DE10144941A1

DE10144941A1 - Einrichtung und Verfahren zur Durchgangsprüfung von Pogo-Stiften in einer Sonde

Info

Publication number: DE10144941A1
Application number: DE10144941A
Authority: DE
Inventors: Richard Wei; Liza Chen
Original assignee: Promos Technologies Inc
Current assignee: Promos Technologies Inc
Priority date: 2001-09-04
Filing date: 2001-09-12
Publication date: 2003-04-24
Also published as: US20030042887A1; US6541992B2

Abstract

Eine Einrichtung zur Durchgangsprüfung eines Pogo-Stiftes in einer Sonde weist ein mit einer Anschlußfläche versehenes Substrat auf, eine Stromversorgung, die eine Spannungsdifferenz zwischen der Anschlußfläche und dem Pogo-Stift zur Verfügung stellt, und ein Meßgerät, das signalisiert, wenn das Substrat in Kontakt mit der Sonde steht, wobei durch die Verbindung des Pogo-Stiftes und der Anschlußfläche ein Strom erzeugt wird.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein Verfahren zur Durchgangsprüfung von Pogo-Stiften, und insbesondere eine Einrichtung und ein Verfahren zur Durchgangsprüfung von Pogo-Stiften in einer Sonde zur Untersuchung von Halbleitergeräten.

Fig. 1 zeigt schematisch eine Sonde für den Test von Halbleitergeräten. Eine Sonde 1 weist im Kreis angeordnete Pogo-Stifte 11 und 12 auf, welche Masse- bzw. Testsignale für einen untersuchten Wafer (nicht gezeigt) zur Verfügung stellen. Da die Elastizität der Pogo-Stifte 11 und 12 beeinträchtigt sein kann, was zu einem Kontaktfehler führt, ist eine Durchgangsprüfung der Pogo-Stifte 11 und 12 erforderlich, bevor der Wafer unter Verwendung der Sonde untersucht werden kann.

Herkömmlich wird die Durchgangsprüfung so durchgeführt, dass der untersuchte Wafer in die Sonde 1 eingesetzt wird, und eine Sondenkarte und ein Testkopf auf den Pogo-Stiften 11 und 12 angebracht wird. Die Ergebnisse der Durchgangsprüfung tauchen auf einem Bildschirm des Testkopfes auf.

Bei dem herkömmlichen Durchgangsprüfungsverfahren sind allerdings einige Nachteile vorhanden.

1. Kontaktfehler der Pogo-Stifte für Massesignale können nicht erfaßt werden, da sie alle elektrisch in der Sonde 1 verbunden sind.
2. Es ist eine Ausrichtung der untersuchten Wafer bei jeder Untersuchung erforderlich. Hierdurch wird die Durchgangsprüfung zeitaufwendig.
3. Der Benutzer muß Hunderte von Ergebnissen überprüfen, die auf dem Bildschirm des Textkopfes auftauchen, und eine Aktualisierung der Ergebnisse nimmt 1 bis 2 Sekunden in Anspruch, infolge der langen Reaktionszeit von Analog-Digital-Wandlern.

Es gibt ein alternatives Verfahren für die Durchgangsprüfung, bei welchem ein Blatt Durchschlagpapier auf die Pogo-Stifte aufgelegt wird, und der Benutzer ausgefallene Pogo-Stifte durch Untersuchung der Abdrucke auf dem Durchschlagpapier feststellen kann. Allerdings führt dieses Verfahren zu einer Verschmutzung der Pogo-Stifte und der Sonde durch Kohlenstoff.

Daher besteht der Vorteil der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung einer Einrichtung und eines Verfahrens zur Durchgangsprüfung von Pogo-Stiften in einer Sonde, bei welchen der Wafer, die Sondenkarte und der Testkopf nicht erforderlich sind, und der Benutzer einfach die ausgefallenen Pogo-Stifte feststellen kann.

Die vorliegende Erfindung stellt eine Einrichtung für die Durchgangsprüfung eines Pogo-Stiftes in einer Sonde zur Verfügung. Die Einrichtung umfaßt ein Substrat, das mit einer Anschlußfläche versehen ist, eine Stromversorgung, die eine Spannungsdifferenz zwischen der Anschlußfläche und dem Pogo- Stift zur Verfügung stellt, und ein Meßgerät, das angibt, wenn das Substrat die Sonde berührt, und ein Strom durch Verbindung des Pogo-Stiftes und der Anschlußfläche hervorgerufen wird.

Weiterhin stellt die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Durchgangsprüfung eines Pogo-Stiftes in einer Sonde zur Verfügung. Das Verfahren umfaßt die Schritte, ein Substrat bereitzustellen, das eine Anschlußfläche aufweist, eine Spannungsdifferenz zwischen der Anschlußfläche und dem Pogo- Stift zu erzeugen, das Substrat in die Sonde einzusetzen und zu signalisieren, wenn ein Strom durch Verbindung des Pogo- Stiftes und der Anschlußfläche erzeugt wird.

