DE102007031600A1 - Array aus vertikalen UV-Leuchtemitterdioden und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Array aus vertikalen UV-Leuchtemitterdioden und Verfahren zu seiner Herstellung Download PDFInfo
- Publication number
- DE102007031600A1 DE102007031600A1 DE102007031600A DE102007031600A DE102007031600A1 DE 102007031600 A1 DE102007031600 A1 DE 102007031600A1 DE 102007031600 A DE102007031600 A DE 102007031600A DE 102007031600 A DE102007031600 A DE 102007031600A DE 102007031600 A1 DE102007031600 A1 DE 102007031600A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- channels
- array
- polymer film
- emitting diodes
- semiconductor material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229920005570 flexible polymer Polymers 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims description 13
- PDZKZMQQDCHTNF-UHFFFAOYSA-M copper(1+);thiocyanate Chemical compound [Cu+].[S-]C#N PDZKZMQQDCHTNF-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 5
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 claims description 3
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000002090 nanochannel Substances 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/08—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a plurality of light emitting regions, e.g. laterally discontinuous light emitting layer or photoluminescent region integrated within the semiconductor body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/16—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous
- H01L33/18—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous within the light emitting region
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
Es
soll ein flexibles Array aus UV-Leuchtemitterdioden angegeben werden,
bei dem die als pn-Übergang einer Leuchtemitterdiode strukturierten Nanodrähte
sehr ähnliche Parameter aufweisen. Bei einem Array aus
vertikalen Leuchtemitterdioden mit einem pn-Heteroübergang
in Form von in eine isolierende organische Schicht eingebetteten
Nanodrähten ist erfindungsgemäß die organische
Schicht eine flexible Polymerfolie, das Array ohne Substrat flexibel
und der pn-Übergang ohne isolierende Zwischenschicht aus
zwei organischen Halbleitermaterialien oder einem organischen und
einem anorganischen Halbleitermaterial gebildet. Die Nanodrähte
sind durch Auffüllen von in die flexible Polymerfolie eingebrachten
Kanälen mit diesen Halbleitermaterialien erzeugbar. Zwischen der
Wandung der in die flexible Polymerfolie eingebrachten Kanäle
und dem erzeugten Nanodraht ist zusätzlich eine Licht leitende
Schicht angeordnet.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Array aus vertikalen UV-Leuchtemitterdioden und Verfahren zu seiner Herstellung.
- Dem Stand der Technik nach basieren bisher alle vertikalen UV-Leuchtemitterdioden in Form von Nanodrähten und angeordnet in einem Array auf frei stehenden Nanodrähten.
- So ist beispielsweise in Appl. Phys. Lett., Vol. 85, No. 24, pp.6004–6006, 13 December 2004 und in NANOLETTERS, 2005, Vol. 5, No. 10, pp. 2005–2008 ein Array mit Leuchtemitterdioden beschrieben, die als ZnO/Polymer-Heteroübergang in auf einem Substrat frei stehenden Nanodrähten erzeugt und anschließend in eine Polymerschicht eingebettet wurden. Die Heteroübergänge weisen herstellungsbedingt eine zusätzliche intrinsiche Schicht auf.
- Der Stand der Technik, von dem die Erfindung ausgeht, ist in
US 2005/0224790 A1 - Zwar ist bei dieser Lösung die Anordnung einer intrinsichen Schicht zwischen der p-leitenden Schicht und der n-leitenden Schicht des pn-Übergangs nicht mehr notwendig, jedoch ist auch dieses Leuchtemitterdioden-Array nicht flexibel.
- Allen bisher beschriebenen bekannten Lösungen ist weiterhin gemeinsam, dass durch das notwendige freie Aufwachsen der Nanodrähte auf ein Substrat und/oder ihrer Dotierung die Parameter der einzelnen Leuchtemitterdioden sehr schwanken.
- Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, ein flexibles Array aus UV-Leuchtemitterdioden anzugeben, bei dem die als pn-Übergang einer Leuchtemitterdiode strukturierten Nanodrähte sehr ähnliche Parameter aufweisen. Auch ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen flexiblen Leuchtemitterdioden-Arrays soll angegeben werden.
- Die Aufgabe wird durch ein Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass die organische Schicht eine flexible Polymerfolie ist, das Array ohne Substrat flexibel und der pn-Übergang ohne isolierende Zwischenschicht aus zwei organischen Halbleitermaterialien oder einem organischen und einem anorganischen Halbleitermaterial gebildet ist und die Nanodrähte durch Auffüllen von in die flexible Polymerfolie eingebrachten Kanälen mit diesen Halbleitermaterialien erzeugbar sind.
- Die selbst tragenden Polymerfolien, in die zunächst Kanäle eingebracht und dann mit Halbleitermaterial aufgefüllt werden, bilden die Grundlage für das erfindungsgemäße flexible Array aus einer Vielzahl von UV-Leuchtemitterdioden, wobei jede dieser LED unabhängig von den anderen arbeitet. Da die Kanäle, die mit Halbleitermaterial aufgefüllt werden und die Nanodrähte bilden, mit einem Verfahren bei konstanten Verfahrensparametern hergestellt werden, sind auch die Parameter der einzelnen LED sehr ähnlich und weisen geringere Abweichungen zueinander auf als in Arrays, die von frei stehenden Nanodrähten gebildet werden.
- In erfindungsgemäßen Ausführungen ist vorgesehen, dass das organische Halbleitermaterial für den n-Typ ZnO oder GaN und für den p-Typ dotiertes ZnO oder CuSCN oder dotiertes GaN oder ein organisches Material ist. In Abhängigkeit der Dicke der verwendeten Polymerfolie kann die Dicke des n- bzw. p-Typ Halbleitermaterials in den Kanälen zwischen einigen 100 nm und einigen 100 µm liegen.
- In anderen Ausführungsformen der Erfindung ist vorgesehen, dass der den pn-Übergang aufweisende Kanal einen Durchmesser von ca. 40 nm bis ca. 400 nm und die flexible Polymerfolie mit den den pn-Übergang aufweisenden Kanälen eine Dicke von ca. 1 µm bis ca. 25 µm aufweist.
- Je nach Anwendungsgebiet sind die in die flexible Polymerfolie eingebrachten Kanäle zylindrisch oder konisch ausgebildet.
- Zur besseren Führung des emittierten Lichtes zur Kathode und damit zur Verbesserung der Effizienz der einzelnen Leuchtemitterdioden ist zwischen der Wandung der in die flexible Polymerfolie eingebrachten Kanäle und dem aus Halbleitermaterial erzeugten Nanodraht eine sehr dünne Licht leitende Schicht aus einem organischen oder anorganischen Material in einer Dicke von einigen nm bis einige 10 nm angeordnet.
- Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines Arrays aus vertikalen Leuchtemitterdioden werden zunächst in eine flexible isolierende Polymerfolie durchgehende Kanäle eingebracht, diese Kanäle werden dann nacheinander mit n-leitendem anorganischen Halbleitermaterial und gleitendem anorganischen oder organischen Halbleitermaterial zur Bildung von Nanodrähten aufgefüllt und abschließend wird eine transparente Kathode auf das n-leitende Halbleitermaterial und eine Anode auf das p-leitende Halbleitermaterial aufgebracht. Die Form der Anode wird entsprechend der Anwendung ausgewählt.
- Die Kanäle in der Polymerfolie werden mittels Laserstrahl oder mittels Ionenstrahl oder mittels chemischen Ätzens erzeugt. Durch chemisches Ätzen in NaOH einseitig oder beidseitig kann beispielsweise eine zylindrische oder eine konische Form der Kanäle realisiert werden.
- In anderen Ausführungsformen ist vorgesehen, als n-leitendes Halbleitermaterial ZnO oder GaN und als p-leitendes Halbleitermaterial dotiertes ZnO oder dotiertes GaN oder CuSCN oder organisches Halbleitermaterial zu verwenden.
- Als Polymerfolie kann in Abhängigkeit von den verwendeten Temperaturen bei den folgenden Verfahrensschritten PET-Folie (< 100°C) oder PI-Folie (< 400°C), vorzugsweise mit einer Dicke von ca. 1 µm bis ca. 25 µm verwendet werden.
- Das Halbleitermaterial für den pn-Übergang wird mittels RF Plasmadeposition oder Sputtern oder elektrochemischer Deposition in die Kanäle eingebracht.
- In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird vor dem Aufbringen der transparenten Kathode und dem Auffüllen der Kanäle mit Halbleitermaterial auf deren Innenwand eine Licht leitende Schicht aus organischem oder anorganischem Material aufgebracht, vorzugsweise in einer Dicke von einigen nm bis einige 10 nm.
- Das Verfahren zur Herstellung eines flexiblen Arrays mit UV-Leuchtemitterdioden birgt keine technologisch schwierigen Verfahrensschritte in sich und verwendet preiswerte und nicht toxische Materialien, die eine kostengünstige Herstellung flexibler Arrays von UV-Leuchtemitterdioden ermöglichen.
- Die Erfindung soll in folgendem Ausführungsbeispiel anhand einer Zeichnung näher erläutert werden.
- Die Figur zeigt schematisch einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen flexiblen Arrays mit zwei vertikalen UV-Leuchtemitterdioden.
- Ein solches Array ist mit den folgenden Verfahrensschritten herstellbar:
In eine 8 µm dicke Polymerfolie1 , z. B. PET-Folie, werden durchgehende Nanokanäle2 mit einem Durchmesser von ca. 200 nm mittels Ionenstrahl erzeugt. Diese Folie1 mit den eingebrachten Kanälen2 bildet das Template für das flexible LED-Array mit einer LED-Dichte von etwa 107 bis 1010 cm–2. Zur Verbesserung des Wirkungsgrades wird in diesem Ausführungsbeispiel vor dem Aufbringen der transparenten Kathode4 eine 20 nm dicke Licht leitende Schicht3 aus TiO2 oder einem anderen Material mit großem Reflexionsindex auf die Wandung der Kanäle2 , beispielsweise mittels ILGAR(Ion Layer Gas Reaction)-Verfahren, aufgebracht. Nun wird eine transparente Kathode4 , beispielsweise aus einem der bekannten TCO-Materialien, in einer Dicke von einigen 100 nm auf eine Seite der Polymerfolie1 aufgebracht. Die transparente Elektrode4 schließt die mit der Licht leitenden Schicht3 versehenen Kanäle2 einseitig, die nunmehr mittels elektrochemischer Deposition zunächst mit n-leitendem ZnO5 in einer Höhe von ca. 1 µm und anschließend mit p-leitendem CuSCN6 vollständig gefüllt werden. Abschließend wird als Anodenschicht7 Ag oder wiederum ein TCO-Material in einer Dicke von einigen 10 nm bis einigen 100 nm abgeschieden. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- - US 2005/0224790 A1 [0004]
- Zitierte Nicht-Patentliteratur
-
- - Appl. Phys. Lett., Vol. 85, No. 24, pp.6004–6006, 13 December 2004 [0003]
- - NANOLETTERS, 2005, Vol. 5, No. 10, pp. 2005–2008 ein Array mit Leuchtemitterdioden [0003]
Claims (20)
- Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden mit einem pn-Heteroübergang in Form von in eine isolierende organische Schicht eingebetteten Nanodrähten, dadurch gekennzeichnet, dass die organische Schicht eine flexible Polymerfolie (
1 ) ist, das Array ohne Substrat flexibel und der pn-Übergang ohne isolierende Zwischenschicht aus zwei organischen Halbleitermaterialien oder einem organischen und einem anorganischen Halbleitermaterial gebildet ist und die Nanodrähte durch Auffüllen von in die flexible Polymerfolie (1 ) eingebrachten Kanälen (2 ) mit diesen Halbleitermaterialien erzeugbar sind. - Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Material für den n-Typ Halbleiter (
5 ) ZnO oder GaN ist. - Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Material für den p-Typ Halbleiter (
6 ) dotiertes ZnO oder CuSCN oder dotiertes GaN oder organisches Material ist. - Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der den pn-Übergang aufweisende Kanal (
2 ) einen Durchmesser von ca. 40 nm bis ca. 400 nm aufweist. - Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die flexible Polymerfolie (
1 ) mit den den pn-Übergang aufweisenden Kanälen (2 ) eine Dicke von ca. 1 µm bis ca. 25 µm aufweist. - Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die in die flexible Polymerfolie (
1 ) eingebrachten Kanäle (2 ) zylindrisch ausgebildet sind. - Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die in die flexible Polymerfolie (
1 ) eingebrachten Kanäle (2 ) konisch ausgebildet sind. - Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Wandung der in die flexible Polymerfolie (
1 ) eingebrachten Kanäle (2 ) und dem erzeugten Nanodraht eine Licht leitende Schicht (3 ) angeordnet ist. - Array aus vertikalen Leuchtemitterdioden nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Licht leitende Schicht (
3 ) eine Dicke von einigen nm bis einige 10 nm aufweist. - Verfahren zur Herstellung eines Arrays aus vertikalen Leuchtemitterdioden gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zunächst in eine flexible isolierende Polymerfolie durchgehende Kanäle eingebracht werden, diese Kanäle nacheinander mit p- und n-leitendem Halbleitermaterial zur Bildung von Nanodrähten aufgefüllt werden und abschließend eine transparente Kathode auf das n-leitende Halbleitermaterial und eine Anode auf das p-leitende Halbleitermaterial aufgebracht wird.
- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das die Kanäle in der Polymerfolie mittels Laserstrahl oder Ionenstrahl oder chemischen Ätzens erzeugt werden.
- Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Kanäle in der Polymerfolie mittels Ätzprozess in konischer Form erzeugt werden.
- Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das die Kanäle in der Polymerfolie mittels Ätzprozess in zylindrischer Form erzeugt werden.
- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Kanäle mit einem Durchmesser von ca. 40 nm bis ca. 400 nm in die Polymerfolie eingebracht werden.
- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass als n-leitendes Halbleitermaterial ZnO oder GaN verwendet wird.
- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass als p-leitendes Halbleitermaterial dotiertes ZnO oder dotiertes GaN oder CuSCN oder organisches Halbleitermaterial verwendet wird.
- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass als Polymerfolie PET-Folie oder PI-Folie mit einer Dicke von ca. 1 µm bis ca. 25 µm verwendet wird.
- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Halbleitermaterial mittels RF Plasmadeposition oder Sputtern oder elektrochemischer Deposition in die Kanäle eingebracht wird.
- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Aufbringen der transparenten Kathode und vor dem Auffüllen der Kanäle auf deren Innenwand eine Licht leitende Schicht aus organischem oder anorganischem Material aufgebracht wird.
- Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Licht leitende Schicht in einer Dicke von einigen nm bis einige 10 nm aufgebracht wird.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007031600.5A DE102007031600B4 (de) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | Array aus vertikalen UV-Leuchtemitterdioden und Verfahren zu seiner Herstellung |
PCT/DE2008/001108 WO2009006878A2 (de) | 2007-07-06 | 2008-07-02 | Array aus vertikalen uv-leuchtemitterdioden und verfahren zu seiner herstellung |
US12/666,161 US20110163308A1 (en) | 2007-07-06 | 2008-07-02 | Array of vertical uv light-emitting diodes and method for producing it |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007031600.5A DE102007031600B4 (de) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | Array aus vertikalen UV-Leuchtemitterdioden und Verfahren zu seiner Herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102007031600A1 true DE102007031600A1 (de) | 2009-01-15 |
DE102007031600B4 DE102007031600B4 (de) | 2015-10-15 |
Family
ID=40032726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102007031600.5A Expired - Fee Related DE102007031600B4 (de) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | Array aus vertikalen UV-Leuchtemitterdioden und Verfahren zu seiner Herstellung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110163308A1 (de) |
DE (1) | DE102007031600B4 (de) |
WO (1) | WO2009006878A2 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106384767B (zh) * | 2016-11-18 | 2019-07-09 | Tcl集团股份有限公司 | 量子点发光二极管及其制备方法与发光模组、显示装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005027201A1 (en) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Københavns Universitet | Method of fabrication and device comprising elongated nanosize elements |
US20050224790A1 (en) | 2004-04-07 | 2005-10-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Nanowire light emitting device and method of fabricating the same |
EP1748506A2 (de) * | 2005-07-30 | 2007-01-31 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Herstellungsmethode für eine Anzeigevorrichtung, damit hergestellte Anzeigevorrichtung und damit hergestellter Dünnfilmtransistor |
WO2007051888A1 (es) * | 2005-11-07 | 2007-05-10 | Consejo Superior De Investigaciones Científicas | Sistema de puntos orgánicos, su procedimiento de obtención y sus aplicaciones en la elaboración de dispositvos nanoscópicos |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6919119B2 (en) * | 2000-05-30 | 2005-07-19 | The Penn State Research Foundation | Electronic and opto-electronic devices fabricated from nanostructured high surface to volume ratio thin films |
TWI294636B (en) * | 2000-08-22 | 2008-03-11 | Harvard College | Doped elongated semiconductor articles, growing such articles, devices including such articles and fabricating such devices |
MXPA03008935A (es) * | 2001-03-30 | 2004-06-30 | Univ California | Metodos de fabricacion de nanoestructuras y nanocables y dispositivos fabricados a partir de ellos. |
WO2004010552A1 (en) * | 2002-07-19 | 2004-01-29 | President And Fellows Of Harvard College | Nanoscale coherent optical components |
US7067867B2 (en) * | 2002-09-30 | 2006-06-27 | Nanosys, Inc. | Large-area nonenabled macroelectronic substrates and uses therefor |
JP4235440B2 (ja) * | 2002-12-13 | 2009-03-11 | キヤノン株式会社 | 半導体デバイスアレイ及びその製造方法 |
US7605327B2 (en) * | 2003-05-21 | 2009-10-20 | Nanosolar, Inc. | Photovoltaic devices fabricated from nanostructured template |
JP2007501525A (ja) * | 2003-08-04 | 2007-01-25 | ナノシス・インコーポレイテッド | ナノワイヤ複合体およびこれらに由来する電子基板を作製するためのシステムおよび方法 |
US7132677B2 (en) * | 2004-02-13 | 2006-11-07 | Dongguk University | Super bright light emitting diode of nanorod array structure having InGaN quantum well and method for manufacturing the same |
KR100553317B1 (ko) * | 2004-04-23 | 2006-02-20 | 한국과학기술연구원 | 실리콘 나노선을 이용한 실리콘 광소자 및 이의 제조방법 |
US7400665B2 (en) * | 2004-11-05 | 2008-07-15 | Hewlett-Packard Developement Company, L.P. | Nano-VCSEL device and fabrication thereof using nano-colonnades |
US7960251B2 (en) * | 2005-12-01 | 2011-06-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for producing nanowires using a porous template |
FR2923602B1 (fr) * | 2007-11-12 | 2009-11-20 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur de rayonnement electromagnetique a thermometre a nanofil et procede de realisation |
-
2007
- 2007-07-06 DE DE102007031600.5A patent/DE102007031600B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-07-02 US US12/666,161 patent/US20110163308A1/en not_active Abandoned
- 2008-07-02 WO PCT/DE2008/001108 patent/WO2009006878A2/de active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005027201A1 (en) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Københavns Universitet | Method of fabrication and device comprising elongated nanosize elements |
US20050224790A1 (en) | 2004-04-07 | 2005-10-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Nanowire light emitting device and method of fabricating the same |
EP1748506A2 (de) * | 2005-07-30 | 2007-01-31 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Herstellungsmethode für eine Anzeigevorrichtung, damit hergestellte Anzeigevorrichtung und damit hergestellter Dünnfilmtransistor |
WO2007051888A1 (es) * | 2005-11-07 | 2007-05-10 | Consejo Superior De Investigaciones Científicas | Sistema de puntos orgánicos, su procedimiento de obtención y sus aplicaciones en la elaboración de dispositvos nanoscópicos |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Appl. Phys. Lett., Vol. 85, No. 24, pp.6004-6006, 13 December 2004 |
NANOLETTERS, 2005, Vol. 5, No. 10, pp. 2005-2008 ein Array mit Leuchtemitterdioden |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009006878A3 (de) | 2009-07-23 |
WO2009006878A2 (de) | 2009-01-15 |
US20110163308A1 (en) | 2011-07-07 |
DE102007031600B4 (de) | 2015-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE112014002164B4 (de) | Anordnung, Verfahren zum Herstellen einer Anordnung und Array | |
DE112015006988T5 (de) | Quantenpunkt basierte optoelektronische Vorrichtung | |
DE112008003977T5 (de) | Solarzelle mit einer Quantenpunkt-Nanodraht-Anordnung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren | |
DE102011086168A1 (de) | Organisches licht emittierendes bauelement | |
DE102004041371A1 (de) | Aktiv-Matrix-Display auf der Basis organischer Leuchtdioden mit erhöhtem Füllfaktor | |
DE102005013580A1 (de) | Licht emittierendes Element | |
DE102005029268B4 (de) | Licht emittierendes Bauteil | |
DE112013001641T5 (de) | Solarzelle und Verfahren zum Herstellen einer Solarzelle | |
DE112007001232T5 (de) | Lichtemittierendes Halbleiterelement und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE112011104913T5 (de) | Optoelektronische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben | |
DE102010032497A1 (de) | Strahlungsemittierender Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines strahlungsemittierenden Halbleiterchips | |
DE102007018307A1 (de) | Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips | |
EP2643859A1 (de) | Verfahren zum herstellen eines optoelektronischen halbleiterchips und derartiger halbleiterchip | |
DE102007031600B4 (de) | Array aus vertikalen UV-Leuchtemitterdioden und Verfahren zu seiner Herstellung | |
WO2017129446A1 (de) | Konversionselement und strahlungsemittierendes halbleiterbauelement mit einem solchen konversionselement | |
DE112009004715T5 (de) | Verfahren zur Substratherstellung, bei dem Muster ausgebildet werden | |
DE112013000499T5 (de) | Strukturiertes Substrat mit starker Lichtextraktion | |
EP2342769B1 (de) | Organisches, strahlungsemittierendes bauelement und verfahren zur herstellung eines solchen | |
DE102018107615A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips und optoelektronischer Halbleiterchip | |
DE102010034904A1 (de) | Zweiseitige Solarzelle | |
DE19819259A1 (de) | Verfahren zur epitaktischen Herstellung von Halbleiter-Wachstumsinseln | |
WO2017121529A1 (de) | Elektronisches bauteil sowie verfahren zur herstellung eines elektronischen bauteils | |
DE102013110024B4 (de) | Strahlungsemittierendes Bauelement mit organischem Schichtenstapel | |
DE102015108826A1 (de) | Organisches lichtemittierendes Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines organisch lichtemittierenden Bauelements | |
DE102015107591A1 (de) | Optoelektronisches Halbleiterbauteil und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R084 | Declaration of willingness to licence | ||
R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0051520000 Ipc: H05B0033200000 |
|
R084 | Declaration of willingness to licence |
Effective date: 20140412 |
|
R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0051520000 Ipc: H05B0033200000 Effective date: 20140508 |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |