DE102005014725B3 - Schutzanordnung für Leistungshalbleiterbauelement gegen Überstrom und Übertemperatur - Google Patents

Schutzanordnung für Leistungshalbleiterbauelement gegen Überstrom und Übertemperatur Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Schutzanordnung für ein Leistungshalbleiterbauelement (Tg) aus mehreren Zellen (T1, T2, T3), bei dem ein Stromsensor aus einem Stromsensetransistor (Ts) und Stromsensewiderständen (Rs) sowie ein Temperatursensor (Tt) vorgesehen sind. Der Stromsensetransistor (Ts) und der Temperatursensor (Tt) sind in einem Spalt oder in verschiedenen Spalten zwischen den Zellen (T1, T2, T3) vorgesehen, während der Stromsensewiderstand (Rs) direkt auf wenigstens einer Zelle angebracht ist. Der Temperatursensor (Tt) kann gegebenenfalls aus mehreren Stufen (Tt1, Tt2, Tt3) bestehen, die von der Mitte des Leistungshalbleiterbauelementes (Tg) aus zu einem Rand von diesem in dem Spalt zwischen zwei Zellen (T2, T3) gelegen sind.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schutzanordnung für ein aus wenigstens zwei bzw. mehreren Zellen bestehendes Leistungshalbleiterbauelement gegen Überstrom und Übertemperatur, umfassend einen Stromsensor aus einem Strom-Sensetransistor und eine in der Sourceleitung des Sensetransistors liegende Sensewiderstandseinrichtung und einen Temperatursensor. Unter mehreren Zellen sind wenigstens zwei Zellen zu verstehen. Rein beispielsweise können es drei Zellen sein.
  • Im einzelnen ist aus der US 4 931 844 eine Messanordnung bekannt, die auch als Schutzanordnung gegen Überströme und/oder Übertemperaturen für ein aus mehreren Zellen bestehendes Leistungshalbleiterbauelement verwendet werden kann. Diese bekannte Messanordnung umfasst einen Stromsensor aus einem Strom-Sensetransistor und einer in dessen Sourceleitung liegenden Sensewiderstandseinrichtung sowie einen zweiten Sensor, der in Kombination mit dem Stromsensor als ein Temperatursensor verwendet wird.
  • Bekanntlich müssen in zahlreichen Anwendungsfällen Leistungshalbleiterbauelemente gegen Überstrom und Übertemperatur sowie gegebenenfalls auch gegen Überspannung geschützt werden, um ihre Zerstörung durch einen Durchbruch zu verhindern. Zur Verwirklichung einer solchen Schutzanordnung werden so ein Stromsensor, ein Temperatursensor, gegebenenfalls ein Spannungssensor und eine Ansteuerschaltung benötigt.
  • In 1 ist eine herkömmliche Schutzanordnung dargestellt. Ein Spannungssensor 1, ein Temperatursensor 2 und ein Stromsensor 3 sind mit einer Ansteuerschaltung 4 verbunden, die ihrerseits an ein zu schützendes Leistungshalbleiterbauele ment 5 angeschlossen ist. Der Spannungssensor 1 ermittelt die am Leistungshalbleiterbauelement 5 auftretende Spannung, während der Temperatursensor 2 möglichst die maximale Temperatur des Leistungshalbleiterbauelements 5 feststellt und der Stromsensor 3 zur Messung des durch das Leistungshalbleiterbauelement 5 geschickten Stromes dient. Die Ausgangssignale der Sensoren 1 bis 3 werden von der Ansteuerschaltung 4 ausgewertet, um bei Überschreiten bestimmter Grenzen ein Abschalten des Leistungshalbleiterbauelements 5 oder eine Leistungsbegrenzung durch analoge Regelung zu bewirken, so dass dessen Zerstörung verhindert wird.
  • Im Einzelnen ist das Zusammenwirken der drei Sensoren 1 bis 3 im zeitlichen Verlauf von großer Bedeutung, um das Leistungshalbleiterbauelement 5 bei allen denkbaren thermodynamischen Vorgängen sicher schützen zu können.
  • Damit eine Zerstörung des Leistungshalbleiterbauelementes zuverlässig vermieden wird, ist es erforderlich, dass dieses Leistungshalbleiterbauelement theoretisch zu jeder Zeit, also insbesondere auch bei schnellen dynamischen Vorgängen, im so genannten "sicheren Arbeitsbereich", auch SOA genannt (SOA = Safe Operation Area), betrieben wird.
  • Dieser SOA soll im Folgenden anhand der 2 näher erläutert werden. In 2 ist der Strom i durch ein Leistungshalbleiterbauelement in Abhängigkeit von der an diesem liegenden Spannung U dargestellt.
  • In einem Bereich a von niederen Spannungen, wie diese beispielsweise zwischen Drain und Source eines Transistors auftreten, wird der SOA in der Regel durch den maximalen Strom begrenzt, den die Bondung des Gehäuses des Bauelements aushält. Bei mittleren Spannungen in einem Bereich b ist primär die im Leistungshalbleiterbauelement herrschende Temperatur der begrenzende Faktor, wobei hier die Leistung, also das Produkt aus Strom und Spannung, nahezu konstant ist, so dass der Wärmewiderstand im Leistungshalbleiterbauelement relevant ist. Mit weiter ansteigender Spannung in einem Bereich c muss schließlich die Leistung reduziert und letztlich auf null gefahren werden, um Durchbrüche zu verhindern.
  • Bei einer dynamischen Betrachtung des Leistungshalbleiterbauelementes müssen die thermischen Eigenschaften besonders berücksichtigt werden. Das heißt, die SOA-Begrenzungslinie muss deshalb von einer Schutzanordnung mit steigender Temperatur im Bereich des Leistungshalbleiterbauelementes dynamisch zu niedrigeren Werten verschoben werden. Mit anderen Worten, mit steigender Temperatur T geht die SOA-Begrenzungslinie von einem Verlauf A in einen Verlauf B und weiter in einen Verlauf C über. Entsprechend können sich auch die Grenzen zwischen den Bereichen a, b und c geringfügig ändern.
  • In der Praxis ergeben sich nun häufig Probleme mit einer zuverlässigen Erfassung und richtigen Verknüpfung der für die SOA-Festlegung wesentlichen Eingangsgrößen Strom (Bereich a), Temperatur (Bereich b), Spannung (Bereich c) und – bei dynamischer Betrachtung – Zeit. Insbesondere ist es schwierig, bei hohen Leistungsdichten und schnellen Änderungen der Verlustleistung in einem Leistungshalbleiterbauelement dessen Spitzentemperatur, die oft durch die wirkliche Chiptemperatur gegeben ist, zu erfassen. Außerdem ist es nur schwer möglich, den Gesamtstrom durch das Leistungshalbleiterbauelement dynamisch präzise zu messen. Darüber hinaus ist es mit den derzeit gebräuchlichen Anordnungen nicht möglich, zu jeder Zeit die genaue Leistungsverteilung in einem aus zahlreichen Zellen bestehenden Leistungshalbleiterbauelement, insbesondere Leistungstransistor, zu überwachen, damit lokale Überhitzungen, so genannte "hot spots" ("Heiße Stellen") vermieden werden, welche sonst zu einer unmittelbaren Zerstörung der betreffenden Zellen führen würden.
  • Bisher werden Strom-Senseeinrichtungen vorzugsweise aus Sensewiderständen realisiert, die von dem Gesamtstrom durch flossen werden, welcher auch durch das Leistungshalbleiterbauelement geführt ist. Es wurde aber auch schon daran gedacht, beispielsweise bei einem MOS-Leistungstransistor als Leistungshalbleiterbauelement bestimmte Teile, also einzelne Zellen, als Sensezellen auszulegen und aus diesen vorzugsweise eine Stromspiegelschaltung aufzubauen, mit der dann der durch diese Sensezellen fließende Strom als Maß für den Gesamtstrom ermittelt wird. Bei derartigen Lösungen hat sich aber gezeigt, dass die Genauigkeit, mit der solche Strom-Senseeinrichtungen den Strom durch ein Leistungshalbleiterbauelement messen, unbefriedigend sein kann. Auch ist hier das Temperaturverhalten nicht unkritisch, da solche einzelne Zellen für die Ermittlung von "hot spots" nicht zuverlässig sind. Dies gilt insbesondere bei hohen Spannungen und hohen Leistungsdichten, da dann die Temperaturgradienten groß sind. Moderne MOS-Transistoren neigen insbesondere im abgeregelten Zustand zur Bildung von "hot spots".
  • Ähnliche Überlegungen können auch für Spannungssenseeinrichtungen angestellt werden.
  • Bestehende Schutzanordnungen weisen Temperaturmesseinrichtungen beispielsweise in der Form von auf dem Chip des Leistungshalbleiterbauelementes aufgebrachten Zusatzchips oder entsprechenden Sensoren auf. So ist es beispielsweise möglich, Temperatursensetransistoren in der Nähe eines Leistungstransistors als Leistungshalbleiterbauelement vorzusehen.
  • Um nun eine Spitzentemperatur möglichst gut erfassen zu können, sollte beispielsweise ein Sensetransistor in einen Leistungstransistor hinein verlegt sein. Optimal wäre hier eine Lösung, bei welcher jeder Zelle eines Leistungstransistors ein integrierter Sensetransistor als Temperaturschutz zugeordnet ist. Durch entsprechendes Aufteilen eines Leistungstransistors in zahlreiche Zellen und Einfügen von Sensoren in diese Zellen kann so eine sehr gut arbeitende Schutzanordnung geschaffen werden.
  • Bei einem zu hohen Anstieg der Temperatur in den Zellen eines Leistungstransistors muss außerdem dafür gesorgt werden, dass die Leistung, die im Leistungshalbleiterbauelement verbraucht wird, dynamisch zurückgeregelt wird, um so eine Zerstörung des Leistungshalbleiterbauelementes zu verhindern.
  • Insgesamt gibt es so bisher keine Schutzanordnung für ein aus wenigstens zwei Zellen bestehendes Leistungshalbleiterbauelement, welche zuverlässig und mit geringem Aufwand einen Betrieb sicher im SOA einzustellen vermag, um so eine Zerstörung des Leistungshalbleiterbauelementes durch lokale Überhitzung zu verhindern. Dies gilt insbesondere für als Endstufen eingesetzte Leistungshalbleiterbauelemente. Daher werden, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten, oft solche Endstufen und generell Leistungshalbleiterbauelemente überdimensioniert.
  • Es ist somit Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Schutzanordnung für ein aus wenigstens zwei Zellen bestehendes Leistungshalbleiterbauelement zu schaffen, welche zuverlässig einen Betrieb des Leistungshalbleiterbauelementes im SOA gewährleistet und so eine Zerstörung des Leistungshalbleiterbauelementes durch Überhitzung verhindert.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Schutzanordnung mit den Merkmalen des Patentanspruches 1 gelöst.
  • Der Sensetransistor ist also zwischen einer ersten Zelle und einer zweiten Zelle vorgesehen. Die Sensewiderstandseinrichtung weist wenigstens einen auf einer Zelle angebrachten Sensewiderstand auf. Schließlich ist der Temperatursensor entweder ebenfalls zwischen die erste und die zweite Zelle oder aber zwischen die zweite und eine dritte Zelle oder zwischen zwei weitere Zellen eingefügt.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Vorzugsweise besteht der Temperatursensor dabei aus mehreren Stufen, die jeweils an Stellen unterschiedlicher Temperatur angebracht sind.
  • Mit der erfindungsgemäßen Schutzanordnung kann sicher eine lokale Überhitzung eines Leistungshalbleiterbauelementes, wie beispielsweise eines Leistungstransistors, verhindert werden. Dabei ist eine effektive Ausnutzung der zur Verfügung stehenden Fläche des Leistungshalbleiterbauelementes gegeben. Eine monolithische Integration von Sensoren und Zellen des Leistungshalbleiterbauelementes ist möglich.
  • Zusammenfassend wird so bei der erfindungsgemäßen Schutzanordnung das Leistungshalbleiterbauelement, das beispielsweise eine Endstufe bildet, in wenigstens zwei Teile aufgeteilt, so dass wenigstens zwei Zellen des Leistungshalbleiterbauelementes, insbesondere des Leistungstransistors, vorliegen. Der Sensetransistor des Stromsensors wird dann zwischen diese Zellen eingebracht, also beispielsweise bei einer dreizelligen Ausführung zwischen die erste Zelle und die zweite Zelle. Weiterhin wird der Temperatursensor zwischen zwei Zellen vorgesehen, bei der dreizelligen Ausführung beispielsweise zwischen der zweiten Zelle und der dritten Zelle. Für die gestaffelte Meldung von verschiedenen Temperaturpegeln kann dabei der Temperatursensor in einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung aus mehreren Stufen bestehen, die jeweils an Stellen unterschiedlicher Temperatur angebracht sind. Generell können der Sensetransistor des Stromsensors und der Temperatursensor zwischen den gleichen Zellen, was insbesondere für die zweizellige Ausführung gilt, oder zwischen verschiedenen Zellen, was insbesondere für die drei- und höherzellige Ausführung gilt, vorgesehen sein.
  • Neben den obigen Maßnahmen ist an der erfindungsgemäßen Schutzanordnung von besonderer Bedeutung, dass der Sensewiderstand des Stromsensors direkt über den besonders gefährdeten Strukturen des Leistungshalbleiterbauelementes angeordnet wird. Damit wird der Temperaturkoeffizient des Stromsensors von der Spitzen-Chiptemperatur der einzelnen Zellen direkt beeinflusst. Es kann ausreichend sein, gegebenenfalls auch nur einen Stromsensewiderstand vorzusehen.
  • Durch die Unterteilung der Leistungshalbleiteranordnung kann die Schutzanordnung in vorteilhafter Weise zwischen einzelnen Zellen des Leistungshalbleiterbauelementes vorgesehen werden. Besteht das Leistungshalbleiterbauelement beispielsweise aus einem Leistungstransistor, so werden als einzelne Zellen Teiltransistoren vorgesehen, deren Gate-Drain- und Sourceanschlüsse jeweils parallel geschaltet sind. Damit ist für diese Teiltransistoren eine Treiberschaltung ausreichend.
  • In einer anderen Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Sensewiderstand, der vorzugsweise in die Sourceleitung des Sensetransistors eingefügt ist, einen positiven Temperaturkoeffizienten aufweist. Der Spannungsabfall an dem Sensewiderstand dient dann der Strombegrenzung zur Regelung der Gate-Source-Spannung und damit der Drainströme der einzelnen Teiltransistoren des das Leistungshalbleiterbauelement bildenden Leistungstransistors.
  • Der Sensewiderstand wird mit einem geeigneten Prozess direkt über den einzelnen Zellen des Leistungshalbleiterbauelementes angebracht. Durch diese Lage des Sensewiderstandes ist sichergestellt, dass das thermodynamische Regelverhalten der Schutzanordnung sich als zuverlässig erweist.
  • Beispielsweise kann der Sensewiderstand in einer Verdrahtungsebene, die von der Power- bzw. Leistungs-Verdrahtungsebene verschieden ist, realisiert werden. Der Schichtwiderstand (Widerstand pro Quadrat) kann dann für den Sensewiderstand relativ hoch eingestellt werden, so dass kleine Strukturbreiten möglich sind. Damit lassen sich relativ hochohmige Strukturen des Sensewiderstandes bei optimaler Lage realisieren.
  • Als geeignetes Material für den Sensewiderstand kann beispielsweise Aluminium verwendet werden, wodurch der positive Temperaturkoeffizient gegeben ist.
  • Der Sensewiderstand kann optimal die Temperatur einer potentiell gefährdeten Zelle des Leistungshalbleiterbauelementes ertasten, da er direkt über den einzelnen Zellen angebracht ist.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 ein Blockschaltbild einer herkömmlichen Schutzanordnung,
  • 2 schematisch den SOA bei einem Leistungshalbleiterbauelement,
  • 3 eine schematische Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel der Erfindung,
  • 4 ein Schaltbild für einen Temperatursensor bei der erfindungsgemäßen Schutzanordnung und
  • 5 ein Schaltbild für einen Stromsensor aus einem Sensetransistor und einem in der Sourceleitung des Sensetransistors liegenden Sensewiderstand.
  • Die 1 und 2 sind bereits eingangs erläutert worden. Für einander entsprechende Bauteile werden in den Figuren jeweils die gleichen Bezugszeichen verwendet.
  • Bei der erfindungsgemäßen Schutzanordnung wird besonderes Gewicht auf den Temperatursensor und den Stromsensor gelegt, die auch hier – wie in 1 gezeigt ist – mit einer Ansteuerschaltung für das Leistungshalbleiterbauelement verbunden sind. Ein gegebenenfalls ebenfalls vorhandener Spannungssensor ist dann in der in 1 gezeigten Weise mit der Ansteuerschaltung verbunden. Ein Spannungssensor wird immer dann zweckmäßigerweise in der Schutzanordnung vorgesehen werden, wenn das Leistungshalbleiterbauelement auch im Grenzbereich zwischen den Gebieten b und c (vgl. 2) betrieben wird.
  • Im Folgenden wird daher speziell erläutert, wie bei der erfindungsgemäßen Schutzanordnung der Temperatursensor 2 und der Stromsensor 3 in dem Leistungshalbleiterbauelement angeordnet sind.
  • Zunächst zeigt 3 in einer Draufsicht einen Leistungstransistor Tg aus drei Transistorzellen T1, T2, T3 als Beispiel für ein Leistungshalbleiterbauelement in einer Endstufe. Die Zellen oder Teiltransistoren T1, T2 und T3 sind in üblicher Weise miteinander verschaltet. Das heißt, die Sourceanschlüsse, Drainanschlüsse und Gateanschlüsse der Zellen T1, T2 und T3 sind jeweils miteinander parallel geschaltet. Source der Transistorzelle T1 ist also mit Source der Transistorzelle T2 und Source der Transistorzelle T3 verbunden. Gleiches gilt für Drain und Gate dieser Transistorzellen.
  • Es sei angemerkt, dass bei der erfindungsgemäßen Schutzanordnung selbstverständlich auch mehr als zwei oder drei Zellen miteinander verbunden sein können. Die Erfindung ist also keineswegs auf eine Schutzanordnung mit nur zwei oder drei Zellen beschränkt. Vielmehr können beispielsweise auch vier, fünf oder mehr Zellen vorgesehen werden. In diesem Fall sind dann gegebenenfalls mehrere Stromsensoren und Temperatursensoren zwischen den einzelnen Zellen vorgesehen.
  • Die Ausführung mit nur zwei Zellen – beispielsweise fehlt dann die Zelle T1 – stellt die preiswerteste, aber auch die Lösung mit der geringsten Performance dar. Der Grund hierfür liegt in dem breiteren Zwischenraum zwischen den beiden Zellen, der benötigt wird, um beide Sensoren für Strom und Temperatur dort unterzubringen. Um diesen breiteren Zwischenraum zu vermeiden, wäre es auch möglich, den Sensetransistor des Stromsensors über die halbe Breite auszulegen und den verbleibenden Platz für den Temperatursensor zu nutzen.
  • Im Ausführungsbeispiel von 3 mit drei Zellen T1, T2 und T3 ist nun erfindungsgemäß im Spalt zwischen der Transistorzelle T1 und der Transistorzelle T2 in voller Breite ein Stromsensetransistor Ts eingefügt. Auf diese Weise kann ein Stromübersetzungsfehler durch unterschiedliche Temperaturen in dem Spalt weitgehend vermieden werden.
  • Es hat sich gezeigt, dass nur bei sehr hohen Pulsleistungen des Leistungshalbleiterbauelementes eine nennenswerte Abweichung zwischen dem durch den Stromsensetransistor Ts gemessenen Strom und dem tatsächlichen Strom durch das Leistungshalbleiterbauelement, also ein Messfehler des Gesamtstromes, auftritt. Damit aber auch dann ein Schutz durch die Schutzanordnung gegeben ist, muss der Temperaturkoeffizient der Strombegrenzung durch die Chiptemperatur der gefährdeten Zellen selbst beeinflusst werden.
  • Zu diesem Zweck wird in die Sourceleitung des Sensetransistors Ts ein Widerstand Rs mit einem positiven Temperaturkoeffizienten eingefügt. Der Spannungsabfall an diesem Widerstand Rs dient der Strombegrenzung zur Regelung der Gate-Source-Spannung und damit der Drainströme der einzelnen Transistorzellen T1, T2, T3. Dieser Stromsensewiderstand Rs kann mit einem geeigneten Prozess direkt über den einzelnen Zellen T1, T2 und T3 angebracht werden.
  • In zahlreichen Anwendungsfällen kann es ausreichend sein, wenn nur eine Transistorzelle, also die Zelle T1 oder die Zelle T2 oder die Zelle T3 mit einem Stromsensewiderstand Rs versehen wird. Jedenfalls kann durch die Lage und die örtliche Ausdehnung des Stromsensewiderstandes Rs das thermodynamische Regelverhalten des gesamten Leistungshalbleiterbauelementes Tg eingestellt bzw. optimiert werden.
  • Im Ausführungsbeispiel von 3 ist ein Stromsensetransistor Ts vorgesehen, in dessen Sourceleitung die einzelnen Stromsensewiderstände Rs zueinander parallel sind. Dabei liegen die drei Stromsensewiderstände Rs parallel zueinander in der Sourceleitung des Stromsensetransistors Ts, der seinerseits parallel zur Gate-Source-Strecke des das Leistungshalbleiterbauelement bildenden Leistungstransistors Tg aus den drei Transistorzellen T1, T2 und T3 geschaltet ist. 5 zeigt die entsprechende Schaltung für die Stromsensewiderstände Rs in der Sourceleitung des Stromsensetransistors Ts, der seinerseits mit dem Leistungstransistor Tg verbunden ist.
  • Nachdem zunächst der Stromsensor näher erläutert wurde, soll im Folgenden auf den Temperatursensor eingegangen werden.
  • Mit dem Stromsensor und gegebenenfalls einem Spannungssensor ist das Leistungshalbleiterbauelement grundsätzlich bei tiefen und mittleren Temperaturen im Wesentlichen abgesichert. Steigt jedoch die Temperatur des Leistungshalbleiterbauelementes weiter an, so muss ein Temperatursensor aktiviert werden. Bei schnellen Vorgängen, wie beispielsweise bei einer Überlast durch Kurzschluss an einer Endstufe, steigt die Verlustleistung stark an. Ein dann auftretender großer Temperaturgradient vom Bereich des Zentrums des Leistungshalbleiterbauelementes zu dessen Rand macht es in diesen Situationen unmöglich, mit nur einem Temperatursensor, der außerhalb der Oberfläche des Leistungshalbleiterbauelementes bzw. außerhalb der Endstufenfläche angeordnet ist, diese kritische Übertemperatur zuverlässig zu erfassen.
  • Erfindungsgemäß wird daher zwischen zwei weiteren Zellen, im Ausführungsbeispiel der 3 zwischen der Transistorzelle T2 und der Transistorzelle T3, noch ein Temperatursensor Tt eingefügt. Dieser Temperatursensor Tt kann dabei aus mehreren Stufen Tt1, Tt2, Tt3 bestehen. Selbstverständlich können dabei auch mehr als drei Stufen oder aber auch nur eine oder zwei Stufen vorgesehen sein. Beim Ausführungsbeispiel der 3 sind zur Veranschaulichung drei Stufen gewählt.
  • Die Temperatursensorstufe Tt1 ist vorzugsweise in der Mitte der Linie DE, also in der Mitte der Querschnittsfläche zwi schen den beiden Transistorzellen T2 und T3 gelegen. Damit kann die Temperatursensorstufe Tt1 die in der Mitte der Querschnittsfläche des Leistungshalbleiterbauelementes auftretende dynamische Spitzentemperatur erfassen.
  • Die weiteren Temperatursensorstufen Tt2 und Tt3 sind ausgehend von der mittleren Temperatursensorstufe Tt1 weiter zum Rand des Leistungshalbleiterbauelementes hin gelegen. Damit ist es möglich, mit der Reihe von Temperatursensorstufen Tt1, Tt2, ..., Ttn eine gestaffelte Temperaturschutzschaltung aufzubauen, mit der der Temperaturgradient im Inneren des Leistungshalbleiterbauelementes festgestellt werden kann, so dass insgesamt eine thermische Schutzanordnung mit "Vorwarnung" entsteht, die bei Auftreten bestimmter Temperaturgradienten bzw. hoher Spitzentemperaturen mittels der Ansteuerschaltung das Leistungshalbleiterbauelement abzuschalten vermag.
  • Die Flächen der Transistorzellen T1, T2, T3, die an den Stromsensor Ts bzw. den Temperatursensor Tt angrenzen, sollten so gewählt sein, dass der auftretende Temperaturgradient zur Mitte dieser Transistorzellen hin ausreichend klein bleibt.
  • Bei einer zweizelligen Ausführung kann beispielsweise die Zelle T1 weggelassen werden. Ein Stromsensetransistor Ts' liegt dann im verbleibenden Platz zwischen der zweiten Zelle T2 und der dritten Zelle T3. Bei einer höherzelligen Ausführung kann der Stromsensetransistor beispielsweise zwischen der ersten und der zweiten Zelle liegen, während der Temperatursensor zwischen der dritten und der vierten Zelle vorgesehen ist.
  • 4 veranschaulicht, wie die Temperatursensorstufen Tt1, Tt2 und Tt3 des Ausführungsbeispiels von 3 miteinander verschaltet sind. In diesem Beispiel bestehen die Temperatursensorstufen Tt1, Tt2 und Tt3 jeweils aus npn-Transistoren, deren Basis-Emitter-Strecke mit einer Konstantspannungsquelle 6 vorgespannt ist. Diese Transistoren sind an ihren Basis- und Emitteranschlüssen jeweils parallel geschaltet. Damit kann der jeweilige Kollektorstrom zur Bestimmung der Temperatur, die am Ort des zugehörigen Transistors herrscht, herangezogen werden. Anstelle von npn-Transistoren können selbstverständlich auch pnp-Transistoren oder Feldeffekttransistoren eingesetzt werden.
  • Wird beim Ausführungsbeispiel der 3 die Verlustleistung in den Transistorzellen T1, T2 und T3 gesteigert, so erreicht der Transistor der Temperatursensorstufe Tt1 als erster einen vorgegebenen Strompegel, wodurch eine Temperatur-Vorwarnung abgegeben wird. Steigt die Verlustleistung weiter an, werden nach und nach die Transistoren der an "kühleren" Stellen gelegenen Stufen Tt2 und Tt3 von der Mitte zum Rand des Chips des Leistungshalbleiterbauelementes hin den Strompegel erreichen.
  • Im einfachsten Fall ist es selbstverständlich möglich, nur eine Stufe für den Temperatursensor zur Übertemperaturabschaltung oder -regelung in der Mitte des Chips, also am Ort der Stufe Tt1 zu platzieren und auf die Stufen Tt2 und Tt3 zu verzichten.
  • Die Vorspannung für die Konstantspannungsquelle 6 kann in vorteilhafterweise aus einer am Leistungshalbleiterbauelement oder der zugehörigen integrierten Schaltung liegenden Spannung abgeleitet werden.
  • 1
    Spannungssensor
    2
    Temperatursensor
    3
    Stromsensor
    4
    Ansteuerschaltung
    5
    Leistungshalbleiterbauelement
    6
    Konstantspannungsquelle
    a
    durch Bonddrähte strombegrenztes Gebiet
    b
    durch Wärmewiderstand leistungsbegrenztes
    Gebiet
    c
    durch Durchbruch spannungsbegrenztes Gebiet
    T
    Temperatur
    A
    SOA-Grenze bei niedriger Temperatur
    B
    SOA-Grenze bei mittlerer Temperatur
    C
    SOA-Grenze bei hoher Temperatur
    i
    Strom
    U
    Spannung
    Tg
    gesamtes Leistungshalbleiterbauelement
    T1, T2, T3
    Transistorzellen
    Ts, Ts'
    Stromsensetransistor
    Rs
    Stromsensewiderstand
    Tt
    Temperatursensor
    Tt1, Tt2, Tt3
    Temperatursensorstufen

Claims (14)

  1. Schutzanordnung für ein aus wenigstens zwei Zellen (T1, T2, T3) bestehendes Leistungshalbleiterbauelement (Tg) gegen Überstrom und Übertemperatur, umfassend einen Stromsensor (3) aus einem Strom-Sensetransistor (Ts) und einer in der Sourceleitung des Sensetransistors (Ts) liegenden Sensewiderstandseinrichtung (Rs) und einen Temperatursensor (Tt), bei der: – der Sensetransistor (Ts) zwischen einer ersten Zelle (T1) und einer zweiten Zelle (T2) vorgesehen ist, – die Sensewiderstandseinrichtung (Rs) wenigstens einen auf einer Zelle (T1, T2 oder T3) angebrachten Sensewiderstand (Rs) aufweist, und – der Temperatursensor (Tt) entweder ebenfalls zwischen die erste und die zweite Zelle oder aber zwischen die zweite und eine dritte Zelle (T2, T3) oder zwischen zwei weitere Zellen eingefügt ist.
  2. Schutzanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (Tt) aus mehreren Stufen (Tt1, Tt2, Tt3) besteht, die jeweils an Stellen unterschiedlicher Temperatur angebracht sind.
  3. Schutzanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensetransistor (Ts) in einem Spalt zwischen den wenigstens zwei Zellen (T1, T2) vorgesehen ist.
  4. Schutzanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (Tt) in einem Spalt zwischen den wenigstens zwei Zellen (T1, T2; T2, T3) vorgesehen ist.
  5. Schutzanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensewiderstand (Rs) einen positiven Temperaturkoeffizienten aufweist.
  6. Schutzanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensewiderstand (Rs) direkt auf den Zellen (T1, T2, T3) des Leistungshalbleiterbauelementes (Tg) aufgebracht ist.
  7. Schutzanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (Tt) aus einem npn-Transistor oder einem pnp-Transistor gebildet ist, der jeweils eine Stufe (z. B. Tt1) des Temperatursensors bildet.
  8. Schutzanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste Stufe (Tt1) des Temperatursensors (Tt) an einer Stelle größter Erwärmung des Leistungshalbleiterbauelementes (Tg) vorgesehen ist.
  9. Schutzanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Leistungshalbleiterbauelement (Tg) ein Leistungstransistor ist.
  10. Schutzanordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Stufen (Tt1, Tt2, Tt3) des Temperatursensors (Tt) ein Temperatur-Vorwarnsystem bilden.
  11. Schutzanordnung nach einem der Ansprüche 7, 8 und 10, dadurch gekennzeichnet, dass die npn-Transistoren an ihrer Basis-Emitter-Strecke mit einer Konstantspannungsquelle (6) vorgespannt und basis- sowie emitterseitig parallel geschaltet sind.
  12. Schutzanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensewiderstand (Ts) in einer Metallisierungsebene realisiert ist.
  13. Schutzanordnung nach den Ansprüchen 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (Tt) und der Sensetransistor (Ts') im gleichen Spalt untergebracht sind.
  14. Schutzanordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Temperatursensor (Tt) und der Sensetransistor (Ts') jeweils etwa über die Hälfte der Ausdehnung des Spalts erstrecken.
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