DE102007003486A1 - Verfahren zum Bearbeiten einer Elektrode einer Entladungslampe - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten einer Elektrode (4, 5) einer Entladungslampe (1), bei dem an der Oberfläche der Elektrode (4, 5) eine Oxidschicht erzeugt wird, wobei die Oxidschicht sublimiert wird.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten einer Elektrode einer Entladungslampe, bei dem an der Oberfläche der Elektrode eine Oxidschicht erzeugt wird.
  • Stand der Technik
  • Die Oberfläche von einer Elektrode für eine Hochdruckentladungslampe muss bei der Fertigung der Lampe vor Verunreinigungen, welche die lichttechnischen Eigenschaften und die Lebensdauer der Lampe während des Betriebs beeinflussen können, gereinigt werden. Diese in oder auf dem Elektrodenstab existierenden Restmaterialien bzw. Verunreinigungen können durch bekannte Vorgehensweisen nur unzureichend entfernt werden. Diesbezüglich ist beispielsweise ein mechanisches Rommeln bekannt, bei dem die Elektroden in einer Schüttung an sich selbst sowie an den zugesetzten Schleifmittelpartikeln durch Rütteln innerhalb einer wässrigen Lösung reiben. Dabei wird die Oberfläche der Elektrode zwar geglättet, allerdings liegt die erzielbare Oberflächenrauigkeit nicht unter der Dimension der Schleifmittelpartikel und die Oberfläche wird vom Abtrag und vom Schleifmittel kontaminiert. Darüber hinaus ist ein elektrochemisches Ätzen bekannt, bei dem die Oberfläche der Elektrode auf atomarem Maßstab angegriffen wird. Bei dieser Vorgehensweise werden bestehende Oberflächenstrukturen eingeebnet und geglättet. Die Oberfläche wird allerdings durch die Abtraglösung ebenfalls kon taminiert. In beiden genannten Verfahren sind nachträglich zusätzliche Reinigungsschritte erforderlich, um die Verunreinigungen nochmals reduzieren zu können.
  • Darüber hinaus ist aus der US 6,626,725 B1 eine Entladungslampe bekannt, bei der eine stabförmige Elektrode aus Wolfram bereichsweise in einen Hals eines Entladungsgefäßes durch eine gasdichte Quetschung eingebracht ist und sich andererseits bereichsweise in einen Entladungsraum des Entladungsgefäßes erstreckt. Um eine Rissbildung des Entladungsgefäßes im Quetschungsbereich im Betrieb der Entladungslampe verhindern zu können, wird die Oberfläche der Elektrode bearbeitet. Zur Erzeugung einer elementaren Wolframschicht an der Oberfläche der Elektrode in dem Längenbereich, in dem die Elektrode im Quetschbereich angeordnet ist, wird zunächst eine Oxidschicht auf der Oberfläche erzeugt. Dabei kann beispielsweise eine Wolframtrioxidschicht erzeugt werden. Um die elementare Wolframschicht zu erzeugen, wird dann die oxidierte Elektrode bei etwa 1200°C in einem Wasserstoffofen, in dem Wasserstoff in Wasser aufsprudelt, erhitzt.
  • Darstellung der Erfindung
  • Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zu schaffen, mit dem das Entfernen von Verunreinigungen in einem Elektrodenmaterial aufwandsärmer und verbessert erfolgen kann.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren, welches die Merkmale nach Patentanspruch 1 aufweist, gelöst.
  • Bei einem erfindungsgemäßen Verfahren zum Bearbeiten einer Elektrode, insbesondere zum Entfernen von Verunreini gungen aus dem Elektrodenmaterial, einer Entladungslampe wird auf der Oberfläche der Elektrode eine Oxidschicht erzeugt. Diese Oxidschicht wird dann nachfolgend einer Sublimation unterzogen. Es wird somit ein Reinigen der Oberfläche der Elektrode durch eine Umwandlung einer äußeren Randschicht des Elektrodenmaterials durch Erzeugung einer Oxidschicht und einer anschließenden Sublimation ermöglicht. Neben einem Entfernen von Verunreinigungen kann dadurch auch ein definiertes Oberflächenprofil eingestellt werden, um konstante Verhältnisse für den Verbund zwischen dem Elektrodenmaterial und dem Glasmaterial des Entladungsgefäßes, insbesondere im Quetschungsbereich, über die Länge der Elektrode gewährleisten zu können.
  • Bevorzugt werden das Erzeugen der Oxidschicht und das nachfolgende Sublimieren vor dem Einbringen der Elektrode in das Entladungsgefäß der Entladungslampe durchgeführt. Der Aufwand für das Entfernen von Verunreinigungen aus der Elektrode kann dadurch nochmals reduziert werden.
  • Bevorzugt wird das Sublimieren in einer Vakuumumgebung durchgeführt. Bevorzugt wird beim Sublimieren ein Druck von kleiner oder gleich 10–5 mbar eingestellt.
  • Bevorzugt wird das Sublimieren bei einer Temperatur zwischen 1400 K und 1900 K durchgeführt. Es kann vorgesehen sein, dass die Temperatur während des Sublimierens im Wesentlichen konstant gehalten wird. Ebenso kann jedoch auch vorgesehen sein, dass mit fortschreitender Zeitdauer des Sublimierens die Temperatur gesteigert wird oder gesenkt wird.
  • Die Zeitdauer des Sublimierens und/oder die Temperatur beim Sublimieren wird vorzugsweise abhängig von der Schichtdicke der Oxidschicht und/oder der Art der Oxidschicht eingestellt.
  • Bevorzugterweise wird eine leichtflüchtige Oxidschicht an der Oberfläche der Elektrode ausgebildet. Die Oxidschicht wird vorzugsweise unter normaler Luftatmosphäre und unter normalem Umgebungsluftdruck sowie einer Temperatur zwischen 700 K und 1300 K, insbesondere zwischen 1000 K und 1300 K erzeugt. Die Oberfläche der Elektrode wird somit bevorzugterweise an Luft bei Normaldruck in einem Temperaturbereich zwischen 700 K und 1300 K definiert oxidiert.
  • Vorzugsweise ist die Elektrode zumindest anteilig aus Wolfram ausgebildet und an der Oberfläche bildet sich eine Wolframoxidschicht. Hierbei können sich unterschiedliche Arten von Wolframoxidschichten ausbilden, beispielsweise eine WO3-Schicht oder eine W2O5-Schicht. Auch andere Arten von Oxidschichten sind möglich.
  • Insbesondere bei den genannten Temperaturen zwischen 700 K und 1300 K bildet sich durch Reaktion mit Sauerstoff eine gelbliche, lockere WO3-Schicht aus, welche mit einem linearen Zeitgesetz anwächst. Durch dieses lineare Verhalten lässt sich die Dicke der zum Oxid umgewandelten Randschicht der Elektrode bei vorgegebener Glühtemperatur definiert einstellen.
  • Der wesentliche Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens liegt in der Reinigung der Elektrodenoberfläche ohne eine zusätzliche Kontamination der zum Abtrag der Randschicht verwendeten Substanzen, insbesondere der im Stand der Technik verwendeten Schleifmittelpartikel oder der Elekt rolyte. Darüber hinaus treten auch keine Reinigungsrückstände auf. Durch den gleichmäßigen Angriff des Sauerstoffs resultiert eine feinkörnige Oxidschicht, insbesondere eine WO3-Schicht, mit gleichmäßiger Dicke. Nach der Sublimation der Oxidschicht resultiert daraus eine gleichmäßige Oberfläche mit feiner Rauigkeit über die Länge des Elektrodenstifts. Insbesondere sind bei einem erfindungsgemäßen Verfahren keine zusätzlichen Reinigungsschritte mehr erforderlich.
  • Es ist nicht erforderlich, die Oxidschicht auf der gesamten Oberfläche der Elektrode zu erzeugen. Es genügt, die Oxidschicht auf der Oberfläche eines Abschnitts der Elektrode zu erzeugen, der nach dem Abdichten des Entladungsgefäßes in dem Entladungsgefäßmaterial eingebettet ist. Beim Entfernen der Oxidschicht mittels Sublimation werden mit der Oxidschicht auch etwaige Verunreinigungen von der Oberfläche des Elektrodenabschnitts entfernt und dadurch die Haftung der Oberfläche des Elektrodenabschnitts am Entladungsgefäßmaterial, üblicherweise ist das Quarzglas, reduziert. Dadurch wird auch die Gefahr der Rissbildung im abgedichteten Bereich des Entladungsgefäßes verringert.
  • Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung wird die Oxidschicht nur auf einem Teil der Oberfläche des nach dem Abdichten des Entladungsgefäßes im Entladungsgefäßmaterial eingebetteten Elektrodenabschnitts erzeugt, um auf diesem Elektrodenabschnitt Oberflächenbereiche unterschiedlicher Morphologie zu erzeugen. Die Teile der Oberfläche des vorgenannten Elektrodenabschnitts, auf denen eine Oxidschicht erzeugt und anschließend mittels Sublimation wieder entfernt wurde, weisen eine andere Oberflä chenstruktur als die unbehandelten, nicht mit der Oxidschicht versehenen Oberflächenbereiche des Elektrodenabschnitts auf. Insbesondere weisen die mittels Oxidation und Sublimation behandelten Oberflächenbereiche des vorgenannten Elektrodenabschnitts eine geringere Haftung an dem Entladungsgefäßmaterial auf als die unbehandelten Oberflächenbereiche. Dadurch werden auf dem im Entladungsgefäßmaterial eingebetteten Elektrodenabschnitt Oberflächenbereiche mit unterschiedlicher Haftung an dem Entladungsgefäßmaterial erzeugt. Die Gefahr, dass etwaige mikroskopisch kleine Risse oder Sprünge im Entladungsgefäßmaterial, die aufgrund der thermischen Ausdehnung der Elektrode und ihrer Haftung am Entladungsgefäßmaterial während des Lampenbetriebs auftreten, zu größeren, die Abdichtung des Entladungsgefäßes zerstörenden Rissen anwachsen können, wird dadurch verringert.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnung
  • Drei Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand schematischer 1 bis 3 näher erläutert. Die 1 zeigt einen Teilausschnitt einer Entladungslampe mit erfindungsgemäß hergestellten Elektroden und die 2 und 3 zeigen zwei weitere Ausführungsbeispiele erfindungsgemäß hergestellter Elektroden.
  • Bevorzugte Ausführung der Erfindung
  • In der Figur ist ein schematischer Teilausschnitt einer Hochdruckentladungslampe 1 gezeigt, welche ein Entladungsgefäß 2 mit einem Entladungsraum 3 aufweist. In den Entladungsraum 3 erstrecken sich eine erste Elektrode 4 (Anode) und eine zweite Elektrode 5 (Kathode). An den im Querschnitt oval ausgebildeten Mittelteil des Entladungsgefäßes 2 schließen zwei diametral gegenüberliegende Hälse 21 und 22 an. Die erste Elektrode 4 ist in diesen Hals 21 gasdicht eingequetscht, wobei die zweite Elektrode 5 in den Hals 22 durch eine Quetschung dichtend eingebracht ist.
  • Diese beiden Stäbe der Elektroden 4 und 5 sind aus Wolfram oder einer Wolframlegierung ausgebildet.
  • Die Elektroden 4 und 5 sind durch ein nachfolgend noch zu erläuterndes Verfahren von Restmaterialien bzw. Verunreinigungen gereinigt, wodurch lichttechnische Eigenschaften und die Lebensdauer der Hochdruckentladungslampe 1 während des Betriebs nicht negativ beeinflusst werden. Zusätzlich weisen die Oberflächen der Elektroden 4 und 5 definierte Oberflächenprofile auf, um konstante Verhältnisse für den Verbund zwischen der ersten Elektrode 4 und dem Quarzglasmaterial des Halses 21 einerseits und der zweiten Elektrode 5 und dem Quarzglasmaterial des Halses 22 andererseits gewährleisten zu können. Durch diese konstanten Verhältnisse insbesondere im Quetschungsbereich kann auch die Rissbildung an diesen Stellen im Betrieb der Hochdruckentladungslampe 1 zumindest reduziert werden.
  • Insbesondere während dem Quetschvorgang könnten in den Elektroden 4 und 5 vorhandene Verunreinigungen ausgasen und dadurch die lichttechnischen Eigenschaften der Hochdruckentladungslampe 1 im fertig gestellten Zustand im Betrieb negativ beeinflussen.
  • Daher wird vor dem Einbringen der Elektrode 4 und 5 in das Entladungsgefäß 2 eine Reinigung bzw. eine Bearbei tung der Elektroden 4 und 5 durchgeführt. Die weitere Vorgehensweise der Reinigung wird nachfolgend an der ersten Elektrode 4 erläutert.
  • Zum Reinigen wird die bereitgestellte Elektrode 4 unter normaler Luftatmosphäre und normalem Umgebungsdruck einer Temperatur von über 700 K ausgesetzt. Insbesondere wird eine Temperatur zwischen 1000 K und 1300 K eingestellt. An der Oberfläche der Elektrode 4 wird dann eine Wolframtrioxidschicht (WO3-Schicht) erzeugt. Diese wird durch die eingestellten Prozessparameter definiert erzeugt und die Dicke der Oxidschicht folgt einem linearen Zeitgesetz. Nachfolgend wird dann eine Vakuumatmosphäre erzeugt, bei der ein Druck ≤ 10–5 mbar eingestellt wird. Die Elektrode mit ihrer außenseitigen Randschicht wird dann einer Sublimation in diesem Vakuum unterzogen und eine Temperatur größer 1400 K, insbesondere eine Temperatur im Bereich zwischen 1450 K und 1900 K, eingestellt. Die Sublimation, das Vakuum und die relativ hohe Temperatur reichen insbesondere in ihrer Kombination aus, um sämtliche Verunreinigungen, die im oder an der Elektrode 4 existieren, zu entfernen. Dabei können die Prozessparameter variiert werden. Beispielsweise kann ermöglicht werden, dass mit höherer Temperatur weniger Vakuum oder weniger Behandlungszeit erforderlich ist. In gleicher Weise ist es möglich, dass je größer das Vakuum ist, umso niedriger die erforderliche Temperatur oder desto kürzer die Behandlungszeit ist. Darüber hinaus können mit einer längeren Behandlungszeit die Temperatur und das Vakuum niedriger eingestellt werden.
  • Die Erfindung beschränkt sich nicht auf das oben näher erläuterte Ausführungsbeispiel. Beispielsweise genügt es, die Oxidschicht nur auf der Oberfläche der nach dem Abdichten des Entladungsgefäßes 2 in dem Quarzglas des Entladungsgefäßes 2 eingebetteten Abschnitte 41 bzw. 51 der Elektroden 4 bzw. 5 zu erzeugen und anschließend mittels Sublimation, gemäß dem oben näher beschriebenen Verfahren, wieder zu entfernen. In 2 ist eine Elektrode 5' gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung mit einer Oxidschicht, die nur auf der Oberfläche des in dem Glas des Quetschfußes bzw. Halses 22 des Entladungsgefäßes 2 eingebetteten Abschnitts 51' der Elektrode 5' erzeugt wird, schematisch abgebildet. Die Oxidschicht wird vor dem Abdichten des Halses 22 wieder durch Sublimation von der Oberfläche des Elektrodenabschnitts 51a' entfernt.
  • Bei der in 3 schematisch dargestellten Elektrode 5'' gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird die Oxidschicht beispielsweise nur auf ringförmig, den Elektrodenumfang umlaufenden Oberflächenbereichen 511a'', 512a'' und 513a'' des im Quarzglas des Halses 22 des Entladungsgefäßes 2 eingebetteten Abschnitts 51a'' der Elektrode 5'' erzeugt. Die mit der Oxidschicht versehenen Oberflächenbereiche 511a'', 512a'' und 513a'' sind durch unbeschichtete Oberflächenbereiche 514a'' des Elektrodenabschnitts 51a'' voneinander getrennt. Nach dem Entfernen der Oxidschicht mittels Sublimation gemäß dem beim ersten Ausführungsbeispiel beschriebenen Verfahren weisen die Oberflächenbereiche 511a'', 512a'' und 513a'' eine andere Oberflächenstruktur und insbesondere eine geringere Haftung an dem Quarzglas des Halses 22 als die unbehandelten Oberflächenbereiche 514a'' auf.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - US 6626725 B1 [0003]

Claims (14)

  1. Verfahren zum Bearbeiten einer Elektrode (4, 5) einer Entladungslampe (1), bei dem an der Oberfläche der Elektrode (4, 5) eine Oxidschicht erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Oxidschicht sublimiert wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Erzeugen der Oxidschicht und das nachfolgende Sublimieren vor dem Einbringen der Elektrode (4, 5) in das Entladungsgefäß (2) der Entladungslampe (1) durchgeführt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Sublimieren in einer Vakuumumgebung durchgeführt wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass beim Sublimieren ein Druck kleiner oder gleich 10–5 mbar eingestellt wird.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zum Sublimieren eine Temperatur zwischen 1450 K und 1900 K eingestellt wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur während des Sublimierens im Wesentlichen konstant gehalten wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Zeitdauer des Sublimierens und/oder die Temperatur beim Sublimieren abhängig von der Schichtdicke der Oxidschicht und/oder der Art der Oxidschicht eingestellt wird.
  8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine leichtflüchtige Oxidschicht ausgebildet wird.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Oxidschicht unter normaler Luftatmosphäre und Umgebungsluftdruck und einer Temperatur zwischen 700 K und 1300 K, insbesondere zwischen 1000 K und 1300 K, erzeugt wird.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (4, 5) zumindest anteilig aus Wolfram ausgebildet ist und an der Oberfläche eine Wolframoxidschicht, insbesondere eine WO3-Schicht, erzeugt wird.
  11. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 10, wobei die Oxidschicht auf der Oberfläche eines Abschnitts (51a') der Elektrode (5') erzeugt wird, der nach dem Abdichten des Entladungsgefäßes (2) der Entladungslampe im Entladungsgefäßmaterial eingebettet ist.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei die Oxidschicht nur auf einem Teil (511a'', 512a'', 513a'') der Oberfläche des Abschnitts (51a'') der Elektrode (5'') erzeugt wird.
  13. Elektrode für eine Entladungslampe gemäß dem Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 12.
  14. Entladungslampe mit mindestens einer Elektrode gemäß dem Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 12.
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