KR101689802B1 - 겐트리 장치 - Google Patents

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    • F16H—GEARING
    • F16H21/00—Gearings comprising primarily only links or levers, with or without slides
    • F16H21/10—Gearings comprising primarily only links or levers, with or without slides all movement being in, or parallel to, a single plane
    • F16H21/44—Gearings comprising primarily only links or levers, with or without slides all movement being in, or parallel to, a single plane for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
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    • Y10T74/18—Mechanical movements
    • Y10T74/18888—Reciprocating to or from oscillating

Abstract

광학계를 결합, 지지하는 구조물의 강성이 보강되므로 다수의 광학계가 결합되더라도 구조물의 변형이 최소화되는 겐트리(gantry) 장치를 개시한다.
겐트리(gantry) 장치는 광학계;와, 상기 광학계를 구동하기 위한 구동장치;와,상기 구동장치를 결합, 지지하기 위한 구조물;을 포함하고, 상기 구조물은, 서로 나란히 배치되는 복수의 제1플레이트;와, 상기 복수의 제1플레이트와 교차하여 상기 구동장치를 수용하는 수용부를 형성하는 복수의 제2플레이트;를 포함한다.

Description

겐트리 장치{GANTRY APPARATUS}
PDP(Plasma Display Panel), LCD(Liquid Crystal Display) 등과 같은 디스플레이의 표면에 패턴을 형성하는 노광장치 또는 디스플레이의 표면에 형성된 패턴의 결함을 검사하는 검사장치 등에 사용되는 겐트리(GANTRY) 장치를 개시한다.
일반적으로 LCD, PDP 등과 같은 디스플레이는 유리 표면상에 패턴을 형성하고 화소를 구성하여 영상을 표시하는 장치이다.
LCD, PDP 등의 디스플레이에 사용되는 기판은 초기에 소형 정보 단말기 등에서 소형 표시장치로 활용되던 것이 최근에는 TV, MONITOR등으로 활용되기 시작하면서 대형화, 고정밀화가 요구되고 있다.
디스플레이 기판의 표면에 패턴을 형성하는 노광장치 또는 디스플레이 기판의 표면에 형성된 패턴을 검사하기 위한 검사장치에 사용되는 광학계는 광학계를 구동하기 위한 구동장치를 포함하는 구조물에 결합되어 기판을 노광하거나 검사하게 되며, 기판이 대형화 될수록 더 많은 수의 광학계가 구조물에 결합되어야 한다.
구조물에 결합되는 광학계의 수가 증가할수록 광학계의 무게 및 구조물 자체의 무게에 의해 구조물의 처짐이 발생할 수 있다. 이는 고도의 정밀성이 요구되는 기판의 노광 및 검사에 있어서 치명적이며, 생산되는 디스플레이 기판의 불량으로 이어질 수 있다.
본 발명의 일 측면은 기계적 강성이 보강된 구조를 가진 겐트리(GANTRY) 장치를 제공한다.
또한, 다수의 광학계를 효과적으로 배치할 수 있는 구조를 가진 겐트리(GANTRY) 장치를 제공한다.
또한, 광학계의 정밀한 미세조정이 가능한 구조를 가진 겐트리(GANTRY) 장치를 제공한다.
본 발명의 사상에 따른 겐트리(GANTRY) 장치는 광학계;와, 상기 광학계를 구동하기 위한 구동장치;와, 상기 구동장치를 결합, 지지하기 위한 구조물;을 포함하고, 상기 구조물은, 서로 나란하게 배치되는 복수의 제1플레이트;와, 상기 복수의 제1플레이트와 교차하여 상기 구동장치를 수용하는 수용부를 형성하는 복수의 제2플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구동장치는, 상기 광학계와 결합하는 가동부와, 상기 가동부를 구동하는 구동부를 포함하고, 상기 구동부는, 상기 수용부와 결합하는 패널을 포함한다.
상기 수용부는, 그 내측으로 상기 광학계가 배치되는 제1수용부와, 상기 패널이 삽입되는 제2수용부를 포함한다.