Bei der vorliegenden Erfindung werden LEDs zur Feststellung von Kontaktfehlern zwischen den Pogo-Stiften und den Anschlußflächen verwendet. Die ausgefallenen Pogo-Stifte bilden keine geschlossenen Schleifen, in denen infolge der Spannungsdifferenz Ströme erzeugt werden. Die LEDs, die den ausgefallenen Pogo-Stiften entsprechen, bleiben dunkel.

Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus denen weitere Vorteile und Merkmale hervorgehen, und die nicht dazu dienen sollen, die Erfindung nur auf die hier geschilderten Ausführungsformen zu beschränken. Es zeigt:

Fig. 1 schematisch eine Sonde für die Untersuchung von Halbleitergeräten;

Fig. 2 schematisch eine Einrichtung zur Durchgangsprüfung eines Pogo-Stiftes in einer Sonde gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 3 bis 6 Querschnittsansichten einer Einrichtung zur Durchgangsprüfung eines Pogo-Stiftes in einer Sonde gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 7 ein Flußdiagramm eines Verfahrens zur Durchgangsprüfung eines Pogo-Stiftes in einer Sonde gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.

Fig. 2 zeigt schematisch eine Einrichtung zur Durchgangsprüfung eines Pogo-Stiftes in einer Sonde gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. Eine Durchgangsprüfungseinrichtung 2 weist kreisförmig angeordnete LEDs 22 auf, entsprechend den in Fig. 1 gezeigten Pogo- Stiften 11 und 12. Die LEDs 22 sind sämtlich auf einem Substrat 21 angebracht, um Kontaktfehler der Pogo-Stifte 11 und 12 mitzuteilen.

Fig. 3 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie AA' in Fig. 2. Das Substrat 21 weist Anschlußflächen 23 entsprechend den Pogo-Stiften 11 und 12 auf, auf der entgegengesetzten Seite der LEDs. Anschlußflächen 23 sind elektrisch mit den negativen Klemmen entsprechend den LEDs 22 über (nicht dargestellte) Durchgangslöcher verbunden. Die positiven Klemmen der LEDs sind elektrisch miteinander verbunden, über leitfähige Muster (nicht dargestellt) auf dem Substrat 21.

Eine Stromversorgung 13 in einem Prüfgerät ist zwischen die Pogo-Stifte 11 und 12 einerseits und die LEDs 22 andererseits geschaltet, um eine Spannungsdifferenz 2 V zwischen den Pogo- Stiften 11, 12 und den LEDs 22 zu erzeugen.

Wie aus Fig. 4 hervorgeht, ist das Substrat 21 auf der Sonde 1 angebracht, und wird in Kontakt mit den Pogo-Stiften 11 und 12 versetzt, so dass die Anschlußflächen 23 des Substrats 21 in Kontakt mit den entsprechenden Pogo-Stiften 11 und 12 stehen. Geschlossene Schleifen werden zwischen der Stromversorgung 13, den LEDs 22, den Anschlußflächen 23 und den Pogo-Stiften 11 und 12 ausgebildet. Die Spannungsdifferenz führt dazu, dass Ströme durch die Schleifen fließen, so dass die LEDs 22 leuchten.

In Fig. 5 ist gezeigt, dass Pogo-Stifte 11 ₂ und 12 ₄ ausgefallen sind. Sie sind infolge einer verringerten Elastizität kürzer als die anderen.

In Fig. 6 wird eine Durchgangsprüfung mit den ausgefallenen Pogo-Stiften 11 ₂ und 12 ₄ durchgeführt. Es sind Kontaktfehler zwischen der Anschlußfläche 23 ₃ und dem Pogo-Stift 11 ₂ bzw. der Anschlußfläche 23 ₈ und Pogo-Stift 12 ₄ vorhanden. Die Schleifen zwischen der Stromversorgung 13, der LEDs 22 ₃ der Anschlußfläche 23 ₃, und dem Pogo-Stift 11 ₂, bzw. zwischen der Stromversorgung 13, der LEDs 22 ₈ der Anschlußfläche 23 ₈ und dem Pogo-Stift 12 ₄ sind nicht geschlossen. Daher leuchten die LEDs 22 mit Ausnahme der LEDs 22 ₃ und 22 ₈. Daher kann der Benutzer einfach die ausgefallenen Pogo-Stifte feststellen, nämlich die Pogo-Stifte 11 ₂ und 12 ₄.

Die voranstehend geschilderten LEDs 22 werden zur Erfassung der Ausbildung der geschlossenen Schleifen verwendet, durch Messen oder Feststellen der Ströme in den Schleifen. Sie können elektrisch zwischen jeweils zwei der Geräte, nämlich der LED, der Anschlußfläche und des Pogo-Stiftes, geschaltet sein.

Fig. 7 ist ein Flußdiagramm eines Verfahrens zur Durchgangsprüfung von Pogo-Stiften in einer Sonde gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.

In Schritt 71 wird ein Substrat zur Verfügung gestellt, welches Anschlußflächen entsprechend den Pogo-Stiften aufweist, sowie Durchgangslöcher, durch welche die Anschlußflächen elektrisch mit Klemmen verbunden sind.

Im Schritt 72 wird eine Spannungsdifferenz zwischen den Klemmen und den Pogo-Stiften erzeugt.

Im Schritt 73 wird das Substrat in die Sonde eingesetzt, so dass die Anschlußflächen die normalen Pogo-Stifte berühren, und geschlossene Schleifen ausbilden. Die ausgefallenen Pogo- Stifte berühren nicht die Anschlußflächen, was zu unterbrochenen Schleifen führt.

Im Schritt 74 werden LEDs entsprechend den Pogo-Stiften an Sensorströme in den geschlossenen und offenen Schleifen angeschlossen. Der Kontakt der Pogo-Stifte mit den Anschlußflächen führt zu Strömen, welche die entsprechenden LEDs zum Leuchten bringen, wogegen bei den ausgefallenen Pogo-Stiften kein Strom auftritt, so dass die zugehörigen LEDs weiterhin nicht leuchten.

Daher stellt die vorliegende Erfindung ein Substrat mit LEDs zur Durchführung der Durchgangsprüfung zur Verfügung, wodurch der Benutzer einfach die ausgefallenen Pogo-Stifte feststellen kann, so dass der Wafer, die Sondenkarte und der Testkopf, die bei dem herkömmlichen Verfahren verwendet werden, nicht benötigt werden.

Zwar wurde die Erfindung anhand eines Beispiels und auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsform beschrieben, jedoch wird darauf hingewiesen, dass die Erfindung nicht auf die geschilderten Ausführungsformen beschränkt ist. Ganz im Gegensatz soll die Erfindung verschiedene Modifikationen und ähnliche Anordnungen umfassen, die einem Fachmann auf diesem Gebiet auffallen. Wesen und Umfang der Erfindung ergeben sich aus Gesamtheit der vorliegenden Anmeldeunterlagen und sollen von den beigefügten Patentansprüchen umfaßt sein, die daher so breit wie möglich interpretiert werden sollten, um alle derartigen Modifikationen und ähnlichen Anordnungen zu umfassen. FIGURENBESCHRIFTUNG FÜR Fig. 7 Start Start
71 Bereitstellung eines Substrats
72 Bereitstellung einer Spannungsdifferenz
74 Kontakt der Anschlußfläche und des Pogo-Stiftes
75 Messung des Stroms
End Ende

Claims

1. Einrichtung zur Durchgangsprüfung eines Pogo-Stiftes in einer Sonde, wobei vorgesehen sind:
ein mit einer Anschlußfläche versehenes Substrat;
eine Stromversorgung, die eine Spannungsdifferenz zwischen der Anschlußfläche und dem Pogo-Stift zur Verfügung steht;
ein Meßgerät, das signalisiert, wenn das Substrat in Kontakt mit der Sonde gelangt, und ein Strom durch Verbindung des Pogo-Stiftes und der Anschlußfläche hervorgerufen wird.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Meßgerät elektrisch zwischen die Anschlußfläche und die Stromversorgung geschaltet ist.

3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Meßgerät eine LED ist.

4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Stromversorgung in einem Prüfgerät befindet.

5. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Meßgerät auf dem Substrat vorgesehen ist.

6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat ein Durchgangsloch aufweist, durch welches das Meßgerät elektrisch mit der Anschlußfläche verbunden ist.

7. Verfahren zur Durchgangsprüfung eines Pogo-Stiftes in einer Sonde, mit folgenden Schritten:
Bereitstellung eines mit einer Anschlußfläche versehenen Substrats;
Erzeugung einer Spannungsdifferenz zwischen der Anschlußfläche und dem Pogo-Stift;
Anordnen des Substrats in der Sonde;
Signalisieren, wenn ein Strom durch Verbindung des Pogo- Stiftes mit der Anschlußfläche hervorgerufen wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannungsdifferenz von einer Stromversorgung erzeugt wird, und weiterhin der Schritt vorgesehen ist, den Strom durch ein Gerät festzustellen, das zwischen die Anschlußfläche und die Stromversorgung geschaltet ist.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Meßgerät eine LED.

10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Meßgerät auf dem Substrat vorgesehen ist.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat ein Durchgangsloch aufweist, durch welches das Meßgerät elektrisch an die Anschlußfläche angeschlossen ist.

12. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Stromversorgung in einem Prüfgerät vorgesehen ist.