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Für
eine in Umgebungsatmosphäre angeordnete Reinraum-Bearbeitungsanlage
modularen Aufbaus für großflächige Substrate,
wie Flachbildschirme oder Solarkollektoren, wird ein Aufbau mit zwei über
eine Kupplungsvorrichtung zu verbindenden Modulen und mit Verlagerung
der Substrate längs einer Übergabeebene vorgesehen.
Diese Übergabeebene durchsetzt seitens der Kupplungsvorrichtung
und der an diese anzudockenden Module vorgesehene Übergabeöffnungen,
denen seitens der Kupplungsvorrichtung und auch der anzudockenden Module
Verschlusselemente zugeordnet sind. Zumindest eines der anzudockenden
Module ist durch Verlagerung parallel zur Übergabeebene
dichtend an die Kupplungsvorrichtung anzudocken und weist mehrere übereinander
liegende, zueinander lagefeste und voneinander getrennte, in sich
geschlossene Kammern auf, von denen jede mit einer Übergabeöffnung
mit Verschlusselement versehen ist und die durch Hubverstellung
des anzudockenden Modules jeweils in die Übergabeebene
zur der Kupplungsvorrichtung zugeordneten Übergabeöffnung
einzufahren ist.
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Damit
ergibt sich ein hubverstellbares und zum Andocken in seiner Gesamtheit
längs der Übergabeebene verstellbares Modul, das
einfach aufgebaut ist und bezüglich seiner Kammern jeweils,
für die Kammern unabhängig voneinander, auf ein
gewünschtes Unter druckniveau zu evakuieren ist, wobei die
Möglichkeit besteht, die Unterdruckanschlüsse
der Kammern gemeinsam an eine Unterdruckquelle anzuschließen
und den Kammern jeweils einen gesonderten ventilgesteuerten Versorgungsanschluss
zuzuordnen.
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Ein
solcher Aufbau eines Modules ist insbesondere für Eingabe-Ausgabemodule
von Vorteil, wobei jeder der Kammern des Modules eine über
ein Ventilglied verschließbare Eingabe-Ausgabeöffnung zugeordnet
ist.
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Damit
ist es möglich, seitens des Eingabe-Ausgabemodules in den
Kammern völlig unabhängig voneinander jeweils
gewünschte atmosphärische Bedingungen aufzubauen
und diese bei angedockter Kupplungsvorrichtung auch auf die Kupplungsvorrichtung
zu erstrecken, wobei es im Rahmen der Erfindung vorteilhaft ist,
auch die Kupplungsvorrichtung selbst mit einer Unterdruckquelle,
bevorzugt mit der auch für das anzudockende Eingabe-Ausgabemodul
verwendeten Unterdruckquelle, zu verbinden.
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Damit
sind die Voraussetzungen geschaffen, bezogen auf ein nachgeordnetes,
an die Kupplungsvorrichtung gegenüberliegend zum Eingabe-Ausgabemodul
anzudockendes Modul, bevorzugt ein Transfermodul, angepasste atmosphärische
Bedingungen zu schaffen, die seitens des Transfermodules beispielsweise
und bevorzugt bereits darauf abgestimmt werden können,
welche atmosphärischen Bedingungen seitens eines über
das Transfermodul zu beliefernden Prozessmodules gefordert sind.
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Als
den Übergabeöffnungen der Module auf die Kupplungsvorrichtung
zugeordnete Verschlusselemente finden im Rahmen der Erfindung bevorzugt Verschlussdeckel
Verwendung, über die sich im Wesentlichen nur haftend,
beispielsweise magnetkraftunterstützt die jeweilige Übergabeöffnung
verschließen lässt und die bei an die dazwischen
liegende Kupplungsvorrichtung angedockten Modu len durch seitens
der Kupplungsvorrichtung vorgesehene, deren Übergabeöffnungen
zugeordnete verschwenkbare Klappen über die Klappen tragend
erfasst und mit den Klappen in eine die Übergabeöffnungen
freigebende Schwenklage verbracht werden können.
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Dies
führt zu einem trotz der Größe der Übergabeöffnungen
verhältnismäßig einfachen Aufbau der
jeweiligen Verschlusselemente, wobei sich auch deren Steuerung vereinfacht,
da für die den Modulen zugeordneten, als abnehmbare Deckel
ausgebildeten Verschlusselemente keine eigenständigen Betätigungsvorrichtungen
erforderlich sind. Insbesondere können bei einer derartig
gestalteten Kupplungsvorrichtung mit deren einander gegenüberliegenden Übergabeöffnungen
zugeordneten Schwenkklappen diese in ihrer Schließlage
auch gegeneinander abgestützt und damit auf ihre Schließrichtung
vorgespannt werden, was sich mit einem schieberähnlichen,
zwischen die in Schließlage befindlichen Schwenkklappen
einzuschiebenden, keilförmigen Abstützelement in
einfacher Weise erreichen lässt, wobei im Sinne der Aufrechterhaltung
einer Reinraumatmosphäre auf eine kontaktierende Abstützung
insbesondere dann verzichtet werden kann, wenn die erforderlichen
Abstützkräfte berührungsfrei, so zum
Beispiel auf magnetischer Basis aufgebracht werden. Dies ist insbesondere
mittels Permanentmagneten möglich, die seitens des schieberartigen,
insbesondere keilförmigen Abstützelementes und
der Schwenkklappen bei gegeneinander gerichteten gleichen Polen angeordnet
sind.
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Bei
einem Grundaufbau der vorgeschilderten Art mit in Erstreckungsrichtung
der Übergabeebene feststehend angeordneter Kupplungsvorrichtung
und gegen die Kupplungsvorrichtung von einander gegenüberliegenden
Seiten durch Verschiebung längs der Übergabeebene
andockbaren Modulen lässt sich somit in einfacher Weise
und mit hoher Variabilität eine Reinraum-Bearbeitungsanlage
aufbauen, bei der in Reihe zum Eingabe-Ausgabemodul die Prozessmodule
angeordnet sind, und zwar mit auf Höhe der Übergabeöffnungen
der Kupplungsvorrichtung liegenden Übergabeöffnungen,
so dass unter Nutzung der zum Andocken des Transfermodules an der Kupplungsvorrichtung
gegebenen Verlagerbarkeit des Transfermoduls quer zu dessen Verfahrrichtung längs
der Übergabeebene das Transfermodul auch an die Prozessmodule
anzudocken ist, wobei die Prozessmodule bevorzugt lagefest jeweils
mit einer im Übergang auf das anzudockende Prozessmodul liegenden
eigenständigen Kupplungseinrichtung verbunden sind, die
bei angedocktem Transfermodul wiederum Träger für
den der Übergabeöffnung des Transfermoduls zugeordneten
Deckel sein kann.
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Im
Rahmen der Erfindung liegt eine weitere Ausgestaltung einer in Umgebungsatmosphäre
angeordneten Reinraum-Bearbeitungsanlage, die mit gleichen Grundelementen
arbeitet, nämlich mit anzudockenden Modulen, Kupplungsvorrichtungen
und einem Transfermodul, bei der aber das Transfermodul zwischen
beiderseits längsseits desselben angeordneten und bezogen
auf das dazwischen liegende Transfermodul einander gegenüberliegenden
anzudockenden Modulen liegt, also zwischen den anzudockenden Modulen
und dem Transfermodul jeweils eine Kupplungseinrichtung vorgesehen
ist. Ein derartiger Grundaufbau ermöglicht insbesondere
dann, wenn in den beiderseits des Transfermoduls liegenden Modulreihen
im Wesentlichen gleiche Prozessabläufe aufeinander folgend
abgewickelt werden, besonders kurze Durchlaufzeiten bei einem verbilligten
Gesamtaufbau, wenn das Transfermodul einen Einsatz mit mehreren übereinander
liegenden Substratauflagen aufweist und wenn der Einsatz zur Verstellung
der Substratauflagen in eine jeweilige Überdeckungslage
zu einer Übergabeöffnung bzw. in die dieser Übergabeöffnung
zugeordnete Übergabeebene verlagerbar ist, so dass angedockte
Module beider Modulreihen bei gleicher Stellung des Transfermodules
und im gleichen Zeitbereich bedient werden können.
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Bevorzugt
können bei einer derartigen Lösung mit beiderseits
zum Transfermodul bzw. zur Führungsbahn des Transfermoduls
liegenden, über Kupplungseinrichtungen durch Querversatz
an das Transfermodul anzudockenden Modulen die Modulreihen jeweils
ein Eingabe-Ausgabemodul aufweisen und die einander gegenüberliegenden
Eingabe-Ausgabemodule zueinander höhenversetzt liegende Übergabeöffnungen
aufweisen, wobei jeder dieser Übergabeöffnungen
mindestens zwei bevorzugt zwei eine Auflagegruppe bildende Substratauflagen
des Einsatzes des Transfermodules zugeordnet sind. Damit sind bei
höhenversetzt zueinander liegenden Übergabeöffnungen
des Transfermodules und in entsprechender Höhe liegenden Übergabeöffnungen der
Kupplungsvorrichtungen, welche durch Höhenverstellung der
Eingabe-Ausgabemodule mit jeweils korrespondierenden Übergabeöffnungen
einander entsprechender Kammern der Eingabe-Ausgabemodule zu verbinden
sind, die einander entsprechenden Kammern jeweils gleichzeitig zu
beschicken oder zu entladen. Durch die magazinartige Ausbildung
und die Höhenverstellbarkeit des Einsatzes sind somit gleichzeitige
Arbeitsabläufe ermöglicht, wobei die Substratauflagen
bevorzugt als Transportauflagen ausgebildet sind, die einen Versatz
der Substrate durch die Kupplungsvorrichtungen hindurch in die Eingabe-Ausgabemodule
bzw. aus diesen in das Transfermodul ermöglichen.
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Bevorzugt
ist der Einsatz innerhalb eines Traggerüstes ausgestaltet,
das gegenüber dem umschließenden Gehäuse
des Transfermoduls hubverstellbar ist, so dass von den einer Auflagegruppe
des Einsatzes zugehörigen Substratauflagen, bei gleichzeitiger
Hubverstellung, jeweils eine in ihre zur entsprechenden Übergabeebene
korrespondierende Hublage verstellbar ist.
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In
Verbindung mit einer solchen Ausgestaltung des Transfermodules liegen
die Übergabeöffnungen der in Reihe zu jeweils
einem der bezogen auf das Transfermodul einander gegenüberliegenden Eingabe-Ausgabemodule
angeordneten Prozessmodule entsprechend höhenversetzt,
derart, dass sich entsprechend dem Höhenversatz der Übergabeöffnung
des Transfermodules höhenversetzte Übergabeebenen
ergeben. Bezogen auf gleich aufgebaute, entsprechend der Erfindung
gestaltete mehrkammerige Eingabe-Ausgabemodule lässt sich
dies bei gleicher Gestaltung der Eingabe-Ausgabemodule durch entsprechend
höhenversetzte Anordnung der Eingabe-Ausgabemodule erreichen.
Diese Möglichkeit besteht auch hinsichtlich einander entsprechender,
verschiedenen Seiten der Führungsbahn des Transfermodules
zugeordneter und bezüglich ihrer Übergabeöffnungen
höhenversetzter Prozessmodule.
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In
Verbindung mit der Versorgung von beiderseits der Führungsbahn
des Transfermodules angeordneten anzudockenden Modulen, wie Eingabe-Ausgabemodulen
und Prozessmodulen, erweist es sich als zweckmäßig,
wenn sowohl die jeweils anzudockenden Module wie auch die zwischen
diesen Modulen und dem Transfermodul liegenden Kupplungsvorrichtungen
zum Andocken in Richtung der Führungsebene gegen das Transfermodul
verlagerbar sind, so dass sich ein Aufbau ergibt, bei dem das Transfermodul,
bei in diesem in der Höhe zu verstellenden Einsatz mit
Substratauflagen, lediglich in Längsrichtung verfahrbar
ist, bei dem ferner die Kupplungsvorrichtung und das Eingabe-Ausgabemodul
eigenständige Baueinheiten bilden, von denen entsprechend
der gekammerten Ausführung des Eingabe-Ausgabemodules dieses
in der Hublage wie auch quer hierzu in Richtung der jeweiligen Übergabeebene
verstellbar ist und bei dem für die Kupplungsvorrichtung
zumindest eine Verstellbarkeit in Richtung der jeweiligen Übergabeebene
gegeben ist, wobei auch für die Kupplungsvorrichtung eine
Verstellbarkeit in Hubrichtung in Anpassung an unterschiedliche
Höhenlagen von Übergabeebenen zweckmäßig
sein kann.
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Weitere
Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen.
Ferner wird die Erfindung nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen
näher erläutert. Es zeigen:
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1 bis 4 verschiedene,
im Ablauf aufeinander folgende Arbeitssituationen einer in Umgebungsatmosphäre
angeordneten Reinraum-Bearbeitungsanlage, die ein längs
einer Führungsbahn verfahrbares Transfermodul aufweist,
dem in Übergang zu einem längsseitlich angeordneten
Eingabe-Ausgabemodul eine Kupplungsvorrichtung zugeordnet ist, und
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5 bis 8 eine
weitere, in Umgebungsatmosphäre angeordnete Reinraum-Bearbeitungsanlage,
dargestellt in mehreren, im Ablauf aufeinander folgenden Arbeitssituationen,
wobei ein längs einer Führungsbahn verfahrbares
Transfermodul zwischen längsseitlich über Kupplungsvorrichtungen
anzudockenden Modulen liegt, wobei zwei einander gegenüberliegende
Module als Eingabe-Ausgabemodule dargestellt sind und das Transfermodul
zu den längsseitlich anzudockenden Modulen auf verschiedener
Höhe liegende Übergabeöffnungen aufweist und
mit einem hubverstellbaren, mehrere Substratauflagen aufweisenden
Einsatz versehen ist.
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In
dem gemäß 1 bis 4 in
verschiedenen, im Ablauf aufeinander folgenden Arbeitssituationen
dargestellten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen,
in Umgebungsatmosphäre angeordneten Reinraum-Bearbeitungsanlage
modularen Aufbaus ist eine Transfervorrichtung 1 vorgesehen, die
eine Führungsbahn 2 für ein Transfermodul 3 aufweist,
das längs der Führungsbahn 2 verfahrbar
ist. Die Führungsbahn 2 ist veranschaulicht durch
einen Gleisstrang mit zwei parallel verlaufenden Schienen 4,
auf denen die Räder 6 eines Schienenwagens 5 laufen,
zu dem das Transfermodul 3 in Verfahrrichtung lagefest
und quer hierzu wegbegrenzt verlagerbar abgestützt ist.
Die Führungsbahn kann auch in anderer Weise ausgebildet
sein, beispielsweise als berührungsfrei arbeitende Führungsbahn
mit magnetischer Abstützung und Linearantrieb.
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Die
querbewegliche Abstützung des Transfermoduls 3 zum
Schienenwagen 5 ist durch eine Rollenführung 7 symbolisiert.
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Das
Transfermodul 3 ist im Wesentlichen lediglich in seinen
Umrissen gezeigt und weist an seiner einen Längsseite 8 eine Übergabeöffnung 9 auf, der
als Verschlusselement 10 ein abnehmbarer Deckel zugeordnet
ist. Im Bereich der Übergabeöffnung 9 liegt
eine Übergabeebene 11, längs derer Substrate – wie
Flachbildschirme oder Solarkollektoren, also Gegenstände
erheblicher Größe und erheblichen Gewichtes – verlagerbar
sind, und zwar zwischen einem längsseitlich zur Transfervorrichtung 1 liegenden
Modul 12 und dem Transfermodul 3.
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Im Übergang
zwischen dem Modul 12, das als Eingabe-Ausgabemodul dargestellt
ist und nachfolgend zur Verdeutlichung als Eingabe-Ausgabemodul
bezeichnet wird, und dem Transfermodul 3 liegt eine Kupplungsvorrichtung 13 als
Verbindungsglied, die ebenfalls von der Übergabeebene 11 durchsetzte Übergabeöffnungen 14, 15 aufweist
und deren Übergabeöffnungen 14, 15 durch
in den Innenraum 16 der Kupplungsvorrichtung 13 einschwenkbare
Klappen 17, 18 verschlossen sind.
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Das
Eingabe-Ausgabemodul 12 weist zwei übereinander
liegende Kammern 19, 20 zur Aufnahme von Substraten
auf. Jede der in sich geschlossenen atmosphärisch unabhängig
einstellbaren Kammern 19, 20 ist auf ihrer der
Kupplungsvorrichtung 13 zugewand ten Seite mit einer Übergabeöffnung 21, 22 versehen,
die durch einen Deckel 23, 24 verschlossen ist.
Insgesamt ist das Eingabe-Ausgabemodul 12 mit seinen Kammern 19, 20 über
eine Hubvorrichtung 25 höhenverstellbar, die durch
teleskopisch ausfahrbare Stellzylinder 26 symbolisiert
ist, welche einen Hubtisch 27 tragen, auf dem das anzudockende
Modul 12 gegen die Kupplungsvorrichtung 13 parallel zur Übergabeebene 11,
und damit längs der Übergabeebene 11 über
eine Rollenführung 40 verstellbar ist.
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Den Übergabeöffnungen 21, 22 gegenüberliegend
sind den Kammern 19, 20 Eingabe-Ausgabeöffnungen 28, 29 zugeordnet,
die jeweils über ein Ventilglied 30, 31 verschließbar
sind. Die Kammern 19, 20 wie auch der Innenraum 16 der
Kupplungsvorrichtung 13 sind an eine Unterdruckquelle,
symbolisch bei 32 als Druckkessel dargestellt, angeschlossen,
wobei die im Hinblick auf die Hubverstellbarkeit des Eingabe-Ausgabemoduls 12 längenveränderliche
Anschlussverbindung 33 der Kammern 19, 20 zur
Unterdruckquelle 32 einen teleskopisch ausfahrbaren Rohrabschnitt 34 und
im Bereich des Überganges zum Hubtisch 27 einen
Balgabschnitt 35 aufweist, der als bewegliches Verbindungsglied
die Verfahrbarkeit des Eingabe-Ausgabemodules 12 gegenüber
dem Hubtisch 27 ermöglicht. Im Übergang
auf die Kammern 19, 20 liegt in der Anschlussverbindung jeweils
ein Ventil 36 bzw. 37, das bevorzugt als 2/2-Wegeventil
ausgebildet ist und über das der Unterdruckaufbau in den
Kammern 19, 20 zu steuern ist.
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Die
Kupplungsvorrichtung 13 kann ebenfalls höhenverstellbar
angeordnet sein, um bei mehreren in den Kammern 19, 20 bzw.
im Transfermodul 3 vorgesehenen, höhenbeabstandeten
Auflageebenen bezogen auf die dadurch bedingte Lage der Übergabeebene
eine Justierung vorzunehmen.
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Die
Schwenkklappen
17,
18 der Kupplungsvorrichtung
13 sind
aus der in
1 gezeigten Schließlage,
wie in
2 veranschaulicht, in eine den Übergabeweg
freigebende Öffnungslage verschwenkbar, also in eine Lage,
in der sie den Übergangsquerschnitt zwischen den Übergabeöffnungen
14,
15 freigeben
und ferner in ihrer in
1 gezeigten Schließlage über
ein keilförmiges Abstützelement, hier in Form
eines zwischen die Schwenkklappen
16,
17 einfahrbaren
Schließstempels
38, verriegelbar, wobei über
den Schließstempel
38 eine wechselseitige Abstützung
der Schwenkklappen
16,
17 bevorzugt berührungsfrei
dadurch erfolgt, dass der Schließstempel
38 und
die Schwenkklappen
14,
15 in einander gegenüberliegenden
Bereichen mit Permanentmagneten bestückt sind, deren gleiche
Pole einander zugewandt sind. Der Schließstempel
38 ist über
eine Stellvorrichtung
39 hubverstellbar. Der Aufbau einer
derartigen Kupplungsvorrichtung
13 ist mit weiteren Details
in der
deutschen Patentanmeldung 10
2005 040 741.2 der Anmelderin näher beschrieben,
auf die ausdrücklich Bezug genommen wird.
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Insbesondere
in letzterer Patentanmeldung ist auch ausführlich dargestellt
und beschrieben, dass bei gegen die Kupplungsvorrichtung 13 quer
zur Führungsbahn 2 verlagertem und an die Kupplungsvorrichtung 13 angedocktem
Transfermodul 3 sowie – bei entgegengesetzter
Stellrichtung – angedocktem, insbesondere als Eingabe-Ausgabemodul
ausgestaltetem Modul 12 die jeweils längs der Übergabeebene 11 einander
gegenüberliegenden, abnehmbaren Deckel 9 und 22,
bzw. 9 und 23 in Überdeckung zu den Schwenkklappen 17, 18 liegen
und mit den Schwenkklappen 17, 28, insbesondere
haftend, sei es durch Unterdruck oder magnetisch, verbunden werden,
derart, dass die Schwenkklappen 17 bzw. 18 Träger
des jeweiligen Deckels 9 bzw. 23 oder 24 sind und
die Deckel getragen über die jeweilige Schwenkklappe 17, 18 in
eine den Durchgangsweg zwischen den Übergabeöffnungen 14, 15 freigebende
Schwenklage verbracht werden.
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Die
jeweils durch Verlagerung quer zur Führungsbahn 2 sowie
quer und längs zur Übergabeebene 11 erreichbaren
Lagen des längs der Führungsbahn 2 verfahrbaren
Transfermodules 3 und des hubverstellbaren Eingabe-Ausgabemoduls 12 sind
in den 1 bis 4 dargestellt. Hierbei kann
durch eine im Vergleich zu den Hubwegen des Eingabe-Ausgabemoduls 12 geringe
Hubverstellung der Kupplungsvorrichtung 13 auch eine Lageanpassung der Übergabeebene
an in der Höhenlage zueinander abgesetzte, im Transfermodul
feststehende Substratauflagen (nicht dargestellt) erfolgen.
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Die
Substratauflagen des Transfermodules 13 sind bevorzugt
derart gestaltet, dass über diese auch die notwendige Verlagerung
der Substrate erfolgen kann, beispielsweise durch Gestaltung der Substratauflagen
als Transportbänder, ausfahrbare Transportpaddel oder dergleichen.
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Während
bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 1 bis 4 davon
ausgegangen ist, dass die Bearbeitungsanlage aus einer Transfervorrichtung 1 mit
einem längs einer Führungsbahn 2 verfahrbaren
Transfermodul 3 aufgebaut ist und lediglich einerseits
der Führungsbahn 2 längs derselben Elemente
der Bearbeitungsanlage vorgesehen sind, nämlich ein Eingabe-Ausgabemodul 12,
in Reihe zu diesem Eingabe-Ausgabemodul 12 längs
der Führungsbahn 2 liegende, nicht dargestellte
Prozessmodule und in der Verbindung zwischen dem Transfermodul 3 und
dem Eingabe-Ausgabemodul 12 sowie den Prozessmodulen liegende
Kupplungseinrichtungen, von denen lediglich eine zwischen dem Transfermodul 3 und
dem Eingabe- und Ausgabemodul 12 liegende als Kupplungsvorrichtung 13 dargestellt
ist, ist beim Ausführungsbeispiel gemäß 5 bis 8 ein
im wesentlichen zur Transfervorrichtung 51 gespiegelter
Aufbau der Bearbeitungsanlage vorgesehen. Dementsprechend kann bei
diesem Ausführungsbeispiel durch Verstellung der Transfervorrichtung 51 quer
zur Führungsbahn 2 das Transfermodul 52 nicht
gleichzeitig an die beiderseits der Führungsbahn 2 liegenden
Kupplungsvorrichtungen 53, 54 angedockt werden.
Es ist somit eine Verstellung der Kupplungsvorrichtungen 53, 54 sowie
der ausgehend von dem Transfermodul 52 nachgeordneten Eingabe-Ausgabemodule 55, 56 vorgesehen,
wie die 5 bis 8 veranschaulichen.
Auch die Kupplungsvorrichtungen 53, 54 sind somit
gegenüber einem Hubtisch 57, 58 quer
zur Führungsbahn 2 verlagerbar, wobei zusätzlich
auch eine Hubverstellbarkeit der Kupplungsvorrichtungen 53, 54 vorgesehen
ist, die ansonsten in ihrem Aufbau jenen gemäß 1 bis 4 entsprechen,
weswegen über die 1 bis 8 durchlaufend
für gleiche oder entsprechende Teile gleiche Bezugszeichen
verwendet sind.
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Abweichend
vom Ausführungsbeispiel gemäß 1 bis 4 ist
das Transfermodul 52 mit einem Einsatz 59 versehen,
der mehrere übereinander liegende Substratauflagen, im
Ausführungsbeispiel Substratauflagen 60 bis 63 aufnimmt,
die übereinander liegen und von denen je zwei, nämlich
die Substratauflagen 60 und 61 sowie die Substratauflagen 62 und 63 eine
Auflagegruppe 64 bzw. 65 bilden. Jede dieser Auflagegruppen 64, 65,
die grundsätzlich auch mehr als zwei Substratauflagen umfassen
können, ist mit jeder ihrer Substratauflagen 60, 61 bzw. 62, 63 in
eine zu einer Übergabeebene 66 bzw. 67 korrespondierende
Hublage verstellbar, und zwar durch gemeinsame Hubverstellung – Stellvorrichtung 71 – des Einsatzes 59.
Entsprechend weist das Transfermodul 52 in seinem Gehäuse 68 Übergabeöffnungen 69, 70 auf,
die zueinander höhenversetzt liegen, wobei auch die Kupplungsvorrichtungen 53, 54 mit
den nachgeordneten Eingage-Ausgabemodulen 55, 56 eine
entsprechende Höhenlage einnehmen, bzw. bezüglich der
Kammern 19, 20 der Eingabe-Ausgabemodule 55, 56 in
eine entsprechende Höhenlage einstellbar sind. Bezogen
auf das Ausführungsbeispiel gemäß 5 bis 8 ist
die Anordnung der Kupplungsvorrichtung 54 und des Eingabe-Ausgabemoduls 56 dementsprechend
in der Höhenlage zur Kupplungsvorrichtung 53 und
dem Eingabe-Ausgabemodul 55 höhenversetzt, wie
auch die Übergabeebenen 66 und 67 veranschaulichen.
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Abweichend
vom Ausführungsbeispiel gemäß 1 bis 4 sind
sowohl die jeweilige Kupplungsvorrichtung 53 bzw. 54 wie
auch das jeweils nachgeordnete Eingabe-Ausgabemodul 55, 56 quer zur
Führungsbahn 2 verstellbar, wie aus den Zeichnungen
ersichtlich, wobei in der dadurch erreichten angedockten Position
wiederum Verhältnisse gegeben sind, wie sie bezüglich
der Herstellung der atmosphärisch geschlossenen Verbindung
längs der jeweiligen Übergabeebene für
die Übergabeebene 11 geschildert sind.
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Auch
beim Ausführungsbeispiel gemäß 5 bis 8 liegen
zum jeweiligen Eingabe-Ausgabemodul 55, 56 nicht
dargestellte Prozessmodule in Reihe und es liegen die Übergabeöffnungen
dieser nicht dargestellten Prozessmodule im Rahmen der Erfindung
bevorzugt in Höhe der jeweiligen Übergabeebene 66 bzw. 67,
so dass sich auch bezüglich der jeweils in Reihe liegenden,
nicht dargestellten Prozessmodule eine gleichzeitige Beschickungsmöglichkeit
für einander bezogen auf die Führungsbahn 2 gegenüberliegende
Prozessmodule ergibt.
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Ein
derartiger Aufbau einer Bearbeitungsanlage erweist sich insbesondere
unter Raum- und Kostenaspekten wie auch unter Aspekten eines hohen
Substratdurchsatzes im Hinblick auf Bearbeitungsanlagen als zweckmäßig,
bei denen sich für rechtsseitig und linksseitig der Führungsbahn 2 liegende,
einander gegenüberliegende Prozessstationen im Prozess
einander entsprechende, oder zumindest in gleicher Größenordnung
liegende Durchlaufzeiten, bezogen auf die jeweiligen Prozessstationen,
ergeben, wobei es insbesondere zweckmäßig ist,
wenn auch atmosphärisch entsprechende oder zueinander passende
Anforderungen bestehen, so dass der Einsatz 59 bezüglich
der Gliederung der Substratauflagen 60, 61 bzw. 62, 63 in
Auflagegruppen 64, 65 keiner atmosphärischen
Abgrenzung bedarf.
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Dargestellt
ist der Einsatz 59 mit den Auflagegruppen 64 und 65 derart,
dass die Auflagegruppen 64 bzw. 65 in der Höhenlage
auf die Übergabeöffnung 69 bzw. 70 auszurichten
sind, entsprechend den Übergabeebenen 66 bzw. 67.
Die jeweiligen Substratauflagen 60 bis 63 sind
dargestellt als längs Führungen des Einsatzes 59 ausfahrbare,
die Substrate 60 bis 61 tragende Paddel, über
die die Substrate auf das jeweilige Eingabe- bzw. Ausgabemodul 55, 56 bzw.
in Reihe zu diesem Eingabe- bzw. Ausgabemodul liegende Prozessmodule
verlagerbar ist, wenn das Transfermodul 52 in eine entsprechende Übergabelage
längs der Führungsbahn 2 eingefahren
ist.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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