DE10132788B4 - Qualitativ hochwertige optische Oberfläche und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents

Qualitativ hochwertige optische Oberfläche und Verfahren zu ihrer Herstellung Download PDF

Info

Publication number
DE10132788B4
DE10132788B4 DE2001132788 DE10132788A DE10132788B4 DE 10132788 B4 DE10132788 B4 DE 10132788B4 DE 2001132788 DE2001132788 DE 2001132788 DE 10132788 A DE10132788 A DE 10132788A DE 10132788 B4 DE10132788 B4 DE 10132788B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
substrate
gold
adhesive layer
optical surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE2001132788
Other languages
English (en)
Other versions
DE10132788A1 (de
Inventor
Brian W. Creber
Kirk Guttin
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
B-Con Engineering Inc
Original Assignee
B-Con Engineering Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by B-Con Engineering Inc filed Critical B-Con Engineering Inc
Publication of DE10132788A1 publication Critical patent/DE10132788A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10132788B4 publication Critical patent/DE10132788B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/0816Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
    • G02B5/085Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
    • G02B5/0875Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising two or more metallic layers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/922Static electricity metal bleed-off metallic stock
    • Y10S428/923Physical dimension
    • Y10S428/924Composite
    • Y10S428/926Thickness of individual layer specified
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/922Static electricity metal bleed-off metallic stock
    • Y10S428/9335Product by special process
    • Y10S428/934Electrical process
    • Y10S428/935Electroplating
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/922Static electricity metal bleed-off metallic stock
    • Y10S428/9335Product by special process
    • Y10S428/936Chemical deposition, e.g. electroless plating
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S451/00Abrading
    • Y10S451/901Super finish
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12736Al-base component
    • Y10T428/1275Next to Group VIII or IB metal-base component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771Transition metal-base component
    • Y10T428/12785Group IIB metal-base component
    • Y10T428/12792Zn-base component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771Transition metal-base component
    • Y10T428/12861Group VIII or IB metal-base component
    • Y10T428/12889Au-base component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771Transition metal-base component
    • Y10T428/12861Group VIII or IB metal-base component
    • Y10T428/12944Ni-base component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12993Surface feature [e.g., rough, mirror]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

Verfahren zur Herstellung einer optischen Oberfläche (10), umfassend die Schritte: Bereitstellen eines Substrats (12); Auftragen einer Haftschicht (16) auf das Substrat (12), wobei die Haftschicht (16) eine erste Haftschicht (17) und eine zweite Haftschicht (19) umfasst; Auftragen einer oberen Schicht (18) auf die Haftschicht (16); und Diamantdrehen der oberen Schicht (18), um eine reflektierende Schicht zu erhalten, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (12) Aluminium umfasst und spannungsfrei ist, und dass die erste Haftschicht eine Zinkschicht umfasst.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich allgemein auf optische Oberflächen, die in infraroten und sichtbaren Wellenlängenbereichen verwendet werden, und insbesondere auf qualitativ hochwertige optische Oberflächen und ein Verfahren zur Herstellung von qualitativ hochwertigen optischen Oberflächen.
  • Qualitativ hochwertig optische Oberflächen werden in zahlreichen Industriezweigen einschließlich der Telekommunikation in sichtbaren und infraroten Wellenlängenbereichen des optischen Spektrums verwendet. Die Qualität einer optischen Oberfläche wird anhand der Flachheit, der Oberflächenstreuung und des Reflexionsvermögens der Oberfläche gemessen.
  • Die erzielbare Flachheit einer Oberfläche ist durch den CNC-Herstellungsprozeß (CNC = computer-numerisch-gesteuert) begrenzt. Die typischen Verfahren zur Herstellung optischer Formen in Metallen umfassen herkömmliches Schleifen, Polieren und die CNC-Herstellung unter Verwendung von Diamantwerkzeugen. Diese herkömmlichen Verfahren eignen sich jedoch selbst nicht für die Herstellung komplexer Formen. Die Oberflächen sind uneben und weisen zahlreiche Wellen auf.
  • Die Streuung einer optischen Oberfläche wird beeinflußt durch den Diamentdrehprozeß. Herkömmliche Diamantdrehverfahren erzeugen keine gleichmäßige Dicke entlang der Oberfläche. Typische Materialien, die in optischen Standardformen verwendet werden, enthalten Aluminium, Kupfer und Nickel. Aluminium enthält im allgemeinen mehrere Verunreinigungen, wobei diese Verunreinigungen an den Korngrenzen stark konzentriert sind. Daher führt das Diamentdrehen einer Aluminiumoberfläche üblicherweise zu Werten für die Oberflächenstreuung von etwa 10 nm im quadratischen Mittel (RMS). Kupfer liefert im allgemeinen bessere Ergebnisse – etwa 5 RMS, jedoch hat Kupfer den Nachteil, daß es für Korrosion anfällig ist.
  • Ein typisches Verfahren zur Herstellung qualitativ hochwertiger Oberflächen mit einem Aluminiumsubstrat besteht darin, die Oberfläche mit Nickel zu plattieren und das Nickel mit Diamanten abzudrehen. Bei Verwendung dieses Verfahrens liegen die typischen Wert, die für die Oberflächenstreuung erreicht werden, bei etwa 5 nm RMS. Es gibt jedoch ein Hauptproblem für nickelplattierte Substrate, die diamantgedreht sind. Da die Diamantdrehprozedur zu einer ungleichmäßigen Dicke des Nickels führt und da Nickel und Aluminium unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen, neigt die optische Oberfläche zu einer Verformung, wenn die Temperatur sich in der Betriebsumgebung ändert. Dies reduziert die Qualität der Oberfläche.
  • Das erreichbare Reflexionsvermögen bei der Betriebswellenlänge wird durch die Materialeigenschaften der optischen Oberfläche bestimmt. Typischerweise wird Gold auf die Oberfläche eines Substrats aufgetragen, um das Reflexionsvermögen im Infrarotbereich zu erhöhen. Gold wird üblicherweise mittels Vakuumabscheideverfahren aufgetragen, wodurch im allgemeinen ein unebener Oberflächenauftrag erzeugt wird. Ferner ist das im Vakuum abgeschiedene Gold im allgemeinen weiches Gold. Diese Goldschicht muß mit einer Schutzbeschichtung abgedeckt werden, was das Reflexionsvermögen der Oberfläche reduziert.
  • Alternativ ist ferner bekannt, Gold auf die Oberfläche zu galvanisieren. Da die Oberfläche im allgemeinen jedoch uneben ist und mehrere Wellen aufweist, muß die aufgetragene Goldschicht relativ dick sein, um diese Wellen zu kompensieren und eine im wesentlichen ebene Oberfläche zu schaffen. Dies führt zu hohen Kosten.
  • Häufig ist es erforderlich, daß die optischen Oberflächen doppelseitig sind; d. h. die optische Oberfläche umfaßt auf beiden Seiten des Substrats reflektierende Oberflächen. Bekannte Verfahren sind aufgrund der erzeugten Unebenheit der Substratschicht nicht für die Erzeugung qualitativ hochwertiger Oberflächen, die doppelseitig sind, geeignet. Wenn die oberen Schichten diamantgedreht werden, werden sie diamantgedreht, bis die entsprechende Schicht eben ist. Der Aufwand des Diamantdrehens, der erforderlich ist, um dies zu erreichen, ist im allgemeinen für jede Seite unterschiedlich. Dies ist wichtig, da die Differenzen der endgültigen Dicken der Schichten auf den jeweiligen Seiten zu einer Verformung bei Temperaturänderungen führen, wie oben beschrieben worden ist. Aufgrund der Eigenart der unebenen Substratoberfläche ist dieses Problem inhärent.
  • Mit den weiterentwickelten Anwendungen des computergestützten Entwurfs (CAD) werden die benötigten optischen Oberflächen immer komplexer. Ferner nimmt die Toleranz für Fehler in diesen Oberflächen ab. Es besteht daher Bedarf an hochgenauen und qualitativ hochwertigen optischen Oberflächen in zahlreichen geometrischen Formen.
  • Es besteht ferner Bedarf an einem Verfahren zur Herstellung dieser optischen Oberflächen bei günstigen Kosten.
  • Die Erfindung ist auf ein Verfahren zur Herstellung qualitativ hochwertiger optischer Oberflächen gerichtet. Die Erfindung erlaubt die Herstellung optischer Oberflächen mit komplexer Geometrie unter Beibehaltung der hohen Qualität.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer optischen Oberfläche geschaffen, das die Schritte umfaßt: Erzeugen eines Substrats, das spannungsfrei ist; Auftragen einer Haftschicht auf das Substrat; Auftragen einer oberen Schicht auf die Haftschicht; und Diamantdrehen der oberen Schicht, um eine reflektierende Schicht zu erhalten.
  • Gemäß einem weiteren Verfahren der Erfindung wird eine optische Oberfläche geschaffen, die umfaßt: ein Substrat, das spannungsfrei ist; eine Haftschicht auf dem Substrat; und eine obere Schicht auf dem Substrat; wobei die obere Schicht diamantgedreht ist, um eine reflektierende Schicht auf dem Substrat zu erhalten, wobei die reflektierende Schicht reines Gold oder eine Goldlegierung umfaßt.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine optische Oberfläche geschaffen, die durch ein Verfahren herstellt wird, das die Schritte umfaßt: Erzeugen eines spannungsfreien Substrats; Auftragen einer Haftschicht auf das Substrat; Auftragen einer oberen Schicht auf die Haftschicht; und Diamantdrehen der oberen Schicht, um eine reflektierende Schicht zu erhalten.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine doppelseitige optische Oberfläche geschaffen, die umfaßt: ein spannungsfreies Substrat, das eine erste und eine zweite Oberfläche aufweist; eine Haftschicht auf jeweils der ersten und der zweiten Oberfläche des Substrats; und eine obere Schicht auf jeweils der ersten und der zweiten Oberfläche des Substrats, wobei die oberen Schichten diamantgedreht sind, um reflektierende Schichten auf jeweils der ersten und der zweiten Oberfläche des Substrats zu erhalten, wobei die reflektierenden Schichten reines Gold oder eine Goldlegierung umfassen.
  • Weitere Aspekte und Vorteile der Erfindung sowie die Struktur und die Operation verschiedener Ausführungsformen der Erfindung werden für Fachleute deutlich beim Lesen der folgenden Beschreibung der Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen.
  • Die Erfindung wird im folgenden mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in welchen:
  • 1 eine typische Betriebsumgebung für eine optische Oberfläche zeigt;
  • 2 eine typische optische Oberfläche der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 3 das Verfahren zur Herstellung der optischen Oberfläche der 2 zeigt;
  • 4 das Verfahren zur Herstellung des spannungsfreien Substrats gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 5 das Verfahren zum Auftragen der Haftschicht auf das Substrat zeigt;
  • 6 ein herkömmliches Galvanisierungssystem zeigt;
  • 7 eine herkömmliche Galvanisierungsvorrichtung zeigt; und
  • 8 eine doppelseitige optische Figur zeigt.
  • 1 zeigt eine typische Betriebsumgebung für eine optische Oberfläche. Die optische Oberfläche 10 enthält eine Substratschicht 12 und eine Spiegelschicht 14. Von der Strahlungsquelle 30 wird ein Strahl 20 ausgesendet. Der Strahl 20 trifft auf die optische Oberfläche 10 und wird zur Strahlerfassungsvorrichtung 35 reflektiert. Die Strahlungsquelle 30 kann einen Laser enthalten, während die Strahlungserfassungsvorrichtung 35 einen Photodetektor enthalten kann.
  • Um eine präzise Operation zu erreichen, wird die optische Oberfläche 10 mit hoher Präzision hergestellt und weist ein hohes Reflexionsvermögen auf.
  • Die hergestellte optische Oberfläche 10 der vorliegenden Erfindung ist in 2 gezeigt. Die Spiegelschicht 14 umfaß ferner eine Haftschicht 16 und eine obere Schicht 18, die reflektierend ist. In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Substrat 12 ein Aluminiumsubstrat, wobei die Haftschicht 16 eine Schicht aus Zink 17 und eine Schicht aus Nickel 19 enthält und die obere Schicht 18 aus Gold besteht. Es ist jedoch klar, daß die Schichten verschiedene Materialien umfassen können, wie im folgenden beschrieben wird.
  • 3 zeigt das Verfahren 50 zur Herstellung einer optischen Oberfläche 10 der 2. Im Schritt 52 wird das Substrat 12 bereitgestellt oder erzeugt. Das Substrat 12 ist im Idealfall ein Aluminiumsubstrat. Das Substrat 12 kann jedoch aus einem beliebigen Metall bestehen, einschließlich Kupfer oder Stahl, ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Die Substratoberfläche kann, muß aber nicht optisch sein, wobei jedoch das Substrat 12 nahezu in der gewünschten Form der endgültigen optischen Figur hergestellt wird, bevor eine reflektierende Schicht auf das Substrat aufgetragen wird.
  • Es sind viele Dinge zu berücksichtigen, wenn die zu plattierende Form hergestellt wird. Es ist wichtig, daß das Substrat 12 spannungsfrei ist, was durch herkömmliche Wärmebehandlungstechniken erreicht werden kann. Das Verfahren zur Herstellung oder Bereitstellung eines spannungsfreien Substrats ist in 4 als Verfahren 40 gezeigt. Im Schritt 42 wird das Substrat nahezu in der endgültigen gewünschten Form der optischen Oberfläche hergestellt. Dies kann mit irgendeiner bekannten Technik bewerkstelligt werden, einschließlich CNC-Bearbeitung. Das Substrat sollte unter Verwendung einer qualitativ hochwertigen präzisen Anlage hergestellt werden. Der Begriff ”nahezu” ist allgemein definiert als innerhalb des Bereiches von 0,02 bis 0,04 Zoll der endgültigen Form liegend. Im Schritt 44 wird das Substrat erwärmt. Die Erwärmungstemperatur hängt ab vom Material des Substrats. Für Aluminiumsubstrate beträgt die Erwärmungstemperatur etwa 375°F. Im Schritt 46 wird das Substrat über eine vordefinierte Zeitspanne auf Erwärmungstemperatur gehalten. Im Fall eines Aluminiumsubstrats beträgt diese Zeitspanne etwa acht Stunden. Im Schritt 48 wird das Substrat mit Luft auf Raumtemperatur abgekühlt. Im Schritt 49 wird die Form des Substrats unter Verwendung von Diamantwerkzeugen bis auf 0,02 bis 0,04 Zoll feinbearbeitet. Die Verwendung von Diamantwerkzeugen bewahrt den spannungsfreien Zustand des Substrats.
  • Sobald das Substrat hergestellt worden ist, wird wie im Schritt 54 des Verfahrens 50 die Haftschicht 16 auf das Substrat 12 aufgetragen. Dieses Verfahren wird im folgenden genauer beschrieben. Im Schritt 56 wird die Goldschicht aufgetragen, wobei Einzelheiten hierzu später beschrieben werden.
  • Im Schritt 58 wird die optische Oberfläche diamantgedreht.
  • In der bevorzugten Ausführungsform umfaßt die im Schritt 54 aufgetragene Haftschicht 16 eine Schicht aus Zink 17, gefolgt von einer Schicht aus Nickel 19. Die Haftschicht 16 kann jedoch andere Materialien enthalten, wie z. B. Chrom oder Kupfer. Die Materialien für die Haftschicht sollten auf der Grundlage des Substratmaterials und des verwendeten reflektierenden Materials ausgewählt werden. Wenn z. B. eine Nickel-Chrom-Zierplattierung verwendet wird, kann die Haftschicht eine Schicht aus Kupfer auf einer Schicht aus Zink enthalten. Die Plattierung von Metallen hängt von den physikalischen Eigenschaften und der Zusammensetzung des zu plattierenden Metalls ab. Zum Beispiel können einige schlechte Leiter sein, während andere ein geringes Festigkeit-Gewicht-Verhältnis aufweisen können. Es gibt eine Vielzahl von Eigenschaften, die bei der Plattierung von Metallen zu berücksichtigen sind.
  • 5 zeigt das Verfahren 60 des Auftragens der Haftschicht 16 auf das Substrat 12. Im Schritt 62 wird die Aluminiumsubstratoberfläche mit einer basischen Lösung gereinigt, die die Verklebung mit dem Plattierungsmetall beschleunigt. Im Schritt 64 wird die Oberfläche mit einer Säurelösung geätzt, um jeden Film der Grundlösung zu beseitigen. Im Schritt 66 wird etwas Zink aufgetragen (Anschlaggalvanisierung). Wie es im Stand der Technik üblich ist, geht jedem Schritt ein Spülen der Oberfläche mit vollentsalztem Wasser voran.
  • Alternativ kann das Substrat in eine Zinkat-Lösung getaucht werden. Dies reinigt gleichzeitig die Oberfläche und trägt etwas Zink auf (Anschlaggalvanisierung). Die Zinkschicht dient zum Schützen des Aluminiumsubstrats vor Oxidation, wenn es der Luft ausgesetzt wird.
  • Anschließend wird auf das Zink im Schritt 68 etwas Nickel aufgebracht (Anschlaggalvanisierung). Die Zink- und Nickelschichten 17, 19 der Schritte 66, 68 werden durch irgendein herkömmliches Mittel aufgetragen, einschließlich Galvanisierung, Tauchen in eine stromlose Lösung, Metallsprühen oder Vakuummetallisierung. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden die Schichten galvanisiert, da der Prozeß selbst relativ einfach ist. Im allgemeinen werden die Schritte des Verfahrens 60 in einem herkömmlichen Galvanisierungssystem durchgeführt, wie z. B. demjenigen, das in 6 gezeigt ist. Das Galvanisierungssystem 70 enthält eine Basis 72, in der mehrere Plattierungstanks 74 vorhanden sind. Jeder Plattierungstank ist mit einer geeigneten Lösung gefüllt. Andere Systeme können ebenfalls verwendet werden, wie z. B. ein Trommelplattierungssystem oder ein Schienenplattierungssystem. Wenn Galvanisierungstechniken verwendet werden, kann das System ferner eine Galvanisierungsvorrichtung 76 (7) enthalten, wie es im Stand der Technik üblich ist. Die Technik der Galvanisierung ist bekannt und wird in diesem Dokument nicht weiter erläutert.
  • Unabhängig von der verwendeten Beschichtungstechnik sollte die Prozedur für eine ebene und stabile Plattierung sorgen.
  • In der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Haftschicht 16 sehr dünn und ist nur etwa 4 bis 8 Mikrometer dick. Eine dünne Haftschicht ist leichter in einer gleichmäßigen Dicke aufzutragen. Eine dünne Schicht aus Nickel erzeugt ebenfalls eine Oberfläche, die weniger anfällig für einer Verformung der optischen Oberfläche aufgrund von Differenzen des Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Nickel und Aluminium ist.
  • Im Schritt 56 des Verfahrens 50 wird eine obere Schicht aus Gold 18 auf die Haftschicht aufgetragen. In einer bevorzugten Ausführungsform ist die aufgetragene Goldschicht sehr dünn und reicht nur bis etwa 10 bis 15 Mikrometer Dicke. Die dünne Goldschicht ist erreichbar, da das ursprüngliche erzeugte Substrat spannungsfrei und flach ist. Da keine Unebenheiten in der Oberfläche des ursprünglichen Substrats vorhanden sind, kann eine dünne Goldschicht galvanisiert werden. Um eine Schicht mit gleichmäßiger Dicke zu erreichen, wird die Goldschicht vorzugsweise aufgalvanisiert und kann unter Verwendung des Galvanisierungssystems der 6 und der Galvanisierungsvorrichtung der 7 aufgetragen werden. Andere Verfahren zum Auftragen des Goldes können jedoch das Tauchen in eine stromlose Goldlösung oder die Vakuumabscheidung des Goldes umfassen.
  • Die aufgetragene Goldschicht kann im allgemeinen eine beliebige Dicke aufweisen. Um jedoch die Schicht mit Diamanten abzudrehen, ist eine Dicke von wenigstens 2 Mikrometern (50 Mikrozoll) erforderlich.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Goldschicht ein reines Gold mit 24 Karat. Goldlegierungen können jedoch ebenfalls verwendet werden. Wenn eine Goldlegierung verwendet wird, ist sie vorzugsweise eine Legierung aus Nickel oder Kobalt mit einem Goldgehalt von wenigstens 10 Karat. Es ist zu beachten, daß eine Goldlegierung einer beliebigen Art verwendet werden kann.
  • Das Auftragen von Gold auf das Substrat gemäß der bevorzugten Ausführungsform erzielt zusätzlich zur Verbesserung des IR-Reflexionsvermögens der optischen Oberfläche mehrere Vorteile. Da Gold und Goldlegierungen reine Materialien mit geringen oder keinen Korngrenzenverunreinigungen sind, ist die Oberflächenstreuung deutlich reduziert und erreicht ein Niveau von etwa 1 bis 2 nm RMS.
  • Da Gold eine geringere Zugfestigkeit aufweist als Aluminium, sowie einen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der näher an demjenigen von Aluminium liegt als Nickel, verformt sich die endgültige optische Oberfläche bei Temperaturänderungen nicht.
  • Ein weiterer Vorteil, der aus dem Auftragen einer Goldschicht gemäß der vorliegenden Ausführungsform gewonnen wird, bei der die ursprüngliche Substratschicht spannungsfrei ist, ist, daß eine dünne Schicht aus Gold erforderlich ist, wobei dies zu einem Endprodukt führt, das kostengünstiger ist.
  • Ferner wird durch Plattieren der Goldschicht die Notwendigkeit einer Schutzbeschichtung beseitigt. Im allgemeinen ist plattiertes Gold härter als im Vakuum abgeschiedenes Gold. Bei Bedarf kann jedoch eine Schutzbeschichtung aufgetragen werden, was immer noch innerhalb des Umfangs dieser Erfindung liegt.
  • Ferner kann bei Bedarf die Goldschicht wärmebehandelt werden, um das Material zu härten.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung erfordert die endgültige reflektierende Schicht keine weitere Bearbeitung, da die erzeugte optische Oberfläche bereits eine hohe Qualität aufweist. Bei Bedarf kann jedoch die reflektierende Schicht weiter bearbeitet werden, was immer noch im Umfang dieser Erfindung liegt.
  • Im abschließenden Schritt des Verfahrens 50 wird die obere Schicht 18 aus Gold diamantgedreht, um eine reflektierende Schicht zu erzeugen. In einer bevorzugten Ausführungsform wird die Schicht in den oberen 5 bis 8 Mikrometern diamantgedreht. Die diamantgedrehte (reflektierende) Oberfläche kann anschließend bei Bedarf poliert werden.
  • Die mit der vorliegenden Erfindung erzeugte optische Oberfläche weist im allgemeinen ein Reflexionsvermögen ähnlich dem theoretischen Wert von Gold im infraroten Bereich sowie eine Oberflächenstreuung von etwa 1 bis 2 nm RMS auf.
  • Die optischen Oberflächen können ferner doppelseitig sein; d. h. die optische Oberfläche umfaßt reflektierende Oberflächen auf beiden Seiten des Substrats. Die hergestellte optische Oberfläche 80 dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist in 8 gezeigt. Die Spiegelschicht 84 umfaßt eine Haftschicht 86 und eine obere Schicht 88, die auf zwei Oberflächen des Substrats 82 aufgetragen sind. Die Schicht 84 ist symmetrisch um die Achse AA, die sich durch die Mitte des Substrats 82 erstreckt.
  • Das Verfahren zur Herstellung der doppelseitigen optischen Oberfläche mit zwei reflektierenden Schichten ist dem obenbeschriebenen Verfahren ähnlich, wobei die Schritte auf beiden Oberflächen des Substrats ausgeführt werden. Es ist wichtig, zu beachten, daß die optische Oberfläche symmetrisch um die Mitte des Substrats liegt, um sicherzustellen, daß eine Verformung aufgrund von Temperaturänderungen nicht auftritt, wie oben beschrieben worden ist, während die relative Dicke der Schichten flexibel ist.
  • Da die erzeugte Substratoberfläche spannungsfrei und flach ist, sind auch die anschließend aufgetragenen Schichten flach. Wenn daher die oberen Schichten diamantgedreht werden, um reflektierende Schichten zu erzeugen, werden beide im gleichen Abstand diamantgedreht, was zu gleichen Dicken auf den jeweiligen Seiten führt.
  • Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung ist, daß hochgenaue optische Oberflächen für die Verwendung in sichtbaren und infraroten Wellenlängenbereichen des optischen Spektrums erzeugt werden.
  • Es ist ferner ein Vorteil, daß optische Oberflächen erzeugt werden, die bei einer Änderung der Betriebstemperatur weniger anfällig für Verformungen sind.
  • Es ist ferner ein Vorteil, daß optische Oberflächen erzeugt werden, die ein Reflexionsvermögen nahe demjenigen des theoretischen Reflexionsvermögens von Gold im infraroten Bereich aufweisen.
  • Es ist ferner ein Vorteil, daß die Erfindung eine kostengünstige Einrichtung zum Herstellen einer qualitativ hochwertigen optischen Oberfläche schafft.
  • Obwohl die Erfindung anhand ihrer Ausführungsformen beschrieben worden ist, die derzeit als günstig und bevorzugt betrachtet werden, ist klar, daß die Erfindung nicht auf die offenbarten Ausführungsformen beschränkt ist. Fachleute werden erkennen, daß verschiedene Abwandlungen und äquivalente Strukturen und Funktionen möglich sind, ohne vom Geist und Umfang der Erfindung abzuweichen, wie sie in den Ansprüchen definiert ist. Die Erfindung, wie sie in den Ansprüchen definiert ist, muß daher im weitest möglichen Sinne interpretiert werden, um alle solche Abwandlungen und äquivalenten Strukturen und Funktionen einzuschließen.

Claims (19)

  1. Verfahren zur Herstellung einer optischen Oberfläche (10), umfassend die Schritte: Bereitstellen eines Substrats (12); Auftragen einer Haftschicht (16) auf das Substrat (12), wobei die Haftschicht (16) eine erste Haftschicht (17) und eine zweite Haftschicht (19) umfasst; Auftragen einer oberen Schicht (18) auf die Haftschicht (16); und Diamantdrehen der oberen Schicht (18), um eine reflektierende Schicht zu erhalten, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (12) Aluminium umfasst und spannungsfrei ist, und dass die erste Haftschicht eine Zinkschicht umfasst.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die zweite Haftschicht (19) eine Nickelschicht umfasst.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die obere Schicht (18) eine Goldschicht oder eine Goldlegierungsschicht umfasst.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem die Goldlegierungsschicht eine Gold-Nickel-Legierungsschicht oder eine Gold-Kobalt-Schicht umfasst.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die zweite Haftschicht (19) eine Kupferschicht umfasst.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem die obere Schicht (18) eine Nickel-Chrom-Legierungsschicht umfasst
  7. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Haftschicht (16) etwa 4 bis 8 Mikrometer dick ist.
  8. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die obere Schicht (18) etwa 10 bis 15 Mikrometer dick ist.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem die obere Schicht (18) in den oberen etwa 5 bis 8 Mikrometern diamantgedreht wird.
  10. Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend einen Schritt des Polierens der optischen Oberfläche nach dem Diamantdrehen.
  11. Optische Oberfläche umfassend: ein Substrat (12); eine Haftschicht (16) auf dem Substrat (12), wobei die Haftschicht (16) eine erste Haftschicht (17) und eine zweite Haftschicht (19) umfasst; und eine obere Schicht (18) auf der Haftschicht (16), wobei die obere Schicht (18) diamantgedreht ist, um eine reflektierende Schicht zu erhalten, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (12) Aluminium umfasst und spannungsfrei ist, und dass die erste Haftschicht eine Zinkschicht umfasst.
  12. Optische Oberfläche nach Anspruch 11, bei der die zweite Haftschicht (19) eine Nickelschicht umfasst.
  13. Optische Oberfläche nach Anspruch 12, bei der die obere Schicht (18) eine Goldschicht oder eine Gold-Legierungsschicht umfasst.
  14. Optische Oberfläche nach Anspruch 13, bei der die Gold-Legierungsschicht eine Gold-Nickel-Legierungsschicht oder eine Gold-Kobalt-Schicht umfasst.
  15. Optische Oberfläche nach Anspruch 11, bei der die zweite Haftschicht (19) eine Kupferschicht umfasst.
  16. Optische Oberfläche nach Anspruch 15, bei der die obere Schicht (18) eine Nickel-Chrom-Legierungsschicht umfasst.
  17. Optische Oberfläche nach Anspruch 11, bei der die Haftschicht (16) etwa 4 bis 8 Mikrometer dick ist.
  18. Optische Oberfläche nach Anspruch 11, bei der die obere Schicht (18) etwa 10 bis 15 Mikrometer dick ist.
  19. Optische Oberfläche nach Anspruch 18, bei der die obere Schicht (18) in den oberen etwa 5 bis 8 Mikrometern diamantgedreht ist.
DE2001132788 2000-07-06 2001-07-06 Qualitativ hochwertige optische Oberfläche und Verfahren zu ihrer Herstellung Expired - Fee Related DE10132788B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CA2313438 2000-07-06
CA 2313438 CA2313438C (en) 2000-07-06 2000-07-06 High quality optical surface and method of producing same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10132788A1 DE10132788A1 (de) 2002-01-24
DE10132788B4 true DE10132788B4 (de) 2013-03-28

Family

ID=4166655

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2001132788 Expired - Fee Related DE10132788B4 (de) 2000-07-06 2001-07-06 Qualitativ hochwertige optische Oberfläche und Verfahren zu ihrer Herstellung

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6495272B1 (de)
CA (1) CA2313438C (de)
DE (1) DE10132788B4 (de)
GB (1) GB2364395B (de)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6587742B2 (en) * 2000-12-20 2003-07-01 Mark Manuel Method and apparatus for the creation of a tool
US7222834B2 (en) * 2001-08-14 2007-05-29 Floodcooling Technologies, Llc Tool and a method for making a tool
US20040038074A1 (en) * 2001-11-01 2004-02-26 Mark Manuel Tool and a method for creating a tool
US7338717B2 (en) * 2002-11-07 2008-03-04 Floodcooling Technologies, Llc Tool and a method for creating the tool
US7195223B2 (en) * 2002-12-02 2007-03-27 Mark Manuel System and a method for cooling a tool
US6921177B2 (en) * 2003-02-24 2005-07-26 Raytheon Company High precision mirror, and a method of making it
US7178742B2 (en) * 2003-05-06 2007-02-20 Lear Corporation Fluid delivery system for spray applicator
US20050196232A1 (en) * 2004-03-05 2005-09-08 Mark Manuel Method and an apparatus for the creation of a tangible item, such as a tool and/or a part, and a tangible item
US7563091B2 (en) * 2005-01-18 2009-07-21 Floodcooling Technologies, L.L.C. Tool having an ejection assembly, a method for making such a tool, and a method for ejecting a formed object from a tool
US7278197B2 (en) * 2005-01-18 2007-10-09 Floodcooling Technologies, Llc Method for producing a tool
US20060156787A1 (en) * 2005-01-18 2006-07-20 Mark Manuel Laminated tool and a method for forming a tool
US7376484B2 (en) * 2005-01-18 2008-05-20 Floodcooling Technologies, Llc Method for building a tool
US20070102837A1 (en) * 2005-09-23 2007-05-10 Mark Manuel Tool having desired thermal management properties and a method for producing a tool having desired thermal management properties
US7379787B2 (en) * 2005-04-09 2008-05-27 Floodcooling Technologies, Llc Method for forming a tangible item and a tangible item formed by the method
US20070039153A1 (en) * 2005-08-18 2007-02-22 Mark Manuel Method for forming a tool and a tool
US20070040298A1 (en) * 2005-08-18 2007-02-22 Mark Manuel Assembly and a method for cooling and/or forming an item
US20070067977A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Mark Manuel Tool and a method for producing a tool
US9575223B2 (en) * 2011-05-13 2017-02-21 Raytheon Company Magnesium mirrors and methods of manufacture thereof
US11385383B2 (en) 2018-11-13 2022-07-12 Raytheon Company Coating stress mitigation through front surface coating manipulation on ultra-high reflectors or other optical devices

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2676117A (en) * 1949-04-18 1954-04-20 Libbey Owens Ford Glass Co Light transmissive electrically conducting optical article
US4074416A (en) * 1974-04-24 1978-02-21 Raytheon Company Mirror and method of making same
US4411965A (en) * 1980-10-31 1983-10-25 Occidental Chemical Corporation Process for high speed nickel and gold electroplate system and article having improved corrosion resistance
US4475794A (en) * 1982-02-03 1984-10-09 Martin Marietta Corporation Aluminum, aluminum oxide, cromium, gold mirror
US4915494A (en) * 1988-07-06 1990-04-10 Harris Corporation Carbon-carbon mirror for space applications
US5285314A (en) * 1991-05-03 1994-02-08 Minnesota Mining And Manufacturing Company Superzone holographic mirror

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4082908A (en) 1976-05-05 1978-04-04 Burr-Brown Research Corporation Gold plating process and product produced thereby
US4407860A (en) 1981-06-30 1983-10-04 International Business Machines Corporation Process for producing an improved quality electrolessly deposited nickel layer
US4423650A (en) 1981-09-18 1984-01-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Machining process for metal mirror surfaces
US4374002A (en) 1982-03-04 1983-02-15 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method for producing highly reflective metal surfaces
JPS58202751A (ja) 1982-05-20 1983-11-26 Agency Of Ind Science & Technol 大口径金属鏡の超精密切削加工法
US4713824A (en) 1983-02-11 1987-12-15 Allied Corporation Noble-metal overcoated, front-surface silver reflectors
JPS60195502A (ja) 1984-03-19 1985-10-04 Canon Inc 金属回転多面鏡
US4601958A (en) 1984-09-26 1986-07-22 Allied Corporation Plated parts and their production
US4666796A (en) 1984-09-26 1987-05-19 Allied Corporation Plated parts and their production
US4837052A (en) 1986-03-03 1989-06-06 Applied Materials, Inc. Process for forming reflective gold coatings
JPH0627881B2 (ja) 1986-03-31 1994-04-13 工業技術院長 光学ミラー及びその製造方法
JP2760107B2 (ja) 1989-12-07 1998-05-28 住友電気工業株式会社 セラミックス基板の表面構造およびその製造方法
US5051317A (en) 1990-01-03 1991-09-24 Krementz & Co. Inc. Multilayered electroplating process utilizing fine gold
CH683188A5 (de) 1991-01-11 1994-01-31 Alusuisse Lonza Services Ag Aluminiumoberflächen.
JP3575068B2 (ja) 1994-08-02 2004-10-06 住友電気工業株式会社 平滑なめっき層を有するセラミックスメタライズ基板およびその製造方法
CA2153345C (en) 1994-12-15 2000-01-11 Robert William Filas Low polarization sensitivity gold mirrors on silica
US5706999A (en) 1995-11-28 1998-01-13 Hughes Electronics Preparation of a coated metal-matrix composite material
US5730853A (en) 1996-04-25 1998-03-24 Northrop Grumman Corporation Method for plating metal matrix composite materials with nickel and gold

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2676117A (en) * 1949-04-18 1954-04-20 Libbey Owens Ford Glass Co Light transmissive electrically conducting optical article
US4074416A (en) * 1974-04-24 1978-02-21 Raytheon Company Mirror and method of making same
US4411965A (en) * 1980-10-31 1983-10-25 Occidental Chemical Corporation Process for high speed nickel and gold electroplate system and article having improved corrosion resistance
US4475794A (en) * 1982-02-03 1984-10-09 Martin Marietta Corporation Aluminum, aluminum oxide, cromium, gold mirror
US4915494A (en) * 1988-07-06 1990-04-10 Harris Corporation Carbon-carbon mirror for space applications
US5285314A (en) * 1991-05-03 1994-02-08 Minnesota Mining And Manufacturing Company Superzone holographic mirror

Also Published As

Publication number Publication date
GB2364395A (en) 2002-01-23
CA2313438A1 (en) 2002-01-06
CA2313438C (en) 2003-03-11
DE10132788A1 (de) 2002-01-24
GB2364395B (en) 2004-07-07
US6495272B1 (en) 2002-12-17
GB0116569D0 (en) 2001-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10132788B4 (de) Qualitativ hochwertige optische Oberfläche und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE2807414C2 (de)
EP0059260A1 (de) Laserspiegel, insbesondere Laser-Polygonspiegel
DE2615605B1 (de) Scheibenfoermiger informationstraeger und verfahren zu seiner herstellung
DE112014003787T5 (de) Verfahren zum Herstellen eines spiegelpolierten Wafers
DE3637447C2 (de)
DE2828993A1 (de) Verfahren zur galvanoplastischen herstellung eines duesenkoerpers
DE10126364B9 (de) Aluminium-Reflexionsspiegel und Verfahren zu dessen Herstellung
DE3930045C2 (de)
DE102010033870A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines keramischen Substrats
DE4307519C2 (de) Spiegel für Synchrotronstrahlung
DE19718411B4 (de) Röntgenstrahlen-Reflexionsvorrichtung
DE4440981B4 (de) Optisches Verbundbauelement vom Reflexionstyp
DE4420024C2 (de) Halbzeug in Form eines Verbundkörpers für ein elektronisches oder opto-elektronisches Halbleiterbauelement
DE102006011973B4 (de) Spiegel mit einer Silberschicht
EP3168325B1 (de) Sputtertarget auf der basis einer silberlegierung
DE3602485A1 (de) Matrize fuer die herstellung von linsen
DE69827457T2 (de) Verfahren zur Herstellung von Formwerkzeugen zum Formen von optischen Oberflächen
CH648416A5 (de) Spiegel und verfahren zur herstellung derselben.
DE69816238T2 (de) Verfahren zum Herstellen feinpolierter, nicht planarer, asphärischer Oberflächen
DE102019125099A1 (de) Dreidimensional umgeformtes Dünnglas
DE102019122078A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Aluminiumschicht und optisches Element
EP0399072A1 (de) Schmuckstück
DE102018009116A1 (de) Skala und Herstellungsverfahren derselben
DE60101744T2 (de) Verfahren zum Herstellen eines für ein Matrizenherstellungsverfahren geeigneten Substrats und durch das Verfahren erhaltenes Substrat

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final

Effective date: 20130629

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee