DE102005049533B3 - Mikrowellen-Durchlaufofen - Google Patents

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Abstract

Mikrowellen-Durchlaufofen mit einem Mikrowellenkanal mit einem Eingang und einem Ausgang sowie einer Bodenwand, einer Deckenwand und zwei Seitenwänden, mindestens einem Mikrowellen-Generator, mindestens einem in den Innenraum des Mikrowellenkanals mündenden Mikrowellen-Einkoppelelement, das von dem Mikrowellen-Generator mit Mikrowellen-Energie gespeist wird, und einem sich durch den Mikrowellenkanal erstreckenden Fördermittel mit mindestens einem Förderelement, dadurch gekennzeichnet, dass das bzw. die Förderelement(e) auf einem Körper aus mindestens einem Halbleitermaterial, der auf der Innenseite der Bodenwand angeordnet oder damit elektrisch verbunden ist, gelagert ist bzw. sind, und am Eingang und am Ausgang des Mikrowellenkanals jeweils ein Mikrowellen-Sperrfilter angeordnet ist.

Description

  • Aus der DE 197 38 882 C1 ist ein Mikrowellen-Durchlaufofen mit einem Mikrowellen-Multimodekanal mit einem Eingang und einem Ausgang sowie einer Bodenwand, einer Deckenwand und zwei Seitenwänden, mindestens einem Mikrowellen-Generator, mindestens einem in den Innenraum des Mikrowellen-Multimodekanals mündenden Mikrowellen-Einkoppelelement, das von dem Mikrowellen-Generator mit Mikrowellen-Energie gespeist wird, und einem sich durch den Mikrowellen-Monomodekanal erstreckenden Fördermittel mit mindestens einem Förderelement bekannt. Als Fördermittel ist ein Transportband vorgesehen. Dieser ist jedoch nicht für herkömmliche Entbinder- bzw. Sinteranlagen geeignet, die mit Metallförderbändern ausgestattet sind. Dies liegt daran, daß die Mikrowellenstrahlung über die Metallförderbänder aus dem Ofen herausgeführt wird, und somit einerseits nicht für die Aufheizung zur Verfügung steht und andererseits auf die Umwelt, insbesondere Menschen, unkontrolliert und gegebenenfalls gesundheitsschädigend einwirken kann.
  • Die DE 102 44 752 A1 offenbart einen Mikrowellen-Durchlaufofen mit einem Mikrowellen-Multimodekanal mit einem Eingang und einem Ausgang sowie einer Bodenwand, einer Deckenwand und zwei Seitenwänden, einem Mikrowellen-Generator, einem in den Innenraum des Mikrowellen-Multimodekanals mündenden Mikrowellen-Einkoppelelement, das von dem Mikrowellen-Generator mit Mikrowellen-Energie gespeist wird, einem sich durch den Mikrowellen-Kanal erstreckenden Fördermittel mit mehreren Förderelementen, und am Eingang und am Ausgang des Mikrowellen-Multimodekanals jeweils einem Mikrowellen-Sperrfilter. Bei dem Fördermittel handelt es sich um eine Rollenbahn mit Transportrollen, die mit einem Material wie Teflon, Glaswolle oder Polyamid beschichtet sind, das nicht leicht Mikrowellenenergie absorbiert. Werkstücke können in einer alternativen Ausführungsform auf einen Halter gesetzt und dann von der Rollenbahn transportiert werden.
  • Die WO 96/34513 betrifft ein Verfahren, eine Vorrichtung zur thermischen Behandlung von Stoffen in einem Mikrowellenofen und eine Verwendung des Verfahrens und der Vorrichtung. Das Verfahren dient zur thermischen Behandlung von beliebigen Stoffen in einem Mikrowellenofen, insbesondere von Pulvern, Hartmetallen, Cermits und/oder Keramiken, bei dem Behandlungsgut relativ zu einer oder mehreren Mikrowellenquellen bewegt wird, wobei das Behandlungsgut in einzelnen Kassetten angeordnet und bewegt wird, die mit Ausnahme einer für die Mikrowelleneinstrahlung notwendigen Öffnung aus mikrowellenundurchlässigem Material bestehen und gleichzeitig den Resonanzraum bilden, dessen Länge, Höhe und/oder Breite im unbeladenen Zustand zu gering ist, um bei der verwendeten Mikrowellenfrequenz eine kontinuierliche Energieverteilung zu erzeugen, die im beladenen Zustand aber eine homogene Erwärmung ermöglichen, wobei vorzugsweise dessen Länge, Höhe und/oder Breite sechs Wellenlänge der verwendeten Mikrowellenstrahlung nicht überschreiten.
  • Die DE 1 093 930 A1 offenbart ebenfalls einen Mikrowellen-Durchlaufofen mit einer kontinuierlichen Transporteinrichtung aus plattenförmigen Elementen, wobei die plattenförmigen Bandelemente sowohl im horizontalen Arbeitsraum als auch in den vertikalen Zuführungs- und Ausgangsschächten des Arbeitsraumes stets in gleichbleibend horizontaler Lage geführt werden und durch Zusammenwirken mit den Wänden der senkrechten Schächte bei kontinuierlichem Betrieb einen unterbrochenen Verschluß des Arbeitsraumes gegen entweichende Mikrowellenenergie bilden.
  • Die EP 0 994 309 B1 betrifft eine Teleskopauszugsvorrichtung für wenigstens einen Gargutträger in einem Garraum eines Garofens mit in Führungen gleitend geführten und aus dem Garraum wenigstens teilweise herausziehbaren Schienen, auf oder an denen wenigstens ein Gargutträger auflegbar bzw. befestigbar ist, wobei die Schienen und/oder die Führungen zumindest an ihren Gleitflächen jeweils einen bei den Betriebstemperaturen des Garofens temperaturbeständigen Gleitwerkstoff aus einem Metallnitrid, vorzugsweise Titannitrid, aufweisen.
  • Die WO 01/04558 A1 offenbart eine Vorrichtung zum kontinuierlichen Trocknen von Keramikgegenständen, die nur geringe oder gar keine Mikrowellenemission erzeugt.
  • Die DE 198 47 299 C1 offenbart einen Mikrowellen-Durchlaufofen mit Ofenmodulen, die in einer Reihe hintereinander angeordnet sind und die Heizzonen bilden. Am jeweiligen Gehäusemantel ist mindestens eine Mikrowellen-Strahlenquelle an einem zugehörigen Strahlenfenster vorgesehen. Im jeweiligen Ofenmodul ist ein Blechboden höhenverstellbar vorgesehen, der mit Sekundärstrahler bildenden Löchern ausgebildet ist. Im Mikrowellen-Durchlaufofen ist eine Transporteinrichtung vorgesehen, die von einem Transportband oder von Transport rollen gebildet ist. Zum Strahlenfenster der jeweiligen Mikrowellen-Strahlenquelle können im Gehäusemantel Auslaßlöcher benachbart sein. Die jeweilige Strahlenquellen ist dann mit einer Luftreguliereinrichtung kombiniert. Dem Strahlenfenster der jeweiligen Mikrowellen-Strahlenquelle kann im Inneren des entsprechenden Ofenmoduls eine Mikrowellen-Lenkeinrichtung zugeordnet sein. Die Mikrowellen-Strahlenquelle kann mit einem Hohlleiterkanal kombiniert sein. Die Einkopplung der Mikrowellenstrahlen erfolgt in diesem zuletzt genannten Falle durch Aussparungen im Gehäuse des Ofenmoduls, die im Bereich des umlaufenden Hohlleiterkanals vorgesehen sind.
  • Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen Mikrowellen-Durchlaufofen bereitzustellen, mittels dessen weniger Mikrowellenstrahlung über die Fördermittel aus dem Ofen herausgeführt wird.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch einen Mikrowellen-Durchlaufofen mit einem Mikrowellen-Monomodekanal mit einem Eingang und einem Ausgang sowie einer Bodenwand, einer Deckenwand und zwei Seitenwänden, mindestens einem Mikrowellen-Generator, mindestens einem in den Innenraum des Mikrowellen-Monomodekanals mündenden Mikrowellen-Einkoppelelement, das von dem Mikrowellen-Generator mit Mikrowellen-Energie gespeist wird, und einem sich durch den Mikrowellen-Monomodekanal erstreckenden Fördermittel mit mindestens einem Förderelement, wobei das mindestens eine Förderelement auf einem Körper aus mindestens einem Hochfrequenz leitendem Material, der auf der Innenseite der Bodenwand angeordnet und quer zur Fördereinrichtung U-förmig ist, direkt gelagert ist, und am Eingang und am Ausgang des Mikrowellen-Monomodekanals jeweils ein Mikrowellen-Sperrfilter angeordnet ist.
  • Gemäß einer besonderen Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, daß der Körper in seiner Längserstreckung mehrteilig gestaltet ist.
  • Vorteilhafterweise ist vorgesehen, daß sich der Körper durch den gesamten Mikro-Monomodekanal längserstreckt.
  • Günstigerweise ist das mindestens eine Material des Körpers Siliziumcarbid, Siliziumnitrit, reines Silizium oder Germanium.
  • Besonders bevorzugt ist das mindestens eine Material des Körpers Graphit.
  • Weiterhin ist denkbar, daß der Mikrowellen-Monomodekanal im Querschnitt quer zu seiner Längserstreckung rechteckig ist. Selbstverständlich ist aber auch möglich, daß er quadratisch ist.
  • Günstigerweise ist das Mikrowellen-Einkoppelelement bzw. mindestens eines der Mikrowellen-Einkoppelelemente bei Nichtgebrauch zur Umgebung verschließbar. Dadurch sind mehrere Betriebsweisen des Mikrowellen-Durchlaufofens möglich. Beispielsweise kann bzw. können in Abhängigkeit von den Absorptionseigenschaften der zur verarbeitenden Produkte nur ein Mikrowellen-Einkoppelelement bzw. mehrere Mikrowellen-Einkoppelelemente zum Einkoppeln von Mikrowellen verwendet werden.
  • Günstigerweise ist zusätzlich mindestens eine konventionelle Heizeinrichtung vorgesehen. Beispielsweise kann es sich um einen Heizstrahler oder um ein Heißluftgebläse handeln.
  • Gemäß einer weiteren besonderen Ausführungsform sind mindestens zwei Mikrowellen-Einkoppelelemente vorgesehen und ist zwischen benachbarten Mikrowellen-Einkoppelelementen jeweils eine konventionelle Heizeinrichtung vorgesehen.
  • Gemäß einer besonderen Ausführungsform kann vorgesehen sein, daß das mindestens eine Förderelement ein Metallförderband ist.
  • Zweckmäßigerweise ist das Metallförderband ein Kettenband oder Drahtgeflechtband.
  • Insbesondere kann vorgesehen sein, daß das Metallförderband ein Endlosband ist.
  • Alternativ kann vorgesehen sein, daß das mindestens eine Fördermittel mindestens eine Stoßeinrichtung umfaßt und eine Platte aus mindestens einem Hochfrequenz leitenden Material ist.
  • Insbesondere kann dabei vorgesehen sein, daß das mindestens eine Material der Platte Siliziumcarbid, Siliziumnitrit, reines Silizium oder Germanium ist.
  • Besonders bevorzugt ist das mindestens eine Material der Platte Graphit.
  • Günstigerweise ist der Mikrowellen-Durchlaufofen in Modulbauweise hergestellt. Dadurch kann eine beliebige Kombination und Anzahl von hintereinander geschalteten Heizeinrichtungen unter Verwendung von Mikrowellen gegebenenfalls in Kombination mit konventionellen Heizquellen realisiert werden.
  • Schließlich ist der Mikrowellen-Durchlaufofen günstigerweise kontinuierlich betreibbar.
  • Der Erfindung liegt die überraschende Erkenntnis zugrunde, daß durch die Lagerung des Förderelements bzw. der Förderelemente auf dem Körper aus mindestens einem Hochfrequenz leitendem Material im unteren Teil des Mikrowellenkanals das Förderelement bzw. die Förderelemente als elektrische Ebene für die Grundmode H10 wirksam ist bzw. sind, da das Förderelement bzw. die Förderelemente durch den Körper mit dem Mikrowellen- Monomodekanal verbunden ist/sind, und durch die Mikrowellen-Sperrfilter eine elektromagnetische Dichtigkeit des Förderelements bzw. der Förderelemente gewährleistet wird. Die besonderen Funktionen der Graphithalbschalen gemäß einer besonderen Ausführungsform der Erfindung bestehen darin, daß sie eine ausreichende elektrische Leitfähigkeit bei Hochfrequenz, eine gute Gleitfläche für das bzw. die Förderelement(e) und eine gute Temperaturbeständigkeit aufweist und eine Grundlast für die Mikrowellen bildet, was besonders wichtig für Produkte mit geringen dielektrischen Verlusten oder bei einem leeren Mikrowellenkanal ist, und bei nicht oxidierenden Gasatmosphären beständig ist.
