DE10123362B4 - Wafer sowie Verfahren zum Herstellen eines Wafers - Google Patents

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Abstract

Wafer
– mit elektronischen Chips und
– mit einer Speichervorrichtung, in welcher eine Klassifikationskarte gespeichert ist,
– wobei die Klassifikationskarte für zumindest einen Teil der elektronischen Chips jeweils eine Positionsangabe sowie eine Klassifikationsangabe aufweist,
– wobei mit der Positionsangabe die Position des jeweiligen elektronischen Chips auf dem Wafer angegeben wird, und
– wobei mit der Klassifikationsangabe eine Klassifikation des jeweiligen elektronischen Chips hinsichtlich eines vorgegebenen Klassifikationskriteriums angegeben wird, und
– wobei die Speichervorrichtung ein nichtflüchtiger elektronischer Speicher ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Wafer sowie ein Verfahren zum Herstellen eines Wafers.
  • Gemäß dem Stand der Technik werden während oder nach der Produktion von elektronischen Chips auf einem Wafer die elektronischen Chips hinsichtlich ihrer Funktionstüchtigkeit getestet. Die dabei gewonnenen Testergebnisse führen für gewöhnlich auf Grund eines Einteilungskriteriums zu einer Einteilung der elektronischen Chips in „gute" sowie „schlechte" Chips. Zur Kennzeichnung der „schlechten" Chips werden diese mittels eines Farbpunktes markiert. An Hand dieser Farbpunkte können in nachfolgenden Herstellungsschritten die „schlechten" Chips ausgemustert werden. Zusätzlich wird zu jedem Wafer ein separates Prüfprotokoll erstellt, welches nähere Angaben unter anderem über den getesteten Wafer, über das Einteilungskriterium sowie über das verwendete Testverfahren enthält. Das Prüfprotokoll kann beispielsweise elektronisch zum Ort der nachfolgenden Herstellungsschritte übermittelt werden. Dabei kann es jedoch dazu kommen, dass ein Prüfprotokoll versehentlich oder absichtlich einem falschen Wafer zugeordnet wird. Alternativ kann es auch zu einer zufälligen oder absichtlichen Verfälschung eines Prüfprotokolls während der Übermittlung kommen.
  • 1 zeigt eine schematische Draufsicht auf einen Wafer 100 gemäß dem Stand der Technik.
  • Auf einer der beiden Hauptseiten des Wafers 100 befinden sich eine Vielzahl von elektronischen Chips 101. Der Wafer 100 wird mittels üblicher Herstellungsprozesse erzeugt. Bei den heutigen Größen der handelsüblichen Wafer können die elektronischen Chips 101 nicht mehr alle gleichzeitig erzeugt werden, da bei den üblichen Lithographieverfahren nur Bruchteile des Wafers 100 belichtet werden. Deshalb werden die elektronischen Chips 101 auf dem Wafer 100 schrittweise in Belichtungsblöcken 102 gefertigt. In einem Belichtungsblock 102 werden üblicherweise gleichzeitig mehrere elektronische Chips 101 hergestellt. Gemäß dem dargestellten Stand der Technik werden in einem Belichtungsblock 102 gleichzeitig jeweils 16 elektronische Chips 101 erzeugt.
  • Die Größe der Belichtungsblöcke 102 ist von der verwendeten Lithographietechnik sowie der angewandten Lithographiemaske abhängig. Ein Belichtungsblock 102 kann beispielsweise eine Größe von typischerweise 2 cm × 2 cm haben. Um die Oberfläche des Wafers 100 abzudecken, wird eine Vielzahl an Belichtungsblöcken 102 in geeigneter Weise aneinandergereiht.
  • Auf dem Wafer 100 entstehen auf Grund der Geometrie des Wafers 100 sowie der Belichtungsblöcke 102 Fehlbelichtungsbereiche 103. Die Fehlbelichtungsbereiche 103 befinden sich zwar noch innerhalb eines Belichtungsblocks 102, jedoch ist in diesen die Oberfläche des Wafers 100 derart gering, dass keine funktionstüchtigen elektronischen Chips 101 mehr erzeugt werden können. Dementsprechend befinden sich die Fehlbelichtungsbereiche 103 stets am Rand des Wafers 100.
  • Die Belichtungsblöcke 102 werden auf dem Wafer 100 derart verteilt, dass die Anzahl an Fehlbelichtungsbereichen 103 möglichst gering ist. Dies ist notwendig, um die Anzahl an elektronischen Chips 101 pro Wafer 100 zu reduzieren, welche auf Grund der Geometrie des Wafers 100 nur teilweise gefertigt werden können und somit funktionsuntüchtig sind.
  • Zum Vereinzeln der elektronischen Chips 101 sind auf dem Wafer 100 und zwischen jeweils zwei benachbarten elektronischen Chips 101 Sägerahmen 104 vorgesehen. Nach erfolgter Herstellung der elektronischen Chips 101 wird der Wafer 100 mittels Ätzen und Schleifen auf eine Dicke von typischerweise 150 μm gedünnt und anschließend auf eine elastische Trägerfolie geklebt. Im Bereich der Sägerahmen 104 wird der Wafer 100 nun mittels einer Diamantsäge in einzelne Stücke zersägt. Der in geeigneter Weise zersägte Wafer 100 wird somit in die elektronischen Chips 101 vereinzelt.
  • Der Wafer 100 weist außerdem noch in einem Randbereich eine Waferorientierungsmarkierung 105 auf. Diese für Halbleitersubstrate typische Waferorientierungsmarkierung 105 ist zur Ausrichtung des Wafers 100 vor dem Beginn der Herstellung der elektronischen Chips 101 notwendig, da einige Herstellungsschritte, beispielsweise Epitaxie-, Implantations- und Ätzverfahren, von der Kristallorientierung des Substrats abhängen.
  • Einige der elektronischen Chips 101 sind mit jeweils einem Farbpunkt 106 markiert. Dieser Farbpunkt 106 symbolisiert einen fehlerhaften elektronischen Chip. Während der Herstellung der elektronischen Chips 101 wird jeder elektronische Chip 101 auf seine Funktionalität hin überprüft. Wenn ein getesteter elektronischer Chip 101 auf Grund eines Einteilungskriteriums nicht den gewünschten Anforderungen entspricht, wird dieser elektronische Chip 101 üblicherweise von der nachfolgenden weiteren Produktion ausgeschlossen. Dies kann beispielsweise dann der Fall sein, wenn die auf dem elektronischen Chip 101 befindlichen elektronischen Bauelemente unzureichende elektronische Eigenschaften aufweisen.
  • Um solch einen fehlerhaften elektronischen Chip eindeutig identifizieren zu können und somit den richtigen elektronischen Chip 101 von der weiteren Produktion auszuschließen, wird der elektronische Chip 101 direkt bei der Durchführung des Funktionalitätstests mittels des Farbpunkts 106 markiert. Nach dem Vereinzeln aller elektronischen Chips 101 eines Wafers 100 können die mit einem Farbpunkt 106 als fehlerhaft markierten elektronischen Chips 101 beispielsweise ausgesondert und vernichtet werden.
  • Wenn jedoch vor dem Vereinzeln der elektronischen Chips 101 von einem markierten Chip versehentlich oder absichtlich der Farbpunkt 106 entfernt wird, kann ein fehlerhafter elektronischer Chip nicht mehr identifiziert und ausgesondert werden.
  • Um eine sicherere Übermittlung der Testergebnisse der elektronischen Chips zu gewährleisten, ist es aus US 4510673 A bekannt, das jeweilige detaillierte Testergebnis separat auf die elektronischen Chips zu schreiben. In US 4510675 A wird dies beispielsweise mittels eines Lasers verwirklicht.
  • Bei den nachfolgenden Herstellungsschritten kann dann das auf jedem elektronischen Chip befindliche Testergebnis mittels eines bilderkennenden Verfahrens ausgelesen werden. Entsprechend den Anforderungen an das fertiggestellte Produkt kann der jeweilige elektronische Chip dann in den nachfolgenden Herstellungsschritten verwendet, vernichtet oder in Reserve gehalten werden.
  • Jedoch muss dazu jeder einzelne elektronische Chips während des bilderkennenden Verfahrens mittels Verschiebung der bilderkennenden Vorrichtung mechanisch angesteuert und dann separat ausgelesen werden. Die mechanische Ansteuerung aller elektronischen Chips ist jedoch in hohem Maße zeitaufwändig. Dadurch werden sowohl eine lange Produktionsdauer als auch unerwünscht hohe Produktionskosten verursacht.
  • In GB 2252839 A ist ein Wafer beschrieben, bei dem eine Klassifikationskarte auf dem Wafer mittels eines Lasers eingebrannt ist.
  • Gemäß JP 05 190 614 A erfolgt eine Markierung fehlerbehafteter Chips auf dem Wafer.
  • GB 2 291 739 A beschreibt ein System, bei dem eine optische Speicherung der Fehlerkarte auf dem Wafer vorgesehen ist, wobei die Fehlerkarte in einem Randbereich des Wafers aufgebracht ist.
  • Gemäß JP 06 132 366 A wird eine Klassifikationskarte separat von dem Wafer in einem elektronischen Speicher eines externen Rechners gespeichert.
    •
  • Der Erfindung liegt somit das Problem zugrunde, einen Wafer sowie ein Verfahren zum Herstellen eines Wafers anzugeben, bei dem eine sichere, verwechslungs-, verlust- und verfälschungsfreie Übermittlung der Testergebnisse der elektronischen Chips je Wafer gewährleistet wird, wobei die Testergebnisse einfach und schnell auslesbar sind.
  • Das Problem wird von einem Wafer sowie einem Verfahren zum Herstellen eines Wafers mit den Merkmalen gemäß den unabhängigen Patentansprüchen gelöst.
  • Ein Wafer weist elektronische Chips und eine Speichervorrichtung, eingerichtet als nichtflüchtiger elektronischer Speicher, auf. In der Speichervorrichtung ist eine Klassifikationskarte gespeichert. Die Klassifikationskarte weist für zumindest einen Teil der elektronischen Chips jeweils eine Positionsangabe sowie eine Klassifikationsangabe auf. Mit der Positionsangabe wird die Position des jeweiligen elektronischen Chips auf dem Wafer angegeben. Mit der Klassifikationsangabe wird eine Klassifikation des jeweiligen elektronischen Chips hinsichtlich eines vorgegebenen Klassifikationskriteriums angegeben.
  • In einem Verfahren zum Herstellen eines Wafers wird der Wafer mit einer Vielzahl elektronischer Chips gefertigt. Eine Klassifikationskarte wird in eine Speichervorrichtung, eingerichtet als nichtflüchtiger elektronischer Speicher, auf dem Wafer gespeichert. Des Weiteren wird die Klassifikationskarte für zumindest einen Teil der elektronischen Chips aus jeweils einer Positionsangabe sowie einer Klassifikationsangabe zusammengesetzt. Mit der Positionsangabe wird dabei die Position des jeweiligen elektronischen Chips auf dem Wafer angegeben. Schließlich wird mit der Klassifikationsangabe eine Klassifikation des jeweiligen elektronischen Chips hinsichtlich eines vorgegebenen Klassifikationskriteriums angegeben.
  • Ein Vorteil der Erfindung kann darin gesehen werden, dass das Problem einer sicheren und verwechslungsfreien Übermittlung der Testergebnisse der elektronischen Chips auf einem Wafer gewährleistet wird, indem die Testergebnisse direkt auf dem Wafer gespeichert werden. Somit sind die Testergebnisse physisch mit dem zugehörigen Wafer verbunden. Dabei ergibt sich als zusätzlicher Vorteil, dass die Testergebnisse nicht verloren gehen können. Erfolgt die Speicherung der Testergebnisse auf dem Wafer in dauerhafter Form, wird außerdem auch eine Verfälschung der Testergebnisse stark behindert. Somit ermöglicht die Erfindung eine erhebliche Erhöhung der Sicherheit bei der Übermittlung der Testergebnisse im Vergleich zu externen Prüfprotokollen.
  • Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist, dass auf Grund der Speicherung der Testergebnisse in einer Klassifikationskarte die Testergebnisse einfach und schnell ausgelesen werden können. Zur Übermittlung der Testergebnisse muss nun nicht mehr jeder einzelne elektronische Chip separat von der bilderkennenden Vorrichtung angesteuert und ausgelesen werden. Der Wafer und damit die einzelnen elektronischen Chips müssen somit zum Auslesen der Klassifikationskarte nicht wie im Stand der Technik abgerastert werden. Dadurch können die nachfolgenden Herstellungsschritte zeitlich verkürzt und somit die Herstellungskosten reduziert werden.
  • Zusätzlich bietet die Erfindung die Möglichkeit, dass mittels der Klassifikationskarte die elektronischen Chips an Hand ihrer Klassifikationsangaben auch in mehr als zwei Klassifikationsgruppen eingeteilt werden können. Die Anzahl an Klassifikationsgruppen vergrößert lediglich die in der Klassifikationskarte gespeicherten Klassifikationsangaben. Dabei kann jede Klassifikationsgruppe beispielsweise einen Qualitätstyp von elektronischen Chips hinsichtlich des vorgegebenen Klassifikationskriteriums repräsentieren. Bei der Klassifikationskarte kann es sich beispielsweise um eine sogenannte mehrstufige Failmap handeln. Dabei ist die Eingruppierung der elektronischen Chips nicht nur in die beiden Gruppen „gute" Chips und „schlechte" Chips möglich. Zusätzlich sind dann auch diverse Zwischenstufen zwischen „guten" Chips und „schlechten" Chips möglich, wie beispielsweise „zweite Wahl" Chips.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Wafer ist die Speichervorrichtung vorzugsweise in einem Randbereich des Wafers angeordnet. Auf Grund der Speicherung der Klassifikationskarte in einer zusätzlichen Speichereinheit auf dem Wafer sollte bevorzugt so wenig Produktionsplatz für elektronische Chips wie möglich belegt werden. Dies hat den Vorteil, dass dadurch die Produktionskosten für elektronische Chips pro Wafer so gering wie möglich gehalten werden können.
  • Somit eignet sich der Randbereich des Wafers, in dem keine funktionstüchtigen elektronischen Chips mehr gefertigt werden können, besonders zum Anordnen der Speichervorrichtung. Zusätzlich ist der Randbereich des Wafers zum Anordnen der Speichervorrichtung deshalb besonders geeignet, weil dadurch beim Auslesen der Klassifikationskarte der Ort der Speichervorrichtung für die Auslesevorrichtung schnell ansteuerbar ist. Beispielsweise könnte als Ort für die Speichervorrichtung der Bereich mit der Waferorientierungsmarkierung verwendet werden. Standardmäßig wird als Waferorientierungsmarkierung bei Wafern mit einem Durchmesser bis zu 152,4 mm (6") eine Abflachung (genannt: „flat") und bei Wafern mit einem Durchmesser ab 200 mm eine Kerbe (genannt: „notch") verwendet.
  • Vorzugsweise ist die Speichervorrichtung mit gleichem Inhalt mehrmals auf dem Wafer vorgesehen. Dies minimiert die Möglichkeit eines teilweisen oder vollständigen Verlustes der Klassifikationskarte. Auch wird dadurch das Risiko einer unbemerkten Verfälschung der Klassifikationskarte reduziert.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Wafer ist die Speichervorrichtung ein nichtflüchtiger elektronischer Speicher. Beispielsweise kann es sich dabei um einen elektrisch programmierbaren Nurlesespeicher (EPROM) handeln. Handelt es sich bei den elektronischen Chips um Bauelemente für Chipkarten, in welchen elektrisch löschbare und programmierbaren Nurlesespeicher (EEPROM) integriert sind, könnte in einigen oder allen Bauelementen die Klassifikationskarte gespeichert sein. Bei der Personalisierung der Bauelemente für die Chipkarten können die Klassifikationskarten in den elektrisch löschbaren und programmierbaren Nurlesespeichern problemlos überschrieben und somit gelöscht werden. Folglich muss in diesem Fall für die Speicherung der Klassifikationskarte kein separater Platz auf dem Wafer vorgesehen werden. Die Ausbeute an auf einem Wafer gefertigten Bauelementen wird somit nicht verringert.
  • Die folgende Darstellung der Figuren dienen zur Erläuterung der Erfindung, sind jedoch hinsichtlich des beschriebenen Einbrennens einer Klassifikationskarte mittels eines Lasers auf die Oberfläche des Wafers nicht Gegenstand des Patentbegehrens.
    •
  • Es zeigen
  • 1 eine schematische Draufsicht auf einen Wafer gemäß dem Stand der Technik; und
  • 2 eine schematische Draufsicht auf einen Wafer.
  • In 2 ist eine schematische Draufsicht auf einen Wafer 200 gezeigt.
  • Auf einer Hauptseite des Wafers 200 befinden sich eine Vielzahl von elektronischen Chips 201. Der Wafer 200 wird analog zum Stand der Technik mittels üblicher Herstellungsprozesse erzeugt. wie unter 1 bereits beschrieben, werden die elektronischen Chips 201 auf dem Wafer 200 schrittweise in Belichtungsblöcken 202 gefertigt.
  • Auf dem Wafer 200 entstehen auf Grund der Geometrie des Wafers 200 sowie der Anordnung der Belichtungsblöcke 202 Fehlbelichtungsbereiche 203 am Rand des Wafers 200. Die Belichtungsblöcke 202 werden auf dem Wafer 200 derart verteilt, dass die Anzahl an Fehlbelichtungsbereichen 203 möglichst gering ist.
  • Zum Vereinzeln der elektronischen Chips 201 sind auf dem Wafer 200 und zwischen jeweils zwei benachbarten elektronischen Chips 201 wie bereits im Stand der Technik Sägerahmen 204 vorgesehen. Nach erfolgter Herstellung der elektronischen Chips 201 wird der Wafer 200 mittels Ätzen und Schleifen auf eine Dicke von typischerweise 150 μm gedünnt und anschließend auf eine elastische Trägerfolie geklebt. Im Bereich der Sägerahmen 204 wird der Wafer 200 nun mittels einer Diamantsäge in einzelne Stücke zersägt. Der in geeigneter Weise zersägte Wafer 200 wird somit in die elektronischen Chips 201 vereinzelt.
  • Der Wafer 200 weist außerdem noch in einem Randbereich eine Waferorientierungsmarkierung 205 auf, um den Wafer 200 vor dem Beginn der Herstellung der elektronischen Chips 201 ausrichten zu können.
  • Während der Herstellung der elektronischen Chips 201 wird jeder elektronische Chip 201 auf seine Funktionalität und seine elektronischen Eigenschaften hin überprüft. Wenn ein getesteter elektronischer Chip 201 hinsichtlich eines vorgegebenen Klassifikationskriteriums nicht den geforderten Anforderungen entspricht, wird dieser elektronische Chip 201 üblicherweise von der nachfolgenden weiteren Produktion ausgeschlossen. Dies kann beispielsweise dann der Fall sein, wenn die auf dem elektronischen Chip 201 befindlichen elektronischen Bauelemente unzureichende elektronische Eigenschaften aufweisen.
  • Ein freiliegender Randbereich des Wafers 200 dient als Speichervorrichtung für eine Klassifikationskarte 206. Diese ist direkt auf der Oberfläche des Wafers 200 in der Form einer den Wafer 200 abbildenden Matrix gespeichert. Die Klassifikationskarte 206 setzt sich aus einer Positionsangabe sowie einer Klassifikationsangabe für jeden elektronischen Chip 201 zusammen. Als Positionsangaben dienen dabei die Schnittpunkte zwischen Matrixzeilen und Matrixspalten. Jeder Schnittpunkt zwischen einer Matrixzeile und einer Matrixspalte repräsentiert folglich eine Position eines elektronischen Chips 201 auf dem Wafer 200. Somit stellt die Klassifikationskarte 206 ein verkleinertes Abbild des Wafers 200 dar.
  • Jeder Positionsangabe ist für den jeweiligen elektronischen Chip 201 eine Klassifikationsangabe zugeordnet. Die Klassifikationsangaben der elektronischen Chips 201 ermöglichen eine Klassifikation der elektronischen Chips 201 hinsichtlich des vorgegebenen Klassifikationskriteriums.
  • Es wird die Klassifikationskarte 206 mittels eines Lasers auf die Oberfläche des Wafers 200 „geschrieben", d.h. in den Wafer 200 eingebrannt. Dabei werden zusätzlich zur reinen Klassifikationskarte 206 noch das Klassifikationskriterium sowie das Prüfverfahren auf dem Wafer 200 gespeichert. Als Klassifikationsangaben können Zeichen, Zeichenfolgen oder sonstige Strukturen verwendet werden. Als Zeichen können selbstverständlich Zahlen und Buchstaben verwendet werden. Somit ist eine Einteilung der elektronischen Chips 201 in eine Vielzahl von Klassen möglich.
    • 100
    Wafer gemäß Stand der Technik
    101
    elektronischer Chip
    102
    Belichtungsblock
    103
    Fehlbelichtungsbereich
    104
    Sägerahmen
    105
    Waferorientierungsmarkierung
    106
    Farbpunkt
    200
    Wafer gemäß Ausführungsbeispiel der Erfindung
    201
    elektronischer Chip
    202
    Belichtungsblock
    203
    Fehlbelichtungsbereich
    204
    Sägerahmen
    205
    Waferorientierungsmarkierung
    206
    Klassifikationskarte

Claims (8)

  1. Wafer – mit elektronischen Chips und – mit einer Speichervorrichtung, in welcher eine Klassifikationskarte gespeichert ist, – wobei die Klassifikationskarte für zumindest einen Teil der elektronischen Chips jeweils eine Positionsangabe sowie eine Klassifikationsangabe aufweist, – wobei mit der Positionsangabe die Position des jeweiligen elektronischen Chips auf dem Wafer angegeben wird, und – wobei mit der Klassifikationsangabe eine Klassifikation des jeweiligen elektronischen Chips hinsichtlich eines vorgegebenen Klassifikationskriteriums angegeben wird, und – wobei die Speichervorrichtung ein nichtflüchtiger elektronischer Speicher ist.
  2. Wafer gemäß Anspruch 1, bei welchem die elektronischen Chips mittels der Klassifikationsangaben in eine Vielzahl von Klassifikationsgruppen aufgeteilt sind.
  3. Wafer gemäß Anspruch 2, bei welchem jede Klassifikationsgruppe einen Qualitätstyp von elektronischen Chips hinsichtlich des vorgegebenen Klassifikationskriteriums repräsentiert.
  4. Wafer gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei welchem die Speichervorrichtung in einem Randbereich des Wafers angeordnet ist.
  5. Wafer gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, bei welchem die Speichervorrichtung mit gleichem Inhalt mehrmals auf dem Wafer vorhanden ist.
  6. Wafer gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei welchem die Speichervorrichtung ein elektrisch programmierbarer Nurlesespeicher ist.
  7. Wafer gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei welchem die Speichervorrichtung ein elektrisch löschbarer und elektrisch programmierbarer Nurlesespeicher ist.
  8. Verfahren zum Herstellen eines Wafers – bei dem der Wafer mit einer Vielzahl elektronischer Chips gefertigt wird, – bei dem eine Klassifikationskarte in einer Speichervorrichtung auf dem Wafer gespeichert wird, und – bei dem die Klassifikationskarte für zumindest einen Teil der elektronischen Chips aus jeweils einer Positionsangabe sowie einer Klassifikationsangabe zusammengesetzt wird, – wobei mit der Positionsangabe die Position des jeweiligen elektronischen Chips auf dem Wafer angegeben wird, und – wobei mit der Klassifikationsangabe eine Klassifikation des jeweiligen elektronischen Chips hinsichtlich eines vorgegebenen Klassifikationskriteriums angegeben wird, und – wobei die Speichervorrichtung ein nichtflüchtiger elektronischer Speicher ist.
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