DE10132788B4 - Qualitativ hochwertige optische Oberfläche und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents
Qualitativ hochwertige optische Oberfläche und Verfahren zu ihrer Herstellung Download PDFInfo
- Publication number
- DE10132788B4 DE10132788B4 DE2001132788 DE10132788A DE10132788B4 DE 10132788 B4 DE10132788 B4 DE 10132788B4 DE 2001132788 DE2001132788 DE 2001132788 DE 10132788 A DE10132788 A DE 10132788A DE 10132788 B4 DE10132788 B4 DE 10132788B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- gold
- adhesive layer
- optical surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
- G02B5/0875—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising two or more metallic layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/922—Static electricity metal bleed-off metallic stock
- Y10S428/923—Physical dimension
- Y10S428/924—Composite
- Y10S428/926—Thickness of individual layer specified
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/922—Static electricity metal bleed-off metallic stock
- Y10S428/9335—Product by special process
- Y10S428/934—Electrical process
- Y10S428/935—Electroplating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/922—Static electricity metal bleed-off metallic stock
- Y10S428/9335—Product by special process
- Y10S428/936—Chemical deposition, e.g. electroless plating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S451/00—Abrading
- Y10S451/901—Super finish
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12736—Al-base component
- Y10T428/1275—Next to Group VIII or IB metal-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12785—Group IIB metal-base component
- Y10T428/12792—Zn-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
- Y10T428/12889—Au-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
- Y10T428/12944—Ni-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12993—Surface feature [e.g., rough, mirror]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
Verfahren zur Herstellung einer optischen Oberfläche (10), umfassend die Schritte: Bereitstellen eines Substrats (12); Auftragen einer Haftschicht (16) auf das Substrat (12), wobei die Haftschicht (16) eine erste Haftschicht (17) und eine zweite Haftschicht (19) umfasst; Auftragen einer oberen Schicht (18) auf die Haftschicht (16); und Diamantdrehen der oberen Schicht (18), um eine reflektierende Schicht zu erhalten, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (12) Aluminium umfasst und spannungsfrei ist, und dass die erste Haftschicht eine Zinkschicht umfasst.
Description
- Die Erfindung bezieht sich allgemein auf optische Oberflächen, die in infraroten und sichtbaren Wellenlängenbereichen verwendet werden, und insbesondere auf qualitativ hochwertige optische Oberflächen und ein Verfahren zur Herstellung von qualitativ hochwertigen optischen Oberflächen.
- Qualitativ hochwertig optische Oberflächen werden in zahlreichen Industriezweigen einschließlich der Telekommunikation in sichtbaren und infraroten Wellenlängenbereichen des optischen Spektrums verwendet. Die Qualität einer optischen Oberfläche wird anhand der Flachheit, der Oberflächenstreuung und des Reflexionsvermögens der Oberfläche gemessen.
- Die erzielbare Flachheit einer Oberfläche ist durch den CNC-Herstellungsprozeß (CNC = computer-numerisch-gesteuert) begrenzt. Die typischen Verfahren zur Herstellung optischer Formen in Metallen umfassen herkömmliches Schleifen, Polieren und die CNC-Herstellung unter Verwendung von Diamantwerkzeugen. Diese herkömmlichen Verfahren eignen sich jedoch selbst nicht für die Herstellung komplexer Formen. Die Oberflächen sind uneben und weisen zahlreiche Wellen auf.
- Die Streuung einer optischen Oberfläche wird beeinflußt durch den Diamentdrehprozeß. Herkömmliche Diamantdrehverfahren erzeugen keine gleichmäßige Dicke entlang der Oberfläche. Typische Materialien, die in optischen Standardformen verwendet werden, enthalten Aluminium, Kupfer und Nickel. Aluminium enthält im allgemeinen mehrere Verunreinigungen, wobei diese Verunreinigungen an den Korngrenzen stark konzentriert sind. Daher führt das Diamentdrehen einer Aluminiumoberfläche üblicherweise zu Werten für die Oberflächenstreuung von etwa 10 nm im quadratischen Mittel (RMS). Kupfer liefert im allgemeinen bessere Ergebnisse – etwa 5 RMS, jedoch hat Kupfer den Nachteil, daß es für Korrosion anfällig ist.
- Ein typisches Verfahren zur Herstellung qualitativ hochwertiger Oberflächen mit einem Aluminiumsubstrat besteht darin, die Oberfläche mit Nickel zu plattieren und das Nickel mit Diamanten abzudrehen. Bei Verwendung dieses Verfahrens liegen die typischen Wert, die für die Oberflächenstreuung erreicht werden, bei etwa 5 nm RMS. Es gibt jedoch ein Hauptproblem für nickelplattierte Substrate, die diamantgedreht sind. Da die Diamantdrehprozedur zu einer ungleichmäßigen Dicke des Nickels führt und da Nickel und Aluminium unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen, neigt die optische Oberfläche zu einer Verformung, wenn die Temperatur sich in der Betriebsumgebung ändert. Dies reduziert die Qualität der Oberfläche.
- Das erreichbare Reflexionsvermögen bei der Betriebswellenlänge wird durch die Materialeigenschaften der optischen Oberfläche bestimmt. Typischerweise wird Gold auf die Oberfläche eines Substrats aufgetragen, um das Reflexionsvermögen im Infrarotbereich zu erhöhen. Gold wird üblicherweise mittels Vakuumabscheideverfahren aufgetragen, wodurch im allgemeinen ein unebener Oberflächenauftrag erzeugt wird. Ferner ist das im Vakuum abgeschiedene Gold im allgemeinen weiches Gold. Diese Goldschicht muß mit einer Schutzbeschichtung abgedeckt werden, was das Reflexionsvermögen der Oberfläche reduziert.
- Alternativ ist ferner bekannt, Gold auf die Oberfläche zu galvanisieren. Da die Oberfläche im allgemeinen jedoch uneben ist und mehrere Wellen aufweist, muß die aufgetragene Goldschicht relativ dick sein, um diese Wellen zu kompensieren und eine im wesentlichen ebene Oberfläche zu schaffen. Dies führt zu hohen Kosten.
- Häufig ist es erforderlich, daß die optischen Oberflächen doppelseitig sind; d. h. die optische Oberfläche umfaßt auf beiden Seiten des Substrats reflektierende Oberflächen. Bekannte Verfahren sind aufgrund der erzeugten Unebenheit der Substratschicht nicht für die Erzeugung qualitativ hochwertiger Oberflächen, die doppelseitig sind, geeignet. Wenn die oberen Schichten diamantgedreht werden, werden sie diamantgedreht, bis die entsprechende Schicht eben ist. Der Aufwand des Diamantdrehens, der erforderlich ist, um dies zu erreichen, ist im allgemeinen für jede Seite unterschiedlich. Dies ist wichtig, da die Differenzen der endgültigen Dicken der Schichten auf den jeweiligen Seiten zu einer Verformung bei Temperaturänderungen führen, wie oben beschrieben worden ist. Aufgrund der Eigenart der unebenen Substratoberfläche ist dieses Problem inhärent.
- Mit den weiterentwickelten Anwendungen des computergestützten Entwurfs (CAD) werden die benötigten optischen Oberflächen immer komplexer. Ferner nimmt die Toleranz für Fehler in diesen Oberflächen ab. Es besteht daher Bedarf an hochgenauen und qualitativ hochwertigen optischen Oberflächen in zahlreichen geometrischen Formen.
- Es besteht ferner Bedarf an einem Verfahren zur Herstellung dieser optischen Oberflächen bei günstigen Kosten.
- Die Erfindung ist auf ein Verfahren zur Herstellung qualitativ hochwertiger optischer Oberflächen gerichtet. Die Erfindung erlaubt die Herstellung optischer Oberflächen mit komplexer Geometrie unter Beibehaltung der hohen Qualität.
- Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer optischen Oberfläche geschaffen, das die Schritte umfaßt: Erzeugen eines Substrats, das spannungsfrei ist; Auftragen einer Haftschicht auf das Substrat; Auftragen einer oberen Schicht auf die Haftschicht; und Diamantdrehen der oberen Schicht, um eine reflektierende Schicht zu erhalten.
- Gemäß einem weiteren Verfahren der Erfindung wird eine optische Oberfläche geschaffen, die umfaßt: ein Substrat, das spannungsfrei ist; eine Haftschicht auf dem Substrat; und eine obere Schicht auf dem Substrat; wobei die obere Schicht diamantgedreht ist, um eine reflektierende Schicht auf dem Substrat zu erhalten, wobei die reflektierende Schicht reines Gold oder eine Goldlegierung umfaßt.
- Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine optische Oberfläche geschaffen, die durch ein Verfahren herstellt wird, das die Schritte umfaßt: Erzeugen eines spannungsfreien Substrats; Auftragen einer Haftschicht auf das Substrat; Auftragen einer oberen Schicht auf die Haftschicht; und Diamantdrehen der oberen Schicht, um eine reflektierende Schicht zu erhalten.
- Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine doppelseitige optische Oberfläche geschaffen, die umfaßt: ein spannungsfreies Substrat, das eine erste und eine zweite Oberfläche aufweist; eine Haftschicht auf jeweils der ersten und der zweiten Oberfläche des Substrats; und eine obere Schicht auf jeweils der ersten und der zweiten Oberfläche des Substrats, wobei die oberen Schichten diamantgedreht sind, um reflektierende Schichten auf jeweils der ersten und der zweiten Oberfläche des Substrats zu erhalten, wobei die reflektierenden Schichten reines Gold oder eine Goldlegierung umfassen.
- Weitere Aspekte und Vorteile der Erfindung sowie die Struktur und die Operation verschiedener Ausführungsformen der Erfindung werden für Fachleute deutlich beim Lesen der folgenden Beschreibung der Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen.
