DE102007063602B4 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien unter Verwendung einer Maske - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien unter Verwendung einer Maske Download PDF

Info

Publication number
DE102007063602B4
DE102007063602B4 DE102007063602A DE102007063602A DE102007063602B4 DE 102007063602 B4 DE102007063602 B4 DE 102007063602B4 DE 102007063602 A DE102007063602 A DE 102007063602A DE 102007063602 A DE102007063602 A DE 102007063602A DE 102007063602 B4 DE102007063602 B4 DE 102007063602B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
exposure
mask
film
carrier film
ceramic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE102007063602A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102007063602A1 (de
Inventor
Rainer Ronniger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE200710019438 priority Critical patent/DE102007019438B3/de
Publication of DE102007063602A1 publication Critical patent/DE102007063602A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102007063602B4 publication Critical patent/DE102007063602B4/de
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28BSHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B1/00Producing shaped prefabricated articles from the material
    • B28B1/30Producing shaped prefabricated articles from the material by applying the material on to a core or other moulding surface to form a layer thereon
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28BSHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B11/00Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles
    • B28B11/24Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for curing, setting or hardening
    • B28B11/243Setting, e.g. drying, dehydrating or firing ceramic articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28BSHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B5/00Producing shaped articles from the material in moulds or on moulding surfaces, carried or formed by, in or on conveyors irrespective of the manner of shaping
    • B28B5/02Producing shaped articles from the material in moulds or on moulding surfaces, carried or formed by, in or on conveyors irrespective of the manner of shaping on conveyors of the endless-belt or chain type
    • B28B5/026Producing shaped articles from the material in moulds or on moulding surfaces, carried or formed by, in or on conveyors irrespective of the manner of shaping on conveyors of the endless-belt or chain type the shaped articles being of indefinite length
    • B28B5/027Producing shaped articles from the material in moulds or on moulding surfaces, carried or formed by, in or on conveyors irrespective of the manner of shaping on conveyors of the endless-belt or chain type the shaped articles being of indefinite length the moulding surfaces being of the indefinite length type, e.g. belts, and being continuously fed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/602Making the green bodies or pre-forms by moulding
    • C04B2235/6025Tape casting, e.g. with a doctor blade
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

