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Die
Erfindung betrifft eine Belichtungsanlage für Substratkörper, die auf einer Substratoberfläche eine
fotosensitive Beschichtung tragen, umfassend ein Maschinengestell,
einen den Substratkörper
tragenden Substratträger,
und eine Belichtungseinrichtung, wobei der Substratkörper und
die Belichtungseinrichtung relativ zueinander in einer zu einer
Substratoberfläche
parallelen ersten Richtung und in einer zur Substratoberfläche parallelen
zweiten und quer zur ersten Richtung verlaufenden Richtung bewegbar
sind, so dass durch diese Relativbewegung der Belichtungseinrichtung
zur fotosensitiven Beschichtung in der ersten Richtung und in der
zweiten Richtung die fotosensitive Beschichtung lokal selektiv durch
von der Belichtungseinrichtung erzeugbare Belichtungsflächen belichtbar
ist.
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Bei
derartigen Belichtungsanlagen besteht das Problem, dass die Positionierung
der Belichtungseinrichtung relativ zu der fotosensitiven Beschichtung
in der ersten und zweiten Richtung mit höchstmöglicher Präzision erfolgen muß, um durch Belichten
der fotosensitiven Beschichtung möglichst präzise zweidimensionale belichtete
Strukturen erzeugen zu können.
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Diese
Aufgabe wird bei einer Belichtungsanlage der eingangs beschriebenen
Art erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
dass die Belichtungseinrichtung einen in der zweiten Richtung bewegbaren
Optikschlitten aufweist, auf dem eine Abbildungsoptik für die Belichtung
des Substratkörpers
angeordnet ist, und dass die Belichtungseinrichtung eine an dem Maschinengestell
getrennt von dem Optikschlitten angeordnete Lichtquelleneinheit
mit einer Vielzahl von Lichtquellen aufweist, deren Strahlung in
die Abbildungsoptik einkoppelbar ist.
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Der
Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung ist
darin zu sehen, dass die sehr viel Wärme erzeugenden Lichtquellen
von dem Optikschlitten und der Abbildungsoptik entkoppelt sind und
somit auch im wesentlichen ein Wärmeeintrag
von den Lichtquellen in den Optikschlitten und die Abbildungsoptik
vermieden werden kann, so dass der Optikschlitten und die Abbildungsoptik
relativ zu der fotosensitiven Beschichtung präzise positioniert werden können, ohne dass
die präzise
Positionierung negativen Einflüssen aufgrund
eines Wärmeeintrags
von den Lichtquellen unterworfen ist.
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Ferner
ist damit auch der Aufwand, der erforderlich ist, um den Optikschlitten
und die Abbildungsoptik auf einer im wesentlichen konstanten Temperatur
zu halten, weit geringer, da die Notwendigkeit, große, von
den Lichtquellen erzeugte Wärmemengen
abzuführen,
nicht besteht.
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Im
Rahmen der Erfindung ist der Begriff "Licht" nicht auf elektromagnetische Strahlung
im sichtbaren Bereich beschränkt,
sondern unter "Licht" auch elektromagnetische
Strahlung zu verstehen, die im ultravioletten Bereich oder infraroten
Bereich liegt. Aus diesem Grund ist auch unter dem Begriff "Belichtung" eine Bestrahlung
der unter den Begriff "Licht" fallenden elektromagnetischen
Strahlung zu verstehen und auch unter einer "Lichtquelle" ist eine Quelle zu verstehen, die elektromagnetische
Strahlung in dem unter den vorstehend definierten Begriff "Licht" fallenden Wellenlängenbereich
erzeugt.
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Besonders
vorteilhaft im Hinblick auf eine möglichst hohe Präzision bei
der Belichtung ist es, wenn die Lichtquelleneinheit der Belichtungseinrichtung
getrennt von einer den Optikschlitten führenden Brücke angeordnet ist.
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Diese
Trennung der Lichtquelleneinheit von der Brücke hat ebenfalls den Vorteil,
dass damit in das den Optikschlitten führende Element kein Wärmeeintrag
durch die Lichtquelleneinheit erfolgt und somit dadurch bedingte
Probleme hinsichtlich der Präzision
der Führung
des Optikschlittens vermieden werden.
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Ferner
ist es hinsichtlich der Anordnung der Lichtquelleneinheit relativ
zur Brücke
günstig,
wenn die Lichtquelleneinheit auf einer Seite der Brücke angeordnet
ist, um möglichst
kurze Wege zur Übertragung
des Lichts von der Lichtquelleneinheit auf den Optikschlitten zu
erhalten.
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Bei
der erfindungsgemäßen Lösung ist
es prinzipiell möglich,
die Lichtquelleneinheit stationär oder
beweglich am Maschinengestell anzuordnen, so dass diese in einfacher
Weise gekühlt
werden, und lediglich den Optikschlitten mit der Abbildungsoptik
in der zweiten Richtung zu bewegen. Eine stationäre Anordnung der Lichtquellen
macht es aufgrund der Bewegung des Optikschlittens erforderlich,
die Strahlung der Lichtquellen über
große
Distanzen auf die Abbildungsoptik zu übertragen.
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Besonders
günstig
ist es, um insbesondere einen möglichst
kurzen Übertragungsweg
für das Licht
zu erhalten, wenn die Lichtquelleneinheit mit der Optikeinheit in
der zweiten Richtung bewegbar ist, so dass insbesondere bei einer
in der zweiten Richtung bewegbaren Optikeinheit ein sogenanntes Mitführen der
Lichtquelleneinheit in dieser Richtung erfolgt.
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Prinzipiell
könnte
dabei eine starre Kopplung vorgesehen sein. Besonders günstig ist
es jedoch, wenn die Lichtquelleneinheit auf separaten für diese vorgesehenen
Führungen
geführt
ist, so dass eine möglichst
weitgehende thermische Entkopplung der Lichtquelleneinheit von den übrigen Teilen
der Belichtungsanlage möglich
ist.
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Prinzipiell
könnte
die Lichtquelleneinheit starr gekoppelt mit der Optikeinheit in
der zweiten Richtung bewegt werden. Aus Gründen einer möglichst
hohen Präzision
der Positionierung der Optikeinheit ist es jedoch vorteilhaft, wenn
die Lichtquelleneinheit in der zweiten Richtung durch einen Linearantrieb
bewegbar ist, so dass dieser eigens für die Lichtquelleneinheit vorgesehene
Linearantrieb unabhängig
von dem Antrieb der Optikeinheit in dieser Richtung arbeiten kann.
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Damit
besteht beispielsweise auch die Möglichkeit, die Lichtquelleneinheit
in der zweiten Richtung nur näherungsweise
synchron zur Optikeinheit zu positionieren ohne eine exakte Synchronität beizubehalten.
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Besonders
günstig
ist es dabei, wenn der Lichtquellenschlitten so angetrieben ist,
dass er den Bewegungen des Optikschlittens im wesentlichen folgt.
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Damit
können
die Übertragungswege
der Strahlung von den Lichtquellen auf die Abbildungsoptik in optimaler
Weise verkürzt
werden, ohne die Vorteile der thermischen Entkopplung der Lichtquellen
von der Abbildungsoptik aufzugeben.
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Die
Einkopplung der Strahlung von den Lichtquellen in die Abbildungsoptik
lässt sich
dann optimieren, wenn die Belichtungseinrichtung einen in der zweiten
Richtung bewegbaren Lichtquellenschlitten aufweist, auf dem die
Lichtquelleneinheit angeordnet ist.
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Ein
derartiger Lichtquellenschlitten hat nach wie vor die vorstehend
genannten Vorteile der Entkopplung der Abbildungsoptik von den sehr
viel Wärme
erzeugenden Lichtquellen, andererseits aber auch noch den weiteren
Vorteil, dass die Wege, über welche
die Strahlung von den Lichtquellen in die Abbildungsoptik eingekoppelt
werden muß,
kürzer
gehalten werden, nämlich
dadurch, dass sich der Lichtquellenschlitten ebenfalls bewegen und
zumindest teilweise den Bewegungen des Optikschlittens mit der Abbildungsoptik
folgen kann.
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Hinsichtlich
der Wärmeabfuhr
ist es besonders vorteilhaft, wenn die Lichtquelleneinheit auf außerhalb
des Maschinengestells angeordneten Führungen bewegbar ist.
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Die
Lichtquelleneinheit kann dabei in unterschiedlicher Art und Weise
angeordnet sein. Eine Möglichkeit
sieht vor, die Lichtquelleneinheit oberhalb der Brücke anzuordnen.
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Eine
andere vorteilhafte Lösung
sieht vor, dass die Lichtquelleneinheit seitlich neben einer Stirnseite
der Brücke
angeordnet ist.
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Hinsichtlich
der Führung
des Lichts von der Lichtquelleneinheit zu der Optikeinheit wäre prinzipiell
eine Führung
des Lichts über
eine Spiegelanordnung denkbar.
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Besonders
günstig
ist es jedoch, wenn mindestens ein flexibles Lichtleiterbündel das
Licht von der Lichtquelleneinheit zur Optikeinheit führt.
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Das
Lichtleiterbündel
könnte
dabei freihängend
angeordnet sein. Besonders günstig
ist es jedoch, wenn das flexible Lichtleiterbündel in einer an der Brücke vorgesehenen
und zum Optikschlitten führenden
Schleppführung
geführt
ist.
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Beispielsweise
ist vorgesehen, dass die Schleppführung in einer an der Brücke vorgesehenen
Aufnahme verläuft.
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Dabei
kann die Aufnahme als ein in der Brücke vorgesehener Kanal ausgebildet
sein.
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Um
eine optimale Einkopplung der Strahlung der Lichtquellen in die
Abbildungsoptik zu erhalten, ist vorzugsweise vorgesehen, dass die
Abbildungsoptik über
ein flexibles Lichtleiterbündel
mit den Lichtquellen der Lichtquelleneinheit gekoppelt ist.
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Derartige
flexible Lichtleiter stellen eine sehr einfache Möglichkeit
dar, die Strahlung der Lichtquellen in die Abbildungsoptik einzukoppeln
und insbesondere eröffnen
sie die Möglichkeit,
eine präzise Abbildung
durch die mit dem Optikschlitten bewegte Abbildungsoptik zu erreichen,
da der Ort der Einkopplung der Strahlung in die Abbildungsoptik
relativ zur Abbildungsoptik definiert vorgebbar ist.
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Besonders
vorteilhaft ist es dabei, wenn ein Ende des Lichtleiterbündels mittels
einer einstellbaren Positioniereinrichtung relativ zur Abbildungsoptik positionierbar
ist.
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Damit
ist einerseits eine optimale Justierung des Eintritts der Strahlung
in die Abbildungsoptik erreichbar, andererseits besteht aber auch
noch die Möglichkeit,
durch Variation der Position der Lichtleiter relativ zur Abbildungsoptik
die von der Abbildungsoptik auf der fotosensitiven Beschichtung
erzeugbaren Belichtungsflecken relativ zur Abbildungsoptik noch
zu verschieben.
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Vorzugsweise
ist dabei die Positioniereinrichtung so ausgebildet, dass sie es
erlaubt, mindestens einen von der Abbildungsoptik erzeugten Belichtungsfleck auf
der fotosensitiven Beschichtung in mindestens einer zu einer Beschichtungsoberfläche parallelen
Richtung, vorzugsweise in zwei zur Beschichtungsoberfläche parallelen,
quer zueinander verlaufenden Richtungen, zu verschieben.
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Dabei
ist es besonders vorteilhaft, wenn die beiden quer zueinander verlaufenden
Richtungen, längs
welchen der Belichtungsfleck auf der fotosensitiven Beschichtung
verschiebbar ist, mit der ersten Richtung und der zweiten Richtung
zusammenfallen, längs
welcher der Substratschlitten und der Optikschlitten bewegbar sind.
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Eine
weitere vorteilhafte Ausführungsform der
Positioniereinrichtung sieht vor, dass mit der Positioniereinrichtung
das Ende des Lichtleiterbündels relativ
zur Abbildungsoptik derart bewegbar ist, dass ein Durchmesser des
mindestens einen auf der fotosensitiven Beschichtung erzeugbaren
Belichtungsflecks variierbar ist.
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Um
eine optimale Fokussierung des Lichts auf die fotosensitive Beschichtung
zu erhalten, ist vorzugsweise vorgesehen, dass die Abbildungsoptik mit
einem Autofokus versehen ist.
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Hinsichtlich
der Positioniereinrichtungen wurden bislang keine näheren Angaben
gemacht. So können
die Positioniereinrichtungen beispielsweise mechanische Linear-
oder Kippantriebe sein.
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Eine
besonders günstige
Lösung
sieht jedoch vor, dass die Positioniereinrichtung einen Piezoantrieb
als Stellantrieb umfasst. Ein derartiger Piezoantrieb eröffnet die
Möglichkeit,
relativ präzise
und genau bei kleinen Verstellwegen zu positionieren.
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Insbesondere
eröffnet
ein derartiger Piezoantrieb auch die Möglichkeit, diesen mit einem
hochpräzisem
Messsystem zu kombinieren.
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Hinsichtlich
der Ausbildung des Optikschlittens wurden bislang keine näheren Angaben
gemacht. So kann die Abbildungsoptik starr auf dem Optikschlitten
montiert sein.
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Eine
vorteilhafte Lösung
sieht vor, dass der Optikschlitten eine die Abbildungsoptik umfassende Optikeinheit
trägt,
die relativ zum Optikschlitten bewegbar ist.
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Insbesondere
ist es dabei vorteilhaft, wenn die Optikeinheit relativ zum Optikschlitten
in einer dritten, quer zur ersten und zweiten Richtung verlaufenden
Richtung bewegbar ist, um durch Bewegen der Optikeinheit relativ
zum Optikschlitten stets eine optimale Fokuslage des Belichtungsflecks
bei der Belichtung des Substratkörpers
zu erhalten.
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Insbesondere
erlaubt eine derartige Bewegbarkeit der Optikeinheit eine Anpassung
der Position der Optikeinheit an unterschiedliche Dicken der Substratkörper, die
auf dem Substratschlitten angeordnet werden können.
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Somit
ist in optimaler Weise eine Voreinstellung der Optikeinheit relativ
zu der fotosensitiven Beschichtung auf dem Substratkörper möglich.
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Um
weiterhin auch bei gegebenenfalls variierender Substratdicke eine
optimale Position der Fokuslage zu erhalten, ist die Abbildungsoptik
mit einem Autofokussystem versehen, welches eine voreingestellte
Fokussierung des Belichtungsflecks auf der fotosensitiven Beschichtung
aufrechterhält.
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Um
bei der Belichtung der Markierungen auf dem Substratkörper beobachten
zu können,
ist insbesondere vorgesehen, dass die Optikeinheit eine mit der
Abbildungsoptik gekoppelte Beobachtungsoptik umfaßt, so dass
mit der Beobachtungsoptik die Möglichkeit
besteht, über
die Abbildungsoptik die Belichtung der fotosensitiven Beschichtung
zu verfolgen und zu überprüfen.
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Damit
für die
Beobachtungsoptik ausreichend Licht zur Verfügung steht, ist ferner noch
vorgesehen, dass die Beobachtungsoptik mit einer Beleuchtungsoptik
versehen ist, die ebenfalls über
die Abbildungsoptik den zu belichtenden Bereich der fotosensitiven
Beschichtung so ausleuchtet, dass eine Beobachtung der Belichtung
der Beschichtung über die
Beobachtungsoptik möglich
ist, jedoch aber auch so, dass die Ausleuchtung dieses Bereichs
nicht zur chemischen Veränderung
der fotosensitiven Beschichtung führen oder beitragen kann.
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Hinsichtlich
der Führung
des Optikschlittens am Maschinengestell wurden bislang keine näheren Angaben
gemacht.
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So
sieht eine vorteilhafte Lösung
vor, dass der Optikschlitten an einer über einem Bewegungsraum von
Substratschlitten und Substratkörper
verlaufenden Führung
am Maschinengestell geführt
ist.
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Diese
Führung
ist vorzugsweise als sich über den
Bewegungsraum hinweg erstreckende Brücke ausgebildet.
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Um
eine möglichst
präzise
Belichtung der fotosensitiven Beschichtung zu erhalten, ist vorzugsweise
ein Längsmesssystem
vorgesehen, das beim Bewegen des Optikschlittens ständig die
Position des Optikschlittens in der zweiten Richtung erfaßt.
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Damit
kann die Position des Optikschlittens in der zweiten Richtung stets überprüft werden
und entsprechend der tatsächlich
gemessenen Position des Optikschlittens kann die Belichtung der
fotosensitiven Beschichtung erfolgen.
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Da
selbst bei präziser
Führung
des Optikschlittens in der zweiten Richtung keine absolut geradlinige
Bewegung des Optikschlittens in dieser Richtung erfolgt, ist vorzugsweise
ein Quermesssystem vorgesehen, das beim Bewegen des Optikschlittens
ständig
die Positionen des Optikschlittens quer zur zweiten Richtung erfaßt.
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Somit
besteht mit dem Quermesssystem auch die Möglichkeit, Führungsungenauigkeiten
in der Führung
des Optikschlittens zu erkennen und gegebenenfalls durch entsprechende
Steuerung der Relativbewegung von Optikschlitten und Substratschlitten
auszugleichen.
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Besonders
günstig
ist es dabei, wenn das Quermesssystem die Positionen des Optikschlittens in
der ersten Richtung erfaßt,
so dass in einfacher Weise die Möglichkeit
einer Kompensation von Abweichungen der Bewegung des Optikschlittens
in der ersten Richtung durch entsprechende Bewegung des Substratschlittens
in der ersten Richtung möglich
ist.
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Vorzugsweise
sind das Längsmesssystem und/oder
auch das Quermesssystem optische Meßeinrichtungen, welche insbesondere
einen Lichtweg interferometrisch erfassen.
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Beispielsweise
wird bei derartigen interferometrischen Messeinrichtungen ein Lichtweg
zwischen einem Sende- und Empfangskopf einerseits sowie einem Reflektor
andererseits interferometrisch erfasst.
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Bei
dem Längsmesssystem
ist zweckmäßigerweise
der Sende- und Empfangskopf stationär angeordnet, während der
Reflektor an dem Optikschlitten sitzt.
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Im
Gegensatz dazu ist beim Quermesssystem vorzugsweise vorgesehen,
dass der Sende- und Empfangskopf auf dem Optikschlitten sitzt und
der Reflektor stationär
angeordnet ist, wobei der Reflektor in der zweiten Richtung, längs welcher
sich der Optikschlitten bewegt, eine Ausdehnung aufweist, die mindestens
dem Weg, den der Optikschlitten zurücklegt, entspricht.
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Alternativ
und ergänzend
zur bislang beschriebenen Lösung
wird bei einer Belichtungsanlage der eingangs genannten Art die
eingangs genannte Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass das
Maschinengestell ein Fundament aufweist, an dem der Substratschlitten
in der ersten Richtung bewegbar geführt ist.
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Ein
derartiges Fundament ist vorzugsweise so ausgebildet, dass es eine
gegenüber
dem Substratschlitten um ein Vielfaches, mindestens einen Faktor
100, größere Masse
aufweist.
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Zweckmäßigerweise
ist ein derartiges Fundament aus Granit ausgebildet.
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Zur
Entkopplung von Schwingungen der Umgebung ist vorzugsweise vorgesehen,
dass das Fundament auf schwingungsdämpfenden Stützen angeordnet ist.
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Um
die Belichtungseinrichtung in geeigneter Weise in der zweiten Richtung
bewegen zu können, ist
vorzugsweise vorgesehen, dass das Maschinengestell eine sich quer
zur ersten Richtung erstreckende Brücke aufweist, an welcher ein
Optikschlitten der Belichtungseinrichtung geführt ist.
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Die
Brücke
könnte
unabhängig
vom Fundament am Maschinengestell angeordnet sein.
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Besonders
günstig
ist es jedoch, wenn die Brücke
auf dem Fundament angeordnet ist.
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Zweckmäßigerweise
ist die Brücke
ebenfalls aus Granit ausgebildet.
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Um
die Länge
des Fundaments in der ersten Richtung möglichst gering zu halten, ist
vorzugsweise vorgesehen, dass der Substrattisch relativ zu der Brücke derart
bewegbar ist, dass der Substrattisch nur auf einer Seite der Brücke vollständig unter
der Brücke
herausfahrbar ist.
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Diese
einseitige vollständige
Herausfahrbarkeit des Substrattisches unter der Brücke ist
erforderlich, um den Substratkörper
vom Substrattisch entnehmen und einen weiteren Substratkörper auf
den Substrattisch auflegen zu können.
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Hinsichtlich
des Antriebs des Substratschlittens wurden bislang keine näheren Angaben
gemacht. So wäre
es beispielsweise denkbar, den Substratschlitten durch pneumatische
oder ähnliche
Antriebe anzutreiben.
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Eine
vorteilhafte Lösung
sieht vor, dass der Substratschlitten durch mindestens einen elektrischen
Linearantrieb in der ersten Richtung bewegbar ist.
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Um
hohe Beschleunigungen des Substrattisches bei möglichst verdrehungsfreier Bewegung desselben
zu erreichen, ist vorzugsweise vorgesehen, dass der Substrattisch
durch zwei im Abstand voneinander angeordnete Linearantriebe in
der ersten Richtung bewegbar ist, da damit durch die geeignete Ansteuerung
beider Linearantriebe eine aktive Parallelführung des Substratschlittens
erreichbar ist.
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Ergänzend oder
alternativ zu den bislang beschriebenen Ausführungsformen sieht eine weitere Lösung der
eingangs genannten Aufgabe bei einer Belichtungsanlage der eingangs
beschriebenen Art vor, dass der Substratschlitten als Tragwerkstruktur aufgebaut
ist.
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Eine
derartige Tragwerkstruktur hat im Gegensatz zu einem Aufbau des
Substratschlittens aus einem massiven Material den Vorteil einer
hohen Steifigkeit bei geringer zu beschleunigender Masse.
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Zweckmäßigerweise
ist dabei vorgesehen, dass die Tragwerkstruktur des Substratschlittens mindestens
eine Flächenstruktur
und quer zur Flächenstruktur
eine Versteifungsstruktur aus quer zu der Flächenstruktur verlaufenden Versteifungswänden aufweist.
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Mit
dieser Lösung
ist eine optimale Steifigkeit des Substratschlittens bei möglichst
geringer Masse erreichbar.
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Vorzugsweise
ist dabei die Flächenstruktur als
obere und/oder untere Wand des Substratschlittens ausgebildet, während die
Versteifungswände senkrecht
zu dieser Wand verlaufen.
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Insbesondere
sind dabei mehrere Versteifungswände
vorgesehen, die miteinander verbunden sind und eine zusammenhängende Gitterstruktur
bilden, die mit der Flächenstruktur
verbunden ist.
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Hinsichtlich
des Materials für
den Substratschlitten wurden bislang keine näheren Angaben gemacht. So ist
es besonders günstig,
wenn der Substratschlitten aus einem Leichtbaumaterial hergestellt ist.
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Besonders
geeignet als Leichtbaumaterial für
den Substratschlitten hat sich dabei ein faserverstärktes Material,
insbesondere ein kohlefaserverstärktes
Material erwiesen.
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Zweckmäßigerweise
ist der Substratschlitten aus C/SiC-Material hergestellt.
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Um
den Antrieb des Substratschlittens möglichst optimal zu gestalten,
ist vorgesehen, dass direkt am Substratschlitten ein Läufer des
mindestens einen Linearantriebes angeordnet ist.
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Zum
Vermeiden eines Wärmeeintrages
in den Substratschlitten und somit von Ungenauigkeiten aufgrund
von Erwärmung
des Substratschlittens, ist vorzugsweise vorgesehen, dass der mindestens eine
Läufer
im Bereich eines zur Montage desselben vorgesehenen Fußes gekühlt ist.
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Vorzugsweise
ist dabei die Kühlung
der Läufer
eine Flüssigkeitskühlung.
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Im
einfachsten Fall ist vorgesehen, dass der Fuß des mindestens einen Läufers mit
Kühlkanälen durchsetzt
ist.
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Da
der Substratschlitten trotz geringer Masse aufgrund der oszillierenden
Hin- und Her-Bewegung
durch Impulsübertragung
auf das Fundament Schwingungen in diesem erzeugen könnte, ist
vorzugsweise mindestens ein Impulsausgleichsschlitten vorgesehen,
welcher im wesentlichen gegenläufig zum
Substratschlitten bewegbar ist, um den vom Substratschlitten beim
Beschleunigen und Bremsen auf das Fundament übertragenen Impuls auszugleichen.
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Besonders
vorteilhaft ist es dabei, wenn der Substratschlitten zwischen zwei
gegenläufig
zu diesem bewegbaren Impulsausgleichsschlitten angeordnet ist.
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Vorzugsweise
ist dabei vorgesehen, dass der mindestens eine Impulsausgleichsschlitten
durch einen elektrischen Linearantrieb angetrieben ist.
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Im
Falle eines elektrischen Linearantriebs ist es besonders zweckmäßig, wenn
der mindestens eine Impulsausgleichsschlitten elektronisch gegenläufig mit
dem Substratschlitten gekoppelt ist, so dass eine mechanische Kopplung
entfallen kann.
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Eine
derartige elektronische Kopplung erlaubt außerdem auch noch eine Kompensation
von unterschiedlich großen
Impulsen des Substratschlitten, die dadurch entstehen können, dass
der Substratkörper
unterschiedliche Masse aufweisen kann.
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Besonders
vorteilhaft ist es für
den Impulsausgleich, wenn ein Massenschwerpunkt des Substratschlittens
und ein Massenschwerpunkt des mindestens einen Impulsausgleichsschlittens
in einer gemeinsamen Ebene angeordnet sind, so dass beim Impulsausgleich
auftretende quer zu der Ebene verlaufende Kräfte vermieden werden können.
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Um
auch die Position des Substratschlitten exakt erfassen zu können, ist
vorzugsweise ein Längsmesssystem
vorgesehen, welches beim Bewegen des Substratschlittens ständig die
Position des Substratschlittens in der ersten Richtung erfaßt.
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Da
trotz exakter Führung
des Substratschlittens Bewegungen quer zur ersten Richtung auftreten können, ist
vorzugsweise ein Quermesssystem vorgesehen, welches beim Bewegen
des Substratschlittens ständig
die Position des Substratschlittens quer zur ersten Richtung erfaßt.
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Insbesondere
erfaßt
dabei das Quermesssystem die Bewegung des Substratschlittens in
der zweiten Richtung.
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Vorzugsweise
sind das Längsmesssystem und/oder
das Quermesssystem als optische Meßsysteme ausgebildet, welche
eine interferometrische Längenmessung
vornehmen.
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Die
Präzision
bei der Belichtung der fotosensitiven Beschichtung hängt jedoch
bei einer Belichtungsanlage der eingangs beschriebenen Art nicht nur
von der Präzision
der Positionierung ab, sondern auch von der thermischen Stabilität der Belichtungsanlage.
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Aus
diesem Grund wird bei einer weiteren Ausführungsform einer Belichtungsanlage
der eingangs beschriebenen Art die eingangs genannte Aufgabe dadurch
gelöst,
dass über
einem Bewegungsraum des Substratschlittens und des Substratkörpers mindestens
ein Wärmetauscherelement
angeordnet ist, welches einem in dem Bewegungsraum vorliegenden
gasförmigen
Kühlmedium
Wärme entzieht.
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Durch
ein derartiges Wärmetauscherelement
besteht die Möglichkeit, über einen
großflächigen Bereich
das Kühlmedium
auf einer konstanten Temperatur zu halten, nämlich dadurch, dass diesem Wärme entzogen
wird, die in das Kühlmedium
durch die Belichtung der fotosensitiven Beschichtung des Substratkörpers und
somit über
den Substratkörper eingetragen
wird.
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Vorzugsweise
sind dabei beidseitig im Anschluß an die Brücke über dem Bewegungsraum Wärmetauscherelemente
vorgesehen.
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Eine
besonders vorteilhafte Wirkung des mindestens einen Wärmetauscherelements
wird dann erreicht, wenn das Wärmetauscherelement sich
in Richtung des Bewegungsraums erstreckende Wärmetauscherflächen aufweist.
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Diese
Wärmetauscherflächen erhöhen die für den Wärmeaustausch
mit dem Kühlmedium
zur Verfügung
stehende Fläche
und machen somit den Wärmeaustausch
effektiver.
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Besonders
günstig
ist es, wenn die Wärmetauscherflächen parallel
zu einer vorgegebenen Richtung verlaufen.
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Die
vorgegebene Richtung ist dabei vorzugsweise die erste Richtung,
in welcher sich der Substratschlitten beim Belichten der fotosensitiven
Beschichtung oszillierend bewegt.
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Insbesondere
ist es dabei günstig,
wenn die Wärmetauscherflächen so
angeordnet sind, dass sich ein Strömungskanal ergibt, der in der
vorgegebenen Richtung verläuft.
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Das
Wärmetauscherelement
kann jedoch nicht nur zur Temperierung des in dem Bewegungsraum
vorhandenen Kühlmediums
vorgesehen sein, sondern auch dazu, einen weiteren Substratkörper zu
temperieren.
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Dabei
kann das Wärmetauscherelement über ein
zusätzliches
beispielsweise gasförmiges Kühlmedium
mit dem weiteren zu temperierenden Substratkörper in Kontakt sein.
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Besonders
vorteilhaft ist es jedoch, wenn das Wärmetauscherelement durch körperlichen
Kontakt mit dem zu temperierenden Substratkörper wechselwirkt.
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Im
einfachsten Fall ist das Wärmetauscherelement
als Träger
für den
zu temperierenden Substratkörper
ausgebildet, so dass der Substratkörper auf dem Wärmetauscherelement
aufliegt.
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Zweckmäßigerweise
liegt der Substratkörper dabei
flächenhaft
auf dem Wärmetauscherelement auf.
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Ferner
läßt sich
die Temperierung des Substratschlittens mit dem zu belichtenden
Substratkörper noch
dadurch verbessern, dass der Bewegungsraum des Substratschlittens
und des Substratkörpers
von einem Strom eines temperaturstabilisierten gasförmigen Kühlmediums
durchsetzt ist.
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Ein
derartiger Strom von gasförmigem
Kühlmedium
dient dazu, den Substratkörper
mit der fotosensitiven Beschichtung trotz der beim Belichten derselben
eingetragenen Energie auf einer im wesentlichen konstanten Temperatur
zu halten, um somit Deformationen, die durch Wärmedehnung auftreten könnten, zu
vermeiden.
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Besonders
günstig
ist es dabei, wenn der Strom des gasförmigen Kühlmediums eine Beschichtungsoberfläche der
fotosensitiven Beschichtung überstreicht.
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Um
einen gerichteten Strom des gasförmigen
Kühlmediums
zu erhalten, ist vorgesehen, dass der Strom des gasförmigen Kühlmediums
von einem Zufuhrkanal zu einem Abfuhrkanal verläuft.
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Der
Strom des Kühlmediums
könnte
dabei quer zur ersten Richtung verlaufen.
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Insbesondere
ist es dabei günstig,
wenn der Strom des gasförmigen
Kühlmediums
längs des
Bewegungsraums ungefähr
parallel zur ersten Richtung verläuft.
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Vorzugsweise
ist in diesem Fall jeweils ein Zufuhrkanal in einem der Brücke gegenüberliegenden
Endbereich des Maschinengestells angeordnet, so dass der Strom des
gasförmigen
Kühlmediums
jeweils von dem der Brücke
gegenüberliegenden
Endbereich des Maschinengestells in Richtung der Brücke strömt.
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Alternativ
dazu ist vorgesehen, dass mindestens ein Zufuhrkanal im Bereich
der Brücke
angeordnet ist.
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Zweckmäßigerweise
ist ferner vorgesehen, dass der Abfuhrkanal im Bereich über der
Brücke
angeordnet ist, so dass der Strom des gasförmigen Kühlmediums auch noch die Brücke und
insbesondere die Belichtungseinrichtung umströmen und kühlen kann.
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Insbesondere
wird dabei der Strom des gasförmigen
Kühlmediums
durch einen über
der Brücke angeordneten
Optikbewegungsraum geführt.
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Um
auch optimale Bedingungen hinsichtlich der Temperierung der Abbildungsoptik
zu erhalten, ist vorzugsweise vorgesehen, dass der Strom des gasförmigen Kühlmediums
in dem Optikbewegungsraum zunächst
den Optikschlitten mit der Abbildungsoptik und dann die Lichtquelleneinheit
umströmt,
so dass die starke Erwärmung
des Kühlmediums
im Bereich der Lichtquelleneinheit sich nicht negativ auf die Temperatur
der Abbildungsoptik oder des Substratkörpers auswirken kann.
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Vorzugsweise
durchläuft
der Strom des gasförmigen
Kühlmediums
nach Abfuhr desselben durch den Abfuhrkanal eine Aufbereitungseinrichtung
und wird von dieser dem Zufuhrkanal zugeführt.
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Insbesondere
bei Verwendung eines Wärmetauscherelements
ist vorzugsweise vorgesehen, dass ein Strom des gasförmigen Kühlmediums
auf einer dem Substratkörper
auf dem Substratschlitten zugewandten Seite des Wärmetauscherelements entlangströmt.
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Zweckmäßigerweise
strömt
dabei der Strom durch auf dieser Seite des Wärmetauscherelements angeordnete
und durch die Wärmetauscherrippen gebildete
Strömungskanäle.
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Um
ferner den zu temperierenden Substratkörper noch optimal temperieren
zu können,
ist vorgesehen, dass der auf dem Wärmetauscherelement angeordnete
zu temperierende Substratkörper
von einem Strom des gasförmigen
Kühlmediums
auf einer dem Substratschlitten abgewandten Seite überströmt ist.
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Bei
der bisher beschriebenen Führung
des Stroms von gasförmigem
Medium wurde nicht näher darauf
eingegangen, wie dieser Strom gerichtet sein soll.
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Grundsätzlich kann
der Strom des gasförmigen
Kühlmediums
quer zur ersten Richtung verlaufen.
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In
Anpassung an die Bewegung des Substratschlittens ist es günstig, wenn
der Strom des Kühlmediums
ungefähr
parallel zur ersten Richtung verläuft.
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Eine
Möglichkeit
sieht weiter vor, den Strom des gasförmigen Mediums von den Enden
des Fundamentkörpers
zur Brücke
zu führen.
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Eine
andere Möglichkeit
sieht vor, den Strom das gasförmigen
Kühlmediums
von der Brücke
zu den Enden des Fundamentkörpers
zu führen.
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Darüber hinaus
ist bei den vorstehend beschriebenen Möglichkeiten in beiden Fällen vorgesehen,
dass ein Teil des gasförmigen
Kühlmediums auch
den Optikraum durchsetzt, um die Optikeinheit, insbesondere die
Abbildungsoptik, und die Lichtquelleneinheit aufeinanderfolgend
zu temperieren bzw. zu kühlen.
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Bei
der Führung
des Stroms aus gasförmigem
Kühlmedium
ist stets damit zu rechnen, dass dieser Strom auch Kleinstpartikel
mitführt,
die bei der Herstellung der belichteten Struktur zu Fehlern führen können.
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Aus
diesem Grund ist auch bei der Führung des
Stroms des gasförmigen
Kühlmediums
vorteilhafterweise eine derartige Führung vorgesehen, die möglichst
wenig Schmutz in den Bereich der Belichtung bewegt.
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Eine
Lösung
sieht hierbei vor, dass das gasförmige
Kühlmedium
die Abbildungsoptik auf ihrer der Beschichtung zugewandten Seite
unterströmt, um
somit stets die Abbildungsoptik in dem der belichteten Struktur
zugewandten Bereich frei von Schmutzpartikeln zu halten.
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Eine
günstige
Lösung
sieht hierbei vor, dass entlang der Positionen der Abbildungsoptik
ein Zufuhrkanal für
das gasförmige
Kühlmedium
vorgesehen ist, um unmittelbar nahe der der Beschichtung zugewandten
Seite der Abbildungsoptik den Strom des gasförmigen Kühlmediums zuführen zu
können, welcher
die Abbildungsoptik auf ihrer der Beschichtung zugewandten Seite
unterströmen
soll.
-
Um
bei der erfindungsgemäßen Belichtungsanlage
die Substratkörper
optimal in die Belichtungsanlage einbringen zu können, ist vorzugsweise ein Substratbeschickungstisch
vorgesehen, über
welchen Substratkörper
der Belichtungsanlage zuführbar
sind.
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Ist
nur ein Substratkörper
dem Substratschlitten zuzuführen,
so ist der Substratbeschickungstisch in Höhe des Substratschlittens angeordnet,
so dass der Substratkörper
in einer Ebene vom Substratbeschickungstisch auf den Substratschlitten oder
umgekehrt verschiebbar ist.
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Vorzugsweise
ist dabei der Substratbeschickungstisch höhenverstellbar angeordnet,
so dass der Substratbeschickungstisch einerseits so angeordnet werden
kann, dass von diesem der Substratkörper entweder auf den Substratschlitten
oder auf das Wärmetauscherelement
bewegbar ist oder von einem der beiden entnommen werden kann.
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Insbesondere
ist dabei der Substratbeschickungstisch derart einstellbar, dass
der Substratkörper
ohne Höhenversatz
in jeweils einer Ebene zwischen dem Substratbeschickungstisch und
dem Substratschlitten oder dem Substratbeschickungstisch und dem
Wärmetauscherelement
verschiebbar ist.
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Um
die Verschiebbarkeit des Substratkörpers zu erleichtern, sind
sowohl der Substratbeschickungstisch als auch der Substratschlitten
oder der Substratbeschickungstisch und das Wärmetauscherelement mit Einrichtungen
zur Erzeugung eines Luftpolsters versehen, so dass der jeweilige
Substratkörper
auf einem Luftpolster von dem Substratbeschickungstisch auf den
Substratschlitten oder umgekehrt oder von dem Substratbeschickungstisch
auf das Wärmetauscherelement
oder umgekehrt bewegbar ist.
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Im
einfachsten Fall ist der Substratbeschickungstisch derart höhenverstellbar,
dass er zwischen einer Höhe
des Substratschlittens und einer Höhe des Wärmetauscherelements verstellbar
ist.
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Um
den Substratkörper
auf dem Substratschlitten fixieren zu können, sind vorzugsweise auf dem
Substratschlitten Ansaugelemente vorgesehen, mit welchen der Substratkörper in
einfacher Weise auf dem Substratschlitten durch Ansaugen fixierbar ist.
-
Weitere
Merkmale und Vorteile der Erfindung sind Gegenstand der nachfolgenden
Beschreibung sowie der zeichnerischen Darstellung einiger Ausführungsbeispiele.
In der Zeichnung zeigen:
-
1 eine
perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Belichtungsanlage ohne äußere Verkleidung
eines ersten Ausführungsbeispiels;
-
2 eine
Ansicht in Richtung des Pfeils A in 1 des ersten
Ausführungsbeispiels;
-
3 einen
Schnitt längs
Linie 3-3 in 2 des ersten Ausführungsbeispiels;
-
4 eine
vergrößerte Darstellung
des Schnitts gemäß 3 durch
einen Substratschlitten des ersten Ausführungsbeispiels;
-
5 einen
Schnitt längs
Linie 5-5 in 4 des ersten Ausführungsbeispiels;
-
6 einen
Schnitt längs
Linie 6-6 in 4 des ersten Ausführungsbeispiels;
-
7 eine
perspektivische Darstellung eines Fundaments mit einem Substratschlitten ähnlich 1,
allerdings ohne Brücke
und Belichtungseinrichtung sowie ohne Rahmen des ersten Ausführungsbeispiels;
-
8 eine
ausschnittsweise Vergrößerung einer
Ansicht in Richtung des Pfeils B in 1 des ersten
Ausführungsbeispiels;
-
9 eine
weitere Vergrößerung des
Bereichs C in 8 des ersten Ausführungsbeispiels;
-
10 eine
teilweise geschnittene perspektivische Ansicht des Fundaments mit
einer Brücke ähnlich 1,
allerdings ohne Optikschlitten und Abbildungsoptik und Rahmen des
ersten Ausführungsbeispiels;
-
11 einen
Schnitt längs
Linie 11-11 in 10 des ersten Ausführungsbeispiels;
-
12 eine
Ansicht in Richtung des Pfeils D in 1 des ersten
Ausführungsbeispiels;
-
13 einen
Schnitt längs
Linie 13-13 in 1 des ersten Ausführungsbeispiels;
-
14 eine
perspektivische Darstellung eines Optikschlittens mit einer Optikeinheit
des ersten Ausführungsbeispiels;
-
15 eine
perspektivische Darstellung eines Schnitts längs Linie 15-15 in 14 des
ersten Ausführungsbeispiels;
-
16 eine
perspektivische Darstellung eines Schnitts längs Linie 16-16 in 14 des
ersten Ausführungsbeispiels;
-
17 eine
Seitenansicht des Schnitts längs
Linie 15-15 in 14 des ersten Ausführungsbeispiels;
-
18 eine
Draufsicht auf den Schnitt in Richtung eines Pfeils E in 13 mit
Verhaubung des ersten Ausführungsbeispiels;
-
19 einen
Schnitt ähnlich 18 durch ein
Wärmetauscherelement
des ersten Ausführungsbeispiels;
-
20 eine
Ansicht des Wärmetauscherelements
in Richtung des Pfeils F in 19 des
ersten Ausführungsbeispiels;
-
21 eine
Draufsicht auf das Wärmetauscherelement
in Richtung eines Pfeils G in 20 des
ersten Ausführungsbeispiels;
-
22 einen
Schnitt ähnlich 2 bei
einem Ausführungsbeispiel
mit Hubtisch des ersten Ausführungsbeispiels;
-
23 eine perspektivische Darstellung des Schnitts
gemäß 22 des
ersten Ausführungsbeispiels;
-
24 eine ausschnittsweise vergrößerte Darstellung eines Bereichs
H in 19 des ersten Ausführungsbeispiels;
-
25 eine Schnittdarstellung ähnlich 18 bei
einem zweiten Ausführungsbeispiel;
-
26 einen Schnitt ähnlich 17 durch den
Optikschlitten mit Optikeinheit eines dritten Ausführungsbeispiels
einer erfindungsgemäßen Belichtungsanlage;
-
27 eine perspektivische Darstellung eines vierten
Ausführungsbeispiels
einer erfindungsgemäßen Belichtungsanlage;
-
28 einen Schnitt ähnlich 17 durch die
Optikeinheit des vierten Ausführungsbeispiels;
-
29 eine Draufsicht auf eine Aufnahmeeinheit der
Optikeinheit des vierten Ausführungsbeispiels;
-
30 eine Seitenansicht der Aufnahmeeinheit in Richtung
des Pfeils I in 29 und
-
31 eine Darstellung ähnlich 30 mit einer
vergrößerten Darstellung
der Bereiche I und K in 30.
-
Ein
Ausführungsbeispiel
einer als Ganzes mit 10 bezeichneten erfindungsgemäßen Belichtungsanlage
umfaßt
ein Maschinengestell 12 mit einem Fundamentkörper 14,
welcher seinerseits auf schwingungsdämpfenden Stützen 16 angeordnet
ist (1).
-
Der
Fundamentkörper 14 ist
vorzugsweise aus Granit hergestellt und bietet daher mehrere Vorteile.
-
Ein
Vorteil ist darin zu sehen, dass aufgrund des hohen spezifischen
Gewichts der Fundamentkörper 14 eine
große
gegenüber
externen und internen Schwingungen dämpfend wirkende Masse darstellt
und dadurch insbesondere aufgrund der Stützen 16, die mit Dämpfungselementen
versehen sind, vorteilhaft gegenüber
externen Schwingungen entkoppelt werden kann.
-
Ferner
hat ein derartiger Fundamentkörper 14 aus
Granit den Vorteil, dass es sich bei Granit um ein verzugsfreies
und hochgenau bearbeitbares Material handelt, das eine vorteilhafte
Basis für
die einzelnen Komponenten der hochpräzisen Belichtungsanlage darstellt.
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An
dem Fundamentkörper 14 ist
ein als Ganzes mit 20 bezeichneter Substratschlitten in
einer ersten Richtung X linear bewegbar geführt, wobei die erste Richtung
X ungefähr
parallel zu einer Längsrichtung 22 des
Fundamentkörpers 14 und
parallel zu einer Tragfläche 24 des
Substratschlittens 20 verläuft.
-
Ferner
ist auf der Tragfläche 24 des
Substratschlittens 20 ein als Ganzes mit 26 bezeichneter Substratkörper positionierbar,
welcher auf seiner der Tragfläche 24 abgewandten
Substratoberfläche 28 mit
einer fotosensitiven Beschichtung 30 versehen ist.
-
Die
fotosensitive Beschichtung 30 kann dabei durch lokal gezielte
Belichtung mit belichteten Strukturen 32 versehen werden,
die sich beispielsweise bei einem nachfolgenden Ätzprozeß gegenüber einer Ätzlösung anders verhalten als unbelichtete Bereiche 34 der
Beschichtung 30.
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Zur
Erzeugung der belichteten Strukturen 32 ist der Substratschlitten 20 mit
dem auf dessen Tragfläche 24 angeordneten
Substratkörper 26 in
einem über
dem Fundamentkörper 14 liegenden
und sich in der ersten Richtung X erstreckenden Bewegungsraum 36 bewegbar.
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Auf
dem Fundamentkörper 14 sitzt
ferner eine als Ganzes mit 40 bezeichnete Brücke, die
sich in einer quer zur ersten Richtung X verlaufenden zweiten Richtung
Y über
den Bewegungsraum 36 hinweg erstreckt und seitlich des
Bewegungsraums 36 mit Brückenstützen 42 auf dem Fundamentkörper 14 abgestützt ist.
-
Vorzugsweise
ist die Brücke 40 ebenfalls
aus Granit hergestellt und weist somit dieselben Vorteile auf wie
der Fundamentkörper 14.
-
An
der Brücke 40 ist
dabei ein als Ganzes mit 50 bezeichneter Optikschlitten
geführt,
welcher längs der
Brücke 40 in
der zweiten Richtung Y bewegbar ist und mindestens eine Abbildungsoptik 52 einer
als Ganzes mit 54 bezeichneten Belichtungseinrichtung trägt, die
in der zweiten Richtung Y relativ zum Substratschlitten 20 in
einem Optikbewegungsraum 38 bewegbar ist, um in der Beschichtung 30 des
Substratkörpers 26 durch
gezielte lokale Belichtung in Verbindung mit einem Bewegen des Substratschlittens 20 und
des Optikschlittens 50 zweidimensionale belichtete Strukturen 32 erzeugen
zu können.
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Das
Erzeugen der belichteten Strukturen erfolgt beispielsweise so, wie
in der WO 98/00760 beschrieben. Eine verbesserte Art der Belichtung
der Beschichtung
30 ist in der
EP 1 319 984 A2 beschrieben
und eine weitere verbesserte Lösung
in der WO 2004/029721 A2. Im Hinblick auf die Erzeugung der belichteten
Strukturen
32, die Ausbildung der Abbildungsoptik und des
Betriebs im Detail wird daher auf diese Druckschriften vollinhaltlich
Bezug genommen.
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Sowohl
die Bewegung des Substratschlittens 20 als auch die Bewegung
des Optikschlittens 50 in Verbindung mit der gezielten
lokalen Belichtung der Beschichtung 30 sind durch eine
als Ganzes mit 60 bezeichnete Steuerung steuerbar, wobei
die Steuerung 60 nach Vorgabe von Form und Größe der belichteten
Struktur 32 selbsttätig
die Belichtung der fotosensitiven Beschichtung 30 im Zusammenhang
mit dem Bewegen des Substratschlittens 20 und des Optikschlittens 50 ausführt.
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Bei
dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist
die Belichtungseinrichtung 54 unterteilt in die Abbildungsoptik 52,
die auf dem Optikschlitten 50 sitzt und eine Lichtquellen 61,
insbesondere Laserlichtquellen, umfassende Lichtquelleneinheit 62,
die auf einem Lichtquellenschlitten 64 sitzt, der seinerseits an
Schlittenführungen 66 eines
den Fundamentkörper 14 und
die Brücke 40 übergreifenden
Rahmens 70 des Maschinengestells 12 gehalten ist.
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Wie
im Detail in 2 und 3 dargestellt, umfaßt der Fundamentkörper 14 eine
schwalbenschwanzförmige
Ausnehmung 72 mit einer Grundfläche 74 und Seitenflächen 76,
die von der Grundfläche 74 ausgehend
sich von dieser weg erstrecken und dabei mit der Grundfläche 74 einen
spitzen Winkel einschließen.
Die Seitenflächen 76 erstrecken sich
bis zu wiederum ungefähr
parallel zur Grundfläche 74 verlaufenden
Auflageflächen 78,
die beispielsweise auf einer Oberseite 80 des Fundamentkörpers 14 angeordnet
sind und mit den Seitenflächen 76 einen
Winkel einschließen,
der größer als 270° ist.
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Vorzugsweise
bilden dabei die Auflageflächen 78 und
die Seitenflächen 76 Führungsflächen für die Führung des
Substrattisches 20 in der ersten Richtung X, wobei der
Substrattisch 20 auf den Seitenflächen 76 und den Auflageflächen 78 nicht
vollflächig
aufliegt, sondern an den Seitenflächen 76 gleitend geführte Gleitkörper 82 sowie
an den Auflageflächen 78 gleitend
geführte
Gleitkörper 84 aufweist, wobei
die Gleitkörper 82, 84 vorzugsweise
so ausgebildet sind, dass sie ein Luftpolster auf den Seitenflächen 76 bzw.
Auflageflächen 78 erzeugen
und damit auf diesem Luftpolster gleiten.
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Vorzugsweise
sind die parallel zur ersten Richtung X verlaufenden Seitenflächen 76 sowie
die Auflageflächen 78 unmittelbar
an den Fundamentkörper 14 aus
Granit angeschliffen, wie in 2 dargestellt,
oder der Führungskörper 14 aus
Granit trägt seinerseits
Leisten, die mit den Seitenflächen 76 bzw. den
Auflageflächen 78 versehen
sind, jedoch ihrerseits an dem Fundamentkörper 14 abgestützt sind, so
dass dieser für
die Steifigkeit derartiger Leisten maßgebend ist.
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Zum
Bewegen des Substratschlittens 20 sind sich in der ersten
Richtung X erstreckende elektrische Linearantriebe 90 vorgesehen,
die auf jeweils einander abgewandten Seiten der Auflageflächen 78 angeordnete
Statorelemente 92 umfassen.
-
Vorzugsweise
sind dabei die Statorelemente 92 ebenfalls unmittelbar
an dem Fundamentkörper 14 angeordnet,
beispielsweise auf geschliffenen Flächen desselben abstützt.
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Ferner
trägt der
Substratschlitten 20 seitlich desselben angeordnete Läufer 94,
welche durch die Statorelemente 92 der Linearantriebe 90 in
der ersten Richtung X antreibbar und somit in dieser Richtung mitsamt
dem Substratschlitten 20 bewegbar sind.
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Wie
in 3 bis 5 dargestellt, ist der Substratschlitten 20 in
der Art einer Tragwerkstruktur 100 aufgebaut, welche als
untere Flächenstruktur eine
Wand 102 und als obere die Tragfläche 24 bildende Flächenstruktur
eine Wand 104 aufweist, die durch streifenförmig ausgebildete
und ungefähr senkrecht
zu diesen verlaufende Versteifungswände 106 miteinander
verbunden sind, wobei die Versteifungswände 106, wie in 4 dargestellt,
zumindest zu einem nennenswerten Teil quer zu der ersten Richtung
X verlaufen und entweder ungefähr
einen rechten Winkel und/oder einen spitzen Winkel mit der ersten
Richtung X einschließen,
so dass sie zwischen der unteren Wand 102 und der oberen
Wand 104 in wabenähnliche
Hohlräume
unterteilte Versteifungsstruktur 108 bilden.
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Ferner
ist die Tragwerkstruktur 100 noch seitlich durch Seitenwände 110 und
endseitig durch Abschlußwände 112 abgeschlossen.
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Außerdem ist
in der Tragwerkstruktur 100 auch die Verankerung der Gleitkörper 82 und 84 integriert,
so dass diese ebenfalls mit der der Tragwerkstruktur 100 innewohnenden
Steifigkeit in dieser verankert sind.
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Darüber hinaus
erfolgt auch eine in die Tragwerkstruktur 100 integrierte
Verankerung der Läufer 94,
die mit Fußkörpern 114 an
entsprechend durch die Versteifungsstruktur 108 versteiften
Bereichen 116 der Seitenwände 110 montiert sind.
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Vorzugsweise
ist die gesamte Tragwerkstruktur 100 des Substratschlittens 20 als
hochfeste Leichtbaukonstruktion ausgeführt, wobei die untere Wand 102,
die obere Wand 104, die Versteifungswände 106 der Versteifungsstruktur 108 sowie
die Seitenwände 110 und
die Abschlußwände 112 aus kohlefaserverstärktem Siliciumcarbid
C/SiC hergestellt sind, wodurch der Substratschlitten 20 einerseits
eine möglichst
hohe Steifigkeit bei möglichst
geringer Masse desselben erhält.
Dies hat zur Folge, dass die mechanischen Resonanzfrequenzen des Substrattisches 20 so
hoch liegen, dass sie im wesentlichen nicht bei oszillierendem Hin-
und Herbewegen des Substratschlittens 20 angeregt werden.
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Um
außerdem
mechanische Ungenauigkeiten durch Erwärmung des Substratschlittens 20 zu vermeiden,
sind die an diesem sitzenden Läufer 94 insbesondere
im Bereich ihrer Fußkörper 114 mit Kühlkanälen 118 versehen,
durch welche ein Kühlmedium
fließt,
das die in den Läufern 94 entstehende Wärme möglichst
weitgehend abführt,
und so eine Erwärmung
des Substrattisches 20 verhindern.
-
Um
den Substrattisch 20 sowohl mit Kühlmedium für die Kühlkanäle 118 als auch mit
Druckluft für die
Gleitkörper 82, 84 versorgen
zu können,
ist der Substrattisch 20 mit einer Versorgungskette 120 verbunden,
die in einer Aufnahme 122 in dem Fundamentkörper 14 verläuft und
von einem fest mit dem Fundamentkörper 14 verbundenen
Ende sich C-förmig
zu dem Substratschlitten 20 erstreckt.
-
Obwohl
der Substratschlitten 20 in Leichtbauweise erstellt ist,
führt eine
oszillierende Bewegung des Substratschlittens 20, angetrieben
durch die Linearantriebe 90, zu einem Impulsübertrag
auf den Fundamentkörper 14 und
somit zu Schwingungen desselben.
-
Aus
diesem Grund sind, wie in 1, 2 und 7 dargestellt,
beiderseits des Substratschlittens 20 Impulsausgleichsschlitten 130 vorgesehen, welche
in einer schwalbenschwanzförmigen
Ausnehmung 132 geführt
sind, die eine Grundfläche 134 und zwei
zu der Grundfläche 134 im
spitzen Winkel geneigte Seitenführungsflächen 136 umfaßt, an denen die
Impulsausgleichsschlitten 130 in der ersten Richtung X
linear bewegbar geführt
sind.
-
Hierzu
umfaßt
jeder Impulsausgleichsschlitten 130 zwei im Abstand voneinander
angeordnete Gleitkörper 142,
die auf der Grundfläche 134 gleitend aufsitzen
und zwischen denen ein elektrischer Linearantrieb 140 angeordnet
ist.
-
Ferner
gleiten an den beiden Seitenführungsflächen 136 ebenfalls
Gleitkörper 144,
so dass der Impulsausgleichsschlitten 130 parallel zur
ersten Richtung X in der Ausnehmung 132 geführt ist.
-
Die
beiden Impulsausgleichsschlitten 130 weisen dabei eine
Masse auf, die in Summe ungefähr der
Masse des Substratschlittens 20 mit dem auf diesem angeordneten
Substratkörper 26 entspricht.
-
Jeder
Linearantrieb 140 ist dabei so ausgebildet, dass ein Stator 146 fest
mit dem Fundamentkörper 14 verbunden
ist und über
die Grundfläche 134 der
Ausnehmung 132 übersteht,
wobei der Stator 146 von einem Läufer 148 umschlossen
ist, der fest mit dem Impulsausgleichsschlitten 130 verbunden
ist.
-
Der
Linearantrieb 140 eines jeden der Impulsausgleichsschlitten 130 ist
dabei elektronisch gegenläufig
mit den Linearantrieben 90 des Substratschlittens 20 gekoppelt,
so dass die beiden Impulsausgleichsschlitten 130 eine exakt
gegenläufige
Bewegung zum Substratschlitten 20 ausführen und somit den beim Beschleunigen
und Abbremsen des Substratschlittens 20 auf den Fundamentkörper 14 wirkenden
Impuls kompensieren.
-
Die
Steuerung 60 kann dabei eine starre Kopplung vorsehen.
Es ist jedoch aber auch denkbar, die Steuerung 60 so auszubilden,
dass die relative Phase der Bewegungen der Impulsausgleichsschlitten 130 zum
Substratkörper 20 sowie
die Amplitude derselben und die maximale Geschwindigkeit derselben
einstellbar ist, um eine optimale Impulskompensation zu erreichen.
-
Besonders
vorteilhaft ist die Kompensation der Bewegungen des Substratschlittens 20 dann, wenn
ein Massenschwerpunkt 150 des Substratschlittens und Massenschwerpunkte 152 der
Impulsausgleichsschlitten in derselben Ebene 154 liegen, die
parallel zu der ersten Richtung X verläuft, so dass dadurch eine optimale
Impulskompensation möglich ist
und im wesentlichen keine Drehmomente auftreten.
-
Zur
Erfassung der Position des Substratschlittens 20 relativ
zum Fundamentkörper 14 ist,
wie in 8 und 9 dargestellt, einerseits ein
Längsmesssystem 160 vorgesehen,
welches einen Sende- und Empfangskopf 162 für einen
Laserstrahl 164 aufweist, der stationär am Fundamentkörper 14 gehalten
ist und den Laserstrahl 164 auf einen Spiegel 166 am
Substratschlitten 20, insbesondere an dessen Abschlußwand 112,
richtet und den vom Spiegel 166 reflektierten Laserstrahl
wieder empfängt
und dabei über
ein mit dem Sende- und
Empfangskopf 162 gekoppeltes Interferometer 168 den
Abstand zwischen dem Sende- und Empfangskopf 162 und dem
Spiegel 166 und somit die Position des Substratschlittens 20 in
der ersten Richtung X bestimmt.
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Hierzu
ist dem Längsmesssystem 160 noch ein
wellenlängenstabilisierter
Laser 170 zugeordnet, welcher die Laserstrahlung für das Längsmesssystem 160 erzeugt
sowie ein Detektor 172, welcher die aus dem Interferometer 168 austretende
Intensität detektiert.
-
Da
die Führung
des Substratschlittens 20 relativ zum Fundamentkörper 14 in
der ersten Richtung X Abweichungen von einer absolut geradlinigen
Führung
aufweist, ist, wie in 9 dargestellt, noch ein Quermesssystem 180 vorgesehen,
welches die Bewegungen des Substratschlittens 20 in der
zweiten Richtung Y, die senkrecht zur ersten Richtung X verläuft, erfaßt.
-
Das
Quermesssystem 180 umfaßt ebenfalls einen Sende- und
Empfangskopf 182, der in diesem Fall an dem Substratschlitten 20 angeordnet
ist und einen Laserstrahl 184 aussendet, welcher auf einen stationär am Fundamentkörper 14 angeordneten Spiegel 186 trifft.
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Bei
dem Quermesssystem 180 hat dabei der Spiegel 186 eine
Ausdehnung, die mindestens dem Weg entspricht, den der Sende- und
Empfangskopf 182 bei Bewegung des Substratschlittens 20 zurücklegt,
so dass sich der Spiegel 186 mindestens über die
Länge der
Bahn erstreckt, die der Laserstahl 184 bei Bewegen des
Substratschlittens 20 in der ersten Richtung X durchläuft.
-
Darüber hinaus
ist dem Sende- und Empfangskopf 182 noch ein Interferometer 188 zugeordnet,
mit welchem interferometrisch der Abstand zwischen dem Sende- und
Empfangskopf 182 und dem Spiegel 186 erfassbar
ist.
-
Um
jedoch mit den für
das Quermesssystem 180 erforderlichen Laser 190 nicht
mitbewegen zu müssen,
sind sowohl der Laser 190 als auch ein Detektor 192 stationär angeordnet
und über
Lichtleiter 194 bzw. 196 über die Versorgungskette 120 mit
dem Interferometer 188 und dem Sende- und Empfangskopf 182 verbunden,
wobei die Laserstrahlung polarisationserhaltend über die Lichtleiter 194, 196 übertragen
wird.
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Wie
in 10 dargestellt, umfaßt die Brücke 40 zwei parallele,
jedoch im Abstand voneinander verlaufende Brückenträger 200, 202,
zwischen denen ein Freiraum 204 vorgesehen ist, durch welchen eine
Belichtung des auf dem Substratschlitten 20 oszillierend
bewegten Substratkörpers 26 erfolgen kann.
-
Jeder
der beiden Brückenträger 200, 202 weist,
wie in 11 dargestellt, eine Seitenführungsfläche 206 und
eine Auflagefläche 208 auf,
auf denen Gleitkörper 212 und 214 mittels
eines von diesen erzeugten Luftpolstern gleitend bewegbar sind.
-
Ferner
schließen
die Seitenführungsflächen 206 mit
den Auflageflächen 208 einen
Winkel von mehr als 270° ein,
so dass der Optikschlitten 50 dadurch schwalbenschwanzähnlich an
den beiden Brückenträgern 200, 202 geführt ist
und somit die Gleitkörper 212 nicht
nur zur Seitenführung
beitragen, sondern auch eine Sicherung gegen ein Abheben der Gleitkörper 214 von
den Auflageflächen 208 darstellen.
-
Der
Antrieb des Optikschlittens 50 erfolgt, wie in 10 und 12 dargestellt,
durch beiderseits desselben angeordnete elektrische Linearantriebe 220,
deren Stator 222 auf jeweils einem der Brückenträger 200, 202 angeordnet
ist, während
ein Läufer 224 in
den Stator 222 eingreift und mit dem Optikschlitten 50 jeweils
verbunden ist.
-
Zur
Erfassung der Position des Optikschlittens 50 ist ein Längsmesssystem 230 vorgesehen, welches
einen Sende- und Empfangskopf 232 aufweist, der einen Laserstrahl 234 aussendet,
wobei der Laserstrahl an einem Spiegel 236 des Optikschlittens 50 wieder
zum Sende- und Empfangskopf 232 zurückreflektiert wird.
-
Ferner
ist dem Sende- und Empfangskopf 232 ein Interferometer 238 zugeordnet,
mit welchem der Abstand zwischen dem Sende- und Empfangskopf 232 und
dem Spiegel 236 ermittelbar ist.
-
Der
Laserstrahl 234 für
das Längsmesssystem 230 wird
erzeugt durch einen Laser 240 und das aus dem Interferometer 238 austretende
Licht wird durch einen Detektor 242 detektiert.
-
Somit
besteht für
die Steuerung 60 die Möglichkeit,
während
der Bewegung des Optikschlittens 50 dessen Position in
der zweiten Richtung Y stets exakt zu erfassen.
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In
gleicher Weise wird auch die Abweichung des Optikschlittens 50 quer
zu einer geradlinigen Bewegung in der zweiten Richtung Y, wie in 3 dargestellt,
durch ein Quermesssystem 250 erfaßt, welches einen auf dem Optikschlitten 50 angeordneten Sende-
und Empfangskopf 252 aufweist, der in bekannter Weise einen
Laserstrahl 254 aussendet, welcher durch einen längs der
Bewegungsbahn des Sende- und Empfangskopfs 252 sich erstreckenden Spiegel 256 reflektiert
wird, wobei der Spiegel 256 stationär an dem Brückenträger 202 angeordnet
ist.
-
Auch
dem Sende- und Empfangskopf 252 der Quermesseinrichtung 250 ist
ein Interferometer 258 zugeordnet, welches auf dem Optikschlitten 50 sitzt
und somit mit diesem mitbewegt wird.
-
Allerdings
sind auch im Fall des Optikschlittens 50 der Laser 260 zur
Erzeugung des für
interferometrische Messung erforderlichen Laserstrahls und in gleicher
Weise auch der Detektor 262 stationär am Maschinengestell 12 angeordnet.
-
Mit
der Quermesseinrichtung 250 ist es somit möglich, die
Bewegung des Optikschlittens 50 quer, insbesondere senkrecht
zur zweiten Richtung Y exakt zu erfassen und somit auch Führungsungenauigkeiten
bei der Führung
der Querschlittens 50 an der Brücke 40 zu erkennen
und gegebenenfalls über
die Steuerung 60 – wie
nachfolgend noch im einzelnen beschrieben – zu korrigieren.
-
Wie
außerdem
in 12 dargestellt, ist auch der Lichtquellenschlitten 64 durch
einen Linearantrieb 264 antreibbar, und zwar ungefähr synchron
mit dem Optikschlitten 50, allerdings mit einer weitaus geringeren
Genauigkeit, so dass der Linearantrieb 264 lediglich eine
Grobpositionierung des Lichtquellenschlittens 64 relativ
zum Optikschlitten 50 und synchron zu diesem ermöglicht.
-
Wie
in 14 bis 17 dargestellt,
ist auf dem Optikschlitten 50 eine relativ zum Optikschlitten 50 bewegbare
Optikeinheit 270 angeordnet, welche durch einen Stellantrieb 272 in
einer dritten Richtung Z, die senkrecht zu einer Beschichtungsoberfläche 274 und
somit auch senkrecht zu der Oberseite 28 des Substratkörpers 26 verläuft, bewegbar
ist, um einen Abstand zwischen einer Mikroskopoptik 276 der Abbildungsoptik 52 voreinzustellen.
-
Die
Abbildungsoptik 52 umfaßt ihrerseits ein mit der Mikroskopoptik 276 kombiniertes
Linsensystem, welches in der Lage ist, einzelne Faserendflächen 278 eines
Faserbündels 280 auf
die Substratoberfläche 274 fokussiert
abzubilden.
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Zur
exakten Positionierung der Faserenden 278 des Faserbündels 280 ist
das Faserbündel 280 in
einer als Ganzes mit 282 bezeichneten Positioniereinrichtung
aufgenommen, welche in der Lage ist, das gesamte Faserbündel 280 und
somit auch die Faserenden 278 relativ zu der Abbildungsoptik 52 in Richtung
dreier Achsen, nämlich
einer X0-Achse, Y0-Achse
und einer Z0-Achse zu positionieren.
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Beispielsweise
verläuft
die Z0-Achse parallel zur dritten Richtung
Z und die X0-Achse und die Y0-Achse
verlaufen vorzugsweise parallel zu der ersten Richtung X bzw. der
zweiten Richtung Y.
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Durch
die Positioniereinrichtung 282 besteht somit die Möglichkeit,
die Faserenden 278 des Faserbündels relativ zur Abbildungsoptik 52 in
Richtung der X0-Achse und Y0-Achse
zu verschieben und somit auch von der Abbildungsoptik 52 durch
Fokussierung erzeugte Bildflecken oder Belichtungsflecken 294 der
Faserenden 278 auf der Substratoberfläche 274 in entsprechendem
Umfang in der ersten Richtung X bzw. der zweiten Richtung Y zu verschieben (17).
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Die
Positioniereinrichtung 282 kann daher so eingesetzt werden,
dass mit dieser eine einmalige Einstellung der Position des als
Faserbündel
ausgebildeten Lichtleiterbündels 280 erfolgt.
Es ist aber auch denkbar, mittels der Steuerung 60 die
Position des Faserbündels 280 in
Y0-Richtung noch zu justieren, wenn beispielsweise
mit der Quermesseinrichtung 250 eine Abweichung von einer
geradlinigen Bewegung des Optikschlittens 50 erfaßt wird.
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Eine
Verschiebung der Faserenden 278 des Faserbündels 280 mit
der Positioniereinrichtung 282 in Richtung Z0 ermöglichst
ferner eine Abweichung von einem optimalen Fokus und somit eine
Defokussierung, woraus gegenüber
einer optimalen Fokussierung vergrößerte Belichtungsflecken 294 auf
der Beschichtungsoberfläche 274 resultieren.
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Darüber hinaus
erlaubt die Positioniereinrichtung 282 auch noch eine Drehung
des Faserbündels 280 um
die Z0-Richtung, die X0-Richtung
und die Y0-Richtung als Drehachse, so dass
ein allseitiges Verkippen des Faserbündels 280 mit den
Faserenden 278 ebenfalls noch eine zusätzliche Justier- und Positioniermöglichkeit
eröffnet.
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Der
Abbildungsoptik 52 sind zusätzlich eine Beleuchtungsoptik 284 und
eine Beobachtungsoptik 286 zugeordnet, die alle mit der
Abbildungsoptik 52 derart gekoppelt sind, dass eine Beleuchtung
der Beschichtungsoberfläche 274 und eine
Beobachtung der Beschichtungsoberfläche 274 durch die
Mikroskopoptik 276 hindurch erfolgt und somit die Belichtung
der Beschichtungsoberfläche 274 mit
den Belichtungsflecken 294 über einen Kamerachip 288 der Beobachtungsoptik 286 durch
die Mikroskopoptik 276 hindurch möglich ist.
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Zur
Aufrechterhaltung einer optimalen Fokussierung ist die Mikroskopoptik 276 noch über Stellelemente 290 in
der dritten Richtung Z verstellbar und somit kann die optimale Fokussierung
der Faserenden 278 auf die Belichtungsflecken 294 in
der Beschichtungsoberfläche 274 durch
ein die Stellelemente 290 ansteuerndes Autofokussystem 292 aufrechterhalten
werden.
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Zur
Kühlung
des in dem Bewegungsraum 36 mit dem Optikschlitten 20 bewegbaren
Substratkörpers 26 ist
auf einer dem Substratschlitten 20 gegenüberliegenden
Seite des Substratkörpers 26 ein
Wärmetauscherelement 300 angeordnet,
welches, wie in 18 bis 20 dargestellt,
einen plattenförmigen Wärmetauscherkörper 302 umfaßt, welcher
von Kühlmittelkanälen 304 durchsetzt
ist, die beispielsweise mäanderförmig durch
den Wärmetauscherkörper 302 mäanderförmig, wie
in 20 angedeutet, hindurchverlaufen und von einem
Kühlmedium,
beispielsweise Kühlwasser,
durchströmt
sind.
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Der
Wärmetauscherkörper 302 ist
ferner noch mit parallel zueinander verlaufenden Wärmetauscherrippen 306 versehen,
die sich parallel zur ersten Richtung X und von dem Wärmetauscherkörper 302 weg
in Richtung des Substratschlittens 20 erstrecken, jedoch
nur so weit, dass der auf dem Substratschlitten 20 aufliegende
Substratkörper 26 berührungsfrei
unter den Wärmetauscherrippen 306 hindurch
bewegbar ist. Das heißt,
dass die Wärmetauscherrippen 306 nicht
in den Bewegungsraum 36 des Substratschlittens 20 und
des Substratkörpers 36 eindringen.
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Die
Wärmetauscherrippen 306 definieren
jedoch über
dem Substratschlitten 20 und dem Substratkörper 26 parallel
zur ersten Richtung X verlaufende Strömungskanäle 308, durch welche,
wie in 18 dargestellt, ein Strom 310 eines
gasförmigen Kühlmediums
hindurchtritt, der einerseits über
die Beschichtungsoberfläche 274 hinweg
strömt
und anderseits durch die Strömungskanäle 308 einerseits
in der ersten Richtung X geführt
ist und durch die Strömungskanäle 308 auf
einer über
das Wärmetauscherelement
definierbaren Temperatur gehalten werden kann.
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Damit
hat der Strom 310 von gasförmigem Kühlmedium die Möglichkeit,
auf seinem gesamten Weg über
den Substratkörper 26 Wärme an die
Wärmetauscherrippen 306 und
den Wärmetauscherkörper 302 auf
das Wärmetauscherelement 300 zu übertragen
und somit seine Temperatur ausgehend von Eintrittsbereich 312 der
Strömungskanäle 308 bis
zu einem Austrittsbereich 314 derselben durch Wärmeaustausch
beizubehalten.
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Vorzugsweise
sind dabei an dem Maschinengestell 12 zwei stationäre Wärmetauscherelemente 300 gehalten,
die sich einerseits von einander gegenüberliegenden Enden 320 und 322 des
Fundamentkörpers 14 bis
zur Brücke 40 erstrecken,
mit ihren Eintrittsbereichen 312 im Bereich der Enden 320 und 322 angeordnet
sind und mit ihren Austrittsbereichen 314 der Brücke 40 zugewandt
sind, beispielsweise im wesentlichen an diese anschließen.
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Der
Strom 310 des gasförmigen
Kühlmediums
wird dabei von Zufuhrkanälen 324 und 326 den Eintrittsbereichen 312 der
Wärmetauscherelemente 300 zugeführt.
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Ferner
sind die Zufuhrkanäle 324 und 326 noch
so ausgebildet, dass sie zusätzlich
zu dem Strom 310, der durch die Strömungskanäle 308 hindurchtritt,
einen Strom 330 von gasförmigem Kühlmedium zuführen, der über das
jeweilige Wärmetauscherelement 300 auf
einer den Strömungskanälen 308 gegenüberliegenden
Seite hinwegströmt.
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Die
Ströme 310 und 330 des
gasförmigen Kühlmediums
werden dabei im Bereich der Brücke 40 derart
umgelenkt, dass beispielsweise der Strom 310 durch den
Freiraum 204 zwischen den Brückenträgern 200, 202 hindurchtritt
und der Strom 330 die Brückenträger 200, 202 außen umströmt, so dass
die beiden Ströme 310 und 330 in
einen Optikbewegungsraum 328 eintreten, in diesem zunächst die Optikeinheit 270 umströmen und
kühlen
und dann auch anschließend
die Lichtquelleneinheit 62, die zur stärksten Erwärmung des gasförmigen Kühlmediums führt.
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Das
Kühlmedium
mit den Strömen 310 und 330 wird
dabei im Bereich der Optikeinheit 270 nicht weiter gekühlt, sondern
erwärmt
sich zusehends, insbesondere auch bei Umströmen der Lichtquelleneinheit 62,
und wird durch einen Abfuhrkanal 332 zu einer beispielsweise
in 13 dargestellten Aufbereitungseinrichtung 334 für das gasförmige Kühlmedium
geführt,
die einerseits das gasförmige
Kühlmedium
reinigt und andererseits wiederum auf eine vorbestimmte Temperatur
abkühlt,
mit welcher die Aufbereitungseinrichtung 334 das gasförmige Kühlmedium wieder
in die Zufuhrkanäle 324, 326 einbläst, um dieses
wiederum den Wärmetauscherelementen 300 in der
beschriebenen Art und Weise zuzuführen.
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Wie
in 18 dargestellt, wird die Führung der Ströme, insbesondere
des Stroms 330, noch dadurch verbessert, dass im Bereich
der Wärmetauscherelemente 300 Führungswände 336, 338 vorgesehen,
die insbesondere den Strom 330 des gasförmigen Kühlmediums in Richtung der Brücke 40 führen.
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Ferner
sind auch im Anschluß an
die Brücke Führungswände 342 und 344 vorgesehen,
welche die Ströme 310 und 330 im
Bereich des Optikbewegungsraums 38 um die Optikeinheit 270 herum
und auch um die Lichtquelleneinheit 62 herum und schließlich in
den Abfuhrkanal 332 führen,
so dass auch eine optimale Kühlung
der Optikeinheit 270 und der Lichtquelleneinheit 62 erfolgt.
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Die
Wärmetauscherelemente 300 lassen sich
bei der erfindungsgemäßen Lösung jedoch
nicht nur dazu einsetzen, die Temperatur der Ströme 310 des gasförmigen Kühlmediums
zu stabilisieren, sondern gleichzeitig dazu, noch nicht zu belichtende Substratkörper 26v auf
die vorgegebene Temperatur des gasförmigen Kühlmediums zu bringen, wobei
die Substratkörper 26v vorzugsweise
unmittelbar auf einer den Wärmetauscherrippen 306 gegenüberliegenden
Oberseite 346 der Wärmetauscherelemente 300 auflegbar
sind.
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Somit
besteht die Möglichkeit,
gleichzeitig mit der Belichtung der fotosensitiven Beschichtung 30 des
auf dem Substratschlitten 20 liegenden Substratkörpers 26 ein
weiteres Substrat 26v auf die Oberseite 326 eines
der Wärmetauscherelemente 300 aufzulegen
und gleichzeitig während
der Belichtung der fotosensitiven Beschichtung 30 auf dem Substratkörper 26 auf
die Temperatur des Kühlmediums
in der erfindungsgemäßen Belichtungsanlage zu
bringen.
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Um
einen Substratkörper 26v entweder
auf das Wärmetauscherelement 300 oder
den Substratschlitten 20 aufbringen zu können, ist
ein als Ganzes mit 350 bezeichneter Hubtisch vorgesehen,
welcher seitlich des Substratschlittens 20 am Maschinengestell 20 gehalten
ist und mit seiner Oberseite 352 entweder so einstellbar
ist, dass diese in einer Ebene mit der Oberseite 346 des
Wärmetauscherelements 300 fluchtet
oder so einstellbar ist, dass die Oberseite 352 mit der
Tragfläche 24 des
Substratschlittens 20 fluchtet.
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Ferner
ist zum Verschieben des Substratkörpers 26 oder 26v von
der Oberseite 352 des Hubtisches 350 auf das Wärmetauscherelement 300 oder die
Tragfläche 24 des
Substratschlittens 20, wie in 24 dargestellt,
die jeweiligen Oberseiten des Hubtisches 350 und des Wärmetauscherelements 300 mit Düsen 354 versehen,
welches es erlauben, den Substratkörper 26 auf einem
Gaspolster 356 aufschwimmen zu lassen und damit die Möglichkeit
zu eröffnen,
den Substratkörper
auf dem Gaspolster 356 gleitend zu verschieben. Außerdem sind – wie in 7 dargestellt – auf der
Tragfläche 24 des
Substrattisches 20 Saug-/Blasdüsen 358 vorgesehen,
die einerseits die Erzeugung eines Gaspolsters zum Verschieben des
Substratkörpers 26 ermöglichen
und andererseits ein Ansaugen des Substratkörpers 26 ermöglichen,
um diesen auf dem Substratschlitten 20 zu fixieren.
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Bei
einem zweiten Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Beschichtungsanlage
sind diejenigen Elemente, die mit denen des ersten Ausführungsbeispiels
identisch sind, mit denselben Bezugszeichen versehen, wobei diesbezüglich auch
vollinhaltlich auf das erste Ausführungsbeispiel Bezug genommen
wird.
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Das
zweite Ausführungsbeispiel,
dargestellt in 25, unterscheidet sich insoweit
vom ersten Ausführungsbeispiel
als die Zufuhrkanäle 324', 326' im Bereich
der Brücke 40,
vorzugsweise unterhalb der Brückenträger 200, 202 angeordnet
sind, wobei aus diesen das gasförmige
Kühlmedium
in Form der Ströme 310' und 330' austritt und
in Richtung der Abfuhrkanäle 332' strömt, die
in diesem Fall im Bereich der Enden 320 und 322 des
Fundamentkörpers 14 angeordnet
sind.
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Somit
liegen damit auch die Eintrittsbereiche 312' der Strömungskanäle 308 auf einer der
Brücke 40 und
den Zufuhrkanälen 324', 326' zugewandten Seite, während die
Austrittsbereiche 314' der
Strömungskanäle 308 den
Enden 320, 322 und den Abfuhrkanälen 332' zugeordnet
sind.
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Ausgehend
von den im Bereich der Brücke 40 angeordneten
Zufuhrkanälen 324', 326' tritt das gasförmige Kühlmedium
auch in der beschriebenen Weise in den Optikraum 328 ein
und kühlt
die Optikeinheit 270 und die Lichtquelleneinheit 62 in
dem beschriebenen Umfang, wobei das gasförmige Kühlmedium nach Umströmen der
Lichtquelleneinheit 62 in den weiteren über der Lichtquelleneinheit 62 angeordneten
Abfuhrkanal 332' ebenfalls
eintritt.
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Darüber hinaus
tritt vorzugsweise aus einem der Zufuhrkanäle 324', 326', beispielsweise aus dem Zufuhrkanal 326', noch gasförmiges Kühlmedium
in Form eines Stroms 360 aus, welcher direkt die Abbildungsoptik
im Bereich der Mikroskopoptik 276 anströmt, vorzugsweise die Mikroskopoptik 276 unterströmt, um zwischen
dieser und der zu belichteten Beschichtung 30 hindurchzutreten,
um die Mikroskopoptik 276 auf ihrer der Beschichtung 30 zugewandten
Seite stets frei von Schmutzpartikeln zu halten.
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Dieser
Strom 360 von gasförmigem
Kühlmedium
ist somit nicht primär
zur Kühlung
sondern zur Sauberhaltung der der Beschichtung 30 zugewandten
Mikroskopoptik 276.
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Im übrigen ist
das zweite Ausführungsbeispiel
in gleicher Weise ausgebildet wie das erste Ausführungsbeispiel, so dass vollinhaltlich
auf die Ausführungen
hierzu Bezug genommen wird.
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Bei
einem dritten Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Belichtungsanlage,
dargestellt in 26, ist die Optikeinheit 270 im
Prinzip gleich ausgebildet wie beim ersten Ausführungsbeispiel, allerdings
sind endseitig des Lichtleiterbündels 280 einzelne
Lichtleiter 380 herausgeführt und mit Endbereichen 382 in
einer Aufnahmeeinheit 384 gehalten, und zwar so, dass die
einzelnen Endflächen 386 der
einzelnen Lichtleiter 380 durch die Aufnahmeeinheit 384 definiert
positioniert sind und beispielsweise in einer Reihe 388 liegen,
die sich in einer Richtung 390 erstreckt, welche beim dritten
Ausführungsbeispiel
beispielsweise parallel zur zweiten Richtung Y verläuft.
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Durch
die Abbildungsoptik 52, die gegebenenfalls auch noch den
Endflächen 386 zugeordnete und
auf der Aufnahmeeinheit 384 angeordnete Mikrolinsensysteme 53 umfasst,
wird jede einzelne der Endflächen 386 in
einen Belichtungsflecken 294 auf der fotosensitiven Beschichtung 30 abgebildet,
so dass auf der fotosensitiven Beschichtung 30 ebenfalls
eine der Reihe 388 der Endflächen 386 entsprechende
Reihe von Belichtungsflecken 294 erzeugbar ist.
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Im übrigen ist
das dritte Ausführungsbeispiel der
erfindungsgemäßen Belichtungsanlage
in gleicher Weise ausgebildet wie das erste und das zweite Ausführungsbeispiel,
so dass diesbezüglich
vollinhaltlich auf die Ausführungen
zu diesen Ausführungsbeispielen
Bezug genommen werden kann.
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Bei
einem vierten Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Belichtungsanlage,
dargestellt in den 27 bis 31,
ist ebenfalls der Fundamentkörper 14 vorgesehen,
der seinerseits die fest auf diesem angeordnete Tragfläche 24 trägt, auf
welcher der als Ganzes mit 26 bezeichnete Substratkörper auflegbar
ist.
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Im
Gegensatz zum ersten Ausführungsbeispiel
ist außerdem
die als Ganzes mit 40' bezeichnete
Brücke
relativ zu dem Fundamentkörper 14 mittels zweier
Linearmotoren 412 und 414 parallel zur zweiten
Richtung Y bewegbar, während
der als Ganzes mit 50 bezeichnete Optikschlitten längs der
Brücke 40' parallel zur
ersten Richtung X bewegbar ist und hierzu durch einen Linearmotor 416 antreibbar
ist.
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Bei
dem vierten Ausführungsbeispiel
ist die Lichtquelleneinheit 62' seitlich neben dem Fundamentkörper 414 angeordnet
und sitzt auf einem Lichtquellenschlitten 64', der seinerseits an Schlittenführungen 66' geführt ist,
und längs
dieser bewegbar ist, wobei sich bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel
sich die Schlittenführungen 66' parallel zu
der zweiten Richtung Y erstrecken, allerdings in diesem Fall auf
derselben Standfläche 15 abgestützt ist,
wie die schwingungsdämpfenden
Stützen 16.
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Der
Optikschlitten 64' ist
ferner durch den Linearantrieb 264' in der zweiten Richtung Y bewegbar,
wobei in diesem Fall der Linearantrieb 264' einerseits an dem Fundamentkörper 14 und
andererseits an dem Lichtquellenschlitten 64' angreift.
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Vorzugsweise
ist der Lichtquellenschlitten 64' bei dem vierten Ausführungsbeispiel
derart bewegbar, dass dieser den Bewegungen der Brücke 40' in der zweiten
Richtung Y im wesentlichen folgt, wobei allerdings eine Grobpositionierung
insoweit ausreichend ist, als zwischen der Lichtquelleneinheit 62' und der Optikeinheit 270 die
Strahlung durch das flexible Faserbündel 280 übertragen
wird, das bei dem vierten Ausführungsbeispiel
auf einer Oberseite der Brücke 40' aufliegt und über eine
flexible Schleppkette 420, die bogenförmig, zu dem Optikschlitten 50 verläuft, geführt ist.
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Dabei
erstreckt sich die Schleppkette 420 ausgehend von einem
am Optikschlitten 50 vorgesehenen Halter 422 in
einem Bogen 424 zu einer an der Brücke 40 vorgesehenen
Aufnahme 426, in welche je nach Stellung des Optikschlittens 50 ein
mehr oder weniger größerer Abschnitt
der Schleppkette 420 einlegbar ist.
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Wie
in 28 dargestellt, ist die Optikeinheit 270 im
Prinzip in gleicher Weise aufgebaut wie beim ersten und dritten
Ausführungsbeispiel,
so dass für dieselben
Elemente dieselben Bezugszeichen verwendet sind und somit auch vollinhaltlich
auf die Ausführungen
zum ersten, zweiten und dritten Ausführungsbeispiel Bezug genommen
wird.
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Dabei
sind in gleicher Weise wie beim dritten Ausführungsbeispiel die einzelnen
aus dem Faserbündel 280 herausgeführten Lichtleiter 380 mit
ihren Endbereichen 382 in der Aufnahmeeinheit 384 gehalten,
so dass die Endflächen 386 der
einzelnen Lichtleiter 380 ebenfalls in der Reihe 388 liegen,
die sich in der Richtung 390 erstreckt, wobei die Richtung 390 vorzugsweise
parallel zur zweiten Richtung Y verläuft (29 bis 31).
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Vorzugsweise
umfasst die Aufnahmeeinheit 384 eine Basis 392,
auf welcher eine Aufnahmeplatte 394 angeordnet ist, welche
eine Vielzahl von Vertiefungen, beispielsweise Rillen, 396 aufweist,
in welchen die Endbereiche 382 der einzelnen Lichtleiter 380 einlegbar
und somit in die Aufnahmeplatte 394 fixierbar sind.
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Aus
den einzelnen Endflächen 386 tritt
ein divergentes Strahlungsfeld aus, welches vorzugsweise jeweils
durch eine Kollimationslinse 398 zu einem kollimierten
Strahlungsfeld umgeformt wird, wobei jeder einzelnen Endfläche 386 eine
Kollimationslinse 398 zugeordnet ist und die Gesamtheit
der Kollimationslinsen 398 in einem Kollimationslinsenarray 400 sitzt.
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Jedes
von einer Kollimationslinse 398 kollimierte Strahlungsfeld
erfährt
nachfolgend durch eine Zylinderoptik 452 eine Einkopplung
in einen Wellenleiter 454, der beispielsweise als Schichtwellenleiter ausgebildet
ist, und tritt aus diesem wieder aus, wobei eine weitere Zylinderoptik 456 vorgesehen
ist, welche wieder ein kollimiertes Strahlungsfeld bildet, das dann
durch eine Teleskopoptik 458, umfassend die optischen Elemente 460 und 462 zu
einem austretenden kollimierten Strahlungsfeld 464 geformt wird,
welches dann in ein Tubussystem 466, dargestellt in 28, eintritt.
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Die
einzelnen Zylinderoptiken 452 und 456 sind ebenfalls
zu Zylinderoptikarrays 467 und 468 zusammengefasst
und in gleicher Weise sind die optischen Elemente 460 und 462 der
Teleskopoptik 458 zu Arrays 470 und 472 zusammengefasst.
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Der
Wellenleiter 454 ist insbesondere noch als elektrooptische
Ablenkeinheit ausgebildet, durch welche eine Ablenkung der aus jeder
der Endflächen 386 austretenden
Strahlung in einer Richtung 474 erfolgen kann, welche vorzugsweise
parallel zur Richtung 390 und insbesondere ebenfalls parallel
zur zweiten Richtung Y verläuft.
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Eine
Ablenkung der aus jeder der einzelnen Endflächen 386 austretenden
Strahlung ermöglicht es
somit auch die Belichtungsflecken 294 in der Richtung 474 zu
verschieben und ausgehend von einer Reihe von Belichtungsflecken 294 bei
nicht aktiver Ablenkeinheit in den zwischen diesen Belichtungsflecken
vorliegenden Zwischenräumen
ebenfalls die fotosensitive Beschichtung 30 durch Ablenken
einzelner Belichtungsflecken 294 zu belichten.
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Bei
einer vereinfachten Ausführung
des vierten Ausführungsbeispiels
wird auf die Ablenkbarkeit der aus den Endflächen 386 austretenden
Strahlung verzichtet, so dass die Zylinderoptiken 452 und 456 sowie
der Wellenleiter 454 entfallen können.