DE102007030390A1 - Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine - Google Patents
Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine Download PDFInfo
- Publication number
- DE102007030390A1 DE102007030390A1 DE102007030390A DE102007030390A DE102007030390A1 DE 102007030390 A1 DE102007030390 A1 DE 102007030390A1 DE 102007030390 A DE102007030390 A DE 102007030390A DE 102007030390 A DE102007030390 A DE 102007030390A DE 102007030390 A1 DE102007030390 A1 DE 102007030390A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- coordinate measuring
- measuring machine
- substrate
- orientation
- calibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/03—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring coordinates of points
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Es ist eine Koordinaten-Messmaschine offenbart, der eine Einrichtung zum automatischen Orientieren eines Substrats zugeordnet ist. Der Koordinaten-Messmaschine ist ferner eine Steuer- und Recheneinheit zugeordnet, so dass auf der Grundlage von mindestens zwei unterschiedlichen und automatisch eingestellten Orientierungen des Substrats eine Selbstkalibrierung durchführbar ist.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Koordinaten-Messmaschine.
- Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine.
- Ein Koordinaten-Messgerät ist hinlänglich aus dem Stand der Technik bekannt. Beispielsweise wird dabei auf das Vortragsmanuskript „Pattern Placement Metrology for Mask maging" von Frau Dr. Carola Bläsing verwiesen. Der Vortrag wurde gehalten anlässlich der Tagung Semicon, Edjucation Program in Genf am 31. März. 1998, in dem die Koordinaten-Messmaschine ausführlich beschrieben worden ist. Der Aufbau einer Koordinaten-Messmaschine, wie er z. B. aus dem Stand der Technik bekannt ist, wird in der nachfolgenden Beschreibung zu der
1 näher erläutert. Ein Verfahren und ein Messgerät zur Positionsbestimmung von Strukturen auf einem Substrat ist aus der Deutschen OffenlegungsschriftDE 10047211 A1 bekannt. Zu Einzelheiten der genannten Positionsbestimmung sei daher ausdrücklich auf diese Schrift verwiesen. - Aufgabe der gegenwärtigen Erfindung ist es, eine Koordinaten-Messmaschine zu schaffen, mit der eine automatische Selbstkalibrierung durchführbar ist.
- Die obige Aufgabe wird gelöst durch eine Koordinaten-Messmaschine, die die Merkmale des Anspruchs 1 umfasst.
- Ferner ist es Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zu schaffen, mit dem eine Selbstkalibrierung der Koordinaten-Messmaschine durchgeführt werden kann.
- Die obige Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren, das die Schritte des Anspruchs 13 umfasst.
- Es ist von besonderem Vorteil, wenn der Koordinaten-Messmaschine eine Einrichtung zum automatischen Orientieren des Substrats zugeordnet ist. Ferner ist der Koordinaten-Messmaschine eine Steuer- und Recheneinheit zugeordnet, so dass auf der Grundlage von mindestens zwei unterschiedlichen und automatisch eingestellten Orientierungen des Substrats eine Selbstkalibrierung durchführbar ist.
- Es ist eine Übergabestation vorgesehen, der ein Roboter zugeordnet ist, der das Substrat an die Einrichtung zum Orientieren übergibt. Nach dem Orientieren entnimmt der Roboter das Substrat aus der Einrichtung zum Orientieren und legt das neu orientierte Substrat in die Koordinaten-Messmaschine ein.
- Es ist ein in X-Koordinatenrichtung und in Y-Koordinatenrichtung beweglicher Messtisch vorgesehen, auf dem das automatisch neu orientierte Substrat abgelegt ist. Ferner ist eine Kamera vorgesehen, die mindestens ein Messfenster zur Vermessung der Struktur ausgebildet hat. Ebenso ist eine Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten des Substrats vorgesehen. Die Beleuchtungseinrichtung umfasst eine Auflichtanordnung und/oder eine Durchlichtanordnung. Ob das Substrat mit Auflicht und/oder mit Durchlicht beleuchtet wird, entscheidet sich nach den Gegebenheiten der Messung.
