DE102006027754A1 - Anordnung und Verfahren zum Beschleunigen von Partikeln - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich u.a. auf ein Verfahren zum Beschleunigen von Partikeln. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass als Partikel Nanopartikel (40) beschleunigt werden und ein Nanopartikelstrom (S3) erzeugt wird, indem die Nanopartikel in ein Flüssiggas (30) eingebracht werden und indem das Flüssiggas von dem flüssigen Aggregatzustand in den gasförmigen Aggregatzustand überführt und die dabei auftretende Druckerhöhung zum Beschleunigen der Nanopartikel genutzt wird.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Beschleunigen von Partikeln.
  • Ein derartiges Verfahren ist aus der europäischen Offenlegungsschrift EP 1 132 497 bekannt. Bei diesem Verfahren wird ein Pudermaterial in ein Trägergas eingebracht und der resultierende Trägergasstrom beschleunigt. Zum Beschleunigen wird eine zweistufige Überschallbeschleunigerdüse eingesetzt. In einer ersten Stufe werden der Trägergasstrom und damit das Pudermaterial auf eine Geschwindigkeit knapp unterhalb der Schallgeschwindigkeit vorbeschleunigt. In einer sich daran anschließenden zweiten Stufe erfolgt die Beschleunigung auf eine höhere Geschwindigkeit, die oberhalb der Schallgeschwindigkeit liegt.
  • Für ein Beschichten von Oberflächen mit Nanopartikeln ist es erforderlich, sehr hohe Partikelgeschwindigkeiten hervorzurufen, damit eine stabile Nanopartikelschicht ausgebildet werden kann. Aufgrund der nur geringen Größe von Nanopartikeln ist es jedoch sehr schwierig, diese zu beschleunigen. Eine Beschleunigerdüse wie die aus der genannten europäischen Offenlegungsschrift vorbekannte ist regelmäßig allein nicht geeignet, Nanopartikel auf die für ein Beschichten erforderliche Endgeschwindigkeit zu beschleunigen.
  • Der Erfindung liegt demgemäß die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Beschleunigen von Nanopartikeln anzugeben, mit dem sich Nanopartikel mit relativ geringem Aufwand auf sehr große Geschwindigkeiten, beispielsweise auf Überschallgeschwindigkeit, beschleunigen lassen.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass Nanopartikel in ein Flüssiggas eingebracht werden und das Flüssiggas von dem flüssigen Aggregatzustand in den gasförmigen Aggregatzustand überführt wird, wobei die dabei auftretende Druckerhöhung zum Beschleunigen der Nanopartikel genutzt wird.
  • Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist darin zu sehen, dass sich mit diesem sehr große kinetische Energien und damit sehr große Endgeschwindigkeiten erreichen lassen, obwohl die Nanopartikel – wie bereits erwähnt – aufgrund ihrer geringen Größe und ihres geringen Gewichts nur schwer zu beschleunigen sind.
  • Ein weiterer wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, dass die Nanopartikel vor dem Beschleunigen in einem Flüssiggas enthalten sind, in dem sie sich sehr stabil lagern lassen, ohne dass es zu einem störenden Verklumpen bzw. Agglomerieren der Nanopartikel kommt. Darüber hinaus wird bei einer Lagerung von Nanopartikeln in Flüssiggas vermieden, dass diese in die Umgebungsluft gelangen können, wodurch gesonderte Sicherungsmaßnahmen wie Staubschutzfilter etc. zur Abwendung gesundheitlicher Gefahren für die mit den Nanopartikeln hantierenden Personen nicht erforderlich sind.
  • Ein dritter wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist darin zu sehen, dass sich die in dem Flüssiggas gelagerten Nanopartikel sehr einfach dosieren lassen, indem nämlich einfach die entsprechende Menge Flüssiggas eingesetzt wird.
  • Das Überführen des Flüssiggases von dem flüssigen Aggregatzustand in den gasförmigen Aggregatzustand erfolgt bevorzugt durch Verdampfen; alternativ kann auch der Übergang während eines Gefriertrocknungsschritts oder einer überkritischen Trocknung genutzt werden.
