Bis
vor einigen Jahren wurden typischerweise Kathodenstrahlröhren dazu
verwendet, Displays, wie Fernseher oder Monitore, herzustellen.
Jedoch sind Kathodenstrahlröhren
schwer, voluminös,
und sie benötigen
hohe Ansteuerspannungen. Daher nimmt die Verwendung von Flachtafeldisplays
zu, da sie über
die Vorteile eines flachen Aufbaus, eines geringen Gewichts und
eines niedrigen Energieverbrauchs verfügen. Zu Beispielen von Flachtafeldisplays
gehören
Flüssigkristalldisplays
(LCDs), Plasmadisplaytafeln (PDPs), Feldemissionsdisplays (FEDs)
sowie Elektrolumineszenzdisplays (ELDs).
Die 1 ist eine Schnittansicht
eines bekannten Flachtafeldisplays 50, das über Folgendes verfügt: ein
erstes und ein zweites Substrat 20, 30, die unter
Einhaltung eines vorbestimmten Abstands einander zugewandt sind;
ein erstes und ein zweites Array 21, 31, die auf
den einander zugewandten Oberflächen
der Substrate ausgebildet sind; und einen Zwischenraum 25 zwischen
den Substraten. Die Konfiguration der Arrays 21 und 31 ist
abhängig
von den Eigenschaften und/oder dem Typ des Flachtafeldisplays variabel.
Beispielsweise können
auf den Substraten zwei Arrays ausgebildet sein, oder sie können gemeinsam
auf einem der Substrate ausgebildet sein. Nachfolgend werden Anwendungen
derartiger Flachtafeldisplays kurz beschrieben. Plasmadisplaytafeln
sind dazu konzipiert, ein Bild auf einem Schirm auf Grundlage des
Prinzips anzuzeigen, gemäß dem dann,
wenn ultraviolettes Licht, wie es durch ein zwischen die Substrate
eingefülltes
Gas emittiert wird, auf einen Leuchtstoff trifft, spezielles sichtbares
Licht entsprechend dem Typ des Leuchtstoffs, erzeugt wird. So wirkt
der Leuchtstoff so, dass er Licht unter Verwendung des ultravioletten
Lichts emittiert, wie es während
der elektrischen Entladung durch das Gas erzeugt wird. Flachtafeldisplays
vom Plasmadisplaytafeltyp sind so aufgebaut, dass zwei Glassubstrate,
die jeweils Elektroden tragen, unter Einhaltung eines vorbestimmten
Zwischenraums mit einer Vielzahl kleiner Trennstege aneinander angebracht
sind, wobei der Zwischenraum innerhalb jedes der Trennstege mit
Gas, wie Ne oder Xe, mit einem Druck von einigen hundert Torr (1
Torr = 1,33 hPa) vor dem vollständigen
Abdichten der Flachtafeldisplay-Tafel gefüllt wird. Ein Elektrolumineszenzdisplay verfügt über ein
oberes Substrat ohne Array sowie ein unteres Substrat mit einem
Dünnschichttransistorarray
sowie einem Leuchtstoff, der so ausgebildet ist, dass er entsprechend
dem Betrieb des Arrays Licht emittiert. Elektrolumineszenzdisplays
beruhen auf dem Elektrolumineszenz(EL) effekt, gemäß dem ein
Leuchtstoff dann Licht erzeugt, wenn ein elektrisches Feld über einem
vorbestimmten Wert an ihn angelegt wird. Derartige Displays können in
anorganische und organische (OELD) Elektrolumineszenzdisplays, abhängig vom
Typ der Leuchtstoff-Lichtquelle, mit Anregung von Ladungsträgern, eingeteilt werden.
Insbesondere
werden organische Elektrolumineszenzdisplays als Displays mit natürlichen
Farben erkannt, da Leuchtstoffe in ihnen Farben über den gesamten Bereich sichtbaren
Lichts, einschließlich
Blau, anzeigen können.