- Es kann von Vorteil sein, wenn die Koordinaten-Messmaschine, die Einrichtung zum Orientieren, die Beleuchtungseinrichtung, die Kamera, ein Magazin und mindestens eine Transporteinrichtung in einer gemeinsamen Klimakammer angeordnet sind. Hinzu kommt, dass es ebenfalls von Vorteil ist, wenn die Einrichtung zum Orientieren in einem Luftstrom der Klimakammer angeordnet ist. Dies hat den Vorteil, dass in dem Luftstrom evtl. auf dem Substrat anhaftende Partikel oder Staubteilchen weggeblasen werden können.
- Die Einrichtung zum Orientieren umfasst eine Beleuchtungseinrichtung der eine Kamera zugeordnet ist, die ein Bild des Substrats aufnimmt, auf dem sich die Orientierung ermitteln lässt. Die Kamera weist eine Auswerteeinheit für eine Identifikation des Substrats auf. Dabei ist die Identifikation auf einem freien Teil der Oberfläche des Substrats aufgebracht. Ebenso ist es denkbar, dass der Einrichtung zum Orientieren eine Extraaufnahmeeinheit für die Identifikation des Substrats zuordenbar ist.
- Der Einrichtung zum Orientieren kann ein Rechner zugeordnet sein, mit dessen Hilfe der Benutzer eine vorgegebene Orientierung des Substrats einstellen kann. Ebenso kann der Rechner zu der Bildauswertung herangezogen werden, um die von der Kamera aufgenommenen Bilder des Substrats auszuwerten und anhand der Auswer tung die Orientierung des Substrats festzustellen. Ebenso kann der Rechner dazu verwendet werden, ein vordefiniertes Rezept abzuarbeiten und dabei vorgegebene Orientierungen des Substrats einzustellen.
- Das erfindungsgemäße Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine ist durch die folgenden Schritte gekennzeichnet. Zunächst wird mindestens eine Struktur auf dem Substrat in einer ersten Orientierung des Substrats gemessen. Anschließend wird eine zweite Orientierung automatisch mit der Einrichtung zum Orientieren eingestellt. Das Substrat wird in einer zweiten Orientierung gemessen, wobei die mindestens eine Struktur an der gleichen Stelle, wie bei der ersten Messung, gemessen wird. Aus den unterschiedlichen Orientierungen des Substrats werden Datensätze gewonnen, die zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine herangezogen werden. Es ist von Vorteil, wenn die Datensätze zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine automatisch verrechnet werden. Ebenso können die Datensätze in einem Rechner abgespeichert werden. Durch eine Ausgabe kann angezeigt werden, wenn das Ergebnis der Kalibration innerhalb eines festgelegten Toleranzbereichs liegt.
- Die Kalibrierung kann in definierten Zeitabständen automatisch durch die Koordinaten-Messmaschine ausgeführt werden. Ebenso ist es denkbar, dass die Kalibrierung auf Benutzeranforderung durchgeführt wird. Dem Benutzer kann eine Vielzahl von Arbeitsanweisungen zur Verfügung gestellt werden, die zur Abarbeitung in gewünschter Art und Weise zusammengestellt werden können, um die Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine zu erzielen.
- Im Folgenden sollen Ausführungsbeispiele die Erfindung und ihre Vorteile anhand der beigefügten Figuren näher erläutern.