상기 패널은, 상기 제2수용부에 삽입되어 상기 구조물의 강성을 보강하는 하부패널과, 상기 하부패널의 양측으로부터 연장 형성되는 상부패널을 포함한다.
상기 상부패널에는 레버가 회동 가능하게 결합되고, 상기 레버는 상기 상부패널의 일측을 가압하는 가압부를 포함한다.
상기 하부패널에는 구동모터가 결합되고, 상기 구동모터는 상기 레버의 일측과 연결되어 상기 레버에 구동력을 제공한다.
상기 상부패널의 내부에는 상기 가동부 및 상기 광학계를 지지하기 위한 스트럿(Strut)이 결합된다.
상기 가동부는, 그 내주면으로 상기 광학계를 수용하여 결합하는 결합링과, 상기 결합링과 결합되며, 상기 광학계를 둘러싸도록 배치되는 적어도 둘 이상의 가동패널을 포함한다.
상기 적어도 둘 이상의 가동패널은 서로 연결되며, 상기 상부패널과 결합하여 상기 상부패널이 상기 레버에 의해 가압될 때 상기 상부패널과 연동하여 움직일 수 있다.
상기 구조물의 외측으로 상기 구조물의 강성을 보완하기 위한 강성보강부재가 결합되고, 상기 복수의 제1플레이트 또는 상기 복수의 제2플레이트는 상기 강성보강부재의 내측으로 연장될 수 있다.
상기 제2플레이트는 상기 제1플레이트에 비해 상대적으로 짧게 형성되며, 상기 복수의 제1플레이트 사이에 배치되어 그 양단이 각각 상기 복수의 제1플레이트와 결합된다.
상기 복수의 제1플레이트와 상기 복수의 제2플레이트는 볼트로 결합되고,
상기 제2수용부에는 상기 복수의 제1플레이트와 상기 복수의 제2플레이트 간의 결합력을 향상시키기 위한 체결블록이 삽입될 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따른 겐트리(GANTRY) 장치는 기판의 검사 또는 기판의 노광을 위한 광학계와, 상기 광학계를 구동하기 위한 구동장치와, 상기 구동장치를 결합시키기 위한 구조물을 포함하는 겐트리(gantry) 장치에 있어서, 상기 구조물은, 복수의 제1플레이트;와, 상기 복수의 제1플레이트 사이에 배치되는 복수의 제2플레이트;를 포함하고, 상기 복수의 제1플레이트와 상기 복수의 제2플레이트는 상기 광학계가 배치되는 제1수용부와, 상기 구동장치가 배치되는 제2수용부를 형성하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1수용부의 면적은 상기 제2수용부의 면적에 비해 상대적으로 크게 형성될 수 있다.
상기 제2플레이트는 상기 제1플레이트에 비해 상대적으로 짧은 길이를 가지며, 상기 복수의 제1플레이트 사이에 결합된다.
상기 복수의 제1플레이트와 상기 복수의 제2플레이트는 볼트로 결합되고,
상기 제2수용부에는 상기 복수의 제1플레이트와 상기 복수의 제2플레이트 간의 결합력을 향상시키기 위한 체결블록이 삽입될 수 있다.
상기 구조물의 외측으로 상기 구조물의 강성을 보완하기 위한 강성보강부재가 결합되고, 상기 복수의 제1플레이트 또는 상기 복수의 제2플레이트는 상기 강성보강부재의 내측으로 연장될 수 있다.
상기 구동장치는, 상기 제2수용부에 삽입되는 복수의 패널과, 상기 복수의 패널의 상부에 결합되는 가동부를 포함하고, 상기 가동부는, 그 내주면으로 상기 광학계를 수용하여 결합하는 결합링과, 상기 결합링과 결합되며, 상기 광학계를 둘러싸도록 배치되는 적어도 둘 이상의 가동패널을 포함한다.
상기 패널은, 상기 제2수용부에 삽입되어 상기 구조물의 강성을 보강하는 하부패널과, 상기 가동패널과 결합되는 상부패널을 포함한다.
상기 상부패널은 상기 하부패널의 양측으로부터 연장되어 상기 하부패널과 함께 단차부를 형성하고, 상기 단차부에는 상기 상부패널에 회동 가능하게 결합되는 레버가 배치될 수 있다.
상기 하부패널에는 상기 레버의 일측과 연결되어 상기 레버에 구동력을 제공하는 구동모터가 결합될 수 있다.
상기 레버는 상기 상부패널의 일측을 가압하는 가압부를 포함할 수 있다.
상기 적어도 둘 이상의 가동패널은 서로 연결되며, 상기 상부패널이 상기 레버에 의해 가압될 때 상기 상부패널과 연동하여 움직일 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 광학계를 결합, 지지하는 구조물의 강성이 보강되므로, 다수의 광학계가 결합되더라도 구조물의 변형이 최소화된다.
또한, 다수의 광학계를 구조물에 효과적으로 배치할 수 있으므로, 대형 기판의 노광 또는 검사에 유리하며, 구조물이 장착되는 노광장치 또는 검사장치의 크기를 줄일 수 있다.
또한, 광학계의 미세조정이 용이하므로, 노광품질이 향상되고, 정밀한 검사를 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 겐트리(GANTRY) 장치를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에서 구조물을 분리하여 도시한 사시도.
도 3은 도 2의 일부를 확대하여 도시한 것으로 구조물을 형성하는 제1플레이트와 제2플레이트 간의 결합관계를 도시한 사시도.
도 4는 제1플레이트와 제2플레이트 간의 결합관계를 도시한 정면도.
도 5는 제1플레이트와 제2플레이트 간의 결합관계를 도시한 평면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 겐트리(GANTRY) 장치를 구성하는 구조물의 일부와 구동장치와 광학계의 분리하여 도시한 사시도.
도 7은 도 6의 평면도.
도 8은 도 7의 일부를 발췌한 것으로 구조물과 구동장치의 결합관계를 도시한 도면.
도 9는 도 6에서 구동장치를 분리하여 도시한 사시도.
도 10a 및 도 10b는 구동장치의 작동원리를 도시한 도면.
도 11a 내지 도 11d는 구동장치가 5자유도 구현하는 원리를 도시한 도면.
이하에서는 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 겐트리(GANTRY) 장치를 나타낸 사시도이고,도 2는 도 1에서 구조물을 분리하여 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2의 일부를 확대하여 도시한 것으로 구조물을 형성하는 제1플레이트와 제2플레이트 간의 결합관계를 도시한 사시도이고, 도 4는 제1플레이트와 제2플레이트 간의 결합관계를 도시한 정면도이며, 도 5는 제1플레이트와 제2플레이트 간의 결합관계를 도시한 평면도이다. 도 2에서는 구조물의 외측에 결합되는 강성보강부재의 커버를 생략하였다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 겐트리(GANTRY) 장치(10)는 기판(P)의 표면을 노광하거나 검사하는데 사용되는 광학계(300)와, 광학계(300)를 구동하기 위한 구동장치(200)와, 구동장치(200)를 지지하기 위한 구조물(100)을 포함한다.
구조물(100)은 제1플레이트(110)와, 제1플레이트(110)와 교차하도록 배치되는 제2플레이트(120)를 포함한다.
제1플레이트(110)는 구조물(100)의 일 방향으로 서로 나란하게 배치되며, 제2플레이트(120)는 제1플레이트(110)와 교차할 수 있도록 제1플레이트(110)와 소정 각도를 이루어 배치된다.
제2플레이트(120)의 길이는 제1플레이트(110)의 길이에 비해 상대적으로 짧게 형성되며, 서로 나란하게 배치된 제1플레이트(110)와 제1플레이트(110) 사이에 결합될 수 있다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 제2플레이트(120)는 양단의 길이가 서로 다른 사다리꼴 형상으로 마련되며, 제1플레이트(110)와 결합할 수 있도록 양단에는 각각 외측으로 절곡된 절곡부(122)가 마련된다. 절곡부(122)에는 볼트 등을 이용하여 제2플레이트(120)를 제1플레이트(110)에 결합시키기 위한 관통홀(124)이 마련된다.
