DE102004016585B4 - Verfahren zur Rauschkorrektur bei einem Flachbilddetektor - Google Patents

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Verfahren zur Rauschkorrektur bei einem Flachbilddetektor (2) zur Erfassung von Strahlen, insbesondere Röntgenstrahlen, der ein matrixartiges Detektorfeld (4) sowie mehrere Ausleseverstärker (12) zum Auslesen der im Detektorfeld (4) erfassten Signale aufweist, wobei das Detektorfeld (4) zwei voneinander beabstandete Dunkelfelder (6) und ein in Teilbereichen unterteiltes aktives Feld umfasst, wobei zur Korrektur von Signalrauschen ein dem jeweiligen Dunkelfeld (6) zuzuordnendes Rauschen erfasst und hieraus für jedes der Dunkelfelder (6) ein DF-Korrekturfaktor (DF1, DF2) ermittelt wird und aus diesen für die einzelnen Teilbereiche unterschiedliche Signal-Korrekturfaktoren (SK) (S-Korrekturfaktor) abgeleitet werden, indem die DF-Korrekturfaktoren (DF1, DF2)mit einem teilbereichsspezifischen Gewichtungsfaktor (g1, g2) gewichtet werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Rauschkorrektur bei einem Flachbilddetektor, welcher zur Erfassung von Strahlen, insbesondere Röntgenstrahlen, ausgebildet ist.
  • Ein derartiger Flachbilddetektor weist üblicherweise ein in einzelne Pixelfelder unterteilte α-Silizium-Platte auf, die zumindest in einem Teilbereich von einer lichtaktiven Fläche, der Szintillatorschicht, überzogen ist. Die lichtaktive Fläche wandelt bei Auftreffen der Röntgenstrahlung diese in Lichtimpulse um, die anschließend von einem dem jeweiligen Pixelfeld zugewiesenen Halbleiter-Sensor erfasst und als elektrisches Signal an einen Ausleseverstärker weitergeleitet werden. Jedes der in Zeilen und Spalten angeordneten Pixelfelder weist einen derartigen Halbleiter-Sensor auf. Die einzelnen Pixelfelder bilden ein Matrixfeld.
  • Üblicherweise sind mehrere Ausleseverstärker vorgesehen, die wiederum mehrere Kanäle, beispielsweise 120, für die jeweiligen Spalten des Matrixfeldes aufweisen. Über jeden Kanal wird daher eine Spalte ausgelesen. Das Auslesen erfolgt hierbei zeilenweise, also seriell. In der Zeit zwischen zwei Auslesevorgängen wird in den einzelnen Halbleiter-Sensoren die erfasste Lichtintensität aufsummiert.
  • Aufgrund der Mehrzahl der eingesetzten elektronischen Komponenten, insbesondere aufgrund der Ausleseverstärker, sind die eigentlichen Licht-Signale mit einem Rauschen, insbesondere Zeilenrauschen, überlagert. Um dieses zu verringern, ist der Flachbilddetektor üblicherweise unterteilt in ein aktives Feld, das der Röntgenstrahlung ausgesetzt ist, und zumindest einem auch als „Dark Reference Zone (DRZ)" bezeichneten Dunkelfeld, das insbesondere keine lichtaktive Schicht aufweist. Das dem Dunkelfeld zuzuordnende Rauschen wird erfasst und als Korrekturwert für die vom aktiven Feld erfassten Signale herangezogen (Zeilenrauschkorrektur, line noise correction, LNC). Teilweise sind zwei oder mehrere dieser Dunkelfelder vorgesehen. Zur Rauschkorrektur wird hierbei ein Mittelwert aus den den einzelnen Dunkelfeldern zugeordneten Korrekturfaktoren ermittelt. Dies kann jedoch unter Umständen, insbesondere bei stark unterschiedlichem Rauschen der einzelnen Dunkelfelder, zur Generierung von weiteren Rauschanteilen führen.
