DE102007056345B3 - Verfahren zum Betrieb eines FTIR-Spektrometers, sowie FTIR-Spektrometer selbst - Google Patents

Verfahren zum Betrieb eines FTIR-Spektrometers, sowie FTIR-Spektrometer selbst Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines FTIR (Fourier-Transformation-Infrarot)-Spektrometers bei welchem in zyklisch wiederkehrenden Intervallen eine Validierung/Kalibrierung des Spektrometers erfolgt, indem mit mindestens zwei temporär zur Verfügung gestellten Gasen sowohl ein Referenzspektrum mit Nullgas als auch ein Absorptionsspektrum mit Kalibriergas aufgenommen wird, sowie ein Spektrometer selbst, gemäß Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 8. Um hierbei zu erreichen, dass an jedem Einsatzort und zu jeder Zeit eine Kalibrierung bzw. Validierung des Spektrometers erfolgen kann, ist erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass bei der Validierung des Spektrometers als Gaskomponenten jeweils sogenannte Ersatzgase verwendet werden, die bezüglich der messtechnischen Eigenschaften die tatsächliche Messgaskomponente nur simulieren.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines FTIR-Spektrometers, sowie FTIR-Spektrometer selbst, gemäß Oberbegriff des Patentanspruches 1 und 8.
  • FTIR-Spektrometer sind Infrarot-Spektrometer, die mit der Rechen-Methode der Fouriertransformation arbeiten. Solche Spektrometer arbeiten nicht auf spezifischen Absorptionslinien, sondern nehmen ein Spektrum eines ganzen Wellenlängenbereiches auf und erhalten mittels der mathematischen Spektrometerfunktion somit Informationen über die Absorptionen über das betrachtete Frequenz- bzw. Wellenlängenspektrum. Aus der erhaltenen Verteilung wird nachfolgend eine chemometrische Betrachtung durchgeführt und die Verteilung den entsprechenden Gaskomponenten zugeordnet. Damit können mit dem FTIR-Spektrometer mehrere Gaskomponenten gleichzeitig gemessen werden.
  • Um den besagten gesamten Frequenzbereich zu durchfahren wird mit einem interferometrischen Aufbau mit beweglichen Spiegeln gearbeitet, beispielsweise nach Michelson.
  • Damit eine gerätebedingte Drift, z. B. hervorgerufen durch Änderungen im Transmissionsverhalten, beseitigt wird, muss regelmäßig kalibriert und validiert werden. Nur so kann die Zuverlässigkeit der Messergebnisse gewährleistet sein. Bei einfach handhabbaren Gaskomponenten wie CO oder CO2 mag dies einfach sein. In der Regel sind FTIR-Spektrometer aber auch für schwierig handhabbare Gase interessant. Hierzu gehören bspw NH3, HCl, HF, H2O.
  • Der Vorteil bei FTIR-Spektrometern ist aber, dass viele Gaskomponenten gleichzeitig gemessen werden können. Somit eigenen sich solche Spektrometer insbesondere auch zur Emissonsmessung. Üblicherweise erfolgt täglich eine Überprüfung des Spektrometers.
  • Die Überprüfung der Kalibrierdaten (Validierung) erfolgt heute üblicherweise in zwei Schritten: In kurzen Abständen (üblicherweise täglich) erfolgt eine regelmäßige Aufnahme eines Referenzspektrums mit Nullgas (üblicherweise gereinigte Umgebungsluft). Mit diesem Referenzspektrum werden Änderungen im Transmissionsverhalten des Systems kompensiert. Änderungen im Transmissionsverhalten können z. B. durch Verschmutzungen im optischen Weg, Änderung der Strahlerleistung, Änderung des Detektors oder durch Verschmutzung der Messzelle verursacht werden. Die Kompensation des Nullpunkts erfolgt wellenlängenabhängig, damit wird gleichzeitig für alle Komponenten der Nullpunkt korrigiert.
  • In längeren Abständen (üblicherweise wöchentlich bis jährlich) erfolgt eine regelmäßige Validierung (Überprüfung) und ggf. auch Kalibrierung der Referenzpunkte für alle Komponenten mit Prüfgas. Einfach handhabbare Gase wie CO, CO2, NO können ohne zusätzliche Hilfsmittel mit Prüfgasen in Prüfgasflaschen kalibriert werden. Anstelle von Prüfgasflaschen werden für in Prüfgasflaschen schwierig handhabbare Komponenten wie H2O oder HCl Prüfgasgeneratoren eingesetzt. Eine solche Handhabung ist aber sehr schwierig und an manchen Einsatzorten des Spektrometers kaum zu vollziehen.
  • Die Validierung bzw. Kalibrierung der Referenzpunkte kann, insbesondere wenn Gase wie H2O oder HCl kalibriert werden müssen, nur mit hohem technischem und zeitlichem Aufwand durchgeführt werden. Gründe dafür sind beispielsweise:
    • • Installation des zusätzlichen technischen Equipments wie Prüfgasgenerator
    • • Lange Einstellzeiten für HCl und H2O
    • • Falsche Konzentrationen des Verdampfermaterials können zu einer fehlerhaften Kalibrierung führen
  • Eine Validierung und/oder Kalibrierung der Referenzpunkte kann deshalb nur durch geschulte Spezialisten durchgeführt werden.
  • Die Referenzpunkte werdendeshalb nur in langen Abständen überprüft, d. h. für längere Messintervalle gibt es keine Validierung der Referenzpunkte. Dies führt zu einem erhöhten Risiko einer fehlerhaften Anzeige der Konzentrationen.
  • Aus der US 5,777,735 ist ein Verfahren bzw. eine Einrichtung dieser Art bekannt, bei welchem, wie bei anderen bekannten Verfahren die Kalibrierung der Einrichtung auf die jeweilige zu messende Gaskomponente dadurch erfolgt, dass das entsprechende Gas in Reinform als Kalibriergas aus einem Reservoir zugeführt wird. Für die meisten Gase ist dies viel zu aufwändig.
  • Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren sowie ein Spektrometer der gattungsgemäßen Art dahingehend weiterzubilden, dass an jedem Einsatzort und zu jeder Zeit eine Kalibrierung bzw. Validierung des Spektrometers erfolgen kann.
  • Die gestellte Aufgabe ist bei einem Verfahren der gattungsgemäßen Art efindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den abhängigen Ansprüchen 2 bis 7 angegeben.
  • Im Hinblick auf ein Spektrometer der gattungsgemäßen Art ist die gestellte Aufgabe erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 8 gelöst.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den übrigen abhängigen Ansprüchen angegeben.
  • Kern der Erfindung in verfahrensgemäßer Hinsicht ist, dass bei der Validierung des Spektrometers zusätzlich oder anstelle der tatsächlichen Messkomponenten auch einfach handhabbare Ersatzgaskomponenten gewählt werden können, die den ganzen Spektralbereich des Spektrometers abdecken. Für den Anwendungsfall, dass schwierig handhabbare Gase zur Messung kommen, wie beispielsweise HCl, HF, NH3, ist es vorteilhaft, dass mit der erfindungsgemäßen Verfahrensweise vermieden werden kann, dass für eine effektive Validierung oder Kalibrierung die genannten Gase als Prüfgase in hoher Reinheit zur Verfügung gestellt werden müssen. Stattdessen werden einfach handbare Gase für die Validierung als Substitution verwendet, die einen Absorptionseffekt etwa in dem Bereich des „schwierigen" Gases, quasi als Repräsentant erzeugen. Somit sind diese Ersatzgase als Validier- oder Kalibriergase wesentlich einfacher zu handhaben, als die eigentlichen Messgase, wenn diese für die Kalibrierung in hochreiner Form und exakter Konzentration zur Verfügung stehen müssten. Dabei werden nachfolgend Ersatzgase genannt, die bei Weitem nicht so aggresiv oder so schwer zu handhaben sind als diejenigen Gase, die sie repräsentieren sollen. Die gesamte Validierung und Kalibrierung wird dadurch einfacher.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass ein aus mehreren Ersatzgasen bestehendes Gasgemisch zur Validierung eingesetzt wird, welche jeweils Teilbereiche des gesamten Messspektrums abdecken. Auf diese Weise können die Ersatzgase zur Kalibrierung in ein Gasgemisch gebracht werden, was mit den eigentlichen Gaskomponenten schon chemisch bedenklich wäre. Auf diese Weise kann sofort der komplette Spektralbereich des Spektrometers in einem Schritt validiert werden.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass solche und so viele Ersatzgase im Kalibrier/Validier-Gasgemisch eingebracht sind, dass diese den gesamten Spektralbereich des Spektrometers abdecken.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass auch die Intensitäten im Validierungs/Kalibrierungsschritt mit Nullgas überwacht werden, und so durch Interpolation das gesamte Spektrum als Referenz abgespeichert wird.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass die Ersatgase einzeln d. h. aus verschiedenen Gasreservoiren oder als Ersatzgasgemisch aus einem Gasreservoir durch Einzelventilansteuerung in einem automatischen Validierungs-/Kalibrierschritt automatisch der Messküvette zugeführt, und hernach die entsprechenden Validier- bzw. Kalibrierschritte durchgeführt werden. So kann der Validierungsschritt auf einfache und effektive Weise automatisch zyklisch durchgeführt werden.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass die ermittelten Validier- bzw. Kalibrierwerte in einem adaptiven Datenfeld abgespeichert werden, aus welchem nach Bedarf auch die Validier-/Kalibrierhistorie auswertbar ist, um ggfs daraus eine Diagnose über den Wartungszustand des Spektrometers zu erhalten.
  • In letzter vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass die Ersatzgaskomponenten einzeln oder als Ersatzgasgemisch in einer Kalibrierküvette abgeschlossen, d. h. eingeschlossen sind, und dass zur Durchführung des Validierungs-/Kalibrierschrittes diese automatisch in den Strahlengang eingeschwenkt und danach wieder herausgeschwenkt werden.
  • Hinsichtlich eines FTIR Spektrometers besteht der Kern der Erfindung darin, dass als Kalibriermittel Gase dienen, die hinsichtlich ihrer Absorptionswirkung innerhalb des Spektrometers lediglich Repräsentanten der eigentlichen Messgase sind und innerhalb eines Gasreservoirs gespeichert sind, und im Moment der automatischen Initiierung eines Kalibrier- oder Validiervorganges automatisch seriell nacheinander oder als Gasgemisch in den Strahlengang des Sepktrometers einbringbar sind.
  • In vorteilhafter Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Spektrometers ist angegeben, dass die Gase mittels einer automatischen Ventilsteuerung in die Messküvette des Spektrometers einleitbar sind. So kann der Kalibrierprozess automatisch initiiert werden und die Gase eingeleitet werden.
  • In alternativer Ausgestaltung ist angegeben, dass die Gase in einer oder mehreren, nach Gasbefüllung abgeschlossenen Kalibierküvetten in den Strahlengang des Spektrometers automatisch einschwenkbar und nach Kalibrierung/Validierung wieder automatisch ausschwenkbar sind. Somit brauch man keine Gasbevorratung mehr.
  • Die Erfindung ist in Bezug auf die erfindungsgemäße Verfahrenweise, sowie im Aufbau des Spektrometers in der Zeichnung dargestellt und nachfolgend näher beschrieben.
  • Es zeigt:
  • 1: prinzipieller Aufbau eines FTIR-Spektrometers mit schwenk- oder schiebbarer Kalibrierküvette.
  • 2: Steuerung der Kalibrierung
  • 3: Spektrum mit Leitkomponenten (Repräsentanten)
  • 4: Aufteilung des Spektrums in Regionen
  • 1 zeigt einen prinzipiellen Aufbau eines FTIR-Spektrometers, das beispielsweise auf einem Michelson-Interferometer aufgebaut wird. Ausgehend von einer Strahlungsquelle 5 wird mittels eines ersten optischen Systems 4 ein paralles Strahlenbündel durch Aufweitung erzeugt, das auf einen halbdurchlässigen Spiegel 3 als Strahlenteiler fällt. Ein Teil des Lichtes mit der festen Wellenlänge und Frequenzlage (monochromatisch und kohärent) fällt nun auf den feststehenden Spiegel 1 und wird dort reflektiert. Das andere Teillichtbündel passiert den Spiegel 3 geradlinig und wird von einem beweglichen Spiegel 2 reflektiert, zurück in Richtung des Spiegels 3, wo nun die beiden Lichtteilstrahlen miteinander interferieren. Die Interferenz wird hierbei kontrollierbar gesteuert über die Verstellung des Spiegel 2 entlang der optischen Achse. Von dort aus durchstrahlt das interferierte Licht die Messküvette 8 durch die Messgas geleitet wird. Mittels des Interferometers wird eine sehr exakte Durchstimmung der effektiven Frequenzlage des die Messküvette und damit das Messgas treffenden Lichtbündels erreicht. So kann am Detektor ein komplettes Spektrum erfasst werden, und nicht nur die Absorptionrate bei einer festen Frequenz. Um den Detektor optimal auszuleuchten, wird über ein zweites optisches System 6 das aufgeweitete Lichtbündel wieder fokussiert, und zwar auf die Dimension des Detektors.
  • Die Messküvette enthält einen Gaseingang A und einen Gasausgang B und wird vom Messgas zur Aufnahme eines Messspektrums eingeleitet und danach wieder herausgeleitet.
  • Um den erfindungsgemäßen Kalibrierschritt durchführen zu können, wird nun entweder eine hier nicht weiter dargestellte Ventilsteuerung angesteuert, und Kalibriergas durch die Küvette 8 geleitet, bzw. durchspült, um nach dem Kalibrieren dann durch Ventilumsteuerung das zu messende Messgas einzuleiten.
  • Eine andere Alternative ist hier dargestellt, bei welcher das Kalibriergas mit Hilfe von Kalibrierküvetten 9 in den Strahlengang vor den Detektor 7 bzw. vor das optische System 6 eingeschwenkt wird, solange die Kalibrierung bzw. Validierung dauert. Hernach wird die Kalibrierküvette wieder aus dem Strahlengang herausgeschwenkt.
  • Wichtig ist hierbei zu erwähnen, dass die Kalibrierküvette nicht mit dem betreffenden Messgas oder der Messgaskomponente gefüllt ist, die in diesem kalibrierten Teil des Spektrums gemessen wird, sondern mit einem dieses bzw. diese repräsentierenden Ersatzgas oder Ersatzgasgemisch. So werden über den Spektralbereich des Spektrometers bspw als Ersatzgase, d. h. als Repräsentanten SO2, CO2, N2O oder Methan verwendet, anstatt der viel heikleren Gaskomponenten HCl, HF, NH3 etc. Letztere zur Kalibrierung in Reinstform zu verwenden ist erheblich aufwändiger. Stattdessen vereinfacht die erfindungsgemäße Verwendung der substituierenden Ersatzgase die Kalibrierung/Validierung ganz erheblich, weil diese genannten Ersatzkomponenten wesentlich leichter zu handhaben sind. Sie sind so leicht zu handhaben, dass diese statt zur Kalibrierung im Gasdurchleitungsverfahren nunmehr auch in abgeschlossenen Kalibrierküvetten handhabbar sind. Dies wäre mit HCL oder HF oder gar mit Wasserdampf H2O so nicht möglich.
  • Bei der Verwendung von Kalibrierküvetten können ebenso die einzelnen Gase jeweils in einer Kalibrierküvette eingeschlossen sein und auf einer Art Blendenrad abwechselnd einschwenkbar sein, oder aber man verwendet wie auch beim Gasdurchleitungsverfahren ein Gasgemisch aus allen Ersatzgasen in einer gemeinsamen Kalibrierküvette 9.
  • Statt der Einschwenkbewegung kann die Kalibrierküvette natürlich auch mit einer linearen Bewegung einschiebbar sein.
  • 2 zeigt die Steuerung des erfindungsgemäßen FTIR im Prinzip. Dabei wird über eine Steuereinheit 10 die Betätigung der Lichtquelle 5 (Laser) als auch der Detektor 7 vorgenommen. Eine Zeitsteuereinheit 11 löst zu einer einstellbaren Zeit, oder durch ein gewolltes Ansteuersignal den Kalibriervorgang aus. Hierzu wird nun koordiniert der Spiegel 2, die Lichtquelle 5 sowie der Detektor 7 gesteuert, und hierzu koordiniert die Einschwenk- oder Einschiebebetätigung der Kalibrierküvette 9 gesteuert und so das Referenzspektrum aufgezeichnet und in der adaptiven Speichereinheit 12 abgelegt. Die Speichereinheit 12 schreibt darüber hinaus die Daten mit zeitlicher Zuordnung als historische Daten auf, worauf zusätzlich eine Auswertung möglicher Alterungseffekte erkannt werden können. Hierüber kann neben der reinen Kalibrierung auch eine nachhaltige Selbstdiagnose des Spektrometers vorgenommen werden.
  • Alternativ zur Ansteuerung der Einschwenk- oder Einschiebbewegung der Kalibrierküvette kann auch stattdessen die Ventilsteuerung zur Zuführung von Ersatzgasen im Durchleitungsverfahren koordiniert angesteuert werden, um die Kalibrierung auch auf diesem Wege mit Verwendung von genannten Ersatzgasen durchführen zu können.
  • 3 zeigt, wie anstelle einer Prüfgasaufgabe für alle Komponenten eine Validierung (Überprüfung) durch ein Prüfgasgemisch aus mehreren Ersatzgasenerfolgt. Die Ersatzgase können alle zusammen in einer Prüfgasflasche gemischt werden und sind über einen längeren Zeitraum stabil. Die Ersatzgase können auch Messkomponenten sein, zum Beispiel SO2 oder CO2. Alternativ oder zusätzlich können aber auch Gase mit vielen Absorptionen in verschiedenen Wellenlängenbereichen eingesetzt werden, zum Beispiel stabile halogenierte Kohlenwasserstoffe oder N2O und CO2. Die Ersatzgase decken idealerweise den ganzen Spektralbereich des Spektrometers ab.
  • Beispielsweise können dazu folgende Ersatzgase eingesetzt werden.
    • • Langwelliger Bereich z. B. mit SO2
    • • Mittlerer Bereich z. B. mit CO2
    • • Kurzwelliger Bereich durch Methan oder N2O
  • 4 zeigt, wie zusätzlich die Intensitäten des Referenzspektrums überwacht. Damit werden auch die Wellenlängenbereiche überwacht werden, die durch die Ersatzgase nicht abgedeckt werden.
  • Wenn nun bei der Validierung des Spektrometers keine Änderungen für die Ersatzgase bzw. für die einzelnen Bereiche des Referenzspektrums keine Änderungen der Nullpunkte auftreten, gibt es auch keine Änderungen für die restlichen Messkomponenten (beispielsweise HCl oder HF).
  • Im Gegensatz zur Validierung/Kalibrierung mit Prüfgasgeneratoren kann der Ablauf der ganzen Prozedur automatisiert werden. D. h. es kann über Magnetventile wie beschrieben rechnergesteuert das Prüfgasgemisch aus Ersatzgase und das Nullgas für das Referenzspektrum aufgegeben werden. Die Ergebnisse können automatisch ausgewertet werden und es kann ggf. eine Alarmierung ausgelöst werden. Bei geringeren Abweichungen kann auch erst ein Voralarm ausgelöst werden.
  • Die Speicherung der Historie der Ergebnisse der Validierung kann als Basis für eine kontinuierliche Qualitätsüberwachung verwendet werden. Zusätzlich können die Spektren für Leitkomponenten und Referenzwerte gespeichert werden, wie bereits beschrieben.
  • Alternativ kann auch auf eine Prüfgasflasche mit dem Gemisch an Ersatzgaskomponenten ganz verzichtet werden, indem die Ersatzgaskomponenten in einer Kalibrierküvette stabil eingeschlossen werden. Anstelle einer Prüfgasaufgabe über Magnetventile wird die Kalibrierküvette dann wie oben beschrieben zyklisch in den optischen Weg eingeschwenkt.
    • 1
    Spiegel, feststehend
    2
    Spiegel, beweglich
    3
    halbdurchlässiger Spiegel/Strahlenteiler
    4
    optisches System, aufweitend
    5
    Strahlenquelle
    6
    optisches System, fokussierend
    7
    Detektor
    8
    Messküvette
    9
    Kalibrierküvette
    10
    Steuerung
    11
    Zeitsteuerung
    12
    adaptiver Datenspeicher
    A
    Messgaseingang
    B
    Messgasausgang

Claims (10)

  1. Verfahren zum Betrieb eines FTIR(Fourier-Transformation-Infrarot)-Spektrometers bei welchem in zyklisch wiederkehrenden Intervallen eine Validierung/Kalibrierung des Spektrometers erfolgt, indem mit mindestens zwei temporär zur Verfügung gestellten Gasen sowohl ein Referenzsprektum mit Nullgas als auch ein Absorptionsspektrum mit Kalibriergas aufgenommen wird, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Validierung des Spektrometers als Gaskomponenten jeweils sogenannte Ersatzgase verwendet werden, die bezüglich der messtechnischen Eigenschaften die tatsächliche Messgaskomponente nur simulieren.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein aus mehreren Ersatzgasen bestehendes Gasgemisch zur Validierung eingesetzt wird, welches jeweils Teilbereiche des gesamten Messspektrums abdeckt.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass solche und so viele Ersatzgase im Kalibrier/Validier-Gasgemisch eingebracht sind, dass diese den gesamten Spektralbereich des Spektrometers abdecken.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auch die Intensitäten des Referenzsprektrums im Validierungs/Kalibrierungsschritt mit Nullgas überwacht werden, und so durch Interpolation das gesamte Spektrum als Referenz abgespeichert wird.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ersatzgase einzeln d. h. aus verschiedenen Gasreservoiren oder als Gasgemisch aus einem Gasreservoir durch Einzelventilansteuerung in einem automatischen Validierungs-/Kalibrierschritt automatisch der Messküvette zugeführt, und hernach die entsprechenden Validier- oder Kalibrierschritte durchgeführt werden.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die ermittelten Validier- oder Kalibrierwerte in einem adaptiven Datenfeld abgespeichert werden, aus welchem nach Bedarf auch die Validier-/Kalibrierhistorie auswertbar ist, um ggfs daraus eine Diagnose über den Wartungszustand des Spektrometers zu erhalten.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ersatzgase einzeln oder als Ersatzgasgemisch in einer Kalibrierküvette abgeschlossen, d. h. eingeschlossen sind, und dass zur Durchführung des Validierungs-/Kalibrierschrittes diese automatisch in den Strahlengang eingeschwenkt und danach wieder herausgeschwenkt werden.
  8. FTIR-Spektrometer mit Validierungs- und/oder Kalibriermitteln, zur zyklischen Validierung und/oder Kalibrierung des Messspektrums des FTIR-Spektrometers, dadurch gekennzeichnet, dass als Kalibriermittel Gase dienen, die hinsichtlich ihrer Absorptionswirkung innerhalb des Spektrometers lediglich Repräsentanten der eigentlichen Messgase sind und innerhalb eines Gasreservoirs gespeichert sind, und im Moment der automatischen Initiierung eines Kalibrier- oder Validiervorganges automatisch seriell nacheinander oder als Gasgemisch in den Strahlengang des Spektrometers einbringbar sind.
  9. FTIR-Spektrometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Gase mittels einer automatischen Ventilsteuerung in die Messküvette des Spektrometers einleitbar sind.
  10. FTIR-Spektrometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Gase in einer oder mehreren, nach Gasbefüllung abgeschlossenen Kalibierküvetten in den Strahlengang des Spektrometers automatisch einschwenkbar und nach Kalibrierung/Validierung wieder automatisch ausschwenkbar sind.
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