DE102005053096A1

DE102005053096A1 - Verfahren zur Kalibration eines kalorimetrischen Durchflussmessgerätes und entsprechende Vorrichtung

Info

Publication number: DE102005053096A1
Application number: DE102005053096A
Authority: DE
Inventors: Thomas Härle; Dirk Dr. Boguhn
Original assignee: Endress and Hauser Wetzer GmbH and Co KG
Current assignee: Endress and Hauser Wetzer GmbH and Co KG
Priority date: 2005-11-04
Filing date: 2005-11-04
Publication date: 2007-05-10
Anticipated expiration: 2025-11-05
Also published as: DE102005053096B4

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Kalibration eines kalorimetrischen Durchflussmessgerätes, welches zumindest einen Temperatursensor (1) und mindestens ein Heizelement (2) aufweist, wobei das Durchflussmessgerät mit mindestens einem Wärmewiderstandselement (3), welches einen einstellbaren thermischen Widerstandswert aufweist, in thermischen Kontakt gebracht wird, wobei von dem Heizelement (2) eine wählbare Wärmemenge erzeugt wird und wobei von dem Temperatursensor (1) eine Temperatur gemessen wird. Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf eine entsprechende Kalibrations-Vorrichtung.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Kalibration eines kalorimetrischen Durchflussmessgerätes, welches zumindest einen Temperatursensor und mindestens ein Heizelement aufweist. Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf eine entsprechende Vorrichtung zur Kalibration eines kalorimetrischen Durchflussmessgerätes, welches mindestens einen Temperatursensor und mindestens ein Heizelement aufweist. Bei dem Durchflussmessgerät handelt es sich um ein kalorimetrisches oder thermisches Strömungsgeschwindigkeits- bzw. Durchfluss- bzw. Massedurchflussmessgeräts zur Bestimmung und/oder Überwachung der Strömungsgeschwindigkeit und damit des Durchflusses bzw. des Massedurchflusses eines Mediums, welches ein Messrohr bzw. eine Rohrleitung durchströmt. Bei dem Messmedium handelt es sich insbesondere um ein fließfähiges Medium, insbesondere um ein flüssiges, ein dampfförmiges oder ein gasförmiges Medium.

Das kalorimetrische Durchflussmessverfahren nutzt aus, dass sich der thermische Übergangswiderstand zwischen einem Körper und einem strömenden Medium mit der Strömungsgeschwindigkeit ändert. Für die entsprechende Messung werden meist Widerstandsheizungen verwendet und deren Temperaturänderung relativ zur Mediumstemperatur wird gemessen. Dabei ist ein mögliches Verfahren, die notwendige Heizleistung als Messwert zu erfassen und so nachzuregeln, dass sich stets eine feste Temperaturdifferenz zwischen Heizungs- und Mediumstemperatur einstellt. Für die Messung der beiden Temperaturen sind üblicherweise zwei Temperatursensor vorgesehen. Einer der beiden Temperatursensoren ist ein sog. passiver Temperatursensor, welcher die aktuelle Temperatur des Messmediums erfasst. Der zweite, aktive Temperatursensor wird über die Heizeinheit beheizt. Bei dem Temperatursensor selbst handelt es sich beispielsweise um ein Widerstandselement, z.B. um einen RTD (Resistance Temperature Detector) Temperatursensor, welcher selbst durch Umsetzung einer elektrischen Leistung (z.B. durch erhöhten Messstrom) erwärmt wird. Besteht kein Durchfluss, so erfolgt die Ableitung der Wärme aus dem beheizten Sensor nur über Wärmeleitung, -strahlung und ggf. auch freie Konvektion innerhalb des Messmediums. Ist das zu messende Medium in Bewegung, so ergibt sich eine zusätzliche Abkühlung des beheizten Sensors durch das vorbeiströmende kältere Medium. Dies wird als Wärmetransport durch erzwungene Konvektion bezeichnet. Damit geht einher, dass eine höhere Energie zum Aufheizen des zweiten Sensors notwendig ist, um die besagte feste Temperaturdifferenz aufrechtzuerhalten. Bei einem alternativen Messverfahren wird eine zeitlich konstante Heizleistung eingespeist und die Temperaturänderung als Messsignal ausgewertet. Hierbei verringert sich durch den Durchfluss die Temperaturdifferenz zwischen Medium und Heizung. Es besteht in beiden Varianten ein fester Zusammenhang zwischen der notwendigen Heizenergie bzw. der sich einstellenden Temperaturdifferenz und dem Durchfluss im Rohr (Massedurchfluss). Die sich ergebende Sensorkennlinie ist allerdings stark nichtlinear und sowohl vom strömenden Medium, als auch vom konkreten Einbau des Heizelements und der Temperatursensoren abhängig. Schon geringe Änderungen im thermischen Aufbau des kalorimetrischen Durchflusssensors, wie sie beispielsweise durch herstellungsbedingte Schwankungen von Materialdicken, Löt- oder Klebeschichten oder temperaturabhängigen Änderungen der Materialeigenschaften eintreten können, bewirken deutliche Veränderungen der Kennlinie. Eine wirklich reproduzierbare Fertigung und Konfektionierung ist kaum oder nur mit sehr großem Aufwand möglich, so dass kalorimetrische Durchflussmesser in der Regel einzeln vermessen und für jedes Messmedium separat kalibriert werden müssen. Dies geschieht meist in speziellen Durchfluss-Messstrecken, in welchen die Durchflussmesser eingebaut und bei verschiedenen Durchflussraten des Messmediums vermessen werden. Dies ist jedoch zeit- und kostenintensiv.

Die Aufgabe der Erfindung besteht somit darin, das Kalibrieren bzw. das Abgleichen eines kalorimetrischen Durchflussmessgerätes gegenüber dem Stand der Technik zu vereinfachen.

Diese Aufgabe löst die Erfindung mit einem Kalibrationsverfahren und einer entsprechenden Vorrichtung zur Kalibration. Unter Kalibration sei dabei sowohl Kalibration im engeren Sinne als Bestimmung der notwendigen Heizenergie bzw. der sich einstellenden Temperaturdifferenz bei mindestens einer definierten bekannten Strömungsgeschwindigkeit bzw. eines Massedurchflusses eines Strömungsmediums, als auch im Sinne eines Abgleichs verstanden.

Die Erfindung löst die Aufgabe mit einem Verfahren zur Kalibration eines kalorimetrischen Durchflussmessgerätes, welches zumindest einen Temperatursensor und mindestens ein Heizelement aufweist. Das erfindungsgemäße Verfahren weist dabei die folgenden Schritte auf, dass das Durchflussmessgerät mit mindestens einem Wärmewiderstandselement, welches einen einstellbaren thermischen Widerstandswert aufweist, in thermischen Kontakt gebracht wird, dass von dem Heizelement eine wählbare Wärmemenge erzeugt wird, und dass von dem Temperatursensor eine Temperatur gemessen wird. Die Kalibration bzw. der Abgleich des Durchflussmessgerätes erfolgt somit dadurch, dass das Messgerät mit einem Wärmewiderstandselement bzw. einem thermischen Widerstandselement bzw. einem Wärmeübergangswiderstandselement in thermischen Kontakt gebracht wird. Dabei ist der thermische Widerstand bzw. der Wärmeleitwiderstandswert des Widerstandselements veränderbar bzw. das Widerstandselement wird entsprechend ausgewählt. Wichtig ist jedoch, dass das Wärmewiderstandselement einen reproduzierbaren Widerstandswert aufweist. Sein Widerstandswert ist dabei so zu wählen, dass der durch ihn fließende Wärmestrom gleich jenem ist, welcher sich in einem realen strömenden Medium mit bekanntem Massedurchfluss einstellen wird. Das Wärmewiderstandselement simuliert somit thermisch einen bestimmten und bekannten Durchfluss bei der Kalibration. Der Vorteil liegt darin, dass der apparative Aufwand deutlich geringer ist, als bei einem Einbau des Messgerätes in ein Messrohr. Nachdem der thermische Kontakt hergestellt ist, nachdem also die Situation geschaffen wurde, dass eine wohldefinierte Wärmemenge vom Heizelement des Durchflussmessgeräts durch das Widerstandselement abgeführt wird, wird – wie bei realen Durchflussmessungen auch – die für die Aufrechterhaltung einer festen Temperaturdifferenz notwendige Heizleistung ermittelt und eingestellt oder alternativ bei Einspeisung einer zeitlich konstanten Heizleistung die sich einstellende Temperatur als Messsignal ausgewertet. Der große Unterschied zum Kalibrierverfahren im Stand der Technik ist somit, dass das Durchflussmessgerät nicht in ein Messrohr eingebracht wird, und dass nicht ein bestimmter Durchfluss eines Testmediums erzeugt wird, sondern dass das Durchflussmessgerät nur in thermischen Kontakt mit einem in Bezug auf seinen Wärmewiderstandswert wohldefiniertes Wärmewiderstandselement gebracht wird. Dieses Verfahren lässt sich sowohl fertigungsseitig bei der Herstellung und Erstkalibrierung des Durchflussmessgerätes, als auch anwendungsseitig bei der Nachkalibration bereits im Einsatz befindlicher Messgeräte verwenden.

Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass die von dem Temperatursensor gemessene Temperatur und/oder eine für die Erzeugung der wählbaren Wärmemenge erforderliche Heizleistung mit einem Sollwert verglichen wird. Bei einer nicht ausreichenden Heizleistung oder thermisch ungenügender Ankopplung des Temperatursensors z.B. durch fehlerhafte Lötungen bzw. Klebungen oder dem Vorhandensein thermisch isolierender Schichten (z.B. Lufteinschlüsse) wären signifikante Abweichungen der gemessenen Werte zu beobachten. In jedem Fall kann dem gemessenen Temperatur- bzw. Heizleistungswert eindeutig über den bekannten Wärmeleitwert des jeweils verwendeten Wärmewiderstandselements ein entsprechender realer Massedurchfluss für ein definiertes Medium zugeordnet sowie eine adäquate Kalibierunsicherheit abgeschätzt werden.

Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens beinhaltet, dass das Wärmewiderstandselement zusätzlich zum Heizelement erhitzt oder abgekühlt wird. Durch die zusätzlichen Temperaturänderungen, welche der Heizleistung des Heizelements quasi überlagert werden, lassen sich weitere Messbedingungen wie beispielsweise Änderungen der Messmediumstemperatur simulieren. Der Vorteil ist, dass solche Variationen bei einem mechanischen Wärmewiderstandselement leichter zu realisieren sind, als bei einem Durchfluss des Mediums durch ein Messrohr.

Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass das Durchflussmessgerät mit unterschiedlichen Wärmewiderstandselementen in thermischen Kontakt gebracht wird, wobei die Wärmewiderstandselemente unterschiedliche Wärmeleitwiderstandswerte aufweisen. In dieser Ausgestaltung wird also die Vergleichsmessung mit unterschiedlichen Wärmewiderstandselementen bzw. Wärmewiderstandswerten durchgeführt. Dies ermöglicht eine Kalibration des Messgeräts an mehreren Messpunkten (äquivalenten Massedurchflussraten), sowie die Ermittlung einer Gerätekennlinie durch Interpolation zwischen den entsprechenden Messwerten.

Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens beinhaltet, dass jeder thermische Widerstandswert derartig eingestellt wird, dass der Wärmewiderstandswert dem Wärmeübergang eines vorgebbaren Durchflusses entspricht. Mit anderen Worten: Der thermische Widerstandswert wird derartig eingestellt, dass der dadurch realisierte Wärmestrom im Wesentlichen gleich jedem ist, welcher sich in einem realen strömenden Medium mit bekanntem Massedurchfluss bzw. mit bekannter Strömungsgeschwindigkeit einstellen wird. Die Wärmewiderstandswerte der Wärmewiderstandselemente werden also derartig ausgewählt, dass sich jeweils einem realen Durchfluss bzw. dem damit verbundenen Wärmeübergang entsprechen.

Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass zwischen dem Durchflussmessgerät und dem Wärmewiderstandselement ein thermisches Kontaktmittel aufgebracht wird. Das Kontaktmittel weist dabei ein vergleichsweise gute Wärmeleitfähigkeit auf. Bei dem thermischen Kontaktmittel handelt es sich beispielsweise um eine Wärmeleitpaste oder um ein Flüssigmetall. Auch weitere Kontaktmittel sind möglich, wobei jeweils darauf geachtet werden muss, dass sich keine Luft zwischen dem Durchflussmessgerät und dem Widerstandselement befindet, um einen möglichst guten thermischen Kontakt zu erzeugen.

Die Erfindung löst die Aufgabe weiterhin durch eine Vorrichtung zur Kalibration eines kalorimetrischen Durchflussmessgerätes, welches mindestens einen Temperatursensor und mindestens ein Heizelement aufweist. Die erfindungsgemäße Vorrichtung beinhaltet dabei, dass mindestens ein Wärmewiderstandselement vorgesehen ist, wobei das Wärmewiderstandselement einen einstellbaren thermischen Widerstandswert aufweist, und wobei das Wärmewiderstandselement derartig ausgestaltet ist, dass es mit dem Durchflussmessgerät thermisch kontaktierbar ist. Im Gegensatz zur Kalibrationsvorrichtung im Stand der Technik wird somit ein mechanisches Wärme-Widerstandselement in thermischen Kontakt mit dem Durchflussmessgerät gebracht. Im Gegensatz zu einem Messrohr, in welchem ein Durchfluss erzeugt wird, handelt es sich hier also um ein Wärmewiderstandselement, mit welchem das Durchflussmessgerät in Kontakt gebracht wird. Somit ist also nur eine rein mechanische Anordnung geben. Die Vorrichtung ist somit deutlich einfacher und auch die Kontaktierung schneller und somit kostengünstiger herzustellen.

Eine Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht vor, dass der thermische Widerstandswert des Wärmewiderstandselements durch den spezifischen Wärmewiderstandswert des Wärmewiderstandselements und/oder durch die Geometrie des Wärmewiderstandselements und/oder durch die Position der thermischen Kontaktfläche zwischen dem Durchflussmessgerät und dem Wärmewiderstandselement einstellbar ist. Für die Einstellung des Widerstandswerts des Wärmewiderstandselements gibt es mehrere Möglichkeiten: Die Wahl des Materials geht mit der Wahl der spezifischen Wärmeleitfähigkeit und damit auch des Wärmewiderstands des Wärmewiderstandelements einher. Durch eine Wahl der Ausdehnung, d.h. der Geometrie des Widerstandselements kann auch der thermische Widerstand eingestellt werden. Je dicker beispielsweise das Element ist, desto größer ist auch dessen Widerstandswert. Eine dritte Variante besteht in der Variation des Kontaktbereichs zwischen dem Durchflussmessgerät und dem Wärme-Widerstandselement. Je größer die Kontaktfläche zwischen dem Durchflussmessgerät und dem Wärmewiderstandselement gewählt wird, desto kleiner wird der thermische Übergangswiderstand.

Eine Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung beinhaltet, dass mindestens eine Wärmeabführeinheit vorgesehen ist, dass die Wärmeabführeinheit thermisch mit dem Wärmewiderstandselement gekoppelt ist, und dass die Wärmeabführeinheit Wärme von dem Wärmewiderstandselement abführt. Bei einer Kalibrationsvorrichtung gemäß dem Stand der Technik wird die Wärme über das fließende Medium abgeführt. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird die Wärme an die Umgebung abgegeben. Dies lässt sich effektiver gestalten, wenn das Widerstandselement beispielsweise mit einem Kühlkörper als Wärmeabfuhreinheit verbunden ist.

Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnung näher erläutert. Es zeigt:
1: eine schematische Darstellung eines thermischen Durchflussmessgeräts mit der erfindungsgemäßen Kalibiervorrichtung.
In der 1 ist schematisch ein Durchflussmessgerät dargestellt. Auf einem Heizelement 2 ist ein Temperatursensor 1 positioniert. Beide wiederum befinden sich in einem Gehäuserohr 7. Die erforderliche Elektronik zur Ansteuerung des Heizelements 2 und zur Auswertung des Temperatursensors 1 ist hier nicht dargestellt. Das Gehäuserohr 7 wird für die Anwendung üblicherweise in ein Rohr eingebracht, innerhalb dessen der Durchfluss eines fließfähigen Mediums gemessen und/oder überwacht werden soll. Um ein solches Messgerät zu kalibrieren bzw. abzugleichen, werden üblicherweise Durchflussmessungen an einer Testanlage durchgeführt, welche die Einstellung von wohldefinierten Durchflüssen erlaubt. Dieses Kalibierverfahren ist jedoch zeit- und kostenintensiv. Daher beschreibt die Erfindung eine Vorrichtung, die es ermöglicht, kalorimetrische Massestromsensoren bzw. Durchflussmessgeräte ohne Einbau in eine reale Durchflussstrecke zu vermessen und zu kalibrieren bzw. abzugleichen.
Für eine einfache Beschreibung und Abschätzung der in einer solchen Anordnung stattfindenden Wärmeaustauschvorgänge haben sich basierend auf der elektrothermischen Analogie RC-Modelle aus thermischen Widerständen R_th und Kapazitäten C_th bewährt. Ein kalorimetrischer Massestromsensor, also der messtechnische Anteil an einem entsprechenden Durchflussmessgerät, lässt sich sehr vereinfacht als Reihenschaltung aus einer Wärmequelle (im Heizelement 2) und diversen thermischen Widerständen beschreiben, die letztlich den Wärmestrom vom Heizelement 2 zum Messmedium bestimmen. Zwischen dem Heizelement 2 und dem mediumsberührenden Gehäuseteil 7 findet der Wärmetransport im Wesentlichen über Wärmeleitung statt. Die thermischen Übergangswiderstände R_Leitung werden von den Wärmeleitfähigkeiten λ und den Schichtdicken d der einzelnen Komponenten und Materialien bestimmt. Zwischen dem Sensorgehäuse 7 und dem Messmedium wird die Wärme hauptsächlich über Konvektion ausgetauscht. Dieser konvektive thermische Widerstand variiert stark mit der Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums. Er ist umgekehrt proportional zur Kontaktfläche A und dem so genannten Wärmeübergangskoeffizienten α, welcher sich z.B. für Wasser von etwa 2000 W/m²K bei 0,5 m/s auf ungefähr 25000 W/m²K bei etwa 3 m/s Strömungsgeschwindigkeit vergrößert. Der thermische Übergangswiderstand durch Konvektion R_Konvektion verringert sich dementsprechend um mehr als den Faktor 10.
Die Erfindung besteht darin, diesen bekannten Konvektionswiderstand in der Strömung R_Konvektion und seine Veränderungen durch einen angepassten, rein mechanischen Wärmeleitwiderstand 3 nachzubilden, welcher an den Massestromsensor so angekoppelt ist, dass sich thermisch vergleichbare Verhältnisse einstellen wie in einem realen strömenden Medium.
Die vom Heizelement 2 eingeleitete Wärmemenge Q wird in der realen Strömung vom strömenden Medium aufgenommen und abgeführt. Bei einer rein mechanischen Kalibrierapparatur kann diese Wärmemenge nur an die Umgebung (Atmosphäre) abgegeben werden. Dies sollte möglichst effektiv über einen möglichst kleinen thermischen Widerstand R_thKühlen, beispielsweise mittels eines groß dimensionierten Kühlkörpers mit Lüfter, geschehen. Diesbezüglich ist hier eine Wärmeabführeinheit 6 dargestellt.
Durch das „Zwischenschalten" von Wärmewiderstandselementen 3 – hier ist ein solcher als ein Block dargestellt – mit definierter Wärmeleitfähigkeit λ und Dicke d lässt sich der realisierte thermische Gesamtübergangswiderstand der Anordnung gezielt variieren. Parasitäre Übergangswiderstände zwischen Sensorgehäuse 7, Widerstandselement 3 und Wärmeabführeinheit 6 sind mittels gut wärmeleitender Kontaktmittel 5 – z.B. Wärmeleitpasten, Flüssigmetalle oder Lote – klein zu halten. Auch sie wirken als Reihenwiderstände und begrenzen den Wärmestrom. Die Summe aller thermischen Übergangswiderstände dieser Anordnung (R_{th Kühler/Wärmeabführeinheit} + R_{th Block/Widerstandselement} + R_th
Kontakt) entspricht letztlich dem simulierten strömungsabhängigen Konvektionswiderstand R_Konvektion in einer realen Strömung.
Durch Variation der Materialien und Dicken der zwischengeschalteten Widerstandselemente 3 lassen sich thermische Widerstände in einem weiten Bereich realisieren und auf diese Weise vergleichbare thermische Ankopplungen wie in realen Strömungen unterschiedlichster Fluide und Strömungsraten erzeugen. Durch Kühlung (z.B. mittels Peltierelemente) oder Aufheizung dieser Blöcke mittels eines Heiz-/Kühlelement 4 sind zudem Änderungen der Mediumstemperatur simulierbar.
Eine verbesserte Ausführungsform für solche wechselbaren thermischen Wärmeleitwiderstände bzw. Wärmewiderstandselemente 3 ist ein Zylinder mit zentrischer Bohrung definierter Tiefe anstelle des gezeigten Blocks. Dies vereinfacht in der Praxis die Positionierung und Halterung des zu kalibrierenden Durchflusssensors in der Anordnung. Für den thermischen Widerstand dieser gebohrten Zylinder 3 ist nur deren verbleibende Materialdicke im Boden relevant.

1: Temperatursensor
2: Heizelement
3: Wärmewiderstandselement
4: Heiz-/Kühlelement
5: Kontaktmittel
6: Wärmeabführeinheit
7: Gehäuserohr

Claims

Verfahren zur Kalibration eines kalorimetrischen Durchflussmessgerätes, welches zumindest einen Temperatursensor (1) und mindestens ein Heizelement (2) aufweist, wobei das Durchflussmessgerät mit mindestens einem Wärmewiderstandselement (3), welches einen einstellbaren thermischen Widerstandswert aufweist, in thermischen Kontakt gebracht wird, wobei von dem Heizelement (2) eine wählbare Wärmemenge erzeugt wird, und wobei von dem Temperatursensor (1) eine Temperatur gemessen wird.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die von dem Temperatursensor (1) gemessene Temperatur und/oder eine für die Erzeugung der wählbaren Wärmemenge erforderliche Heizleistung mit einem Sollwert verglichen wird.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Wärmewiderstandselement (3) zusätzlich zum Heizelement erhitzt oder abgekühlt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Durchflussmessgerät mit unterschiedlichen Wärmewiderstandselementen (3) in thermischen Kontakt gebracht wird, wobei die Wärmewiderstandselemente (3) unterschiedliche Wärmeleitwiderstandswerte aufweisen.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 4, wobei jeder thermische Widerstandswert derartig eingestellt wird, dass der Wärmewiderstandswert dem Wärmeübergang eines vorgebbaren Durchflusses entspricht.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei zwischen dem Durchflussmessgerät und dem Wärmewiderstandselement (3) ein thermisches Kontaktmittel (5) aufgebracht wird.
Vorrichtung zur Kalibration eines kalorimetrischen Durchflussmessgerätes, welches mindestens einen Temperatursensor (1) und mindestens ein Heizelement (2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Wärmewiderstandselement (3) vorgesehen ist, wobei das Wärmewiderstandselement (3) einen einstellbaren thermischen Widerstandswert aufweist, und wobei das Wärmewiderstandselement (3) derartig ausgestaltet ist, dass es mit dem Durchflussmessgerät thermisch kontaktierbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der thermische Widerstandswert des Wärmewiderstandselements (3) durch den spezifischen Wärmewiderstandswert des Wärmewiderstandselements (3) und/oder durch die Geometrie des Wärmewiderstandselements (3) und/oder durch die Position der thermischen Kontaktfläche zwischen dem Durchflussmessgerät und dem Wärmewiderstandselement (3) einstellbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Wärmeabführeinheit (6) vorgesehen ist, dass die Wärmeabführeinheit (6) thermisch mit dem Wärmewiderstandselement (3) gekoppelt ist, und dass die Wärmeabführeinheit (6) Wärme von dem Wärmewiderstandselement (3) abführt.