DE102005052421A1 - Verfahren zur Herstellung von Abdeckgläsern für strahlungsempfindliche Sensoren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Abdeckgläsern für strahlungsempfindliche Sensoren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von strahlungsarmen Abdeckgläsern für strahlungsempfindliche Sensoren, insbesondere in der Halbleitertechnologie, mit geringer alpha-Eigenstrahlung, ohne die Erzeugung von Zwischenformen, durch direkte Formgebung als Flachglas in geeigneten Abmessungen. Gegenstand der Erfindung ist auch eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
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