DE102006013713A1 - Ein im fernen ultraviolett durchlässiger Klebstoff und ein Substrat, hergestellt unter Verwendung eines derartigen im fernen ultraviolett durchlässigen Klebstoffs - Google Patents

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Abstract

Ein im fernen Ultraviolett durchlässiger Klebstoff, der im Stande ist, fernes Ultraviolettlicht durchzulassen, umfassend eine Substanz, dargestellt mit der unten angegebenen chemischen Formel, und ein Substrat, hergestellt unter Verwendung eines im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoffes, DOLLAR A CH¶2¶=CH-CH¶2¶-O-(CH¶2¶)¶2n¶-O-CH¶2¶-CH=CH¶2¶. DOLLAR A In der oben angegebenen Formel ist n eine ungerade Zahl, die durch 2m + 1 dargestellt wird (m ist eine natürliche Zahl).

Description

  • Technisches Gebiet
  • Diese Erfindung betrifft einen im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoff und ein Substrat, hergestellt unter Verwendung des im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoffs, und insbesondere einen im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoff, der im Stande ist, ultraviolette Strahlung bis zu einer Wellenlänge von ca. 230 nm mit hoher Durchlässigkeit durchzulassen, und ein Substrat, hergestellt unter Verwendung eines derartigen im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoffs.
  • Herkömmliche Klebstoffe können nicht zur Laminierung von Linsenteilen zur Verwendung in Halbleiterprüfgeräten und anderen Präzisionprüfgeräten verwendet werden, die im ultravioletten Bereich, insbesondere im fernen ultravioletten Bereich, verwendet werden. Daher wird ein Fluor enthaltendes Öl als Füller verwendet (JP-2003-137614 und JP-2003-185808).
  • Weiterhin offenbaren WO 01/37043 A1 bzw. WO 01/37044 A1 die unten beschriebenen nicht kristallinen Vinylcopolymerbasierten Klebstoffe (A) und (B).
  • Die Klebstoffe (A) werden aus CX2=CY2 und 0-25 mol-% eines oder mehrerer Monomere CRaRb=CRcRd hergestellt. In diesem Fall ist X -F oder -CF3 und Y ist H. Ra, Rb und Rc werden jeweils unabhängig voneinander aus H und F ausgewählt. Rd wird aus der Gruppe bestehend aus -F, -CF3, -ORf, -OH (wenn Rc = H) und Cl (wenn Ra, Rb und Rc jeweils = F) ausgewählt. Rf ist hier CnF2n+1, wobei n = 1-3 ist. CRaRb=CRcRd-Einheiten sind im Copolymer nahezu zufällig verteilt.
  • Die Klebstoffe (B) werden aus CX2=CY2 und 40-60 mol-% eines oder mehrerer Monomere CRaRb=CRcRd hergestellt. In diesem Fall sind die CRaRb=CRcRd-Einheiten in den Copolymeren nahezu alternierend verteilt.
  • Jedoch kann das oben erwähnte Fluor-haltige Öl möglicherweise auslaufen. Im Falle eines Auslaufens resultiert daraus eine merkliche Schädigung der Verarbeitbarkeit.
  • Auf der anderen Seite sind die oben genannten Klebstoffe (A) und (B), die ultraviolett durchlässige Materialien zur Verfügung stellen, die eine Absorption/Mikron (A/Micrometer) von ≤ 1 im Wellenlängenbereich von 187-260 nm aufweisen. Im Falle solcher Klebstoffe ist es schwierig, die Monomere für Cytop (registrierter Handelsname) und spezielle Qualitäten von Teflon (registrierter Handelsname) zu synthetisieren. Gleichzeitig ist es auch schwierig, die Monomere dieser Klebstoffe zu synthetisieren. Daraus resultiert, dass die hergestellten Klebstoffe teuer werden.
    •
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Dem gemäß ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoff zur Verfügung zu stellen, durch den das flüssige Auslaufen vermieden werden kann und der eine verbesserte Beständigkeit gegenüber Ultraviolettstrahlen und eine verbesserte Durchlässigkeit in der fernen Ultraviolettregion aufweist, sowie ein Substrat, hergestellt unter Verwendung des im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoffs.
  • Der erfindungsgemäße Klebstoff umfasst eine Substanz, die durch die chemische Formel, die unten angegeben ist, dargestellt wird, und einen im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoff, der im Stande ist, fernes Ultraviolettlicht durchzulassen. CH2=CH-CH2-O-(CH2)2n-O-CH2-CH=CH2
  • In der oben angegebenen Formel ist n eine ungerade Zahl, die durch 2m + 1 dargestellt wird (m ist eine natürliche Zahl).
  • Das erfindungsgemäße Substrat umfasst zwei Linsenteile, die durch einen im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoff miteinander verbunden sind, wobei dieser im fernen Ultraviolett durchlässige Klebstoff eine Substanz umfasst, die durch die unten angegebene chemische Formel dargestellt wird und ein im fernen Ultraviolett durchlässiger Klebstoff ist, der im Stande ist, fernes Ultraviolettlicht durchzulassen. CH2=CH-CH2-O-(CH2)2n-O-CH2-CH=CH2
  • In der oben angegebenen Formel ist n eine ungerade Zahl, die durch 2m + 1 dargestellt wird (m ist eine natürliche Zahl).
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 zeigt ein Beispiel eines Substrats der Erfindung, bei welchem ein im fernen Ultraviolett durchlässiger Klebstoff gemäß einer Ausführung der Erfindung verwendet wird;
  • 2 zeigt die Veränderungen der Durchlässigkeit zu Zeiten nach vorbestimmten Bestrahlungsdauern im Falle des Klebstoffs C; und
  • 3 zeigt die Veränderungen der Durchlässigkeit zu Zeiten nach vorbestimmten Bestrahlungsdauern mit ultraviolettem Licht bei 230 nm im Falle des Klebstoffs C.
  • Ausführungsformen
  • Im Folgenden wird eine detaillierte Beschreibung für die chemische Formel CH2=CH-CH2-O-(CH2)2n-O-CH2-CH=CH2 angegeben, wobei die Fälle, in denen m = 1 und 2 ist, als Beispiele genommen werden.
  • Wenn n = 2 × 1 + 1 (m = 1), dann wird der im fernen Ultraviolett durchlässige Klebstoff (1), dargestellt durch die chemische Formel CH2=CH-CH2-O-(CH2)6-O-CH2-CH=CH2, erhalten.
  • Wenn n = 2 × 2 + 1 (m = 2), wird der im fernen Ultraviolett durchlässige Klebstoff (2), dargestellt durch die chemische Formel CH2=CH-CH2-O-(CH2)10-O-CH2-CH=CH2, erhalten.
  • Die vorliegende Erfindung beinhaltet nicht nur die zwei oben genannten Klebstoffe, sondern auch andere, im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoffe, wie beispielsweise die durch die folgenden chemischen Formeln dargestellten.
  • Wenn m 3 ist: CH2=CH-CH2-O-(CH2)14-O-CH2-CH=CH2.
  • Wenn m 4 ist: CH2=CH-CH2-O-(CH2)18-O-CH2-CH=CH2.
  • Der Klebstoff kann weiterhin ein Additiv wie z.B. UT-10, OCT-2, ein Siloxan oder ein Silikon en C1-C3-alkyl,thalten. Beispielsweise wird die Substratoberfläche bevorzugt einer Primerbehandlung unterzogen, um dass Abschälen zu verhindern.
    •
  • 1 zeigt ein Beispiel der Erfindung.
  • Adhäsionsexperimente wurden unter Verwendung der oben genannten im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoffe 1 und 2 durchgeführt.
  • Die verwendeten Substrate waren Erzeugnisse aus einer Quarzlinse 3, die mit einer Fluorid(CaF2)-Linse 4 verbunden war, wobei der im fernen Ultraviolett durchlässige Klebstoff 1 oder 2 zwischen den Linsen 3 und 4 verwendet wurde.
  • Das oben genannte Additiv 5 kann nach Bedarf zugegeben werden.
  • Jeder Verbund wurde UV-Strahlung in der Richtung des Pfeils 6 von der Seite der Quarzlinse 3 aus ausgesetzt.
  • Die Ultraviolett(UV)-Bestrahlungsbedingungen waren wie folgt:
    Wellenlänge 365 nm und Intensität 300-450 mW/cm2.
  • Nach vorbestimmter Ultraviolett(UV)-Bestrahlungsdauer wurde die Erscheinung eines jeden Substrates überprüft (Auftreten oder Nichtauftreten von Trübung und/oder Vergilbung) und gleichzeitig wurden Durchlässigkeitsmessungen durchgeführt.
  • Bezugnehmend auf Tabelle 1 wurde der Klebstoff 1 als A und B und der Klebstoff 2 als C verwendet. Tabelle 1
    Figure 00060001
  • 2 zeigt die Veränderungen der Durchlässigkeit nach vorbestimmten Bestrahlungsdauern im Falle von C.
  • In diesem Falle wurde kein Additiv hinzugegeben und keine Primerbehandlung durchgeführt. Die Bestrahlungsbedingungen waren: Wellenlänge des ultravioletten Lichts 365 nm und Intensität 300 mW/cm2.
  • 3 zeigt die Veränderungen der Durchlässigkeit nach vorbestimmten Bestrahlungsdauern mit ultraviolettem Licht bei einer Wellenlänge von 230 nm.
  • In diesem Falle wurde kein Additiv hinzugegeben und keine Primerbehandlung durchgeführt. Die Bestrahlungsbedingungen waren: Wellenlänge des ultravioletten Lichts 365 nm und Intensität 300 mW/cm2.
  • Wie offenkundig aus 3 hervorgeht, konnten im Ultraviolett durchlässige Klebstoffe erhalten werden, die bis etwa 230 nm eine Durchlässigkeit von ca. 92% aufweisen. Daher wird es möglich, ohne signifikante chemische Veränderung oder Verschlechterung mit einem Bereich im ferneren Ultraviolett zurechtzukommen.
  • Der Klebstoff C wies einen zufriedenstellenden Grad an Beständigkeit gegenüber ultraviolettem Licht für ca. 60h auf und daher konnte ein Klebstoff mit höherer Beständigkeit gegenüber ultraviolettem Licht erhalten werden.
  • Darüber hinaus wurden die oben genannten laminierten Linsen in einem optischen System zur Illuminierung verwendet und auf ihre Beständigkeit gegenüber ultraviolettem Licht geprüft, wobei unter anderem die Trübung und das Abschälen beobachtet wurde. Die Trübung und das Abschälen konnte durch Einfügen von Plastikkügelchen oder dergleichen zwischen die laminierten Linsenteile verhindert werden.
  • Das Substrat (optisches Teil), das verwendet wird, ist nicht auf die in den oben genannten Beispielen verwendeten beschränkt, sondern kann beispielsweise ein aus zwei Quarzlinsenteilen 3 durch Adhäsion Bestehendes sein.

Claims (2)

  1. Ein im fernen ultraviolett durchlässiger Klebstoff, der im Stande ist, fernes Ultraviolettlicht durchzulassen, umfassend eine Substanz, dargestellt mit der chemischen Formel CH2=CH-CH2-O-(CH2)2n-O-CH2-CH=CH2 wobei n eine ungerade Zahl ist, die durch 2m + 1 dargestellt wird (m ist eine natürliche Zahl).
  2. Ein Substrat umfassend zwei Linsenteile, die durch einen im fernen Ultraviolett durchlässigen Klebstoff miteinander verbunden sind, wobei dieser im fernen Ultraviolett durchlässige Klebstoff eine Substanz umfasst, die durch die unten angegebene chemische Formel dargestellt wird und ein im fernen Ultraviolett durchlässiger Klebstoff ist, der im Stande ist, fernes Ultraviolettlicht durchzulassen, CH2=CH-CH2-O-(CH2)2n-O-CH2-CH=CH2 wobei n eine ungerade Zahl ist, die durch 2m + 1 dargestellt wird (m ist eine natürliche Zahl).
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