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Die vorliegende Erfindung betrifft
ein Kontaktstellenbeschichtungssystem und insbesondere betrifft
die vorliegende Erfindung ein Chip-Kontaktstellenbeschichtungssystem
und ein Sperrverfahren dafür,
das ein Interruptsignal erzeugt, wenn ein Fehler auftritt.
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Es wird die Priorität der koreanischen
Patentanmeldung 2003-3091, angemeldet am 16. Januar 2002, in Anspruch
genommen, deren Inhalt hierin voll umfänglich durch Bezugnahme mit
offenbart ist.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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Ein Wafer mit darauf ausgebildeten
Schaltkreisen (Chips) wird typischerweise durch Anlegen von Adress-
und Taktpulssignalen, die von den Prüfpins einer Prüfvorrichtung
stammen, an die Adress- und Taktkontaktstellen der Chips auf dem
Wafer getestet. Die Test- bzw. Prüfsignale werden gleichzeitig an
die entsprechenden Kontaktstellen (nachfolgend auch als Pads bezeichnet)
von mehreren Chips auf dem Wafer angelegt.
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Aufgrund der Beschränkungen
bei dem Herstellungsverfahren sind die Chips, die in der Nähe des Waferrandes
angeordnet sind, unvollständig ausgebildet
und daher nicht funktionell. Folglich kann ein Kurzschluß zwischen
den Adress- und Takt-Pads der unvollständigen Chips vorhanden sein,
welcher wiederum ein Problem erzeugen kann, wenn die Adress- und
Taktprüfsignale
gemeinsam an die Pads eines unvollständigen Chips und an die Pads
eines Chips angelegt werden, der zu dem unvollständigen Chip benachbart ist.
D.h., wenn die Adress- und Taktprüfsignale an die kurzgeschlossenen
Pads des unvollständigen
Chips angelegt werden, kann das Problem auftauchen, daß falsche
Prüfsignale
an die Pads des zu dem unvollständigen
Chip benachbarten Chip angelegt werden. Wenn beispielsweise ein Adresssignal
einen „Hoch"-Pegel (d..h.; logisch
1 bzw. H-Pegel) von der Prüferrichtung
an ein kurzgeschlossenes Adress-Pad eines unvollständigen Chips
angelegt wird, kann ein Adresssignal mit einem „Hoch"-Pegel
nicht ordnungsgemäß an das
korrespondierende Adress-Pad des zu dem unvollständigen Chip benachbarten Chips
angelegt werden.
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Daher wird vor dem Testen des Wafers
ein Kontaktstellen- bzw. Pad-Beschichtungssystem zum Beschichten
der Adress- und Taktsignal-Pads der unvollständigen Chips, die an dem Randabschnitt
des Wafers angeordnet sind, verwendet. Die Pads werden mit einem
Isolationsmaterial beschichtet, um einen elektrischen Kontakt mit
dem Prüfpins
der Prüferrichtung
zu verhindern.
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1 ist
ein Blockdiagramm, das ein herkömmliches
Pad-Beschichtungssystem darstellt. Das Pad-Beschichtungssystem der 1 enthält eine Untersuchungsvorrichtung
(Prober) 10 mit einer Steuervorrichtung 12, einem
Eingabe-/Ausgabe-Abschnitt 20, einen UV-(ultraviolett)-Quellenabschnitt 22 und
einer Ausgabevorrichtung (Dispenser) 24.