  • Aus der DE 197 46 623 C1 ist ein Verfahren zur Ermittlung von Zeilenkorrekturwerten für einen digitalen Bildwandler zu entnehmen, welcher ein matrixförmiges Detektorfeld mit einem randseitig angeordneten Dunkelfeld aufweist. In der DE 195 16 832 C1 ist ein Verfahren zur Korrektur eines zeitlich nicht veränderlichen "Festmusterrauschens" (Fixed-Pattern-Noise FPN) beschrieben.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Rauschkorrektur zu ermöglichen.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zur Rauschkorrektur bei einem Flachbilddetektor, insbesondere zur Erfassung von Röntgenstrahlen, der ein matrixartiges Detektorfeld sowie mehrere Ausleseverstärker zum Auslesen der im Detektorfeld erfassten Signale aufweist. Das Detektorfeld umfasst zumindest zwei voneinander beabstandete Dunkelfelder und ein in Teilbereichen, also Zeilen und Spalten, unterteiltes aktives Feld. Zur Korrektur von Signalrauschen wird ein dem jeweiligen Dunkelfeld zuzuordnendes Rauschen erfasst und hieraus für jedes der Dunkelfelder ein Dunkelfeld-Korrekturfaktor oder Korrekturwert (DF-Korrekturfaktor) ermittelt. Aus diesen werden dann für die einzelnen Teilbereiche (Spalten) unterschiedliche Signal-Korrekturfaktoren (S-Korrekturfaktor) abgeleitet, indem die DF-Korrekturfaktoren jeweils mit einem teilbereichspezifischen Gewichtungsfaktor gewichtet werden.
  • Diese Ausgestaltung geht von der Überlegung aus, dass die üblicherweise bei zwei Dunkelfeldern für die Rauschkorrektur vorgenommenen gleichmäßige Gewichtung der einzelnen Korrekturwerte der Dunkelfelder zu Verzerrungen und zur Generierung von zusätzlichen Rauschanteilen führen kann, wenn sich die einzelnen Korrekturwerte stark unterscheiden. Durch die vorgenommene Gewichtung wird daher über den Gewichtungsfaktor eine Relevanz des Korrekturwerts des jeweiligen Dunkelfeldes für den einzelnen Teilbereich bestimmt und somit eine insgesamt verbesserte Rauschkorrektur ermöglicht.
  • Gemäß einer zweckdienlichen Weiterbildung wird zur Korrektur von Signalrauschen im Dunkelbild, also ohne auf das Detektorfeld auftreffende Strahlung, für die Teilbereiche der aktiven Fläche das Rauschen erfasst und hieraus werden teilbereichsspezifische Korrekturfaktoren oder Korrekturwerte ermittelt, mit denen im Betrieb der jeweilige Signalwert des jeweiligen Teilbereichs korrigiert wird.
  • Durch diese Maßnahme wird ein dem jeweiligen Teilbereich zuzuordnendes Rauschen im Dunkelbild erfasst, d.h. ohne auf das Detektorfeld auftreffende Strahlung. Im bildgebenden Betrieb mit Strahlung wird dann der jeweilige Signalwert des jeweiligen Teilbereichs korrigiert. Damit ist eine deutliche Verbesserung der Rauschkorrektur gegeben, da unmittelbar das den einzelnen Teilbereichen zuzuordnende Rauschen spezifisch für eine Korrektur herangezogen wird.
  • Das Verfahren mit der Gewichtung der einzelnen Korrekturwerte zur Ermittlung eines Signal-Korrekturwerts wird daher in Ergänzung und Kombination zu den teilbereichsspezifischen Korrekturfaktoren, die im Dunkelbild für jeden Teilbereich ermittelt wurden, ausgeführt. Aus den teilbereichsspezifischen Korrekturfaktoren und den Signal-Korrekturfaktoren wird ein gemeinsamer Korrekturfaktor oder -wert in geeigneter Wiese abgeleitet. Da die Signal-Korrekturfaktoren auch während des bildgebenden Betriebs aktuell bestimmt werden können und vorzugsweise auch werden, ist somit eine dynamische Anpassung der Korrekturwerte ermöglicht.
  • Gemäß einer zweckdienlichen Weiterbildung werden die DF-Korrekturfaktoren mit einem Abstandsfaktor als Maß für den Abstand des jeweiligen Teilbereichs zum jeweiligen Dunkelfeld gewichtet. Durch diese Maßnahme wird daher in vorteilhafter Weise die örtliche Nähe der einzelnen Teilbereiche des aktiven Felds zu dem jeweiligen Dunkelfeld berücksichtigt. Je näher der Teilbereich an dem jeweiligen Dunkelfeld angeordnet ist, desto höher ist dessen Gewichtung bei der Bestimmung des Signal-Korrekturfaktors. Insbesondere geht hierbei der Abstand des jeweiligen Teilbereichs zum jeweiligen Dunkelfeld linear in den Gewichtungsfaktor ein.
