DE102007007356B4

DE102007007356B4 - Hochfrequenzschaltung, Standardzelle, Entwurfsystem und Testverfahren

Info

Publication number: DE102007007356B4
Application number: DE200710007356
Authority: DE
Inventors: Johann Peter Forstner
Original assignee: Infineon Technologies AG
Current assignee: Infineon Technologies AG
Priority date: 2007-02-14
Filing date: 2007-02-14
Publication date: 2009-01-15
Anticipated expiration: 2027-02-15
Also published as: DE102007007356A1; US8977210B2; US20080194206A1

Abstract

Hochfrequenzschaltung (5), umfassend:
– eine Signalverarbeitungseinheit (10) zur Verarbeitung eines symmetrischen Eingangssignals,
– zwei Signaleingänge (20, 30) zur Aufnahme des symmetrischen Eingangssignals,
– einen als Massepunkt für das symmetrische Signal dienenden Anschluss (40),
– eine die Signaleingänge verbindende Leitung (50) mit einer Länge, die einem ungeradzahligen Vielfachen der halben Wellenlänge des Eingangssignals entspricht.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Hochfrequenzschaltung, die eine Signalverarbeitungseinheit zur Verarbeitung eines symmetrischen Eingangssignals umfasst, sowie auf ein Verfahren zum Testen dieser Hochfrequenzschaltung.
Ausführungsformen der Erfindung beziehen sich im Allgemeinen auf Hochfrequenzschaltungen und auf Verfahren zu deren Test.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Elektronische Bauteile und Chips werden während der Produktion oder im Anschluss an die Produktion getestet. Automatische Testvorrichtungen (automatic test equipment, ATE) können zum Beispiel dazu genutzt werden, um Chips oder elektronische Bauteile marginalen Tests, Parametertests oder Funktionstest zu unterziehen.
Zum Testen der Funktion von differentiellen integrierten Schaltungen wird im Allgemeinen ein symmetrisches (differentielles) Test-Eingangssignal benötigt, um die fehlerfreie Funktion der Schaltung zu testen. Insbesondere bei Schaltungen für den Höchstfrequenzbereich ab etwa 20 GHz tritt dabei das Problem auf, dass die Generierung entsprechender differentieller Testsignale wegen der sehr geringen Wellenlängen im Millimeterbereich technisch schwierig ist, denn auf Grund mechanischer Toleranzen und Fertigungstoleranzen kann die notwendige Phasendifferenz von 180 Grad häufig nicht sichergestellt werden. Entsprechende Geräte wie etwa Frequenzgeneratoren mit symmetrischem Ausgang sind zudem sehr kostenintensiv. Daher ist das Testen von Höchstfrequenzschaltungen mit differentiellen Eingang problematisch, was zudem in der mangelnden Verfügbarkeit von entsprechender Messtechnik wie differentiellen Messspitzen für den Frequenzbereich ab etwa 20 GHz begründet ist.
Die DE 40 27 686 A1 offenbart eine integrierte Schaltung aus zwei integrierten Schaltkreisen mit einer Anschlussklemmenstruktur für symmetrischen Betrieb. In der US 3 517 306 A und der US 4 943 955 A sind Testverfahren offenbart, die asymmetrische Testsignale verwenden.
Auf Grund der vorgenannten Schwierigkeiten werden derartige Höchstfrequenzschaltungen häufig mittels alternativer Verfahren getestet, etwa durch Messung von Gleichstrom- und Niederfrequenzeigenschaften. Diese Ergebnisse werden teilweise zusätzlich mit Daten der Überwachung des Herstellungsprozesses (Process Control Monitoring – PCM) korreliert. Bei solchen oder ähnlichen Verfahren findet jedoch keine Messung der eigentlichen Funktion der Bauteile statt. Daher führen sie in der Regel zu höheren Raten an nicht erkannten Fehlern als Tests, die die Funktion der Bauteile unter praxisnäheren Bedingungen betreffen.
Vor dem Hintergrund stetig steigender Qualitätsansprüche von Abnehmerkreisen sind daher kostengünstige Testverfahren wünschenswert, die eine hohe Fehlererkennungsrate durch funktionale Messung der Höchstfrequenzeigenschaften von Bauteilen ermöglichen.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Im Bezug hierauf ist eine Hochfrequenzschaltung gemäß dem unabhängigen Anspruch 1, eine Standardzelle gemäß dem unabhängi gen Anspruch 12, ein Entwurfssystem für den Entwurf von Hochfrequenzschaltungen gemäß dem unabhängigen Anspruch 23 und ein Verfahren zum Testen einer Hochfrequenzschaltung gemäß dem unabhängigen Anspruch 24 zur Verfügung gestellt.
Weitere Vorteile, Merkmale, Aspekte und Details ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den Figuren.
Gemäß einer ersten Ausführungsform ist eine Hochfrequenzschaltung zur Verfügung gestellt. Sie umfasst eine Signalverarbeitungseinheit zur Verarbeitung eines symmetrischen Eingangssignals, sowie zwei Signaleingänge zur Aufnahme des symmetrischen Eingangssignals und einen als Massepunkt für das symmetrische Signal dienenden Anschluss. Eine Leitung verbindet die Signaleingänge, deren Länge im Wesentlichen einem ungeradzahligen Vielfachen der halben Wellenlänge des Eingangssignals entspricht.
Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist eine Standardzelle zur Verwendung in einem Entwurfssystem für den Entwurf von Hochfrequenzschaltungen bereitgestellt. Die Standardzelle umfasst zwei Signaleingänge zur Aufnahme eines symmetrischen Eingangssignals, einen als Massepunkt für das symmetrische Signal dienenden Anschluss, sowie eine die Signaleingänge verbindende Leitung mit einer Länge, die im Wesentlichen einem ungeradzahligen Vielfachen der halben Wellenlänge des Eingangssignals entspricht.
Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist ein Entwurfssystem für den Entwurf von Hochfrequenzschaltungen bereitgestellt. Das Entwurfssystem umfasst eine Standardzellendatenbank zur Speicherung der Parameter von Standardzellen, wobei in der Standardzellendatenbank die Parameter einer erfindungsgemäßen Standardzelle gespeichert sind.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist ein Verfahren zum Testen einer Hochfrequenzschaltung, die eine Signalverarbeitungseinheit zur Verarbeitung eines symmetrischen Eingangssig nals aufweist, zur Verfügung gestellt. Das Verfahren umfasst die Schritte: Das Bereitstellen einer Hochfrequenzschaltung, das Anlegen eines asymmetrischen hochfrequenten Testsignals zwischen einem der Signaleingänge und dem als Massepunkt dienenden Anschluss, sowie das Messen einer Signalantwort der Hochfrequenzschaltung.
KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
Im Folgenden werden Ausführungsformen der Erfindung anhand von in den anhängenden Figuren gezeigten Ausführungsbeispielen beschrieben. Die Erfindung ist jedoch nicht auf die konkret beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt, sondern kann in geeigneter Weise modifiziert und abgewandelt werden. Es liegt im Rahmen der Erfindung, einzelne Merkmale und Merkmalskombination eines Ausführungsbeispiels mit Merkmalen und Merkmalkombinationen eines anderen Ausführungsbeispiels zu kombinieren.
1a–1c zeigen jeweils eine Hochfrequenzschaltung mit einer die Signaleingänge verbindenden Leitung gemäß hierin beschriebenen Ausführungsformen;
2 zeigt eine Hochfrequenzschaltung, wobei eine die Signaleingänge verbindende Leitung um einen Massepunkt herumgeführt ist, gemäß hierin beschriebenen Ausführungsformen;
3 zeigt einen Ausschnitt einer Hochfrequenzschaltung, wobei eine Unterbrechungseinheit vorgesehen ist, gemäß hierin beschriebenen Ausführungsformen;
4 zeigt einen weiteren Ausschnitt einer Hochfrequenzschaltung, wobei ein Schalter als Unterbrechungseinheit vorge sehen ist, der zwischen einem Anschluss-Pad eines Signaleingangs und der Leitung vorgesehen ist, gemäß hierin beschriebenen Ausführungsformen;
5 zeigt einen weiteren Ausschnitt einer Hochfrequenzschaltung, wobei eine Fuse als Unterbrechungseinheit vorgesehen ist, die zwischen einem Anschluss-Pad eines Signaleingangs und der Leitung vorgesehen ist, gemäß hierin beschriebenen Ausführungsformen;
6 zeigt eine schematische Darstellung eines Verfahrens zum Testen einer Hochfrequenzschaltung, die eine Signalverarbeitungseinheit zur Verarbeitung eines symmetrischen Eingangssignals aufweist, gemäß hierin beschriebenen Ausführungsformen.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen erläutert.
Um das Verständnis der Beschreibung zu vereinfachen, werden im Folgenden identische Referenznummern verwendet, wenn es sich um identische Elemente handelt, die gemeinsam in den Figuren verwendet werden. Es ist vorgesehen, dass Elemente in einer Ausführungsform auch in einer anderen Ausführungsform verwendet werden können, ohne dass dies jeweils einzeln erwähnt wird.
1a zeigt schematisch eine Ausführungsform einer Hochfrequenzschaltung 5. Die Hochfrequenzschaltung umfasst eine Signalverarbeitungseinheit 10 zur Verarbeitung eines symmetrischen Eingangssignals. Zwei Signaleingänge 20, 30 dienen zur Aufnahme des symmetrischen Eingangssignals. Ein Anschluss 40 dient als Massepunkt für ein symmetrisches Eingangssignal. Die beiden Signaleingänge 20, 30 sind über eine Leitung 50 verbunden, deren Länge im Wesentlichen einem ungeraden ganzzahligen (1, 3, 5, 7, etc.) Vielfachen der halben Wellenlänge λ des Eingangssignals entspricht (λ/2-Phasenleitung). Ferner umfasst die Hochfrequenzschaltung 5 einen oder mehrere Ausgänge (nicht abgebildet) für das durch die Signalverarbeitungseinheit verarbeitete Signal, welches als Ausgangssignal bezeichnet wird.
Die 1b und 1c zeigen weitere Ausführungsformen der Hochfrequenzschaltung 5. In 1b sind die beiden Signaleingänge 20, 30 und der Massepunkt 40 nach einem Schema Signaleingang 20 – Signaleingang 30 – Massepunkt 40 in einer Reihe angeordnet. 1c zeigt eine Ausführungsform, bei der mehrere Massepunkte 40 vorgesehen sind. Erfindungsgemäß sind verschiedenste Anordnungen eines oder mehrerer Massepunkte 40 in Relation zu den Signaleingängen 20, 30 möglich, wobei auch Ausführungen mit unterschiedlichen Formen und Größen der Massepunkte 40 möglich sind.
Durch die Verbindung der beiden Signaleingänge 20, 30 mit der Leitung 50 tritt ein Effekt ein, der die Anwendung eines vereinfachten Testverfahrens nach einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ermöglicht. Wird ein asymmetrisches Höchstfrequenz-Eingangssignal nur an einen der beiden Eingänge 20, 30 gegen den Massepunkt angelegt, so wird ein Teil dieses Signals über die Leitung 50 um 180° Grad phasenverschoben an den anderen Signaleingang geleitet. Dabei ist die Impedanz der Leitung von untergeordneter Bedeutung, solange ihre Länge den Phasenversatz von 180° Grad gewährleistet. Auf diese Weise wird aus einem asymmetrischen Eingangssignal ein quasi-symmetrisches Eingangssignal generiert. Folglich kann die Hochfrequenzschaltung mit einer kostengünstigen Testumgebung, nämlich einem asymmet rischen Signalgenerator und konventionellen Messspitzen, getestet werden.
In einem Ausführungsbeispiel der Erfindung weisen die beiden Signaleingänge 20, 30 jeweils eine Impedanz von 50 Ohm reell auf, was einer differentiellen Impedanz von 100 Ohm entspräche. Wird ein asymmetrisches Signal an einen der beiden Eingänge 20, 30 angelegt, so steht an dem Speisepunkt, zum Beispiel einer Messspitze, eine reelle Impedanz von 25 Ohm (single ended) an. Dabei ist die Anpassung mit einer Rückflussdämpfung von 10 dB als gut zu bezeichnen.
Wird die Hochfrequenzschaltung 5 im späteren bestimmungsgemäßen Betrieb mit einem symmetrischen/differentiellen Eingangssignal betrieben, hat die Leitung 50 keinen Einfluss auf die Funktion der Schaltung, weil der Kurzschluss in der Symmetrieebene durch je zwei λ/4-Leitungsstücke in jeweils einen Leerlauf an den beiden Signaleingängen 20, 30 transformiert wird.
Die Signaleingänge 20, 30 umfassen die Anschlusspads und die Signalleitungen 25, 35, welche die Anschlusspads mit der Signalverarbeitungseinheit 10 verbinden. Die die Signaleingänge verbindende Leitung 50 kann, wie in 1a gezeigt, direkt mit den Anschlusspads der Signaleingänge 20, 30 verbunden sein. Es ist jedoch auch möglich, dass die Leitung 50 die Signaleingänge 20, 30 verbindet, indem die Leitung 50 mit den Signalleitungen 25 bzw. 35 verbunden ist.
1a zeigt ebenfalls eine erfindungsgemäße Standardzelle 110, welche die Signaleingänge 20, 30 zur Aufnahme des symmetrischen Eingangssignals aufweist. Ein Anschluss 40 dient als Massepunkt für das symmetrische Eingangssignal. Die beiden Signaleingänge 20, 30 sind über eine Leitung 50 verbunden, deren Länge im Wesentlichen einem ungeraden ganzzahligen (1, 3, 5, 7, etc.) Vielfachen der halben Wellenlänge λ des Eingangssignals entspricht (λ/2-Phasenleitung). Bei dem Entwurf von integrierten Schaltungen werden häufig Entwurfssysteme verwendet, welche eine oder mehrere Datenbanken mit einer Vielzahl von Standardzellen aufweisen. In diesen Standardzellendatenbanken sind die entsprechenden Parameter der Standardzellen abgelegt und die Standardzellen können so effizient für den Entwurfsprozess eingesetzt werden.
In einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist der als Massepunkt dienende Anschluss 40 zwischen den beiden Signaleingängen 20, 30 angeordnet. Die Leitung 50 kann entlang der kürzest möglichen Verbindung zwischen den Signaleingängen geführt sein oder, wie in 2 dargestellt, in einem im Wesentlichen u- oder v-förmigen Verlauf um den Massepunkt herum geführt sein.
Wie oben beschrieben hat die Leitung 50 keinen signifikanten Einfluss auf das Verhalten der Hochfrequenzschaltung 5, wenn ein symmetrisches Eingangssignal angelegt wird. Daher besteht grundsätzlich keine Notwendigkeit, die Leitung 50 nach Durchführen der Tests zu entfernen. Ein Grund für die Entfernung der Leitung nach Durchführung der Tests kann darin bestehen, dass die Schaltung im späteren Betrieb mit Eingangssignalen mit deutlich unterschiedlichen Frequenzen gespeist werden soll. In diesem Fall entspräche die Länge der Leitung nicht für jede Frequenz einem ungeradzahligen Vielfachen von λ/2 und könnte daher zu unerwünschten Effekten beitragen. Daher ist es wünschenswert, in bestimmten Ausführungsformen ein Entfernen der Leitung 50 zu ermöglichen, beziehungsweise ihre Fähigkeit zur Signalleitung zu beenden oder zeitweise zu unterbrechen.
Zu diesem Zweck ist in der in 3 gezeigten Ausführungsformen eine Unterbrechungseinheit 60 vorgesehen, welche in einem ersten Zustand den Signalfluss über die Leitung 50 zwischen den beiden Signaleingängen 20, 30 ermöglicht und in einem zweiten Zustand den Signalfluss über die Leitung zwischen den beiden Signaleingängen unterbricht.
Je nach Ausführungsform kann diese Unterbrechung, also die Folge des Wechsels vom ersten in den zweiten Zustand, reversibel oder irreversibel sein. Wenn sie reversibel ist, kann die Hochfrequenzschaltung 5 gegebenenfalls zu einem späteren Zeitpunkt erneut getestet werden, beispielsweise zum Testen von einem Kunden als fehlerhaft reklamierten Bauteilen. Die Unterbrechung kann die physikalische, galvanische Unterbrechung der Leitung 50 betreffen oder deren Fähigkeit, ein Eingangssignal von dem einen Signaleingang 20, 30 zu dem anderen Signaleingang 20, 30 zu leiten. Verschiedene reversible und nichtreversible Ausführungsformen werden im Folgenden beschrieben.
In einer Ausführungsform ist die Unterbrechungseinheit 60 als Schaltelement 70 ausgeführt (4). In diesem Fall kann die Leitung 50 durch Anlegen oder Abschalten einer Steuerspannung beliebig zwischen einem leitenden und einem nichtleitenden Zustand umgeschaltet werden. Das Schaltelement 70 kann zum Beispiel in Galliumarsenid-Technologie ausgeführt sein.
5 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei der die Leitung 50 mit einer Soll-Trennstelle 100 versehen ist, die auch als Fuse 100 bezeichnet wird. Die Fuse 100 kann so ausgeführt sein, dass die Leitung 50 an dieser Stelle durch Bestrahlung leicht auftrennbar ist, etwa durch Bereitstellen einer lokal verringerten Dicke oder Breite der Leitung. Vorzugsweise kommt bei dem Trennvorgang ein Laser zum Einsatz.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung betrifft eine Standardzelle zur Verwendung in einem Entwurfsprozess einer Hochfrequenzschaltung sowie ein Entwurfssystem für den Entwurf von Hochfrequenzschaltungen. Halbleiterschaltungen werden häufig in teil- oder vollautomatisierten Verfahren unter Verwendung von Computerprogrammen entworfen. Daher wird eine Standardzelle bereitgestellt, die im Rahmen solch eines Entwurfsprozesses eingesetzt werden kann. Sie umfasst zwei Signaleingänge zur Aufnahme eines symmetrischen Eingangssignals, einen als Massepunkt für das symmetrische Signal dienenden Anschluss, sowie eine die Signaleingänge verbindende Leitung mit einer Länge, die im Wesentlichen einem ungeradzahligen Vielfachen der halben Wellenlänge des Eingangssignals entspricht.
Darüber hinaus kann die Standardzelle erfindungsgemäß auch alle Ausführungsformen umfassen, die Modifikationen dieses Grundaufbaus darstellen. Dazu gehören insbesondere die hier beschriebenen Ausführungsformen betreffend die reversible und irreversible Trennung der Leitung und/oder die Unterbrechung der Signalleitungsfähigkeit der Leitung.
6 zeigt schematisch eine Ausführungsform eines Testverfahrens für eine Hochfrequenzschaltung, die eine Signalverarbeitungseinheit zur Verarbeitung eines symmetrischen Eingangssignals aufweist. Demgemäß werden folgende Schritte durchgeführt: Eine Hochfrequenzschaltung nach einer der beschriebenen Ausführungsformen wird für den Test bereitgestellt. Nach Anlegen eines asymmetrischen hochfrequenten Testsignals zwischen einem der Signaleingänge 20, 30 und dem als Massepunkt dienenden Anschluss 50 wird die Signalantwort der Hochfrequenzschaltung an einem Ausgang der Schaltung gemessen. Die Signalantwort kann dann im Rahmen üblicher Qualitätstestverfahren, die dem Fachmann bekannt sind, ausgewertet und als Grundlage für eine Entscheidung über die Fehlerfreiheit/Fehlfunktion der zu testenden Hochfrequenzschaltung dienen.
In einer weiteren Ausführungsform des Testverfahrens folgt auf den Schritt des Messens der Signalantwort das Trennen der Leitung 50 zwischen den Signaleingängen 20, 30 beziehungsweise das Unterbinden der Fähigkeit der Leitung, ein Signal von dem einen Signaleingang zum anderen Signaleingang zu leiten, vorzugsweise nach einer der beschriebenen Ausführungsformen.
Gegebenenfalls kann in einem weiteren Schritt die Leitfähigkeit der Leitung wiederhergestellt werden, unter Einsatz der oben beschriebenen Techniken. Dies ist selbstverständlich nur möglich, wenn die angewendete Trenntechnologie reversibel ist. Reversible Verfahren zur Trennung der Leitung bzw. zum Unterbinden oder Unterbrechen von deren Fähigkeit zur Signalleitung wurden oben eingehend beschrieben.
Ausführungsformen richten sich auch auf Produktionsanlagen, die zur Anwendung der beschriebenen Testverfahren ausgelegt sind, sowie auf Testvorrichtungen und auf Anlagen und Verfahren zum Design elektronischer Schaltungen, die von den beschriebenen Technologien Gebrauch machen.
Während das oben aufgeführte auf Ausführungsformen gerichtet ist, können andere Ausführungsformen hiervon abgeleitet werden, ohne vom Umfang der durch die Ansprüche bestimmten Erfindung abzuweichen.

Claims

Hochfrequenzschaltung (5), umfassend: – eine Signalverarbeitungseinheit (10) zur Verarbeitung eines symmetrischen Eingangssignals, – zwei Signaleingänge (20, 30) zur Aufnahme des symmetrischen Eingangssignals, – einen als Massepunkt für das symmetrische Signal dienenden Anschluss (40), – eine die Signaleingänge verbindende Leitung (50) mit einer Länge, die einem ungeradzahligen Vielfachen der halben Wellenlänge des Eingangssignals entspricht.
Hochfrequenzschaltung nach Anspruch 1, wobei der als Massepunkt dienende Anschluss (40) zwischen den Signaleingängen (20, 30) angeordnet ist.
Hochfrequenzschaltung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Leitung (50) entlang der kürzest möglichen Verbindung zwischen den Signaleingängen (20, 30) geführt ist.
Hochfrequenzschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Leitung (50) auf einem Teil ihrer Länge u-förmig oder v-förmig um den als Massepunkt dienenden Anschluss (40) herumgeführt ist.
Hochfrequenzschaltung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, ferner umfassend eine Unterbrechungseinheit (60), welche in einem ersten Zustand den Signalfluss über die Leitung (50) zwischen den beiden Signaleingängen (20, 30) ermöglicht und in einem zweiten Zustand den Signalfluss über die Leitung (50) zwischen den beiden Signaleingängen (20, 30) unterbricht.
Hochfrequenzschaltung nach Anspruch 5, wobei die Unterbrechungseinheit (60) dazu ausgelegt ist, dass der Übergang vom ersten in den zweiten Zustand reversibel ist.
Hochfrequenzschaltung nach Anspruch 5, wobei die Unterbrechungseinheit (60) ein Schaltelement (70) umfasst.
Hochfrequenzschaltung nach Anspruch 5, wobei die Unterbrechungseinheit (60) dazu ausgelegt ist, dass der Übergang vom ersten in den zweiten Zustand irreversibel ist.
Hochfrequenzschaltung nach Anspruch 5, wobei die Unterbrechungseinheit (60) eine Fuse (100) und/oder eine Anti-Fuse in der Leitung umfasst.
Hochfrequenzschaltung nach Anspruch 5, wobei die Unterbrechungseinheit (60) durch Bestrahlung oder durch einen elektrischen Strom in den zweiten Zustand überführbar ist.
Hochfrequenzschaltung nach Anspruch 5, wobei die Unterbrechungseinheit (60) durch Bestrahlung mit einem Laser in den zweiten Zustand überführbar ist.
Hochfrequenzschaltung nach einem der Ansprüche 5 bis 10, wobei die Unterbrechungseinheit (60) am Übergang zwischen einem Anschluss-Pad eines Signaleingangs (20, 30) und der Leitung (50) vorgesehen ist.
Standardzelle (110) zur Verwendung in einem Entwurfssystem für den Entwurf von Hochfrequenzschaltungen, umfassend: – zwei Signaleingänge (20, 30) zur Aufnahme eines symmetrischen Eingangssignals, – einen als Massepunkt für das symmetrische Signal dienenden Anschluss (46), – eine die Signaleingänge verbindende Leitung (50) mit einer Länge, die einem ungeradzahligen Vielfachen der halben Wellenlänge des Eingangssignals entspricht.
Standardzelle nach Anspruch 13, wobei der als Massepunkt dienende Anschluss (40) zwischen den Signaleingängen (20, 30) angeordnet ist.
Standardzelle nach Anspruch 13 oder 14, wobei die Leitung (50) entlang der kürzest möglichen Verbindung zwischen den Signaleingängen (20, 30) geführt ist.
Standardzelle nach einem der Ansprüche 13 bis 15, wobei die Leitung (50) auf einem Teil ihrer Länge u-förmig oder v-förmig um den als Massepunkt dienenden Anschluss (40) herumgeführt ist.
Standardzelle nach einem der Ansprüche 13 bis 16, ferner umfassend eine Unterbrechungseinheit (60), welche in einem ersten Zustand den Signalfluss über die Leitung (50) zwischen den beiden Signaleingängen (20, 30) ermöglicht und in einem zweiten Zustand den Signalfluss über die Leitung (50) zwischen den beiden Signaleingängen (20, 30) unterbricht.
Standardzelle nach Anspruch 17, wobei die Unterbrechungeinheit (60) dazu ausgelegt ist, dass der Übergang vom ersten in den zweiten Zustand reversibel ist.
Standardzelle nach Anspruch 18, wobei die Unterbrechungseinheit (60) ein Schaltelement (70) umfasst.
Standardzelle nach Anspruch 17, wobei die Unterbrechungseinheit (60) dazu ausgelegt ist, dass der Übergang vom ersten in den zweiten Zustand irreversibel ist.
Standardzelle nach Anspruch 17, wobei die Unterbrechungseinheit (60) eine Fuse (100) und/oder eine Anti-Fuse in der Leitung umfasst.
Standardzelle nach Anspruch 17, wobei die Unterbrechungseinheit (60) durch Bestrahlung oder durch einen elektrischen Strom in den zweiten Zustand überführbar ist.
Standardzelle nach Anspruch 17, wobei die Unterbrechungseinheit (60) durch Bestrahlung mit einem Laser in den zweiten Zustand überführbar ist.
Standardzelle nach einem der Ansprüche 13 bis 22, wobei die Unterbrechungseinheit (60) am Übergang zwischen einem Anschluss-Pad eines Signaleingangs (20, 30) und der Leitung (50) vorgesehen ist.
Entwurfssystem für den Entwurf von Hochfrequenzschaltungen mit einer Standardzellendatenbank zur Speicherung der Parameter von, Standardzellen, wobei in der Standardzellendatenbank die Parameter einer Standardzelle gemäß einem der Ansprüche 13 bis 24 gespeichert sind.
Verfahren zum Testen einer Hochfrequenzschaltung, die eine Signalverarbeitungseinheit zur Verarbeitung eines symmetrischen Eingangssignals aufweist, folgende Schritte umfassend: a) Bereitstellen einer Hochfrequenzschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, b) Anlegen eines asymmetrischen hochfrequenten Testsignals zwischen einem der Signaleingänge und dem als Massepunkt dienenden Anschluss, c) Messen einer Signalantwort an einem Ausgang der Hochfrequenzschaltung.
Testverfahren nach Anspruch 26, ferner umfassend einen Schritt d) Unterbrechen des Signalflusses über die Leitung zwischen den Signaleingängen.
Testverfahren nach Anspruch 27, ferner umfassend einen Schritt e) Wiederherstellen der Möglichkeit des Signalflusses über die Leitung zwischen den Signaleingängen.