- Die Erfindung wird im folgenden mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in welchen:
-
1 eine typische Betriebsumgebung für eine optische Oberfläche zeigt; -
2 eine typische optische Oberfläche der vorliegenden Erfindung zeigt; -
3 das Verfahren zur Herstellung der optischen Oberfläche der2 zeigt; -
4 das Verfahren zur Herstellung des spannungsfreien Substrats gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt; -
5 das Verfahren zum Auftragen der Haftschicht auf das Substrat zeigt; -
6 ein herkömmliches Galvanisierungssystem zeigt; -
7 eine herkömmliche Galvanisierungsvorrichtung zeigt; und -
8 eine doppelseitige optische Figur zeigt. -
1 zeigt eine typische Betriebsumgebung für eine optische Oberfläche. Die optische Oberfläche10 enthält eine Substratschicht12 und eine Spiegelschicht14 . Von der Strahlungsquelle30 wird ein Strahl20 ausgesendet. Der Strahl20 trifft auf die optische Oberfläche10 und wird zur Strahlerfassungsvorrichtung35 reflektiert. Die Strahlungsquelle30 kann einen Laser enthalten, während die Strahlungserfassungsvorrichtung35 einen Photodetektor enthalten kann. - Um eine präzise Operation zu erreichen, wird die optische Oberfläche
10 mit hoher Präzision hergestellt und weist ein hohes Reflexionsvermögen auf. - Die hergestellte optische Oberfläche
10 der vorliegenden Erfindung ist in2 gezeigt. Die Spiegelschicht14 umfaß ferner eine Haftschicht16 und eine obere Schicht18 , die reflektierend ist. In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Substrat12 ein Aluminiumsubstrat, wobei die Haftschicht16 eine Schicht aus Zink17 und eine Schicht aus Nickel19 enthält und die obere Schicht18 aus Gold besteht. Es ist jedoch klar, daß die Schichten verschiedene Materialien umfassen können, wie im folgenden beschrieben wird. -
3 zeigt das Verfahren50 zur Herstellung einer optischen Oberfläche10 der2 . Im Schritt52 wird das Substrat12 bereitgestellt oder erzeugt. Das Substrat12 ist im Idealfall ein Aluminiumsubstrat. Das Substrat12 kann jedoch aus einem beliebigen Metall bestehen, einschließlich Kupfer oder Stahl, ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Die Substratoberfläche kann, muß aber nicht optisch sein, wobei jedoch das Substrat12 nahezu in der gewünschten Form der endgültigen optischen Figur hergestellt wird, bevor eine reflektierende Schicht auf das Substrat aufgetragen wird. - Es sind viele Dinge zu berücksichtigen, wenn die zu plattierende Form hergestellt wird. Es ist wichtig, daß das Substrat
12 spannungsfrei ist, was durch herkömmliche Wärmebehandlungstechniken erreicht werden kann. Das Verfahren zur Herstellung oder Bereitstellung eines spannungsfreien Substrats ist in4 als Verfahren40 gezeigt. Im Schritt42 wird das Substrat nahezu in der endgültigen gewünschten Form der optischen Oberfläche hergestellt. Dies kann mit irgendeiner bekannten Technik bewerkstelligt werden, einschließlich CNC-Bearbeitung. Das Substrat sollte unter Verwendung einer qualitativ hochwertigen präzisen Anlage hergestellt werden. Der Begriff ”nahezu” ist allgemein definiert als innerhalb des Bereiches von 0,02 bis 0,04 Zoll der endgültigen Form liegend. Im Schritt44 wird das Substrat erwärmt. Die Erwärmungstemperatur hängt ab vom Material des Substrats. Für Aluminiumsubstrate beträgt die Erwärmungstemperatur etwa 375°F. Im Schritt46 wird das Substrat über eine vordefinierte Zeitspanne auf Erwärmungstemperatur gehalten. Im Fall eines Aluminiumsubstrats beträgt diese Zeitspanne etwa acht Stunden. Im Schritt48 wird das Substrat mit Luft auf Raumtemperatur abgekühlt. Im Schritt49 wird die Form des Substrats unter Verwendung von Diamantwerkzeugen bis auf 0,02 bis 0,04 Zoll feinbearbeitet. Die Verwendung von Diamantwerkzeugen bewahrt den spannungsfreien Zustand des Substrats. - Sobald das Substrat hergestellt worden ist, wird wie im Schritt
54 des Verfahrens50 die Haftschicht16 auf das Substrat12 aufgetragen. Dieses Verfahren wird im folgenden genauer beschrieben. Im Schritt56 wird die Goldschicht aufgetragen, wobei Einzelheiten hierzu später beschrieben werden. - Im Schritt
58 wird die optische Oberfläche diamantgedreht. - In der bevorzugten Ausführungsform umfaßt die im Schritt
54 aufgetragene Haftschicht16 eine Schicht aus Zink17 , gefolgt von einer Schicht aus Nickel19 . Die Haftschicht16 kann jedoch andere Materialien enthalten, wie z. B. Chrom oder Kupfer. Die Materialien für die Haftschicht sollten auf der Grundlage des Substratmaterials und des verwendeten reflektierenden Materials ausgewählt werden. Wenn z. B. eine Nickel-Chrom-Zierplattierung verwendet wird, kann die Haftschicht eine Schicht aus Kupfer auf einer Schicht aus Zink enthalten. Die Plattierung von Metallen hängt von den physikalischen Eigenschaften und der Zusammensetzung des zu plattierenden Metalls ab. Zum Beispiel können einige schlechte Leiter sein, während andere ein geringes Festigkeit-Gewicht-Verhältnis aufweisen können. Es gibt eine Vielzahl von Eigenschaften, die bei der Plattierung von Metallen zu berücksichtigen sind. -
5 zeigt das Verfahren60 des Auftragens der Haftschicht16 auf das Substrat12 . Im Schritt62 wird die Aluminiumsubstratoberfläche mit einer basischen Lösung gereinigt, die die Verklebung mit dem Plattierungsmetall beschleunigt. Im Schritt64 wird die Oberfläche mit einer Säurelösung geätzt, um jeden Film der Grundlösung zu beseitigen. Im Schritt66 wird etwas Zink aufgetragen (Anschlaggalvanisierung). Wie es im Stand der Technik üblich ist, geht jedem Schritt ein Spülen der Oberfläche mit vollentsalztem Wasser voran. - Alternativ kann das Substrat in eine Zinkat-Lösung getaucht werden. Dies reinigt gleichzeitig die Oberfläche und trägt etwas Zink auf (Anschlaggalvanisierung). Die Zinkschicht dient zum Schützen des Aluminiumsubstrats vor Oxidation, wenn es der Luft ausgesetzt wird.
- Anschließend wird auf das Zink im Schritt
68 etwas Nickel aufgebracht (Anschlaggalvanisierung). Die Zink- und Nickelschichten17 ,19 der Schritte66 ,68 werden durch irgendein herkömmliches Mittel aufgetragen, einschließlich Galvanisierung, Tauchen in eine stromlose Lösung, Metallsprühen oder Vakuummetallisierung. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden die Schichten galvanisiert, da der Prozeß selbst relativ einfach ist. Im allgemeinen werden die Schritte des Verfahrens60 in einem herkömmlichen Galvanisierungssystem durchgeführt, wie z. B. demjenigen, das in6 gezeigt ist. Das Galvanisierungssystem70 enthält eine Basis72 , in der mehrere Plattierungstanks74 vorhanden sind. Jeder Plattierungstank ist mit einer geeigneten Lösung gefüllt. Andere Systeme können ebenfalls verwendet werden, wie z. B. ein Trommelplattierungssystem oder ein Schienenplattierungssystem. Wenn Galvanisierungstechniken verwendet werden, kann das System ferner eine Galvanisierungsvorrichtung76 (7 ) enthalten, wie es im Stand der Technik üblich ist. Die Technik der Galvanisierung ist bekannt und wird in diesem Dokument nicht weiter erläutert. - Unabhängig von der verwendeten Beschichtungstechnik sollte die Prozedur für eine ebene und stabile Plattierung sorgen.
- In der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Haftschicht
16 sehr dünn und ist nur etwa 4 bis 8 Mikrometer dick. Eine dünne Haftschicht ist leichter in einer gleichmäßigen Dicke aufzutragen. Eine dünne Schicht aus Nickel erzeugt ebenfalls eine Oberfläche, die weniger anfällig für einer Verformung der optischen Oberfläche aufgrund von Differenzen des Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Nickel und Aluminium ist. - Im Schritt
56 des Verfahrens50 wird eine obere Schicht aus Gold18 auf die Haftschicht aufgetragen. In einer bevorzugten Ausführungsform ist die aufgetragene Goldschicht sehr dünn und reicht nur bis etwa 10 bis 15 Mikrometer Dicke. Die dünne Goldschicht ist erreichbar, da das ursprüngliche erzeugte Substrat spannungsfrei und flach ist. Da keine Unebenheiten in der Oberfläche des ursprünglichen Substrats vorhanden sind, kann eine dünne Goldschicht galvanisiert werden. Um eine Schicht mit gleichmäßiger Dicke zu erreichen, wird die Goldschicht vorzugsweise aufgalvanisiert und kann unter Verwendung des Galvanisierungssystems der6 und der Galvanisierungsvorrichtung der7 aufgetragen werden. Andere Verfahren zum Auftragen des Goldes können jedoch das Tauchen in eine stromlose Goldlösung oder die Vakuumabscheidung des Goldes umfassen. - Die aufgetragene Goldschicht kann im allgemeinen eine beliebige Dicke aufweisen. Um jedoch die Schicht mit Diamanten abzudrehen, ist eine Dicke von wenigstens 2 Mikrometern (50 Mikrozoll) erforderlich.
- In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Goldschicht ein reines Gold mit 24 Karat. Goldlegierungen können jedoch ebenfalls verwendet werden. Wenn eine Goldlegierung verwendet wird, ist sie vorzugsweise eine Legierung aus Nickel oder Kobalt mit einem Goldgehalt von wenigstens 10 Karat. Es ist zu beachten, daß eine Goldlegierung einer beliebigen Art verwendet werden kann.
- Das Auftragen von Gold auf das Substrat gemäß der bevorzugten Ausführungsform erzielt zusätzlich zur Verbesserung des IR-Reflexionsvermögens der optischen Oberfläche mehrere Vorteile. Da Gold und Goldlegierungen reine Materialien mit geringen oder keinen Korngrenzenverunreinigungen sind, ist die Oberflächenstreuung deutlich reduziert und erreicht ein Niveau von etwa 1 bis 2 nm RMS.
- Da Gold eine geringere Zugfestigkeit aufweist als Aluminium, sowie einen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der näher an demjenigen von Aluminium liegt als Nickel, verformt sich die endgültige optische Oberfläche bei Temperaturänderungen nicht.
- Ein weiterer Vorteil, der aus dem Auftragen einer Goldschicht gemäß der vorliegenden Ausführungsform gewonnen wird, bei der die ursprüngliche Substratschicht spannungsfrei ist, ist, daß eine dünne Schicht aus Gold erforderlich ist, wobei dies zu einem Endprodukt führt, das kostengünstiger ist.
- Ferner wird durch Plattieren der Goldschicht die Notwendigkeit einer Schutzbeschichtung beseitigt. Im allgemeinen ist plattiertes Gold härter als im Vakuum abgeschiedenes Gold. Bei Bedarf kann jedoch eine Schutzbeschichtung aufgetragen werden, was immer noch innerhalb des Umfangs dieser Erfindung liegt.
- Ferner kann bei Bedarf die Goldschicht wärmebehandelt werden, um das Material zu härten.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung erfordert die endgültige reflektierende Schicht keine weitere Bearbeitung, da die erzeugte optische Oberfläche bereits eine hohe Qualität aufweist. Bei Bedarf kann jedoch die reflektierende Schicht weiter bearbeitet werden, was immer noch im Umfang dieser Erfindung liegt.
- Im abschließenden Schritt des Verfahrens
50 wird die obere Schicht18 aus Gold diamantgedreht, um eine reflektierende Schicht zu erzeugen. In einer bevorzugten Ausführungsform wird die Schicht in den oberen 5 bis 8 Mikrometern diamantgedreht. Die diamantgedrehte (reflektierende) Oberfläche kann anschließend bei Bedarf poliert werden. - Die mit der vorliegenden Erfindung erzeugte optische Oberfläche weist im allgemeinen ein Reflexionsvermögen ähnlich dem theoretischen Wert von Gold im infraroten Bereich sowie eine Oberflächenstreuung von etwa 1 bis 2 nm RMS auf.
- Die optischen Oberflächen können ferner doppelseitig sein; d. h. die optische Oberfläche umfaßt reflektierende Oberflächen auf beiden Seiten des Substrats. Die hergestellte optische Oberfläche
80 dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist in8 gezeigt. Die Spiegelschicht84 umfaßt eine Haftschicht86 und eine obere Schicht88 , die auf zwei Oberflächen des Substrats82 aufgetragen sind. Die Schicht84 ist symmetrisch um die Achse AA, die sich durch die Mitte des Substrats82 erstreckt. - Das Verfahren zur Herstellung der doppelseitigen optischen Oberfläche mit zwei reflektierenden Schichten ist dem obenbeschriebenen Verfahren ähnlich, wobei die Schritte auf beiden Oberflächen des Substrats ausgeführt werden. Es ist wichtig, zu beachten, daß die optische Oberfläche symmetrisch um die Mitte des Substrats liegt, um sicherzustellen, daß eine Verformung aufgrund von Temperaturänderungen nicht auftritt, wie oben beschrieben worden ist, während die relative Dicke der Schichten flexibel ist.
- Da die erzeugte Substratoberfläche spannungsfrei und flach ist, sind auch die anschließend aufgetragenen Schichten flach. Wenn daher die oberen Schichten diamantgedreht werden, um reflektierende Schichten zu erzeugen, werden beide im gleichen Abstand diamantgedreht, was zu gleichen Dicken auf den jeweiligen Seiten führt.
- Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung ist, daß hochgenaue optische Oberflächen für die Verwendung in sichtbaren und infraroten Wellenlängenbereichen des optischen Spektrums erzeugt werden.
- Es ist ferner ein Vorteil, daß optische Oberflächen erzeugt werden, die bei einer Änderung der Betriebstemperatur weniger anfällig für Verformungen sind.
- Es ist ferner ein Vorteil, daß optische Oberflächen erzeugt werden, die ein Reflexionsvermögen nahe demjenigen des theoretischen Reflexionsvermögens von Gold im infraroten Bereich aufweisen.
- Es ist ferner ein Vorteil, daß die Erfindung eine kostengünstige Einrichtung zum Herstellen einer qualitativ hochwertigen optischen Oberfläche schafft.
- Obwohl die Erfindung anhand ihrer Ausführungsformen beschrieben worden ist, die derzeit als günstig und bevorzugt betrachtet werden, ist klar, daß die Erfindung nicht auf die offenbarten Ausführungsformen beschränkt ist. Fachleute werden erkennen, daß verschiedene Abwandlungen und äquivalente Strukturen und Funktionen möglich sind, ohne vom Geist und Umfang der Erfindung abzuweichen, wie sie in den Ansprüchen definiert ist. Die Erfindung, wie sie in den Ansprüchen definiert ist, muß daher im weitest möglichen Sinne interpretiert werden, um alle solche Abwandlungen und äquivalenten Strukturen und Funktionen einzuschließen.
Claims (19)
- Verfahren zur Herstellung einer optischen Oberfläche (
10 ), umfassend die Schritte: Bereitstellen eines Substrats (12 ); Auftragen einer Haftschicht (16 ) auf das Substrat (12 ), wobei die Haftschicht (16 ) eine erste Haftschicht (17 ) und eine zweite Haftschicht (19 ) umfasst; Auftragen einer oberen Schicht (18 ) auf die Haftschicht (16 ); und Diamantdrehen der oberen Schicht (18 ), um eine reflektierende Schicht zu erhalten, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (12 ) Aluminium umfasst und spannungsfrei ist, und dass die erste Haftschicht eine Zinkschicht umfasst. - Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die zweite Haftschicht (
19 ) eine Nickelschicht umfasst. - Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die obere Schicht (
18 ) eine Goldschicht oder eine Goldlegierungsschicht umfasst. - Verfahren nach Anspruch 3, bei dem die Goldlegierungsschicht eine Gold-Nickel-Legierungsschicht oder eine Gold-Kobalt-Schicht umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die zweite Haftschicht (
19 ) eine Kupferschicht umfasst. - Verfahren nach Anspruch 5, bei dem die obere Schicht (
18 ) eine Nickel-Chrom-Legierungsschicht umfasst - Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Haftschicht (
16 ) etwa 4 bis 8 Mikrometer dick ist. - Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die obere Schicht (
18 ) etwa 10 bis 15 Mikrometer dick ist. - Verfahren nach Anspruch 8, bei dem die obere Schicht (
18 ) in den oberen etwa 5 bis 8 Mikrometern diamantgedreht wird. - Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend einen Schritt des Polierens der optischen Oberfläche nach dem Diamantdrehen.
- Optische Oberfläche umfassend: ein Substrat (
12 ); eine Haftschicht (16 ) auf dem Substrat (12 ), wobei die Haftschicht (16 ) eine erste Haftschicht (17 ) und eine zweite Haftschicht (19 ) umfasst; und eine obere Schicht (18 ) auf der Haftschicht (16 ), wobei die obere Schicht (18 ) diamantgedreht ist, um eine reflektierende Schicht zu erhalten, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (12 ) Aluminium umfasst und spannungsfrei ist, und dass die erste Haftschicht eine Zinkschicht umfasst. - Optische Oberfläche nach Anspruch 11, bei der die zweite Haftschicht (
19 ) eine Nickelschicht umfasst. - Optische Oberfläche nach Anspruch 12, bei der die obere Schicht (
18 ) eine Goldschicht oder eine Gold-Legierungsschicht umfasst. - Optische Oberfläche nach Anspruch 13, bei der die Gold-Legierungsschicht eine Gold-Nickel-Legierungsschicht oder eine Gold-Kobalt-Schicht umfasst.
- Optische Oberfläche nach Anspruch 11, bei der die zweite Haftschicht (
19 ) eine Kupferschicht umfasst. - Optische Oberfläche nach Anspruch 15, bei der die obere Schicht (
18 ) eine Nickel-Chrom-Legierungsschicht umfasst. - Optische Oberfläche nach Anspruch 11, bei der die Haftschicht (
16 ) etwa 4 bis 8 Mikrometer dick ist. - Optische Oberfläche nach Anspruch 11, bei der die obere Schicht (
18 ) etwa 10 bis 15 Mikrometer dick ist. - Optische Oberfläche nach Anspruch 18, bei der die obere Schicht (
18 ) in den oberen etwa 5 bis 8 Mikrometern diamantgedreht ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CA2313438 | 2000-07-06 | ||
CA 2313438 CA2313438C (en) | 2000-07-06 | 2000-07-06 | High quality optical surface and method of producing same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10132788A1 DE10132788A1 (de) | 2002-01-24 |
DE10132788B4 true DE10132788B4 (de) | 2013-03-28 |
Family
ID=4166655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2001132788 Expired - Fee Related DE10132788B4 (de) | 2000-07-06 | 2001-07-06 | Qualitativ hochwertige optische Oberfläche und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6495272B1 (de) |
CA (1) | CA2313438C (de) |
DE (1) | DE10132788B4 (de) |
GB (1) | GB2364395B (de) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6587742B2 (en) * | 2000-12-20 | 2003-07-01 | Mark Manuel | Method and apparatus for the creation of a tool |
US7222834B2 (en) * | 2001-08-14 | 2007-05-29 | Floodcooling Technologies, Llc | Tool and a method for making a tool |
US20040038074A1 (en) * | 2001-11-01 | 2004-02-26 | Mark Manuel | Tool and a method for creating a tool |
US7338717B2 (en) * | 2002-11-07 | 2008-03-04 | Floodcooling Technologies, Llc | Tool and a method for creating the tool |
US7195223B2 (en) * | 2002-12-02 | 2007-03-27 | Mark Manuel | System and a method for cooling a tool |
US6921177B2 (en) * | 2003-02-24 | 2005-07-26 | Raytheon Company | High precision mirror, and a method of making it |
US7178742B2 (en) * | 2003-05-06 | 2007-02-20 | Lear Corporation | Fluid delivery system for spray applicator |
US20050196232A1 (en) * | 2004-03-05 | 2005-09-08 | Mark Manuel | Method and an apparatus for the creation of a tangible item, such as a tool and/or a part, and a tangible item |
US7563091B2 (en) * | 2005-01-18 | 2009-07-21 | Floodcooling Technologies, L.L.C. | Tool having an ejection assembly, a method for making such a tool, and a method for ejecting a formed object from a tool |
US7278197B2 (en) * | 2005-01-18 | 2007-10-09 | Floodcooling Technologies, Llc | Method for producing a tool |
US20060156787A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-20 | Mark Manuel | Laminated tool and a method for forming a tool |
US7376484B2 (en) * | 2005-01-18 | 2008-05-20 | Floodcooling Technologies, Llc | Method for building a tool |
US20070102837A1 (en) * | 2005-09-23 | 2007-05-10 | Mark Manuel | Tool having desired thermal management properties and a method for producing a tool having desired thermal management properties |
US7379787B2 (en) * | 2005-04-09 | 2008-05-27 | Floodcooling Technologies, Llc | Method for forming a tangible item and a tangible item formed by the method |
US20070039153A1 (en) * | 2005-08-18 | 2007-02-22 | Mark Manuel | Method for forming a tool and a tool |
US20070040298A1 (en) * | 2005-08-18 | 2007-02-22 | Mark Manuel | Assembly and a method for cooling and/or forming an item |
US20070067977A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-03-29 | Mark Manuel | Tool and a method for producing a tool |
US9575223B2 (en) * | 2011-05-13 | 2017-02-21 | Raytheon Company | Magnesium mirrors and methods of manufacture thereof |
US11385383B2 (en) | 2018-11-13 | 2022-07-12 | Raytheon Company | Coating stress mitigation through front surface coating manipulation on ultra-high reflectors or other optical devices |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2676117A (en) * | 1949-04-18 | 1954-04-20 | Libbey Owens Ford Glass Co | Light transmissive electrically conducting optical article |
US4074416A (en) * | 1974-04-24 | 1978-02-21 | Raytheon Company | Mirror and method of making same |
US4411965A (en) * | 1980-10-31 | 1983-10-25 | Occidental Chemical Corporation | Process for high speed nickel and gold electroplate system and article having improved corrosion resistance |
US4475794A (en) * | 1982-02-03 | 1984-10-09 | Martin Marietta Corporation | Aluminum, aluminum oxide, cromium, gold mirror |
US4915494A (en) * | 1988-07-06 | 1990-04-10 | Harris Corporation | Carbon-carbon mirror for space applications |
US5285314A (en) * | 1991-05-03 | 1994-02-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Superzone holographic mirror |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4082908A (en) | 1976-05-05 | 1978-04-04 | Burr-Brown Research Corporation | Gold plating process and product produced thereby |
US4407860A (en) | 1981-06-30 | 1983-10-04 | International Business Machines Corporation | Process for producing an improved quality electrolessly deposited nickel layer |
US4423650A (en) | 1981-09-18 | 1984-01-03 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Machining process for metal mirror surfaces |
US4374002A (en) | 1982-03-04 | 1983-02-15 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method for producing highly reflective metal surfaces |
JPS58202751A (ja) | 1982-05-20 | 1983-11-26 | Agency Of Ind Science & Technol | 大口径金属鏡の超精密切削加工法 |
US4713824A (en) | 1983-02-11 | 1987-12-15 | Allied Corporation | Noble-metal overcoated, front-surface silver reflectors |
JPS60195502A (ja) | 1984-03-19 | 1985-10-04 | Canon Inc | 金属回転多面鏡 |
US4601958A (en) | 1984-09-26 | 1986-07-22 | Allied Corporation | Plated parts and their production |
US4666796A (en) | 1984-09-26 | 1987-05-19 | Allied Corporation | Plated parts and their production |
US4837052A (en) | 1986-03-03 | 1989-06-06 | Applied Materials, Inc. | Process for forming reflective gold coatings |
JPH0627881B2 (ja) | 1986-03-31 | 1994-04-13 | 工業技術院長 | 光学ミラー及びその製造方法 |
JP2760107B2 (ja) | 1989-12-07 | 1998-05-28 | 住友電気工業株式会社 | セラミックス基板の表面構造およびその製造方法 |
US5051317A (en) | 1990-01-03 | 1991-09-24 | Krementz & Co. Inc. | Multilayered electroplating process utilizing fine gold |
CH683188A5 (de) | 1991-01-11 | 1994-01-31 | Alusuisse Lonza Services Ag | Aluminiumoberflächen. |
JP3575068B2 (ja) | 1994-08-02 | 2004-10-06 | 住友電気工業株式会社 | 平滑なめっき層を有するセラミックスメタライズ基板およびその製造方法 |
CA2153345C (en) | 1994-12-15 | 2000-01-11 | Robert William Filas | Low polarization sensitivity gold mirrors on silica |
US5706999A (en) | 1995-11-28 | 1998-01-13 | Hughes Electronics | Preparation of a coated metal-matrix composite material |
US5730853A (en) | 1996-04-25 | 1998-03-24 | Northrop Grumman Corporation | Method for plating metal matrix composite materials with nickel and gold |
-
2000
- 2000-07-06 CA CA 2313438 patent/CA2313438C/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-10-10 US US09/685,356 patent/US6495272B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-07-06 GB GB0116569A patent/GB2364395B/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-07-06 DE DE2001132788 patent/DE10132788B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2676117A (en) * | 1949-04-18 | 1954-04-20 | Libbey Owens Ford Glass Co | Light transmissive electrically conducting optical article |
US4074416A (en) * | 1974-04-24 | 1978-02-21 | Raytheon Company | Mirror and method of making same |
US4411965A (en) * | 1980-10-31 | 1983-10-25 | Occidental Chemical Corporation | Process for high speed nickel and gold electroplate system and article having improved corrosion resistance |
US4475794A (en) * | 1982-02-03 | 1984-10-09 | Martin Marietta Corporation | Aluminum, aluminum oxide, cromium, gold mirror |
US4915494A (en) * | 1988-07-06 | 1990-04-10 | Harris Corporation | Carbon-carbon mirror for space applications |
US5285314A (en) * | 1991-05-03 | 1994-02-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Superzone holographic mirror |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2364395A (en) | 2002-01-23 |
CA2313438A1 (en) | 2002-01-06 |
CA2313438C (en) | 2003-03-11 |
DE10132788A1 (de) | 2002-01-24 |
GB2364395B (en) | 2004-07-07 |
US6495272B1 (en) | 2002-12-17 |
GB0116569D0 (en) | 2001-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10132788B4 (de) | Qualitativ hochwertige optische Oberfläche und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE2807414C2 (de) | ||
EP0059260A1 (de) | Laserspiegel, insbesondere Laser-Polygonspiegel | |
DE2615605B1 (de) | Scheibenfoermiger informationstraeger und verfahren zu seiner herstellung | |
DE112014003787T5 (de) | Verfahren zum Herstellen eines spiegelpolierten Wafers | |
DE3637447C2 (de) | ||
DE2828993A1 (de) | Verfahren zur galvanoplastischen herstellung eines duesenkoerpers | |
DE10126364B9 (de) | Aluminium-Reflexionsspiegel und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE3930045C2 (de) | ||
DE102010033870A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines keramischen Substrats | |
DE4307519C2 (de) | Spiegel für Synchrotronstrahlung | |
DE19718411B4 (de) | Röntgenstrahlen-Reflexionsvorrichtung | |
DE4440981B4 (de) | Optisches Verbundbauelement vom Reflexionstyp | |
DE4420024C2 (de) | Halbzeug in Form eines Verbundkörpers für ein elektronisches oder opto-elektronisches Halbleiterbauelement | |
DE102006011973B4 (de) | Spiegel mit einer Silberschicht | |
EP3168325B1 (de) | Sputtertarget auf der basis einer silberlegierung | |
DE3602485A1 (de) | Matrize fuer die herstellung von linsen | |
DE69827457T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Formwerkzeugen zum Formen von optischen Oberflächen | |
CH648416A5 (de) | Spiegel und verfahren zur herstellung derselben. | |
DE69816238T2 (de) | Verfahren zum Herstellen feinpolierter, nicht planarer, asphärischer Oberflächen | |
DE102019125099A1 (de) | Dreidimensional umgeformtes Dünnglas | |
DE102019122078A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Aluminiumschicht und optisches Element | |
EP0399072A1 (de) | Schmuckstück | |
DE102018009116A1 (de) | Skala und Herstellungsverfahren derselben | |
DE60101744T2 (de) | Verfahren zum Herstellen eines für ein Matrizenherstellungsverfahren geeigneten Substrats und durch das Verfahren erhaltenes Substrat |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20130629 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |