DE102004047135A1 - Temperfähiges Schichtsystem und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Temperfähiges Schichtsystem und Verfahren zu seiner Herstellung Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004047135A1 DE102004047135A1 DE200410047135 DE102004047135A DE102004047135A1 DE 102004047135 A1 DE102004047135 A1 DE 102004047135A1 DE 200410047135 DE200410047135 DE 200410047135 DE 102004047135 A DE102004047135 A DE 102004047135A DE 102004047135 A1 DE102004047135 A1 DE 102004047135A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- selective
- temperable
- layer system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3694—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer having a composition gradient through its thickness
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/027—Graded interfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
- C23C14/352—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using more than one target
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31652—Of asbestos
- Y10T428/31663—As siloxane, silicone or silane
Abstract
Description
- Die Erfindung betrifft ein temperfähiges Schichtsystem mit einem transparenten Substrat, vorzugsweise mit einem Glassubstrat und einer ersten Schichtenfolge, die auf dem Substrat direkt oder auf einer oder mehreren Unterschichten, die auf dem Substrat abgeschieden sind, aufgebracht ist. Die Schichtenfolge beinhaltet eine substratseitige Blockerschicht, eine selektive Schicht und eine substratferne Blockerschicht.
- Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines temperfähigen Schichtsystems, bei dem auf ein transparentes Substrat, vorzugsweise auf ein Glassubstrat eine erste Schichtenfolge, entweder auf dem Substrat direkt oder auf einer oder mehreren Unterschichten, die auf dem Substrat abgeschieden sind, aufgebracht wird. Die Schichtenfolge enthält dabei eine substratseitige Blockerschicht, eine selektive Schicht und eine substratferne Blockerschicht.
- Die üblichen Blockerschichten, die Silberschicht(en) einschließen, (z.B. eine NiCr- oder NiCrOx- Schicht, Patente
DE 035 43 178 ,EP 1 174 379 ) oder zumindest einseitig schützen, führen zu einer Verringerung der Leitfähigkeit der Silberschicht(en). Wird eine Silberschicht mit einer Leitfähigkeit von ca. 5 Ohm/Sq. abgeschieden und diese in zwei NiCrOx- Schichten eingebettet, so kann diese Einbettung zu einer Erhöhung der Leitfähigkeit um ca. 1,5 Ohm/Sq. auf 6,5 Ohm/Sq führen. - In der
EP 0 999 192 B1 ist ein Schichtsystem beschrieben, das eine Silberschicht als selektive Schicht enthält, die beidseitig mit einer Blockerschicht aus Nickel oder Nickelchrom versehen ist. Diese Blockerschichten schützen die empfindliche Silberschicht vor dem Einfluss benachbarter Schichten. Dabei wird durch das Einfügen einer NiCrOx- Schicht in die funktionale Silberschicht bei einem Single-Low-e das Schichtsystem bei der Wärmebehandlung stabilisiert. Der Nachteil besteht darin, dass bei diesem Schichtsystem jede einzelne Silberteilschicht ca. 7–8 nm dick sein muss, um die Inselbildung der Silberteilschichten zu vermeiden. Dies führt zu einer niedrigen Transmission des Schichtsystems. Weiterhin wird inEP 0 999 192 B1 der Einsatz einer unterstöchiometrischen TiOx- Schicht zwischen dem Blocker- und der Silberschicht beschrieben, welche die Hazebildung reduzieren soll. Diese absorbierende TiOx- Schicht oxidiert bei der Wärmebehandlung, wobei es zu wesentlichen Veränderungen der Transmission und einer Verschiebung des voreingestellten Farbortes kommt. - Bei dieser Lösung sind auch mehrere Schichtenfolgen aus sensitiven Silberschichten mit Unterschichten und jeweils zwei die jeweilige Silberschicht einschließenden Blockerschichten vorgesehen.
- In der Praxis werden häufig temperfähige Schichten gefordert, das heißt solche Schichten, die nach dem Aufbringen noch einmal einer Wärmebehandlung unterzogen werden, beispielsweise um sie zu härten oder zu biegen. Die in der
EP 099 192 B1 - In der
EP 1238 950 A2 ist ein temperfähiges Schichtsystem beschrieben, das beiderseits einer Silberschicht als sensitive Schicht NiCrOx-Schichten als Blockerschichten vorsieht. Weiterhin sind in diesem Schichtsystem dielektrische Zwischenschicht vorgesehen, die sich jeweils unter und über den Blockerschichten befinden. Derartige Schichten wirken auch während der Temperprozesse als Diffusionsperre. - Weiterhin ist in der
EP 1 238 950 die Anwendung von Gradientenschichten bei der Stabilisierung von wärmebehandelbaren Schichtsystemen beschrieben. Der Nachteil hierbei besteht darin, dass die SiNx- Schicht unterhalb der Blockerschicht liegt, wodurch sich der Widerstand und damit die Emissivität des Schichtsystem nicht verringert. - ES hat sich gezeigt, dass derartige Schichtaufbauten sensibel sind für klimatische Bedingungen, so dass diese Schichtsysteme bei anspruchsvollen klimatischen Bedingungen nicht mit einer ausreichenden Qualität oder Ausbeute hergestellt werden können. Auch bei Rohglas mit undefinierten Ausgangszuständen zeigt dieses Schichtsystem Qualitätsprobleme bei der Fertigung.
- Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Schichtsystem und ein Verfahren zu seiner Herstellung anzugeben, das bei anspruchsvollen klimatischen Bedingungen und/oder undefinierten Zuständen bei dem Glassubstrat eine ausreichende Qualität sichert. Es ist weiterhin Aufgabe der Erfindung, eine Beschichtung eines Substrates mit einem wärmebehandelbaren Schichtsystem zu ermöglichen, wobei bei der Wärmebehandlung (Tempern, Biegen) der Farbort des Schichtsystems weitgehend stabil gehalten werden kann und bei einer niedrigen Emissivität des Schichtsystems der Farbort in einer großen Vielfalt variiert werden kann.
- Die Erfindung wird durch ein Schichtsystem mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Die Unteransprüche 2 bis 15 zeigen besonders günstige Ausgestaltungen diesen Schichtsystemes.
- Insbesondere durch ein Gradientenaufbau der dielektrischen Zwischenschicht kann die Haftfestigkeit der Schichtenfolge erheblich verbessert werden, so dass Herstellungsprozesse bei anspruchsvollen klimatischen Bedingungen oder bei einem Substrat, vorzugsweise aus Rohglas mit undefinierten Ausgangsbedingungen, was zu Haftungsproblemen bei den Schichten geführt hat, besser zu beherrschen sind. Auch kann auf diese Weise die Degradation der Silberschicht bei der Wärmbehandlung verhindert werden.
- Die Aufgabe wird auch durch eine erfindungsgemäßes Verfahren gemäß den Kennzeichen des Anspruches 17 gelöst. Die Unteransprüche 17 bis 25 geben hierzu besonders günstige Ausgestaltungen an.
- Die Erfindung soll nachfolgend anhand dreier Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigt
-
1 ein temperfähiges Schichtsystem mit einer Silber-(Ag)-Schicht als selektive Schicht und einer dielektrischen Zwischenschicht -
2 ein temperfähiges Schichtsystem mit zwei Ag-Schichten und je einer dielektrischen Zwischenschicht, -
3 ein temperfähiges Schichtsystem mit zwei Ag-Schichten und je zwei dielektrischen Zwischenschichten und -
4 eine schematische Darstellung eines Teiles einer Beschichtungsanlage zur Realisierung des erfindungsgemäßen Schichtsystems. - Wie in
1 dargestellt, ist ein Glassubstrat1 mit einer Unterschicht2 aus TiO2 versehen. Darauf abgeschieden ist eine erste Blockerschicht3 aus NiCrOx. Da die Unterschicht2 bereits Eigenschaften einer Blockerschicht aufweist, kann gegebenenfalls die erste Blockerschicht3 auch entfallen, was durch die Klammersetzung kenntlich gemacht wird. - Darauf folgt eine erste dielektrische Zwischenschicht
4 . Diese erste dielektrische Zwischenschicht4 ist als Gradientenschicht abgeschieden, das heißt sie geht innerhalb der Schichtdicke von einer stöchiometrischen Schicht ZnAlO in eine unterstöchiometrische Schicht ZnAlOx über. Dabei ist der Gradient von ZnAlO zu ZnAlOx immer in Richtung der nachfolgenden Ag-Schicht als erste selektive Schicht5 gerichtet. Das bedeutet, dass der unterstöchiometrischen Teil der dielektrischen Zwischenschicht4 in der Nähe der ersten selektiven Schicht5 liegt. - Die erste selektive Schicht
5 ist anschließend mit einer zweiten Blockerschicht6 versehen. Darauf folgen dann eine erste Abschlussschicht7 aus SnO2 und eine zweite Abschlussschicht8 aus Si3N4. - Die Erzeugung der Gradientenschicht geschieht derart, dass innerhalb eines Beschichtungskompartments oder innerhalb eines Rezipienten, durch das oder den das Substrat in einer Bewegungsrichtung hindurchbewegt wird, in Bewegungsrichtung zwei Magnetrons mit jeweils dem gleichen Targetmaterial ZnAl angeordnet sind. Zunächst wird der stöchiometrische Teil der ersten dielektrische Teilschicht
4 über das in Transportrichtung liegende erste Magnetron abgeschieden. Danach durchläuft das Substrat1 den Bereich unter dem zweiten Magnetron, bei dem der unterstöchiometrische Teil der ersten dielektrischen Zwischenschicht dadurch abgeschieden wird, dass – während in dem Pumpkompartment der gleiche Reaktivgasdruck herrscht – das zweite Magnetron mit einer größeren Leistung betrieben wird, wodurch sich ein unterstöchiometrisches Verhältnis in dem Teil der ersten dielektrischen Zwischenschicht4 einstellt. Da damit auch eine größere Sputterrate verbunden ist, kann das zweite Magnetron mit einer Blende zwischen dem Target und dem Substrat versehen werden, die eine geringere Öffnung aufweist als eine Blende zwischen dem Target des ersten Magnetrons und dem Substrat. Damit können die Dickenverhältnisse der stöchiometrischen und unterstöchiometrischen Teilschichten trotz der unterschiedlichen Leistungen an den Magnetronen und damit der unterschiedlichen Sputterraten eingestellt werden. - Eine andere Möglichkeit der Herstellung besteht darin, das erste Magnetron in einem separaten Rezipienten anzuordnen oder das Kompartment in zwei separate Teilkompartments zu teilen und für jedes Magnetron ein gesonderte Reaktivgasumgebung vorzusehen. Damit kann bei dem unterstöchiometrischen Teil der ersten dielektrischen Zwischenschicht
4 mit einer geringeren Reaktivzufuhr gefahren werden. - In
2 ist ein temperfähiges Schichtsystem dargestellt, bei dem auf die erste Schichtfolge9 , bestehend aus erster Blockerschicht3 , erster dielektrischer Zwischenschicht4 , erster selektiver Schicht5 , zweiter Blockerschicht6 und erster Abschlussschicht7 als eine zweite Schichtfolge10 mit einer zweiten selektiven Schicht14 , einer dritten Blockerschicht12 und einer dritten dielektrischen Schicht11 ein zweites Mal angeordnet ist. - In
3 ist ein ähnliches temperfähiges Schichtsystem beschrieben wie in2 , mit dem Unterschied, dass zwischen der ersten selektiven Schicht5 und der zweiten Blockerschicht eine zweite dielektrische Zwischenschicht13 und zwischen der zweiten selektiven Schicht14 und der vierten Blockerschicht15 eine vierte dielektrische Schicht16 . - In
4 ist in schematischer Darstellung ein Teil einer Beschichtungsanlage dargestellt, die dem Aufbau eines erfindungsgemäßen Schichtsystems dient. - In dieser Beschichtungsanlage sind die Substrate
1 in einer Transportrichtung17 durch die einzelnen Beschichtungsstation hindurch bewegbar, wobei eine Separation der einzelnen Stationen durch Strömungswiderstände18 oder Gasschleusen19 mit Strömungswiderständen18 realisiert wird. - Einer zweistufigen Ionenstrahlstation
20 folgt über eine Strömungswiderstand18 eine TiOx-Beschichtungsstation21 . An diese schließt sich über einen Stömungswiderstand18 eine erste NiCrOx-Beschichtungsstation22 an. Über einen weiteren Strömungswiderstand18 folgt ein erstes Beschichtungskompartment23 mit zwei Magnetron24 , die mit unterschiedlichen Leistungen betrieben werden, das linke der Magnetron24 mit einer geringeren Leistung als das rechte. Damit wird eine dielektrischen Zwischenschicht4 oder11 abgeschieden, wobei der unterstöchiometrische Teil der dielektrischen Zwischenschicht4 oder11 an der Ag-Schicht5 oder14 anliegt, die in einer über einen Strömungswiderstand18 angeschlossene Ag-Beschichtungsstation25 abgeschieden wird. Zur Erzeugung einer weiteren dielektrischen Zwischenschicht13 oder16 schließt sich ein zweites Beschichtungskompartment26 an, wobei hier linke der Magnetrons27 die höhere Leistung fährt als das rechte, im übrigen aber das zweite Beschichtungskompartment26 den analogen Aufbau aufweist, wie das erste23 . - Dem zweiten Beschichtungskompartment
26 schließt sich über einen Stömungswiderstand18 eine zweite NiCrOx-Beschichtungsstation28 an. Bis dahin konnten durch die Schichtengestaltung alle Stationen über Strömungswiderstände18 getrennt werden. Lediglich eine nachfolgende Sn-Beschichtungsstation29 wird über zwei Gasschleusen30 separiert, die ihrerseits beiderseits von Strömungswiderständen18 flankiert werden. - Diesen folgt eine Si:Al-Beschichtungsstation
31 -
- 1
- Glassubstrat
- 2
- Unterschicht
- 3
- erste Blockerschicht
- 4
- erste dielektrische Zwischenschicht
- 5
- erste selektive Schicht
- 6
- zweite Blockerschicht
- 7
- erste Abschlussschicht
- 8
- zweite Abschlussschicht
- 9
- erste Schichtfolge
- 10
- zweite Schichtfolge
- 11
- dritte dielektrische Zwischenschicht
- 12
- dritte Blockerschicht
- 13
- zweite dielektrische Zwischenschicht
- 14
- zweite selektive Schicht
- 15
- vierte Blockerschicht
- 16
- vierte dielektrische Zwischenschicht
- 17
- Transportrichtung
- 18
- Strömungswiderstand
- 19
- Gasschleuse
- 20
- Ionenstrahlstation
- 21
- TiOx-Beschichtungsstation
- 22
- NiCrOx-Beschichtungsstation
- 23
- erstes Beschichtungskompartment
- 24
- Magnetron
- 25
- Ag-Beschichtungsstation
- 26
- zweites Beschichtungskompartment
- 27
- Magnetron
- 28
- zweite NiCrOx-Beschichtungsstation
- 29
- Sn-Beschichtungsstation
- 30
- Gasschleuse
- 31
- Si:Al-Beschichtungsstation
Claims (25)
- Temperfähiges Schichtsystem mit einem transparenten Substrat, vorzugsweise mit einem Glassubstrat und einer ersten Schichtenfolge, die auf dem Substrat direkt oder auf einer oder mehreren Unterschichten, die auf dem Substrat abgeschieden sind, aufgebracht ist und der eine substratseitige Blockerschicht, eine selektive Schicht und eine substratferne Blockerschicht beinhaltet, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der substratseitigen Blockerschicht (
3 ) und einer ersten selektiven Schicht (5 ) eine erste dielektrische Zwischenschicht (4 ) angeordnet ist. - Temperfähiges Schichtsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste dielektrische Zwischenschicht (
4 ) als in ihrer Schichtdicke zumindest teilweise unterstöchiometrische Schicht ausgebildet ist. - Temperfähiges Schichtsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste dielektrische Zwischenschicht (
4 ) als Oxidschicht ausgebildet ist. - Temperfähiges Schichtsystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die unterstöchiometrische Oxidschicht aus ZnAlOx, ZrOx oder NbOx besteht.
- Temperfähiges Schichtsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste dielektrische Zwischenschicht (
4 ) als Nitridschicht ausgebildet ist. - Temperfähiges Schichtsystem nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die unterstöchiometrische Nitridschicht aus SiNx oder AlNx besteht.
- Temperfähiges Schichtsystem nach Anspruch 3 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Zwischenschicht (
4 ) als Gradientenschicht ausgebildet ist, die mit einem Gradienten von einer stöchiometrischen zu einer unterstöchiometrischen Schicht übergeht, wobei der Gradient in Richtung erster selektiver Schicht (5 ) weist, das heißt der unterstöchiometrische Teil der Schicht auf der Seite der ersten selektiven Schicht (5 ) liegt. - Temperfähiges Schichtsystem nach Anspruch 3 oder 4 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Sauerstoffgehalt in Richtung erster selektiver Schicht (
5 ) abnimmt. - Temperfähiges Schichtsystem nach Anspruch 5 oder 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Stickstoffgehalt in Richtung erster selektiver Schicht (
5 ) abnimmt. - Temperfähiges Schichtsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass es eine Schichtenfolge aus TiO2- (
2 ), Blocker- (3 ), Gradienten- (4 ), selektiver- (5 ), Blocker- (6 ), SnO2- (7 ) und Si3N4-Schicht (8 ) aufweist. - Temperfähiges Schichtsystem nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten selektiven Schicht (
5 ) und der substratfernen Blockerschicht (6 ) eine zweite dielektrische Zwischenschicht (4 ) mit den Merkmalen einer ersten Zwischenschicht (4 ), jedoch nicht zwingend die selben Merkmale wie die erste Zwischenschicht (4 ) in der selben Schichtenfolge (9 ) aufweist. - Temperfähiges Schichtsystem nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der ersten Schichtenfolge (
9 ) direkt oder mit weiteren dazwischen liegenden Schichten eine zweite Schichtenfolge (10 ) mit den Merkmalen einer ersten Schichtenfolge (9 ), jedoch nicht zwingend mit den selben Merkmale wie die erste Schichtenfolge (9 ) in dem selben Schichtsystem angeordnet ist. - Temperfähiges Schichtsystem, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere selektive Schichten (
5 ;14 ) angeordnet sind, die jeweils eine erste (4 ) oder eine erste (4 ) und eine zweite dielektrische Zwischenschicht (13 ) zwischen der selektiven Schicht und der jeweiligen Blockerschicht aufweisen. - Temperfähiges Schichtsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass eine der selektiven Schichten (
5 ;14 ) aus einer Edelmetallschicht besteht. - Temperfähiges Schichtsystem nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Edelmetallschicht aus Silber besteht.
- Verfahren zur Herstellung eines temperfähigen Schichtsystems, bei dem auf ein transparentes Substrat, vorzugsweise auf ein Glassubstrat eine erste Schichtenfolge, entweder auf dem Substrat direkt oder auf einer oder mehreren Unterschichten, die auf dem Substrat abgeschieden sind, der eine substratseitige Blockerschicht, eine selektive Schicht und eine substratferne Blockerschicht enthält, abgeschieden wird, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Abscheiden der substratseitigen Blockerschicht (
3 ) eine erste dielektrische Zwischenschicht (4 ) und danach eine erste selektive Schicht (5 ) abgeschieden wird. - Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeihnet, dass die erste dielektrische Zwischenschicht (
4 ) als Gradientenschicht abgeschieden wird. - Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtabscheidung der Gradientenschicht mittels mittels aktiver Prozesskontrolle, wie Photoemossionsmonitoring (PEM), Reaktivgaspartialdruckregelung oder Lambdasondenverfahren stabilisiert wird.
- Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Abscheidung der Gradientenschicht durch physikalische Vakuumzerstäubung von zumindest zwei Targets unter einer geeigneten Beschichtungsatmosphäre erfolgt, dabei das Substrat relativ zur Beschichtungsquelle bewegt wird und die Parameter der Leistungseinspeisung der die Targets tragenden Magnetron-Kathoden (
24 ;27 ) voneinander abweichen, derart, dass die Beschichtung in einem Beschichtungskompartment (23 ;26 ) mittels zwei, jeweils ein Target tragenden Magnetron-Kathoden (24 ;27 ) erfolgt, indem gleichzeitig mittels des ersten Targets eine erste Teilschicht, im Übergangsbereich vom ersten zum zweiten Target eine Mischschicht und mittels des zweiten Targets eine zweite Teilschicht abgeschieden wird und dass die Leistungsregelung für jede Magnetron-Kathode (24 ;27 ) unabhängig erfolgt. - Verfahren nach der Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Energieversorgung der Magnetron-Kathoden (
24 ;27 ) mittels asymmetrisch gepulster, bipolar Stromversorgung erfolgt und für die Magnetron-Kathoden die Pulsung unabhängig voneinander variiert wird. - Verfahren nach Anspruch 19 oder 20 dadurch gekennzeichnet, dass eine Abschirmung zwischen den beiden Targets und dem Substrat durch zwei separate Blenden mit unabhängig voneinander einzustellender Blendenöffnung erfolgt.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung in zwei, innerhalb des Beschichtungskompartments unterteilten Teilkompartments mit jeweils einer mit einem Target bestückten Magnetron-Kathode (
24 ;27 ) erfolgt. - Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Prozessgaszufuhr für die Magnetron-Kathoden (
24 ;27 ) unabhängig voneinander betrieben wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer Magnetron-Kathode (
24 ;27 ) unabhängig von der Prozessgaszufuhr ein weiteres Inert- oder Reaktivgas zugeführt wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 24 der Abstand zwischen den Targets und dem Substrat unabhängig voneinander eingestellt wird.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004047135A DE102004047135B4 (de) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | Temperfähiges Schichtsystem und Verfahren zu seiner Herstellung |
CN200580032665XA CN101027258B (zh) | 2004-09-27 | 2005-09-21 | 可韧化层系统及其生产方法 |
PCT/DE2005/001660 WO2006034676A1 (de) | 2004-09-27 | 2005-09-21 | Temperfähiges schichtsystem und verfahren zu seiner herstellung |
US11/575,985 US8828194B2 (en) | 2004-09-27 | 2005-09-21 | Layer system that can be annealed and method for producing the same |
US12/842,497 US8367226B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-07-23 | Annealable layer system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004047135A DE102004047135B4 (de) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | Temperfähiges Schichtsystem und Verfahren zu seiner Herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004047135A1 true DE102004047135A1 (de) | 2006-04-06 |
DE102004047135B4 DE102004047135B4 (de) | 2011-08-18 |
Family
ID=35457490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004047135A Expired - Fee Related DE102004047135B4 (de) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | Temperfähiges Schichtsystem und Verfahren zu seiner Herstellung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8828194B2 (de) |
CN (1) | CN101027258B (de) |
DE (1) | DE102004047135B4 (de) |
WO (1) | WO2006034676A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008017723A1 (de) * | 2006-08-11 | 2008-02-14 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Temperbares solar control schichtsystem und verfahren zu seiner herstellung |
DE102008007981A1 (de) | 2008-02-07 | 2009-08-20 | Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg | Thermisch hoch belastbares Schichtsystem für transparente Substrate |
DE102010008115A1 (de) | 2010-02-15 | 2011-08-18 | Kramer & Best Process Engineering GmbH, 06188 | Beschichtung, insbesondere für Glas- oder Glasersatzsubstrate |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7342716B2 (en) | 2005-10-11 | 2008-03-11 | Cardinal Cg Company | Multiple cavity low-emissivity coatings |
US7901781B2 (en) * | 2007-11-23 | 2011-03-08 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Low emissivity coating with low solar heat gain coefficient, enhanced chemical and mechanical properties and method of making the same |
CN101654334B (zh) * | 2009-05-31 | 2011-11-30 | 江苏蓝星玻璃有限公司 | 离线浅绿色低辐射镀膜玻璃及其制备方法 |
CN102975415B (zh) * | 2012-12-05 | 2014-12-31 | 中山市创科科研技术服务有限公司 | 一种高抗氧化性的高透节能门窗基材 |
DE102014118878A1 (de) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | Von Ardenne Gmbh | Prozesskontrollverfahren und zugehörige Anordnung für die Herstellung eines Dünnschichtsystems |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4322276A (en) * | 1979-06-20 | 1982-03-30 | Deposition Technology, Inc. | Method for producing an inhomogeneous film for selective reflection/transmission of solar radiation |
US4761218A (en) * | 1984-05-17 | 1988-08-02 | Varian Associates, Inc. | Sputter coating source having plural target rings |
JPH02225346A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-07 | Central Glass Co Ltd | 熱線反射ガラス |
US5376455A (en) * | 1993-10-05 | 1994-12-27 | Guardian Industries Corp. | Heat-treatment convertible coated glass and method of converting same |
US5651865A (en) * | 1994-06-17 | 1997-07-29 | Eni | Preferential sputtering of insulators from conductive targets |
JP3390579B2 (ja) * | 1995-07-03 | 2003-03-24 | アネルバ株式会社 | 液晶ディスプレイ用薄膜の作成方法及び作成装置 |
JP3782608B2 (ja) * | 1998-05-22 | 2006-06-07 | キヤノン株式会社 | 薄膜材料および薄膜作成法 |
DE19850023A1 (de) * | 1998-10-30 | 2000-05-04 | Leybold Systems Gmbh | Wärmedämmendes Schichtsystem |
DE10100223A1 (de) * | 2000-01-07 | 2001-07-12 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Verfahren zum Beschichten eines Substrats und beschichteter Gegenstand |
EP1238950B2 (de) * | 2000-07-10 | 2014-08-27 | Guardian Industries Corp. | Wärmebehandelbare beschichtete Gegenstände mit niedriger Emissivität und Verfahren zu deren Herstellung |
US6576349B2 (en) * | 2000-07-10 | 2003-06-10 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable low-E coated articles and methods of making same |
US6887575B2 (en) * | 2001-10-17 | 2005-05-03 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with zinc oxide inclusive contact layer(s) |
US6667121B2 (en) * | 2001-05-17 | 2003-12-23 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with anti-migration barrier between dielectric and solar control layer portion, and methods of making same |
US6605358B1 (en) * | 2001-09-13 | 2003-08-12 | Guardian Industries Corp. | Low-E matchable coated articles, and methods |
US6936347B2 (en) * | 2001-10-17 | 2005-08-30 | Guardian Industries Corp. | Coated article with high visible transmission and low emissivity |
US6830817B2 (en) * | 2001-12-21 | 2004-12-14 | Guardian Industries Corp. | Low-e coating with high visible transmission |
US6749941B2 (en) * | 2002-03-14 | 2004-06-15 | Guardian Industries Corp. | Insulating glass (IG) window unit including heat treatable coating with silicon-rich silicon nitride layer |
US20040121165A1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-06-24 | Laird Ronald E. | Coated article with reduced color shift at high viewing angles |
DE10356357B4 (de) * | 2003-11-28 | 2010-05-06 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Wärmebehandelbares Sonnen- und Wärmeschutzschichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung |
AU2005216954B2 (en) * | 2004-02-25 | 2010-03-18 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Heat stabilized sub-stoichiometric dielectrics |
-
2004
- 2004-09-27 DE DE102004047135A patent/DE102004047135B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-09-21 US US11/575,985 patent/US8828194B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-21 CN CN200580032665XA patent/CN101027258B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-21 WO PCT/DE2005/001660 patent/WO2006034676A1/de active Application Filing
-
2010
- 2010-07-23 US US12/842,497 patent/US8367226B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008017723A1 (de) * | 2006-08-11 | 2008-02-14 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Temperbares solar control schichtsystem und verfahren zu seiner herstellung |
DE102008007981A1 (de) | 2008-02-07 | 2009-08-20 | Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg | Thermisch hoch belastbares Schichtsystem für transparente Substrate |
DE102008007981B4 (de) * | 2008-02-07 | 2009-12-03 | Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg | Thermisch hoch belastbares Schichtsystem für transparente Substrate und Verwendung zur Beschichtung eines transparenten flächigen Substrats |
DE102010008115A1 (de) | 2010-02-15 | 2011-08-18 | Kramer & Best Process Engineering GmbH, 06188 | Beschichtung, insbesondere für Glas- oder Glasersatzsubstrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006034676A1 (de) | 2006-04-06 |
US20100291393A1 (en) | 2010-11-18 |
US8367226B2 (en) | 2013-02-05 |
CN101027258B (zh) | 2012-04-25 |
US8828194B2 (en) | 2014-09-09 |
DE102004047135B4 (de) | 2011-08-18 |
US20080057319A1 (en) | 2008-03-06 |
CN101027258A (zh) | 2007-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE60209148T2 (de) | Beschichteter gegenstand mit verbesserter barriereschichtstruktur und verfahren zu dessen herstellung | |
WO2007101530A1 (de) | Infrarotsrahlung reflektierendes schichtsystem sowie verfahren zu seiner herstellung | |
WO2006034676A1 (de) | Temperfähiges schichtsystem und verfahren zu seiner herstellung | |
DE3941046C2 (de) | ||
DE60318632T2 (de) | Dünnfilmbeschichtung mit einer transparenten Grundierungsschicht | |
EP2179426B1 (de) | Mehrschichtsystem mit kontaktelementen und verfahren zum erstellen eines kontaktelements für ein mehrschichtsystem | |
WO2006134093A1 (de) | Semitransparente multilayer-elektrode | |
DE102014114330A1 (de) | Solar-Control-Schichtsystem mit neutraler schichtseitiger Reflexionsfarbe und Glaseinheit | |
WO2008017722A1 (de) | Temperbares, infrarotstrahlung reflektierendes schichtsystem und verfahren zu seiner herstellung | |
DE10356357B4 (de) | Wärmebehandelbares Sonnen- und Wärmeschutzschichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102010008518B4 (de) | Wärmebehandelbares Infrarotstrahlung reflektierendes Schichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102004021734B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung flacher Substrate mit optisch aktiven Schichtsystemen | |
DE20221864U1 (de) | Substrat beschichtet mit einem Schichtsystem | |
DE102009051796A1 (de) | Thermisch belastbares Schichtsystem | |
EP1123906B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines wärmereflektierenden Schichtsystems für transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem | |
DE10042194B4 (de) | Wärmereflektierendes Schichtsystem für transparente Substrate und Verfahren zur Herstellung | |
DE10046810C5 (de) | Verfahren zur Herstellung eines wärmereflektierenden Schichtsystems für transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem | |
DE3611844A1 (de) | Verfahren zum herstellen einer vorgespannten und/oder gebogenen glasscheibe mit platinbeschichtung oder dergleichen | |
DE102011105718B4 (de) | Teiltransparentes Schichtsystem mit hoher IR-Reflexion, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Architekturglaslement | |
CH648692A5 (en) | Contact arrangement on a semiconductor component | |
EP1529761A1 (de) | Thermisch hoch belastbares Low-E-Schichtsystem, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung der mit dem Schichtsystem beschichteten Substrate | |
EP3743393A1 (de) | Sonnenschutzglas und verfahren zu dessen herstellung | |
EP1273558A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines wärmereflektierenden Schichtsystems für transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem | |
DE102013108218B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines transparenten IR-reflektierenden Schichtsystems | |
DE102014108651B4 (de) | Infrarotstrahlung reflektierendes Schichtsystem mit hoher Stabilität gegen mechanische Belastungen und Verfahren zu dessen Herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH, 01324 DRESDEN, DE |
|
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20111119 |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: PATENTANWAELTE LIPPERT, STACHOW & PARTNER, DE |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: VON ARDENNE GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH, 01324 DRESDEN, DE Effective date: 20140627 |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: PATENTANWAELTE LIPPERT, STACHOW & PARTNER, DE Effective date: 20140627 Representative=s name: LIPPERT STACHOW PATENTANWAELTE RECHTSANWAELTE , DE Effective date: 20140627 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |