DE102006035793A1

DE102006035793A1 - Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung und Stromaddieranordnung zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität und Bilderzeugungsvorrichtung für eine Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung

Info

Publication number: DE102006035793A1
Application number: DE102006035793A
Authority: DE
Inventors: Karsten Zosel; Thomas Hellmann
Original assignee: ALL WELDING TECHNOLOGIES AG
Current assignee: Global Beam Technologies Ag 82216 Maisach De
Priority date: 2006-07-28
Filing date: 2006-07-28
Publication date: 2008-01-31
Anticipated expiration: 2026-07-29
Also published as: CN101917165B; US7692390B2; DE102006035793B4; CN101917165A; US20080143278A1; DE102006035793B8; EP1885059A2; EP1885059B1; JP2008117751A; EP1885059A3

Abstract

Es wird eine Stromaddiereranordnung zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität, insbesondere einer Ablenkspule einer Elektronenstrahlkanone, angegeben, mit einer ersten Spannungsleiste, die dazu angepasst ist, mit einer spannungsstabilisierten Stromversorgung verbunden zu werden, einer zweiten Spannungsleiste, die dazu angepasst ist, mit einem ersten Ausgang zur Stromversorgung der Induktivität verbunden zu werden, und einer Mehrzahl von ersten schaltbaren Brücken, die jeweils einen in Reihe zwischen die erste Spannungsleiste und die zweite Spannungsleiste schaltbaren Widerstand mit einem Widerstandswert aufweisen, bei der Widerstandswerte so gewählt sind, dass ein erster Widerstand einen ersten Widerstandswert WR11 = Rmin aufweist, ein zweiter Widerstand einen zweiten Widerstandswert WR12 >= WR11 aufweist, und der n-te Widerstand einen n-ten Widerstandswert WR1n >= WR1n-1 aufweist.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung, eine Stromaddieranordnung zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität, insbesondere einer Ablenkspule einer Elektronenstrahlkanone, und eine Bilderzeugungsvorrichtung zur Erzeugung eines Bildes eines mit einer Elektronenstrahlanlage bearbeiteten Werkstücks vor und/oder während der Bearbeitung.
Im Stand der Technik der Materialbearbeitung mit Elektronenstrahlen ist es bekannt, die Ablenkspulen der Elektronenstrahlkanone mit Analogverstärkern, die eine Großsignalsteuerfrequenz von bis zu 100 kHz aufweisen, anzusteuern. Mit dieser Technik kann eine Genauigkeit des Elektronenstrahls von 1 % erreicht werden. Die Analogverstärker neigen zu Schwingungen und Überschwingen und Einpendeln im Sprungverhalten.
Im Stand der Technik ist es weiterhin bekannt, Rückstreuelektronen, die von einem mit dem Elektronenstrahl bearbeiteten Werkstück zurückgesteut werden, zeitsynchron (mit Analogtechnik) auf einer Anzeige wie einem Display anzuzeigen oder mit einem entsprechenden Aufzeichnungsgerät aufzuzeichnen.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine verbesserte Technik zur Ansteuerung der Ablenkspulen einer Elektronenstrahlkanone und eine verbesserte Bilderzeugung aus Rückstreuelektronen, die mit einer schnellen und genauen Ansteuerung der Ablenkspulen möglich wird, anzugeben.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Stromaddieranordnung nach Anspruch 1, eine Bilderzeugungsvorrichtung nach Anspruch 13 und eine Elektronenstrahlanlage nach Anspruch 16.
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Mit den heute durch die Datenverarbeitungstechnologie zur Verfügung gestellten Speichern ist es kostengünstig möglich, bis zu 30 Mbit/s Daten aus einem Speicher auszulesen. Eine Datenrate von 1 Mbit/s stellt also technologisch für die Datenverarbeitung kein Problem dar.
Mit den erzielbaren 100 kHz an Steuerfrequenz für Ablenkspulen lässt sich eine so hohe Datenrate aber nicht beim Ablenken eines Elektronenstrahls einer Elektronenstrahlkanone umsetzen.
Herkömmliche Analogverstärker, die höhere Ansteuerfrequenzen zulassen, wären zu aufwändig und teuer.
Die Stromaddieranordnung nach Anspruch 1 ermöglicht demgegenüber eine Art Digitalverstärker, der durch Aufsummieren konstanter, nicht geregelter Ströme einen sehr schnellen Verstärker, der in dem hier in Rede stehenden Frequenzbereich im MHz-Bereich keine Schwingungsneigung aufweist, ermöglicht.
Mit einer solchen Stromaddieranordnung ist es möglich, ein digital gespeichertes Bearbeitungs- und Abtastmuster zur Ansteuerung des Verstärkers, d.h. der Stromaddieranordnung, zu verwenden.
Die Wahl der Widerstandswerte erfolgt vorzugsweise so, dass die Beträge der einzelnen aufzuaddierenden Ströme (Widerstandswerte) stetig größer werden und das Verhältnis von je 2 der aufzuaddierenden Ströme, die in der Reihenfolge der zunehmenden Beträge benachbart sind, ≤ 2 (Binärcode), vorzugsweise kleiner als 2 ist. Dadurch ist jeder Ausgangsstrom als Wert durch mindestens eine, manchmal auch durch zwei oder mehr mögliche Summen aus den an sich ungeregelten Strömen erreichbar. Die Auflösung der erzielbaren Ströme entspricht dann dem durch den größten Widerstandswert vorgegebenen Strom.
Der Ausgleich von gegebenen, falls vorhandenen, Widerstandstoleranzen und/oder der Ausgleich von temperaturbedingten Widerstandsschwankungen kann z.B. durch einen Codewandler erreicht werden, der eine lineare Übertragungsfunktion sicherstellt.
Mit einem gespeicherten Bearbeitungs- und Abtastmuster, das mit einer hohen Datenrate ausgelesen wird, wird auch die Erzeugung eines Bildes des zu bearbeitenden Werkstückes möglich, indem der Elektronenstrahl "quasi" gleichzeitig das Werkstück bearbeitet und unter Aufrechter haltung der Schweißkapillare bzw. -kapillaren der Elektronenstrahl in Intervallen über die interessierenden Oberflächenbereiche des in der Bearbeitung befindlichen Werkstückes geführt wird, wobei aus den registrierten Rückstreuelektronen ein Farbbild erzeugt werden kann.
Eine Elektronenstrahlanlage, die mit einem schnellen Verstärker, der die Stromaddieranordnung der hier angegebenen Art nutzt, ausgerüstet ist, kann einerseits sehr schnell effektiv mit den durch die heutige Datenverarbeitungstechnologie zur Verfügung gestellten Datenraten gesteuert werden und andererseits, durch Ausnutzung dieser schnellen Steuerung, unter Verwendung des Elektronenstrahls, der gleichzeitig zur Bearbeitung eines Werkstückes verwendet wird, ein Bild der Oberfläche des in Bearbeitung befindlichen Werkstückes erzeugen.
Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen.
1 eine Stromaddieranordnung nach einer Ausführungsform der Erfindung;
2 ein Blockschaltbild einer Stromaddieranordnung mit Steuerschaltung; und
3 eine schematische Darstellung einer Elektronenstrahlanlage mit Bilderzeugungsvorrichtung nach einer Ausführungsform der Erfindung.
Eine Ausführungsform einer Stromaddieranordnung zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität, wie einer Ablenkspule einer Elektronenstrahlkanone, ist in 1 gezeigt.
Die Stromaddieranordnung weist eine erste Spannungsleiste U₁ auf, die mit einem Ausgang, zum Beispiel dem +-Ausgang, einer spannungsstabilisierten Stromversorgung (nicht gezeigt) zu verbinden ist. Die Stromaddieranordnung weist eine zweite Stromleiste U_v, die mit einem Ausgang AL, der mit einem Anschluss der Induktivität L zu verbinden ist, auf. Zwischen der ersten Spannungsleiste U₁ und der zweiten Spannungsleiste U_v sind jeweils schaltbare Brücken B1₁, B1₂, B1_k, wobei k eine positive ganze Zahl ist, z.B. 7 oder 8, ausgebildet, die bei dieser Ausführungsform aus einem Transistor T1₁, T1₂,..., T1_k und einem Widerstand R1₁ _, R1₂,..., R1_k, die in Reihe zwischen die beiden Spannungsleisten geschaltet sind, bestehen.
Durchgeschaltete Transistoren sind im Vergleich zu den hier verwendeten strombestimmenden Widerständen sehr niederohmig, so dass der Einfluss der durchgeschalteten Transistoren im Rahmen eines Ausgleiches der Widerstandstoleranzen ausgeglichen wird, wie weiter unten erläutert wird.
Der Widerstandswert des ersten Widerstands R1₁ hat den kleinsten Widerstandswert R_min der Widerstände R1₁, R1₂,.... Der zweite Widerstand R2₂ hat einen Widerstandswert WR1₂ = mR_min, wobei 2 ≥ m ≥ 1 ist. Der Endwiderstand R1_n hat einen n-ten Widerstandswert WR1_n = m^n-1R_min. Für dieses Ausführungsbeispiel nehmen wir m = 1,9 an. Grundsätzlich ist es ausreichend, dass die Wahl der Widerstandswerte so erfolgt, dass die Beträge der einzelnen aufzuaddierenden Ströme (Widerstandswerte) stetig größer werden und das Verhältnis von je 2 der aufzuaddierenden Ströme, die in der Reihenfolge der zunehmenden Beträge benachbart sind, ≤ 2 (Binärcode), vorzugsweise kleiner als 2 ist. Dadurch ist jeder Ausgangsstrom als Wert durch mindestens eine, manchmal auch durch zwei oder mehr mögliche Summen aus den an sich ungeregelten Strömen erreichbar. Die Auflösung der erzielbaren Ströme entspricht dann dem durch den größten Widerstandswert vorgegebenen Strom.
Bevorzugt ist, dass die Widerstandswerte so gewählt werden, dass der Widerstandswert WR1j = mj-1j Rmin mit j = 1, 2,...., k und 2 ≥ m ≥ 1. Es ist möglich aber nicht nötig, den identischen Wert für alle m_j zu wählen, wie z.B. m_j = 1,9 für alle j im obigen Beispiel.
Bei der in 1 gezeigten Ausführungsform, bei dem die erste Stromleiste U₁ mit dem +-Anschluss der spannungsstabilisierten Stromversorgung (nicht gezeigt) verbunden ist, sind die als Transistoren ausgeführten Schalter T1₁, T1₂,... als p-Kanal-FETs ausgeführt. Alternativ können z.B. IGBTs oder andere schnelle Schalter mit niedrigem Einschaltwiderstand verwendet werden.
Bei der in 1 gezeigten Ausführungsform ist eine dritte Spannungsleiste U₂ vorgesehen, die zur Verbindung mit dem –-Ausgang der spannungsstabilisierten Stromversorgung vorgesehen ist. Zwischen der zweiten Spannungsleiste U_v und der dritten Spannungsleiste U₂ sind wie zwischen der ersten und der zweiten Spannungsleiste schaltbare Brücken B2₁, B2₂,..., B2_k ausgebildet. Die schaltbaren Brücken bestehen bei diesem Ausführungsbeispiel wiederum aus einem von einem Transistor gebildeten Schalter und einem Widerstand, die in Reihe zwischen die beiden Spannungsleisten geschaltet sind. Der Transistor der schaltbaren Brücken zwischen der zweiten und der dritten Spannungsleiste ist als n-Kanal-FET ausgefürt. Die Widerstandswerte der Widerstände sind analog der Brücken zwischen der ersten und zweiten Spannungsleiste so gewählt, dass WR2₁ = R_min, WR2₂= mR_min und WR2_n = m^n-1R_min sind.
Die Schalter, das heißt in 1 die Transistoren T1₁,..., T2₁,..., werden von einer in 2 gezeigten Steuerschaltung angesteuert. Je ein Bit eines Ausgangssignals (Datenworts) der Steuerschaltung 1 wird in 1 an eine Treiberschaltung TS, die in 1 als Dreieck dargestellt ist, und die jeweils mit dem Gate der FETs verbunden ist, angelegt. Die Schalter können auch anders implementiert werden, solang eine kurze Schaltzeit < 1 μs bevorzugt < 50 ns, noch bevorzugter ≤ 30 ns und ein niedriger Einschaltwiderstand sichergestellt sind.
Diese Steuerschaltung 1 kann also ein Datenwort mit 2k Bit, von dem jeweils 1 Bit den Ein- und Ausschaltzustand eines Transistors darstellt, zum Steuern der Stromaddieranordnung aus 1 verwenden. Wenn die Stromaddieranordnung aus 1 nur eine der Spannungsleisten und daher k schaltbare Brücken aufweist, dann genügt ein Datenwort mit kBit zur Ansteuerung der k Schalter. k ist eine positive ganze Zahl aus einem Bereich von 2 bis 20, bevorzugt 4 bis 12.
Die Auswahl der strombestimmenden Widerstände R1₁,... ist relativ einfach. Die strombestimmenden Widerstände sollen aber so gewählt sein, dass sie induktionsarm sind. Es ist natürlich möglich, Widerstände mit sehr geringen Toleranzen auszuwählen. Das ist aber nicht nötig, da die Toleranzen durch die später beschriebene Steuerschaltung leicht ausgeglichen werden können.
Mit der beschriebenen Stromaddieranordnung können beliebige Ströme bis zu der Summe der Ströme, die bei Durchschalten aller Brücken einer Polarität erhalten werden, mit einer Auflösung des Stromschritts, der durch R_min bestimmt wird, erzielt werden.
Im Bereich der niederen Ströme, zum Beispiel der untersten 3 oder 4 Bit, könnten die aufzuaddierenden Ströme auch exakt im Verhältnis 1:2:4... (also m = 2) gewählt werden. Die Herstellungstoleranzen und die Temperaturdrift haben in diesem Bereich keinen signifikanten Einfluss auf das Ergebnis. Im Bereich der höheren Ströme, also der höherwertigen Bits des den Stromwert codierenden Datenwortes, sollte das Verhältnis der aufzuaddierenden Ströme allerdings kleiner als 1:2 sein. Das ist der Grund, warum in dem Ausführungsbeispiel der Wert m = 1,9 gewählt wurde.
Soll zum Beispiel eine Auflösung der einstellbaren Stromwerte von 12 Bit (= 2¹² = 4096 = 64 × 64 = 2⁶ × 2⁶) erreicht werden, dann muss aufgrund der Wahl des Verhältnisses von 1,9 ein Bit mehr pro Stromrichtung zur Codierung verwendet werden, da 1,9⁷ = 89, 64 nötig wären und 1,9⁶ = 47. Also wäre k = 7 für m = 1,9 anstatt k = 6 für m = 2 bei einer Auflösung von 12 Bit. Würden 6 Bit exakt dual abgebildet, also m = 2, und weitere 6 Bit mit m = 1,8, dann hätte der Verstärker eine Auflösung von 12 Bit, wenn man die Zahl der Bits des Eingangsdatenworts als Maß für die Auflösung betrachtet, oder von 11 Bit (etwas mehr) wenn man die Spanne der einstellbaren Stromwerte als Maß für die Auflösung betrachtet (2⁶ × 1,8⁶ = 2176 > 2048 = 2¹¹).
Variable, in Richtung größerer Ströme kleiner werdende Verhältnisse sind in der Praxis günstig (d.h. m_j < m_j+i für kleine j), da im Bereich höherer Ströme die Widerstände der durchgeschalteten Transistoren, der Ablenkspule und der Zuleitungen wichtiger werden.
Die Zeitkonstante eines Systems aus der Induktivität L und einer schaltbaren Brücke B1₁,... wird gegeben durch τ= L/R. Dabei nähert sich der Strom asymptotisch seinem Endwert nach der Gleichung I = I0(1 – exp(-t/τ))
Nach Ablauf von sechs Zeitkonstanten würde eine aus 50 mm Entfernung herangeführte Elektronenstrahlposition das gewünschte Ziel nur noch um 125 μm verfehlen. Wenn man aber den Verstärker (die Stromaddieranordnung) anfänglich um einen entsprechenden Faktor für die Dauer einer Zeitkonstanten τ übersteuert, dann ist der Endwert schon nach dieser einen Zeitkonstanten erreicht.
Mit einer Induktivität L = 5 μH und einer Spannung der spannungsstabilisierten Stromversorgung von U = 40 V und einem maximalen Strom von I = 8 A pro Brücke ergibt sich der kleinste Widerstandswert R_min mit 5 Ω und eine Zeitkonstante τ = 1 μs.
Diese Vorwärtssteuerung ohne Rückkopplung vermeidet jede Schwingneigung.
Zur Erzielung der angestrebten Genauigkeit, das heißt der Stufen zwischen den durch Addierung erhaltenen Strömen sowie der Linearität der Kennlinie, kann eine Stromaddieranordnung mit einer Steuerschaltung verwendet werden, wie sie in 2 gezeigt ist.
Eine Stromaddieranordnung der in 1 gezeigten Art ist in 2 als Verstärker 2 gezeigt. Eine Steuerschaltung 1 ist in 2 mit einer punktierten Linie umgeben.
Die Steuerschaltung 1 weist einen Dateneingang 3 zum Empfang eines ersten Datenworts mit einer ersten Bitzahl k + 1 (= k+Vorzeichen) auf. Der Dateneingang 3 ist mit einem Schalter 4 und einer Vergleichsschaltung 5 verbunden. Der Schalter 4 ist zum Durchschalten des ersten Datenworts zu einem EEPROM 6 ausgebildet. Der Ausgang des EEPROM 6, das einen Codewandler darstellt, ist mit dem Eingang des Verstärkers 2 verbunden. Der Ausgang AL des Verstärkers 2 ist mit der Induktivität L verbunden. Mit dem Ausgang AL ist weiterhin ein Analog-Digital-Wandler 7 verbunden, der ein zweites Datenwort mit der ersten Bitanzahl ausgibt. Die Vergleichsschaltung 8 empfängt das erste Datenwort von dem Dateneingang 3 und das zweite Datenwort von dem Analog-Digital-Wandler 7. Die Vergleichsschaltung 8 ist zum Vergleichen der beiden Datenworte und zum Ausgeben des Vergleichsergebnisses, also der Differenz einschließlich der Differenz 0 (= Identität), ausgebildet.
Die Vergleichsschaltung 5 ist so ausgebildet, dass das Vergleichsergebnis einerseits zum Einstellen bzw. Programmieren des EEPROM 6 an eine Abgleichsteuerschaltung 7 als Datenwort mit derselben Bitzahl wie das erste Datenwort (k+1) und andererseits als Datenwort mit einer geringeren Bitzahl k-x, z.B. 3 oder 4, im Normalbetrieb an einen Hilfsverstärker 9 über einen Tiefpaß 10 ausgegeben wird. Der Hilfsverstärker 9 ist vorzugsweise in derselben Weise aufgebaut wie der Verstärker 2, aber mit weniger Brücken ((k-x-1) pro Stromrichtung), also eine Art Miniausführung des Verstärkers 2.
Beim erstmaligen Aufbau der Verstärkeranordnung 1, 2 oder immer, wenn an der angesteuerten Induktivität, also z.B. dem Spulensystem einer Elektronenstrahlkanone, oder den Zuleitungen oder der Verstärkeranordnung etwas geändert, ausgetauscht oder repariert wird, ist ein erster Verstärkerabgleich durchzuführen. Dabei ist der Schalter 4 geöffnet. Die Abgleichsteuerschaltung 7 gibt jede mögliche Bitkombination (z.B. 2¹² = 4096 für k=12) nacheinander als Eingabewert in den Verstärker 2 ein, bis der Ausgangsstrom konstant ist, z.B. für 10 Zeitkonstanten. Für jede mögliche Bitkombination wird der real fließende Ausgangsstrom des Verstärkers 2 gemessen und der Meßwert durch den A/D-Wandler 6 gewandelt. Als erstes Datenwort wird vorzugsweise 0 an die Vergleichsschaltung angelegt, so dass von der Vergleichsschaltung als Differenz das zweite Datenwort an die Abgleichsteuerschaltung 7 ausgegeben wird. Die Abgleichsteuer schaltung 7 sucht dann in der Umgebung des gerade anliegenden 12 Bit Datenwortes (gemeint sind hier die 12 Transistoreingänge einer Polarität) nach der Bitkombination, die zufällig alle Verstärkerfehler ausgleicht und den gewünschten Strom liefert. Zu jeder möglichen 12-Bit-Kombination pro Stromrichtung (also 13 Bit mit Vorzeichen) am Eingang des EEPROM 6 wird also eine 12-Bit-Kombination gesucht, die die Stromaddieranordnung 2 bekommen muss, um das richtige Ergebnis zu liefern. Das alles für jede Stromrichtung einzeln.
Das Ergebnis wird im EEPROM abgelegt. Im späteren Betrieb wird zu jeder der 4096 12-Bit-Adressen das entsprechende 12-Bit-Datenwort entsprechend Stromrichtung ausgegeben, die jeweils anderen 12-Bit haben Potential logisch L, die Verstärkerhälfte bleibt unbenutzt.
In dem EEPROM 6 ist also eine Tabelle abgelegt, die das zu einem gewünschten Stromausgangswert, der durch das erste Datenwort codiert wird, gehörende Datenwort mit einer Bitzahl 2k zur Ansteuerung der schaltbaren Brücken als Ausgangsdatenwort speichert.
Durch Widerstandstoleranzen und Temperaturdrift verändert sich aber der von dem Verstärker 2 ausgegebene Stromwert bei Eingabe eines identischen Datenwortes. Dafür ist die zweite Funktion der Steuerschaltung 2 vorgesehen. Im Normalbetrieb ist der Schalter 4 geschlossen und der EEPROM wird über den Eingang 3 angesteuert. Die zweite Funktion benutzt die Abgleichsteuerschaltung 7 nicht. Sie dient der (vergleichsweise geringfügigen) Nachkorrektur des ausgegebenen Stromwerts während der Normalbetriebsphase (z.B. Kompensation der temperaturbedingten Änderungen eines Widerstandswerts). Dieser kann mit Hilfe des Hilfsverstärkers 9, der nach Freigabe über den Tiefpass 10 mit einem Datenwort von zum Beispiel 3 (oder 4 oder 5) Bit angesteuert wird, die aus der Differenz des ersten und des zweiten Datenwortes durch die Vergleichsschaltung 5 abgeleitet werden, ausgeglichen werden.
Aufgrund der möglichen schnellen Ansteuerung des Verstärkers 2 kann ein Abgleich zur Korrektur dieser Abweichungen auch in sehr kurzen Arbeitspausen während der Bearbeitung eines Werkstücks erfolgen, um temperaturbedingte Widerstandsänderungen auszugleichen. Dazu wird, wie bereits beschrieben wurde, das erste Datenwort mit dem zweiten Datenwort verglichen und die Ausgabe des Codewandlers 5 entsprechend angepasst.
Der Vorteil dieser Vorgehensweise ist die zeitliche Entkopplung der Regelung, die zu jeder Eingangsgröße die korrekte Ausgangsgröße erzeugt, von der erforderlichen sehr schnellen Arbeits weise des Verstärkers. Ein solcher Aufbau kann keine Regelschwingung erzeugen. Bei Verwendung eines 12 Bit Eingangsdatenwortes pro Verstärkerseite für den Verstärker 2 hat man praktisch 4096 Stellgrößen zur Verfügung, um alle statischen Ungenauigkeiten zu korrigieren. Die dynamischen Eigenschaften des Systems sind weitestgehend mit der (sehr kleinen) Zeitkonstante τ beschrieben.
Es ist auch möglich, die Rückkopplung nicht über den A/D-Wandler 6, sondern durch Messung des Auftrefforts der Elektronen im Arbeitsraum, zum Beispiel mit einem Drahtgitter mit voneinander isolierten Drähten, zu ermitteln. Mit einer solchen Anordnung sind technologisch bedingte und wegen der begrenzten Spulenquerschnitte physikalisch unumgängliche Fehler wie Kissenfehler ausgleichbar. In diesem Fall können alle 24 Bit für die X- und die Y-Richtung insgesamt zur Adressierung eines Speichers mit 16 M × 3 Byte verwendet werden, und die 24 Bit-Daten werden wiederum zur Ansteuerung der beiden Leisten des Verstärkers 2 verwendet.
Zusammenfassend, die Stromaddieranordnung, die als schneller Verstärker zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität, insbesondere einer Ablenkspule einer Elektronenstrahlkanone verwendbar ist, ermöglicht das Addieren einzelner, jeweils für sich ungeregelter Ströme bekannter Größe zu einem Gesamtstrom, was aufgrund der sehr kleinen erreichbaren Zeitkonstanten für das System eine schnelle und zuverlässige "Verstärkung", genauer Ausgabe, eines steuerbaren Stroms mit konstanter Spannung ermöglicht.
Das Verhältnis von je 2 der aufzuaddierenden Ströme ist vorzugsweise ≤ 2, was eine Art Binärcode der aufzuaddierenden Ströme bildet. Vorzugsweise wird das Verhältnis in Richtung der größeren, der zu schaltenden Ströme kleiner.
Eine lineare Übertragungsfunktion des Verstärkers bzw. der Stromaddierschaltung wird z.B. durch einen Codewandler erreicht, der herstellungsbedingte Widerstandstoleranzen ausgleicht und nach Beaufschlagen des Verstärkers mit den später zu erzielenden Strömen in thermischem Gleichgewicht die temperaturbedingten Widerstandsänderungen ausgleicht.
Dynamische Laständerungen an den Hochstromwiderständen im Rahmen der relativ großen Zeitkonstante für thermisch bedingte Widerstandsänderungen können durch die Steuerschaltung so langsam ausgeregelt werden, dass eine Schwingungsneigung durch Rückkopplung in diesem Regelkreis ausgeschlossen ist.
Für kontinuierliche Stromänderungen kann die Spule nahe an ihrem Fußpunkt kurzgeschlossen werden, damit mit einer großen Zeitkonstante der vorher in der Spule fließende Strom aufrecht erhalten wird, während in dem Verstärker ein Schaltvorgang stattfindet.
Mit einem derart schnellen Verstärker wird auch eine Bilderzeugung mit der Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung durch eine Abtastung der Oberfläche des in Bearbeitung befindlichen Werkstückes mit dem selben Elektronenstrahl, der zur gleichen Zeit zur Bearbeitung des Werkstückes verwendet wird, und Auswertung der rückgestreuten Elektronen möglich.
3 zeigt schematisch eine solche Elektronenstrahlanlage. Durch Kathode 11, Wehneltzylinder 12 und Anode 13 wird ein Elektronenstrahl e erzeugt, der durch zueinander senkrechte Magnetfelder 14, 15, die durch die Ablenkspulen der Elektronenstrahlkanone erzeugt werden, in seiner Strahlrichtung gesteuert wird.
Während einer Schweißbearbeitung eines Werkstücks wird eine Schweißkapillare SK erzeugt.
Unter Aufrechterhaltung der Schweißkapillare SK kann der Strahl in kurzen Zeitintervallen interessierende Oberflächenbereiche des Werkstückes mit einem Abtastmuster 16 abtasten, so dass durch Erfassung der Rückstreuelektronen ein Bild des abgetasteten Oberflächenbereichs erzeugt werden kann.
Dazu weist die Elektronenstrahlanlage zwei Sensoren S1, S2 auf, die voneinander unabhängig Rückstreuelektronen erfassen können. Die Sensoren S1, S2 erzeugen jeweils ein Ausgangssignal, das der Intensität der Rückstreuelektronen, die durch den entsprechenden Sensor erfasst werden, entspricht. Die Ausgangssignale der Sensoren S1, S2 werden an den Eingang je eines Vorverstärkers 17 angelegt. Die Ausgangssignale der beiden Vorverstärker 17 werden an die beiden Eingänge eines Differenzverstärkers 18 angelegt. Das Ausgangssignal des Differenzverstärkers 18 wird an den Eingang eines Endverstärkers 19 angelegt, der zwei sogenannte Gegentaktausgänge aufweist. An dem einen Gegentaktausgang 19a wird das verstärkte Eingangssignal des Endverstärkers 19 ausgegeben. An dem anderen Gegentaktausgang 19b wird das verstärkte Eingangssignal des Endverstärkers 19 mit umgekehrtem Vorzeichen ausgegeben. In anderen Worten, der Endverstärker 19 gibt das verstärkte Differenzsignal und das negierte verstärkte Differenzsignal aus.
Mit diesen beiden Signalen kann zum Beispiel auf einem Display mit RGB-Eingang ein Farbbild erzeugt werden, bei dem das eine Signal rot und das andere Signal grün dargestellt wird. Die Farbdarstellung führt zu dem visuellen Eindruck einer schräg beleuchteten Kulisse, ähnlich einer colorierten Landkarte mit Hervorhebung von Bergen und Tälern. Es werden damit optische Täuschungen vermieden, die bei einer Grauwertdarstellung beispielsweise nicht erlauben, das Loch eines Körnerschlags von einer kegelförmigen Erhebung zu unterscheiden. Dadurch können Bedienungsfehler vermieden werden.
Alternativ ist es auch möglich, die Signalauswertung digital auszuführen, d.h. eine digitale Darstellung der Sensorsignale zu wählen, die dann entweder in digitaler Form gespeichert oder auf einem Digitalbildschirm dargestellt werden.
Der Übergang von analoger zu digitaler Technik ist prinzipiell an jeder Stelle von den Sensoren S1, S2 bis zu den Ausgängen des Endverstärkers 19 möglich.
Eine Elektronenstrahlanlage mit einer Elektronenstrahlkanone mit Ablenkspulen, einer Stromaddieranordnung der zuvor beschriebenen Art zur Ansteuerung der Ablenkspulen, und einer Bilderzeugungsvorrichtung der zuvor beschriebenen Art ermöglicht einerseits eine sehr schnelle und genaue Steuerung der Strahlrichtung mit einer bei Analogverstärkern nur sehr schwer erreichbaren Wiederholgenauigkeit, die mit der bisherigen Technik nicht möglich war, und sie ermöglicht andererseits eine Erzeugung eines Digitalbildes von interessierenden Oberflächenbereichen. Diese beiden Vorteile können unabhängig voneinander erreicht werden.
Die Datenworte, mit denen die Stromaddieranordnung angesteuert wird, stellen letzten Endes eine Art Bitmap und somit eine Karte des abzutastenden Werkstücks dar. Wenn also eine Korrelation zwischen den erfassten Rückstreuelektronen und der Ansteuerung der Stromaddieranordnung hergestellt wird, dann ergibt jedes entsprechende Datenpaar aus Datenwort und Sensorwerten je einen Punkt einer Rückstreuelektronenintensitätskarte.
Diese kann nun noch dadurch genauer gestaltet werden, dass nicht das erste Datenwort, das in die Steuerschaltung 1 eingegeben wird, sondern das zweite Datenwort, das aus dem von dem Verstärker 2 tatsächlich ausgegebenen Spulenstrom gewonnen wird, für die Herstellung der Kar te genommen wird. Es lässt sich also pixelweise ein Bildspeicher mit den gewonnenen Sensorwerten füllen.
Eine solche bildliche Darstellung des abgerasteten Oberflächenbereichs kann einerseits zur visuellen Kontrolle und andererseits für Qualitätsmanagementaufgaben und auch zur Strahlnachführung markante Bereiche zur weiteren Analyse ergeben.
Das Verwenden der Stromaddieranordnung für die Ansteuerung der Ablenkspulen führt also in Kombination mit der Bilderzeugungsvorrichtung zu einer besonders bevorzugten Ausbildung der Bilderzeugungsvorrichtung, da die Bitmap, mit der die Stromaddieranordnung angesteuert wird, auch zur Bilderzeugung in der oben beschriebenen Weise verwendet werden kann.
Es wird explizit betont, dass alle in der Beschreibung und/oder den Ansprüchen offenbarten Merkmale als getrennt und unabhängig voneinander zum Zweck der ursprünglichen Offenbarung ebenso wie zum Zweck des Einschränkens der beanspruchten Erfindung unabhängig von den Merkmalskombinationen in den Ausführungsformen und/oder den Ansprüchen angesehen werden sollen. Es wird explizit festgehalten, dass alle Bereichsangaben oder Angaben von Gruppen von Einheiten jeden möglichen Zwischenwert oder Untergruppe von Einheiten zum Zweck der ursprünglichen Offenbarung ebenso wie zum Zweck des Einschränkens der beanspruchten Erfindung offenbaren, insbesondere auch als Grenze einer Bereichsangabe.

Claims

Stromaddiereranordnung zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität, insbesondere einer Ablenkspule einer Elektronenstrahlkanone, mit einer ersten Spannungsleiste (U₁), die dazu angepasst ist mit einer spannungsstabilisierten Stromversorgung verbunden zu werden, einer zweiten Spannungsleiste (U_v), die dazu angepasst ist mit einem ersten Ausgang (AL) zur Stromversorgung der Induktivität (L) verbunden zu werden, und einer Mehrzahl von ersten schaltbaren Brücken (B1₁, B1₂, B1₃,..., B1_k), die jeweils einen in Reihe zwischen die erste Spannungsleiste (U₁) und die zweite Spannungsleiste (U_v) schaltbaren Widerstand (R1₁, R1₂, R1₃,..., R1_k) mit einem Widerstandswert aufweisen, bei der Widerstandswerte so gewählt sind, dass ein erster Widerstand (R1₁) einen ersten Widerstandswert WR1₁ = R_min aufweist, ein zweiter Widerstand (R1₂) einen zweiten Widerstandswert WR1₂ ≥ WR1₁ aufweist, und der n-te Widerstand einen n-ten Widerstandswert WR1_n > WR1_n-1 aufweist.
Stromaddiereranordnung nach Anspruch 1, mit einer dritten Spannungsleiste (U₂), die dazu angepasst ist mit einer spannungsstabilisierten Stromversorgung verbunden zu werden, und einer Mehrzahl von zweiten schaltbaren Brücken (B2₁, B2₂, B2₃,..., B2_k), die jeweils einen in Reihe zwischen die dritte Spannungsleiste (U₂) und die zweite Spannungsleiste (U_v) schaltbaren Widerstand R2₁, R2₂, R2₃,..., R2_k) mit einem Widerstandswert aufweisen, bei der Widerstandswerte so gewählt sind, dass ein erster Widerstand (R1₁) einen ersten Widerstandswert WR2₁ = R_min aufweist, ein zweiter Widerstand (R1₂) einen zweiten Widerstandswert WR2₂ ≥ WR2₁ aufweist, und der n-te Widerstand einen n-ten Widerstandswert WR2_n ≥ WR2_n-1 aufweist.
Stromaddiereranordnung nach Anspruch 1 oder 2, bei der bei der die Widerstandswerte so gewählt sind, dass der zweite Widerstand (Ri₂) einen zweiten Widerstandswert WRi₂ = m₂R_min, 2 ≥ m₂ ≥ 1, i = 1, 2, aufweist, und der n-te Widerstand (Ri_n) einen n-ten Widerstandswert WRi_n = m_n ^n-1R_min, 2 ≥ m_n ≥ 1, aufweist.
Stromaddiereranordnung nach Anspruch 3, bei der m_n ≥ m_n-1,. und/oder m_n = m_n+1 für n ≥ 3,4,5,6,....
Stromaddiereranordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, bei der die erste Spannungsleiste (U₁) dazu angepasst ist, mit einem Ausgang einer ersten Polarität (+) der spannungsstabilisierten Stromversorgung verbunden zu werden, und die dritte Spannungsleiste (U₂) dazu angepasst ist, mit einem Ausgang einer zweiten Polarität (–) der spannungsstabilisierten Stromversorgung verbunden zu werden.
Stromaddiereranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der die schaltbaren Brücken (B1₁, B1₂, B1₃,..., B1_k, B2₁, B2₂, B2₃,..., B2_k) jeweils aus einer Reihenschaltung aus dem Widerstand (R1₁, R1₂, R1₃,..., R1_k, R2₁, R2₂, R2₃,..., R2_k) und einem schnellen Schalter (T1₁, T1₂, T1₃,..., Tl_k, T2₁, T2₂, T2₃,..., T2_k) bestehen.
Stromaddiereranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, die eine Steuerschaltung zur Ansteuerung der schaltbaren Brücken, die zur separaten und voneinander unabhängigen Ansteuerung jeder der schaltbaren Brücke ausgebildet ist, aufweist.
Stromaddiereranordnung nach Anspruch 7, bei der die Steuerschaltung, einen Dateneingang (3) zum Empfang eines ersten Datenworts mit einer ersten Bitzahl, einen Codewandler (6), der mit dem Dateneingang verbindbar ist und dazu angepasst ist, nach einer vorgegebenen Umwandlungsregel ein Eingangsdatenwort mit der ersten Bitzahl in ein Ausgangsdatenwort mit einer zweiten Bitzahl zur Ansteuerung der schaltbaren Brücken umzuwandeln, einen A/D-Wandler (7), der mit dem ersten Ausgang verbunden ist, und ein zweites Datenwort mit der ersten Bitzahl ausgibt, eine Vergleichsschaltung (8), die das erste und das zweite Datenwort vergleicht und ein Vergleichsergebnis ausgibt, und einen Hilfsverstärker (9), dessen Ausgang mit dem ersten Ausgang (AL) verbunden ist und der an seinem Eingang ein Eingangssignal, das dem Vergleichsergebnis entspricht, empfangt, aufweist.
Stromaddieranordnung nach Anspruch 8, die eine Abgleichsteuerschaltung (7), die das Vergleichsergebnis von der Vergleichsschaltung (5) empfängt und dazu angepasst ist, die Ausgabe des Codewandlers (5) so zu beinflussen, dass das erste Datenwort und das zweite Datenwort zur Übereinstimmung gebracht werden, aufweist.
Stromaddiereranordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, bei der die Steuerschaltung dazu angepasst ist, eine in Dauer und Amplitude an einen Betrag einer Änderung des an den ersten Ausgang (AL) auszugebenden Stroms angepasste Übersteuerung der Stromaddieranordnung auszuführen.
Stromaddiereranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, die eine Schaltung zum Kurzschließen der Induktivität (L) nahe ihres dem ersten Ausgang entgegengesetzten Fußpunktes während eines Schaltens der schaltbaren Brücken aufweist.
Stromaddiereranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, die eine erste Stromaddieranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, deren ersten Ausgang (AL) ein erster Spulenanschluss ist, und eine zweite Stromaddieranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, deren ersten Ausgang (AL) ein zweiter Spulenanschluss ist, aufweist, und bei der die Steuerschaltung nach einem der Ansprüche 7 bis 11 zur Ansteuerung der ersten Stromaddieranordnung und der zweiten Stromaddieranordnung ausgebildet ist.
Bilderzeugungsvorrichtung für eine Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung, die zur Erzeugung eines Bildes eines mit einer Elektronenstrahlkanone bearbeiteten Werkstücks während der Bearbeitung angepasst ist, wobei die Elektronenstrahlkanone eine Ablenkvorrichtung zur gesteuerten Ablenkung des Elektronenstahls aufweist, mit einem Speicher zur Speicherung eines digitalen Bearbeitungs- und Abtastmusters, das einen Weg eines Elektronenstrahls (e) in einem Bearbeitungs- und Abtastbereich auf dem Werkstück definiert, einer Steuerschaltung (1, 2), die zur Ansteuerung der Ablenkvorrichtung zur Ablenkung des Elektronenstrahls (e) gemäß des Bearbeitungs- und Abtastmusters angepasst ist, einem Sensorsystem mit zwei Sensoren (S1, S2), die zum voneinander unabhängigen Erfassen von Elektronen, die von dem Werkstück während der Bearbeitung rückgestreut werden, und zum Ausgeben eines Ausgangssignals, das die Intensität der Rückstreuung wiedergibt, ausgebildet sind, und einer Auswerteschaltung (17–20), die die aus den Ausgangssignalen der beiden Sensoren (S1, S2) ein Differenzsignal und aus dem Differenzsignal ein Bild, das den Bearbeitungs- und Abtastbereich derart, dass das Differenzsignal in einer ersten Farbe und das negierte Differenzsignal in einer zweiten Farbe gleichzeitig dargestellt werden können, abbildet, erzeugt.
Bilderzeugungsvorrichtung nach Anspruch 13, bei der die Auswerteschaltung einen ersten Vorverstärker (17) mit einem Eingang, der mit einem der Sensoren (S1) verbunden ist, einen zweiten Vorverstärker (17) mit einem Eingang, der mit dem anderen Sensor (S2) verbunden ist, einen Differenzverstärker (18), dessen Eingänge mit den Ausgängen der beiden Vorverstärker (17, 17) verbunden sind, einen Endverstärker (19) mit einem Eingang, der einen mit dem Ausgang des Differenzverstärkers (18) verbunden ist, und zwei Gegentorausgängen (19a, 19b), aufweist.
Bilderzeugungsvorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, bei der die Auswerteschaltung zum Wechseln der Farben mit denen das Differenzsignal und das negierte Differenzsignal gleichzeitig dargestellt werden, angepasst ist.
Elektronenstrahlanlage mit einer Elektronenstrahlkanone (11, 12, 13) mit einer ersten Ablenkspule zur Ablenkung des Elektronenstrahls (e) in einer ersten Richtung (14) und einer zweiten Ablenkspule zur Ablenkung des Elektronenstrahls (e) in einer zweiten Richtung (15), einer Stromaddieranordnung nach Anspruch 12, deren erster Spulenanschluss mit der ersten Ablenkspule verbunden ist und deren zweiter Spulenanschluss mit der zweiten Ablenkspule verbunden ist, und einem Speicher zur Speicherung eines digitalen Bearbeitungs- und Abtastmusters, das einen Weg des Elektronenstrahls (e) in einem Bearbeitungs- und Abtastbereich auf einem mit der Elektronenstrahlkanone zu bearbeitenden Werkstück definiert, bei der die Steuerschaltung (21) zur Ansteuerung der Ablenkspulen zur Ablenkung des Elektronenstrahls gemäß des Bearbeitungs- und Abtastmusters angepasst ist.
Elektronenstrahlanlage nach Anspruch 16, die ein Sensorsystem mit zwei Sensoren (S1, S2), die zum voneinander unabhängigen Erfassen von Elektronen, die von einem Werkstück während einer Bearbeitung mit dem Elektronenstrahl (e) rückgestreut werden, und zum Ausgeben eines Ausgangssignals, das die Intensität der Rückstreuung wiedergibt, ausgebildet sind, und einer Auswerteschaltung, die die aus den Ausgangssignalen der beiden Sensoren ein Differenzsignal und aus dem Differenzsignal ein Bild, das den Bearbeitungs- und Abtastbereich derart, dass das Differenzsignal in einer ersten Farbe und das negierte Differenzsignal in einer zweiten Farbe gleichzeitig dargestellt werden können, abbildet, erzeugt.
Elektronenstrahlanlage nach Anspruch 17, bei der die Auswerteschaltung einen ersten Vorverstärker (17) mit einem Eingang, der mit einem der Sensoren (S1) verbunden ist, einen zweiten Vorverstärker (17) mit einem Eingang, der mit dem anderen Sensor (S2) verbunden ist, einen Differenzverstärker (18), dessen Eingänge mit den Ausgängen der beiden Vorverstärker (17, 17) verbunden sind, einen Endverstärker (19) mit einem Eingang, der einen mit dem Ausgang des Differenzverstärkers verbunden ist, und zwei Gegentorausgängen, aufweist.
Elektronenstrahlanlage nach Anspruch 17 oder 18, bei der die Auswerteschaltung zum Wechseln der Farben mit denen das Differenzsignal und das negierte Differenzsignal gleichzeitig dargestellt werden, angepasst ist.