DE102008001792A1 - Verfahren zur Bestimmung der Neigung zur Bildung von Whiskern - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Neigung zur Bildung von Whiskern in einer Reinzinnschicht (7), die auf eine kupferhaltige Basisschicht (5) aufgebracht ist, bei dem zunächste die Reinzinnschicht (7) von der Basisschicht (5) abgelöst wird, anschließend die Flächenbelegung durch intermetallische Verbindungen an der Oberfläche der Basisschicht (5) bestimmt wird und abschließend eine Beurteilung der Neigung zur Bildung von Whiskern anhand der Flächenbelegung der intermetallischen Verbindungen an der Oberfläche der Basisschicht (5) erfolgt. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, umfassend eine Reaktionskammer (1) zur Aufnahme einer Probe (3), mindestens einen Vorratsbehälter (9) zur Aufnahme einer Säure, der mit der Reaktionskammer (1) verbunden ist, einen Abfallbehälter (13) für Spülabfälle sowie eine Vorrichtung (37, 39) zur Aufnahme von vergrößerten, digitalen Abbildungen der Oberfläche und eine Auswerteeinheit (41), mit der die Flächenbelegung durch intermetallische Verbindungen an der Oberfläche der Probe (3) durch ein Bildverarbeitungsverfahren ermittelbar ist.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Neigung zur Bildung von Whiskern in einer Reinzinnschicht, die auf eine kupferhaltige Basisschicht aufgebracht ist. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
  • Der Einsatz von bleihaltigen Zinnlegierungen in elektronischen Komponenten ist durch gesetzliche Vorgaben verboten. Als Alternative zu den bis 2005 eingesetzten bleihaltigen Loten und galvanischen Lotvorbeschichtungen hat sich die Applikation von Reinzinn durchgesetzt. Dieses neigt jedoch zu einer so genannten Whiskerbildung. Hierbei handelt es sich um sehr dünne Einkristallnadeln mit einem Durchmesser von ca. 0,5 μm, die sich durch Abbau von inneren Druckspannungen in der Zinnschicht bilden. Diese Einkristallnadeln können sich mit einer Wachstumsgeschwindigkeit von 1–2 mm pro Jahr ausbilden. Hierdurch kann es zu einer Überbrückung von elektrischen Leiterbahnen kommen mit daraus resultierenden Kurzschlüssen oder fehlerhaften Signalströmen.
  • Die Neigung zur Whiskerbildung kann durch geeignete Werkstoffkombinationen oder thermische Nachbehandlung von verzinnten Bauteilen deutlich reduziert werden. Jedoch gibt es keine einfache Methode zum Nachweis, ob die Bauteile richtig prozessiert wurden und damit eine geringe Whiskerbildungsneigung besteht oder ob eine fehlerhafte Prozessierung zu Bauteilen mit erhöhtem Whiskerbildungsrisiko führen wird.
  • Um die Whiskerbildung zu untersuchen, ist z. B. aus US 5,393,573 bekannt, Proben bei einer Temperatur von 50°C zu altern und im 7-Tages-Rhythmus mit einem Rasterelektronenmikroskop zu fotografieren. Hierdurch kann die Whiskerbildung beobachtet werden. Nachteil dieses Verfahrens ist jedoch, dass sich dieses über einen sehr langen Zeitraum hinzieht. So sind Prüfungsintervalle von bis zu 100 Tagen üblich.
  • Die mikroskopische Untersuchung der Whiskerbildung in Bohrungen mit einem Durchmesser von 0,6 bis 1,2 mm ist in DE-U 20 2005 010 364 beschrieben. Jedoch ist auch hier eine Lagerzeit von 7 Wochen bei Raumtemperatur erforderlich, um die Ausbildung von Whiskern beobachten zu können.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Vorteile der Erfindung
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zur Bestimmung der Neigung zur Bildung von Whiskern in einer Reinzinnschicht, die auf eine kupferhaltige Basisschicht aufgebracht ist, umfasst folgende Schritte:
    • a) Ablösen der Reinzinnschicht von der Basisschicht,
    • b) Bestimmung der Flächenbelegung durch intermetallische Verbindungen an der Oberfläche der Basisschicht,
    • c) Beurteilen der Neigung zur Bildung von Whiskern aus der in Schritt b) ermittelten Flächenbelegung der intermetallischen Verbindungen an der Oberfläche der Basisschicht.
  • Es hat sich gezeigt, dass die Neigung zur Bildung von Whiskern mit der Flächenbelegung der intermetallischen Verbindungen an der Oberfläche der Basisschicht korreliert. Somit lässt sich durch das erfindungsgemäße Verfahren direkt nach der Herstellung der Reinzinnschicht überprüfen, ob diese zur Whiskerbildung neigt. Anders als bei den aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren ist es nicht erforderlich, Auslagerungstests durchzuführen, die sich über mehrere Wochen bis Monate hinziehen, um die Neigung zur Bildung von Whiskern einschätzen zu können.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich sowohl zur Untersuchung der Neigung zur Bildung von Whiskern von Reinzinnschichten, die galvanisch hergestellt wurden, als auch von tauchverzinnten Bauteilen. Die zur Beurteilung notwendigen intermetallischen Verbindungen bilden sich bereits während der Herstellung der Reinzinnschicht an der Grenzfläche zwischen der Basisschicht und der Reinzinnschicht aus.
  • Die durch galvanische Verzinnung oder Tauchverzinnung hergestellte Reinzinnschicht weist üblicherweise eine Dicke von 2–12 nm auf. Zur Untersuchung der Neigung zur Bildung von Whiskern wird eine Probe mit einer solchen Reinzinnschicht, die auf einer kupferhaltigen Basisschicht abgeschieden wurde, untersucht. Als Probe eignet sich jedes beliebige Bauteil, das mit Reinzinn verzinnte kupferhaltige Basisschichten enthält. Solche Bauteile sind z. B. Leadframes, wie sie in der Halbleitertechnik eingesetzt werden.
  • Die kupferhaltige Basisschicht wird üblicherweise aus E-Cu58, CuSn0,15, CuSn4 oder CuSn6 hergestellt. Jedoch kann auch jede beliebige andere, dem Fachmann bekannte und geeignete Kupferlegierung für die Basisschicht verwendet werden.
  • In einem ersten Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Reinzinnschicht von der Basisschicht abgelöst. Das Ablösen der Reinzinnschicht erfolgt üblicherweise chemisch mit einer Säure. Geeignete Säuren, mit denen die Reinzinnschicht abgelöst werden kann, sind z. B. Salzsäure, Salpetersäure oder Schwefelsäure. Bevorzugt als Säure wird Salzsäure eingesetzt. Besonders bevorzugt ist 6 M-Salzsäure.
  • Um die Reinzinnschicht abzulösen wird die Probe vorzugsweise für 5 bis 20 Sekunden mit der Säure gespült. In dieser Zeit setzt eine Reaktion unter Auflösung der Reinzinnschicht ein. Intermetallische Verbindungen, die sich an der Grenzfläche zwischen der Basisschicht und der Reinzinnschicht ausgebildet haben, bleiben auf der Basisschicht bestehen. Solche intermetallischen Verbindungen sind z. B. Cu3Sn oder Cu6Sn5.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform wird die Probe nach dem Spülen mit der Säure, um die Reinzinnschicht abzulösen, zunächst mit Wasser gespült. Um ein rückstandsfreies Spülen zu ermöglichen, wird hierbei vorzugsweise vollentsalztes Wasser eingesetzt. Nach dem Spülen wird die Probe mit der Basisschicht getrocknet. Das Trocknen kann z. B. durch Einblasen von warmer Luft erfolgen. Die Luft hat dabei vorzugsweise eine Temperatur im Bereich von 50–80°C. Die Dauer des Anblasens mit warmer Luft liegt vorzugsweise im Bereich von 30 Sekunden bis 5 Minuten. Besonders bevorzugt liegt der Zeitraum zum Anblasen mit warmer Luft im Bereich von 30 Sekunden bis 2 Minuten. Nach dem Trocknen der Probe mit warmer Luft erfolgt vorzugsweise eine Abkühlphase. Hierzu kann beispielsweise öl- und fettfreie Druckluft bei Raumtemperatur eingeblasen werden.
  • In einem nächsten Schritt wird zunächst eine vergrößerte Aufnahme der Basisschicht erstellt. Durch geeignete Bilderfassungsverfahren lassen sich auf der so getätigten vergrößerten Aufnahme Bereiche der Basisschicht und Bereiche aus intermetallischen Verbindungen erkennen. Anhand der Flächenbelegung der intermetallischen Verbindungen lässt sich auf die Neigung zur Bildung von Whiskern schließen.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform wird das vergrößerte Bild der Basisschicht mit einem Rasterelektronenmikroskop aufgenommen. Neben einem Rasterelektronenmikroskop eignet sich aber auch jedes beliebige andere Bilderfassungssystem, mit dem hinreichend vergrößerte Aufnahmen der Oberfläche erstellt werden können.
  • Um eine automatisierte Auswertung der Bilder zu ermöglichen, wird vorzugsweise eine digitale Aufnahme erstellt. Die digitale Aufnahme kann durch ein dem Fachmann bekanntes Bildbearbeitungsverfahren analysiert werden. So lasst sich z. B. die Flächenbelegung der intermetallischen Verbindung durch ein elektronisches Bildverarbeitungsverfahren ermitteln. Geeignete Verfahren, um die Flächenbelegung zu ermitteln, sind dem Fachmann bekannt.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform wird die Flächenbelegung der intermetallischen Verbindung durch eine Graustufenanalyse des digitalen, vergrößerten Bildes der Oberfläche ermittelt. Hierzu wird zunächst das aufgenommene Bild in Graustufen umgewandelt. Bereiche unterschiedlicher Zusammensetzung werden dabei in unterschiedlichen Graustufen dargestellt. So lässt sich der Anteil an intermetallischen Verbindungen einem Grauton zuordnen. Das Flächenverhältnis der erkannten intermetallischen Verbindungen zur Gesamtfläche ergibt die Flächenbelegung der intermetallischen Verbindung auf der Oberfläche der Basisschicht.
  • In Abhängigkeit vom eingesetzten Bilderfassungsverfahren werden die intermetallischen Verbindungen zum Beispiel durch helle Bildanteile dargestellt. Um den Anteil der intermetallischen Verbindungen zu ermitteln, wird für die Bildverarbeitung der Farbschwellenwert auf einen Bereich zwischen 0 und 120 gesetzt. Hierdurch werden nur helle Bildanteile analysiert. Um eine hinreichend gute Rauschunterdrückung zu erzielen, wird das Detektionsminimum vorzugsweise auf 3 bis 10 Pixel, beispielsweise 5 Pixel, gesetzt. Zudem wird ein Aspektverhältnis im Bereich von vorzugsweise 0,3 bis 5, insbesondere 0,5 bis 2 eingestellt, um gegebenenfalls auf der Basisschicht ausgebildete Kratzer aus der Aufnahme herauszufiltern und nicht den intermetallischen Verbindungen zuzuordnen. Zur Klassifizierung wird nur ein kleiner Bereich des Bildes, vorzugsweise eine Fläche von 0,25 bis 10 μm2 berücksichtigt.
  • In Abhängigkeit vom eingesetzten Bildverarbeitungsverfahren oder der eingesetzten Kamera zur Erstellung der Aufnahme der Oberfläche kann jedoch auch jeder beliebige andere geeignete Parametersatz verwendet werden, um den Flächenanteil der intermetallischen Verbindungen zu bestimmen.
  • Eine erforderliche Korrelation, um die Neigung zur Bildung von Whiskern einer bestimmten Flächenbelegung an intermetallischen Verbindungen zuordnen zu können, sind Vorversuche erforderlich, in denen über einen längeren Zeitraum für unterschiedliche Flächenbelegungen an intermetallischen Verbindungen die Bildung von Whiskern beobachtet wird. Hierbei werden jeweils in Abhängigkeit von der Zusammensetzung der Basisschicht und der Art der Reinzinnschicht, beispielsweise Matt-Sn100 oder Glanz-Sn100 entsprechende Korrelationen erstellt. Eine derartige Korrelation, die in einer Auswerteeinheit hinterlegt sein kann, ermöglicht es, durch ein einfaches Signal darzustellen, ob eine untersuchte Probe zur Bildung von Whiskern neigt oder nicht. Als Signal kann z. B. ein rotes oder grünes optisches Signal eingesetzt werden. So kann z. B. ein rotes Signal darstellen, dass die Probe zur Bildung von Whiskern neigt oder ein grünes Signal, dass die Probe unkritisch ist. Auf diese Weise kann z. B. auch eine Wareneingangskontrolle durch wenig geschultes Personal durchgeführt werden.
  • Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Die Vorrichtung umfasst eine Reaktionskammer zur Aufnahme einer Probe, mindestens einen Vorratsbehälter zur Aufnahme einer Säure, die mit der Reaktionskammer verbunden ist, einen Sammelbehälter für Spülabfälle sowie eine Vorrichtung zur Aufnahme von vergrößerten, digitalen Abbildungen der Oberfläche und eine Auswerteeinheit, mit der die Flächenbewegung durch intermetallische Verbindungen an der Oberfläche der Probe durch ein Bildverarbeitungsverfahren ermittelbar ist.
  • Mit einer solchen Vorrichtung lasst sich auf einfache Weise automatisiert die Neigung zur Bildung von Whiskern untersuchen. Dies ermöglicht eine einfache Wareneingangskontrolle und eine schnelle Beurteilung der Probe.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Eine Ausführungsform der Erfindung ist in den Figuren dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Bestimmung der Neigung zur Bildung von Whiskern,
  • 2 eine mikroskopische Aufnahme einer intermetallischen Phase von Glanz-Sn100 auf CuSn0,15,
  • 3 Whiskerbildung in Abhängigkeit der Flächenbedeckung durch intermetallische Phasen.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • In 1 ist eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Bestimmung der Neigung zur Bildung von Whiskern dargestellt.
  • Eine Vorrichtung zur Bestimmung der Neigung zur Bildung von Whiskern in einer Reinzinnschicht umfasst eine Reaktionskammer 1, in der in einem ersten Schritt von einer Probe 3, die eine kupferhaltige Basisschicht 5 aufweist, auf die eine Reinzinnschicht 7 aufgetragen ist, die Reinzinnschicht 7 abgelöst wird. Das Ablösen der Reinzinnschicht 7 erfolgt durch Zugabe einer Säure in die Reaktionskammer 1. Hierzu ist die Reaktionskammer 1 mit einem ersten Vorratsbehälter 9 verbunden, in dem eine Säure, mit der die Reinzinnschicht 7 abgelöst werden kann, enthalten ist. Die im ersten Vorratsbehälter 9 enthaltene Säure ist vorzugsweise Salzsäure. Weitere geeignete Säuren sind z. B. Salpetersäure oder Schwefelsäure.
  • Wenn Salzsäure zum Ablösen der Reinzinnschicht 7 eingesetzt wird, so wird diese vorzugsweise als 5 bis 8 M Salzsäure eingesetzt.
  • Um die Reinzinnschicht 7 zu entfernen, wird die Reaktionskammer 1 mit der Säure aus dem ersten Vorratsbehälter 9 geflutet, bis die Reinzinnschicht 7 vollständig bedeckt ist. Das Ablösen der Reinzinnschicht 7 erfolgt dabei vorzugsweise in einem Zeitraum von etwa 5 bis 20 Sekunden.
  • Die kupferhaltige Basisschicht 5, auf der die Reinzinnschicht 7 aufgebracht ist, ist z. B. aus E-Cu58, CuSn0,15, CuSn4 oder CuSn6 gefertigt. Die kupferhaltige Basisschicht 5 kann dabei auf einem Träger aufgebracht sein oder alternativ wird die kupferhaltige Basisschicht 5 mit der darauf aufgetragenen Reinzinnschicht 7 als Probe 3 eingesetzt. In diesem Fall ist die kupferhaltige Basisschicht 5 vorzugsweise in einer Stärke ausgeführt, dass die Basisschicht 5 selbsttragend ist.
  • Nach Abschluss der Reaktion, bei der die Reinzinnschicht 7 von der Basisschicht 5 abgelöst wurde, wird die Säure aus der Reaktionskammer 1 entfernt. Hierzu ist z. B. am Boden der Reaktionskammer 1 ein Ablauf 11 angeordnet, über den die Säure in einen Abfallbehälter 13 ablaufen kann. Damit die Säure nicht durch die Reaktionskammer 1 direkt in den Abfallbehälter 13 durchläuft, ist im Ablauf 11 ein Ventil 15 positioniert. Solange die Reaktion in der Reaktionskammer 1 abläuft, ist das Ventil 15 geschlossen. Das Ventil 15 wird geöffnet, sobald die Säure aus der Reaktionskammer 1 ablaufen soll. Im Abfallbehälter 13 wird die Säure gesammelt.
  • Nachdem die Säure aus der Reaktionskammer 1 abgelassen wurde, wird die Probe 3 gespült. Das Spülen der Probe 3 erfolgt vorzugsweise mit vollentsalztem Wasser. Dieses ist in einem zweiten Vorratsbehälter 17 vorgelegt. Über einen Zulauf 19 strömt das vollentsalzte Wasser aus dem zweiten Vorratsbehälter 17 in die Reaktionskammer 1. Hierdurch wird die Probe 3 gespült. Nach dem Spülvorgang wird das vollentsalzte Wasser über den Ablauf 11 dem Abfallbehälter 13 zugeführt. Um die Probe 3 rückstandsfrei zu spülen, kann der Spülvorgang beliebig oft wiederholt werden. Vorzugsweise wird der Spülvorgang mindestens zweimal, insbesondere mindestens dreimal wiederholt.
  • Um die Zugabe der Säure aus dem ersten Vorratsbehälter 9 in die Reaktionskammer steuern zu können, ist im Zulauf 21, der den ersten Vorratsbehälter 9 mit der Reaktionskammer 1 verbindet, ein Ventil 23 aufgenommen. Wenn Säure aus dem ersten Vorratsbehälter 9 in die Reaktionskammer 1 zugegeben werden soll, wird das Ventil 23 geöffnet und wenn die Säure in der Reaktionskammer 1 enthalten ist wieder geschlossen. Entsprechend ist im Zulauf 19 vom zweiten Vorratsbehälter 17 in die Reaktionskammer 1 ebenfalls ein Ventil 25 aufgenommen. Hierdurch lasst sich die Zugabe des vollentsalzten Wassers aus dem zweiten Vorratsbehälter 17 in die Reaktionskammer 1 steuern.
  • Nach dem Spülen der Probe 3 mit dem vollentsalzten Wasser wird die Probe 3 getrocknet. Das Trocknen kann z. B. dadurch erfolgen, dass die Reaktionskammer 1 zunächst von Warmluft durchströmt wird. Die Warmluft wird dabei über einen Einlass 27 in die Reaktionskammer 1 eingeblasen. Über einen Abluftkanal 29 wird die Abluft wieder aus der Reaktionskammer 1 ausgetragen. Beim Durchströmen der Reaktionskammer 1 nimmt die über den Einlass 27 eingeblasene Warmluft Feuchtigkeit von der Probe 3 auf, wodurch diese getrocknet wird. Alternativ ist es z. B. auch möglich, die Probe 3 direkt mit der Warmluft anzublasen. Durch das Anblasen mit Warmluft wähnt sich die Probe 3 auf. Diese kann z. B. durch Anblasen mit Druckluft abgekühlt werden. Alternativ ist es auch möglich, die Probe 3 an der Umgebung wieder abzukühlen. Wenn die Probe mit Druckluft angeblasen wird, so wird die Druckluft vorzugsweise über Druckluftdüsen 31 zugeführt. Die Druckluftdüsen 31 sind dabei vorzugsweise so ausgerichtet, dass die Probe 3 direkt angeblasen wird. Ein gleichmäßiges Anblasen der Probe 3 mit der Druckluft wird z. B. dadurch erzielt, dass die Druckluftdüsen 31 oszillieren.
  • Um zu vermeiden, dass die Oberfläche der Probe 3 verunreinigt wird, ist es bevorzugt, dass die Warmluft und die Druckluft ölfrei sind. Zudem ist es bevorzugt, trockene Warmluft bzw. Druckluft einzusetzen.
  • Das Trocknen der Probe 3 kann auch nur durch Anblasen mit Druckluft erfolgen. Wenn sowohl Warmluft als auch Druckluft eingesetzt werden, so ist es z. B. möglich, Warmluft mit einer Temperatur im Bereich von 50 bis 70°C einzusetzen. Das Einblasen erfolgt dabei vorzugsweise über einen Zeitraum von 30 Sekunden bis 5 Minuten, bevorzugt von 30 Sekunden bis 2 Minuten.
  • Durch das anschließende Einblasen von kalter Druckluft über die Druckluftdüsen 31 wird das Abkühlen der Probe 3 beschleunigt. Eine schnellere Auswertung ist somit möglich.
  • Auch die über die Druckluftdüsen 31 eingeblasene Druckluft wird über den Abluftkanal 29 aus der Reaktionskammer 1 entfernt. Der Abluftkanal 29 kann z. B. mit einer Abluftreinigung verbunden sein, um Rückstände aus der Abluft zu entfernen, bevor diese an die Umgebung abgegeben wird.
  • Um für das Ablösen der Reinzinnschicht 7 immer ausreichend Säure im ersten Vorratsbehälter 9 bzw. zum anschließenden Spülen ausreichend vollentsalztes Wasser im zweiten Vorratsbehälter 17 vorrätig zu halten, sind der erste Vorratsbehälter 9 und der zweite Vorratsbehälter 17 jeweils mit einem Flüssigkeitsstandsanzeiger 33 ausgestattet. Sobald das Flüssigkeitsniveau im ersten Vorratsbehälter 9 bzw. zweiten Vorratsbehälter 17 einen unteren Grenzwert unterschreitet, ist es erforderlich, Flüssigkeit nachzufahren, um ein störungsfreies Durchführen des Verfahrens zu ermöglichen.
  • Auch der Abfallbehälter 13 ist vorzugsweise mit einem Flüssigkeitsstandsanzeiger 33 ausgestattet. Dieser zeigt den Flüssigkeitsstand im Abfallbehälter 13 an, so dass dieser rechtzeitig geleert oder ausgetauscht werden kann.
  • An Stelle Säure in den ersten Vorratsbehälter 9 nachzufüllen oder vollentsalztes Wasser in den zweiten Vorratsbehälter 17 nachzufüllen ist es auch möglich, den ersten Vorratsbehälter 9 bzw. zweiten Vorratsbehälter 17 auszutauschen. Hierzu können der erste Vorratsbehälter 9 und der zweite Vorratsbehälter 17 z. B. mit Click-Fix-Verschlüssen mit der Reaktionskammer 1 verbunden sein. Auf diese Weise ist ein einfaches und tropfdichtes Wechseln der Vorratsbehälter 9, 17 möglich. Auch nicht speziell geschultes Personal kann so die Vorratsbehälter 9, 17 austauschen.
  • Auch der Abfallbehälter 13 kann entweder geleert werden oder bevorzugt ausgetauscht werden. Wenn der Abfallbehälter 13 ausgetauscht werden soll, so ist dieser ebenso wie die Vorratsbehälter 9, 17 vorzugsweise mit einem tropfdichten Click-Fix-Verschluss mit der Reaktionskammer 1 verbunden. Auch in diesem Fall wird ein tropfdichtes Austauschen auf einfache Weise ermöglicht, so dass kein speziell geschultes Personal eingesetzt werden muss, um den Abfallbehälter 13 auszutauschen. Auf diese Weise ist es z. B. möglich, die Vorrichtung z. B. auch beim Wareneingang in der Qualitätskontrolle einzusetzen, wo im Allgemeinen kein chemisches Fachpersonal arbeitet.
  • In der hier dargestellten Ausführungsform wird die Probe 3 nach dem Ablösen der Reinzinnschicht 7 einer Detektionskammer 35 zugeführt. Die Detektionskammer 35 umfasst ein Mikroskop 37, das mit einer Digitalkamera 39 verbunden ist. Auf diese Weise können digitalisierte Aufnahmen der Oberfläche der Probe 3 aufgenommen werden. Das Mikroskop 37 kann jedes beliebige, dem Fachmann bekannte Mikroskop sein. So ist z. B. ein Objektiv mit einer sehr guten Auflösung verwendbar oder bevorzugt ein Rasterelektronenmikroskop. Das mit der Digitalkamera 39 aufgenommene Bild der Oberfläche der Probe 3 wird einer Auswerteeinheit 41 zugeführt. Die Auswerteeinheit 41 ist z. B. ein Computer mit einer Bildbearbeitungssoftware. Auch jede andere, dem Fachmann bekannte Auswerteeinheit, mit der digitalisierte Aufnahmen ausgewertet werden können, ist jedoch verwendbar.
  • Neben der hier dargestellten Ausführungsform mit Reaktionskammer 1 und von der Reaktionskammer getrennter Detektionskammer 35 ist es alternativ auch möglich, nur eine Kammer vorzusehen, wobei sowohl die Reaktion zur Ablösung der Reinzinnschicht als auch das Aufnehmen der Oberfläche in der gleichen Kammer erfolgt.
  • Beim Verzinnen der kupferhaltigen Basisschicht bilden sich intermetallische Verbindungen an der Grenzfläche zwischen Basisschicht 5 und Reinzinnschicht 7 aus. Diese intermetallischen Verbindungen werden durch das Ablösen der Reinzinnschicht 7 nicht entfernt. Intermetallische Verbindungen, die entstehen, sind z. B. Cu3Sn oder Cu6Sn5.
  • Eine solche aufgenommene intermetallische Phase ist beispielhaft in 2 dargestellt. Hierbei handelt es sich um die intermetallische Phase von Glanz-Sn100 auf einer CuSn0,15-Basisschicht. Das so aufgenommene Bild wird mit der Auswerteeinheit 41 durch eine Graustufenanalyse ausgewertet. Mit der Graustufenanalyse wird die Flächenbelegung der intermetallischen Verbindungen auf der Grenzfläche ermittelt. Die intermetallische Phase unterscheidet sich von der Oberfläche der Basisschicht 5 durch ihre Graufärbung. So ist z. B. bei der in 2 dargestellten Aufnahme der Grenzfläche die intermetallische Phase 43 hellgrau und das Material der Basisschicht 5 dunkelgrau dargestellt. Aus den unterschiedlichen Grauschattierungen lässt sich die intermetallische Phase bezogen auf die Fläche der Basisschicht 5 ermitteln.
  • Es hat sich gezeigt, dass die Neigung zur Bildung von Whiskern abhängt von der Flächenbelegung der Probe 3 mit der intermetallischen Phase. Die für unterschiedliche Materialkombinationen der Basisschicht 5 und der Reinzinnschicht 7 jeweils kritische Flächenbelegung der intermetallischen Phase lässt sich durch Versuche ermitteln und in der Auswerteeinheit 41 hinterlegen. Wenn die Aufnahme der Oberfläche der Probe 3 eine kritische Flächenbelegung ergibt, so hat die Probe eine hohe Neigung zur Whiskerbildung. Entsprechend führt eine unkritische Flächenbelegung mit der intermetallischen Phase dazu, dass die Reinzinnschicht 7 nur eine geringe Neigung zur Whiskerbildung aufweist.
  • In 3 ist beispielhaft die Bildung von Whiskern über die Flächenbelegung der intermetallischen Phase für eine Basisschicht aus CuSnx, wobei x ein Wert zwischen 0,15 und 6 ist, und eine Matt-Zinnschicht dargestellt. Auf der x-Achse 45 ist die Flächenbelegung der intermetallischen Phase in % wiedergegeben. Die y-Achse 47 gibt die Länge des maximalen Whiskers nach einem Jahr Auslagerung bei einer Temperatur von 20°C und 50% relativer Feuchte in μm wieder. Es zeigt sich, dass bei einer Flächenbelegung der intermetallischen Phase bis ca. 23% eine verstärkte Neigung zur Whiskerbildung existiert. Bei einer Flächenbelegung oberhalb der 23% nimmt die Whiskerbildung deutlich ab. Wenn sich somit bei einer Auswertung der Aufnahme der Oberfläche der Probe 3 eine Flächenbelegung mit der intermetallischen Phase von mehr als 23% ergibt, so zeigt sich, dass die Qualität der Reinzinnschicht 7 in Ordnung ist. Eine Flächenbelegung der intermetallischen Phase von weniger als 23% zeigt eine erhöhte Neigung zur Whiskerbildung. Das so beschichtete Bauteil ist nicht in Ordnung.
  • Durch das erfindungsgemäße Verfahren lasst sich auf einfache Weise eine schnelle Prüfung von Chargen reinverzinnter Bauteile durchführen. Hierzu ist es lediglich notwendig, stichprobenartig Bauteile aus einer Charge durch das Verfahren z. B. bei der Wareneingangskontrolle zu prüfen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - US 5393573 [0004]
    • - DE 202005010364 [0005]

Claims (9)

  1. Verfahren zur Bestimmung der Neigung zur Bildung von Whiskern in einer Reinzinnschicht (7), die auf eine kupferhaltige Basisschicht (5) aufgebracht ist, folgende Schritte umfassend: (a) Ablösen der Reinzinnschicht (7) von der Basisschicht (5), (b) Bestimmung der Flächenbelegung durch intermetallische Verbindungen an der Oberfläche der Basisschicht (5), (c) Beurteilen der Neigung zur Bildung von Whiskern aus der in Schritt (b) ermittelten Flächenbelegung der intermetallischen Verbindungen an der Oberfläche der Basisschicht (5).
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinzinnschicht (7) chemisch durch Zugabe einer Säure von der Basisschicht (5) abgelöst wird.
  3. Verfahren gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Säure Salzsäure, Salpetersäure oder Schwefelsäure ist.
  4. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Basisschicht (5) nach dem Ablösen der Reinzinnschicht (7) gespült und getrocknet wird.
  5. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Bestimmung der Flächenbelegung anhand eines vergrößerten Bildes der Basisschicht (5) erfolgt.
  6. Verfahren gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das vergrößerte Bild der Basisschicht (5) mit einem Rasterelektronenmikroskop aufgenommen wird.
  7. Verfahren gemäß Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Flächenbelegung der intermetallischen Verbindung durch ein elektronisches Bildverarbeitungsverfahren ermittelt wird.
  8. Verfahren gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Flächenbelegung der intermetallischen Verbindungen mit dem elektronischen Bildverarbeitungsverfahren durch eine Graustufenanalyse ermittelt wird.
  9. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, umfassend eine Reaktionskammer (1) zur Aufnahme einer Probe (3), mindestens einen Vorratsbehälter (9) zur Aufnahme einer Säure, der mit der Reaktionskammer (1) verbunden ist, einen Abfallbehälter (15) für Spülabfälle sowie eine Vorrichtung (37, 39) zur Aufnahme von vergrößerten, digitalen Abbildungen der Oberfläche und eine Auswerteeinheit (41), mit der die Flächenbelegung durch intermetallische Verbindungen an der Oberfläche der Probe (3) durch ein Bildverarbeitungsverfahren ermittelbar ist.
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