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Der Eingabe-/Ausgabe-Abschnitt 20
empfängt
und übermittelt
Daten von bzw. an die Steuervorrichtung 12. Die Steuervorrichtung 12,
welche in der Untersuchungsvorrichtung 10 eingebettet ist, speichert
die durch den Eingabe-/Ausgabe-Abschnitt 20 eingegebenen
Daten, steuert die Untersuchungsvorrichtung 10, den UV-Quellenabschnitt 22 und
die Ausgabevorrichtung 24, und gibt Daten zu dem Eingabe-/Ausgabe-Abschnitt
20 aus. Die Untersuchungsvorrichtung 10 lädt unter
Steuerung durch die Steuervorrichtung 12 einen Wafer für ein Beschichten
eines Pads, das entsprechend eines von der Steuervorrichtung 12 eingestellten
Koordinatenwertes iden tifiziert ist, und entlädt den Wafer. Die Ausgabevorrichtung 24 spricht
auf ein Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD für ein Ausgeben
eines flüssigen
Beschichtungsmaterials auf das Pad an, und der UV-Quellenabschnitt 22 spricht
auch ein Verschlußöffnungs/schließ SOC (shutter
open/close signal) für
ein Steuern des Öffnens
und Schließens
eines UV-Verschlußes,
um die flüssige
Beschichtung mit eine UV-Licht zu bestrahlen. D.h., das Beschichtungsmaterial
wird als eine Flüssigkeit
von der Ausgabevorrichtung (Dispenser) 24 ausgegeben, und anschließend in
einen festen Zustand durch die UV-Bestrahlung von den UV-Quellenabschnitt 22 ausgehärtet. Betriebsmäßig steuert
die Steuervorrichtung 12 die Untersuchungsvorrichtung 10 und gibt
das Verschlußöffnungs/schließ SOC und
ein Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD an den UV-Quellenabschnitt 22 bzw.
der Ausgabevorrichtung 24 aus.
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Der UV-Quellenabschnitt 62 enthält einen UV-Verschlußschalter 1,
einen Zeit/Manuell-Modusschalter 2 und einen UV-Lampenschalter 3.
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Wenn der UV-Verschlußschalter 1 auf
offen eingestellt wird, wird ein Verschluß geöffnet, um dem UV-Quellenabschnitt 22 das
Emittieren einer UV-Strahlung zu ermöglichen. Wenn der UV-Verschlußschalter 1 geschlossen
ist, ist der Verschluß geschlossen
und keine UV-Bestrahlung ist mehr möglich.
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Wenn der Zeit/Manuell-Modusschalter 2 auf den
Zeitmodus eingestellt ist, wird die Dauer der UV-Bestrahlung automatisch
durch das Verschlußöffnungs/schließ SOC, das
von der Steuervorrichtung 12 angelegt wird, gesteuert.
Wenn der Zeit/Manuell-Modusschalter 2 auf
den manuellen Modus eingestellt ist, wird die Dauer der UV-Bestrahlung manuell durch
den Bediener gesteuert.
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Wenn der UV-Lampenschalter 3 eingeschaltet
ist, wird die UV-Lampe ausreichend erwärmt, um eine UV-Strahlung auszusenden.
Wenn der Lampenschalter 3 nicht eingeschaltet ist, sendet
die UV-Lampe keine UV-Strahlung aus.
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Die Ausgabevorrichtung 24 ist
eine Vorrichtung, welche die Pad-Beschichtungszustände, wie etwa
eine Beschichtungsflüssigkeitsmenge,
einen Injektionsdruck und eine Injektionszeit, steuert. Die Ausgabevorrichtung 24 enthält einen
Intern/Extern-Modusschalter 4 und einen Zeit/Manuell-Modusschalter 5.
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Wenn der Intem/Extern-Modusschalter 4 auf internen
Modus eingestellt ist, werden die Pad-Beschichtungsbedingungen der
Ausgabevorrichtung 24 manuell durch den Bediener oder intern
durch die Ausgabevorrichtung eingestellt. Wenn der Intem/Extern-Modusschalter 4 auf
externen Modus eingestellt ist, werden die Pad-Beschichtungsbedingungen durch
das Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD eingestellt, das
von der Steuervorrichtung 12 angelegt wird.
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Wenn der Zeit/Manuell-Modusschalter 5 auf den
Zeitmodus eingestellt ist, wird eine Injektionszeit automatisch
durch die Steuervorrichtung 12 eingestellt. Wenn der Zeit/Manuell-Modusschalter 5 auf den
manuellen Modus eingestellt ist, wird eine Injektionszeit manuell
durch den Bediener gesteuert.
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Bei den herkömmlichen Pad-Beschichtungssytem
können
Betriebsfehler auftauchen, die den Beschichtungsbetrieb nachteilig
beeinflussen. Beispielsweise kann der Bediener den Zeit/Manuell-Modusschalter 2 unabsichtlich
auf den manuellen Modus einstellen, was dazu führt, daß die UV-Bestrahlungszeit nicht
korrekt eingestellt sein kann. Ebenso kann der Verschlußöffnungs-/-schließschalter 1 nicht richtig öffnen oder
der UV-Lampenschalter 3 kann nicht richtig eingeschaltet
sein. Jeder dieser Fehler führt
zu einer falschen UV-Bestrahlung, welche wiederum zu einer fehlerhaften
Beschichtung der Chip-Pads führt.
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In ähnlicher Weise kann der Bediener
den Intern/Extern-Modusschalter 4 versehentlich auf den internen
Modus einstellen und/oder den Zeit/Manuell-Modusschalter 5 auf
den manuellen Modus einstellen. In beiden Fällen kann dies zu einer fehlerhaften
Ausgabe des Beschichtungsmaterials führen.
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Es ist eine Aufgabe der vorliegenden
Erfindung ein Pad-Beschichtungssystem vorzusehen, welches die Zustände eines
UV-Quellenabschnitts und eine Ausgabevorrichtung überwacht
und anschließend
einen Pad-Beschichtungsbetrieb stoppt, wenn die UV-Quelle und die
Ausgabevorrichtung nicht auf einen gewünschten Zustand eingestellt sind,
sowie ein Verriegelungsverfahren für ein Pad-Beschichtungssystem
zu schaffen, welches die Zustände
eines UV-Quellenabschnitts und einer Ausgabevorrichtung überwacht
und einen Pad-Beschichtungsbetrieb stoppt, wenn die UV-Quelle und
die Ausgabevorrichtung nicht auf einen gewünschten Zustand eingestellt
sind.
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Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die
Merkmale des anliegenden Anspruchs 1 bzw. 7 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen
und Weiterbildungen bilden Gegenstand der nebengeordneten Patentansprüche, deren
Inhalt hierin ausdrücklich zum
Bestandteil der Beschreibung gemacht wird, ohne an dieser Stelle
den Wortlaut zu wiederholen.
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden
Erfindung wird ein Pad-Beschichtungssystem vorgesehen, welches einen
Ultraviolett-(UV)-Quellenabschnitt, eine Ausgabevorrichtung bzw.
Dispenser und eine Untersuchungsvorrichtung (Prober) enthält. Der UV-Quellenabschnitt
enthält
erste Steuerschalter, strahlt UV-Licht während des Pad-Beschichtungsbetriebs
in Reaktion auf ein UV-Quellenöffnungs-/-schließsignal
ab und gibt erste Signale aus, die jeweilige Betriebszustände der
ersten Steuerschalter anzeigen. Der Dispenser enthält zweite Steuerschalter,
gibt eine Beschichtungsflüssigkeit während des
Pad-Beschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein Beschichtungsbedingungerkennungssignal aus,
und gibt zweite Signale aus, die jeweiligen Betriebszustände der
zweiten Steuerschalter anzeigen. Die Untersuchungsvorrichtung erzeugt
das UV-Quellenöffnungs-/-schließsignal
und das Beschichtungsbedingungserkennungssignal, steuert den Pad-Beschichtungsbetrieb
und stoppt den Pad-Beschichtungsbetrieb in Reaktion auf die ersten
und zweiten Signale.
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Gemäß einem anderen Aspekt der
vorliegenden Erfindung wird ein Verriegelungsverfahren für ein Pad-Beschichtungssystem
vorgesehen, bei dem das Pad-Beschichtungssystem einen Ultraviolett-(UV)-Quellenabschnitt
enthält,
welcher erste Steuerschalter enthält und welcher UV-Licht während des
Pad-Beschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein UV-Quellenöffnungs-/-schließsignal
abstrahlt, sowie eine Ausgabevorrichtung bzw. einen Dispenser, welcher
zweite Steuerschalter enthält
und welcher die Beschichtungsflüssigkeit
während
des Pad-Beschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein Beschichtungsbedingungserkennungssignal
ausgibt, und eine Untersuchungsvorrichtung bzw. einen Prober, welcher
das UV-Quellenöffnungs-/-schließsignal
und das Beschichtungsbedingungserkennungssignal erzeugt und welcher
den Pad-Beschichtungsbetrieb steuert. Das Verfahren enthält ein Überwachen
der Betriebszustände
der ersten und zweiten Schalter, sowie ein Stoppen des Pad-Beschichtungsbetriebs, wenn
der Betriebszustand von zumindest einem der ersten oder zweiten
Schalter nicht auf einen gewünschten
Zustand eingestellt ist.