제2플레이트(120)의 양단의 길이를 서로 다르게 형성하는 이유는, 제2플레이트(120)가 제1플레이트(110)와 제1플레이트(110) 사이에 결합될 때, 가공 공차에 의해 발생하는 응력을 해제하기 위함이다.
일반적으로 제2플레이트(120)를 가공하는 과정에서 발생하는 가공오차에 의해 제2플레이트(120)의 길이는 제1플레이트(110)와 제1플레이트(110) 사이의 간격(L)과 완전히 동일하게 가공되기 어려우므로, 제2플레이트(120)의 양단의 길이를 서로 동일하게 하여 제1플레이트(110)에 결합시키게 되면, 제2플레이트(120)는 압축응력(제2플레이트(120)의 길이가 더 길 경우) 또는 인장응력(제2플레이트(120)의 길이가 더 짧을 경우)을 받게 된다. 상기와 같이 제2플레이트(120)의 양단의 길이를 다르게 하여 양단과 제1플레이트(110)의 접촉 면적을 각각 서로 다르게 하면, 제2플레이트(120)에 가해지는 내부응력(압축응력 또는 인장응력)을 완화시킬 수 있게 된다.
제2수용부(140)에는 제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)의 결합력을 보강하기 위한 체결블록(150)이 삽입된다.
제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)는 서로 교차하도록 배치되어 제1수용부(130)와 제2수용부(140)를 형성한다.
제1수용부(130)는 제2수용부(140)에 비해 상대적으로 넓게 형성되며, 제1수용부(130)에는 그 내측으로 광학계(300)가 배치되고, 제2수용부(140)에는 구동장치(200)를 구성하는 패널(210)이 삽입, 결합된다.
제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)는 두께 5mm 이하여 얇은 박판으로 만들어지므로 볼트 등을 이용하여 제2플레이트(120)를 제1플레이트(110)에 결합시킬 경우, 볼트가 삽입되는 깊이가 얕아 충분한 결합력을 제공할 수 없다. 체결블록(150)은 볼트가 결합되는 위치에 배치되어 볼트가 깊게 삽입될 수 있도록 함으로써 제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)가 견고하게 결합될 수 있는 체결력을 제공하게 된다.
제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)는 서로 교차하도록 배치되어 웹(Web) 형상의 구조물(100)을 형성한다.
광학계(300) 및 구동장치(200)를 결합시켜 지지하는 구조물(100)은 광학계(300) 및 구동장치(200)의 무게와 구조물(100) 자체의 무게에 의한 영향에 둔감하도록 설계되어야 한다.
상기와 같이 광학계(300) 및 구동장치(200)의 무게와 구조물(100) 자체의 무게는 구조물(100)의 수직 방향 처짐을 발생시키게 되는데, 수직 방향의 처짐을 최소화하기 위한 충분한 강성을 확보하기 위해서 가장 중요한 요소는 구조물(100)의 높이(H)이다.
구조물(100)의 처짐은 보(Beam)의 처짐과 유사하게 생각할 수 있으며, 보(Beam)의 경우 단면 2차 모멘트가 클수록 보(Beam)의 처짐량이 작아진다. 단면 2차 모멘트는 단면의 높이가 커질수록 가장 효율적으로 증가(단면 높이의 3승에 비례함.)하므로, 구조물(100)의 넓이를 크게하는 것에 비해 구조물(100)의 높이(H)를 크게 할 수록 구조물(100)의 수직 방향의 강성이 효율적으로 증가하게 된다.
웹(Web) 형상의 구조물(100)은 구조물(100)의 높이(H) 방향(지면에서 수직 방향)으로 제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)를 배치(즉, 제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)를 수직 방향으로 세워서 배치)하여 형성되는 구조로, 구조물(100)의 수평 방향의 면적 대비 수직 방향의 면적 비율을 크게 함으로써, 구조물(100) 자체의 무게를 가볍게 하여 구조물(100) 자체의 무게에 따른 영향을 최소화하는 동시에 구조물(100)에 결합되는 광학계(300) 및 구동장치(200)의 무게에 따른 영향을 줄일 수 있는 구조이다.
또한, 두께 5mm 이하여 얇은 박판으로 만들어지는 제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)를 구조물(100)의 높이(H) 방향으로 배치함으로써 구조물(100)의 수평방향의 공간활용을 극대화할 수 있으므로, 다수의 광학계(300)를 조밀하게 배치할 수 있게 된다.
구조물(100)의 외측으로는 구조물(100)의 수평방향 강성을 보강하기 위한 강성보강부재(170)가 더 결합될 수 있다.
강성보강부재(170)는 대략 'ㄱ' 형상으로 형성되어 구조물(100)의 두 측면에 결합되며, 제1플레이트(110) 및 제2플레이트(120)는 강성보강부재(170)의 내측으로 연장되어 결합된다.
상기와 같이 구조물(100)을 웹(Web) 형상으로 제작함으로써 수직 방향으로 작용하는 힘에 대한 강성은 충분히 확보할 수 있으나, 수평 방향으로 작용하는 힘에 대한 강성은 충분히 확보되지 않을 수 있다.
광학계(300) 및 구동장치(200)를 결합시켜 지지하는 구조물(100)은 스테이지 장치(미도시) 등에 결합되어 기판(P) 위를 수직 또는 수평 방향으로 이동하게 되는데, 구조물(100)이 수평방향으로 이동하는 과정에서 가속 또는 감속 등에 의해 수평 방향의 힘이 작용할 수 있다.
강성보강부재(170)가 구조물(100)의 외측에 결합되고, 제1플레이트(110) 및 제2플레이트(120)가 강성보강부재(170)의 내측으로 연장되어 결합됨으로써 구조물(100)의 수평방향 강성을 보강하게 된다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 겐트리(GANTRY) 장치를 구성하는 구조물의 일부와 구동장치와 광학계의 분리하여 도시한 사시도이고, 도 7은 도 6의 평면도이며, 도 8은 도 7의 일부를 발췌한 것으로 구조물과 구동장치의 결합관계를 도시한 도면이고, 도 9는 도 6에서 구동장치를 분리하여 도시한 사시도이다.
도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 구동장치(200)는 광학계(300)와 결합하는 가동부(210)와, 가동부(210)를 구동하는 구동부(220)를 포함한다.
구동부(220)는 하부패널(222)과, 하부패널(222)의 상부에 형성되는 상부패널(224)과, 상부패널(224)을 가압하는 레버(226)를 포함한다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 하부패널(222)은 제2수용부(140)에 삽입, 결합되어 구조물(100)의 강성을 보강한다.
하부패널(222)에는 제2수용부(140)에 삽입된 하부패널(222)을 제1플레이트(110) 또는 제2플레이트(120)와 서로 고정시키기 위한 관통홀(236)과 나사홀(238)이 마련되는데, 관통홀(236)은 조립도구 등을 이용하여 나사를 조이거나 풀 때 조립도구와 하부패널(222) 간의 간섭방지를 위해 마련되는 구성이며, 나사홀(238)에는 나사가 조여질 수 있도록 나사산(미도시)이 마련된다.
하부패널(222)에는 후술할 레버(226)를 구동시키기 위한 구동모터(230)가 장착된다. 하부패널(222)의 서로 인접한 양 측면에는 구동모터(230)를 장착하기 위한 장착부(232)가 마련되며, 구동모터(230)는 장착부(232)의 일면에 결합, 고정되어 레버(226)를 구동하게 된다.
상부패널(224)은 장착부(232)가 형성되지 않은 하부패널(222)의 서로 인접한 양 측면으로부터 연장 형성된다.
상부패널(224)은 하부패널(222)과 함께 단차부(234)를 형성하며, 단차부(234, 도 10 참조)에는 레버(226)가 각각 배치된다.
레버(226)는 힌지부(240)를 통해 상부패널(224)에 회동이 가능하게 결합되며, 상부패널(224)를 가압하는 가압부(246, 도 10 참조)를 포함한다. 가압부(246)는 레버(226)가 회동할 때 상부패널(224)의 일측을 가압하게 된다.
레버(226)의 일측에는 구동모터(230)가 샤프트(231)를 통해 연결되어 레버(226)가 힌지부(240)를 중심으로 회동할 수 있도록 구동력을 제공하게 된다.
상부패널(224)의 내부에는 스트럿(Strut)(260, 도 10 참조)이 배치되어 광학계(300)의 무게 및 가동부(210)의 무게를 지지하게 된다. 스트럿(Strut)(260)은 광학계(300)의 무게 및 가동부(210)의 무게를 지지할 수 있도록 직경 3mm 이상의 철 재질의 와이어(Wire)로 형성된다.
이러한 하부패널(222)과 상부패널(224)는 일체로 형성되어 하나의 패널(270, 도 11a 내지 도 11d 참조)을 구성하게 된다.
상부패널(224)의 상부에는 가동부(210)가 결합된다.
가동부(210)는 가동패널(212)과 가동패널(212)의 하부에 결합되는 결합링(214)을 포함한다.
결합링(214)은 그 내주면으로 광학계(300)를 수용하여 결합시키는 구성으로, 광학계(300)의 외형에 대응되는 형상으로 마련된다.
가동패널(212)은 결합링(214)에 결합된 광학계(300)를 둘러싸도록 배치되는데, 본 발명의 일 실시예에 따른 겐트리(GANTRY) 장치(10)에 장착되는 구동장치(200)에서는 세 개의 가동패널(212)이 각각 그 양단에서 서로 결합하여 삼각형 형상을 형성하여 그 내부에 광학계(300)가 배치될 수 있도록 한다.
이하에서는 구동장치(200)가 광학계(300)의 미세조정을 하기 위해 작동하는 원리에 대해 설명한다.
도 10a 및 도 10b는 구동장치의 작동원리를 도시한 도면이고, 도 11a 내지 도 11d는 구동장치가 5자유도 구현하는 원리를 도시한 도면이다.
도 10a 및 도 10b에 도시된 바와 같이, 하부패널(222)에 장착된 구동모터(230)가 작동되면 구동모터(230)와 연결된 샤프트(231)가 회전하게 된다. 샤프트(231)에는 볼너트(237)가 연결되어 샤프트(231)의 회전운동이 볼너트(237)를 통해 직선운동으로 변환되고, 볼너트(237)와 연결된 레버(226)는 하부패널(222)에서 멀어지는 방향으로 힌지부(240)를 중심으로 미세하게 회동하게 된다.
레버(226)가 회동하면 레버(226)에 마련된 가압부(246)가 상부패널(224)의 일측을 가압하게 되고, 가압된 상부패널(224)은 레버(226)의 회동 방향으로 미세하게 움직이게 된다.
상부패널(224)의 상부에 결합되는 가동패널(212)은 상부패널(224)과 연동하여 움직이게 되고, 가동패널(212)에 결합된 광학계(300)의 미세조정이 이루어지게 된다.
하부패널(222) 및 상부패널(224)에는 두 개의 구동모터(230) 및 레버(226)가 각각 마련되어 서로 수직한 두 방향(2 자유도)으로 광학계(300)의 미세조정이 가능하도록 한다.
도 11a 내지 도 11d에 도시된 바와 같이, 세 개의 패널(270)을 세 개의 가동패널(212)과 조합하여 광학계(300)를 5 자유도로 구동할 수 있는 구동장치(200)를 구성할 수 있다. 편의상 지면과 수직한 방향을 Z축방향 이라고 하고, Z축방향과 수직을 이루는 방향을 X축방향이라고 하며, Z축방향 및 X축방향과 모두 수직을 이루는 방향을 Y축방향이라고 한다.
도 11a에서와 같이 서로 마주보는 두 개의 패널(270)의 레버(226)를 X축방향 방향으로 구동시켜 광학계(300)를 X축방향으로 직선 이송시킬 수 있으며, 도 11b에서와 같이 세 개의 패널(270)의 레버(226)를 시계방향 또는 반시계방향으로 구동시켜 광학계(300)를 Z축방향을 중심으로 회전 이송시킬 수 있다.
또한, 도 11c에서와 같이 세 개의 패널(270)의 레버(226)를 모두 Z축방향으로 구동시켜 광학계(300)를 Z축방향으로 직선 이송시킬 수 있으며, 도 11d에서와 같이 세 개의 패널(270)의 레버(226)를 모두 같은 방향(Z축방향)으로 구동시키되 하나의 패널(270)의 레버(226)를 다른 두 개의 패널(270)과 반대의 방향으로 구동시켜 광학계(300)를 X축방향 또는 Y축방향을 중심으로 회전 이송시킬 수 있다.
10 : 겐트리(GANTRY) 장치
100 : 구조물 110 : 제1플레이트
120 : 제2플레이트 130 : 제1수용부
140 : 제2수용부 150 : 체결블록
170 : 강성보강부재 200 : 구동장치
210 : 가동부 212 : 가동패널
214 : 결합링 220 : 구동부
222 : 하부패널 224 : 상부패널
226 : 레버 230 : 구동모터
240 : 힌지부 260 : 스트럿(Strut)
270 : 패널 300 : 광학계

Claims (23)

  1. 광학계;
    상기 광학계를 구동하기 위한 구동장치;와,
    상기 구동장치를 결합, 지지하기 위한 구조물;을 포함하고,
    상기 구조물은,
    서로 나란하게 배치되는 복수의 제1플레이트;와,
    상기 복수의 제1플레이트와 교차하여 상기 구동장치를 수용하는 수용부를 형성하는 복수의 제2플레이트;를 포함하고,
    상기 구동장치는, 상기 광학계와 결합하는 가동부와, 상기 가동부를 구동하는 구동부를 포함하고,
    상기 구동부는, 상기 수용부와 결합하는 패널을 포함하고,
    상기 수용부는, 그 내측으로 상기 광학계가 배치되는 제1수용부와, 상기 패널이 삽입되는 제2수용부를 포함하고,
    상기 패널은, 상기 제2수용부에 삽입되어 상기 구조물의 강성을 보강하는 하부패널과, 상기 하부패널의 양측으로부터 연장 형성되는 상부패널을 포함하고,
    상기 상부패널에는 레버가 회동 가능하게 결합되고,
    상기 레버는 상기 상부패널의 일측을 가압하는 가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 겐트리(gantry) 장치.
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  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 가동부는,
    그 내주면으로 상기 광학계를 수용하여 결합하는 결합링과,
    상기 결합링과 결합되며, 상기 광학계를 둘러싸도록 배치되는 적어도 둘 이상의 가동패널을 포함하는 것을 특징으로 하는 겐트리 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 적어도 둘 이상의 가동패널은 서로 연결되며, 상기 상부패널과 결합하여 상기 상부패널이 상기 레버에 의해 가압될 때 상기 상부패널과 연동하여 움직이는 것을 특징으로 하는 겐트리 장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 구조물의 외측으로 상기 구조물의 강성을 보완하기 위한 강성보강부재가 결합되고,
    상기 복수의 제1플레이트 또는 상기 복수의 제2플레이트는 상기 강성보강부재의 내측으로 연장되는 것을 특징으로 하는 겐트리 장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 기판의 검사 또는 기판의 노광을 위한 광학계와, 상기 광학계를 구동하기 위한 구동장치와, 상기 구동장치를 결합시키기 위한 구조물을 포함하는 겐트리 장치에 있어서,
    상기 구조물은,
    복수의 제1플레이트;와,
    상기 복수의 제1플레이트 사이에 배치되는 복수의 제2플레이트;를 포함하고,
    상기 복수의 제1플레이트와 상기 복수의 제2플레이트는 상기 광학계가 배치되는 제1수용부와, 상기 구동장치가 배치되는 제2수용부를 형성하고,
    상기 구동장치는,
    상기 제2수용부에 삽입되는 복수의 패널과,
    상기 복수의 패널의 상부에 결합되는 가동부를 포함하고,
    상기 가동부는,
    그 내주면으로 상기 광학계를 수용하여 결합하는 결합링과,
    상기 결합링과 결합되며, 상기 광학계를 둘러싸도록 배치되는 적어도 둘 이상의 가동패널을 포함하는 것을 특징으로 하는 겐트리 장치.
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