DE10151375A1

DE10151375A1 - Verfahren zur Herstellung von planparallelen Plättchen mittels organischer Trennmittel

Info

Publication number: DE10151375A1
Application number: DE10151375A
Authority: DE
Inventors: Hilmar Weinert
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2001-05-21
Filing date: 2001-10-18
Publication date: 2003-02-06
Also published as: KR20040010652A

Abstract

Vorgeschlagen wird ein neues Verfahren zur Herstellung von planparallelen Plättchen mit den Schritten a) Aufdampfen eines Trennmittels auf einen Träger zum Erzeugen einer Trennmittelschicht bei einem Druck unterhalb des Atmosphärendruckes, b) Aufdampfen zumindest einer Produktschicht auf die Trennmittelschicht bei einem Druck unterhalb des Atmosphärendruckes und c) Lösen der Trennmittelschicht in einem Lösungsmittel und Erzeugen einer Suspension, in der die zumindest eine Produktschicht in Form von planparallelen Plättchen vorliegt, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß das Trennmittel aus der Gruppe der organischen Polymere und der Aromaten und/oder Heterocyclen ausgewählt wird. Als besonders geeignete Trennmittel erweisen sich aromatische Verbindungen mit mindestens einem Benzolring.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von planparallelen Plättchen.

An planparallelen Plättchen bzw. "Flakes", meistens aus Aluminium oder aus Kombinationen von Metallen mit Oxiden, besteht großes Interesse zur Verwendung als Pigmente in Lacken und Druckfarben, als Katalysatormaterial, als Ausgangsprodukt für magnetische und elektrische Abschirmungen und als Ausgangsmaterial für Leitlacke. Diese Produkte unterscheiden sich von den klassischen, nach einem Mahlverfahren hergestellten Pigmenten, welche mehr oder weniger abgeflachte Kugeln sind und deshalb ein wesentlich ungünstigeres Verhältnis von Oberfläche zu Masse aufweisen.

Der Pigmentgehalt einer metallischen Autolackierung beträgt bei klassischen Mahlpigmenten ca. 80-100 g Aluminium, während für dieselbe Fläche bei Verwendung von planparallelen Plättchen aus Aluminium, die nach dem PVD- Verfahren ("Physical Vapour Deposition") hergestellt werden, bereits 4-5 g ausreichen. Solche Plättchen sind typischerweise 30-500 nm dick, die flächigen Abmessungen liegen zwischen 5 und 50 µm. Planparallele Plättchen zeichnen sich durch eine bessere Wirtschaftlichkeit aus. Bereits 3-4 Lagen solcher Plättchen erzeugen bei Einsatzgewichten von nur 0,3 bis 0,4 g/m² Aluminium eine den Hintergrund optisch abdeckende Schicht.

Nach DE 198 44 357 C2 (Weinert) werden solche planparallelen Plättchen (Flakes) in einem kontinuierlichen Verfahren hergestellt, indem eine Trennmittelschicht und eine Produktschicht, zum Beispiel eine Aluminiumschicht, im selben Hochvakuum nacheinander im Durchlauf auf einen endlosen Träger aufgedampft werden, gefolgt von einer Auflösung des Trennmittels in einem Folgebad eines Lösungsmittels, welches sich ebenfalls unter Vakuum befindet. Die Produktschicht zerfällt dadurch in einzelne Flakes, welche dann in einer Suspension aus dem Lösemittel, dem gelösten Trennmittel und den Flakes vorliegen. Diese Suspension wird gesammelt, und die planparallelen Plättchen werden nach an sich bekannten Verfahren isoliert und zu Lacken oder Druckfarben weiterverarbeitet. Ein weiteres, diskontinuierliches Mehrstufenverfahren wird zur Herstellung von optisch veränderlichen Pigmentplättchen verwendet, wie sie zur Erhöhung der Fälschungssicherheit von Banknoten verwendet werden (EP 227 423). Ein ähnliches Verfahren beschreibt das US-Patent Nr. 5,278,590. In den US-Patenten Nr. 4,168,985 (Venis), 3,123,489 (Bolomey et al.) und 5156720 (Rosenfeld) werden anorganische Salze als Trennmittel verwendet, welche in einem nachfolgenden Schritt mittels Wasser als Lösungsmittel aufgelöst werden, wodurch die Produktschicht als Flocken in wäßriger Suspension vorliegt.

Nach WO99/65618 (Kittler) werden wachsartige Substanzen verdampft, worauf die Produktschicht im selben Vakuum aufgedampft oder gesputtert wird. Nach einer großen Anzahl von Umdrehungen des Trägers, meistens eines rotierenden Zylinders, wir das n-fache Schichtpaket (Wachs/Metall) abgeschabt. Das Wachs wird im gesammelten Brei in einem weiteren Schritt außerhalb der Vakuumanlage durch Lösungsmittel ausgewaschen. In allen Fällen werden große Mengen Lösungsmittel zum Auswaschen des Produktes benötigt. Diese müssen danach entweder aufgearbeitet oder entsorgt werden.

Zur Herstellung von planparallelen Plättchen aus Metallen wie Aluminium, Eisen, Kupfer und Titan sowie wasserlöslichen Verbindungen eignen sich Salze als Trennmittel nicht. Die großen Oberflächen dieser Plättchen reagieren unter Wasserstoffbildung mit dem Wasser bzw. die wasserlöslichen Verbindungen werden einfach aufgelöst. Die Metalloberflächen dieser Plättchen wird ferner durch die chemische Reaktion angegriffen und verliert ihre Oberflächenqualität. Im Falle von Kupfer reagiert das Anion des gelösten Salzes mit dem Metall.

Bei den nach dem PVD-Verfahren hergestellten Plättchen aus Quarz oder Titandioxid tritt demgegenüber keine Reaktion auf; Salze sind geeignete Trennmittel. Natriumchlorid, Natriumtetraborat (US 3,123,489; Bolomey et al.) sowie Natriumfluorid (US 4,168,985; Venis) und andere Salze sind als gut verdampfbare Substanzen bekannt, welche sich im PVD-Verfahren nicht zersetzen. Ihre Anwendbarkeit ist jedoch nicht gegeben, wenn die Produktschicht ein Metall sein soll und/oder Wasser als Lösungsmittel nicht verwendet werden kann.

Organische Verbindungen, welche sich im Vakuum weitgehend unzersetzt verdampfen lassen, wären hier angezeigt. Die Literatur kennt eine Reihe von Veröffentlichungen, nach denen sich solche organischen Stoffe nach dem PVD-Verfahren als transparente, elektrisch isolierende Schichten auf einen Träger aufdampfen lassen (siehe z. B. US-Patent Nr. 3,379,803; Tittmann et al.).

Hier werden Polymerschichten durch Verdampfung von Xylylen-Verbindungen erzeugt. Diese Verbindungen bilden nach der Kondensation unter dem Einfluß von energiereichen Elektronen oder kurzwelligem, ultraviolettem Licht auf einem Träger Polymere, die unter der Gruppenbezeichnung Parylene bekannt sind. Die so erhaltenen Schichten eignen sich nicht als Trennmittelschichten, deren Aufgabe es ist, sich schnell in Lösungsmitteln aufzulösen. Vielmehr sind diese Schichten nach Römpp, Chemielexikon, Band 4, Seite 3130 sogar bei 400°C gegen Lösungsmittel extrem beständig und werden insbesondere als sogenannte Barriereschichten bei der Halbleitererzeugung verwendet.

Weitere Beispiele für die Verdampfbarkeit von organischen Substanzen für derartige Schichten nach dem PVD-Verfahren sind in US 6,101,316 (Nagashima et al.), DE-OS 27 06 392 (Ikeda et al.), DE-OS 20 09 080 (Davies et al.) und US 3,547,683 (Williams, Hayes) beschrieben.

Nach diesen Veröffentlichungen werden Additions- und Kondensationspolymere, Silikonharze, Phthalocyanin-Farbstoffe und selbst Naturstoffe wie Kolophonium verdampft. Ein weiteres Verfahren, mit welchem organische Polymerschichten im PVD-Verfahren hergestellt werden, ist in US 5,440,446 (Shaw) beschrieben. Dort wird ein flüssiges Monomer verdampft, naß auf einem vorbeilaufenden Folienträger an einer gekühlten Walze kondensiert und an derselben Walze sofort durch Elektronenstrahlen-Beschuß polymerisiert, wodurch sich ein fester Film bildet. Im weiteren Verlauf wird eine Metallschicht, meistens Aluminium aufgedampft.

Das Ziel all dieser Verfahren ist es, fest anhaftende Schutzschichten zu erzeugen. Eine schnelle Löslichkeit in Lösungsmitteln ist nicht erwünscht und wäre sogar schädlich.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung bestand nun darin, gegenüber dem vorgenannten Stand der Technik wie z. B. DE 198 44 357 C2 (Weinert) ein im wesentlichen verbessertes Verfahren zur Herstellung von planparallelen Plättchen nach dem PVD-Verfahren bereitzustellen.

Geeignete Trennmittel sollten vorzugsweise in einem kontinuierlichen PVD-Verfahren verwendbar sein und insbesondere im technischen Rahmen bei geringer thermischer Zersetzung in Mengen von über 1 kg pro Stunde verdampfbar sein. Die Mengen der entstehenden nicht kondensierbaren Crackgase sollten wesentlich geringer sein als die Kapazitäten der für solche Verfahren üblicherweise verwendeten Hochvakuumpumpen.

Die Trennmittel sollten auf einem kontinuierlich vorbei bewegten Träger von 0° bis etwa 50°C, vorzugsweise bei Raumtemperatur als amorphe Schicht kondensierbar sein. Sie sollten mit einer darauf aufgedampften Schicht aus Metallen wie Aluminium, Eisen, Kupfer, Silber, Zink oder Titan, aus Fluoriden wie Magnesiumfluorid, aus Sulfiden wie Zinksulfid, aus Oxiden wie Siliciumdioxid und Titandioxid oder auch mit Mehrschichtsystemen aus diesen Stoffen möglichst wenig reagieren.

Die Trennmittelschicht zwischen dem Träger und der Produktschicht, aus der die planparallelen Plättchen gewonnen werden, sollte möglichst schnell löslich sein. Das zur Auflösung der Trennmittelschicht erforderliche Lösungsmittel darf auch nicht chemisch mit der dann zu feinen Flocken zerfallenden Produktschicht reagieren. Die zur Verfügung stehende Zeit ist durch die maximale Verweilzeit in der Ablösestrecke gegeben. Bei technischen Geschwindigkeiten des Trägers von 50-250 m/min beträgt diese Zeit typischerweise 5 bis 20 Sekunden.

Diese Aufgabe wurde überraschend mit dem erfindungsgemäßen Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst. Die abhängigen Ansprüche betreffen bevorzugte Ausführungsformen.

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist demnach ein Verfahren zur Herstellung von planparallelen Plättchen mit den Schritten a) Aufdampfen eines Trennmittels auf einen Träger zum Erzeugen einer Trennmittelschicht bei einem Druck unterhalb des Atmosphärendruckes, b) Aufdampfen zumindest einer Produktschicht auf die Trennmittelschicht bei einem Druck unterhalb des Atmosphärendruckes und c) Lösen der Trennmittelschicht in einem Lösungsmittel und Erzeugen einer Suspension, in der die zumindest eine Produktschicht in Form von planparallelen Plättchen vorliegt, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß das Trennmittel aus der Gruppe der organischen Polymere und der Aromaten und/oder Heterocyclen ausgewählt wird.

Allgemein ausgedrückt genügen die für das erfindungsgemäße Verfahren geeigneten Trennmittel folgenden Bedingungen:

Es handelt sich zum einen um organische Polymere mit ungiftigen Crack-Produkten. (Alle verfügbaren Daten aus der Literatur beziehen sich allerdings auf die Zersetzung bei Atmosphärendruck an Luft und sind auf eine Erhitzung bei 0,1 bis 10^-3 Pa nicht übertragbar.)

Es handelt sich andererseits um feste organische Verbindungen mit Dampfdrücken von weniger als 10^-3 Pa bei 25°C (Bedingung, um ein Material ohne Selbstverdampfung bei Raumtemperatur überhaupt in einem Vakuum von < 0,1 Pa einsetzen zu können).

Eine schnelle Löslichkeit Trennmittels in technischen Lösungsmitteln wie isopropanol, Essigsäureethylester, Butanol, Ethanol, Benzin, Methylisobutylketon oder Methylethylketon ist gegeben.

Die Trennmittel weisen unterhalb ihres Schmelzpunktes Dampfdrücke von 10 bis 1000 Pa auf. Es wird eine sublimative Verdampfung unterhalb des Tripelpunktes der Stoffe angestrebt um eine Spritzerbildung zu vermeiden.

Die Trennmittel sollen eine möglichst hohe thermische Stabilität aufweisen und in technischen Mengen für die geplante Durchführung eines Produktionsprozesses verfügbar sein und in einem günstigen Preisverhältnis zu dem Metall bzw. dem Produkt stehen, aus welchem die planparallelen Plättchen erzeugt werden sollen.

Außerdem sollen die Stoffe amorph kondensieren. Dies ist wichtig zur Erzielung von reflektierenden Metallschichten, welche auf die Trennmittelschicht, aufgedampft werden sollen. Im PVD- Verfahren aufgedampfte Schichten geben genau die Struktur ihrer Unterlage wieder, da sie keinen einebnenden Effekt haben wie flüssig aufgebrachte Schichten, deren Oberflächenspannung diese Wirkung erzeugt.

Die vorliegende Erfindung wird nun anhand der nachfolgenden Beispiele und unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher erläutert.

Fig. 1 zeigt einen Versuchsaufbau zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Die Anordnung nach Fig. 1 erwies sich als notwendig, da bei Verdampfungsversuchen mit Stoffen, über deren Verhalten in einem PVD-Verfahren keine Hinweise existieren, mit unbekannten Spaltstoffen zu rechnen war. In der nachfolgenden Liste ist eine Beschreibung der einzelnen Komponenten des Versuchsaufbaus gemäß Fig. 1 angegeben.

Beispiel 1

Ein ausgewählter Stoff wurde in einer Menge von 20 Gramm in der Vakuumkammer nach Fig. 1 in einen beheizbaren Tiegel mit einer Öffnung von 10 × 1 cm eingefüllt. Der Tiegel wurde indirekt durch ein oberhalb angebrachtes Metallgitter aus Chromnickel 80Ni20Cr im direkten Stromdurchgang beheizt. Ein Probeblech als Kondensationsfläche von 250 × 250 × 1 mm wurde an der Kammerdecke befestigt. Die Kammer wurde auf 10^-3 Pa evakuiert und das Metallgitter wurde langsam elektrisch auf eine Temperatur beheizt, welche 30°C unter der bekannten Schmelztemperatur des Stoffes lag. Damit war sichergestellt, daß nur eine sublimative Verdampfung erfolgen kann. Während des Aufheizens des Tiegels mittels einer regelbaren Spannungsquelle erfolgte die Vakuummessung. Zeigte sich ein Zusammenbruch des Vakuum bis auf mehr als 10^-2mbar, wurde die Temperatur abgesenkt und nach 5 Minuten wieder auf 30°C unterhalb der Schmelztemperatur erhöht. Damit konnten Ausgasungseffekte vor der Messung beseitigt werden. Trat der Vakuum-Zusammenbruch nochmals bis auf mehr als 10^-3 mbar auf, mußte auf eine mehr oder minder starke Zersetzung geschlossen werden. Die Kammer wurde nach jedem Versuch mit Stickstoffgas geflutet, das Probeblech wurde entnommen und gewogen. Die Aufdampfgeschwindigkeit konnte durch die Gewichtszunahme und die Verdampfungszeit berechnet werden. Um in einem industriellen Verfahren wirtschaftlich eingesetzt werden zu können, sollte das Trennmittel bei einer Sublimationstemperatur von 30°C unterhalb des Schmelzpunktes die Bedingung

1/A.dm/dt ≥ 0.15 g min^-1 cm^-1

wobei:
A die abdampfende Fläche (cm²) und
dm/dt die Verdampfungsgeschwindigkeit (g/sec) ist,
erfüllen. Die Verdampfung aus der flüssigen Phase war wegen der Gefahr einer Spritzer- und Schaumbildung durch entstehende Crackgase zu vermeiden. Der Wert von dm/dt ≥ 0.15 g min^-1 cm^-1 entspricht in etwa der Verdampfungsgeschwindigkeit aus einem klassischen Aluminiumverdampfer bei ca. 1450°C.

Beispiel 2

Im selben Vakuum wurden ein ausgewähltes Trennmittel und anschließend eine Schicht aus Aluminium auf ein Probenblech aufgedampft. Die Schichtdicken betrugen ca. 40 nm für die Trennmittelschicht und ca. 45 nm für die Aluminiumschicht. Die Kondensationsgeschwindigkeit wurde über die Temperatur der Verdampfungsquelle auf 20-30 nm/sec eingestellt. Geringere Kondensationsgeschwindigkeiten sind von geringem Interesse, da sie in einem kontinuierlichen technischen Verfahren zu unbrauchbar kleinen Trägergeschwindigkeiten führen würden. Die Messung erfolgte nach bekannter Technik über einen Schwingquarz, welcher auf gleicher Ebene wie das Probenblech in dessen Mitte montiert wurde. Hierzu wurde die Mitte des Probenbleches entsprechend dem Durchmesser des Meßkopfes durchbohrt, so daß sichergestellt war, daß die Schicht auf dem Schwingquarz und dem Probenblech gleich ist. Durch diesen Versuchsschritt konnte die Anzahl der verwendbaren Trennmittel eingegrenzt werden, da bei vielen organischen Stoffen festgestellt wurde, daß sie entweder auf der Trägeroberfläche nicht als amorphe Schicht kondensierten oder mit dem darauf aufgedampften Aluminium reagierten. Das Ergebnis waren matte, milchige, in vielen Fällen auch gelb gefärbte Schichten, die sich bei der Analyse mittels ESCA nach bekannter Technik als Aluminiumcarbide erwiesen. Ein Hinweis auf ein thermisches Cracken einzelner Stoffe war die Geruchsbildung, die nach dem Öffnen der Vakuumkammer geprüft wurde.

Beispiel 3

Die Apparatur bestand aus einem Tauchbad, in welches das vor und nach der Ablösung gewogene Probeblech eingetaucht wurde. Dadurch konnte die kondensierte Menge bestimmt werden. Die Auflösung der Trennmittelschicht und der aufgedampften Metallschicht vom Träger erfolgte bei gleichzeitiger Messung der Zeit, bis die Metallschicht sich ablöste und in Flocken zerfiel. Als Lösungsmittel wurden in der Versuchsreihe verwendet: Isopropanol, Essigsäureethylester, Butanol, Ethanol, Benzin, Methylisobutylketon, Methylethylketon. Mit diesem Verfahren konnte jeweils das für ein gewisses Trennmittel schnellste Lösungsmittel ermittelt werden.

Tabelle I gibt die Ergebnisse der in den Beispielen 1 bis 3 untersuchten Stoffe hinsichtlich ihrer Eignung als Trennmittel im erfindungsgemäßen Verfahren wieder.

Die Verdampfung von Polymeren ist aus der Literatur bekannt und chemisch schwer erklärbar. Es ist nicht möglich, daß ganze Ketten verdampfen. Sie werden vielmehr in monomere Bruchstücke zerlegt, welche auf einer Kondensationsoberfläche unter Hochvakuum sofort wieder teilweise polymerisieren. Die IR-Spektroskopie und auch die weitere chemische Untersuchung zeigt, daß es sich beim Kondensat nicht um denselben Stoff handelt, der im Verdampfer vorlag. Das Molekulargewicht des Kondensats ist allgemein um 70-40% niedriger. Polymere, die generell in Isopropanol, Ethanol, Benzin unlöslich sind, lösen sich als dünne Schicht von 30-100 nm in wenigen Sekunden auf.

Aus den unter Nr. 101 bis 228 aufgeführten chemischen Stoffen lassen sich geeignete Typen als nach dem PVD-Verfahren verdampfbare Trennmittel auswählen. Einige kondensieren, je nach Temperatur der Unterlage kristallin auf und geben der darauf kondensierten Metallschicht ein Satin-artiges Aussehen, welches bei Metallpigmenten in einigen Fällen sogar erwünscht sein kann.

Die Nachteile bei der Verwendung von Polymeren liegen darin begründet, daß die Aufrechterhaltung einer konstanten Verdampfungsgeschwindigkeit schwierig ist, daß sich verkohlte Rückstände im Verdampferbereich bilden, eine Sublimation nicht möglich ist und es zur Spritzerbildung kommt; ein Langzeitbetrieb ist nicht möglich. Dennoch sind einige der in der Tabelle I angegebenen organischen Polymere bedingt geeignet.

Es erweist sich auch, daß Trennmittel, die sich zwischen einem Träger und einer aufgedampften Metallschicht schnell genug auflösen, für ein kontinuierliches Verfahren zur Erzeugung von planparallelen Plättchen im PVD- Verfahren geeignet sind. Besonders geeignet sind die in der Tabelle I mit "< 5 sec." und "1" gekennzeichneten Stoffe, welche bei der Verdampfung im Vakuum eine geringe thermische Zersetzung und hernach eine schnelle Auflösbarkeit in organischen Lösungsmitteln aufweisen. Als besonders geeignete Trennmittel erwiesen sich aromatische Verbindungen mit mindestens einem Benzolring. (Bei technischen Bandgeschwindigkeiten des Trägers von ca. 200 Meter pro Minute und einer praktikablen Ablösestrecke von maximal 30 Metern stehen für die Auflösung des organischen Trennmittels maximal 6 Sekunden zur Verfügung. Es ist natürlich technisch möglich, die Länge einer solchen Ablösestrecke zu erhöhen oder die Ablösung durch mechanische Hilfsmittel zu unterstützen.)

Es ist weiterhin von Vorteil, das oder die Trennmittel in ausschließlichen Kontakt mit einem hitzebeständigen keramischen Feststoff zu bringen, diesen als Pulver oder Granulat beizumischen und die Mischung im Vakuum bis auf die notwendige Verdampfungstemperatur des Trennmittels zu erhitzen. Es zeigt sich, daß bei einigen erfindungsgemäßen Trennmitteln durch das Fehlen eines Kontaktes zu heißen Metalloberflächen so eine chemische oder katalytische Zersetzung wesentlich verringert werden kann.

Durch diese Erfindung wird die Möglichkeit eröffnet, im PVD-Verfahren aufgedampfte Metallschichten, wie Aluminium, Eisen, Titan, Kupfer und andere in einem kontinuierlichen, im geschlossenen Kreislauf arbeitenden Verfahren bei zeitlich begrenzter Verweilzeit in der Ablösezone durchzuführen.

Dem mit der Materie vertrauten Fachmann ist es naheliegend und möglich, Derivate, Mischungen und Copolymere zu den in Tabelle I genannten Stoffen als Trennmittel einzusetzen, um den gewünschten Erfolg zu erzielen. Ebenso gibt es bekannte Varianten der PVD-Verdampfungstechnik, bei welchen zwei oder mehrere Stoffe aus derselben Quelle oder aus zwei oder mehreren überlappenden Quellen verdampfen. Ferner ist es möglich, das organische Trennmittel der Verdampfungsquelle kontinuierlich zuzuführen.

Eine weitere Variante besteht darin, daß nacheinander eine Folge von Trennmittel, Produktschicht, Trennmittel, Produktschicht usw. aus 4 oder mehr Verdampferquellen in einem Durchlauf aufgetragen wird, bevor die nachfolgende Ablösung in einem Lösungsmittel gemeinsam erfolgt.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung von planparallelen Plättchen mit den Schritten

a) Aufdampfen eines Trennmittels auf einen Träger zum Erzeugen einer Trennmittelschicht bei einem Druck unterhalb des Atmosphärendruckes,

b) Aufdampfen zumindest einer Produktschicht auf die Trennmittelschicht bei einem Druck unterhalb des Atmosphärendruckes, und

c) Lösen der Trennmittelschicht in einem Lösungsmittel und Erzeugen einer Suspension, in der die zumindest eine Produktschicht in Form von planparallelen Plättchen vorliegt,

dadurch gekennzeichnet, daß das Trennmittel aus der Gruppe, bestehend aus organischen Polymeren, Aromaten und/oder Heterocyclen, ausgewählt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Druck von maximal 0,1 Pa mehr als 50 Gew.-% des verdampften Trennmittels an Oberflächen von 0°C bis 25°C kondensierbar sind.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das organische Polymer ein Polyethylenterephthalat, Polycarbonat, Polyvinylcarbazol, ein Copolymer oder eine Mischung mit einem dieser Stoffe ist.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Trennmittel aus der Gruppe, bestehend aus Anthracen, Anthrachinon, Acetamidophenol, Acetylsalicylsäure, Camphersäureanhydrid, Benzimidazol, Benzol-1,2,4-tricarbonsäure, Biphenyl-2,2- dicarbonsäure, Bis(4-hydroxyphenyl)-sulfon, Dihydroxyanthrachinon, Hydantoin, 3-Hydroxybenzoesäure, 8-Hydroxychinolin-5-sulfonsäure-monohydrat, 4-Hydroxycumann, 7-Hydroxycumann, 3-Hydroxynaphtalin- 2-carbonsäure, Isophthalsäure, 4, 4-Methylen-bis(3- hydroxynaphtalin-2-carbonsäure, Naphthalin-1,8-dicarbonsäureanhydrid, Phthalimid und dessen Kaliumsalz, Phenolphthalein, Phenothiazin, Triphenylmethanol, Tetraphenylmethan, Saccharin und seinen Salzen, Triphenylmethanol, Triphenylen, sowie eine Mischung aus mindestens zwei dieser Stoffe, ausgewählt wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Trennmittel aus einem Gemisch mit einem keramischen Werkstoff in Granulat- oder Pulverform verdampft wird, wobei der keramische Werkstoff unverdampft als Rückstand verbleibt.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die organische Substanz aus einem Tiegel mit keramischer oder gläserner Oberfläche oder einer Quarzoberfläche verdampft wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Trennmittel unter Vakuum kontinuierlich oder in Zeitintervallen der Verdampfungsquelle zugeführt wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Lösungsmittel Isopropanol, Essigsäureethylester, Butanol, Ethanol, Benzin, Methylisobutylketon, Methylethylketon oder Perchlorethylen umfaßt.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Lösen der Trennmittelschicht ein Schichtenverbund aufgedampft wird, der aus mehr als zwei Schichten besteht, wobei sich jeweils eine weitere Trennmittelschicht zwischen jeweils zwei Produktschichten befindet.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennmittelschicht eine Dicke von ca. 10 nm bis ca. 200 nm und die Produktschicht eine Dicke von ca. 10 nm bis ca. 500 nm, insbesondere von ca. 10 nm bis ca. 300 nm, aufweist.