DE10196035B4

DE10196035B4 - Anordnung zum Multiplexen und/oder Demultiplexen der Signale einer Mehrzahl optischer Datenkanäle

Info

Publication number: DE10196035B4
Application number: DE10196035A
Authority: DE
Inventors: Jörg-Reinhardt KROPP
Original assignee: Infineon Technologies AG
Current assignee: Finisar Corp
Priority date: 2001-02-15
Filing date: 2001-02-15
Publication date: 2005-09-08
Anticipated expiration: 2021-02-16
Also published as: WO2002065180A1; DE10196035D2

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Multiplexen und/oder Demultiplexen der Signale einer Mehrzahl optischer Datenkanäle unterschiedlicher Wellenlänge, wobei die gemultiplexten Signale in einem Wellenleiter (1) übertragen werden. Erfindungsgemäß ist der Wellenleiter (1) in einem planaren Substrat (2) angeordnet oder ausgebildet, das mehrere unter einem definierten Winkel verlaufende Einschnitte (3) aufweist, die den Wellenleiter (1) an hintereinander liegenden Stellen unterbrechen, und ist in diesen Einschnitten (3) jeweils ein wellenlängenselektiver Spiegel (4) angeordnet, an dem Licht schräg zur Oberfläche des Substrats (2) ein- oder ausgekoppelt wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Anordnung.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Multiplexen und/oder Demultiplexen der Signale einer Mehrzahl optischer Datenkanäle.
Es ist in der optischen Nachrichtentechnik bekannt, zur Übertragung einer möglichst großen Datenmenge über einen Lichtwellenleiter die zu übertragenden Daten zu multiplexen. Eine Möglichkeit hierzu besteht darin, mit mehreren Wellenlängen unabhängig und gleichzeitig über einen Wellenleiter Informationen zu übertragen. Hierzu ist es notwendig, auf der Sendeseite die Signale der verschiedenen Lichtquellen durch einen optischen Multiplexer in einen Lichtwellenleiter zu vereinigen und auf der Empfängerseite die Signale verschiedener Wellenlängen aus dem ankommenden Wellenleiter durch einen optischen Demultiplexer in einzelne Datenkanäle zur getrennten Detektion aufzuteilen.

Eine Möglichkeit zur Realisierung eines Multiplexing oder Demultiplexing besteht in der Separation der Wellenlängen der einzelnen Datenkanäle durch Interferenzfilter. Eine solche Realisierung erweist sich insbesondere bei größeren Wellenlängenabständen zwischen den einzelnen Datenkanälen von 10 nm und mehr als sehr effektiv. Durch eine hohe Zahl von Interferenzschichten an den einzelnen Interferenzfiltern können dabei sehr steile spektrale Flanken zwischen Transmission und Reflexion verschiedener Wellenlängen erzeugt werden. Durch eine Kaskadierung von solchen Filtern mit individuell unterschiedlichen spektralen Transmissions- bzw. Reflexionslagen kann eine Selektion bzw. Vereinigung einer Vielzahl von Wellenlängenkanälen erfolgen. Die Verwendung von Interferenzfiltern zur Realisierung. eines Multiplexing bzw. Demultiplexing ist beispielsweise in der EP-A-O 877 264 und in der EP-A-1 004 907 beschrieben.

Bei der EP-A-O 877 264 erfolgt die Kaskadierung der Filter in einem parallelen optischen Strahlengang, was nachteilig eine Strahlformung durch Linsen oder Spiegel voraussetzt. Bei der EP-A-1 004 907 ist zwar die Verwendung eines divergierenden Strahlbündels beschrieben. Diesem divergierenden Strahlbündel sind jedoch fokussierende Spiegel zugeordnet, so daß auch hier eine Strahlformung durch Spiegel erforderlich ist.

Eine weitere Möglichkeit der Kaskadierung der Filter besteht in der Führung des Lichtes in Wellenleitern. Dabei sind Anordnungen bekannt, bei denen das in einem Wellenleiter geführte Licht unter einem Winkel an einer wellenlängenselektiv ausgelegten Spiegelfläche reflektiert und in einem weiteren Wellenleiter nach der Reflektion weitergeführt wird. Bei einer Zick-Zack-Führung der Wellenleiter zwischen mehreren Spiegeln kann dabei die erforderliche Kaskadierung erfolgen.

Die EP 0 844 503 A1 beschreibt eine optische Anordnung, bei der in die Nut eines planaren Substrats eine optische Faser eingebracht ist. In der optischen Faser kann Licht mehrerer Wellenlängen übertragen werden. Es sind Einschnitte in dem Substrat vorgesehen, die unter einem definierten Winkel verlaufen und die optische Faser an hintereinander liegenden Stellen unterbrechen. In diesen Einschnitten ist in einer Ausgestaltung jeweils ein wellenlängenselektiver Spiegel angeordnet, an dem Licht schräg zur Oberfläche des Substrats ausgekoppelt wird. Eine vergleichbare optische Anordnung unter Verwendung einer optischen Faser ist auch aus der EP 0 887 674 A2 bekannt.

Die US 5263111 A beschreibt eine optische Struktur, bei der in einem planaren Substrat ein integriert optischer Wellenleiter ausgebildet ist, dessen Licht über einen in das Substrat integrierten Spiegel reflektiert und ausgekoppelt wird.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zum Multiplexen und/oder Demultiplexen der Signale einer Mehrzahl optischer Datenkanäle zur Verfügung zu stellen, die in einfacher Weise die Realisierung eines Multiplexens bzw. Demultiplexens von in einem Wellenleiter geführten Signalen verschiedener Wellenlänge ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Anordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Bevorzugte und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Danach zeichnet sich die erfindungsgemäße Anordnung zum Multiplexen und/oder Demultiplexen dadurch aus, daß der Wellenleiter integriert optisch in einem planaren Substrat ausgebildet ist, das mehrere unter einem definierten Winkel verlaufende Einschnitte aufweist, die den Wellenleiter an hintereinander liegenden Stellen unterbrechen. In den Einschnitten ist jeweils ein wellenlängenselektiver Spiegel angeordnet, an dem jeweils Licht schräg zur Oberfläche des Substrats ein- oder ausgekoppelt wird.

Es erfolgt somit eine Ein- bzw. Auskopplung von Licht in einer Ebene, die winklig zu der Ebene des Substrats ist, in dem der Wellenleiter angeordnet ist. Die erfindungsgemäße Lösung erlaubt dabei eine einfache Realisierung der Anordnung, da lediglich von der Substratkante aus mit einer Wafersäge unter definiertem Winkel seitliche Einschnitte in das Substrat einzubringen. und in diese Einschnitte dann die wellenlängenselektiven Filter einzubringen sind.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weisen die Einschnitte alle denselben Winkel gegenüber der Substratoberfläche auf. Dies ermöglicht eine einfache Herstellung der Anordnung unter Sägen oder Ätzen des Substrats stets unter dem gleichen Winkel. Grundsätzlich können die einzelnen Einschnitte jedoch auch unterschiedliche Winkel aufweisen.

Der Winkel der Einschnitte bzw. wellenlängenselektiven Spiegel zur Substratoberfläche beträgt beispielsweise 30°, ist jedoch in einem relativ großen Bereich variierbar. Es ist lediglich darauf zu achten, daß die wellenlängenselektiven Schichten des Spiegels bei dem eingestellten Einfallswinkel eine steile spektrale Flanke zwischen Transmission und Reflexion der verschiedenen Wellenlängen bereitstellen, so, daß die einzelnen Kanäle sauber voneinander getrennt bzw. zusammengeführt werden können.

Die einzelnen Spiegel sind bevorzugt über einen Kleber in den jeweiligen Einschnitten positioniert, wobei der Kleber bevorzugt eine ähnliche oder identische Brechzahl aufweist wie der Wellenleiter des Substrats. Dabei ist zu berücksichtigen, daß durch Unterbrechen des Wellenleiters an den Einschnitten Unebenheiten am Wellenleiter vorliegen können. Insbesondere sind die Stirnflächen des Wellenleiters an den Unterbrechungsstellen nicht poliert. Durch Verwendung eines Klebers, der eine ähnliche Brechzahl wie der Wellenleiter aufweist, können Unebenheiten, die sich an den Wellenleiterstirnflächen durch die Durchtrennung gebildet haben, ausgefüllt und optisch ausgeglichen werden.

Als Materialien für den Wellenleiter kommen beispielsweise Glas und Kunststoff in Frage. Ebenfalls ist es möglich, den integriert optischen Wellenleiter aus einem Halbleitermaterial zu bilden.

In einer bevorzugten Ausgestaltung, insbesondere bei der Verwendung der Anordnung als Empfänger, d.h. Demultiplexer, ist der in dem Substrat angeordnete Wellenleiter als vielmodiger Wellenleiter ausgebildet.

Vielmodige Wellenleiter besitzen die Eigenschaft, daß Strahlung unter verschiedenen Richtungen im Wellenleiter geführt wird. Dies führt zu einer Verbreiterung der spektralen Durchlaßkurve der Interferenzfilter. Um dem gegenzusteuern, sieht eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung vor, für die Filter bzw. wellenlängenselektiven Spiegel Halbleitermaterialien zu verwenden. Halbleitermaterialien besitzen eine sehr hohe Brechzahl, durch die die Winkelabhängigkeit der Filterkurve von Interferenzfiltern deutlich reduzierbar ist. Ein weiterer Vorteil in der Verwendung von Halbleitermaterialien als Filter besteht darin, daß solche Filter mit sehr hoher Genauigkeit, z.B. durch Epitaxie hergestellt werden können, beispielsweise als Materialsystem GaAs – AlAs. Auch verringert die hohe Brechzahl von Halbleitermaterialien die Aufweitung des Strahls beim Durchtreten des Filtersubstrats, was zu einer Minimierung der optischen Verluste beim Durchtreten des Filters führt.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist das über einen wellenlängenselektiven Spiegel ein- oder ausgekoppelte Licht jeweils mit einer Sende- oder Empfangseinheit gekoppelt, die direkt auf dem Substrat angeordnet ist. Das Substrat dient somit zusätzlich zur Montage der Sende- oder Empfangseinheiten. Durch Montage der Sende- oder Empfangseinheiten direkt über dem Austritts- bzw. Eintrittsbereich der Strahlung auf der Oberfläche des Substrats wird eine gute optische Kopplung gewährleistet. Die elektrische Kontaktierung der Sende- und Empfangseinheiten erfolgt über eine Leiterbahnstruktur auf dem Substrat, die in an sich bekannter Weise auf diesem angeordnet werden kann.

In einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung sind in das Substrat Führungsstrukturen zur Ankopplung von Lichtwellenleitern integriert. Sofern als Substrat Silizium verwendet wird, können diese Strukturen mit hoher Präzision beispielsweise durch anisotropes Ätzen erzeugt werden. Das Vorsehen solcher Führungsstrukturen ermöglicht die justagefreie Ankopplung der Multiplex-/Demultiplexanordnung an die lichtführenden Fasern.

In einer bevorzugten Ausgestaltung verläuft der Wellenleiter nahe der Substratkante des Substrats. Hierdurch können die seitlichen Einschnitte des Substrats relativ kurz ausgeführt und einfach vorgenommen werden.

Neben einer Ausbildung des Substrats aus Silizium ist insbesondere auch eine Ausbildung des Substrats durch Kunststoff zu denken. Zur Herstellung eines Wellenleiters in dem Kunststoffsubstrat wird dieses, beispielsweise durch Prägen, mit kanalartigen Strukturen versehen, die dann mit Wellenleitermaterial gefüllt werden.

Ein Verfahren zur Herstellung einer Multiplexer/Demultiplexeranordnung sieht vor, daß in das planare Substrat unter einem definierten Winkel Einschnitte und in diese Einschnitte dann wellenlängenselektive Spiegel eingebracht werden, wobei die Einschnitte bzw. wellenlängenselektiven Spiegel den Wellenlängenleiter in mehreren hintereinander liegenden Stellen durchtrennen. Eine Befestigung der Spiegel in den Einschnitten erfolgt bevorzugt mittels eines Klebers.

Die Einschnitte werden in einer Ausgestaltung des Verfahrens durch Sägen mittels einer Wafersäge in das Substrat eingebracht. Da die gesägte Fläche eine gewisse Rauigkeit aufweist, wird dabei bevorzugt vorgesehen, die gesägte Fläche etwa durch eine Politur chemisch zu glätten bzw. anzuätzen. Hierdurch erfolgt ein glättender Effekt, der auch bewirkt, daß die Stirnfläche des unterbrochenen Wellenleiters geglättet wird.

Die Einschnitte können jedoch auch auf andere Weise in das Substrat eingebracht werden. Beispielsweise werden die Einschnitte durch Ätzen in schräger Richtung in das Substrat eingebracht. Der Vorteil in der Verwendung eines Ätzverfahrens besteht darin, daß automatisch glatte Seitenwände am Einschnitt vorliegen.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren der Zeichnung anhand mehrerer Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:

1 eine Draufsicht auf eine schematisch dargestellte, erfindungsgemäße Anordnung zum Multiplexen und/oder Demultiplexen;

2 eine Seitenansicht der Anordnung der 1 und

3 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Anordnung der 1, bei der zusätzlich die elektrische Kontaktierung der Sende- und Empfangsein heiten und Führungsstrukturen zur Ankopplung eines Lichtwellenleiters dargestellt sind.

In den 1 und 2 ist in Draufsicht bzw. Seitenansicht schematisch eine erfindungsgemäße Anordnung zum Multiplexen bzw. Demultiplexen optischer Signale dargestellt. Ein Wellenleiter 1 erstreckt sich-parallel und in benachbartem Abstand zu der Kante 21 eines Substrats 2. Bei dem Substrat 2 handelt es sich beispielsweise um Silizium oder Lithiumniobat. Auch kann als Substrat ein Kunststoff verwendet werden, bei dem das Wellenleitermaterial in Oberflächenstrukturen des Kunststoffs eingebracht ist.
Der Lichtwellenleiter 1 ist integriert optisch ausgebildet. Der Lichtwellenleiter besteht beispielsweise aus einem Titanstreifen, der in ein Substrat aus Lithiumniobat eindiffundiert ist.
Weiter kann der Wellenleiter 1 als vielmodiger Wellenleiter ausgebildet sein.
Wie insbesondere der Seitenansicht der 2 zu entnehmen ist, sind in das Substrat 2 eine Vielzahl von seitlichen Einschnitten 3 eingebracht, die sich von der Kante 21 senkrecht zur Längsrichtung des Wellenleiters 1 erstrecken. Die seitlichen Einschnitte werden beispielsweise mittels einer Wafersäge oder durch Ätzen unter einem schrägen Winkel hergestellt. Es ist dabei wesentlich, daß die Einschnitte in einem Winkel ungleich 90° zur Oberfläche des Substrats 2 verlaufen.
In den 1 und 2 weisen die Einschnitte den gleichen Winkel gegenüber der Substratoberfläche auf. Es ist jedoch ebenfalls möglich, unterschiedliche Winkel für die verschiedenen Einschnitte vorzusehen.
In die einzelnen Einschnitte 3 ist jeweils ein wellenselektiv reflektierender Spiegel 4 eingebracht, der einen Filter für eine bestimmten spekralen Bereich darstellt. Jeder Spiegel 4 besteht aus einem Träger 41 und einem Filterplättchen 42 mit wellenlängenselektiven Interferenzschichten, das an der einen Oberfläche des Trägers 41 ausgebildet ist.
Die Einschnitte 3 bzw. die daran angeordneten Spiegel 4 unterbrechen jeweils den Wellenleiter 1. Insbesondere bei Herstellen der Einschnitte 3 mittels einer Wafersäge weist der Wellenleiter an den durch die Durchtrennung gebildeten Wellenleiter-Stirnflächen Unebenheiten auf. Um diese zu beseitigen bzw. deren Effekt zu minimieren, werden die wellenselektiven Spiegel 4 in den Einschnitten 3 bevorzugt mittels eines Klebers befestigt, der eine ähnliche Brechzahl wie der Wellenleiter 1 aufweist. Hierdurch können die genannten Unebenheiten ausgefüllt und optisch ausgeglichen werden.
Auch kann zur Reduzierung der Unebenheiten der Stirnflächen vorgesehen sein, diese chemisch zu glätten.
Der Träger 41 des Spiegels 4 besteht in einer Ausgestaltung der Erfindung aus einem Halbleitermaterial. Halbleitermaterialien zeichnen sich dadurch aus, daß sie eine Brechzahl aufweisen. Dies bewirkt, daß aus der unpolierten Stirnfläche des Wellenleiters 1 austretendes, naturgemäß im Bereich vor Einkopplung in den Spiegel 4 divergentes Licht durch die erhöhte Brechzahl des Trägers 41 stärker gebrochen wird. Eine Aufweitung des Strahls wird dadurch verringert. Nachteilig an der Verwendung eines Trägers 41 hoher Brechzahl ist allerdings ein Strahlversatz im Wellenleiter 1, der mit dem Brechzahldifferenz einhergeht.
Es kann jedoch ebenfalls vorgesehen sein, daß der Träger 41 des Filters 4 im wesentlichen die gleiche Brechzahl aufweist wie der Lichtwellenleiter 1. Dies weist den Vorteil auf, daß kein Strahlversatz bei Durchgang durch den Träger 41 erfolgt. Dabei kann bei Verwendung eines Halbmaterials für den Träger 41 ein Versatz dadurch vermieden bzw. reduziert werden, daß auch der Wellenleiter aus Halbleitermaterial besteht.
Wenn durch den Wellenleiter 1 Lichtsignale einer Vielzahl von Datenkanälen unterschiedlicher Wellenlänge übertragen werden (Einkopplung von der linken Bildebene), so erfolgt an jedem wellenlängenselektiven Filter bzw. Spiegel 4 eine Reflexion einer bestimmten, für den jeweiligen Spiegel typischen Wellenlänge, die einen Datenkanal repräsentiert, und eine Transmission der übrigen Wellenlängen. Aufgrund der winkligen Anordnung der Spiegel 4 gegenüber dem Wellenleiter 1 wird von den jeweiligen Spiegeln 4 reflektiertes Licht eines bestimmten Kanals schräg zur Oberfläche des Substrats 2 abgestrahlt und ausgekoppelt bzw. – bei umgekehrter Ausbreitungsrichtung des Lichts – eingekoppelt. Der übrige Teil des Lichts durchstrahlt jeweils das Filterplättchen 42 und wird in dem dahinter weiterlaufenden Wellenleiter 1 weitergeführt.
Durch eine Kaskadierung der Filter wird ein Multiplexing bzw. Demultiplexing der optischen Signale mehrerer Wellenlängen bzw. Datenkanäle realisiert.
Das an den jeweiligen Filtern reflektierte Licht wird unmittelbar in eine an sich bekannte Empfangseinheit 5 eingekoppelt, die in der dargestellten Ausführung direkt über dem Austrittsbereich der Strahlung auf der Oberfläche des Substrats 2 montiert ist. Ebenso kann die Einheit 5 als Sendeeinheit ausgebildet sein, wobei über die Spiegel 4 dann jeweils Lichtsignale in den Wellenleiter 1 eingekoppelt werden. Die optisch aktive Fläche des Sende- oder Empfangselements beträgt beispielsweise 10–20 μm.
Gemäß 3 ist für die elektrische Kontaktierung der Sende- und Empfangseinheiten 5 vorgesehen, auf dem Substrat 2 eine an sich bekannte Leiterbahnstruktur 6 aufzubringen.
Des weiteren ist der 3 zu entnehmen, daß am Rande des Substrats 2 eine Führungsstruktur 9 zur Aufnahme bzw. zum Einlegen eines Lichtwellenleiters 7 einstückig ausgebildet ist. Bei dieser Struktur handelt es sich im dargestellten Ausführungsbeispiel um eine V-Nut 9, die bei Verwendung von Silizium als Substrat 2 bevorzugt durch anisotropes Ätzen mit hoher Genauigkeit hergestellt ist und dabei eine Tiefe derart aufweist, daß der angekoppelte Lichtwellenleiter 7 in gleicher Höhe mit dem Wellenleiter 1 des Substrats liegt, so daß ohne weitere Justage eine verlustarme Lichtkopplung zwischen dem herangeführten Wellenleiter 7 und dem Wellenleiter 1 des Substrats 2 bereitgestellt wird.
In 3 ist des weiteren ein Verstärker 8 schematisch dargestellt, über den die Signale der einzelnen Sende- und Empfangseinheiten 5 vorverstärkt oder erzeugt werden.
Die Erfindung beschränkt sich in ihrer Ausführung nicht auf die vorstehend dargestellten Ausführungsbeispiele. Wesentlich für die Erfindung ist allein, daß ein Multiplexing bzw. Demultiplexing dadurch verwirklicht wird, daß ein Substrat mehrere, unter einem definierten Winkel verlaufende Einschnitte aufweist, die einen Wellenleiter an hintereinander liegenden Stellen unterbrechen, und in diesen Einschnitten jeweils ein wellenlängenselektiver Spiegel angeordnet ist. Eine solche Anordnung ermöglicht in einfacher und effektiver Weise ein Multiplexing bzw. Demultiplexing von Signalen, die in einem planaren Wellenleiter verlaufen.

Claims

Anordnung zum Multiplexen und/oder Demultiplexen der Signale einer Mehrzahl optischer Datenkanäle unterschiedlicher Wellenlänge, wobei – die gemultiplexten Signale in einem Wellenleiter (1) übertragen werden, – der Wellenleiter (1) integriert optisch in einem planaren Substrat (2) ausgebildet ist, – das planare Substrat (2) mehrere unter einem definierten Winkel verlaufende Einschnitte (3) aufweist, – die Einschnitte (3) den integriert optischen Wellenleiter (1) an hintereinander liegenden Stellen unterbrechen, und – in diesen Einschnitten (3) jeweils ein wellenlängenselektiver Spiegel (4) angeordnet ist, an dem Licht schräg zur Oberfläche des Substrats (2) ein- oder ausgekoppelt wird.
Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einschnitte (3) alle denselben Winkel gegenüber der Substratoberfläche aufweisen.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel (4) über einen Kleber in den Einschnitten (3) positioniert sind, der die gleiche oder eine ähnliche Brechzahl aufweist wie der Wellenleiter (1) des Substrats (2).
Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Wellenleiter (1) aus Glas oder einem Kunststoff besteht.
Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Wellenleiter (1) aus Halbleitermaterial besteht.
Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Wellenleiter (1) ein vielmodiger Wellenleiter ist.
Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als wellenlängenselektiven Spiegel (4) Halbleitermaterialien verwendet werden.
Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das über die wellenlängenselektiven Spiegel (4) ein- oder ausgekoppelte Licht jeweils mit einer Sende- oder Empfangseinheit (5) gekoppelt ist, die direkt auf dem Substrat (2) angeordnet ist.
Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in das Substrat (2) Führungsstrukturen (9), insbesondere zur Ankopplung von Lichtwellenleitern (7) integriert sind.
Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsstrukturen (9) durch anisotropes Ätzen erzeugt sind.
Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Wellenleiter (1) nahe der Substratkante (21) verläuft.
Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Substrat (2) Silizium verwendet wird.
Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Substrat (2) ein Kunststoff verwendet wird.