-
1 zeigt schematisch ein Koordinaten-Messgerät gemäß dem Stand der Technik; -
2 eine schematische Darstellung der Vorrichtung zum Vermessen von Koordinaten von Strukturen auf einem Substrat, wobei alle hierzu erforderlichen Elemente und Einrichtungen innerhalb einer Klimakammer angeordnet sind. -
3 zeigt schematisch eine andere Ausführungsform der Erfindung, wobei die Einrichtung zum Orientieren der Substrate außerhalb der Klimakammer angeordnet ist; -
4 zeigt eine schematische Frontansicht der Koordinaten-Messmaschine und der der Koordinaten-Messmaschine zugeordneten Einrichtungen, wobei mindestens eine Einrichtung in einem Luftstrom innerhalb der Klimakammer angeordnet ist; -
5 zeigt ein Substrat, das mit mindestens einer Kennzeichnung für das Substrat versehen ist; -
6 zeigt eine schematische Anordnung einer Kamera in Wirkzusammenhang mit einer Einrichtung zum Orientieren des Substrats. - Ein Koordinaten-Messgerät der in
1 dargestellten Art ist bereits ausführlich im Stand der Technik beschrieben und somit auch ausführlich aus dem Stand der Technik bekannt. Das Koordinaten-Messgerät1 umfasst einen in X-Koordinatenrichtung und in Y-Koordinatenrichtung beweglichen Messtisch20 . Der Messtisch20 trägt ein Substrat, bzw. eine Maske für die Halbleiterherstellung. Auf einer Oberfläche des Substrats2 sind mehrere Strukturen3 aufgebracht. Der Messtisch selbst ist auf Luftlagern21 gestützt, die ihrerseits auf einem Granitblock25 abgestützt sind. Für die Beleuchtung des Substrats2 sind mindestens eine Auflichtbeleuchtungseinrichtung14 und/oder eine Durchlichtbeleuchtungseinrichtung6 vorgesehen. In der hier dargestellten Ausführungsform wird das Licht der Durchlichtbeleuchtungseinrichtung6 mittels eines Umlenkspiegels7 in die Beleuchtungsachse4 für das Durchlicht eingekoppelt. Das Licht der Beleuchtungseinrichtung6 gelangt über einen Kondensor8 auf das Substrat2 . Das Licht der Auflichtbeleuchtungseinrichtung14 gelangt durch das Messobjektiv9 auf das Substrat2 . Das von dem Substrat2 ausgehende Licht wird durch das Messobjektiv9 gesammelt und von einem halbdurchlässigen Spiegel12 aus der optischen Achse5 ausgekoppelt. Dieses Messlicht gelangt auf eine Kamera10 , die mit einem Detektor11 versehen ist. Dem Detektor11 ist eine Recheneinheit16 zugeordnet, mit der aus dem aufgenommenen Daten digitale Bilder erzeugt werden können. - Die Position des Messtisches
20 wird mittels eines Laser-Interferometers24 gemessen und bestimmt. Das Laser-Interferometer24 sendet hierzu einen Messlichtstrahl23 aus. Ebenso ist das Messmikroskop9 mit einer Verschiebeeinrichtung in Z-Koordinatenrichtung verbunden, damit das Messobjektiv9 auf die Oberfläche des Substrats2 fokussiert werden kann. Die Position des Messobjektivs9 kann z. B. mit einem Glasmaßstab (nicht dargestellt) gemessen werden. Der Granitblock25 ist ferner auf schwingungsgedämpft gelagerten Fliesen26 aufgestellt. Durch diese Schwingungs dämpfung sollen alle möglichen Gebäudeschwingungen und Eigenschwingungen des Koordinaten-Messgerätes weitestgehend reduziert, bzw. eliminiert werden. -
2 zeigt eine schematische Ansicht der Anordnung von dem Koordinaten-Messgerät1 und weiteren Einrichtungen, die dem Koordinaten-Messgerät1 zugeordnet sind, um damit eine effiziente Untersuchung, bzw. Vermessung der Substrate2 zu gewährleisten. In der in2 dargestellten Ausführungsform ist das Koordinaten-Messgerät1 vereinfacht dargestellt. Das Koordinaten-Messgerät1 ist in2 lediglich mit dem Messtisch20 und dem auf dem Messtisch20 befindlichem Substrat2 dargestellt. Die Koordinaten-Messeinrichtung1 befindet sich zusammen mit anderen Einrichtungen in einer Klimakammer30 . Der Koordinaten-Messeinrichtung1 ist in der hier dargestellten Ausführungsform ein Magazin32 für die Aufbewahrung von Substraten2 , bzw. Masken innerhalb der Klimakammer30 zugeordnet. Ebenso ist innerhalb der Klimakammer eine Einrichtung zum Orientieren34 der Substrate angeordnet. In einer Wand30a der Klimakammer30 ist eine Übergabestation35 vorgesehen. Innerhalb der Klimakammer30 können ferner ein Transportroboter36 und eine weitere Transporteinrichtung38 vorgesehen sein. Obwohl hier ein Magazin32 zur Aufbewahrung von Substraten2 , bzw. Temperieren von Substraten2 vorgesehen ist, ist es für jeden Fachmann selbstverständlich, dass man auf ein Magazin innerhalb der Klimakammer30 verzichten kann. Der Roboter36 kann sich innerhalb der Klimakammer entlang der durch den Doppelpfeil40 dargestellten Richtung bewegen. Über die Übergabeöffnung35 können die Substrate2 in die Klimakammer verbracht werden. Die Transporteinrichtung38 stellt dabei eine Übergabestation dar. Der Roboter36 entnimmt das Substrat2 aus der Übergabestation38 und legt es je nach Rezept auf die Einrichtung35 zum Orientieren, auf dem Messtisch20 oder in das Magazin32 . - In
3 ist eine andere Ausführungsform der Anordnung, die mit einer Koordinaten-Messmaschine1 in Verbindung stehen, dargestellt. Dabei werden gleiche Elemente durch gleiche Bezugszeichen bezeichnet. Der in3 dargestellten Ausführungsform ist die Einrichtung34 zum Orientieren außerhalb der Klimakammer30 angeordnet. Die Einrichtung34 zum Orientieren ist mittels eines Interfaces42 mit der Klimakammer verbunden, so dass über das Interface42 die orientierten Substrate an die Koordinaten-Messmaschine1 übergeben werden können. -
4 zeigt eine Seitenansicht der Anordnung der verschiedenen Einrichtungen in der Klimakammer30 einer Koordinaten-Messeinrichtung. Die Klimakammer30 ist dabei mit einer Ventilatoreinrichtung50 verbunden, die Luft eines gewissen Rein raumgrades in die Klimakammer30 einbläst. In der Klimakammer30 kann ein Luftleitblech52 vorgesehen sein, mit dem ein Luftstrom54 erzeugbar ist, der entsprechend auf die Einrichtung34 zum orientieren der Substrate gerichtet ist. Der Luftstrom kann den Vorteil haben, dass evtl. auf dem Substrat2 anhaftende Partikel weggeblasen werden können. -
5 zeigt eine schematische Darstellung eines Substrats2 . Das Substrat2 ist mit mehreren Kennzeichnungen54 und56 versehen. Dabei kann die erste Kennzeichnung54 ein Barcode sein. Die zweite Kennzeichnung56 kann eine alphanumerische Kennzeichnung des Substrats2 darstellen. Anhand der Kennzeichnungen54 und56 ist es möglich, die Orientierung des Substrats2 festzustellen. -
6 zeigt eine schematische Anordnung einer Detektionseinrichtung60 für die Orientierung des Substrats2 . Das Substrat2 ist auf die Einrichtung34 zum Orientieren des Substrats2 aufgelegt. Im Wesentlichen umfasst die Einrichtung34 zum Orientieren des Substrats2 einen Drehteller34a , der das Substrat2 trägt. Die Einrichtung34 zum Orientieren des Substrats2 ist mit einer Recheneinheit61 verbunden, mit der die Orientierung des Substrats automatisch eingestellt werden kann. Gegenüber dem Substrat2 ist eine Kamera60 vorgesehen, mit der Bilder von dem Teil des Substrats aufgenommen werden können, welche die Kennzeichnungen54 und56 tragen. Ebenso ist es denkbar, dass mit der Kamera60 die gesamte Oberfläche des Substrats2 aufgenommen werden kann. Aus dem Bild der Oberfläche des Substrats2 kann dann mittels Bildverarbeitung im Rechner61 die Orientierung des Substrats ermittelt werden. Auf einem Display62 kann dem Benutzer die aktuelle, bzw. die neu eingestellte Orientierung des Substrats2 angezeigt werden. Ebenso ist es denkbar, dass der Benutzer über das Display62 Eingaben hinsichtlich der Orientierung des Substrats machen kann. Eine Erstellung von Rezepten, mit denen bestimmte Kalibrierungsschritte durchgeführt werden können, können ebenfalls mittels des Displays eingegeben werden und so an den Rechner61 übermittelt werden. - Zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine
1 ist es erforderlich, das mindestens eine Struktur3 auf dem Substrat2 in einer ersten Orientierung des Substrats2 gemessen wird. Mittels der Einrichtung34 zum Orientieren des Substrats wird eine zweite Orientierung eingestellt. Anschließend wird das Substrat in der zweiten Orientierung der mindestens einen Struktur an der gleichen Stelle, wie bei der ersten Messung, gemessen. Aus den unterschiedlichen Orientierungen werden dann Daten hinsichtlich der Position, bzw. Dimension der Struktur3 auf dem Substrat gewonnen. Diese Daten sätze werden zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine herangezogen. Die aus der Vermessung der