Verfahren zur Herstellung von keramischen Folien,
– bei dem ein flüssiger Schlicker (5) aus einem Reservoir (6) flächig mit definierter, einstellbarer Stärke auf einen Untergrund aufgebracht wird, der eine kontinuierlich auf einer Unterplatte (15) ablaufende Trägerfolie (4) ist,
– bei dem der Schlicker danach einen Vernetzungsprozeß unter UV-Belichtung durchläuft, in welchem der Schlicker (5) zu einer trockenen Keramikfolie (Grünfolie 13) verarbeitet wird,
dadurch gekennzeichnet,
– dass die Belichtung nur auf Flächenteilen erfolgt, wobei nicht zu belichtende Flächenteile durch eine Maske (30) abgedeckt und anschließend ausgewaschen werden, und
– dass die Maske (30) entweder als umlaufender Endlosfilm (33) ausgebildet ist, und synchron mit der Trägerfolie (4) mitläuft, oder als starre Maske (30) ausgebildet ist, die getaktet hin- und herbewegt wird und in Bandlaufrichtung synchron mit der Trägerfolie (4) mitläuft.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung keramischer Folien.
  • Zur industriellen Herstellung großflächiger, dünner keramischer Bauteile findet das Foliengießverfahren Anwendung. Dies ist beschrieben z. B. im Kapitel 4.1.3 „Urformgebung”, Abschnitt „Foliengießen” des „Brevier Technische Keramik” des Verbandes der keramischen Industrie e. V. – Informationszentrum Technische Keramik-, Selb, 15. November 2003 und hier in 1 dargestellt.
  • Als Gießmasse dient ein keramischer Schlicker (Suspension) mit verschiedenen organischen Zusätzen.
  • Der kontinuierlich aus einem Reservoir durch einen von einem Abstreicher, (in der Fachsprache „Doctor-Blade” genannt) einstellbaren Gieß-Spalt auf ein endloses Band auslaufende flüssige Schlicker wird als Schicht auf ein Trägermedium aufgetragen und anschließend durch Trocknung verfestigt. So entsteht der sog. Grünkörper (bzw. die Grünfolie), eine selbsttragende flexible, weiterbearbeitbare Keramikfolie, die schlussendlich gebrannt werden kann.
  • Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist derjenige Teil des Herstellungsprozesses keramischer Folien, der das Schlicker-Gießen und Verfestigen der gegossenen Folie umfasst.
  • Die Einstellung des Gieß-Spaltes durch die Doctor-Blade, die in empirischen Versuchen ermittelt wird, ist dabei sehr schwierig und erfordert große Erfahrung, denn die Dicke des auslaufenden Schlickers hinter der Doctor-Blade hängt neben der Gießspalt-Höhe auch von anderen Parametern ab, wie z. B. Füllhöhe im Reservoir, Feststoffgehalt, Viskosität und Scherverhalten des Schlickers, Bandgeschwindigkeit usw.
  • Die Trocknung des aufgetragenen Schlickers erfolgt beim konventionellen Verfestigungsprozeß durch Verdampfen der Lösungsmittel unter Zufuhr von Luft, Wärme und/oder Infrarotstrahlung. Dies erfordert neben einem beträchtlichen Energieaufwand (z. T. über 100 kW) lange Trocknungszeiten im Bereich von mehreren Minuten bis hin zu einer halben Stunde. Wegen der kontinuierlichen Bandfertigung müssen die konventionellen Trocknungsanlagen daher eine große Länge aufweisen.
  • Da mit dem Trocknungsprozeß außerdem ein Schrumpfen der Folie verbunden ist, besteht die Gefahr von Rissbildung.
  • Darüber hinaus werden große Mengen organischer Lösungsmittel frei, die nicht nur explosiv sind, sondern auch aufwändig rückgewonnen oder umweltgerecht entsorgt werden müssen.
  • Es sind Laborversuche bekannt geworden, die insbesondere darauf zielten, die o. g. Nachteile des konventionellen Verfestigungsprozesses durch Trocknung zu überwinden:
    Z. B. ist aus: Griffith, L und Halloran, John W.: „Ultraviolet Curing of Highly Loaded Ceramic Suspensions for Stereolithography of Ceramics”, veröffentlicht im Tagungsband: „Solid Freeform Fabrication Proceedings”, The University of Texas at Austin, September 1994 S. 396–403 bekannt, Folien aus speziell entwickeltem, mit Photoinitiatoren dotiertem Keramik- Schlicker auf Polymerbasis (zumindest weitestgehend ohne Lösungsmittel) auf eine (feststehende) Glasscheibe aufzutragen und durch UV-Belichtung zu einer flexiblen, selbsttragenden Folie zu vernetzen.
  • An dieser Stelle ist anzumerken, dass beim eingangs beschriebenen traditionellen Herstellungsverfahren mit Schlickern auf Lösungsmittelbasis, beim Verfestigungsprozess üblicherweise von einem Trocknungsvorgang gesprochen wird, während es sich beim Verfestigungsprozess durch UV-Belichtung um einen Vernetzungsvorgang handelt. Beide Begriffe werden hier insoweit zwar getrennt, dem jeweiligen Verfahren zugeordnet, verwendet, soweit dies möglich ist, es ist jedoch klar, dass sie im allgemeinen Zusammenhang synonym zu verstehen sind, beispielsweise wird landläufig auch bei einer durch UV-Belichteten vernetzten flexiblen, selbsttragenden Keramikfolie von einer „trockenen” Folie gesprochen. Im Englischen wird für beide Begriffe einzig das Wort „cure” verwendet.
  • Für die UV-Belichtung im o. g. Stand der Technik werden Hochdruck-Quecksilber-Bogenlampen mit einem breitbandigen Spektrum von ca. 230 bis ca. 430 nm mit mehreren Peaks eingesetzt, vgl. 10. Die Folie wird bis zu ca. 10 s mit einer Strahlungsintensität von ca. 2,5 W/cm2 belichtet. Die Materialstärke der Folie ist wegen der erreichbaren Eindringtiefe der UV-Strahlung begrenzt und nimmt mit zunehmender Konzentration und Dichte des Festkörperanteils ab (auf ca. 330 μm im angestrebten Bereich höherer Feststoffgehalte).
  • Ein Muster konnte erzeugt werden, indem durch partielle Abdeckung mit einer Maske nur Teilbereiche der Folie belichtet wurden.
  • Die wissenschaftliche Fachveröffentlichung:
  • Smith, Deborah, J. et. al.: ”UV-Curable System for Ceramic Tape Casting”, veröffentlicht im Tagungsband des IEEE 7th International Symposiums: „Applications of Ferroelectrics”, Urbana-Champain, IL, USA, Juni 1990, S. 426–428, beschäftigt sich insbesondere mit dem Verhalten verschiedener Schlicker-Kompositionen. Diese werden mit Doctor-Blade-Technik auf eine feststehende Glasscheibe ausgebracht und anschließend UV-belichtet, wobei zur Erzielung von Mustern eine Maske für partielle Abdeckung verwendet wurde. Als UV-Quelle dient eine Quecksilber/Xenon Hochdrucklampe.
  • Eine Zusammenfassung des aus dem Stand der Technik Bekannten gibt das Buch: Mistler, Richard E., Twiname, Eric R.: „Tape Casting, Theory and Practice, Hrsg. American Ceramic Society, Westerville, Ohio, USA, 2000, S. 124–126. In dieser Quelle wird – ohne näher auf Einzelheiten einzugehen, pauschal ein kurzer Hinweis darauf gegeben, dass auch dem Verfestigungsvorgang durch UV-Belichtung ein üblicher, konventioneller Gießvorgang vorausgehen kann, was der Fachmann als Hinweis auf einen Fließband-Gießvorgang üblicher Art (unter Verwendung einer Doctor-Blade) interpretiert.
  • Von diesem Stand der Technik ausgehend, liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, den Gieß- und Verfestigungsprozeß auf die Besonderheiten und Möglichkeiten der UV-Belichtung hin anzupassen und zu optimieren.
  • Diese Aufgabe wird von einem Verfahren sowie von einer Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien mit den Merkmalen der selbständigen Ansprüche 1 und 8 gelöst.