Auch verfügen
diese Displays über
spezielle Vorteile, wie hohe Helligkeit, eine niedrige Ansteuerspannung,
ein hohes Kontrastverhältnis
durch Selbstleuchten, ultradünnen
Aufbau sowie eine relativ kleine Umweltverschmutzung wegen eines
einfachen Herstellprozesses. Weiterhin können organische Elektrolumineszenzdisplays
bewegte Bilder aufgrund ihrer kurzen Ansprechzeit von einigen Mikrosekunden
sehr gut anzeigen, und es besteht kein eingeschränkter Betrachtungswinkel. Sie sind
selbst bei niedrigen Temperaturen stabil, und eine Ansteuerschaltung
für sie
kann wegen der niedrigen Ansteuer-Gleichspannungen von 5 V bis 15
V leicht konzipiert und her gestellt werden. Obwohl diese Displays
eine ähnliche
Konfiguration wie anorganische Elektrolumineszenzdisplays aufweisen,
sind sie so konzipiert, dass sie Licht mittels Rekombination von
Elektronen und Löchern
emittieren, weswegen sie auch als organische Leuchtdiode (OLED)
bezeichnet werden können.
Nachfolgend wird der Begriff "organisches
Elektrolumineszenzdisplay" verwendet.
Die 2 ist eine perspektivische
Explosionsansicht eines bekannten Flüssigkristalldisplays. Wie erkennbar,
verfügt
dieses über
ein erstes und ein zweites Substrat 1 und 2, die
unter Einhaltung eines vorbestimmten Zwischenraums aneinander befestigt sind,
und eine Schicht 3 aus Flüssigkristallmolekülen, die
durch Einfüllen
derselben zwischen den beiden Substraten hergestellt wurde. Genauer
gesagt, verfügt
das erste Substrat 1 über
eine Vielzahl von in einer ersten Richtung angeordneten Gateleitungen 4 und
eine Vielzahl von orthogonal zu diesen angeordneten Datenleitungen 5,
um eine Vielzahl von Pixelbereichen P zu bilden, von denen jeder
mit einer Pixelelektrode 6 versehen ist. Ferner verfügt jeder
der Pixelbereiche P auch über
einen Dünnschichttransistor
T benachbart zur Stelle, an der sich Gateleitungen 4 und
Datenleitungen 5 schneiden, um dazu zu dienen, auf an die
Gateleitungen 4 hin angelegte Signale an die jeweiligen
Pixelelektroden 6 Datensignale zu liefern, wie sie über die
Datenleitungen 5 zugeführt
werden.
Das
zweite Substrat 2 verfügt über eine Schwarzmatrixschicht 7 zum
Ausblenden von Licht außer
in den Pixelbereichen P. In den Pixelbereichen P sind Farbfilterschichten 8 für Rot, Grün und Blau vorhanden,
um die jeweiligen Farben zu liefern. Auf jeder der Farbfilterschichten 8 ist
eine gemeinsame Elektrode 9 vorhanden, um gemeinsam mit
den Pixelelektroden 6 ein Bild zu erzeugen.
Bei
einem Flüssigkristalldisplay
mit diesem Aufbau werden die Flüssigkristallmoleküle in der Schicht 3 zwischen
dem ersten und dem zweiten Substrat 1 und 2 unter
dem Einfluss eines elektrischen Felds ausgerichtet, wie es zwischen
den Pixelelektroden 6 und der gemeinsamen Elektrode 9 erzeugt
wird. So wird die Menge des durch die Schicht 3 der Flüssigkristallmoleküle laufenden
Lichts auf Grundlage des Ausrichtungsgrads derselben reguliert,
um ein Bild zu erzeugen.
Bis
jetzt ist eine Anzahl verschiedener Flachtafeldisplays bekannt,
jedoch zeigen diese die folgenden Probleme. Sie verwenden alle ein
Paar aus einem ersten und einem zweiten Substrat, die unter Einhaltung
eines vorbestimmten Abstands einander zugewandt sind, wobei diese
zweiten Substrate aus Glas bestehen. Jedoch machen diese Glassubstrate ungefähr die Hälfte der
gesamten Herstellkosten von Flachtafeldisplays aus. Ferner wird
der Kostenanteil aufgrund der Glassubstrate, je größer die
Abmessungen von Flachtafeldisplays sind, um so größer.
Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Flachtafeldisplay und
ein Verfahren zu dessen Herstellung zu schaffen, bei denen eine
billige Herstellung möglich
ist.
Diese
Aufgabe ist durch das Flachtafeldisplay gemäß dem beigefügten Anspruch
1 und das Verfahren gemäß dem beigefügten Anspruch
5 gelöst.
Bei der Erfindung werden nicht mehr zwei gesonderte Glassubstrate
verwendet, sondern es wird nur ein Glassubstrat verwendet, auf dem
ein Flachtafelarray ausgebildet ist, und das zweite Glassubstrat wird
durch einen auf das Flachtafelarray aufgebrachten Glasfilm ersetzt.
Dadurch kann das zweite, teure Glassubstrat entfallen, und außerdem ist
kein Herstellschritt zum dichten Verbinden zweier Glassubstrate
miteinander erforderlich.
Die
Erfindung wird nachfolgend anhand von durch Figuren veranschaulichten
Ausführungsformen
näher erläutert.
1 ist eine Schnittansicht
eines bekannten Flachtafeldisplays;
2 ist eine perspektivische
Explosionsansicht eines bekannten Flüssigkristalldisplays;
3 ist eine Schnittansicht
eines Flachtafeldisplays gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung;
4A bis 4D sind Schnittansichten zum Veranschaulichen
sequenzieller Prozesse eines Verfahrens zum Herstellen eines Flachtafeldisplays
gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung; und
5 ist eine perspektivische
Ansicht zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Abscheiden eines
Glaspulvers bei der Herstellung eines Flachtafeldisplays gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung.
Wo
immer es möglich
ist, sind in den Zeichnungen dieselben Bezugszahlen dazu verwendet, dieselben
oder ähnliche
Teile zu kennzeichnen.
Ein
Flachtafeldisplay, wie es nachfolgend erläutert wird, verfügt über einen
Glasfilmersatz für
das obere von zwei Glassubstraten, die in ihm einander zugewandt
sind, wobei der Glasfilm aus einem Glaspulver besteht. Genauer gesagt,
wird, bei der Herstellung des Flachtafeldisplays, nachdem ein einzelnes
Glassubstrat, d. h. das untere Glassubstrat, hergestellt wurde und
auf ihm ein Array ausgebildet wurde, Glaspulver auf das Array aufgebracht,
um einen ebenen Glasfilm herzustellen. Nachfolgend wird ein organisches
Elektrolumineszenzdisplay als Beispiel eines Flachtafeldisplays,
mit einem Ersatz-Glassubstrat aus einem aus einem Glaspulver hergestellten Glasfilm
erläutert.
Jedoch gehören
zu Ausführungsformen
der Erfindung auch andere Typen von Flachtafeldisplays. Nachfolgend
werden ein Flachtafeldisplay und ein Verfahren zur Herstellung desselben
gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung unter Bezugnahme auf die 3 detailliert erläutert.
Wie
es aus der 3 erkennbar
ist, verfügt ein
Flachtafeldisplay gemäß einer
Ausführungsform der
Erfindung über
Folgendes: ein Glassubstrat 100; ein auf diesem hergestelltes
Array auf dem Glassubstrat 100 (in der 4C mit der Bezugszahl 150 gekennzeichnet);
und einem Glasfilm 200, der durch Abscheiden eines Glaspulvers
und durch Brennen desselben ausgebildet wurde. Genauer gesagt, verfügt das Array über eine
Vielzahl von Gateleitungen (nicht dargestellt), die in einer ersten
Richtung auf dem Glassubstrat 100 angeordnet sind, wobei
eine Vielzahl von Gateelektroden 101 an bestimmten Positionen
von ihnen nach oben vorsteht; einen auf den Gateleitungen auf dem
Glassubstrat 100 hergestellten Gateisolierfilm 102;
eine Halbleiterschicht 103, die auf diesem an den darunter
liegenden Gateelektroden 101 entsprechenden Positionen
ausgebildet ist; eine Vielzahl von Datenleitungen (nicht dargestellt),
die orthogonal zur ersten Richtung der Gateleitungen angeordnet
sind und über
eine Vielzahl von Sourceelektroden 104a verfügen, die
an vorbestimmten Positionen derselben nach oben vorstehen; eine Vielzahl
von Drainelektroden 104b, die jeweils um einen vorbestimmten
Abstand entfernt von den Sourceelektroden 104a vorhanden
sind; einen Zwischenschicht-Isolierfilm 105 über dem
Gateisolierfilm 102, mit den Datenleitungen; eine Vielzahl
von Anoden, die über
Kontaktlöcher
im Zwischenschicht-Isolierfilm 105 mit den Drainelektroden 104b verbunden
sind; eine Vielzahl von Trennstegen 107, die auf dem Zwischenschicht-Isolierfilm 105 an
denjenigen Positionen ausgebildet sind, an denen die Anoden 106 nicht ausgebildet
sind; Schichten 108 aus einer organischen Substanz, die
zwischen die Trennstege 107 eingefüllt sind und in Gruppen von
drei verschiedenen Farben konfiguriert sind, so dass jede Gruppe Licht
der Farbe Rot, Grün
und Blau emittieren kann; eine auf dem Substrat 100 mit
den Trennstegen 107 und den Schichten 108 aus
einer organischen Substanz hergestellten Kathode 109; und
einem auf dieser hergestellten Schutzfilm 110. Der als
oberes Substrat dienende Glasfilm 200 wird dadurch hergestellt, dass
ein Glaspulver auf den Schutzfilm 110 aufgedruckt wird.
Die
Gateleitungen (die nicht dargestellt sind, jedoch in derselben Schicht
wie die Gateelektroden 101 liegen) und die Datenleitungen
(die nicht dargestellt sind, jedoch in derselben Schicht wie die
Source- und die Drainelektroden 104a und 104b liegen) bilden
Pixelbereiche. Die Anoden 106 und die Schichten 108 aus
einer organischen Substanz sind einander entsprechend in Pixelbereichen
ausgebildet. So wirken die Anoden 106 mit der Kathode 109 zum
Ausbilden einer Diodenfunktion zusammen. Demgemäß werden die Schichten 108 aus
einer organischen Substanz so betrieben, dass sie eine Lichtmenge
emittieren, die der durch die Dioden fließenden Stromstärke entspricht.
Die
Gateelektroden 101 stehen nach oben von den Gateleitungen
vor, die Source- und die Drainelektroden 104a und 104b stehen
nach oben von den Datenleitungen vor, und die Halbleiterschicht 103 bildet
in der Nähe
der Bereiche, in denen die Gateleitungen und die Datenleitungen
einander schneiden, Dünnschichttransistoren.
In diesem Fall sind sowohl die Source- als auch die Drainelektroden 104a und 104b so
auf der Halbleiterschicht 103 ausgebildet, dass sie symmetrisch
auf entgegengesetzten Seiten derselben liegen.
Der
Glasfilm 200 ist kein vorab hergestelltes Substrat, sondern
er wird dadurch hergestellt, dass ein Glaspulver, in Form von Teilchen,
auf dem Array mit dem Schutzfilm unter Verwendung einer Spendereinrichtung
gleichmäßig abgeschieden
wird, das abge schiedene Glaspulver durch Erwärmen geschmolzen wird, um für Kohäsion zwischen
den Glaspulverteilchen im geschmolzenen Zustand zu sorgen und dann
das geschmolzene Glaspulver gehärtet wird.
Das Glaspulver verfügt über die
Eigenschaft, dass es bei Raumtemperatur in einer Teilchenphase vorliegt,
wobei jedoch die feinen Teilchen geschmolzen werden und miteinander
vernetzt werden, wenn sie auf eine hohe Temperatur gebracht werden,
so dass das Glaspulver schmilzt. Nachdem das geschmolzene Glaspulver
auf die Raumtemperatur zurückgekehrt
und ausgehärtet
ist, oder wenn es einen Alterungsprozess abgeschlossen hat, ist
es zu einem Glasfilm 200 ausgehärtet, dessen ebene Oberseite parallel
zur Oberseite des unteren Glassubstrats 100 verläuft und
dessen Unterseite zur Form des Arrays passt.
Das
Glaspulver kann über
Teilchen aus ZnO, SiO2 und BaO sowie ein
Bindemittel zum Vernetzen der Teilchen verfügen. Die Größe der im Glaspulver enthaltenen
Teilchen beträgt
ungefähr
1 bis 10 μm.
In diesem Fall wird das Glaspulver bei einer Temperatur im Bereich
von ungefähr
300 bis 900°C
für ungefähr 5 bis
30 Minuten gebrannt. Die obige Brenntemperatur ist ausreichend niedrig,
um eine Verformung des Glassubstrats 100 zu vermeiden oder
das auf ihm ausgebildete Array zu beschädigen. Die Brenntemperatur
des Glaspulvers kann ungefähr
300 bis 500°C
betragen, wenn durch Wärme
hervorgerufene Verspannungen im Glassubstrat 100 berücksichtigt werden.
Die
Dicke des Glasfilms 200, der durch Abscheidung und Sinterung
des Glaspulvers hergestellt wird, kann entsprechend der Menge des
aufgebrachten Glaspulvers geändert
werden. Demgemäß kann der
Glasfilm 200 mit verschiedenen Dicken ausgebildet werden,
um an das Array angepasst zu sein. Beispielsweise kann die Dicke
des Glasfilms 200 im Bereich von ungefähr 10 bis 300 μm liegen.
Das
Flachtafeldisplay, beispielsweise das beschriebene organische Elektrolumineszenzdisplay,
ist so ausgebildet, dass es ent sprechend einem Emissionsvorgang
der Schichten aus einer organischen Substanz ein Bild an einer Oberfläche des zweiten
Substrats 200 anzeigt. Nachfolgend wird ein Verfahren zum
Herstellen des Flachtafeldisplays gemäß der vorliegenden Ausführungsform
unter Bezugnahme auf die Schnittansichten der 4A bis 4D detailliert
erläutert.
Gemäß der 4A wird, nachdem das Glassubstrat 100 bereitgestellt
wurde und ein metallisches Material auf ihm abgeschieden wurde,
das letztere selektiv so entfernt, dass die genannten Gateelektroden 101 von
vorbestimmten Positionen der jeweiligen Pixelbereiche hochstehen.
Dadurch wird die Vielzahl von Gateleitungen (nicht dargestellt)
in einer ersten Richtung ausgebildet. Dann wird der Gateisolierfilm 102 auf
dem Glassubstrat 100 mit den Gateelektroden 101 und
den Gateleitungen hergestellt.
Anschließend an
die Herstellung der Gateleitungen wird die Halbleiterschicht 103 an
vorbestimmten Positionen auf den Gateelektroden 101 hergestellt.
In diesem Fall kann die Halbleiterschicht 103 aus einem
Laminat aus einer nicht aus amorphem Silicium und einer Schicht
aus dotiertem Silicium (n+-Schicht) bestehen.
Alternativ kann die Halbleiterschicht 103 aus polykristallinem
Silicium hergestellt werden.
Nachdem
die Halbleiterschicht 103 hergestellt wurde, wird auf dem
Gateisolierfilm 102, mit der Halbleiterschicht 103,
ein metallisches Material abgeschieden. Dieses wird selektiv entfernt,
um die Vielzahl von Datenleitungen (nicht dargestellt) orthogonal
zur ersten Richtung der Gateleitungen auszubilden. Sourceelektroden 104a stehen
an vorbestimmten Positionen in den Pixelbereichen, benachbart zu
den Schnittstellen der Gateleitungen und der Datenleitungen hoch.
Nach dem Herstellen der Sourceelektroden 104a werden die
Drainelektroden 104b um ein jeweiliges vorbestimmtes, Stück von diesen beabstandet
hergestellt.
Als
Nächstes
wird der Zwischenschicht-Isolierfilm 105 auf dem Glassubstrat 100 mit
den Source- und die Drainelektroden 104a und 104b hergestellt,
und anschließend
wird er selektiv geätzt,
um Kontaktlöcher
in ihm auszubilden. Diese Kontaktlöcher dienen dazu, den oberen
Teil der Drainelektrode 104b frei zu legen.
Die
Kontaktlöcher
werden mit einem Material für
eine transparente Elektrode aufgefüllt, wie Indiumzinnoxid (ITO),
Indiumzinkoxid (IZO) oder Indiumzinnzinkoxid (ITZ), das über den
Zwischenschicht-Isolierfilm 105 abgeschieden wird. Dann
wird die transparente Elektrode selektiv entfernt, um die Vielzahl
von Anoden 106 zu bilden, die elektrisch mit den Drainelektrode 104b verbunden
sind.
Gemäß der 4B werden die Trennstege 107 auf
dem Zwischenschicht-Isolierfilm 105 an den darunter liegenden
Gateelektrode 101 entsprechenden Positionen ausgebildet.
In diesem Fall werden die Trennstege 107 durch ein anorganisches
Filmmaterial gebildet, das dadurch erhalten wird, dass ein anorganisches
Material, wie SiNx oder SiO2 auf
dem Zwischenschicht-Isolierfilm 105 abgeschieden wird und
es in den Pixelbereichen entsprechenden Abschnitten selektiv entfernt
wird. Die Höhe
der Trennstege 107 kann mehr als ungefähr 5000 μm betragen.
Anschließend werden
organische Substanzen, die Licht in den Farben Rot, Grün bzw. Blau emittieren
können,
zwischen die Trennstege 107 eingefüllt, um Schichten 108a, 108b und 108c aus
einer Rot, Grün
bzw. Blau emittierenden organischen Substanz auszubilden. Die Herstellung
dieser Schichten erfolgt durch Druck- oder Beschichtungsprozesse. Die
Höhe dieser
Schichten ist kleiner als ungefähr 2000 μm, so dass
eine Höhendifferenz
zu den Trennstegen 107 besteht, die dazu dient, zu verhindern, dass
die organische Substanz über
die Trennstege 107 überläuft.
Wie
es durch die 4C veranschaulicht
ist, wird die Kathode 109 auf der Oberfläche des
Glassubstrats 100 mit den Trennstegen 107 und
den Schichten 108a, 108b und 108c aus
einer organischen Substanz hergestellt. Dann wird der Schutzfilm 110 auf
der Kathode 109 hergestellt. Anschließend wird ein Glaspulver auf
dem Schutzfilm 110 verteilt, und dann wird es gebrannt,
um den Glasfilm 200 auszubilden.
Die 5 ist eine perspektivische
Ansicht zum Veranschaulichen eines Abscheidungsprozesses für ein Glaspulver
auf einem Flachtafeldisplay gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung. Wie es aus der 5 erkennbar
ist, wird das fertiggestellte untere Arraysubstrat 150 auf
einem Tisch (nicht dargestellt) platziert, und ein Druckprozess
zum Abscheiden des Glaspulvers wird entweder durch Bewegen eines
Spenders 300 oder des Tischs ausgeführt. Die Abscheidedicke des
Glaspulvers wird so bestimmt, dass der durch Brennen der Teilchen
des Glaspulvers erhaltene Glasfilm eine Dicke im Bereich von 10 μm bis zu
einem Wert aufweist, der der Dicke des Glassubstrats 100 entspricht.
Die Größe der Teilchen
wird so eingestellt, dass sie im Bereich von ungefähr 1 bis
10 μm liegt.
Wie oben angegeben, sind die Teilchen aus ZnO, SiO2,
BaO mit einem Bindemittel gemischt. Aufgrund der Abstände zwischen
den Glaspulverteilchen unmittelbar nach dem Abscheiden ist das Glaspulver
unmittelbar nach dem Abscheiden etwas dicker als es der gewünschten
Dicke des Glasfilms entspricht.
Allgemein
verfügt
ein Flachtafeldisplay über ein
oberes und ein unteres Substrat, die einander zugewandt sind, sowie
ein zwischen diesen ausgebildetes Array. Im Stand der Technik werden
zuvor hergestellte Glassubstrate als oberes und unteres Substrat
verwendet. Beim Verfahren zum Herstellen eines Flachtafeldisplays
gemäß Ausführungsformen der
Erfindung wird jedoch nur das untere Substrat durch ein Glassubstrat
gebildet, auf dem das Array ausgebildet ist, während das obere Substrat durch den
genannten Glasfilm ersetzt ist, der durch einen Abscheideprozess unter
Verwendung eines Spenders oder durch einen Beschichtungsprozess
erhalten wird. Demgemäß ist die
Anzahl der vorab herzustellenden Glassubstrate, was einen Hauptteil
der Herstellkosten ausmacht, verringert.
Gemäß der bisherigen
Beschreibung wird der Glasfilm auf dem unteren Arraysubstrat durch
Abscheiden eines Glaspulvers und Brennen desselben hergestellt,
jedoch kann zu seiner Herstellung jedes beliebige Glasfilm-Herstellverfahren
verwendet werden, beispielsweise das Auftragen einer Glaspaste in einem
Solzustand.
Zwar
betreffen die bisher beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung
organische Elektrolumineszenzdisplays, jedoch ist es ersichtlich, dass
die Erfindung bei jedem Typ von Flachtafeldisplays anwendbar ist,
bei dem zwei einander zugewandte Substrate verwendet werden, wobei
eines der beiden Substrate durch einen aus einem Glaspulver oder
einer Glaspaste, die vorzugsweise einen Reaktionsbeschleuniger enthält, hergestellten
Glasfilm ersetzt wird. Verfahren zum Herstellen eines Flachtafeldisplays
gemäß Ausführungsformen
der Erfindung beinhalten die folgenden Schritte: Bereitstellen eines
einzelnen Substrats und Herstellen eines Arrays auf diesem; Abscheiden
oder Auftragen eines Glaspulvers oder einer Glaspaste auf das Substrat
mit dem Array; Schmelzen oder Sintern des Glaspulvers oder der Glaspaste
bei vorbestimmten Bedingungen, um die Teilchen des Glaspulvers oder der
Glaspaste miteinander zu vernetzen; und Fertigstellen eines Glasfilms
auf dem Array. So kann der obere Glasfilm durch den Abscheide- oder
Auftragprozess für
das Glaspulver oder die Glaspaste direkt auf dem unteren Substrat
hergestellt werden, ohne dass ein gesonderter Einschließprozess
erforderlich wäre,
wie er typischerweise angewandt wurde, um ein oberes und ein unteres
Substrat miteinander zu verbinden. Dadurch, dass sich der herkömmliche Einschließprozess
erübrigt,
ist der gesamte Herstellprozess für das Flachtafeldisplay vereinfacht.
Gemäß der Erfindung
kann eines der zwei Substrate, für die
die Hälfte
der Ge samtherstellkosten eines Flachtafeldisplays anfallen, durch
einen Glasfilm ersetzt werden, der aus einem Glaspulver oder einer
Glaspaste hergestellt wird, weswegen es zu einer deutlichen Verringerung
der Kosten bei der Herstellung von Flachtafeldisplays kommt, wobei
diese Kostensenkung umso deutlicher ist, je größer die Displays sind.