verschiedenen Orientierungen des Substrats gewonnenen Datensätze können zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine1 automatisch verrechnet werden. Ebenso ist es denkbar, dass die Datensätze in dem Rechner61 abgespeichert werden und für eine spätere Kalibration, bzw. Korrektur der realen Messwerte herangezogen werden. Ebenso ist es denkbar, dass auf dem Display62 eine Ausgabe für den Benutzer erfolgt, wenn das Ergebnis der Kalibration innerhalb eines festgelegten Toleranzbereichs liegt. Die Kalibration der Koordinaten-Messmaschine kann in definierten Zeitabständen automatisch durchgeführt werden. Ebenso kann die Kalibration auf Benutzeranforderungen durchgeführt werden. Dem Benutzer kann auf dem Display62 eine Vielzahl von Arbeitsanweisungen zur Verfügung gestellt werden, die zur Abarbeitung in gewünschter Art und Weise aus dem Display62 zusammengestellt werden können. Anhand dieser beliebig zusammenstellbaren Arbeitsanweisungen ist eine Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine1 erzielbar. - Die Erfindung wurde unter Berücksichtigung spezieller Ausführungsformen beschrieben. Es ist jedoch denkbar, dass Abwandlungen und Änderungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- - DE 10047211 A1 [0003]
- Zitierte Nicht-Patentliteratur
-
- - „Pattern Placement Metrology for Mask maging" von Frau Dr. Carola Bläsing verwiesen. Der Vortrag wurde gehalten anlässlich der Tagung Semicon, Edjucation Program in Genf am 31. März. 1998 [0003]
Claims (20)
- Koordinaten-Messmaschine, dadurch gekennzeichnet, dass der Koordinaten-Messmaschine eine Einrichtung zum automatischen Orientieren eines Substrats zugeordnet ist, dass der Koordinaten-Messmaschine ferner eine Steuer- und Recheneinheit zugeordnet ist, so dass auf der Grundlage von mindestens zwei unterschiedlichen und automatisch eingestellten Orientierungen des Substrats eine Selbstkalibrierung durchführbar ist.
- Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Übergabestation vorgesehen ist, wobei ein Roboter der Übergabestation zugeordnet ist, der das Substrat an die Einrichtung zum Orientieren übergibt und nach der Orientierung das Substrat aus der Einrichtung zum Orientieren entnimmt und der Koordinaten-Messmaschine in der neu eingestellten Orientierung zuführt.
- Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein in X-Koordinatenrichtung und in Y-Koordinatenrichtung beweglicher Messtisch vorgesehen ist, auf dem das automatisch orientierte Substrat abgelegt ist, wobei eine Kamera vorgesehen ist, die mindestens ein Messfenster zur Vermessung einer Struktur ausgebildet hat.
- Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten des Substrats vorgesehen ist, wobei die Beleuchtungseinrichtung eine Auflichtanordnung und/oder eine Durchlichtanordnung umfasst.
- Koordinaten-Messmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Koordinaten-Messmaschine, die Einrichtung zum Orientieren, die Beleuchtungseinrichtung, die Kamera, ein Magazin und mindestens eine Transporteinrichtung in einer gemeinsamen Klimakammer angeordnet sind.
- Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zum Orientieren im Luftstrom der Klimakammer angeordnet ist.
- Koordinate-Messmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Einrichtung zum Orientieren eine Beleuchtungseinrichtung und eine Kamera zugeordnet ist, die ein Bild des Substrats aufnimmt, aus dem sich die Orientierung ermitteln lässt.
- Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Kamera eine Auswerteeinheit für eine Identifikation des Substrats umfasst.
- Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Einrichtung zum Orientieren eine extra Aufnahmeeinheit für die Identifikation des Substrats zugeordnet ist.
- Koordinaten-Messmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Einrichtung zum Orientieren ein Rechner zugeordnet ist, der eine vom Benutzer vorgegebene Orientierung des Substrats einstellt.
- Koordinaten-Messmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Einrichtung zum Orientieren ein Rechner zugeordnet ist, der eine definierte nach einem vordefinierten Rezept bestimmte und vorgegebene Orientierung des Substrats einstellt.
- Koordinaten-Messmaschine nach Anspruch 10 und 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Rechner für die Bildauswertung vorgesehen ist.
- Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: – dass mindestens eine Struktur auf dem Substrat in einer ersten Orientierung des Substrats gemessen wird, – dass eine zweite Orientierung automatisch mit einer Einrichtung zum Orientieren eingestellt wird, – dass die mindestens eine Struktur auf dem Substrat in der zweiten Orientierung an der gleichen Stelle wie bei der ersten Messung gemessen wird, und – dass die aus den unterschiedlichen Orientierungen der Struktur gewonnenen Datensätze zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine herangezogen werden.
- Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Datensätze zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine automatisch verrechnet werden.
- Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Datensätze in einem Rechner abgespeichert werden.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass durch eine Ausgabe angezeigt wird, wenn das Ergebnis der Kalibration innerhalb eines festgelegten Toleranzbereichs liegt.
- Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Toleranzbereich einen einstelligen nm-Bereich oder sub nm-Bereich umfasst.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Kalibrierung in definierten Zeitabständen automatisch durchgeführt wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Kalibrierung auf Benutzeranforderung durchgeführt wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass dem Benutzer eine Vielzahl von Arbeitsanweisungen zur Verfügung gestellt werden, die zur Abarbeitung in gewünschter Art und Weise zusammengestellt werden können, um eine Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine zu erzielen.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007030390A DE102007030390B4 (de) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine |
US12/215,115 US8115808B2 (en) | 2007-06-29 | 2008-06-25 | Coordinate measuring machine and method for calibrating the coordinate measuring machine |
JP2008165442A JP2009014717A (ja) | 2007-06-29 | 2008-06-25 | 座標測定装置及び座標測定装置の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007030390A DE102007030390B4 (de) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102007030390A1 true DE102007030390A1 (de) | 2009-01-02 |
DE102007030390B4 DE102007030390B4 (de) | 2010-05-12 |
Family
ID=40076035
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102007030390A Active DE102007030390B4 (de) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8115808B2 (de) |
JP (1) | JP2009014717A (de) |
DE (1) | DE102007030390B4 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007039983A1 (de) | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Verfahren zum Messen von Positionen von Strukturen auf einem Substrat mit einer Koordinaten Messmaschine |
DE102007049103A1 (de) | 2007-10-11 | 2009-04-16 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | System zum Bestimmen der lagerichtigen Position einer Maske in einer Ablage einer Koordinaten-Messmaschine |
DE102007000973A1 (de) | 2007-11-05 | 2009-05-14 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Maske und Verfahren zur Bestimmung der Drehlage der Maske |
DE102008002968A1 (de) | 2008-07-25 | 2010-02-04 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Interferometrische Einrichtung zur Positionsmessung und Koordinaten-Messmaschine |
DE102009016858A1 (de) * | 2009-03-18 | 2010-09-23 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren zum Kalibrieren eines Probentisches eines Metrologiesystems sowie Metrologiesystem mit einem Probentisch |
DE102009025895A1 (de) | 2009-06-02 | 2010-12-09 | Kla-Tencor Mie Gmbh | Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Überwachung und Korrektur von systembedingten Fehlern |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2464509C (en) * | 2008-10-17 | 2014-05-21 | Taylor Hobson Ltd | Surface measurement instrument and method |
DE102009003503A1 (de) * | 2009-02-18 | 2010-08-19 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Verfahren zur Kalibrierung eines Messtisches einer Koordinaten-Messmaschine |
GB201013938D0 (en) | 2010-08-20 | 2010-10-06 | Renishaw Plc | Method for recalibrating coordinate positioning apparatus |
GB201113715D0 (en) * | 2011-08-09 | 2011-09-21 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
GB201202557D0 (en) | 2012-02-15 | 2012-03-28 | Renishaw Plc | A gauge artefact and method for checking a coordinate positioning machine |
GB201308467D0 (en) | 2013-05-10 | 2013-06-19 | Renishaw Plc | Method and Apparatus for Inspecting Workpieces |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4583298A (en) * | 1984-03-07 | 1986-04-22 | Hewlett-Packard Company | Auto calibration method suitable for use in electron beam lithography |
DE3716549C2 (de) * | 1987-05-17 | 1989-12-28 | Wild Leitz Gmbh, 6330 Wetzlar, De | |
DE19734695C1 (de) * | 1997-08-11 | 1998-11-05 | Leica Mikroskopie & Syst | Verfahren zur Korrektur der Messfehler einer Koodinaten-Messmaschine |
DE10047211A1 (de) | 2000-09-23 | 2002-05-08 | Leica Microsystems | Verfahren und Messgerät zur Positionsbestimmung einer Kante eines Strukturelementes auf einem Substrat |
DE202005000351U1 (de) * | 2005-01-11 | 2005-06-16 | Fortrend Engineering Corporation, Sunnyvale | Einzelnes Reticle-Transfersystem |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5880411A (en) * | 1992-06-08 | 1999-03-09 | Synaptics, Incorporated | Object position detector with edge motion feature and gesture recognition |
US7180508B2 (en) * | 2002-09-17 | 2007-02-20 | Tyco Electronics Corporation | Dynamic corrections for a non-linear touchscreen |
JP2005129674A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Canon Inc | 走査露光装置およびデバイス製造方法 |
EP1796145A4 (de) * | 2004-08-30 | 2010-10-06 | Nikon Corp | Belichtungseinrichtung, operationsentscheidungsverfahren, substratbehandlungssystem und wartungsverwaltungsverfahren und einrichtungsherstellungsverfahren |
DE102007000999B4 (de) * | 2007-02-26 | 2012-06-28 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Verfahren zur Beseitigung von Fehlerquellen der Systemkorrektur einer Koordinaten-Messmaschine |
US20090033612A1 (en) * | 2007-07-31 | 2009-02-05 | Roberts John K | Correction of temperature induced color drift in solid state lighting displays |
-
2007
- 2007-06-29 DE DE102007030390A patent/DE102007030390B4/de active Active
-
2008
- 2008-06-25 US US12/215,115 patent/US8115808B2/en active Active
- 2008-06-25 JP JP2008165442A patent/JP2009014717A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4583298A (en) * | 1984-03-07 | 1986-04-22 | Hewlett-Packard Company | Auto calibration method suitable for use in electron beam lithography |
DE3716549C2 (de) * | 1987-05-17 | 1989-12-28 | Wild Leitz Gmbh, 6330 Wetzlar, De | |
DE19734695C1 (de) * | 1997-08-11 | 1998-11-05 | Leica Mikroskopie & Syst | Verfahren zur Korrektur der Messfehler einer Koodinaten-Messmaschine |
DE10047211A1 (de) | 2000-09-23 | 2002-05-08 | Leica Microsystems | Verfahren und Messgerät zur Positionsbestimmung einer Kante eines Strukturelementes auf einem Substrat |
DE202005000351U1 (de) * | 2005-01-11 | 2005-06-16 | Fortrend Engineering Corporation, Sunnyvale | Einzelnes Reticle-Transfersystem |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
"Pattern Placement Metrology for Mask maging" von Frau Dr. Carola Bläsing verwiesen. Der Vortrag wurde gehalten anlässlich der Tagung Semicon, Edjucation Program in Genf am 31. März. 1998 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007039983A1 (de) | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Verfahren zum Messen von Positionen von Strukturen auf einem Substrat mit einer Koordinaten Messmaschine |
DE102007049103A1 (de) | 2007-10-11 | 2009-04-16 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | System zum Bestimmen der lagerichtigen Position einer Maske in einer Ablage einer Koordinaten-Messmaschine |
DE102007049103B4 (de) * | 2007-10-11 | 2011-03-31 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | System zum Bestimmen der lagerichtigen Position einer Maske in einer Ablage einer Koordinaten-Messmaschine |
DE102007000973A1 (de) | 2007-11-05 | 2009-05-14 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Maske und Verfahren zur Bestimmung der Drehlage der Maske |
DE102008002968A1 (de) | 2008-07-25 | 2010-02-04 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Interferometrische Einrichtung zur Positionsmessung und Koordinaten-Messmaschine |
US8351049B2 (en) | 2008-07-25 | 2013-01-08 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Interferometric device for position measurement and coordinate measuring machine |
DE102009016858A1 (de) * | 2009-03-18 | 2010-09-23 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren zum Kalibrieren eines Probentisches eines Metrologiesystems sowie Metrologiesystem mit einem Probentisch |
US8473237B2 (en) | 2009-03-18 | 2013-06-25 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Method for calibrating a specimen stage of a metrology system and metrology system comprising a specimen stage |
DE102009016858B4 (de) * | 2009-03-18 | 2017-11-02 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Kalibrieren eines Probentisches eines Metrologiesystems sowie Metrologiesystem mit einem Probentisch |
DE102009025895A1 (de) | 2009-06-02 | 2010-12-09 | Kla-Tencor Mie Gmbh | Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Überwachung und Korrektur von systembedingten Fehlern |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009014717A (ja) | 2009-01-22 |
US20090002486A1 (en) | 2009-01-01 |
DE102007030390B4 (de) | 2010-05-12 |
US8115808B2 (en) | 2012-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102007030390B4 (de) | Koordinaten-Messmaschine und Verfahren zur Kalibrierung der Koordinaten-Messmaschine | |
DE60127644T2 (de) | Lehrvorrichtung für einen Roboter | |
DE10047211B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Positionsbestimmung einer Kante eines Strukturelementes auf einem Substrat | |
DE3822057C2 (de) | ||
DE102016215529B4 (de) | Härteprüfvorrichtung und Härteprüfverfahren | |
DE102008041523A1 (de) | Verfahren zur dreidimensionalen Messung und Vorrichtung zur dreidimensionalen Messung | |
DE102017215334A1 (de) | Verfahren, Computerprogrammprodukt und Messsystem zum Betrieb mindestens eines Triangulations-Laserscanners zur Identifizierung von Oberflächeneigenschaften eines zu vermessenden Werkstücks | |
DE102005037841B4 (de) | Verfahren und Anordnung zur Bestimmung der relativen Lage eines ersten Objektes bezüglich eines zweiten Objektes, sowie ein entsprechendes Computerprogramm und ein entsprechendes computerlesbares Speichermedium | |
AT518895B1 (de) | Biegemaschine mit einer Arbeitsbereich-Bilderfassungsvorrichtung | |
EP2019283A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von Ist-Messdaten eines Bauteils | |
DE102005007533A1 (de) | Objektträgervorrichtung | |
DE102010015884A1 (de) | Verfahren zur reproduzierbaren Bestimmung der Position von Strukturen auf einer Maske mit Pellicle-Rahmen | |
DE112005002965T5 (de) | Verfahren zur Bestimmung des chemischen Inhalts komplexer Strukturen unter Verwendung einer Röntgenstrahlenmikroanalyse | |
DE102007033345A1 (de) | Verfahren zur Korrektur eines Fehlers des Abbildungssystems einer Koordinaten-Messmaschine | |
DE60123558T2 (de) | Verfahren zur Bearbeitung einer Brillenlinse | |
DE102007025304A1 (de) | Verfahren zur Verbesserung der Reproduzierbarkeit einer Koordinaten-Messmaschine und deren Genauigkeit | |
DE102007039983A1 (de) | Verfahren zum Messen von Positionen von Strukturen auf einem Substrat mit einer Koordinaten Messmaschine | |
DE102005039949A1 (de) | Optische Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabeeinheit | |
DE19817714B4 (de) | Verfahren zur Messung der Lage von Strukturen auf einer Maskenoberfläche | |
WO2013087433A1 (de) | Dynamische ergebnisprojektion bei bewegtem prüfobjekt | |
DE102007000990A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur positionsgenauen Halterung eines Substrats | |
DE112014005893B4 (de) | Ein Verfahren zum Messen von Positionen von Strukturen auf einer Maske und dadurch Bestimmen von Fehlern bei der Herstellung von Masken | |
DE102005018896A1 (de) | Verfahren zur Bestimmung des Lateralversatzes eines XYZ-Tisches | |
DE102007051390B4 (de) | Verfahren zur Bestimmung der durch Relaxationsprozesse bedingten Drift eines Substrats | |
EP1471401A2 (de) | Verfahren zur Einmessung des Koordinatensystems einer Kamera eines Roboters gegenüber dem Koordinatensystem des Roboters oder umgekehrt |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8364 | No opposition during term of opposition |