  • Die Lösung der Aufgabe gemäß dem Verfahrensanspruch 1 sowie dem Vorrichtungsanspruch 8 macht sich die – isoliert für sich bereits aus o. g. Forschungsberichten bekannte – Erkenntnis zunutze, dass es durch Belichtung nur von Teilen der keramischen Folie möglich ist, nur diese Teile zu vernetzen und zu verfestigen. Die von der Maske abgedeckten und unvernetzt gebliebenen Flächenteile können anschließend ausgewaschen werden, so dass es möglich ist, Muster z. B. für Durchkontaktierungen usw. zu erzeugen.
  • Beim konventionellen Trocknungsvorgang ist es nicht möglich, nur Flächenteile der keramischen Folie zu trocknen.
  • Dadurch dass die Maske erfindungsgemäß entweder als synchron mitlaufender Endlosfilm ausgebildet ist, oder als starre, getaktet hin- und herbewegte Maske, deren Bewegung in Bandlaufrichtung synchron mit der Trägerfolie erfolgt, wird es möglich, Muster auch am Fließband herzustellen.
  • Die vorteilhafte Ausgestaltung gemäß dem Verfahrensanspruch 2 sowie dem Vorrichtungsanspruch 9 beruht auf der Erkenntnis, dass mit den im o. g. Stand der Technik zur Vernetzung ausschließlich verwendeten Quecksilber-UV-Hochdrucklampen zwar die eingangs erläuterten Nachteile des bisher industriell ausschließlich verwandten konventionellen Wärme-Trocknungsverfahrens vermieden werden können, damit aber andere Nachteile verbunden sind: Quecksilber-UV-Lampen emittieren elektromagnetische Strahlung, erzeugen Ozon, und enthalten giftiges Quecksilber. Darüber hinaus benötigen sie eine Aufwärmzeit, so dass Pulsbetrieb nicht möglich ist. Anschaffungskosten- und Wartungsaufwand aufgrund beschränkter Lebensdauer der Lichtquelle (200–2.000 h) und erforderlicher Reinigungsarbeiten z. B. der Reflektoren sind nicht unerheblich.
  • Aus der Internet-Homepage der US-amerikanischen Firma Phoseon (www.phoseon.com), insbesondere aus der Seite „www.phoseon.com/applications/rx_uv_light_system” vom 10.04.2007 ist es zwar für sich bekannt, Quecksilber-UV-Lampen durch UV-Quellen auf Halbleiterbasis zu ersetzen, um deren Nachteile zu vermeiden. Als Anwendungsbeispiele werden z. B. genannt: Vernetzen von Klarlacken (Schutzlacken), Tinten, Klebern. Auch Anwendungen in der Lithographie und im medizinischen Bereich zur Abtötung von Mikroorganismen werden angegeben.
  • Die Verwendung von Halbleiter-UV-Quellen zur Herstellung keramischer Folien ist jedoch nicht benannt.
  • Da bei UV-Strahlung nämlich grundsätzlich das Problem nur geringer Eindringtiefe in Suspensionen mit Keramik- oder/und Metallpartikeln im benötigten höheren Konzentrationsbereich besteht, wie bereits in den o. g. Forschungsberichten festgestellt wurde, ist die Anwendung von UV-Strahlung zur Herstellung von Keramikfolien bislang auf Labormaßstab bei Verwendung von Quecksilber-Hochdrucklampen beschränkt, so dass die Anwendung von Halbleiter-UV-Quellen noch gar nicht in Erwägung gezogen wurde.
  • Bei Verwendung von Halbleiter-UV-Quellen werden die o. g. Nachteile von Quecksilber-UV-Hochdrucklampen vermieden: UV-Quellen auf Halbleiterbasis sind hinsichtlich ihrer Anschaffungskosten preisgünstiger und haben eine wesentlich höhere, etwa 5 bis 10-fache Lebensdauer sowie Wartungsfreiheit (keine Reinigungsarbeiten erforderlich).
  • Bei bis zu 80% niedrigerer Wärmeentwicklung ist ihr Energieverbrauch um bis zu 75% geringer.
  • Aufgrund gleichmäßigerer Strahlungsintensität über die Lebensdauer sowie über die bestrahlte Fläche ist keine Nachjustierung (Prozeßparametereinstellung) erforderlich.
  • Aufgrund geringerer Wärmeeinwirkung auf die Keramikfolie während des Vernetzungsvorganges wird nochmals verbessertes Schrumpfungs-Rissverhalten erreicht.
  • Das abgestrahlte Lichtspektrum ist schmalbandig mit nur einem Peak, somit wird nur im für die Vernetzung maßgebenden Wellenlängenbereich abgestrahlt.
  • Da keine elektromagnetische Strahlung abgegeben wird, keine Ozonbildung erfolgt und kein Quecksilber für die UV-Quelle benötigt wird ist eine bessere Umweltverträglichkeit gegeben.
  • Durch sofortige Einsatzbereitschaft ohne Aufwärmzeit ist Pulsbetrieb möglich.
  • Bevorzugte Weiterbildungen der vorteilhaften Ausgestaltungen gemäß dem Verfahrensanspruch 2 sind in den Unteransprüchen 3 bis 5, gemäß dem Vorrichtungsanspruch 9 in den Unteransprüchen 10 und 11 angegeben.
  • Die Halbleiter-UV-Quelle besteht vorteilhaft aus einer Vielzahl linienförmig oder flächig angebrachten UV-LEDs.
  • Bevorzugt erfolgt die Belichtung mit einem schmalbandigen Peak innerhalb eines Wellenlängen-Bereich zwischen 200 und 450 nm.
  • Vorteilhaft ist gepulste Belichtung.
  • Besonders günstig ist es, wenn, wie in den Ansprüchen 6 und 12 gekennzeichnet, auch der die Keramik-Folie tragende Untergrund UV-durchlässig ausgebildet ist. So ist doppelseitige Belichtung der Folie möglich und es kann bei gleicher Eindringtiefe der UV-Strahlung der Vorteil eines größeren vernetzten Querschnitts erreicht werden.
  • Als Werkstoff für die Trägerfolie wird gemäß den Ansprüchen 7 und 13 vorteilhafterweise eine Kunststoff-Folie aus Polyethylen aller möglichen Typen (PE-HD, PE-LD, PE-LLD, PE-HMW, PE-UHMW, PE-X) oder aus Polyethylenterephthalat (PET) verwendet.
  • Weitere Vorteile sowie Einzelheiten der Erfindung werden aus nachfolgender Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand einer Zeichnung ersichtlich.
  • Es zeigen:
  • 1: Eine Prinzipskizze des industriellen Herstellungsverfahrens keramischer Folien nach dem Stand der Technik.
  • 2: Eine Prinzipskizze eines Herstellungsverfahrens und einer Vorrichtung unter Verwendung einer Dicken-Einstellvorrichtung des flüssigen Schlickers.
  • 3: Eine zweite Ausführungsform der Dicken-Einstellvorrichtung des Schlickers.
  • 4: Eine dritte Ausführungsform der Dicken-Einstellvorrichtung des Schlickers.
  • 5: Eine Prinzipskizze des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens und der erfindungsgemäßen Vorrichtung unter Verwendung einer erfindungsgemäßen starren Maske.
  • 6: Eine Prinzipskizze des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens und der erfindungsgemäßen Vorrichtung unter Verwendung eines erfindungsgemäßen Endlosfilms als Maske.
  • 7: Eine Prinzipskizze des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens und der erfindungsgemäßen Vorrichtung unter Verwendung eines Endlosfilms als Maske in Verbindung mit der zweiten Ausführungsform der Dicken- Einstellvorrichtung des Schlickers als beispielhafte Kombination
  • 8a, 8b: Zwei beispielhafte Möglichkeiten der Anordnung der UV-LEDs bei Verwendung einer Halbleiter-UV-Quelle zur Belichtung.
  • 9a, 9b: Eine Prinzipdarstellung des Vernetzungsvorganges bei UV-Belichtung.
  • 10: Abstrahlungs-Spektren von Quecksilber-Bogenlampe und Halbleiter UV-Quelle.
  • Bei dem in 1 anhand einer Prinzipskizze dargestellten industriellen Herstellungsverfahren keramischer Folien nach dem Stand der Technik läuft ein endloses Transportband 3 über eine Antriebsrolle 1 und eine Umlenkrolle 2 ab. Zur Oberseite des Transportbandes 3 wird eine Trägerfolie 4 zugeführt und auf das Transportband 3 aufgelegt. Transportband 3 und Trägerfolie 4 laufen unter einem nach unten offenen Reservoir 6 ab, das mit dem sog. Schlicker 5 gefüllt ist. Schlicker sind fließfähige keramische Suspensionen mit verschiedenen organischen Zusätzen: Feststoffe (Keramik), Binder, Plastifizierer, Dispergatoren. Für konventionelles Foliengießen nach dem Stand der Technik verwendete Schlicker enthalten darüber hinaus noch für den Gießvorgang benötigte organische Lösemittel (bis zu 50 Vol%), die nach dem Formgebungsprozeß des Gießens wieder durch Verdampfung entfernt werden müssen.
  • Mittels eines über eine Höheneinstellung 8 verstellbaren Abstreichers 7 (in der Fachsprache als „Doctor Blade” bezeichnet) wird die Größe eines Spaltes 9 eingestellt, durch den der auf das Band auslaufende Schlicker in definierter Stärke auf die Trägerfolie aufgetragen wird.
  • Nach diesem Auftrag durchläuft der Schlicker-Film in einer Trockenstrecke 10 einen Trocknungsprozeß. In die Trockenstrecke 10, die bis zu 30 m Länge aufweisen kann, wird üblicherweise im Gegenstrom über einen Zulufteintritt 11 Warmluft eingeblasen, mit deren Hilfe die Lösungsmittel aus dem Schlicker ausgetrieben werden. Die Lösungsmittel gesättigte Abluft wird über einen Abluftaustritt 12 abgesaugt.
  • Die in 1 gezeigte Trockenstrecke 10 kann bei den heute bekannten Anlagen nur aus einer, aber auch aus mehreren Zonen bestehen, in denen IR-Strahlung, Kontaktwärme und beheizbarer Luft einzeln oder in beliebiger Kombination zur Trocknung eingesetzt wird.
  • Die trockene, flexible und selbsttragende sog. Grünfolie 13 kann danach aufgewickelt oder gleich weiterverarbeitet werden.
  • Beim Herstellungsverfahren, das in 2 beispielhaft dargestellt ist, wird die Vorrichtung zur Einstellung der definierten Stärke des auf die Trägerfolie 4 auslaufenden flüssigen Schlickers 5 durch eine Abdeckung 14 gebildet, die planparallel zur Trägerfolie 4, und einer diese tragenden Unterplatte 15 verläuft.
  • Die Trägerfolie 4 ist eine an der mit dem Schlicker in Berührung kommenden Seite mit Silikon beschichtete, UV-durchlässige Kunststoff-Folie, die gleichzeitig das Förderband bildet. Als Werkstoff für die Kunststoff-Folie kommt in Frage: Polyethylen (in allen Typen: PE-HD, PE-LD, PE-LLD, PE-HMW, PE-UHMW, PE-X) oder Polyethylenterephthalat (PET).
  • Die Trägerfolie 4 wird von einer Abwickelrolle 16 abgewickelt und auf eine Aufwickelrolle 17 aufgewickelt.
  • Die das Reservoir in Prozeßrichtung begrenzende Wand 18 des Reservoirs 6 ist unten offen, so dass der Schlicker auslaufen kann. Die Abdeckung 14 ist gemäß der hier dargestellten Ausführungsform als einstückig mit der Wand 18 ausgebildete Platte 19 vorgesehen, wobei die beiden Schmalseiten der Wand dann gleitbeweglich abgedichtet an den beiden Seitenwänden des Reservoirs geführt werden. Es kann aber auch die Platte 19 abgedichtet gleitbeweglich an der Wand 18 geführt sein. Mittels einer fest mit der Platte 19 verbundenen Höheneinstelleinrichtung 8 ist die Abdeckung 14 in ihrem Abstand zur Trägerfolie 4 einstellbar.
  • Die Platte 19 ist entweder vollständig aus UV-durchlässigem Material, beispielsweise aus Glas oder Kunststoff, oder weist zumindest im Belichtungsbereich eine obere Zone 20 aus UV-durchlässigem Material auf. Über der Abdeckung 14 ist eine UV-Quelle 21 derart angeordnet, dass diese durch die obere Zone 20 hindurch die Keramikfolie belichten kann.
  • Um den vernetzten Querschnitt zu verdoppeln, ist eine doppelseitige Belichtung vorgesehen. Dazu ist auch die Unterplatte 15 zumindest in einer unteren Zone 22 UV-durchlässig ausgeführt. An der Unterseite ist, der oberen UV-Quelle 21 gegenüberliegend, eine weitere UV-Quelle 21 angebracht.
  • Durch doppelseitige Belichtung sind doppelt so dicke keramische Folien herstellbar, wie bei nur einseitiger Belichtung.
  • Durch Abstimmung der Bandlaufgeschwindigkeit mit der Erstreckung des belichteten Bereiches kann die erforderliche Belichtungszeit realisiert werden. Aufgrund der nur im Sekundenbereich liegenden, für die Vernetzung erforderlichen Belichtungszeit erfordert der gesamte Trocknungs- bzw. Vernetzungsprozeß nur eine kleine Transportband-Länge, wie aus 2 ersichtlich.
  • Den höhenmäßig genau fixierten Bereich unter der Abdeckung 14 verlässt eine feste, wegen der Verfestigung durch UV-Vernetzung überdies schrumpfungs- und rissfreie keramische Folie von absolut konstanter Stärke, die aufgrund der dargestellten, erfindungsgemäßen Einstellung der definierten Stärke unabhängig ist von Einflußparametern wie Eigenschaften des Schlickers selbst (Viskosität, Scherverhalten, Festkörperkonzentration) und sonstigen Rahmenbedingungen (z. B. Füllhöhe des Schlickers im Reservoir).
  • In 3 ist eine alternative Ausführungsform zur Einstellung der Stärke der keramischen Folie dargestellt. Die Abdeckung, deren einstellbarer Abstand zum Untergrund die Stärke der keramischen Folie definiert, besteht aus einer straff gespannten und synchron mit der Trägerfolie 4 mitlaufenden Abdeckfolie 23. Als Abdeckfolie 23 ist ebenfalls eine einseitig mit Silikon beschichtete und UV-durchlässige Kunststoff-Folie aus denselben möglichen Werkstoffen, wie bei der Trägerfolie 4 beschrieben, vorgesehen. Die Abdeckfolie 23 wird von einer Abdeckfolien-Abwickelrolle 24 abgewickelt und auf eine Abdeckfolien-Aufwickelrolle 25 aufgewickelt. Dazwischen läuft die Abdeckfolie über eine vordere Einstellungsrolle 26 und eine hintere Einstellungsrolle 27 ab, die in ihrer Höhe jeweils mittels einer Höheneinstellung 8 einstellbar sind. Über die synchrone Einstellung dieser beiden Rollen kann die Stärke der keramischen Folie vorgegeben werden. Es ist dabei unerheblich, ob zwischen der hier schräg stehend ausgebildeten Wand 18 des Reservoirs 6 und der Einlaufstrecke der Folie 23 eine Abdichtung vorgesehen ist oder nicht, weshalb dieses Detail in der eine Prinzipskizze darstellenden Figur nicht näher ausgeführt ist. Ist keine Abdichtung vorgesehen, kann sich hier allenfalls ein kleiner Wulst des flüssigen Schlickers ausbilden.
  • Die Belichtung erfolgt genauso wie beim vorherigen Ausführungsbeispiel bereits erläutert.
  • 4 zeigt eine weitere alternative Einstellungsmöglichkeit der Stärke der keramischen Folie. Genau wie beim vorangehend erläuterten Ausführungsbeispiel ist eine Abdeckfolie 23 vorgesehen. Diese wird jedoch unter einer UV-durchlässigen, Dickeneinstellungsplatte 28 (aus Glas oder Kunststoff) hindurchgeführt, die mit der Höheneinstellung 8 fest verbunden ist. Dadurch braucht die Abdeckfolie 23 nicht straff gespannt zu sein. Außerdem ist bei dieser Art der Dickeneinstellung der Keramikfolie lediglich eine Vorrichtung zur Höheneinstellung 8 erforderlich gegenüber zweien beim vorherigen Ausführungsbeispiel.
  • Die bei UV-Belichtung gegebene Möglichkeit, nur bestimmte Flächenteile der keramischen Folie zu belichten und zu verfestigen wird für den Fließbandprozess im Folgenden anhand der 5 bis 7 dargestellt.
  • Hierzu ist anzumerken, dass diese Möglichkeit unabhängig von der Art der Einstellung der Stärke der keramischen Folie ist. Diese kann, wie in 5 dargestellt, nach konventioneller Methode mittels Abstreicher 7 (Doctor-Blade) erfolgen, oder aber auch nach einer anderen beliebigen Methode. Beispielhaft ist in 7, worauf später noch eingegangen wird, die Stärkeneinstellung der Keramikfolie mittels straff gespannter Abdeckfolie dargestellt. Die Stärkeneinstellung kann aber auch mittels der Methoden erfolgen, wie sie in den 2 oder 4 offenbart sind.
