 620 angedockt
wird.
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7 zeigt
noch ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung. In 7 ist
der DUT 755 an einem Halter oder Adapter 750 befestigt.
Ein Rahmen 710 ist oberhalb des DUT 755 positioniert.
Eine wahlweise vorgesehene Dichtung oder eine poröse Dichtung 752 ist
zwischen dem Rahmen 710 und dem Adapter 750 vorgesehen.
Eine Andockmündung 720 ist federnd an dem Rahmen 710 über
eine Dichtungsbuchse 715 befestigt. Eine SIL 725 ist
in einem Ring 721 positioniert, der seinerseits durch einen Halter 723 gehalten
wird. Der Halter 723 kann an dem Rahmen 710 befestigt
sein oder auch nicht. Der Ring 721 und der Halter 723 können ähnlich
ausgelegt sein wie die, die in der US-Patentanmeldung 2005/0094258
gezeigt sind. Ein transparentes Fenster 752 ist auf der
Andockmündung 720 vorgesehen, um zu verhindern,
dass Kühlströmungsmittel in das Objektivgehäuse
eintritt, wenn es an der Andockmündung 720 angedockt
wird.
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8 zeigt
noch ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung. In 8 ist
der DUT 850 an einem Halter oder Adapter 850 befestigt.
Ein Rahmen 810 ist über dem DUT 855 positioniert.
Eine wahlweise vorgesehene Dichtung oder eine poröse Dichtung 852 können
zwischen dem Rahmen 810 und dem Adapter 850 vorgesehen
sein. Eine SIL 825 ist in einem Ring 821 positioniert,
der seinerseits an einer Manipulatorstange 823 befestigt
ist. Die Manipulatorstange 823 wird verwendet, um die SIL 825 an einer
gewünschten Stelle auf dem DUT 855 zu positionieren.
Die Objektivlinse ist dann optisch mit der SIL ausgerichtet, oder
sie kann einfach an der Buchse 815 befestigt sein. Daher
wird in diesem Ausführungsbeispiel keine Andockmündung
benötigt. Statt dessen kann das Objektiv optisch mit der
SIL 825 ausgerichtet werden.
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9 ist
ein schematisches Diagramm, das ein Ausführungsbeispiel
für Systeme der vorliegenden Erfindung zeigt. In 9 wird
der DUT 960 einem Prüfvorgang unterzogen, indem
er beispielsweise Testvektoren 942 von einer Testeinrichtung 940, beispielsweise
einer ATE (automated testing equipment oder automated testing and
evaluation = automatisierte Prüfeinrichtung oder automatisierte
Prüf- und Beurteilungseinrichtung) unterzogen. Alternativ kann
der DUT 960 mit einem einfachen Strom-Einschaltsignal oder
einem einfachen Taktzyklussignal versorgt werden. Der DUT 960 kann
auf einer optischen Prüfeinrichtung 900 montiert
sein, beispielsweise einem Emissionsmikroskop, beispielsweise Meridian®, einer zeitlich aufgelösten
Emission, beispielsweise EmiScope® oder
einer Laser-Spannungs-Prüfeinrichtung, beispielsweise RubyTM, die alle von DCG Systems in Fremont,
Kalifornien erhältlich sind. Im Allgemeinen würde
die optische Prüfeinrichtung 900 eine X-Y-Stufe 920 zur
Navigation über den DUT 960, eine Strahlungs-Manipulationsoptik (BMO) 935,
die aus verschiedenen optischen Elementen, beispielsweise Linsen
und/oder Spiegel zur Formgebung und/oder Konditionierung des Strahls besteht,
und eine Scannereinrichtung, beispielsweise ein Laser-Scanmicroskop 930,
umfassen. Diese Elemente sind generell Bekannt und nicht auf die Ausführungsbeispiele
der Erfindung bezogen.
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Durch
die Verwendung der oben erwähnten Prüfelemente
wird eine Lichtreflexion oder eine Photonenemission von verschiedenen
Bereichen des DUT beispielsweise durch eine Faseroptik 934 gesammelt
und durch Photonensensoren 936, beispielsweise eine Lawinendurchbruchs-Fotodiode (avalanche
phododiode = APD) abgetastet. Selbstverständlich können
andere Elemente oder Anordnungen verwendet werden, um die Reflexion
oder Emission zu sammeln. Eine Signal-Aufnahme-Platine 950 kann
mit dem Sensor gekoppelt sein, um das Signal des Sensors 936 zu
empfangen und zu konditionieren. Das Signal wird dann an einen Prozessor 970,
beispielsweise einen speziell programmieren PC, angelegt. Wie gezeigt
ist, kann der Prozessor 970 auch verwendet werden, um die
verschiedenen Elemente der optischen Prüfeinrichtung 900 zu
steuern. Zusätzlich kann ein Träger- oder Taktsignal
von der Testeinrichtung 943 an die Signal-Aufnahme-Platine 950 und/oder
den Prozessor 970 geliefert werden.
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Um
die Lichtreflexion oder -Emission von dem DUT zu sammeln ist ein
Sammelobjektiv 980 entsprechend einem der Ausführungsbeispiele,
die in den 1 bis 8 gezeigt
sind, vorgesehen. Auf diese Weise wird der Drehhalter verwendet,
um ein Objektiv mit niedrigerer Vergrößerung und
weiterem Blickfeld auf den DUT zu richten, um über den
DUT zu navigieren und ein interessierendes Merkmal zu lokalisieren.
Wenn der Drehhalter gesenkt wird, um das Objektiv mit niedrigerer
Vergrößerung abzukoppeln, wird der Drehhalter
gedreht, um ein Objektiv mit höherer Vergrößerung
mit dem DUT auszurichten und der Drehhalter wird dann angehoben,
um das Objektiv mit höherer Vergrößerung
anzudocken. Der Prüfvorgang an dem DUT kann dann fortgesetzt
werden, da das höhere Objektiv bereits mit dem interessierenden
Merkmal ausgerichtet ist, in dem es an dem SIL-Gehäuse
angedockt wird, das bereits mit dem interessierenden Merkmal unter
Verwendung des Objektivs mit niedrigerer Vergrößerung
ausgerichtet worden ist.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - US 6594086 [0002]
- - US 6621275 [0002, 0003]
- - US 6828811 [0002]
- - US 6836131 [0003]
- - US 7102374 [0003]