DE10083551D2 - Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln und Beschichten von Oberflächen aus nichtleitenden, dielektrischen Materialien mittels mikrowellenangeregter Plasmen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln und Beschichten von Oberflächen aus nichtleitenden, dielektrischen Materialien mittels mikrowellenangeregter Plasmen

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3222189A1 (de) * 1982-06-12 1984-01-26 Hans Dr.Rer.Nat. 5370 Kall Beerwald Plasmaverfahren zur innenbeschichtung von rohren mit dielektrischem material
DE3820237C1 (de) * 1988-06-14 1989-09-14 Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften Ev, 3400 Goettingen, De
JPH03193880A (ja) * 1989-08-03 1991-08-23 Mikakutou Seimitsu Kogaku Kenkyusho:Kk 高圧力下でのマイクロ波プラズマｃｖｄによる高速成膜方法及びその装置
DE4242324A1 (de) * 1992-04-30 1994-06-16 Max Planck Gesellschaft Verfahren und Einrichtung zur Behandlung der Innenwand eines Hohlkörpers mittels eines Mikrowellenplasmas

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