  • Gemäß 5 ist zur Abdeckung nicht zu belichtender Flächenteile eine starre Maske 30 vorgesehen. Dies kann eine Schablone oder eine photografische Maske sein. Dabei wird das Transportband getaktet betrieben. Der Ablauf ist folgender: Die Maske 30 steht in einer Anfangsposition a. Transportband und Maske 30 werden synchron angetrieben, unter der UV-Quelle erfolgt die Belichtung durch die Maske 30 hindurch, bis die gesamte Maske 30 und die von ihr abgedeckte Zone der keramischen Folie den mit Pfeilen angedeuteten Belichtungsbereich verlassen hat und die Maske 30 in der Endposition b angelangt ist. Danach stoppt das Transportband und die Maske 30 wird schnell in ihre Anfangsposition a zurückverfahren. Danach beginnt der beschriebene Vorgang von neuem.
  • In der Auswaschstation 31 schließlich werden die nicht vernetzten Teile der keramischen Folie ausgewaschen.
  • Alternativ kann das Transportband kontinuierlich betrieben werden, während nur die Maske, wie vorstehend beschrieben, hin und her bewegt wird.
  • Wird zur Belichtung eine UV-Halbleiterquelle verwendet, so kann diese während des Zurückfahrens der Maske abgeschaltet werden. Der in diesem Zeitraum weiterbewegte, aber nicht belichtete Schlicker vernetzt deshalb nicht und kann bei Bedarf aufgefangen und wieder verwendet werden.
  • Der Einfachheit halber ist das Belichtungsverfahren in 5 nur als einseitiges Belichtungsverfahren dargestellt. Es ist jedoch klar, dass auch die vorhergehend beschriebene doppelseitige Belichtung möglich ist, wenn neben der zweiten, unten angeordneten UV-Quelle, auch eine zweite, unten angeordnete starre Maske 30 vorgesehen wird, die synchron zur ersten bewegt wird.
  • Alternativ kann die nur teilflächige Belichtung der keramischen Folie auch mittels eines umlaufenden Endlosfilmes 33 realisiert werden, wie in 6 gezeigt. Der entsprechend belichtete Endlosfilm 33 läuft über Umlaufrollen 32 kontinuierlich und mit synchroner Geschwindigkeit wie das Transportband ab.
  • Auch hier ist eine doppelseitige Belichtung möglich, wenn auch unterhalb des Transportbandes ein gleicher Endlosfilm synchron abläuft.
  • In 7 findet sich eine Kombination des Belichtungsverfahrens von Teilflächen gemäß 6 mit dem Verfahren zum Einstellen der Stärke der keramischen Folie gemäß 3. Dazu ist anzumerken, dass die straff gespannte Abdeckfolie gleichzeitig die Funktion wahrnimmt, den Endlosfilm vor Verschmutzungen durch den Schlicker zu schützen. Da bei theoretisch denkbarer Verwendung des Endlosfilmes zur Einstellung der Stärke der Keramikfolie nämlich zu befürchten wäre, dass möglicherweise Schlicker-Partikel daran haften bleiben und die Masken-Funktion zerstören.
  • Auch hier ist eine doppelseitige Belichtung möglich.
  • Die Belichtung der keramischen Folie erfolgt durch eine Halbleiter-UV-Quelle 35. Diese basiert auf einer Mehr- oder Vielzahl linienförmig (8a) oder flächig (8b) angeordneter einzelner leistungsstarker UV-LEDs 34 (Leuchtdioden), von denen jede einzelne mit einer Optik versehen ist, die den Strahl bündelt und richtet.
  • Die Halbleiter-UV-Quelle 35 kann als über die gesamte Transportbandbreite gehender Array ausgebildet sein. Alternativ können aber auch andere geometrische Formen, die mit einer beliebigen Anzahl von UV-LEDs 34 bestückt sind, Anwendung finden, z. B. quadratische, rundflächige, dreieckige usw.
  • Schlicker für UV-Belichtung sind von anderer Zusammensetzung als die beim thermischen Trocknungsverfahren verwendeten: Die Lösungsmittel entfallen zumindest weitestgehend, neu hinzu kommen Photoinitiatoren, die Binder sind andere. Die genaue Zusammensetzung der Schlicker ist jedoch nicht Bestandteil der Erfindung.
  • In den 9a und 9b ist der Vernetzungsprozess skizzenhaft dargestellt: Der flüssige Schlicker enthält neben den Keramikpartikeln und anderen Hilfsstoffen (wie Dispergatoren, Entschäumer usw.) Oligomere (O), Monomere (M), und Photoinitiatoren (P), 9a. Unter UV-Bestrahlung werden die Photoinitiatoren in freie Radikale gespalten. Diese leiten eine Polymerisation ein. Im verfestigten Zustand besteht die Keramikfolie aus vernetzten Polymerketten, 9b.
  • In 10 sind Emissionsspektren einer Quecksilber Bogenlampe und eines Beispiels einer Halbleiter-UV-Quelle 35 (geschwärzt) dargestellt. Dasjenige einer Quecksilber-Bogenlampe weist eine große Bandbreite mit mehreren Peaks auf. Demgegenüber weist das Emissionsspektrum einer erfindungsgemäß verwendeten Halbleiter-UV-Quelle 35 nur einen Peak auf, die Halbleiter-UV-Quelle 35 strahlt nur in einem schmalbandigen Wellenbereich ab, hier im Beispiel zwischen ca. 390 nm 410 nm. Dadurch wird der Schlicker 5 nur mit der zum Vernetzen benötigten Wellenlänge beaufschlagt. Andere, unter Umständen störende UV-Wellenlängen treten nicht auf.
  • Bei Halbleiter-UV-Quellen 35 ist überdies die Wellenlänge, in der abgestrahlt wird, selektierbar. Lieferbar sind UV-LEDs 34, die mit ca. 20 nm Bandbreite innerhalb eines wählbaren Wellenlängen-Bereiches etwa von 200 nm bis 450 nm abstrahlen. Da auch der aktive Bereich von Photoinitiatoren durch geänderte chemische Zusammensetzung beeinflussbar ist, können zum Vernetzen benötigte Wellenlänge und die Wellenlänge der Halbleiter-UV-Quelle 35 gezielt aufeinander abgestimmt werden.
  • Da UV-LEDs im Gegensatz zu UV-Lampen keine Aufwärmzeit benötigen und extrem schnell reagieren, kann der Vernetzungsvorgang im Pulsbetrieb erfolgen.
  • Je nach Material (keramischer Schlicker 5, aber auch Trägerfolie 4- und/oder Abdeckfolie 23) und gewünschter Eigenschaft kann dadurch das Leistungsprofil materialspezifisch angepasst werden.
  • Hohe Leistung ist oftmals erwünscht, führt jedoch in vielen Fällen zu Materialschädigungen. Durch den Pulsbetrieb kann eine sehr hohe Leistungsdichte angewendet werden. In der anschließenden Phase ohne UV-Strahlung kann das Material wieder 'entspannen' und abkühlen um in der nächsten Phase wieder mit sehr hoher Leistung beaufschlagt zu werden, ohne dabei eine Schädigung zu erfahren.
  • Der Pulsbetrieb ermöglicht es, das Vernetzungsverhalten bei Bedarf materialabhängig gezielt zu steuern und mit höheren Intensitäten als im kontinuierlichen Betrieb zu arbeiten, ohne dabei das Material (keramischer Schlicker 5, Trägerfolie 4, Abdeckfolie 23) zu schädigen.
  • 1
    Antriebsrolle
    2
    Umlenkrolle
    3
    Förderband
    4
    Trägerfolie
    5
    Schlicker
    6
    Reservoir
    7
    Abstreicher
    8
    Höheneinstellung
    9
    Spalt
    10
    Trockenstrecke
    11
    Zulufteintritt
    12
    Abluftaustritt
    13
    Grünfolie
    14
    Abdeckung
    15
    Unterplatte
    16
    Abwickelrolle
    17
    Aufwickelrolle
    18
    Wand
    19
    Platte
    20
    obere Zone
    21
    UV-Quelle
    22
    untere Zone
    23
    Abdeckfolie
    24
    Abdeckfolien-Abwickelrolle
    25
    Abdeckfolien-Aufwickelrolle
    26
    Vordere Einstellungsrolle
    27
    Hintere Einstellungsrolle
    28
    Dickeneinstellungsplatte
    29
    Führungsrolle
    30
    starre Maske
    a
    Anfangsposition
    b
    Endposition
    31
    Auswaschstation
    32
    Umlaufrolle
    33
    Endlosfilm
    34
    UV-LED
    35
    Halbleiter-UV-Quelle

Claims (13)

  1. Verfahren zur Herstellung von keramischen Folien, – bei dem ein flüssiger Schlicker (5) aus einem Reservoir (6) flächig mit definierter, einstellbarer Stärke auf einen Untergrund aufgebracht wird, der eine kontinuierlich auf einer Unterplatte (15) ablaufende Trägerfolie (4) ist, – bei dem der Schlicker danach einen Vernetzungsprozeß unter UV-Belichtung durchläuft, in welchem der Schlicker (5) zu einer trockenen Keramikfolie (Grünfolie 13) verarbeitet wird, dadurch gekennzeichnet, – dass die Belichtung nur auf Flächenteilen erfolgt, wobei nicht zu belichtende Flächenteile durch eine Maske (30) abgedeckt und anschließend ausgewaschen werden, und – dass die Maske (30) entweder als umlaufender Endlosfilm (33) ausgebildet ist, und synchron mit der Trägerfolie (4) mitläuft, oder als starre Maske (30) ausgebildet ist, die getaktet hin- und herbewegt wird und in Bandlaufrichtung synchron mit der Trägerfolie (4) mitläuft.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die UV-Belichtung durch eine Halbleiter-UV-Quelle (35) erfolgt.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiter-UV-Quelle (35) aus einer Vielzahl linienförmig oder flächig angebrachten UV-LEDs (34) besteht.
  4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die UV-Belichtung mit einem schmalbandigen Peak innerhalb eines Wellenlängen-Bereiches zwischen 200 nm und 450 nm erfolgt.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Belichtung gepulst erfolgt.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Untergrund UV-durchlässig ist und dass die Belichtung doppelseitig erfolgt.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerfolie (4) eine Kunststoff-Folie aus Polyethylen aller möglichen Typen (PE-HD, PE-LD, PE-LLD, PE-HMW, PE-UHMW, PE-X) oder aus Polyethylenterephthalat (PET) ist.
  8. Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien, – mittels derer ein flüssiger Schlicker (5) aus einem Reservoir (6) flächig mit definierter, einstellbarer Stärke auf einen Untergrund aufgebracht wird, der eine kontinuierlich auf einer Unterplatte (15) ablaufende Trägerfolie (4) ist, – mittels derer der Schlicker danach einen Vernetzungsprozeß unter UV-Belichtung unterzogen wird, in welchem der Schlicker (5) zu einer trockenen Keramikfolie (Grünfolie 13) verarbeitet wird, dadurch gekennzeichnet, – dass eine Maske (30) vorgesehen ist, welche nicht zu belichtende Flächenteile abdeckt, so dass die Belichtung nur auf Flächenteile erfolgt und dass die nicht belichteten Flächenteile anschließend ausgewaschen werden, und – dass die Maske (30) entweder als umlaufender Endlosfilm (33) ausgebildet ist, der synchron mit der Trägerfolie (4) mitläuft, oder als starre, getaktet hin- und herbewegte Maske (30), die in Bandlaufrichtung synchron mit der Trägerfolie (4) mitläuft.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine Halbleiter-UV-Quelle (35) vorgesehen ist, mittels derer die UV-Belichtung erfolgt.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiter-UV-Quelle (35) aus einer Vielzahl linienförmig oder flächig angebrachten UV-LEDs (34) besteht.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die UV-Belichtung mit einem schmalbandigen Peak innerhalb eines Wellenlängen-Bereiches zwischen 200 nm und 450 nm erfolgt.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Untergrund UV-durchlässig ist und dass die Belichtung doppelseitig erfolgt.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerfolie 4 eine Kunststoff-Folie aus Polyethylen aller möglichen Typen (PE-HD, PE-LD, PE-LLD, PE-HMW, PE-UHMW, PE-X) oder aus Polyethylenterephthalat (PET) ist.
DE102007063602A 2007-04-25 2007-04-25 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien unter Verwendung einer Maske Expired - Fee Related DE102007063602B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710019438 DE102007019438B3 (de) 2007-04-25 2007-04-25 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710019438 DE102007019438B3 (de) 2007-04-25 2007-04-25 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102007063602A1 DE102007063602A1 (de) 2008-11-06
DE102007063602B4 true DE102007063602B4 (de) 2009-11-12

Family

ID=39811471

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102007063603A Expired - Fee Related DE102007063603B4 (de) 2007-04-25 2007-04-25 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien mit UV-LED
DE102007063602A Expired - Fee Related DE102007063602B4 (de) 2007-04-25 2007-04-25 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien unter Verwendung einer Maske
DE200710019438 Expired - Fee Related DE102007019438B3 (de) 2007-04-25 2007-04-25 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102007063603A Expired - Fee Related DE102007063603B4 (de) 2007-04-25 2007-04-25 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien mit UV-LED

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200710019438 Expired - Fee Related DE102007019438B3 (de) 2007-04-25 2007-04-25 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien

Country Status (2)

Country Link
DE (3) DE102007063603B4 (de)
WO (1) WO2008131831A2 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011120546B4 (de) 2011-12-02 2013-11-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur Herstellung von Grünfolien aus keramischem und/oder metallischem Werkstoff
CN103159461A (zh) * 2013-03-15 2013-06-19 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 一种氧化钙基陶瓷型芯的制备方法
DE102013215739B4 (de) * 2013-08-09 2021-10-21 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Mikrostrukturierung von Oberflächen
CN109352799B (zh) * 2018-10-31 2021-04-16 晋晓瞳 连续型陶瓷注浆成型工艺
CN115385719B (zh) * 2022-07-11 2023-04-14 南京工业大学 一种紫外光固化制备陶瓷膜的方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD225941A1 (de) * 1984-07-02 1985-08-14 Hermsdorf Keramik Veb Verfahren und vorrichtung zur herstellung keramischer folien
DD223980B1 (de) * 1984-05-10 1988-05-25 Hermsdorf Keramik Veb Vorrichtung zur urformung flacher keramischer baender
DD265285A3 (de) * 1986-04-11 1989-03-01 Hermsdorf Keramik Veb Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen urformung ebener schichten
DD289646A7 (de) * 1987-08-12 1991-05-08 Veb Elektronik Gera,De Vorrichtung zum dickenkonstanten giessen von flachen keramischen baendern
DE10043202A1 (de) * 2000-09-01 2002-03-28 Epcos Ag Keramikschlicker, Verfahren zur Herstellung einer keramischen Grünfolie und Verwendung des Verfahrens
DE69633728T2 (de) * 1996-06-17 2005-12-22 Toray Industries, Inc. Lichtempfendliche keramische grünfolie, keramische packung , verfahren zu deren herstellung sowie verwendung

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2966719A (en) * 1954-06-15 1961-01-03 American Lava Corp Manufacture of ceramics
US4587068A (en) * 1983-06-24 1986-05-06 Materials Research Corporation Method of making ceramic tapes
JPS63100051A (ja) * 1986-06-10 1988-05-02 ティーディーケイ株式会社 磁器シ−トの製造方法
US6375451B1 (en) * 2000-08-23 2002-04-23 The Boeing Company Tape casting machine with profiled doctor blade
JP2005088418A (ja) * 2003-09-18 2005-04-07 Tdk Corp 塗膜形成装置および塗膜形成方法
JP5162814B2 (ja) * 2004-07-30 2013-03-13 東レ株式会社 感光性セラミックスシートの加工方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD223980B1 (de) * 1984-05-10 1988-05-25 Hermsdorf Keramik Veb Vorrichtung zur urformung flacher keramischer baender
DD225941A1 (de) * 1984-07-02 1985-08-14 Hermsdorf Keramik Veb Verfahren und vorrichtung zur herstellung keramischer folien
DD265285A3 (de) * 1986-04-11 1989-03-01 Hermsdorf Keramik Veb Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen urformung ebener schichten
DD289646A7 (de) * 1987-08-12 1991-05-08 Veb Elektronik Gera,De Vorrichtung zum dickenkonstanten giessen von flachen keramischen baendern
DE69633728T2 (de) * 1996-06-17 2005-12-22 Toray Industries, Inc. Lichtempfendliche keramische grünfolie, keramische packung , verfahren zu deren herstellung sowie verwendung
DE10043202A1 (de) * 2000-09-01 2002-03-28 Epcos Ag Keramikschlicker, Verfahren zur Herstellung einer keramischen Grünfolie und Verwendung des Verfahrens

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Griffith,L. u.a.: Ultraviolet Curing of Highly Loaded Ceramic Suspensions for Stereolothography of Ceramics. In: Solid Freeform Fabrication Proceedings, University of Texas at Austin, September 1994, S.396-403 *
Mister,R.E. u.a.: Tape Casting, Theory and Practice, Westerville, Ohio, USA: American Ceramic Society, 2000, S.124-126, ISBN: 1-57498-029-7 [online], [recherchiert 10.04.2007], *
Smith,Deborah J. et al: UV-Curable System for Ceramic Tape Casting. In: Applications of Ferroelectrics, Urbana-Champain, IL, USA, Juni 1990, S.426-428 *
Verband der keramischen Industrie e.V. - Informationszentrum Techn. Keramik: Brevier Technische Keramik, 4.Auflage, [online], [recherchiert 01.02.08] im Internet: *
Verband der keramischen Industrie e.V. - Informationszentrum Techn. Keramik: Brevier Technische Keramik, 4.Auflage, [online], [recherchiert 01.02.08] im Internet: <URL:http//www.keramverband.de/brevier_dt/bestellung.htm> Griffith,L. u.a.: Ultraviolet Curing of Highly Loaded Ceramic Suspensions for Stereolothography of Ceramics. In: Solid Freeform Fabrication Proceedings, University of Texas at Austin, September 1994, S.396-403 Smith,Deborah J. et al: UV-Curable System for Ceramic Tape Casting. In: Applications of Ferroelectrics, Urbana-Champain, IL, USA, Juni 1990, S.426-428 Mister,R.E. u.a.: Tape Casting, Theory and Practice, Westerville, Ohio, USA: American Ceramic Society, 2000, S.124-126, ISBN: 1-57498-029-7 [online], [recherchiert 10.04.2007], <URL:http//www.phoseon.com/applications/rx-uv-light-systems.htm>

Also Published As

Publication number Publication date
DE102007063602A1 (de) 2008-11-06
WO2008131831A2 (de) 2008-11-06
DE102007019438B3 (de) 2008-10-23
DE102007063603A1 (de) 2008-11-13
WO2008131831A3 (de) 2009-05-07
DE102007063603B4 (de) 2009-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3274174B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum applizieren einer folie
EP0963839B1 (de) Druckmaschine und Druckverfahren
DE102007063602B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von keramischen Folien unter Verwendung einer Maske
EP2418019B1 (de) Verfahren zur partiellen Mattierung von UV-Lackschichten
DE3028098C2 (de)
WO2007068322A1 (de) Vorrichtung zur durchführung eines verfahrens zur modifizierung von oberflächen strahlenhärtbarer farben und lacke durch photochemische mikrofaltung mittels kurzwelliger monochromatischer uv-strahlung unter stabilen bestrahlungs- und inertisierungsbedingungen
EP1466731B1 (de) Verfahren zum Trocknen einer Druckfarbe auf einem Bedruckstoff in einer Druckmaschine und Druckmashine
DE102015104321A1 (de) Verfahren, Applikationsvorrichtung und Druckvorrichtung zum Applizieren einer Folie
DE2020415A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Druckplatten
EP2171542B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von strukturierten optischen materialien
WO2018114590A1 (de) Verfahren zur herstellung von mikrostrukturen
EP3545360B1 (de) Belichtungsvorrichtung und verfahren zur belichtung von plattenförmigen materialien
DE10106888B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Oberflächenbeschichtung
EP3977825A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung elektrischer bauteile auf einem flexiblen träger
WO2014198810A1 (de) Verfahren zur herstellung von zylindrischen flexodruckelementen
DE2425217A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von bodenbelagsmaterial
EP2985327B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Haftklebeschicht
DE102008027461A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur mikrostrukturierten Plasmabehandlung
WO2003074193A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer oberflächenbeschichtung durch nir- und uv-nachbehandlung
DE19636391A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen von im Tintenstrahldruck hergestellten Drucken
DE102014213533A1 (de) Vorrichtung zur Erwärmung einer Funktionsschicht
EP3630490B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur dekoration von objekten
DE102012209371A1 (de) Siebdruckverfahren und Vorrichtung zum Ausführen eines Siebdruckverfahrens
DE102005058577A1 (de) Vorrichtung zum Entfernen flüchtiger Medien und Verfahren zum Entfernen flüchtiger Medien von Bahnmaterialien unter Verwendung der Vorrichtung
DE102005041559A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur schichtaufbauenden Herstellung eines dreidimensionalen Gegenstandes

Legal Events

Date Code Title Description
AC Divided out of

Ref document number: 102007019438

Country of ref document: DE

Kind code of ref document: P

OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
AC Divided out of

Ref document number: 102007019438

Country of ref document: DE

Kind code of ref document: P

8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee