DE102007049501A1

DE102007049501A1 - Verfahren und Messvorrichtung zur Bestimmung von Gasmengen und Gasströmen

Info

Publication number: DE102007049501A1
Application number: DE200710049501
Authority: DE
Inventors: Werner Wunderlich
Original assignee: Festo SE and Co KG
Current assignee: Festo SE and Co KG
Priority date: 2007-10-15
Filing date: 2007-10-15
Publication date: 2009-04-16
Anticipated expiration: 2027-10-16
Also published as: DE102007049501B4

Abstract

Es wird ein Verfahren zur Bestimmung von Gasmengen aud Gasströmen vorgeschlagen, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: - Bereitstellung eines Messzylinders (12), der ein Zylindergehäuse (13) und einen im Zylindergehäuse (13) verschieblich gelagerten Messkolben (14) aufweist, der zusammen mit dem Zylindergehäuse (13) eine Messkammer (20) mit einem Kontrollvolumen begrenzt, - Einleiten von Prüfgas in die Messkammer (20) und Ermittlung der Positionsänderung des Messkolbens (14) zwischen einer Startposition und einer Endposition in Folge des eingeströmten Prüfgases, Bestimmung des Druckes im Kontrollvolumen und Bestimmung der Temperatur, - Ermittlung der in der Messkammer (20) eingeströmten Prüfgasmasse bzw. des Prüfgasvolumens oder unter Berücksichtigung einer gewählten Zeitdifferenz des Prüfgasmassenstroms bzw. Prüfgasvolumenstroms auf Basis der allgemeinen Gasgleichung.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Messvorrichtung zur Bestimmung von Gasmengen und Gasströmen.
Derartige Verfahren und Messvorrichtungen sind seit langem in einer Vielzahl unterschiedlicher Verfahren und Vorrichtungen bekannt. Jedoch sind solche Verfahren und Messvorrichtungen lediglich ab einer bestimmten Mindest-Durchflussrate bzw. Mindestmenge einsetzbar und deshalb zur Bestimmung von kleiner oder sehr kleiner Gasmengen und Gasströmen nicht geeignet.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine Messvorrichtung zur Bestimmung von Gasmengen und Gasströmen der eingangs erwähnten Art zu schaffen, mit dem bzw. mit der auch kleine oder sehr kleine Gasmengen bzw. Gasströme ermittelt werden können.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1 und eine Messvorrichtung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 9 gelöst. Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen dargestellt.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Bestimmung von Gasmengen und Gasströmen wird ein Messzylinder bereitgestellt, der ein Zylindergehäuse und einen im Zylindergehäuse verschieblich gelagerten Messkolben aufweist, der zusammen mit dem Zylindergehäuse eine Messkammer mit einem Kontrollvolumen begrenzt. Es wird Prüfgas in die Messkammer eingeleitet und es wird die Positionsänderung des Messkolbens zwischen einer Startposition und einer Endposition in Folge des einströmenden Prüfgases ermittelt. Ferner wird der Druck im Kontrollvolumen und die Temperatur bestimmt. Schließlich wird die in die Messkammer eingeströmte Prüfgasmasse bzw. das Prüfgasvolumen unter Berücksichtigung einer gewählten Messzeit des Prüfgasmassenstroms bzw. Prüfgasvolumenstroms auf Basis der allgemeinen Gasgleichung ermittelt.
Zur Ermittlung der Masse bzw. des Volumens oder des Massen- oder Volumenstroms eines eingeprägten Prüfgases wird dieses also in das Kontrollvolumen in der Messkammer eingespeist. Die Positions- bzw. Lageänderung des Messkolbens kann hierbei hochgenau erfasst werden, wodurch auf kleine oder sehr kleine Prüfgasmengen bzw. Prüfgasströme zurückgerechnet werden kann.
Zusätzlich zur Positionsänderung des Messkolbens wird die Temperatur und des Gasdruck im Kontrollvolumen gemessen. Aufgrund der hohen Wärmekapazität, der guten Wärmeleitfähigkeit und der im Vergleich zum Kontrollvolumen relativ großen Oberfläche der Wandung des Zylindergehäuses kann eine schnelle und kontinuierliche Temperaturangleichung zwischen dem im Kontrollvolumen eingeschlossenen Prüfgas und der Wandung erzielt werden. Deshalb ist es möglich, die Temperatur des Zylinderblocks zu messen anstelle eine Temperaturmessung direkt im Prüfgas durchzuführen.
Es ist möglich, dass das Prüfgas als Charge in die Messkammer gelangt und die eingeströmte Prüfgasmasse oder das eingeströmte Prüfgasvolumen ermittelt wird. Die Masse des eingeprägten Prüfgases lässt sich bei Kenntnis der Temperaturen des Prüfgasdrucks folgendermaßen berechnen:
mit:

∆m: Eingeprägte Gasmasse
∆s: Lageänderung des Kolbens
d_Zylinder: Durchmesser der Zylinderbohrung verringert um die doppelte Dicke des Spalts zwischen Kolbenaußenseite und Zylinderinnenwand,
Z: Realgasfaktor des Prüfgases
p_Zylinder: Druck des Prüfgases im Kontrollvolumen
T: Temperatur des Prüfgases im Kontrollvolumen = Temperatur des Zylinderblocks.

Alternativ ist es möglich, dass das Prüfgas kontinuierlich in die Messkammer einströmt und die Positionsänderung des Messkolbens innerhalb einer wählbaren Messzeit zwischen einem Startzeitpunkt t₀ und einem Endzeitpunk t_E ermittelt wird.
Des Massenstrom q_m berechnet sich wie folgt:
mit:

q_m: Massenstrom
∆t: Zeitintervall.

Zweckmäßigerweise wird der Startzeitpunkt t₀ erst nach einer bestimmten Anlaufzeit ab der bereits Prüfgas in die Messkammer einströmt festgelegt. Dadurch kann gewährleistet werden, dass sich der Prüfgasdruck während der Messzeit im Wesentlichen auf dem selben Niveau befindet.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung wird bei feuchtem Prüfgas, insbesondere feuchter Luft, ein von der relativen Prüfgasfeuchte abhängiger Feuchtefaktor bei der Ermittlung der Prüfgasmasse bzw. des Prüfgasvolumens oder des Prüfgasmassenstroms bzw. Prüfgasvolumenstroms berücksichtigt.
In besonders bevorzugter Weise wird der Messzylinder in eine im Wesentlichen vertikale Lage gebracht, wobei sich ohne Einströmen von Prüfgas ein Kräftegleichgewicht zwischen einer Gewichtskraft des Messkolbens und einer in entgegengesetzte Richtung wirkendenden aus der Druckdifferenz zwischen Umgebungsluftdruck und dem Gasdruck im Kontrollvolumen resultierenden Druckkraft einstellt. Durch dieses Kräftegleichgewicht kann der Messkolben also in Schwebe gehalten werden.
In besonders bevorzugter Weise wird die Positionsänderung des Messkolbens mittels einer berührungslos arbeitenden Positionserfassungsrichtung ermittelt. Es eignet sich hierzu vor allem ein Interferometer, insbesondere Laser-Interferometer.
Die erfindungsgemäße Messvorrichtung zur Bestimmung von Gasmengen und Gasströmen weist einen Messzylinder auf, mit einem Zylindergehäuse und einem im Zylindergehäuse verschieblich gelagerten Messkolben, der zusammen mit dem Zylindergehäuse eine Messkammer mit einem Kontrollvolumen begrenzt, wenigstens einer am Zylindergehäuse befindlichen Einlassöffnung über die Prüfgas in die Messkammer gelangen kann, einer am Messzylinder befindlichen Schnittstelle für die Messung des Drucks im Kontrollvolumen, einer Schnittstelle für die Messung der Temperatur und einer Positionserfassungseinrichtung zur Positionserfassung des Messkolbens derart, dass eine in Folge in die Messkammer einströmende Prüfgases auftretende Positionsänderungen des Messkolbens ermittelbar und daraus mit Hilfe des ermittelten Drucks im Kontrollvolumen und der Temperatur die in die Messkammer eingestömte Prüfgasmasse bzw. das Prüfgasvolumen oder unter Berücksichtigung einer gewählten Messzeit den Prüfgasmassenstrom bzw. Prüfgasvolumenstrom auf Basis der allgemeinen Gasgleichung bestimmbar ist.
In besonders bevorzugter Weise ist zwischen Messkolben und Innenwandung des Zylindergehäuses ein Dichtmittel zur gasdichten Abdichtung der Messkammer vorgesehen. Bevorzugterweise ist als Dichtmittel eine Sperrflüssigkeit vorgesehen, die bei vertikaler Anordnung des Messzylinders unter Kapillarwirkung im Spalt zwischen dem Messkolben und der Innenwand verbleibt.
Zweckmäßigerweise dient zur vertikalen Anordnung der Messvorrichtung eine Standeinrichtung.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung weist die Messvorrichtung eine über die Schnittstelle am Messzylinder ankoppelbare Druckmesseinrichtung zur Bestimmung des im Kontrollvolumens vorherrschenden Drucks auf.
Weiterhin kann die Messvorrichtung eine über die Schnittstelle am Messzylinder ankoppelbare Temperaturmesseinrichtung zur Bestimmung der Temperatur aufweisen. Die Temperaturmesseinrichtung kann einen Temperaturfühler aufweisen, der in eine die Schnittstelle bildende Fühleraufnahme am Messzylinder einsetzbar oder eingesetzt ist.
Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im Folgenden näher erläutert. In der Zeichnung zeigt die einzige Figur:
Eine schematische Darstellung eines bevorzugten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Messvorrichtung.
1 zeigt einen bevorzugtes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Messvorrichtung 11, die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Bestimmung von Gasmengen und Gasströmen geeignet ist. Die Messvorrichtung 11 besitzt einen Messzylinder 12 mit einem Zylindergehäuse 13 und einen im Zylindergehäuse 13 verschieblich gelagerten Messkolben 14. Das Zylindergehäuse 13 wiederum besteht aus einem Zylinderrohr 15, wobei ein Rohrende mittels eines Abschlussdeckels 16 gasdicht verschlossen ist. Das gegenüberliegende Rohrende hingegen ist offen und ist in eine Halterung 17 einer Standeinrichtung 18 eingesetzt. Mit der Standeinrichtung 18 ist der Messzylinder 12 in vertikaler Lage fixiert. Hierzu kann beispielsweise die Halterung 17 mit einem tischartigen Basisteil 19 verbunden sein, wobei Letzteres wieder auf dem Untergrund abstellbar ist.
Der Messkolben 14, die Wandung des Zylinderrohrs 15 und der Abschlussdeckel 16 schließen eine Messkammer 20 ein, wobei auch der Spalt zwischen der Wandung des Zylinderrohrs 15 und dem Messkolben mittels eines Dichtmittels 21 gasdicht abgedichtet ist. Als Dichtmittel wird eine Sperrflüssigkeit eingesetzt, die bei vertikaler Lage des Messkolbens 14 unter Kapillarwirkung im Spalt verbleibt.
Dem Messkolben 14 ist eine Positionserfassungseinrichtung 22 zugeordnet, mit der sich die Position bzw. die Lage des Messkolbens 14 innerhalb des Zylinderrohrs 15 bestimmen lässt. Die Positionserfassungseinrichtung 22 ist hier beispielshaft in Form eines Laser-Interferometers dargestellt, mit einer beispielsweise auf den tischartigen Basiselement 19 befindlichen Interferometereinheit 40, die einen Laserstrahl aussendet, der auf einen an der messkammerfernen Unterseite des Messkolbens 14 angeordneten Tripelspiegel 50 trifft und durch diesen reflektiert wird. Die Wirkungsweise eines Laser-Interferometers ist bekannt und soll hier nicht näher vertieft werden.
Im Abschlussdeckel 16 befindet sich einen Einlassöffnung 23, über die Prüfgas in die Messkammer 20 strömen kann. Zweckmäßigerweise ist die Einlassöffnung 23 über eine insbesondere schlauchartige Gasleitung 24 mit einem Prüfling 25 gekoppelt. Als Prüfling kann beispielsweise ein Ventil eingesetzt werden, wobei sich dann die Durchflussraten durch das Ventil ermitteln lassen, also beispielsweise der am Arbeitsanschluss austretende Massen- oder Volumenstrom oder auch der Massen- oder Volumenstrom zwischen einem Vorsteuerventil und dem Hauptventil. Ferner kann als Prüfling auch ein Körper mit interner Undichtigkeit eingesetzt werden, wobei sich die Leckagerate bestimmen lässt. Schließlich kann als Prüfling auch ein Messgerät vorgesehen sein, das zur Kalibrierung angeschlossen wird Die Messvorrichtung 11 besitzt ferner noch eine Druckmesseinrichtung 26, die über eine am Messzylinder 12 liegende Druck-Schnittstelle 27 ankoppelbar ist. Beispielsweise kann auch hier eine Durchführung 28 durch den Abschlussdeckel 16 vorgesehen sein, an die gegebenenfalls eine schlauchartige Gasleitung an einen Druckaufnehmer 29 anschließbar ist.
Schließlich besitzt die Messvorrichtung noch eine Temperaturmesseinrichtung 20, die über eine am Messzylinder 12 liegenden Temperatur-Schnittstelle 31 ankoppelbar ist. Die Temperaturmesseinrichtung 30 besitzt einen Temperaturfühler 32, der in eine die Temperatur-Schnittstelle 31 bildende Fühleraufnahme am Messzylinder 12 eingesetzt ist. Die Temperaturmessung erfolgt also nicht in der Gasphase in der Messkammer, sondern in der Wandung des Zylinderrohrs 15. Deshalb besteht das Zylinderrohr 15 auch aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und guter Wärmeleitfähigkeit, wodurch eine schnelle und kontinuierliche Temperaturangleichung zwischen dem im Kontrollvolumen eingeschlossenen Gas und der Wandung erzielt wird.
Zur Bestimmung einer Prüfgasmasse wird zunächst Prüfgas vom Prüfling über die Einlassöffnung 23 in die Messkammer 20 eingeleitet. Der Messkolben 14 der aufgrund eines Kräftegleichgewichts zwischen einer Gewichtskraft des Messkolbens 14 und einer in entgegengesetzter Richtung wirkenden aus der Druckdifferenz zwischen Umgebungsluftdruck und dem Gasdruck im Kontrollvolumen resultierenden Druckkraft in der Schwebe gehalten wird, wird durch das eingeleitete Prüfgas ein Stück weit nach unten bewegt. Die Position des Messkolbens 14 hat sich also verändert. Diese Positionsänderung wird über das Interferometer hochgenau bestimmt. Ferner wird über den Temperaturfühler 32 die Temperatur des Zylinderrohrs 15 mittels der Druckmesseinrichtung 26 der Gasdruck im Kontrollvolumen gemessen. Es ist möglich, die Druck-, Temperatur- und Positionsmesswerte an eine Auswerteeinheit 60 zu übermitteln, mit der dann die eingeprägte Prüfgasmasse bzw. das eingeprägte Prüfgasvolumen bzw. die Massen- oder Volumenströme ermittelt werden können.
Die eingeströmte bzw. eingeprägte Gasmasse ∆m lässt sich dann folgendermaßen berechnen:
mit:

∆m: Eingeprägte Gasmasse
∆s: Lageänderung des Kolbens
d_Zylinder: Durchmesser der Zylinderbohrung verringert um die doppelte, verbleibende Schichtdicke der Sperrflüssigkeit
Z: Realgasfaktor des Prüfgases
p_Zylinder: Druck des Prüfgases im Kontrollvolumen
T: Temperatur des Prüfgases im Kontrollvolumen = Temperatur des Zylinderblocks.

Bei feuchtem Prüfgas, insbesondere feuchter Luft erweitert sich die Gleichung auf:
mit:

R_{i, Luft, tr}: Individuelle Gaskonstante des Prüfgases
φ: relative Luftfeuchte
p_d: Sättigungsdruck des Wassers
Z: Realgasfaktor.

Bei der Ermittlung des Massen- oder Volumenstroms wird Prüfgas kontinuierlich in die Messkammer 20 eingeleitet. Der Gasdruck im Kontrollvolumen der Messkammer 20 erhöht sich während der Einspeisung geringfügig, da die innere Reibung der Sperrflüssigkeit einer Verschiebung des Kolbens entgegenwirkt. Der hieraus resultierenden kurzfristigen Temperaturänderung des Prüfgases zu Beginn der Messung wird dadurch entgegengewirkt, dass der Startzeitpunkt t₀ erst nach einer bestimmten Anlaufzeit, ab der bereits Prüfgas in die Messkammer 20 einströmt, festgelegt wird. Dadurch kann gewährleistet werden, dass der Gasdruck während der Messzeit im Wesentlichen konstant ist.
Der Massenstrom q_m lässt sich dann folgendermaßen berechnen:
mit:

q_m: Massenstrom
Δt: Zeitintervall.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und der erfindungsgemäßen Messvorrichtung lassen sich also auch sehr kleine Prüfgasmengen, d. h. Prüfgasmassen oder Prüfgasvolumen oder sehr kleine Prüfgasströme, d. h. Prüfgasmassenströme oder Prüfgasvolumenströme ermitteln. Durch Vergrößern der Messdauer können somit auch Kleinstmengen bestimmt werden, wodurch sich beispielsweise auch kleinste Leckagen mit geringen Leckageraten ermitteln lassen. Außerdem ist die hochgenaue Bestimmung der Prüfgasmengen oder Prüfgasströme auch besonders für die Kalibrierung von Messgeräten geeignet.

Claims

Verfahren zur Bestimmung von Gasmengen und Gasströmen, das Verfahren mit folgenden Schritten: – Bereitstellung eines Messzylinders (12), der ein Zylindergehäuse (13) und einen im Zylindergehäuse (13) verschieblich gelagerten Messkolben (14) aufweist, der zusammen mit dem Zylindergehäuse (13) eine Messkammer (20) mit einem Kontrollvolumen begrenzt, – Einleiten von Prüfgas in die Messkammer (20) und Ermittlung der Positionsänderung des Messkolbens (14) zwischen einer Startposition und einer Endposition in Folge des eingeströmten Prüfgases, Bestimmung des Druckes im Kontrollvolumen und Bestimmung der Temperatur, – Ermittlung der in der Messkammer (20) eingeströmten Prüfgasmasse bzw. des Prüfgasvolumens oder unter Berücksichtigung einer gewählten Zeitdifferenz des Prüfgasmassenstroms bzw. Prüfgasvolumenstroms auf Basis der allgemeinen Gasgleichung.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Prüfgas als Charge in die Messkammer (20) gelangt und die eingeströmte Prüfgasmasse oder das eingeströmte Prüfgasvolumen ermittelt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Prüfgas kontinuierlich in die Messkammer (20) einströmt und die Positionsänderung des Messkolbens (14) innerhalb einer wählbaren Zeitdifferenz zwischen einem Startzeitpunkt t₀ und einem Endzeitpunkt t_E ermittelt wird.
Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Startzeitpunkt t₀ erst nach einer bestimmten Anlaufzeit, ab der bereits Prüfgas in die Messkammer (20) einströmt, festgelegt wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei feuchtem Prüfgas, insbesondere feuchter Luft, ein von der relativen Prüfgasfeuchte abhängiger Feuchtefaktor bei der Ermittlung der Prüfgasmasse bzw. des Prüfgasvolumens oder des Prüfgasmassenstroms bzw. Prüfgasvolumenstroms mit berücksichtigt wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Messzylinder (12) in eine im Wesentlichen vertikale Lage gebracht wird, wobei sich ohne Einströmen von Prüfgas ein Kräftegleichgewicht zwischen einer Gewichtskraft des Messkolbens (14) und einer in entgegengesetzte Richtung wirkenden aus der Druckdifferenz zwischen Umgebungsluftdruck und dem Gasdruck im Kontrollvolumen resultierenden Druckkraft einstellt.
Verfahren nach einem der vorgergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionsänderung des Messkolbens mittels einer berührungslos arbeitenden Positionserfassungseinrichtung (22) ermittelt wird.
Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der Positionserfassungseinrichtung (22) um ein Interferometer, insbesondere Laser-Interferometer, handelt.
Messvorrichtung zur Bestimmung von Gasmengen und Gasströ men, mit einem Messzylinder (12), der ein Zylindergehäuse (13) und einen im Zylindergehäuse (13) verschieblich gelagerten Messkolben (14) aufweist, der zusammen mit dem Zylindergehäuse (13) eine Messkammer (20) mit einem Kontrollvolumen begrenzt, wenigstens einer am Zylindergehäuse (13) befindlichen Einlassöffnung (23) über die Prüfgas in die Messkammer (20) gelangen kann, einer am Messzylinder (12) befindlichen Druck-Schnittstelle (27) für die Messung des Drucks im Kontrollvolumen, einer Temperatur-Schnittstelle (31) für die Messung der Temperatur und einer Positionserfassungseinrichtung (22) zur Positionserfassung des Messkolbens (14) derart, dass eine in Folge in die Messkammer (20) einströmenden Prüfgases auftretende Positionsänderung des Messkolbens (14) ermittelbar und daraus mit Hilfe des ermittelten Drucks im Kontrollvolumen und der Temperatur die in die Messkammer (20) eingeströmte Prüfgasmasse bzw. das Prüfgasvolumen oder unter Berücksichtigung einer gewählten Zeitdifferenz der Prüfgasmassestrom bzw. Prüfgasvolumenstrom auf Basis der allgemeinen Gasgleichung bestimmbar ist.
Messvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Standeinrichtung (18) vorgesehen ist, mittels der der Messzylinder (12) in eine im Wesentlichen vertikale Lage positionierbar ist.
Messvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Messkolben (14) und Innenwandung des Zylindergehäuses (13) ein Dichtmittel zur gasdichten Abdichtung der Messkammer (20) vorgesehen ist.
Messvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass als Dichtmittel eine Sperrflüssigkeit vorgesehen ist, die bei vertikaler Anordnung des Messzylinders (12) unter Kapillarwirkung im Spalt zwischen Messkolben (14) und der Innenwandung verbleibt.
Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung eine über die Druck-Schnittstelle (27) am Messzylinder (12) ankoppelbare Druckmesseinrichtung (26) zur Bestimmung des im Kontrollvolumen vorherrschenden Drucks aufweist.
Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung eine über die Temperatur-Schnittstelle (31) am Messzylinder (12) ankoppelbare Temperaturmesseinrichtung (30) zur Bestimmung der Temperatur aufweist.
Messvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperaturmesseinrichtung (30) einen Temperaturfühler (32) aufweist, der in eine die Temperatur-Schnittstelle (31) bildende Fühleraufnahme am Messzylinder (12) einsetzbar oder eingesetzt ist.
Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionserfassungseinrichtung (22) berührungslos arbeitend ausgebildet ist.
Messvorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass als Positionierfassungseinrichtung (22) ein Interferometer, insbesondere Laser-Interferometer, vorgesehen ist.