  • Zweckdienlicherweise sind hierbei die Dunkelfelder, die für die Bestimmung der DF-Korrekturfaktoren herangezogen werden, an gegenüberliegenden äußeren Randbereichen des Detektorfeldes angeordnet.
  • Vorzugsweise werden zur Bestimmung des jeweiligen DF-Korrekturfaktors Rauschsignale aus mehreren Teilbereichen, insbesondere Spalten, des jeweiligen Dunkelfelds erfasst und aus den einzelnen Rauschsignalen wird ein Mittelwert gebildet, insbesondere ein Zeilenmittelwert für die jeweilige Zeile.
  • Vorzugsweise weist die Detektorfläche in Zeilen und Spalten angeordnete Pixelfelder auf und über einen jeweiligen Ausleseverstärker werden mehrere Spalten gleichzeitig zeilenweise ausgelesen, wobei für jeden Ausleseverstärker ein spezifischer Korrekturfaktor ermittelt wird. Es wird also für jeden Ausleseverstärker für eine einfachere Auswertung ein Korrekturfaktor bzw. Korrekturverlauf über die einzelnen Kanäle des Ausleseverstärkers berücksichtigt.
  • Gemäß einer zweckdienlichen Weiterbildung werden für unterschiedliche Betriebsmodi unterschiedliche DF-Korrekturfakto ren bestimmt. Unterschiedliche Betriebsmodi ergeben sich beispielsweise insbesondere durch unterschiedliche Vergrößerungen (Zoom-Funktion). Bei den unterschiedlichen Betriebsmodi werden teilweise über Blenden od. dgl. Teilbereiche des Detektorfelds vom Strahlengang abgedeckt. Das Dunkelfeld setzt sich in diesem Fall bevorzugt sowohl aus den Randbereichen ohne die lichtaktive Fläche als auch aus den durch die Blenden abgedeckten Teilbereichen zusammen. Unter Dunkelfeld ist also hierbei allgemein derjenige Bereich zu verstehen, welcher nicht mit Röntgenstrahlung beaufschlagt ist. Durch die Berücksichtigung der Betriebsmodi wird daher in vorteilhafter Weise insbesondere auch eine variable Verteilung zwischen den Dunkelfeldern und der aktiven Fläche berücksichtigt. Hierdurch wird eine genauere und betriebsmodusspezifische Rauschkorrektur ermöglicht.
  • Zweckdienlicherweise werden auch die teilbereichsspezifischen Korrekturfaktoren, die im Dunkelbild für die aktive Fläche bestimmt werden, für jeden Betriebsmodus ermittelt. Dies erfolgt zweckdienlicherweise wiederkehrend in bestimmten Zeitabständen, beispielsweise periodisch, um Veränderungen im Zeitablauf erfassen zu können.
  • Vorzugsweise werden darüber hinaus während des Betriebs die DF-Korrekturfaktoren ermittelt und gegebenenfalls angepasst. Es erfolgt also insofern eine dynamische Korrektur, da die DF-Korrekturfaktoren laufend überprüft werden. Durch diese Maßnahme, und in vergleichbarer Weise auch durch das wiederkehrende Ermitteln der teilbereichsspezifischen Korrekturfaktoren, werden daher Veränderungen im Rauschverhalten des Ausleseverstärkers über seine Lebensdauer oder aufgrund von Temperaturänderungen, z.B. nach dem Einschalten des Detektors, durch die hier vorgeschlagene Rauschkorrektur kompensiert.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im Folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen jeweils in schematischen und vereinfachten Darstellungen:
  • 1 einen Flachbilddetektor nach Art einer Blockbild-Darstellung,
  • 2 den schematischen Verlauf eines Signal-Korrekturfaktors über die einzelnen Spalten des Flachbilddetektors, und
  • 3 eine schematische Darstellung des Rauschverhaltens eines Ausleseverstärkers über seine einzelnen Kanäle zur Ermittlung eines DF-Korrektorfaktors.
  • Ein Festkörper-Flachbilddetektor 2 gemäß 1 umfasst ein matrixartiges Detektorfeld 4 mit insgesamt n-Zeilen und m-Spalten. Das Detektorfeld 4 weist randseitig jeweils mehrere Spalten überdeckend ein nicht strahlungssensitives Dunkelfeld 6 sowie zwischen diesen beiden Dunkelfeldern 6 eine strahlungssensitive, aktive Fläche 8 auf. Im Bereich der Dunkelfelder 6 weist das Detektorfeld 4 – anders als im Bereich der aktiven Fläche 8 – keine lichtaktive oder Szintillatorschicht auf, welche bei auftreffender Röntgenstrahlung Lichtquanten erzeugt, die dann von hier nicht näher dargestellten Halbleiter-Detektoren erfasst werden. In Betriebsmodi, bei denen ein weitergehender Teilbereich des Detektorfelds 4 beispielsweise durch Blenden abgeschattet ist, können sich die Dunkelfelder 6 auch auf solche Flächen erstrecken, die zwar prinzipiell eine lichtaktive Beschichtung aufweisen, die jedoch in dem jeweiligen Betriebsmodus nicht bestrahlt wird.
  • Der Flachbilddetektor 2 weist weiterhin eine Ansteuervorrichtung 10 zum zeilenweisen Ansteuern des Detektorfelds 4 auf. Jedes Pixelfeld des Detektorfelds 4 umfasst einen Halbleiter-Sensor zur Erfassung der Lichtintensität als Maß für die auf das jeweilige Pixelfeld aufgetroffene Röntgenstrahlung. In einer Zeile sind daher insgesamt m solche Sensoren angeordnet.
  • Das Detektorfeld 4 umfasst ferner eine Mehrzahl von Ausleseverstärkern 12, die wiederum mehrere einzelne Kanäle, beispielsweise 120, aufweisen, wobei jeder Kanal genau einer der insgesamt m-Spalten zugeordnet ist. Die insgesamt m-Spalten des Detektorfeldes 4 sind daher in einzelne Spaltenblöcke 14 unterteilt, wie in 1 dargestellt ist, und die jeweils einem Ausleseverstärker 12 zugeordnet sind. Wie aus 1 ferner zu entnehmen ist, erstrecken sich die Dunkelfelder 6 üblicherweise nicht über einen kompletten Spaltenblock 14.
  • Während des Betriebs wird das Detektorfeld 4 über die Ansteuereinrichtung 10 zeilenweise angesteuert, d.h. die Ansteuerung des Detektorfelds 4 erfolgt derart, dass jeweils eine Zeile nach der anderen seriell ausgelesen wird. Ein jeweiliger Ausleseverstärker 12 erhält also zeilenweise die Signaldaten seiner ihm zugeordneten Spalten des jeweiligen Spaltenblocks 14. Aufgrund der Auswerteelektronik sind die eigentlichen Bildsignale von elektronischem Rauschen überlagert, das insbesondere von den Ausleseverstärkern 12 herrührt. Um dieses Rauschen zu korrigieren und möglichst weitgehend zu unterdrücken, sind insbesondere folgende zwei Schritte vorgesehen, die prinzipiell unabhängig von einander ausgeführt werden können.
    • a) Das Rauschen eines jeden Ausleseverstärkers 12 wird im Dunkelbild, d.h. ohne auftreffende Röntgenstrahlung, für alle oder zumindest weitgehend alle Spalten und damit Ausleseverstärker 12 erfasst. Hieraus werden teilbereichsspezifische Korrekturfaktoren ermittelt, mit denen die im Normalbetrieb erfassten Bild- oder Signalwerte korrigiert werden, d.h. die Korrekturwerte werden in der Regel von den Bildwerten subtrahiert. Beim Erfassen des Rauschens im Dunkelbild wird für jeden Ausleseverstärker 12 ein Rauschsignal-Verlauf ermittelt, wie er beispielhaft in 3 dargestellt ist. Und zwar wird für jeden Kanal des Ausleseverstärkers 12 ein kanal- und damit spaltenspezifisches Rauschen erfasst. Zur Bestimmung des jeweils teilbereichsspezifischen Korrekturfaktors besteht die Möglichkeit, jedem einzelnen Kanal und damit jeder einzelnen Spalte des Detektorfelds 4 einen eigenen Korrekturfaktor zuzuweisen. Alternativ hierzu wird für jeden Ausleseverstärker 12 aus dem erfassten Rauschsignal-Verlauf ein arithmetischer Mittelwert X bestimmt, welcher dann als teilbereichsspezifischer Korrekturfaktor für die jeweilige Zeile für alle Spalten des jeweiligen Ausleseverstärkers 12 herangezogen wird. Um auch für unterschiedliche Betriebsmodi eine möglichst optimale Rauschkorrektur zu erzielen ist weiterhin vorgesehen, dass diese teilbereichsspezifischen Korrekturfaktoren für die unterschiedlichen Betriebsmodi erfasst und herangezogen werden. Weiterhin werden diese teilbereichsspezifischen Korrekturfaktoren wiederholt, beispielsweise periodisch überprüft und gegebenenfalls korrigiert, wenn beispielsweise aufgrund von Langzeit- oder Temperatureffekten das Rauschverhalten der Elektronikkomponenten sich verändert hat.
    • b) In einem zweiten Schritt wird das den Dunkelfeldern 6 zuzuordnende Rauschen zur Ermittlung eines Dunkelfeld-Korrekturwerts (DF-Korrekturfaktors)DF1, DF2 herangezogen, aus denen dann wiederum ein Signal-Korrekturwert (S-Korrekturfaktor) SK für die jeweiligen Spalten der aktiven Fläche 8 abgeleitet werden. Zur Korrektur wird üblicherweise der Signal-Korrekturwert SK vom Signalwert abgezogen. Und zwar werden die beiden DF-Korrekturwerte DF1, DF2 für die einzelnen Spalten bzw. für die einzelnen Spaltenblöcke 14 unterschiedlich gewichtet, so dass sich für jede Spalte bzw. jeden Spaltenblock 14 ein anderer S-Korrekturwert SK ergibt. Zweckdienlicherweise geht als wesentlicher Gewichtungsfaktor der Abstand der jeweiligen Spalte bzw. des jeweiligen Spaltenblocks 14 zum jeweiligen Dunkelfeld 6 ein.
  • Im Ausführungsbeispiel der 1 sind den einzelnen Detektorfeldern 6 zwei unterschiedliche DF-Korrekturfaktoren DF1, DF2 zugeordnet, wobei DF1 für das linke Dunkelfeld und DF2 für das rechte Dunkelfeld 6 maßgebend ist.
  • Bei einer herkömmlichen Rauschkorrektur wird einfach das arithmetische Mittel über alle Kanäle des Dunkelfelds 6 als S-Korrekturfaktor abgeleitet. Dies würde jedoch bei deutlich unterschiedlichem Rauschverhalten der Dunkelfelder 6 zu einer falschen Rauschkorrektur insbesondere im randnahen Bereich an den Dunkelfeldern 6 führen.
  • Mit der nunmehr vorgesehenen Gewichtung wird der Abstand der einzelnen Bereiche zu dem jeweiligen Dunkelfeld 6 berücksichtigt. Gemäß 2 ist hierbei für jeden Ausleseverstärker 12 ein eigener, Bemittelter S-Korrekturfaktor SK aus den DF-Korrekturfaktoren DF1, DF2 ermittelt. In 2 ist hierbei einerseits der Verlauf des S-Korrekturfaktors SK gegenüber den Spalten m des Detektorfelds 4 aufgetragen (gepunktete Kurve). Für den dem linken Detektorfeld 6 benachbarten Teilbereich wird der DF-Korrekturwert DF1 mit dem Faktor 1 gewichtet, und DF2 mit dem Faktor null. Diese Gewichtungsfaktoren verändern sich je näher die Kanäle am rechten Dunkelfeld 6 orientiert sind. Im Ausführungsbeispiel wurde hierbei eine ausleseverstärkerspezifische Gewichtung vorgenommen, als Grundlage für den Gewichtungsfaktor wurde daher der Abstand der Spaltenblöcke 14 zu den Dunkelfeldern 6 berücksichtigt.
  • In 2 ist neben dem S-Korrekturfaktor SK weiterhin auch der Verlauf der Gewichtungsfaktoren g1 für das linke Dunkelfeld 6 (durchgezogene Linie) und g2 für das rechte Dunkelfeld 6 (gestrichelte Linie) aufgetragen Die Ermittlung des S-Korrekturfaktors SK ergibt sich beispielsweise nach oder in Anlehnung an folgende lineare Formel: SK = 0,5·(DF1·(1 – a) + DF2·a), mit 1 – a = g1 und a = g2wobei a ein Abstandswert für den Abstand von dem Dunkelfeld 6 mit dem DF-Korrekturfaktor DF1 ist. Zur Ermittlung des DF-Korrekturfaktors DF1, DF2 wird zweckdienlicherweise das arithmetische Mittel des Signalrauschens über alle Kanäle des Dunkelfelds 6 gebildet, wie dies in 3 schematisch angedeutet ist. Weisen die Dunkelfelder 6 (linkes und rechtes Dunkelfeld) eine unterschiedliche Größe auf, so wird vorzugsweise eine der Größe der Dunkelfelder entsprechende Gewichtung der Korrekturfaktoren DF1 und DF2 vorgenommen.
  • Vorzugsweise werden die DF-Korrekturfaktoren DF1, DF2 auch während des Betriebs laufend überprüft und angepasst, so dass insgesamt eine sehr dynamische und damit genaue Rauschkorrektur erfolgt. Zweckdienlicherweise werden auch hier für jeden einzelnen Betriebsmodus betriebsmodi-spezifische DF-Korrekturfaktoren ermittelt, wobei die Dunkelfelder 6, also die Anzahl der den Dunkelfeldern 6 zuzuweisenden Spalten m in Abhängigkeit des jeweiligen Betriebsmodus variieren können. Aufgrund der dynamischen Anpassung der DF-Korrekturwerte DF1, DF2 werden auch hier wiederum Langzeiteffekte und Temperatureffekte berücksichtigt und korrigiert.

Claims (9)

  1. Verfahren zur Rauschkorrektur bei einem Flachbilddetektor (2) zur Erfassung von Strahlen, insbesondere Röntgenstrahlen, der ein matrixartiges Detektorfeld (4) sowie mehrere Ausleseverstärker (12) zum Auslesen der im Detektorfeld (4) erfassten Signale aufweist, wobei das Detektorfeld (4) zwei voneinander beabstandete Dunkelfelder (6) und ein in Teilbereichen unterteiltes aktives Feld umfasst, wobei zur Korrektur von Signalrauschen ein dem jeweiligen Dunkelfeld (6) zuzuordnendes Rauschen erfasst und hieraus für jedes der Dunkelfelder (6) ein DF-Korrekturfaktor (DF1, DF2) ermittelt wird und aus diesen für die einzelnen Teilbereiche unterschiedliche Signal-Korrekturfaktoren (SK) (S-Korrekturfaktor) abgeleitet werden, indem die DF-Korrekturfaktoren (DF1, DF2)mit einem teilbereichsspezifischen Gewichtungsfaktor (g1, g2) gewichtet werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem zur Korrektur von Signalrauschen im Dunkelbild – ohne auf das Detektorfeld (4) auftreffende Strahlung – für die Teilbereiche der aktiven Fläche (8) das Rauschen erfasst und hieraus teilbereichsspezifische Korrekturfaktoren ermittelt werden, mit denen im Betrieb der jeweilige Signalwert des jeweiligen Teilbereichs korrigiert wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die DF-Korrekturfaktoren (DF1, DF2) mit einem Abstandswert (a) als Maß für den Abstand des jeweiligen Teilbereichs zum jeweiligen Dunkelfeld (6) gewichtet werden.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Dunkelfelder (6) an gegenüberliegenden äußeren Randbereichen des Detektorfeldes (4) angeordnet sind.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem zur Bestimmung des jeweiligen DF-Korrekturfaktors (DF1, DF2) Rauschsignale aus mehreren Teilbereichen des jeweiligen Dunkelfelds (6) erfasst werden und aus den einzelnen Rauschsignalen ein Mittelwert (x) gebildet wird.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Detektorfeld (4) in Zeilen und Spalten angeordnete Pixelfelder aufweist und über einen jeweiligen Ausleseverstärker (12) mehrere Spalten zeilenweise ausgelesen werden, wobei für jeden Ausleseverstärker (12) ein spezifischer Korrekturfaktor ermittelt wird.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem für unterschiedliche Betriebsmodi unterschiedliche DF-Korrekturfaktoren (DF1, DF2) bestimmt werden.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 7, bei dem die teilbereichsspezifischen Korrekturfaktoren für unterschiedliche Betriebsmodi ermittelt werden.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem während des Betriebs die DF-Korrekturfaktoren (DF1, DF2) für die Dunkelfelder ermittelt und ggf. angepasst werden.
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