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Für
ein besseres Verständnis
der vorliegenden Erfindung und ihrer Vorteile wird in der folgenden Beschreibung
auf die beiliegende Zeichnung Bezug genommen, in welcher gleiche
Bezugszeichen gleiche Teile bezeichnen, und in welcher:
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1 ein
Blockdiagramm ist, das ein herkömmliches
Pad-Beschichtungssystem darstellt;
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2 ein
Blockdiagramm ist, das ein Pad-Beschichtungssystem gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt;
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3 ein
Blockdiagramm ist, das ein Pad-Beschichtungssystem gemäß einer
anderen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt; und
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4 ein
Flußdiagramm
ist, das ein Verriegelungsverfahren des Pad-Beschichtungssystems gemäß der vorliegenden
Erfindung darstellt.
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DETAILLIERTE
BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Im folgenden wird auf bevorzugte
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung Bezug genommen, von denen Beispiele in
der begleitenden Zeichnung dargestellt sind.
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2 ist
ein Blockdiagramm, das ein Pad-Beschichtungssystem gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt. Das Pad-Beschichtungssystem
der 2 enthält eine Untersuchungsvorrichtung
bzw. einen Prober 30, einen Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40, einen
UV-Quellenabschnitt 42 und eine Ausgabevorrichtung bzw. einen
Dispenser 44. Der Prober 30 enthält eine
Steuervorrichtung 32 und eine Interruptsignalerzeugungsschaltung 34.
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Der Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40 empfängt Daten
von der Steuervorrichtung 32 und gibt die Daten zu dieser
aus. Die Steuervorrichtung 32, welche in dem Prober 30 eingebettet
ist, speichert Daten, die von dem Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40 eingegeben
worden sind, steuert den Prober 30, den UV-Quellenabschnitt 42 und
den Dispenser 44, und gibt Daten zu den Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40 aus.
Das heißt,
die Steuervorrichtung 32 gibt ein Verschlußöffnungs-/-schließsignal
(shutter open/close signal = SOC) und ein Beschichtungsbedingungserkennungssignal
ADD zu dem UV-Quellenabschnitt 42 bzw. dem Dispenser 44 aus,
und stoppt den Betrieb des Systems in Reaktion auf ein Interruptsignal INR.
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Der Prober 30 lädt einen
Wafer unter Steuerung durch die Steuervorrichtung 32, beschichtet
das Pad, während
er nach dem Pad entsprechend dem durch die Steuervorrichtung 32 eingestellten
Koordinatenwert sucht, und entlädt
den Wafer.
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Die Interruptsignalerzeugungsschaltung 34 erzeugt
ein Interruptsignal INR in Übereinstimmung mit
einem Verschlußschließsignal
SC, einem manuellen Modussignal bzw. Handbetriebssignal M1, einem
UV-Lampenaussignal LO, einem internen Modussignal INT und einem
manuellen Modussignal bzw. Handbetriebssignal M2. Das Verschlußschließsignal
SC, das Handbetriebssignal M1, das UV-Lampenaussignal LO werden
durch den UV-Quellenabschnitt 42 erzeugt, und das interne
Modussignal INT und das Handbetriebssignal M2 werden durch den Dispenser 44 erzeugt.
Bei dieser Ausführungsform ist
das Verschlußschließsignal
SC "Hoch" (d.h. logisch 1),
wenn der Verschlußschalter 1 sich
in dem geschlossenen Zustand befindet; das Handbetriebssignal M1
ist "Hoch", wenn der Zeit-/Handbetriebsschalter 2 des
UV-Quellenabschnitts 42 auf Handbetrieb eingestellt ist;
das UV-Lampenaussignal LO ist "Hoch", wenn die UV-Lampe 3 des
UV-Quellenabschnitts 42 in einem Auszustand bzw. ausgeschaltet ist;
das interne Modussignal INT ist "Hoch", wenn der Intern-/Extern-Modusschalter 4 des
Dispensers 44 sich in dem internen Modus befindet; und
das Handbetriebssignal M2 ist "Hoch", wenn der Zeit-/Handbetriebsschalter 5 des
Dispensers 44 auf Handbetrieb eingestellt ist. Falls eines
oder mehrere dieser Signale SC, M1, LO, INT und M2 einen "Hoch"-Pegel aufweisen,
erzeugt die Interrupt-Erzeugungsschaltung 34 ein Interruptsignal
INR. In Reaktion darauf erzeugt die Steuervorrichtung 32 einen
Alarm oder gibt eine Fehlermeldung über den Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40 aus.
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Der UV-Quellenabschnitt 42 öffnet oder schließt den UV-Verschluß in Reaktion
auf das Verschlußöffnungs-/-schließsignal
SOC, das von der Steuervorrichtung 32 angelegt wird, und
gibt das Verschlußschließsignal
SC aus, welches anzeigt, ob der Verschlußöffnungs-/-schließschalter 1 in
einem geschlossenen Zustand ist, sowie das Handbetriebssignal M1,
das anzeigt, ob der Zeit-/Handbetriebsschalter 2 auf Handbetrieb
eingestellt ist, und das UV-Lampenaussignal LO aus, das anzeigt,
ob die UV-Lampe 3 sich
in einem Auszustand befindet.
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Der Dispenser 44 injiziert
eine Beschichtungsflüssigkeit
in Reaktion auf das Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD,
das von der Steuervorrichtung 32 stammt, und gibt das interne Modussignal
INT aus, das anzeigt, ob der Intern/Extern-Modusschalter 4 auf internen
Modus eingestellt ist, sowie das Handbetriebssignal M2, das anzeigt, ob
sich der Zeit-/Handbetriebsschalter 5 auf Handbetrieb eingestellt
ist.
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Wie vorangehend festgestellt, erzeugt
das Pad-Beschichtungssystem ein Interruptsignal INR, um den Beschichtungsbetrieb
zu stoppen, wenn der Verschlußöffnungs-/-schließschalter 1 des
UV-Quellenabschnitts 42 auf einen geschlossenen Zustand eingestellt
ist, der Zeit-/Handbetriebsschalter 2 auf Handbetrieb eingestellt
ist, die UV-Lampe ausgeschaltet ist, der Intern/Extern-Modusschalter 4 des Dispensers 44 auf
einen internen Modus eingestellt ist oder der Zeit-/Handbetriebsschalter 5 auf
Handbetrieb eingestellt ist. Wenn das Interruptsignal INR erzeugt
wird, wird ein Alarm erzeugt oder eine Fehlermeldung über den
Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40 erzeugt. Dadurch kann ein
Bediener alarmiert werden, um die Schalter des UV-Quellenabschnitts 42 und des
Dispensers 44 zum Beseitigen der Fehlerquelle zu überprüfen, wodurch
ein fehlerhafter Pad-Beschichtungsbetrieb im voraus verhindert wird.
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3 ist
ein Blockdiagramm, das ein Beschichtungssystem gemäß einer
anderen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt. Das Pad-Beschichtungssystem
der 3 enthält einen Prober 50,
einen Eingabe-/Ausgabeabschnitt 60, einen UV-Quellenabschnitt 62 und
einen Dispenser 64. Der Prober 50 enthält eine
Steuervorrichtung 52 und eine erste und zweite Interruptsignalerzeugungsschaltung 54 bzw. 56.
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Die erste Interruptsignalerzeugungsschaltung 54 erzeugt
ein erstes Interruptsignal INR1 in Ubereinstimmung mit einem Verschlußschließsignal SC,
einem Handbetriebssignal M1 und einem UV-Lampenaussignal LO, welche
durch den UV-Quellenabschnitt 62 erzeugt werden. Bei dieser Ausführungsform
ist das Verschlußschließsignal
SC "Hoch" (d.h., logisch 1),
wenn der Verschlußöffnungs-/-schließschalter 1 des
UV-Quellenabschnitts 62 sich in einem geschlossenen Zustand
befindet; das Handbetriebssignal M1 ist "Hoch",
wenn der Zeit-/Handbetriebsschalter 2 des UV-Quellenabschnitts 62 auf
Handbetrieb eingestellt ist, und das UV-Lampenaussignal LO ist "Hoch", wenn die UV-Lampe 3 des
UV-Quellenabschnitts 62 sich in einem Auszustand befindet.
Die erste Interruptsignalerzeugungsschaltung 54 erzeugt
ein erstes Interruptsignal INR1, wenn eines oder mehrere der Signale
SC, M1 und LO einen "Hoch"-Pegel aufweisen.
Die zweite Interruptsignalerzeugungsschaltung 56 erzeugt
ein zweites Interruptsignal INR2 in Ubereinstimmung mit einem Innenbetriebssignal
INT und einem Handbetriebssignal 2, welche durch den Dispenser 62 erzeugt
werden. Bei dieser Ausführungsform
ist das Innenbetriebssignal INT "Hoch", wenn der Intern/Extern-Modusschalter
4 des Dispensers 64 auf den internen Modus eingestellt
ist, und das Handbetriebssignal M2 ist "Hoch",
wenn der Zeit-/Handbetriebsschalter 5 des Dispensers 64 auf Handbetrieb
eingestellt ist. Die zweite Interrupt-Erzeugungsschaltung 56 erzeugt
ein zweites Interruptsignal INR2, wenn eines oder mehrere dieser
Signale INT und M2 einen "Hoch"-Pegel aufweisen.
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Die Steuervorrichtung 52 erzeugt
einen Alarm oder gibt eine Fehlermeldung über den Eingabe-/Ausgabeabschnitt 60 aus,
wenn das erste Interruptsignal INR1 oder das zweite Interruptsignal
INR2 erzeugt wird. Ebenso wird mit der Ausgabe der Fehlermeldung
eine Nachricht von der Steuervorrichtung ausgegeben, die anzeigt,
daß ein
Fehler bezüglich des
UV-Quellenabschnitts 62 vorliegt, wenn das erste Interruptsignal
INR1 erzeugt wird, und die Steuervorrichtung gibt eine Nachricht
aus, die anzeigt, daß ein
Fehler bezüglich
des Dispensers 64 vorliegt, wenn das zweite Interruptsignal
INR2 erzeugt wird.
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Das Pad-Beschichtungssystem der 3 ermöglicht über den Eingabe-/Ausgabeabschnitt 60 eine
visuelle Darstellung, ob ein Fehler des UV-Quellenabschnitts 54 oder
des Dispensers 54 vorliegt und somit kann der Bediener
ohne weiteres die Fehlerquelle bestimmen.
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Obgleich nicht dargestellt, können die
ersten und zweiten Interruptsignalerzeugungsschaltungen 54 und 56 statt
in dem Prober 50 in dem UV-Quellenabschnitt 62 bzw.
in dem Dispenser 64 angeordnet sein.
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Ebenso können die Interruptsignalerzeugungsschaltung 34 der 2 und die ersten und zweiten
Interruptsignalerzeugungsschaltungen 54 und 56 nicht
weggelassen werden. In diesem Fall ist das Pad-Beschichtungssystem
so aufgebaut, daß die
Signale SC, M1 und LO, die von dem UV-Quellenabschnitt 62 erzeugt
werden, und die Signale INT und M2, die von dem Dispenser 64 erzeugt
werden, direkt an die Steuervorrichtung angelegt werden. Die Steuervorrichtung
wird dann so programmiert, daß das
Vorhandensein eines Fehlers gemäß dem Zustand
der jeweiligen Signale SC, M1, LO, INT und M2 festgestellt wird.
Wie zuvor kann auch hier jeder Fehler über den Eingabe-/Ausgabeabschnitt
visuell dargestellt werden.
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Bei 2 und 3 kann ohne eine zusätzliche Schaltung
zum Erzeugen der Signale SC, M1 und LO, der UV-Quellenabschnitt
so aufgebaut sein, daß die
Signale, die intern durch Manipulation der Schalter 1, 2 und 3 erzeugt
werden, extern ausgegeben werden. In ähnlicher Weise kann der Dispenser
so aufgebaut sein, daß die
Signale, die intern erzeugt werden, durch Manipulation der Schalter 4 und 5 extern
ausgegeben werden, ohne daß eine
zusätzliche Schaltung
zum Erzeugen der Signale INT und M2 notwendig ist.
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Das Pad-Beschichtungssystem der vorliegenden
Erfindung stoppt einen Pad-Beschichtungsbetrieb, wenn die Schalter
des UV-Quellenabschnitts und des Dispensers nicht auf einen gewünschten
Zustand eingestellt ist, d.h., in einen Zustand, bei dem der UV-Quellenabschnitt
und der Dispenser nicht vollständig
durch die Steuervorrichtung gesteuert werden können.
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4 ist
ein Flußdiagramm,
das ein Verriegelungsverfahren des Pad-Beschichtungssystems der
vorliegenden Erfindung darstellt. Das Flußdiagramm der 4 zeigt ein Verriegelungsverfahren für einen
einzigen Wafer.
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Als erstes gibt die Steuervorrichtung
das Verschlußöffnungs-/-schließsignal
SOC und das Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD an den UV-Quellenabschnitt
bzw. an den Dispenser aus (Schritt 100). Die Steuervorrichtung bestimmt
anschließend, ob
ein Pad-Beschichtungsstartbefehl anliegt (Schritt 110). Falls nicht
wird der Schritt 110 wiederholt ausgeführt.
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Falls der Pad-Beschichtungsstartbefehl
anliegt, wird festgestellt, ob das Interruptsignal INR erzeugt worden
ist (Schritt 120).
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Falls das Interruptsignal INR erzeugt
worden ist, wird ein Alarm oder eine Fehlermeldung durch den Eingabe-/Ausgabeabschnitt
erzeugt (Schritt 130). Das heißt,
vor dem Durchführen
eines Pad-Beschichtungsbetriebs bestimmt die Steuervorrichtung, ob
die Schalter des UV-Quellenabschnitts und des Dispenser in die gewünschte Stellung
gebracht worden sind. Falls die Schalter nicht in die gewünschten Stellungen
gebracht worden sind, stoppt die Steuervorrichtung den Pad-Beschichtungsbetrieb
bzw. führt ihn
gar nicht erst aus. Wie vorangehend beschrieben wird das Interruptsignal
INR erzeugt, wenn der Verschlußöffnungs-/-schließschalter
in einem geschlossenen Zustand ist, der Zeit-/Handbetriebsschalter
auf Handbetrieb eingestellt ist, die UV-Lampe sich in einem Auszustand
befindet, der Intern-/Extern-Modusschalter des Dispensers auf internen
Modus eingestellt ist oder der Zeit-/Handbetriebschalter auf Handbetrieb
eingestellt ist.
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Falls das Interruptsignal INR nicht
erzeugt wird, lädt
der Prober einen Wafer, um einen Pad-Beschichtungsbetrieb durchzuführen (Schritt
140).
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Der Prober beschichtet die Pads gemäß einer
Beschichtungsbedingung, die in dem Dispenser eingestellt worden
ist, während
der Suche nach zu beschichtenden Pads auf dem Wafer (Schritt 150).
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Als nächstes strahlt der Prober das
UV-Licht gemäß der in
dem UV-Quellenabschnitt eingestellten Bedingung während der
Suche nach den zu beschichtenden Pads auf den Wafer (Schritt 160).
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Bei den Schritten 150 und 160 sucht
der Prober nach den Pads des Wafers, die gemäß eines in der Steuervorrichtung
eingestellten Koordinatenwerts zu beschichten sind.
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Als letztes entlädt der Prober den vollständigen Wafer
und beendet seinen Betrieb (Schritt 170).
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Auch wenn ein Verriegelungsverfahren
der 4 überprüft, ob das
Interruptsignal INR in einer einzelnen Wafereinheit erzeugt worden
ist, ist es möglich,
zu überprüfen, ob
ein Interruptsignal bei einer Mehrzahl von Wafereinheiten erzeugt
worden ist.
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Wie vorangehend beschrieben kann
das Pad-Beschichtungssystem und das Verriegelungsverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung Fehlfunktionen im voraus durch Stoppen eines Pad-Beschichtungsbetriebs
verhindern, wenn die Schalter des UV-Quellenabschnitts und des Dispensers
nicht auf einen gewünschten
Zustand eingestellt sind.
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Obgleich die Erfindung unter Bezugnahme auf
bevorzugte Ausführungsformen
davon genau gezeigt und beschrieben worden ist, ist es für den Fachmann
offensichtlich, daß die
vorhergehenden und andere Veränderungen
in Form und Detail daran vorgenommen werden können, ohne das gedankliche Grundkonzept
und den Umfang der Erfindung zu verlassen.