  • Im Hinblick auf besonders große Nanopartikelgeschwindigkeiten wird es gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens als vorteilhaft angesehen, wenn das Beschleunigen der Nanopartikel zumindest zweistufig erfolgt, wobei die Nanopartikel vorbeschleunigt werden, indem das Flüssiggas von dem flüssigen Aggregatzustand in den gasförmigen Aggregatzustand überführt und ein vorbeschleunigter Nanopartikelstrom gebildet wird, und wobei die Nanopartikel nachbeschleunigt werden, indem der vorbeschleunigte Nanopartikelstrom in eine Nachbeschleunigungseinrichtung eingeführt und mit dieser weiter beschleunigt wird.
  • Für die Nachbeschleunigung wird vorzugsweise zumindest auch eine Überschallbeschleunigerdüse verwendet, wobei der Nanopartikelstrom beispielsweise mit Unterschallgeschwindigkeit in die Überschallbeschleunigerdüse eingespeist und mit der Überschallbeschleunigerdüse auf Überschallgeschwindigkeit nachbeschleunigt wird. Als Überschallbeschleunigerdüse kann beispielsweise die aus der eingangs genannten europäischen Offenlegungsschrift EP 1 132 497 vorbekannte zweistufig arbeitende Überschallbeschleunigerdüse eingesetzt werden.
  • Die Lagerung der Nanopartikel bzw. des Nanopulvers vor dem Erzeugen des Nanopartikelstroms erfolgt vorzugsweise in dem Flüssiggas, um zu vermeiden, dass gesonderte Schutzmaßnahmen erforderlich werden, um ein Eindringen der Nanopartikel in die Umgebungsluft zu verhindern.
  • Um sicherzustellen, dass die Nanopartikel in dem Nanopartikelstrom unverklumpt beschleunigt werden und ein feinverteilter, monodisperser Nanopartikelstrom gebildet wird, wird es als vorteilhaft angesehen, wenn die Nanopartikel vor dem Vorbeschleunigen, insbesondere vor dem Einbringen in das Flüssiggas, oder während des Vorbeschleunigens in einen agglomerationsärmeren Zustand als zuvor, insbesondere in einen nicht-agglomerierten Zustand, überführt werden.
  • Das Überführen in den agglomerationsärmeren Zustand erfolgt vorzugsweise durch eine überkritische Trocknung oder durch eine Gefriertrocknung. Bei einem Gefriertrocknen oder überkritischen Trocknen verändern sich nämlich die Oberflächeneigenschaften der Nanopartikel, wodurch deren ZETA-Potential deutlich kleiner wird. Aufgrund des geringeren ZETA-Potentials weisen die Nanopartikel anschließend eine geringere Neigung auf zu verklumpen. Die in dieser Weise getrennten Nanopartikel werden dann anschließend in dem Flüssiggas zwischengelagert, um sie erst zu einem späteren Zeitpunkt zu beschleunigen, oder sie werden unmittelbar weiter beschleunigt.
  • Eine überkritische Trocknung lässt sich beispielsweise durchführen, indem die Nanopartikel in eine überkritische Flüssigkeit eingebracht werden und die überkritische Flüssigkeit durch überkritische Trocknung in den gasförmigen Zustand überführt wird – dies wird weiter unten anhand der 6 näher erläutert.
  • Eine Gefriertrocknung lässt sich beispielsweise durchführen, indem die Nanopartikel in eine Flüssigkeit, zum Beispiel in ein Flüssiggas, eingebracht werden und die Flüssigkeit durch Gefriertrocknung in den gasförmigen Zustand überführt wird.
  • Als Flüssiggas kann beispielsweise Stickstoff, Argon oder Kohlendioxid verwendet werden. Das Flüssiggas kann beispielsweise erzeugt werden, indem bei Raumdruck eine niedrige Temperatur (z. B. –200°C für Stickstoff) oder bei Raumtemperatur ein sehr großer Druck hervorgerufen wird.
  • Der erzeugte Nanopartikelstrom wird vorzugsweise im Rahmen eines Kaltspritzverfahrens, beispielsweise unter Verwendung von Mikrodüsen und einer Mikrogaserhitzung, eingesetzt, bei dem der Nanopartikelstrom auf eine zu beschichtende Oberfläche gerichtet wird.
  • Außerdem ist es möglich, den Nanopartikelstrom mit einem Reagenzgas zu vermischen, um die Nanopartikel chemisch zu verändern oder diese mit einer funktionalen Beschichtung zu versehen (z. B. Oxidschicht, Nitridschicht, Borid-Schicht, Oxynitridschicht, etc.). Dieses Vermischen erfolgt vorzugsweise während oder nach dem Vorbeschleunigen der Nanopartikel oder alternativ während oder nach dem Nachbeschleunigen. Im Rahmen dieser „Nachbehandlung" der Nanopartikel kann beispielsweise thermische oder elektromagnetische Energie eingesetzt werden.
  • Als Ventil-, Dosier- und Düsensysteme können beispielsweise piezokeramische Komponenten eingesetzt werden.
  • Als selbständige Erfindung wird außerdem eine Anordnung zum Beschleunigen von Partikeln angesehen, mit der sich Nanopartikel mit relativ geringem Aufwand auf sehr große Geschwindigkeiten beschleunigen lassen.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Anordnung mit einer Vorbeschleunigungseinrichtung mit einer Verdampfungskammer sowie einer an die Verdampfungsklammer angeschlossenen Nachbeschleunigungseinrichtung.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert; dabei zeigen beispielhaft
  • 1 ein Ausführungsbeispiel für eine erfindungsgemäße Anordnung zum Beschleunigen von Nanopartikeln und zum Bilden eines beschleunigten Nanopartikelstroms mit einer Vorbeschleunigungseinrichtung und einer Nachbeschleunigungseinrichtung,
  • 2 eine Anordnung zum Auftrennen agglomerierter Nanopartikel und zum Überführen der agglomerierten Nanopartikel in einen nicht agglomerierten Zustand bzw. in einen weniger agglomerierten Zustand als vorher, wobei die Anordnung eine Gefriertrocknungseinrichtung umfasst,
  • 3 ein Ausführungsbeispiel für eine Anordnung mit einer Gefriertrocknungseinrichtung, die ausgangsseitig mit einer Beschleunigungseinrichtung in Verbindung steht,
  • 4 ein Ausführungsbeispiel für eine Anordnung zum Auftrennen agglomerierter Nanopartikel mit einer Prozesskammer zum Überführen einer überkritischen Flüssigkeit in ein Gas,
  • 5 eine Anordnung mit der Prozesskammer gemäß 4, wobei die Prozesskammer ausgangsseitig mit einer Nachbeschleunigungseinrichtung in Verbindung steht, und
  • 6 ein Phasendiagramm zu Verdeutlichung der bei den Anordnungen gemäß den 1 bis 5 genutzten Phasenwechsel.
  • In den 1 bis 6 werden der Übersichtlichkeit halber für identische oder vergleichbare Komponenten stets dieselben Bezugszeichen verwendet.
  • In der 1 erkennt man eine Anordnung 10 zum Bilden eines Nanopartikelstroms mit hoher Nanopartikelgeschwindigkeit. Die Anordnung 10 weist einen Flüssiggasbehälter 20 auf, in dem ein Flüssiggas 30 zusammen mit Nanopartikeln 40 enthalten ist.
  • Außerdem erkennt man in der 1 einen Reagenzgasbehälter 50, in dem ein Reagenzgas 60 enthalten ist. Der Flüssiggasbehälter 20 sowie der Reagenzgasbehälter 50 stehen mit einer Vorbeschleunigungseinrichtung 70 in Verbindung, in die das Flüssiggas 30 mit den Nanopartikeln 40 sowie das Reagenzgas 60 beispielsweise mittels in der 1 aus Gründen der Übersichtlichkeit halber nicht weiter gezeigter Ventileinrichtungen eingespeist werden.
  • Die Vorbeschleunigungseinrichtung 70 umfasst eine Verdampfungskammer 100, die beispielsweise mit einer Temperatureinstelleinrichtung (z. B. Heiz- und/oder Kühleinrichtung) 110 sowie mit einem Ventil 120 ausgestattet ist. Mit ihrem Ausgang A70 ist die Vorbeschleunigungseinrichtung 70 mit einer Nachbeschleunigungseinrichtung 200 verbunden.
  • Die Nachbeschleunigungseinrichtung 200 umfasst eine Unterschallbeschleunigerdüse 210 sowie eine nachgeschaltete Überschallbeschleunigerdüse 220. Die beiden Düsen 210 und 220 können beispielsweise durch Laval-Düsen gebildet werden. Ein Eingang E210 der Unterschallbeschleunigerdüse 210 steht mit dem Ausgang A70 der Vorbeschleunigungseinrichtung 70 in Verbindung.
  • Die Anordnung gemäß 1 lässt sich beispielsweise wie folgt betreiben:
    In die Vorbeschleunigungseinrichtung 70 wird das Flüssiggas 30 mit den Nanopartikeln 40 sowie das Reagenzgas 60 eingespeist. Das Flüssiggas wird mit der Temperatureinstelleinrichtung 110 erwärmt und verdampft, so dass ein sehr großer Druck innerhalb der Verdampfungskammer 100 entsteht. Das Reagenzgas vermischt sich dabei mit den Nanopartikel 40 und wirkt auf diese ein: Beispielsweise verändert das Reagenzgas 60 die Nanopartikel 40 chemisch oder versieht diese mit einer funktionalen Beschichtung (z. B. Oxidschicht, Nitridschicht, Borid-Schicht, Oxynitridschicht, etc.). Die Nachbehandlung der Nanopartikel durch das Reagenzgas 60 kann beispielsweise durch Zufuhr thermischer oder elektromagnetischer Energie unterstützt oder beschleunigt werden.
  • Am Ausgang des Ventils 120 bildet sich somit ein vorbeschleunigter Nanopartikelstrom S1, der zwar noch mit Unterschallgeschwindigkeit, aber für einen Nanopartikelstrom schon sehr schnell, aus der Vorbeschleunigungseinrichtung 70 heraustritt.
  • Der in dieser Weise vorbeschleunigte Nanopartikelstrom S1 wird in den Eingang E210 der Unterschallbeschleunigerdüse 210 eingespeist und weiter beschleunigt, so dass am Ausgang A210 der Unterschallbeschleunigerdüse 210 ein noch weiter beschleunigter Nanopartikelstrom entsteht. Dieser Nanopartikelstrom ist in der 1 mit dem Bezugszeichen S2 gekennzeichnet.
  • Der Nanopartikelstrom S2 wird mit einem Beschleunigungsgas B vermischt, das an einem Eingang E220 der Überschallbeschleunigerdüse 220 mit hoher Gasstromgeschwindigkeit in die Nach beschleunigungseinrichtung 200 eingespeist wird. Der von dem Beschleunigungsgas B erfasste Nanopartikelstrom S2 wird in der Überschallbeschleunigungsdüse 220 auf eine Überschallgeschwindigkeit beschleunigt. Der Nanopartikelstrom mit Überschallgeschwindigkeit ist in der 1 mit dem Bezugszeichen S3 gekennzeichnet. Für die Nachbeschleunigung bzw. als Nachbeschleunigungseinrichtung kann beispielsweise die aus der europäischen Offenlegungsschrift EP 1 132 497 bekannte Düsenkonstruktion verwendet werden.
  • Zusammengefasst ist festzustellen, dass bei der Anordnung gemäß 1 ein Nanopartikelstrom S3 mit Überschallgeschwindigkeit erzeugt wird, indem eine zweistufige Beschleunigung vorgenommen wird. Im Rahmen des ersten Beschleunigungsschritts innerhalb der Vorbeschleunigungseinrichtung 70 wird ein Nanopartikelstrom S1 mit schon sehr hoher Geschwindigkeit, jedoch beispielsweise noch mit Unterschallgeschwindigkeit, erzeugt. Dieser vorbeschleunigte Nanopartikelstrom wird dann in der Nachbeschleunigungseinrichtung 200 weiter beschleunigt, so dass er Überschallgeschwindigkeit erreicht.
  • Die Anordnung gemäß 1 macht sich dabei zu nutze, dass durch das Verdampfen des Flüssiggases 30 innerhalb der Verdampfungskammer 100 und den dadurch entstehenden Überdruck bereits eine sehr große Grundgeschwindigkeit für die Nanopartikel erreicht wird, so dass der vorbeschleunigte Nanopartikelstrom S1 am Ausgang A70 der Vorbeschleunigungseinrichtung 70 schon eine sehr große Geschwindigkeit aufweist und nur noch wenig weiter beschleunigt werden muss, um Überschallgeschwindigkeit zu erreichen.
  • In der 2 ist ein Ausführungsbeispiel für eine Anordnung gezeigt, mit der sich agglomerierte Nanopartikel auftrennen lassen, um sie in einen weniger agglomerierten, vorzugsweise in einen nicht-agglomerierten, Zustand zu versetzen.
  • Die Anordnung gemäß 2 umfasst einen Aufbewahrungsbehälter 400, in dem die Nanopartikel 40 aufbewahrt werden. Außerdem ist ein Gasbehälter 410 mit einer Flüssigkeit, beispielsweise einem Flüssiggas 420 vorhanden. Das Flüssiggas 420 sowie die Nanopartikel 40 werden in eine Prozesskammer 425 einer Gefriertrocknungseinrichtung 430 eingeführt und darin einem Gefriertrocknungsprozess unterworfen. Die Gefriertrocknungseinrichtung 430 ist hierfür mit einer Temperatureinstelleinrichtung 440 sowie mit einem Ventil 450 ausgestattet.
  • Unter Gefriertrocknung ist in diesem Zusammenhang ein Verfahren zu verstehen, bei dem dem in die Prozesskammer 425 eingeführten Gemisch aus Flüssiggas und Nanopartikeln das Flüssiggas 420 entzogen wird. Hierzu wird das Flüssiggas unterhalb des eutektischen Punktes abgekühlt, bis es vollständig erstarrt ist. Anschließend wird der Druck innerhalb der Prozesskammer 425 der Gefriertrocknungseinrichtung 430 vermindert, wodurch das erstarrte Flüssiggas sublimiert und der gefrorenen Mischung aus Flüssiggas und Nanopartikeln das Flüssiggas entzogen wird. Dabei liegt die Temperatur innerhalb der Prozesskammer 425 unterhalb des eutektischen Punktes des Flüssiggases 420. Übrig bleiben die Nanopartikel 40 in einem weitgehend nicht-agglomerierten Zustand. Am Ausgang A430 der Gefriertrocknungseinrichtung bzw. am Ausgang des Ventils 450 bildet sich somit ein Nanopartikelstrom, bei dem die Nanopartikel 40 wenig bzw. gar nicht agglomeriert sind.
  • Die in dieser Weise erzeugten Nanopartikel 40 können nun zwischengelagert werden, beispielsweise in einem Flüssiggas 30. Hierzu kann beispielsweise der Flüssiggasbehälter 20 gemäß 1 verwendet werden. Alternativ ist es auch möglich, den am Ausgang des Ventils 450 gebildeten Nanopartikelstrom unmittelbar zu beschleunigen, beispielsweise mit der Nachbeschleunigungseinrichtung 200 gemäß 1. Diese Variante zeigt die 3.
  • In der 4 ist ein Ausführungsbeispiel für eine Anordnung gezeigt, mit der auf eine andere Weise nicht-agglomerierte Nanopartikel gebildet werden. Diese Anordnung verfolgt anstelle des Prinzips der Gefriertrocknung das Prinzip der überkritischen Trocknung: Das Grundprinzip der überkritischen Trocknung beruht darauf, dass zunächst eine Flüssigkeit in einen überkritischen Zustand versetzt wird und anschließend bei konstanter Temperatur der Druck auf den Umgebungsdruck reduziert wird. Eine Phasengrenze wird dabei im Unterschied zur unterkritischen Trocknung und zur oben beschriebenen Gefriertrocknung nicht passiert, da eine Unterscheidung zwischen Gas und Flüssigkeit bei einer überkritischen Flüssigkeit nicht möglich ist. Es treten daher im Unterschied zur unterkritischen Trocknung keine Kapillarkräfte während des Trocknungsvorgangs auf.
  • In der 6 ist ein Phasendiagramm gezeigt, das die Phasenübergänge beispielhaft darstellt. Der Pfeil P1 stellt dabei den Phasenübergang im Falle der im Zusammenhang mit den 2 und 3 erläuterten Gefriertrocknung dar; der Pfeil P2 zeigt den Phasenübergang im Falle einer überkritischen Trocknung, wie sie im Zusammenhang mit den 3 und 4 diskutiert wird. Der Pfeil P3 zeigt ergänzend den üblichen Phasenwechsel durch Verdampfen, wie er beispielsweise zum Beschleunigen der Nanopartikel 40 in der Verdampfungskammer 100 gemäß der 1 genutzt werden kann.
  • Die Anordnung gemäß der 4 weist eine Prozesskammer 500 auf, die mit einem Aufbewahrungsbehälter 400 mit Nanoparti keln 40 sowie mit einem Behälter 510 mit einer überkritischen Flüssigkeit 520 verbunden ist.
  • In die Prozesskammer 500 werden die Nanopartikel 40 sowie die überkritische Flüssigkeit 520 eingeführt. Die Temperatur sowie der Druck innerhalb der Prozesskammer 500 werden nun derart eingestellt, dass die überkritische Flüssigkeit 520 in ein Gas überführt wird. Hierzu dienen eine Temperatureinstelleinrichtung 530 sowie ein Ventil 540, die mit der Prozesskammer 500 zusammenwirken. Am Ausgang der Prozesskammer 500 bzw. am Ausgang des Ventils 540 bildet sich dadurch ein Nanopartikelstrom, bei dem die darin enthaltenen Nanopartikel 40 kaum, vorzugsweise überhaupt nicht mehr, agglomeriert sind. Die nicht-agglomerierten Nanopartikel werden anschließend zwischengelagert, beispielsweise in dem Flüssiggasbehälter 20 gemäß 1.
  • Alternativ ist es auch möglich, die am Ausgang des Ventils 540 ausgegebenen nicht agglomerierten Nanopartikel 40 unmittelbar zu beschleunigen, um einen beschleunigten Nanopartikelstrom zu bilden; zum Beschleunigen der Nanopartikel kann beispielsweise die Nachbeschleunigungseinrichtung 200 gemäß 1 verwendet werden. Eine derartige Anordnung zeigt beispielhaft die 5.

Claims (10)

  1. Verfahren zum Beschleunigen von Partikeln, dadurch gekennzeichnet, dass – als Partikel Nanopartikel (40) beschleunigt werden und ein Nanopartikelstrom (S3) erzeugt wird, – indem die Nanopartikel in ein Flüssiggas (30) eingebracht werden und – indem das Flüssiggas von dem flüssigen Aggregatzustand in den gasförmigen Aggregatzustand überführt und die dabei auftretende Druckerhöhung zum Beschleunigen der Nanopartikel genutzt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, – dass das Beschleunigen der Nanopartikel zumindest zweistufig erfolgt, – wobei die Nanopartikel vorbeschleunigt werden, indem das Flüssiggas von dem flüssigen Aggregatzustand in den gasförmigen Aggregatzustand überführt und ein vorbeschleunigter Nanopartikelstrom (S1) gebildet wird, und – wobei die Nanopartikel nachbeschleunigt werden, indem der vorbeschleunigte Nanopartikelstrom (S1) in eine Nachbeschleunigungseinrichtung eingeführt und mit dieser weiter beschleunigt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, – dass eine Nachbeschleunigungseinrichtung (200) mit einer Überschallbeschleunigerdüse (220) verwendet wird, – wobei der Nanopartikelstrom (S2) mit Unterschallgeschwindigkeit in die Überschallbeschleunigerdüse eingespeist und mit der Überschallbeschleunigerdüse auf Überschallgeschwindigkeit beschleunigt wird.
  4. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Nanopartikel vor dem Erzeugen des Nanopartikelstroms in dem Flüssiggas (30) gelagert werden.
  5. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Nanopartikel vor dem Vorbeschleunigen, insbesondere vor dem Einbringen in das Flüssiggas, oder während des Vorbeschleunigens in einen agglomerationsärmeren Zustand als zuvor, insbesondere in einen nicht-agglomerierten Zustand, überführt werden.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Nanopartikel durch überkritische Trocknung in den agglomerationsärmeren Zustand überführt werden.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die überkritische Trocknung durchgeführt wird, indem die Nanopartikel in eine überkritische Flüssigkeit (520) eingebracht werden und die überkritische Flüssigkeit durch überkritische Trocknung in den gasförmigen Zustand überführt wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Nanopartikel durch Gefriertrocknung in den agglomerationsärmeren Zustand überführt werden.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Gefriertrocknung durchgeführt wird, indem die Nanopartikel in eine Flüssigkeit (420) eingebracht werden und die Flüssigkeit durch Gefriertrocknung in den gasförmigen Zustand überführt wird.
  10. Anordnung (10) zum Beschleunigen von Partikeln (40), dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung eine Vorbeschleunigungseinrichtung (70) mit einer Verdampfungskammer (100) zum Verdampfen eines Flüssiggases (30) mit darin enthaltenen Nanopartikeln (40) sowie eine an die Verdampfungskammer angeschlossene Nachbeschleunigungseinrichtung (200) aufweist.
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