  • Wenn der Mikrowellen-Durchlaufofen beim Entbindern oder Sintern eingesetzt wird, so lassen sich dadurch die Entbinder- bzw. Sintertemperaturen zumindest etwas senken, was der Lebensdauer der in einer besonderen Ausführungsform eingesetzten Metallförderbänder zugute kommt, und die Entbinder- bzw. Sintergeschwindigkeiten erhöhen und die Qualität des Entbinder- bzw. Sinterguts verbessern. Die Mikrowellenenergie wirkt bei keramischen Produkten sowie PM-Stählen im Volumen des Produktes. Die konventionelle Heizung sorgt für einen Wärmeeintrag an der Oberfläche des Produktes. Eine Kombination aus Mikrowellenenergie und konventioneller Heizleistung ermöglicht eine gleichmäßigere und schnellere Erwärmung im Volumen sowie an der Oberfläche des Produktes.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und der nachstehenden Beschreibung, in der Ausführungsbeispiele anhand der schematischen Zeichnungen im einzelnen erläutert sind. Dabei zeigt:
  • 1 eine Seitenansicht eines Mikrowellen-Durchlaufofens gemäß einer besonderen Ausführungsform der Erfindung mit einer Mikrowellen-Einkoppelung teilweise im Schnitt zeigt;
  • 2 eine Schnittansicht des Mikrowellenkanals des in 1 gezeigten Mikrowellen-Durchlaufofens zeigt;
  • 3 eine Seitenansicht eines Mikrowellen-Durchlaufofens gemäß einer weiteren besonderen Ausführungsform der Erfindung mit zwei Mikrowellen-Einkoppelungen zeigt;
  • 4 eine Seitenansicht eines Mikrowellen-Durchlaufofens gemäß einer weiteren besonderen Ausführungsform der Erfindung mit vier Mikrowellen-Einkoppelungen zeigt; und
  • 5 eine perspektivische Ansicht eines Mikrowellen-Durchlaufofens gemäß einer weiteren besonderen Ausführungsform der Erfindung mit zwei Mikrowellen-Einkoppelungen.
  • Der in der 1 oben gezeigte Mikrowellen-Durchlaufofen 100, der auch als Mikrowellen-Banddurchlaufofen bezeichnet werden kann, weist einen sich horizontal erstreckenden Mikrowellen-Monomodekanal 110 aus Metall bzw. mit metallischen Innenflächen auf, wobei, wie sich dies aus der 2 ergibt, der Mikrowellen-Monomodekanal 110 einen rechteckigen Querschnitt aufweist, der von einer Bodenwand 112, einer Deckenwand 114 und zwei Seitenwänden 116 und 118 gebildet wird. Der Mikrowellen-Monomodekanal 110 weist einen mit einem Mikrowellen-Sperrfilter 2 versehenen Eingang 120 und einen mit einem Mikrowellen-Sperrfilter 11 versehenen Ausgang 122 auf. Der Mikrowellen-Sperrfilter 2 kann auch als ein Mikrowellen-Einlauffilter bezeichnet werden und der Mikrowellen-Sperrfilter 11 kann auch als ein Mikrowellen-Ausgangsfilter bezeichnet werden. Durch den Mikrowellen-Monomodekanal 110 erstreckt sich horizontal ein Metallförderband 1, das über jeweilige Umlenkrollen 124, 126, 128, 130 im Kreis geführt wird. Auf dem Metallförderband 1 werden Produkte, von denen eines mit dem Bezugszeichen 12 versehen ist, durch den Mikrowellen- Monomodekanal 110 befördert. Im vorliegenden Fall soll das Produkt gesintert werden, d. h., daß der Mikrowellen-Durchlaufofen 100 Bestandteil einer Sinteranlage ist.
  • Der Mikrowellen-Monomodekanal 110 weist zwei Einkoppelelemente 5 und 8 in Form von jeweils einem oberhalb des Mikrowellen-Monomodekanals 110 vorragenden Stutzen auf, der das Einkoppeln von Mikrowellen in den Mikrowellen-Monomodekanal 110 erlaubt, die mittels eines Magnetrons 4 erzeugt werden. Im vorliegenden Fall ist jedoch das Einkoppelelement 8 mit einem Stopfen 8a versehen, d. h., daß nur an einer Stelle, nämlich bei dem Einkoppelelement 5, Mikrowellen eingekoppelt werden. Zwischen den beiden Einkoppelelementen 5 und 8 befindet sich eine konventionelle Heizeinrichtung 7 in Form einer Muffel, von der ein Heizelement mit dem Bezugszeichen 6 gekennzeichnet ist.
  • Zwischen dem Einkoppelelement 8 und dem Gasauslaßstutzen 10 ist ein Anschlußstutzen 9a für eine Infrarotkamera 9 angeordnet.
  • Weiterhin sind im Bereich des Eingangs 120 ein Gas-Einlaßstutzen 3 und im Bereich des Ausgangs 122 ein Gas-Auslaßstutzen 10 mit nachgeschalteter Abfackelvorrichtung (nicht gezeigt) vorgesehen.
  • Aus der 2 ergibt sich, daß auf der Innenseite der Bodenwand 112 eine Graphithalbschale 132 mit einem U-förmigen Querschnitt so angeordnet ist, daß das Metallförderband 1 darauf gleiten kann und von der Graphithalbschale durch die beiden vertikalen Schenkel 134 und 136 seitlich geführt wird.
  • In 1 unten sind sowohl die Mikrowellen-Energie E in Längserstreckung des Mikrowellen-Monomodekanals 110 als auch die Temperatur T des Produkts bei Durchlaufen des Mikrowellen-Monomodekanals 110 dargestellt.
  • 3 zeigt nun den Fall, in dem das Einkoppelelement 8 nicht durch einen Stopfen verschlossen ist, sondern ebenfalls zur Einkoppelung von Mikrowellen-Energie von einem Magnetron 4 dient. Die resultierende Mikrowellen-Energie E in Längserstreckung des Mikrowellen-Monomodekanals 110 sowie die Temperatur T des Produkts bei Durchlaufen des Mikrowellen-Monomodekanals 110 sind ebenfalls in 3 dargestellt.
  • Schließlich zeigt 4 den Fall, wenn insgesamt vier Einkoppelelemente 5, 8, 138, 140 zum Einkoppeln von Mikrowellen von einem jeweiligen Magnetron 4, 4, 4, 4 vorgesehen sind. Die gestrichelten Linien zeigen die Mikrowellen-Energie E durch die jeweilige Einkoppelung und die durchgezogene Linie zeigt die gesamte Mikrowellen-Energie E in Längserstreckung des Mikrowellen-Monomodekanals 110. Die Kurve der Temperatur T zeigt die Erwärmung des Produktes vom Eingang (links) bis zum Ausgang (rechts).
  • Wichtig ist noch anzumerken, daß zwischen dem Einkoppelelement 5, 8, 138, 140 jeweils eine konventionelle Heizeinrichtung 7 vorgesehen ist.
  • 5 zeigt eine perspektivische Ansicht einer alternativen Ausführungsform eines Mikrowellen-Durchlaufofens 100 gemäß der vorliegenden Erfindung. Anstelle eines Metallförderbandes 1, wie in den 1 bis 4, sind Platten, die mit den Bezugszeichen A, B, C, D, E, F, G, H, I, J und K gekennzeichnet sind, vorgesehen. Weiterhin sind am Eingang 120 sowie am Ausgang 122 des Mikrowellen-Monomodekanals 110 jeweils eine Stoßeinrichtung 142 und 144 in Form von Stempeln bzw. Schiebern vorgesehen, mittels derer die im rechten Winkel zur Längserstreckung des Mikrowellen-Monomodekanals 110 zugeführten Platten in Längserstreckung des Mikrowellen-Monomodekanals 110 jeweils einzeln und vorzugsweise in regelmäßigen zeitlichen und damit räumlichen Abständen am Eingang 120 eingeführt und am Ausgang 122 im rechten Winkel dazu wieder weiter befördert werden. Die Platten werden dabei in einem Stoßbetrieb wie in einem Stoßofen durch den Mikrowellen-Durchlaufofen 100 befördert. Beispielsweise kann der Stoßbetrieb wie folgt aussehen:
    • 1. Der Stempel der Stoßeinrichtung 142 fährt zurück und gibt die Position im „Knick Einlauf" frei.
    • 2. Die Platte C fährt auf die freie Position im „Knick Einlauf".
    • 3. Der Stempel der Stoßeinrichtung 142 stößt die Platte I von Position im „Knick Auslauf".
    • 4. Der Stempel der Stoßeinrichtung 142 stößt die Platte C in Richtung des Eingangs 120 des Mikrowellen-Monomodekanals 110 und fährt anschließend zurück.
  • Die Platten A bis K bestehen aus Graphit und gleiten auf einer Graphithalbschale 132, wie sie bereits in den 1 bis 4 gezeigt und oben beschrieben ist.
  • Die in der vorstehenden Beschreibung, in den Zeichnungen sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebigen Kombinationen für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen wesentlich sein.
  • 1
    Metallförderband
    2
    Mikrowellen-Sperrfilter
    3
    Gaseinlaßstutzen
    4
    Magnetrone
    5
    Einkoppelelement
    6
    Heizelement
    7
    Konventionelle Heizeinrichtung
    8
    Einkoppelelement
    8a
    Stopfen
    9
    Infrarotkamera
    9a
    Anschlußstutzen
    10
    Gasauslaßstutzen
    11
    Mikrowellen-Sperrfilter
    12
    Produkt
    100
    Mikrowellen-Banddurchlaufofen
    110
    Mikrowellen-Monomodekanal
    112
    Bodenwand
    114
    Deckenwand
    116,118
    Seitenwände
    120
    Eingang
    122
    Ausgang
    124, 126, 128, 130
    Umlenkrollen
    132
    Graphithalbschale
    134, 136
    Schenkel
    138, 140
    Einkoppelelemente

Claims (17)

  1. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) mit – einem Mikrowellen-Monomodekanal (110) mit einem Eingang und einem Ausgang sowie einer Bodenwand (112), einer Deckenwand (114) und zwei Seitenwänden (116, 118), – mindestens einem Mikrowellen-Generator, – mindestens einem in den Innenraum des Mikrowellen-Monomodekanals (110) mündenden Mikrowellen-Einkoppelelement (5, 8, 138, 140), das von dem Mikrowellen-Generator mit Mikrowellen-Energie gespeist wird, und – einem sich durch den Mikrowellen-Monomodekanal (110) erstreckenden Fördermittel mit mindestens einem Förderelement, wobei das mindestens eine Förderelement auf einem Körper (132) aus mindestens einem Hochfrequenz leitendem Material, der auf der Innenseite der Bodenwand angeordnet und quer zur Förderrichtung U-förmig ist, direkt gelagert ist, und am Eingang (120) und am Ausgang (122) des Mikrowellen-Monomodekanals (110) jeweils ein Mikrowellen-Sperrfilter (2, 11) angeordnet ist.
  2. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper (132) in seiner Längserstreckung mehrteilig gestaltet ist.
  3. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Körper (132) durch den gesamten Mikrowellen-Monomodekanal (110) längserstreckt.
  4. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Material des Körpers (132) Siliziumcarbid, Siliziumnitrit, reines Silizium oder Germanium ist.
  5. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Material des Körpers (132) Graphit ist.
  6. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellen-Monomodekanal (110) im Querschnitt quer zur Förderrichtung rechteckig ist.
  7. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikrowellen-Einkoppelelement (8) bzw. mindestens eines der Mikrowellen-Einkoppelelemente (5, 8, 138, 140) bei Nichtgebrauch zur Umgebung verschließbar ist.
  8. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich mindestens eine konventionelle Heizeinrichtung (7) vorgesehen ist.
  9. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Mikrowellen-Einkoppelelemente (5, 8, 138, 140) vorgesehen sind und zwischen benachbarten Mikrowellen-Einkoppelelementen (5, 8, 138, 140) jeweils eine konventionelle Heizeinrichtung (7) vorgesehen ist.
  10. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Förderelement ein Metallförderband (1) ist.
  11. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallförderband (1) ein Kettenband oder Drahtgeflechtband ist.
  12. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallförderband (1) ein Endlosband ist.
  13. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Fördermittel mindestens eine Stoßeinrichtung umfaßt und eine Platte aus mindestens einem Hochfrequenz leitenden Material ist.
  14. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Material der Platte Siliziumcarbid, Siliziumnitrit, reines Silizium oder Germanium ist.
  15. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Material der Platte Graphit ist.
  16. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er in Modulbauweise hergestellt ist.
  17. Mikrowellen-Durchlaufofen (100) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er kontinuierlich betreibbar ist.
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