DE10066421B4

DE10066421B4 - Halbleiter-Prüfvorrichtung

Info

Publication number: DE10066421B4
Application number: DE10066421A
Authority: DE
Inventors: Toshiyuki Okayasu
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1999-07-07
Filing date: 2000-07-06
Publication date: 2010-10-07
Anticipated expiration: 2020-07-07

Abstract

Halbleiter-Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung (93), bestehend aus:
einem Mustergenerator (90) zum Erzeugen eines in die Halbleitervorrichtung (93) einzugebenden Prüfmusters;
einem Generator (92) zum Erzeugen eines formatierten Prüfmusters, der eine variable Verzögerungsschaltung (100) aufweist, die einen Verzögerungstakt erzeugt, wobei der Generator (92) das Prüfmuster auf der Grundlage des Verzögerungstakts formatiert;
einer Vorrichtungskontakteinheit (94), auf der die Halbleitervorrichtung (93) angeordnet ist, zum Eingeben des formatierten Prüfmusters in die Halbleitervorrichtung (93); und
einem Komparator (95), der die Qualität der Halbleitervorrichtung (93) auf der Grundlage eines der von der Halbleitervorrichtung (93), in welche das formatierte Prüfmuster eingegeben wurde, ausgegebenen Ausgangssignals beurteilt,
wobei die variable Verzögerungsschaltung (100) aufweist:
eine erste Verzögerungskompensationseinheit (54a), die eine erste Bezugsverzögerungseinheit (56a) mit mehreren ersten variablen Verzögerungselementen (72) enthält, deren Verzögerungswert bestimmt wird durch ein Treiberimpedanz-Steuersignal zum Steuern einer Treiberimpedanz und durch ein Kapazitätslast-Steuersignal zum Steuern einer Kapazitätslast,
wobei die erste...

Description

Gebiet der Erfindung:
Diese Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiter Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung.
Stand der Technik:
1 zeigt ein Blockschaltbild der herkömmlichen variablen Verzögerungsschaltung 100. Die variable Verzögerungsschaltung 100 weist eine mikrovariable Verzögerungseinheit 12 und eine variable Verzögerungseinheit 14 auf. Die mikrovariable Verzögerungseinheit 12 hat mikrovariable Verzögerungselemente 12a bis 12n. Die variable Verzögerungseinheit 14 hat eine Verzögerungseinheit 14a bis 14n. Die mikrovariablen Verzögerungselemente 12 erzeugen den Verzögerungs wert, welcher kleiner ist als der von der Verzögerungseinheit 14a bis 14n erzeugte Verzögerungswert. Jede der Verzögerungseinheiten 14a bis 14n hat eine unterschiedliche Anzahl von Torschaltungen 11 und erzeugt einen Verzögerungswert entsprechend der Anzahl von Torschaltungen 11.
Entsprechend dem gewünschten Verzögerungswert sind Verzögerungsdaten, welche irgendeine Kombination der mikrovariablen Verzögerungselemente 12a bis 12n und der Verzögerungseinheiten 14a bis 14n bezeichnen, vorgesehen. Ein Eingangssignal wird eingegeben und durch das von den Verzögerungsdaten ausgewählte Verzögerungselement verzögert, und ein Verzögerungssignal wird ausgegeben.
2(a) ist ein Schaltungsdiagramm, das ein mikrovariables Verzögerungselement 12 vom Treiberimpedanz-Steuertyp zeigt. In einem Fall, in welchem ein Steuersignal einen wahren Wert von ”0” hat, wird eine Treiberimpedanz auf einen niedrigen Wert gesetzt. In einem Fall, in welchem ein Steuersignal einen wahren Wert von ”1” hat, wird eine Treiberimpedanz auf einen hohen Wert gesetzt. Daher hat in einem Fall, in welchem das Steuersignal einen wahren Wert von ”1” hat, das Eingangssignal ein verzögertes Ausgangssignal, welches geringfügig mehr als in dem Fall, in welchem der wahre Wert gleich ”0” ist, ist.
2(b) ist ein Schaltungsdiagramm eines mikrovariablen Verzögerungselements 12 vom Typ mit variabler Lastkapazität. In einem Fall, in welchem ein Steuersignal einen wahren Wert von ”0” hat, wird eine Lastkapazität nicht gesetzt, und in einem Fall, in welchem ein Steuersignal einen wahren Wert von ”1” hat, wird die Lastkapazität gesetzt. Daher hat in einem Fall, in welchem das Steuersignal einen wahren Wert von ”1” hat, das Eingangssignal ein verzögertes Ausgangssignal, welches geringfügig mehr als in dem Fall ist, in welchem der wahre Wert gleich ”0” ist. Die in 1 gezeigte variable Verzögerungsschaltung 100 hat ein in 2(a) und 2(b) gezeigtes mikrovariables Verzögerungselement 12 und erzeugt einen Verzögerungswert in einem Grad von 10 ps bis 100 ps für ein mikrovariables Verzögerungselement 12.
3 zeigt ein Diagramm zur Wiedergabe der Beziehung zwischen den Verzögerungsdaten, welche die Kombination der Verzögerungselemente bezeichnen, gemäß dem Entwurf zur Erzeugung des gewünschten Verzögerungswertes, und dem Verzögerungswert, welcher tatsächlich durch die von den Verzögerungsdaten gesetzte Kombination der Verzögerungselemente erzeugt wird. Eine Linie ”a” zeigt eine gerade Linie, welche eine ideale Verzögerungscharakteristik zeigt. Im Vergleich hierzu erzeugt die Linie ”b” einen Verzögerungswert, der größer als der ideale Verzögerungswert ist. Die Linie ”c” erzeugt den Verzögerungswert, der kleiner als der ideale Verzögerungswert ist.
Weiterhin haben die Linie ”b” und die Linie ”c” einen unstetigen Teil. Dies ergibt sich daraus, dass mehrere unterschiedliche Typen der variablen Verzögerungselemente in der variablen Verzögerungsschaltung 100 existieren, und auch aus der Ungleichmäßigkeit der Elementcharakteristiken, und der Einfluß der Änderung der Umgebungstemperatur ist nicht notwendigerweise für jeden Typ der variablen Verzögerungselemente gleich.
Es tritt ein Fall auf, bei dem ein Fehler bei dem Verzögerungswert bewirkt wird, welcher von der vari ablen Verzögerungsschaltung 100 zwischen dem tatsächlich durch die Verzögerungselemente erzeugten Verzögerungswert und dem Verzögerungswert entsprechend dem Entwurf erzeugt wird, beispielsweise durch die Ungleichmäßigkeit der Elementcharakteristiken der Verzögerungselemente, einer Schwankung der selbst erzeugten Wärmemenge des Verzögerungselements, einer Schwankung der Umgebungstemperatur und einer Schwankung einer Leistungszuführungsspannung.
Die US 5 719 514 A beschreibt eine variable Verzögerungsschaltung mit Kompensation. Diese weist zwei Verzögerungszeitkompensationseinheiten auf, die jeweils einen Phasenkomparator, einen Tiefpass und einen Referenzverzögerungszeiterzeuger beinhalten. Die Referenzverzögerungszeiterzeuger verzögern einen Referenztakt und bestehen aus einer Anzahl von Verzögerungsgliedern, deren Verzögerungen von einem Verzögerungssteuersignal gesteuert werden.
Die Verzögerungssteuersignale werden dabei von dem in den Verzögerungszeitkompensationseinheiten enthaltenen Tiefpässen erzeugt.
Ferner umfasst die vorgeschlagene Verzögerungsschaltung eine Verzögerungsverarbeitungseinheit mit Verzögerungselementen, wobei diese Verzögerungselemente die Steuersignale aus den Verzögerungszeitkompensationseinheiten erhalten.
Die DE 4436494 A1 beschreibt eine Vorrichtung zum Prüfen von Halbleitervorrichtungen, die einen Mustergenerator, der Prüfmuster erzeugt, die in die zu prüfende Halbleitervorrichtung eingegeben werden, ferner einen Wellenform-Formatierer zum Formatieren der Prüfmuster, einen Anschlussadapter mit Prüfanschlüssen zum Kontaktieren der zu prüfenden Halbleitervorrichtung und schließlich einen Vergleicher zur Beurteilung der zu prüfenden Halbleitervorrichtung anhand der von ihr abgegebenen Ausgangssignale mit Erwartungswerten umfasst.
Die US 5781056 A beschreibt ebenfalls eine variable Verzögerungsschaltung mit zwei Verzögerungskompensationseinheiten, die aus einem Ringoszillator mit einzelnen Verzögerungselementen einem Phasenvergleicher und einer Verzögerungssteuereinheit bestehen. Weiter umfasst die variable Verzögerungsschaltung eine variable Verzögerungseinheit mit gleichartigen Verzögerungselementen, die auch von den Verzögerungssteuereinheiten gesteuert werden.
Die JP 05-129910 A schlägt eine variable Verzögerungsschaltung mit sehr kleiner Zeitauflösung vor, die einen Kondensator mit einer vorbestimmten Kapazität und eine Zeitkonstanten-Steuereinheit zur Änderung einer Zeitkonstanten des Kondensators aufweist.
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Halbleiter-Prüfvorrichtung mit einer variablen Verzögerungsschaltung vorzusehen, welche die obigen Probleme überwinden kann.
Diese Aufgabe wird gelöst durch den Gegenstand des Anspruchs.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt eine herkömmliche variable Verzögerungsschaltung 100.
2 zeigt ein mikrovariables Verzögerungselement 12.
3 ist ein Diagramm zur Darstellung der Beziehung zwischen dem tatsächlich erzeugten Verzögerungswert und den Verzögerungsdaten.
4 ist ein Blockschaltbild einer Halbleiterprüfvorrichtung.
5 ist eine Halbleitervorrichtung 56 mit einer Halbleiterprüfeinheit 97 zum Prüfen einer zu prüfenden Einheit 98.
6 ist ein Blockschaltbild, das eine variable Verzögerungsschaltung 100 zeigt.
7 ist ein Blockschaltbild, das eine variable Verzögerungsschaltung 100 zeigt.
8 ist ein Schaltbild des Phasenkomparators 22a und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 24a, die in der variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, welche unter Verwendung von 6 und 7 erläutert wurde.
9 zeigt ein Schaltbild des variablen Verzögerungselements 28 vom Spannungssteuertyp.
10 ist ein Blockschaltbild, das ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel einer variablen Verzögerungsschaltung 100 zeigt.
11 zeigt ein Schaltbild des Phasenkomparators 58a und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 60a, die in der variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, welche unter Verwendung von 10 erläutert wurde.
12 zeigt ein Schaltbild des variablen Verzögerungselements 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp.
13 ist ein Blockschaltbild, das eine variable Verzögerungsschaltung 100 zeigt.
14 zeigt ein Schaltbild des Phasenkomparators 64a und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 66a, die in der variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, welche unter Verwendung von 13 erläutert wurde.
15 zeigt ein Schaltbild eines variablen Verzögerungselements 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp.
ERLÄUTERUNG DER BEZUGSZAHLEN

10 Verzögerungseinheit, 12 variables Verzögerungselement, 14 variable Verzögerungseinheit, 20 Verzögerungskompensationseinheit, 22 Phasenkomparator, 24 Steuersignal-Erzeugungseinheit, 26 Bezugsverzögerungseinheit, 28 variables Verzögerungselement vom Spannungssteuertyp, 36 Flipflop, 38 Verzögerungselement, 40 UND-Glied, 42 FET, 44 FET, 46 Kondensator, 48 Differenzverstärkerschaltung, 52 Differenzverstärkerschaltung, 54 Verzögerungskompensationseinheit, 56 Bezugsverzögerungseinheit, 58 Phasenkomparator, 60 Steuersignal-Erzeugungseinheit, 62 Verzögerungskompensationseinheit, 64 Phasenkomparator, 66 Steuersignal-Erzeugungseinheit, 68 Bezugsverzögerungseinheit, 71 mikrovariable Verzögerungseinheit, 72 variables Verzögerungselement vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, 73 variable Verzögerungseinheit, 74 variables Verzögerungselement vom Treiberimpedanz-Steuertyp, 75 Kapazitätslasteinheit, 76 Zeitkonstanten-Steuereinheit, 77 variable Verzögerungseinheit vom Spannungssteuertyp, 79 Kapazitätslast-Schalteinheit, 80 Verzögerungskompensationseinheit, 81 mikrovariable Verzögerungseinheit, 82 Ringoszillator, 83 variable Verzögerungseinheit, 84 Phasenkomparator, 86 Steuersignal-Erzeugungseinheit, 88 Auswahlvorrichtung, 90 Mustergenerator, 92 Generator für formatiertes Muster, 93 geprüfte Vorrichtung, 94 Vorrichtungskontakteinheit, 95 Komparator, 96 Halbleitervorrichtung, 98 geprüfte Vorrichtung, 100 variable Verzögerungsvorrichtung.

DIE BESTE ART ZUR VERKÖRPERUNG DER VORLIEGENDEN ERFINDUNG
4 ist ein Blockschaltbild, das eines der Ausführungsbeispiele einer Halbleiterprüfvorrichtung zeigt. Die Halbleiterprüfvorrichtung weist einen Mustergenerator 90, einen Generator 92 für ein formatiertes Muster, eine Vorrichtungskontakteinheit 94 und einen Komparator 95 auf. Der Generator 92 für ein formatiertes Muster hat eine variable Verzögerungsschaltung 100.
Die geprüfte Vorrichtung 93 kontaktiert die Halbleiterprüfvorrichtung elektrisch in der Vorrichtungskontakteinheit 94. Der Mustergenerator 90 erzeugt Musterdaten, welche ein in die zu prüfende Vorrichtung 93 einzugebendes Prüfmuster sind, sowie Erwartungswertdaten, welche von der geprüften Vorrichtung 93 durch Eingabe der Musterdaten auszugeben sind. Der Mustergenerator 90 gibt die Musterdaten zu dem Generator 92 für das formatierte Muster und die Erwartungswertdaten zu dem Komparator 95 aus. Weiterhin gibt der Mustergenerator 90 ein Zeitsetzsignal aus, welches die Erzeugung des Verzögerungstaktes mit einem vorbestimmten Verzögerungswert entsprechend einer Operationscharakteristik der geprüften Vorrichtung 93 bezeichnet, zu der variablen Verzögerungsschaltung 100 aus.
Die variable Verzögerungsschaltung 100 erzeugt einen Verzögerungstakt mit einem durch das Zeitsetzsignal bezeichneten Verzögerungswert. Der Generator 92 für ein formatiertes Muster formatiert die Musterdaten auf der Grundlage des von der variablen Verzögerungsschaltung 100 gelieferten Verzögerungstakts und gibt die formatierten Musterdaten, welche der Operationscharakteristik der geprüften Vorrichtung 93 entsprechen, zu der Vorrichtungskontakteinheit 94 aus. Die geprüfte Vorrichtung 93 gibt den Ausgangswert, welcher den formatierten Musterdaten entspricht, über die Vorrichtungskontakteinheit 94 zu dem Komparator 95 aus. Die geprüfte Vorrichtung 93 kann ein Bauteil oder auf einer Halbleiterscheibe vorgesehen sein. Der Komparator 95 vergleicht den Ausgangswert und die Erwartungswertdaten, die von dem Mustergenerator 90 geliefert wurden, und beurteilt die Qualität der geprüften Vorrichtung 93.
5 zeigt eine Halbleitervorrichtung 96 mit einer Halbleiterprüfeinheit 97 zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung. Die Halbleitervorrichtung 96 umfaßt eine Halbleitertesteinheit 97 und eine geprüfte Vorrichtung 98.
Die Halbleiterprüfeinheit 97 besteht aus einem Mustergenerator 90, einem Generator 92 für ein formatiertes Muster und einem Komparator 95. Der Generator 92 für ein formatiertes Muster hat eine variable Verzögerungsschaltung 100.
Der Mustergenerator 90 erzeugt Musterdaten, welche ein in die geprüfte Vorrichtung 98 eingegebenes Prüfmuster sind, und die Erwartungswertdaten, welche bei Eingabe der Musterdaten von der geprüften Vorrichtung 98 auszugeben sind. Der Mustergenerator 90 gibt die Musterdaten zu dem Generator 92 für ein zu formatierendes Muster und die Erwartungswertdaten zu dem Komparator 95 aus. Weiterhin gibt der Mustergenerator 90 ein Zeitsetzsignal, welches die Erzeugung des Verzögerungstakts mit einem vorbestimmten Verzögerungswert entsprechend der Operationscharakteristik der geprüften Vorrichtung 98 bezeichnet, zu der variablen Verzögerungsschaltung 100 aus.
Die variable Verzögerungsschaltung 100 erzeugt einen Verzögerungstakt mit einem durch das Zeitsetzsignal bezeichneten Verzögerungswert. Der Generator 92 für ein formatiertes Muster formatiert die Musterdaten auf der Grundlage des von der variablen Verzögerungsschaltung 100 erhaltenen Verzögerungstakts und gibt die formatierten Musterdaten, welche der Operationscharakteristik der geprüften Vorrichtung 98 entsprechen, zu der geprüften Vorrichtung 98 aus. Die geprüfte Vorrichtung 98 gibt den Ausgabewert, der den formatierten Musterdaten entspricht, zu dem Komparator 95 aus. Der Komparator 95 vergleicht den Ausgangswert und die von dem Mustergenerator 90 erhaltenen Erwartungswertdaten und beurteilt die Qualität der geprüften Vorrichtung 98.
6 ist ein Blockschaltbild, das eine variable Verzögerungsschaltung 100 zeigt. Die variable Verzögerungsschaltung 100 umfaßt eine erste Verzögerungskompensationseinheit 80a, eine zweite Verzögerungskompensationseinheit 80b, eine Auswahlvorrichtung 88 und eine Verzögerungseinheit 10. Die erste Verzögerungskompensationseinheit 80a hat einen ersten Ringoszillator 82a, einen Phasenkomparator 84a und eine Steuersignal-Erzeugungseinheit 86a. Die zweite Verzögerungskompensationseinheit 80b hat einen zweiten Ringoszillator 82b, einen Phasenkomparator 84b und eine Steuersignal-Erzeugungseinheit 86b.
Der erste Ringoszillator 82a hat die Anzahl M (M ist eine natürliche Zahl) der variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, dessen Verzögerungswert sich auf der Grundlage des Steuersignals ändert. Der zweite Ringoszillator 82b hat eine Anzahl N (N ist eine natürliche Zahl) von variablen Verzögerungselementen 28 vom Spannungssteuertyp, deren Anzahl unterschiedlich ist gegenüber der Anzahl der variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, die in dem ersten Ringoszillator 82a enthalten sind. Die Verzögerungseinheit 10 umfaßt mehrere Auswahlvorrichtungen 13 und mehrere variable Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, welche dieselben Charakteristiken wie die variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, die in dem ersten Ringoszillator 82a und dem zweiten Ringoszillator 82b enthalten sind, haben. Beispielsweise ist es bevorzugt, die variable Verzögerungsschaltung 100 in derselben Halbleitervorrichtung auszubilden.
In der ersten Verzögerungskompensationseinheit 80a erzeugt der erste Ringoszillator 82a eine erste Periode eines ersten Oszillationstakts und gibt diesen zu dem Phasenkomparator 84 aus. Die Periode des ersten Oszillationstakts wird gesetzt auf der Grundlage des ersten Steuersignals, das den Verzögerungswert steuert. Der Phasenkomparator 84 vergleicht die Phase des ersten Oszillationstakts und die Phase des Bezugstakts, der eine vorbestimmte Periode hat, und gibt das Vergleichsergebnis aus. Beispielsweise kann der Phasenkomparator 84 die Phasendifferenz zwischen dem ersten Oszillationstakt und dem Bezugstakt, welche das Vergleichsergebnis ist, als einen Spannungswert ausgeben. Die Steuersignal-Erzeugungseinheit 86a erzeugt das erste Steuersignal auf der Grundlage des von dem Phasenkomparator 84a gelieferten Vergleichsergebnisses und gibt dieses zu dem ersten Ringoszillator 82a und der Auswahlvorrichtung 88.
Die Steuersignal-Erzeugungseinheit 86a kann das erste Steuersignal so erzeugen, dass die Phase des ersten Oszillationstakts mit der Phase des Bezugstakts übereinstimmt. Daher erzeugt beispielsweise, wenn die Periode des Bezugstakts gleich T ist, die Steuersignal-Erzeugungseinheit 86a das erste Steuersignal in der Weise, dass jedes variable Verzögerungselement 28 vom Spannungssteuertyp, das in dem ersten Ringoszillator 82a enthalten ist, einen Verzögerungswert von T/M erzeugt. Darüber hinaus kann bei dem anderen Ausführungsbeispiel die Steuersignal-Erzeugungseinheit 86a das erste Steuersignal in der Weise erzeugen, dass die Phase des Taktes, der durch Teilen der Frequenz des Bezugstaktes erhalten wird, und die Phase des ersten Oszillationstakts übereinstimmen.
In der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 80b erzeugt, da der zweite Ringoszillator 82b eine Anzahl N (N ist eine natürliche Zahl) von variablen Verzögerungselementen 28 vom Spannungssteuertyp hat, wenn beispielsweise die Periode eines Bezugstaktes gleich T ist, die Steuersignal-Erzeugungseinheit 86b das zweite Steuersignal in der Weise, dass jedes der variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, das in dem zweiten Ringoszillator 82b enthalten ist, den Verzögerungswert von T/N erzeugt. Da die Funktion und die Arbeitsweise des zweiten Ringoszillators 82b, des Phasenkomparators 84b und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 86b, die in der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 28b enthalten sind, dieselben sind wie die Funktion und die Arbeitsweise des ersten Ringoszillators 82a, des Phasenkomparators 84a und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 86a, die in der ersten Verzögerungskompensationseinheit 80a enthalten sind, wird deren Erläuterung verkürzt wiedergegeben.
Die Auswahlvorrichtung 88 liefert entweder das erste Steuersignal oder das zweite Steuersignal zu jedem der variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, die in der Verzögerungseinheit 10 enthalten sind, auf der Grundlage der Verzögerungsdaten, welche die Kombination der Verzögerungselemente bezeichnen. Da die Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, die in der Verzögerungseinheit 10 enthalten sind, dieselben Charakteristiken wie die der variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, die in dem ersten Ringoszillator 82a und dem zweiten Ringoszillator 82b enthalten sind, haben, kann, wenn das erste Steuersignal geliefert wird, ein Verzögerungswert von T/M erzeugt werden. Darüber hinaus kann, wenn das zweite Steuersignal geliefert wird, ein Verzögerungswert von T/N erzeugt werden.
7 ist ein Blockschaltbild, das eine variable Verzögerungsschaltung 100 zeigt. Die variable Verzögerungsschaltung 100 umfaßt eine erste Verzögerungskompensationseinheit 20a, eine zweite Verzögerungskompensationseinheit 20b und eine Verzögerungseinheit 10. Die erste Verzögerungskompensationseinheit 20a hat eine erste Bezugsverzögerungseinheit 26a, einen Phasenkomparator 22a und eine Steuersignal-Erzeugungseinheit 24a. Die zweite Verzögerungskompensationseinheit 20b hat eine zweite Bezugsverzögerungseinheit 26b, einen Phasenkomparator 22b und eine Steuersignal-Erzeugungseinheit 24b.
Die erste Bezugsverzögerungseinheit 26a hat eine Anzahl von N (N ist eine natürliche Zahl) variablen Verzögerungselementen 28 vom Spannungssteuertyp, deren Verzögerungswert sich auf der Grundlage des von der ersten Verzögerungskompensationseinheit 20a erzeugten ersten Steuersignals ändert. Die zweite Bezugsverzögerungseinheit 26b hat eine Anzahl von (N + 1) (N ist eine natürliche Zahl) variablen Verzögerungselementen 29 vom Spannungssteuertyp, deren Verzögerungswert sich auf der Grundlage des von der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 20b erzeugten zweiten Steuersignals ändert. Das variable Verzögerungselement 28 vom Spannungssteuertyp und das variable Verzögerungselement 29 vom Spannungssteuertyp haben dieselbe Konfiguration und Charakteristik, und nur das gelieferte Steuersignal ist unterschiedlich. Jede von der ersten Bezugsverzögerungseinheit 26a und der zweiten Bezugsverzögerungseinheit 26b hat vorzugsweise eine unterschiedliche Anzahl von variablen Verzögerungselementen vom Spannungssteuertyp. Die Verzögerungseinheit 10 hat mehrere variable Verzögerungselemente (28 und 29) vom Spannungssteuertyp, welche dieselben Charakteristiken wie die der variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, die in der ersten Bezugsverzögerungseinheit 26a und der zweiten Bezugsverzögerungseinheit 26b enthalten sind, haben, und sie hat mehrere Auswahlvorrichtungen 13. Beispielsweise ist die variable Verzögerungsschaltung 100 vorzugsweise in derselben Halbleitervorrichtung ausgebildet.
In der Verzögerungskompensationseinheit 20a erzeugt die erste Bezugsverzögerungseinheit 26a einen ersten Verzögerungstakt durch Verzögern eines Bezugstaktes, welcher eine vorbestimmte Periode hat, unter Verwendung der Anzahl von N (N ist eine natürliche Zahl). variablen Verzögerungselementen 28 vom Spannungssteuertyp und gibt diesen zu dem Phasenkomparator 22a aus. Der Phasenkomparator 22a vergleicht die Phase des Bezugstaktes und die Phase des ersten Verzögerungstaktes und gibt das Vergleichsergebnis zu der Steuersignal-Erzeugungseinheit 24a aus.
Die Steuersignal-Erzeugungseinheit 24a erzeugt ein erstes Steuersignal, welches den von dem variablen Verzögerungselement 28 vom Spannungssteuertyp erzeugten Verzögerungswert ändert, auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses des Phasenkomparators 22a und liefert dieses zu der ersten Bezugsverzögerungseinheit 26a und der Verzögerungseinheit 10. Wenn beispielsweise die Periode des Bezugstaktes gleich T ist, erzeugt die Steuersignal-Erzeugungseinheit 24a das erste Steuersignal in der Weise, dass jedes der variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp den Verzögerungswert T/N erzeugt. Darüber hinaus kann bei den anderen Ausführungsbeispielen die Steuersignal-Erzeugungseinheit 24a das erste Steuersignal in der Weise erzeugen, dass die Phase des durch Teilen der Frequenz des Bezugstaktes erhaltenen Taktes und die Phase des ersten Verzögerungstaktes übereinstimmen.
In der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 20b erzeugt, da die zweite Bezugsverzögerungseinheit 26b eine Anzahl von (N + 1) (N ist eine natürliche Zahl) variablen Verzögerungselementen 29 vom Spannungssteuertyp hat, wenn beispielsweise die Periode des Be zugstaktes gleich T ist, die Steuersignal-Erzeugungseinheit 24b das zweite Steuersignal in der Weise, dass jedes der variablen Verzögerungselemente 29 vom Spannungssteuertyp den Verzögerungswert T/(N + 1) erzeugt. Da die Funktion und die Arbeitsweise der zweiten Bezugsverzögerungseinheit 26b, des Phasenkomparators 22b und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 24b, die in der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 20b enthalten sind, dieselben sind wie die Funktion und die Arbeitsweise der ersten Bezugsverzögerungseinheit 26a, des Phasenkomparators 22a und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 24a, die in der ersten Verzögerungskompensationseinheit 20a enthalten sind, wird die Erläuterung von diesen abgekürzt.
Die Verzögerungseinheit 10 wählt irgendeines der variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp oder der variablen Verzögerungselemente 29 vom Spannungssteuertyp aus auf der Grundlage der Verzögerungsdaten, welche die Kombination der Verzögerungselemente zur Erzeugung eines gewünschten Verzögerungswertes bezeichnen, und verzögert ein Eingangssignal. Bei den anderen Ausführungsbeispielen kann die variable Verzögerungsschaltung 100 eine Auswahlvorrichtung haben für die Verteilung mehrerer Steuersignale zum Setzen eines vorbestimmten Verzögerungswertes für die variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp, und kann eine Steuerspannung verteilen, welche für die variablen Verzögerungselemente 28 vom Spannungssteuertyp vorgesehen sind, auf der Grundlage des gewünschten, von der Verzögerungseinheit 10 zu erzeugenden Verzögerungswertes.
8 ist ein Blockschaltbild, das eine Phasenkomparator (22a, 22b, 84a und 84b) und eine Steuersignal-Erzeugungseinheit (24a, 24b, 86a und 86b), die in der unter Verwendung von 6 und 7 erläuterten variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, zeigt. Da die Konfiguration und die Arbeitsweise der Phasenkomparatoren (22a, 22b, 84a und 84b) und der Steuersignal-Erzeugungseinheiten (24a, 24b, 86a und 86b) dieselben sind, werden der Phasenkomparator 22a und die Steuersignal-Erzeugungseinheit 24a für die Erläuterung verwendet.
Die Phasenkomparatoren 22a und 22b weisen Flipflops 36a und 36b, ein Verzögerungselement 38, ein UND-Glied 40, einen FET 42, einen FET 44 und einen Kondensator 46 auf. Die Steuersignal-Erzeugungseinheiten 24a und 24b weisen eine Differenzverstärkerschaltung 48, eine Erzeugungseinheit 50 für einen logischen Spannungsschwellenwert und eine Differenzverstärkerschaltung 52 auf.
Das Flipflop 36a gibt einen wahren Wert von ”1” von einem Anschluß Q zu dem UND-Glied 40 aus auf der Grundlage der positiven Leistungszuführungsspannung Vdd, welche an einem Anschluß D eingegeben wird, während einer Anstiegszeit des Impulses des Bezugstaktes. Darüber hinaus gibt das Flipflop 36a den logischen Wert ”0” von dem invertierenden Ausgangsanschluß Q zu dem FET 42 aus. Der FET 42 öffnet das Gate, während der wahre Wert ”0” von dem Flipflop 36a geliefert wird, und gibt die positive Leistungszuführungsspannung Vdd zu dem Kondensator 46 aus.
Das Flipflop 36b gibt den wahren Wert ”1” von dem Anschluß Q zu dem UND-Glied 40 und dem FET 44 auf der Grundlage der positiven Leistungszuführungsspannung Vdd aus, welche an dem Anschluß D eingegeben wird, während der Anstiegszeit des Impulses des von der er sten Bezugsverzögerungseinheit 26a gelieferten Verzögerungstaktes. Der FET 44 öffnet das Gate, während der wahre Wert ”1” von dem Flipflop 36b geliefert wird, und gibt die negative Leistungszuführungsspannung Vss zu dem Kondensator 46 aus.
Das UND-Glied 40 gibt die logische Multiplikation der wahren Werte, welche von dem Anschluß Q des Flipflops 36a und dem Anschluß Q des Flipflops 36b geliefert werden, zu dem Verzögerungselement 38 aus. Das Verzögerungselement 38 verzögert den Impuls, welcher durch den wahren Wert ”1”, der von dem UND-Glied 40 geliefert wird, gezeigt ist, um einen vorbestimmten Wert und gibt ihn zu dem Rücksetzanschluß R des Flipflops 36a und des Flipflops 36b aus. Daher erzeugt der Kondensator 46 das elektrische Potential, welches die Phasendifferenz zwischen dem Bezugstakt und dem Verzögerungstakt zeigt.
Die Differenzverstärkerschaltung 48 verstärkt die Potentialdifferenz zwischen dem elektrischen Potential des Kondensators 46 und dem Bezugspotential Vc und erzeugt ein Steuersignal Vn, welches den Verzögerungswert des variablen Verzögerungselements 28 vom Spannungssteuertyp ändert, und gibt ihn zu der Erzeugungseinheit 50 für einen logischen Spannungsschwellenwert und dem variablen Verzögerungselement 28 vom Spannungssteuertyp, die unter Verwendung von 6 und 7 erläutert wurden, aus. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird der Verzögerungswert des variablen Verzögerungselements 28 vom Spannungssteuertyp durch zwei Steuersignale des Steuersignals Vn und des Steuersignals Vp bestimmt.
Das Bezugspotential Vc ist vorzugsweise eine logische Schwellenwertspannung des variablen Verzögerungsele ments 28 vom Spannungssteuertyp, welche bestimmt wird durch das Steuersignal Vn, das Steuersignal Vp, die Schwellenwertspannung des FET und das Verhältnis des Drainstromkoeffizienten. Da die logische Schwellenwertspannung des gewöhnlichen CMOS-Gates in der Nähe des Mittelpunktes der positiven Leistungszuführungsspannung Vdd und der negativen Leistungszuführungsspannung Vss ist, kann beispielsweise das Bezugspotential Vc das mittlere Potential der positiven Leistungszuführungsspannung Vdd und der negativen Leistungszuführungsspannung Vss sein.
Die Erzeugungseinheit 50 für einen logischen Spannungsschwellenwert kann das variable Verzögerungselement 28 vom Spannungssteuertyp, das unter Verwendung 6 und 7 erläutert wurde, sein, und sie erzeugt die logische Schwellenwertspannung Vc', welche eine Spannung ist, wenn das Steuersignal Vp und das Steuersignal Vn geliefert werden, und gibt sie zu der Differenzverstärkerschaltung 52 aus.
Die Differenzverstärkerschaltung 52 verstärkt die Potentialdifferenz zwischen dem mittleren Potential Vc und der logischen Schwellenwertspannung Vc' und führt die negative Rückführungssteuerung durch und gibt das Steuersignal Vp zu der Erzeugungseinheit 50 für die logische Schwellenwertspannung und dem variablen Verzögerungselement 28 vom Spannungssteuertyp aus, das unter Verwendung von 6 und 7 erläutert wurde, so dass das mittlere Potential Vc gleich der logischen Schwellenwertspannung Vc' wird.
9(a) zeigt ein Schaltbild der variablen Verzögerungselemente 28 und 29 vom Spannungssteuertyp, die in der variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, welche unter Verwendung von 6 und 7 erläutert wurde. In der Figur ist Vdd eine positive Leistungszuführungsspannung, und Vss ist eine negative Leistungszuführungsspannung. Die variablen Verzögerungselemente 28 und 29 vom Spannungssteuertyp haben Transistoren 102, 104, 106 und 108. Der Transistor 102 ändert die Impedanz zwischen der Source und der Drain auf der Grundlage des elektrischen Potentials des Steuersignals Vp, das zu dem Anschluß Vp geliefert wird. Der Transistor 108 ändert die Impedanz zwischen der Source und der Drain auf der Grundlage des elektrischen Potentials des Steuersignals Vn, das zu dem Anschluß Vn geliefert wird. Der Transistor kann beispielsweise ein CMOS sein.
Die variablen Verzögerungselemente 28 und 29 vom Spannungssteuertyp ändern den zu erzeugenden Verzögerungswert auf der Grundlage des Steuersignals Vp und des Steuersignals Vn. Mit einer Abnahme des elektrischen Potentials des Steuersignals Vp und/oder einer Zunahme des elektrischen Potentials des Steuersignals Vn nimmt der von den variablen Verzögerungselementen 29 und 29 vom Spannungssteuertyp erzeugte Verzögerungswert ab. Im Gegensatz hierzu nimmt mit einer Zunahme des elektrischen Potentials des Steuersignals Vp und/oder einer Abnahme des elektrischen Potentials des Steuersignals Vn der von den variablen Verzögerungselementen 28 und 29 vom Spannungssteuertyp erzeugte Verzögerungswert zu.
9(b) zeigt ein Schaltbild der variablen Verzögerungselemente 28 und 29 vom Spannungssteuertyp, die in der variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, welche unter Verwendung von 6 und 7 erläutert wurde. In der Figur ist Vdd eine positive Leistungszuführungsspannung, und Vss ist eine negative Leistungszuführungsspannung. Das Steuersignal Vp wird an dem Steueranschluß Vp eingegeben, und das Steuersignal Vn wird an dem Steueranschluß Vn eingegeben. Das variable Verzögerungselement 28 vom Spannungssteuertyp hat Transistoren 110 und 112. Der Transistor 110 ändert die Impedanz zwischen der Source und der Drain auf der Grundlage des elektrischen Potentials des zu dem Anschluß Vp gelieferten Steuersignals Vp. Der Transistor 112 ändert die Impedanz zwischen der Source und der Drain auf der Grundlage des elektrischen Potentials des zu dem Anschluß Vn gelieferten Steuersignals Vn. Der Transistor kann beispielsweise ein CMOS sein.
Die variablen Verzögerungselemente 28 und 29 vom Spannungssteuertyp ändern den zu erzeugenden Verzögerungswert auf der Grundlage des Steuersignals Vp und des Steuersignals Vn. Mit einer Abnahme des elektrischen Potentials des Steuersignals Vp und/oder einer Zunahme des elektrischen Potentials des Steuersignals Vn nimmt der von den variablen Verzögerungselementen 28 und 29 vom Spannungssteuertyp erzeugte Verzögerungswert ab. Im Gegensatz hierzu nimmt mit einer Zunahme des elektrischen Potentials des Steuersignals Vp und/oder einer Abnahme des elektrischen Potentials des Steuersignals Vn der von den variablen Verzögerungselementen 28 und 29 vom Spannungssteuertyp erzeugte Verzögerungswert zu.
10 ist ein Blockschaltbild, das ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel der variablen Verzögerungsschaltung 100 zeigt. Die variable Verzögerungsschaltung 100 umfaßt eine erste Verzögerungskompensationseinheit 54a, eine zweite Verzögerungskompensationseinheit 54b und eine Verzögerungseinheit 10. Die erste Verzögerungskompensationseinheit 54a hat eine erste Bezugsverzögerungseinheit 56a, einen Phasenkomparator 58a und eine Steuersignal-Erzeugungseinheit 60a. Die zweite Verzögerungskompensationseinheit 54b hat eine zweite Bezugsverzögerungseinheit 56b, einen Phasenkomparator 58b und eine Steuersignal-Erzeugungseinheit 60b.
Die erste Bezugsverzögerungseinheit 56a hat eine Anzahl von M (M ist eine natürliche Zahl) variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, welche einen Verzögerungswert unter Verwendung einer Treiberimpedanz und einer Lastkapazität ändern. Die zweite Bezugsverzögerungseinheit 56b hat eine Anzahl von N (N ist eine natürliche Zahl) variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, deren Anzahl geringer ist als die der variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, welche in der ersten Bezugsverzögerungseinheit 56a enthalten sind.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird der Verzögerungswert des variablen Verzögerungselements 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp durch ein Steuersignal VDP und ein Steuersignal VDN, welche eine Treiberimpedanz steuern, und durch ein Kapazitätslast-Steuersignal VCP und ein Kapazitätslast-Steuersignal VCN, welche eine Kapazitätslast steuern, bestimmt.
Die Verzögerungseinheit 10 hat eine mikrovariable Verzögerungseinheit 71 und eine variable Verzögerungseinheit 73. Die mikrovariable Verzögerungseinheit 71 und die variable Verzögerungseinheit 73 haben mehrere variable Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, welche dieselben Charakteristiken wie die variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, die in der ersten Bezugsverzögerungseinheit und der zweiten Bezugsverzögerungseinheit enthalten sind, haben. Z. B. wird die variable Verzögerungsschaltung 100 vorzugsweise in derselben Halbleitervorrichtung ausgebildet. Weiterhin hat die variable Verzögerungseinheit 73 mehrere Auswahlvorrichtungen 13.
In der ersten Verzögerungskompensationseinheit 54a wird das variable Verzögerungselement 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, das in der ersten Bezugsverzögerungseinheit 56a enthalten ist, in einen Zustand ohne Verwendung einer Kapazitätslast gebracht. Die erste Bezugsverzögerungseinheit 56a verzögert einen Bezugstakt mit einer vorbestimmten Frequenz um die Anzahl M der variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp und gibt den verzögerten Takt zu dem Phasenkomparator 58a aus. Der Phasenkomparator 58a vergleicht die Phase des Bezugstaktes und die Phase des Verzögerungstaktes und gibt das Vergleichsergebnis zu der Steuersignal-Erzeugungseinheit 60a aus.
Die Steuersignal-Erzeugungseinheit 60a erzeugt das Steuersignal VDP und das Steuersignal VDN auf der Grundlage des von dem Phasenkomparator 58a gelieferten Vergleichsergebnisses und gibt sie zu der ersten Bezugsverzögerungseinheit 56a und der zweiten Bezugsverzögerungseinheit 56b aus. Darüber hinaus kann bei den anderen Ausführungsbeispielen die Steuersignal-Erzeugungseinheit 60a das Steuersignal VDP und das Steuersignal VDN in der Weise erzeugen, dass die Phase des Taktes, welcher durch Teilen des Bezugstaktes erhalten wird, und die Phase des Verzögerungstaktes übereinstimmen.
In der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 54b werden die variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, die in der zweiten Bezugsverzögerungseinheit 56b enthalten sind, in einen Zustand der Verwendung einer Kapazitätslast gebracht, und das Steuersignal VDP und das Steuersignal VDN werden von der ersten Verzögerungskompensationseinheit 54a geliefert. Die zweite Bezugsverzögerungseinheit 56b verzögert den Bezugstakt um die Anzahl N der variablen Verzögerungselemente 72 Spannungs-Lastkapazitäts-Steuertyp und gibt den Verzögerungstakt zu dem Phasenkomparator 58b aus. Der Phasenkomparator 58b vergleicht die Phase des Bezugstaktes mit der Phase des Verzögerungstaktes und gibt das Vergleichssignal zu der Steuersignal-Erzeugungseinheit 60b aus. Die Steuersignal-Erzeugungseinheit 60b erzeugt ein Kapazitätslast-Steuersignal VCP und ein Kapazitätslast-Steuersignal VCN auf der Grundlage des von dem Phasenkomparator 58b gelieferten Vergleichsergebnisses und gibt sie zu der zweiten Bezugsverzögerungseinheit 56b aus. Darüber hinaus kann bei den anderen Ausführungsbeispielen die Steuersignal-Erzeugungseinheit 60b das Kapazitätslast-Steuersignal VCP und das Kapazitätslast-Steuersignal VCN in der Weise erzeugen, dass die Phase des Taktes der durch Teilen des Bezugstaktes erhalten wird, und die Phase des Verzögerungstaktes übereinstimmen.
In einem beispielhaften Fall, in welchem die erste Bezugsverzögerungseinheit 56a eine Anzahl von N (N ist eine natürliche Zahl) variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp und die zweite Bezugsverzögerungseinheit 56b eine Anzahl von N – 1 variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp haben, und wenn die Periode des Bezugstaktes gleich T ist, erzeugt die erste Verzögerungskompensationseinheit 54a das Steuersignal VDP und das Steuersignal VDN in der Weise, dass jedes der variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp den Verzögerungswert T/N in dem Zustand ohne Verwendung der Kapazitätslast erzeugt.
In der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 54b erzeugt jedes der variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp den Verzögerungswert T/(N – 1). Da das Steuersignal VDP und das Steuersignal VDN von der ersten Verzögerungskompensationseinheit 54a zu der Anzahl von N – 1 variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp geliefert werden, erzeugt die zweite Verzögerungskompensationseinheit 54b das Kapazitätslast Steuersignal VCP und das Kapazitätslast-Steuersignal VCN in der Weise, dass der Verzögerungswert T/(N – 1) – T/N = T/N/(N – 1)durch die Kapazitätslast gesetzt wird. Das Steuersignal VDP, das Steuersignal VDN, das Kapazitätslast-Steuersignal VCP und das Kapazitätslast-Steuersignal VCN, die von der ersten Verzögerungskompensationseinheit 54a und der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 54b erzeugt wurden, werden zu den variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, welche in der Verzögerungseinheit 10 enthalten sind, geliefert.
Die Verzögerungseinheit 10 bestimmt, ob die Kapazitätslast der variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, die in der mikrovariablen Verzögerungseinheit 71 enthalten sind, ver wendet wird auf der Grundlage der Verzögerungsdaten, welche die Kombination der Verzögerungselemente zum Erzeugen eines gewünschten Verzögerungswertes bezeichnen. Darüber hinaus erzeugt die Verzögerungseinheit 10 einen Verzögerungswert eines ganzen Vielfachen des Verzögerungswertes von jedem der variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp durch die Kombination der in der variablen Verzögerungseinheit 73 enthaltenen variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts Steuertyp.
In einem beispielhaften Fall, in welchem die Periode des Bezugstaktes gleich T ist und die erste Bezugsverzögerungseinheit 56a eine Anzahl von N variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp und die zweite Bezugsverzögerungseinheit 56b eine Anzahl von N – 1 variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp haben, kann jedes der mehreren variablen Verzögerungselement 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, die in der mikrovariablen Verzögerungseinheit 71 enthalten sind, den Verzögerungswert nur um T/(N – 1) – T/N = T/N/(N – 1)ändern in Abhängigkeit davon, ob die Kapazitätslast verwendet wird oder nicht. Die variable Verzögerungseinheit 73 kann den Verzögerungswert eines ganzzahligen Vielfachen des Verzögerungswertes T/N in dem Zustand, in welchem die Kapazitätslast nicht verwendet wird, erzeugen. Weiterhin kann bei dem anderen Ausführungsbeispiel der Verzögerungswert entsprechend einem ganzzahligen Vielfachen des Verzögerungswertes T/(N – 1) durch Verwendung der Kapazitätslast erzeugt werden. Weiterhin kann bei den anderen Ausführungs beispielen die variable Verzögerungsschaltung 100 eine Auswahlvorrichtung haben, welche zur Einstellung eines vorbestimmten Verzögerungswertes mehrere Steuersignale zu den variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp verteilt, und eine Steuerspannung verteilt, welche zu den variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp geliefert wird, auf der Grundlage des von der Verzögerungseinheit 10 zu erzeugenden gewünschten Verzögerungswertes.
11(a) ist eine Figur, welche ein Schaltbild des Phasenkomparators 58a und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 60a, die unter Verwendung von 10 erläutert wurden, zeigt. Die Erläuterung des Phasenkomparators 58a wird abgekürzt, da der Phasenkomparator 58a dieselbe Konfiguration hat wie der in der Verwendung von 8 erläuterte Phasenkomparator 22a und dieselbe Funktion und Arbeitsweise hat. Die Differenzverstärkerschaltung 48a gibt das Steuersignal VDN, das durch Verstärken der Potentialdifferenz zwischen dem elektrischen Potential des Kondensators 46, das die Phasendifferenz zwischen dem Bezugstakt und dem Verzögerungstakt zeigt, und dem Bezugspotential Vc erhalten wurde, zu der Erzeugungseinheit 50 für die logische Schwellenwertspannung und den variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, die in der unter Verwendung von 10 erläuterten variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, aus.
Die Erzeugungseinheit 50 für eine logische Schwellenwertspannung erzeugt eine logische Schwellenwertspannung Vc', welche eine Spannung ist, wenn das Steuersignal VDN und das Steuersignal VDP geliefert werden, und gibt diese zu der Differenzverstärkerschaltung 52a aus. Die Differenzverstärkerschaltung 52a verstärkt die Potentialdifferenz zwischen der logischen Schwellenwertspannung Vc' und dem Bezugspotential Vc und führt eine negative Rückführungssteuerung durch und gibt das Steuersignal VDP zu der Erzeugungseinheit 50 für eine logische Schwellenwertspannung und die variablen Verzögerungselemente 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, die in der unter Verwendung von 10 erläuterten variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, so aus, dass das mittlere Potential Vc und die logische Schwellenwertspannung Vc' einander gleich werden.
11(b) ist eine Figur, welche ein Schaltbild des Phasenkomparators 58b und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 60b, die unter Verwendung von 10 erläutert wurden, zeigt. Die Erläuterung des Phasenkomparators 58b ist abgekürzt, da der Phasenkomparator 58b dieselbe Konfiguration wie die des unter Verwendung von 8 erläuterten Phasenkomparators 22a und dieselbe Funktion und Arbeitsweise hat. Die Differenzverstärkerschaltung 48a gibt das Kapazitätslast-Steuersignal VCN, das durch Verstärken der Potentialdifferenz zwischen dem elektrischen Potential des Kondensators 46, das die Phasendifferenz zwischen dem Bezugstakt und dem Verzögerungstakt zeigt, und dem Bezugspotential Vc erhalten wurde, zu der Erzeugungseinheit 50 für die logische Schwellenwertspannung und den variablen Verzögerungselementen 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, die in der unter Verwendung von 10 erläuterten variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, aus.
Die Erzeugungseinheit 50 für eine logische Schwellenwertspannung erzeugt eine logische Schwellenwertspannung Vc', welche eine Spannung ist, wenn das Kapazi tätslast-Steuersignal VCN und das Kapazitätslast-Steuersignal VCP geliefert werden, und gibt diese zu der Differenzverstärkerschaltung 52b aus. Die Differenzverstärkerschaltung 52b verstärkt die Potentialdifferenz zwischen der logischen Schwellenwertspannung Vc' und dem Bezugspotential Vc, führt eine negative Rückführungssteuerung durch, erzeugt das Kapazitätslast-Steuersignal VCP derart, dass das mittlere Potential Vc und die logische Schwellenwertspannung Vc' einander gleich werden, und gibt dieses zu den variablen Verzögerungselementen 72b vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp aus.
11(c) ist eine Figur, welche ein Schaltbild der in 11(a) enthaltenen Erzeugungseinheit 50 für eine logische Schwellenwertspannung zeigt. Die Erzeugungseinheit 50 für eine logische Schwellenwertspannung ist ein Inversionstor und hat vorzugsweise dieselbe Charakteristik wie das in dem variablen Verzögerungselement 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts Steuertyp enthaltene Inversionstor. Die Erzeugungseinheit 50 für eine logische Schwellenwertspannung hat Transistoren (114, 116, 118 und 120). Der Transistor 114 ändert die Impedanz zwischen einer Drain und einer Source auf der Grundlage des elektrischen Potentials des zu dem Gateanschluß gelieferten Steuersignals VDN. Der Transistor 120 ändert die Impedanz zwischen einer Drain und einer Source auf der Grundlage des elektrischen Potentials des zu einem Gateanschluß gelieferten Steuersignals VDP. Darüber hinaus wird der Ausgangswert zu dem Inversionstor zurückgeführt. Die in 11(b) enthaltene Erzeugungseinheit 50 für eine logische Schwellenwertspannung ist vorzugsweise dieselbe Schaltung wie das unter Verwendung von 11(c) erläuterte Inversionstor. In einem Fall, in welchem der Transistor 114 als eine in 11(b) gezeigte Erzeugungseinheit 50 für eine logische Schwellenwertspannung verwendet wird, ändert der Transistor 114 die Impedanz zwischen einer Drain und einer Source auf der Grundlage des elektrischen Potentials des zu dem Gateanschluß gelieferten Kapazitätslast-Steuersignals VCN. Der Transistor 120 ändert die Impedanz zwischen einer Drain und einer Source auf der Grundlage des elektrischen Potentials des zu dem Gateanschluß gelieferten Kapazitätslast-Steuersignals VCP.
12 zeigt ein Schaltbild des variablen Verzögerungselements 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp, das in der unter Verwendung von 10 erläuterten variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten ist. Das variable Verzögerungselement 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp hat eine variable Verzögerungseinheit 77 vom Spannungssteuertyp, eine Zeitkonstanten-Steuereinheit 76, eine Kapazitätslast-Schalteinheit 79 und einen Kondensator 75. Die variable Verzögerungseinheit 77 vom Spannungssteuertyp hat Transistoren 114, 116, 118 und 120. Die Kapazitätslast-Schalteinheit 79 hat einen Inverter 130 und Transistoren 122 und 124. Die Zeitkonstanten-Steuereinheit 76 hat Transistoren 126 und 128.
Da die variable Verzögerungseinheit 77 vom Spannungssteuertyp dieselbe Konfiguration und Arbeitsweise hat wie das variable Verzögerungselement 28 vom Spannungssteuertyp, das unter Verwendung von 9 erläutert wurde, wird deren Erläuterung abgekürzt. Die Kapazitätslast-Schalteinheit 79 schaltet zwischen der Verwendung der Kapazitätslast oder der Nichtverwendung der Kapazitätslast auf der Grundlage des zu dem Anschluß CONT gelieferten Wahrheitswertes. In dem Fall, in welchem die Kapazitätslast verwendet wird, wird der Wahrheitswert ”1” zu dem Anschluß CONT geliefert. In dem Fall, in welchem die Kapazitätslast nicht verwendet wird, wird der Wahrheitswert ”0” zu dem Anschluß CONT geliefert.
Die Zeitkonstanten-Steuereinheit 76 ändert eine Zeitkonstante des Kondensators 75. Darüber hinaus ist die Zeitkonstanten-Steuereinheit 76 vorteilhaft in Reihe zwischen den Kondensator 75 und den Ausgangsanschluß des variablen Verzögerungselements 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp eingefügt. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat die Zeitkonstanten-Steuereinheit 76 Transistoren 126 und 128.
In der Zeitkonstanten-Steuereinheit 76 ändert der Transistor 126 eine Impedanz zwischen einer Drain und einer Source auf der Grundlage des elektrischen Potentials des zu dem Gateanschluß gelieferten Kapazitätslast-Steuersignals VCN. Der Transistor 128 ändert die Impedanz zwischen einer Drain und einer Source auf der Grundlage des elektrischen Potentials des zu dem Gateanschluß gelieferten Kapazitätslast-Steuersignals VCP. Z. B. können die Transistoren 126 und 128 ein CMOS mit einem N-Kanal und einem P-Kanal sein. Z. B. nimmt mit einer Zunahme des elektrischen Potentials des Kapazitätslast-Steuersignals VCN und/oder einer Abnahme des elektrischen Potentials des Kapazitätslast-Steuersignals VCP die Impedanz ab und der von der Kapazitätslast erzeugte Verzögerungswert nimmt zu.
Darüber hinaus nimmt mit einer Abnahme des elektrischen Potentials des Kapazitätslast-Steuersignals VCN und/oder einer Zunahme des elektrischen Potentials des Kapazitätslast-Steuersignals VCP die Impedanz zu und der von der Kapazitätslast erzeugte Verzögerungs wert nimmt ab. Der Kondensator 75 hat eine vorbestimmte Kapazität. Das variable Verzögerungselement 72 vom Spannungs/Lastkapazitäts-Steuertyp erzeugt einen Verzögerungswert durch die Impedanz der Zeitkonstanten-Steuereinheit 76 und die Kapazität des Kondensators 75.
13 ist ein Blockschaltbild, welches eine variable Verzögerungsschaltung 100 zeigt. Die variable Verzögerungsschaltung 100 umfaßt eine erste Verzögerungskompensationseinheit 62a, eine zweite Verzögerungskompensationseinheit 62b und eine Verzögerungseinheit 10. Die erste Verzögerungskompensationseinheit 62a hat eine erste Bezugsverzögerungseinheit 68a, einen Phasenkomparator 64a und eine Steuersignal-Erzeugungseinheit 66a. Die zweite Verzögerungskompensationseinheit 62a hat eine zweite Bezugsverzögerungseinheit 68b, einen Phasenkomparator 64b und eine Steuersignal Erzeugungseinheit 66b.
Die erste Bezugsverzögerungseinheit 68a hat eine Anzahl von M (M ist eine natürliche Zahl) variablen Verzögerungselementen 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp, welche einen Verzögerungswert durch Änderung einer Treiberimpedanz ändern. Die zweite Bezugsverzögerungseinheit 68b hat eine Anzahl von N (N ist eine natürliche Zahl) variablen Verzögerungselementen 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp, deren Anzahl unterschiedlich gegenüber der der ersten Bezugsverzögerungseinheit 68 ist.
Die Verzögerungseinheit 10 hat eine mikrovariable Verzögerungseinheit 81 und eine variable Verzögerungseinheit 83. Die mikrovariable Verzögerungseinheit 81 und die variable Verzögerungseinheit 83 haben mehrere der variablen Verzögerungselemente 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp, welche dieselbe Charakteristik wie die variablen Verzögerungselemente 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp, die in der ersten Bezugsverzögerungseinheit 68a und der zweiten Bezugsverzögerungseinheit 68b enthalten sind, haben. Beispielsweise ist die variable Verzögerungsschaltung 100 vorzugsweise in derselben Halbleitervorrichtung ausgebildet. Weiterhin hat die variable Verzögerungseinheit 83 mehrere Auswahlvorrichtungen 13.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird der Verzögerungswert des variablen Verzögerungselements 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp bestimmt durch ein Steuersignal VDN1, ein Steuersignal VDP1, ein Steuersignal VDN2 und ein Steuersignal VDP2, welche eine Treiberimpedanz steuern.
In der ersten Verzögerungskompensationseinheit 62a verzögert die erste Bezugsverzögerungseinheit 68a einen Bezugstakt durch die Anzahl von N variablen Verzögerungselementen 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp, und erzeugt einen Verzögerungstakt. Der Phasenkomparator 64a vergleicht die Phase des Bezugstaktes, der eine vorbestimmte Periode hat, und die Phase der Verzögerungstaktes und gibt das Vergleichsergebnis zu der Steuersignal-Erzeugungseinheit 66a aus. Die Steuersignal-Erzeugungseinheit 66a erzeugt das Steuersignal VDP1 und das Steuersignal VDN1 auf der Grundlage des von dem Phasenkomparator 64a gelieferten Vergleichsergebnisses.
In der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 62b verzögert die zweite Bezugsverzögerungseinheit 68b einen Bezugstakt durch die Anzahl von M variablen Verzögerungselementen 74 vom Treiberimpedanz- Steuertyp und erzeugt einen Verzögerungstakt. Der Phasenkomparator 64b vergleicht die Phase des Bezugstaktes und die Phase des Verzögerungstaktes und gibt das Vergleichsergebnis zu der Steuersignal-Erzeugungseinheit 66b aus. Die Steuersignal-Erzeugungseinheit 66b erzeugt das Steuersignal VDP2 und das Steuersignal VDN2 auf der Grundlage des von dem Phasenkomparator 64b gelieferten Vergleichsergebnisses. Darüber hinaus kann bei dem anderen Ausführungsbeispiel die Steuersignal-Erzeugungseinheit 66a und die Steuersignal-Erzeugungseinheit 66b das Steuersignal VDN1, das Steuersignal VDP1, das Steuersignal VDN2 und das Steuersignal VDP2 in der Weise er zeugen, dass die Phase des Taktes, der durch Teilen der Frequenz des Bezugstaktes erhalten wurde, und die Phase des Verzögerungstaktes übereinstimmen.
Die Verzögerungseinheit 10 ändert den Verzögerungswert der variablen Verzögerungselemente 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp, die in der mikrovariablen Verzögerungseinheit 81 enthalten sind, auf der Grundlage der Verzögerungsdaten, welche die Kombination der Verzögerungselemente zum Erzeugen eines gewünschten Verzögerungswertes bezeichnen. Darüber hinaus wird ein Eingangssignal durch die Kombination der variablen Verzögerungselemente 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp, die in der variablen Verzögerungseinheit 83 enthalten sind, verzögert.
Die mikrovariable Verzögerungseinheit 81 schaltet zu irgendeinem von dem Steuersignal VDP1 und dem Steuersignal VDN1, die von der ersten Verzögerungskompensationseinheit 62a geliefert wurden, und dem Steuersignal VDP2 und dem Steuersignal VDN2, die von der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 62b geliefert wurden, um einen Mikroverzögerungswert zu erzeugen.
Die variable Verzögerungseinheit 83 erzeugt den Verzögerungswert entsprechend einem ganzzahligen Vielfachen von T/M durch das Steuersignal VDP1 und das Steuersignal VDN1, die von der ersten Verzögerungskompensationseinheit 62a geliefert wurden. Bei dem anderen Ausführungsbeispiel kann die variable Verzögerungseinheit 83 den Verzögerungswert entsprechend einem ganzzahligen Vielfachen von T/N durch das Steuersignal VDP2 und das Steuersignal VDN2, die von der zweiten Verzögerungskompensationseinheit 62b geliefert wurden, erzeugen. Weiterhin kann bei dem anderen Ausführungsbeispiel die variablen Verzögerungsschaltung 100 eine Auswahlvorrichtung aufweisen, welche mehrere Steuersignale zum Erzeugen eines vorbestimmten Verzögerungswertes zu den variablen Verzögerungselementen 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp verteilt und das Steuersignal, welches zu den variablen Verzögerungselementen 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp geliefert wird, verteilen kann, basierend auf dem von der Verzögerungseinheit 10 zu erzeugenden gewünschten Verzögerungswert.
14 zeigt ein Schaltbild des Phasenkomparators 64a und der Steuersignal-Erzeugungseinheit 66a, die in der unter Verwendung von 13 erläuterten variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind. Da die Konfiguration und die Arbeitsweise des Phasenkomparators 64a dieselben sind wie die Konfiguration und die Arbeitsweise des unter Verwendung von 8 erläuterten Phasenkomparators 22a, wird die Erläuterung von diesem abgekürzt. Die Steuersignal-Erzeugungseinheit 66a umfaßt eine Differenzverstärkerschaltung 67a, eine Erzeugungseinheit 70a für eine logische Schwellenwertspannung und eine Differenzverstärkerschaltung 69a. Die Erzeugungseinheit 70a für eine logische Schwellenwertspannung hat Transistoren 132, 134, 144, 146, 136 und 138.
Die Differenzverstärkerschaltung 67a verstärkt die Potentialdifferenz zwischen dem elektrischen Potential des Kondensators 46, welches die Phasendifferenz zwischen dem Bezugstakt und dem Verzögerungstakt zeigt, und dem Bezugspotential Vc und erzeugt das Steuersignal VDN1.
Die Erzeugungseinheit 70a für eine logische Schwellenwertspannung erzeugt die logische Schwellenwertspannung Vc', welche eine Spannung ist, wenn das Steuersignal VDN1 und das Steuersignal VDN2 geliefert werden. Die Erzeugungseinheit 70a für eine logische Schwellenwertspannung kann in einem Zustand sein, in welchem ein Wahrheitswert ”0” an dem Anschluß CONT des variablen Verzögerungselements 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp (siehe 15) eingegeben wird, und sie hat vorzugsweise dieselben Transistoren.
Die Differenzverstärkerschaltung 69a verstärkt die Potentialdifferenz zwischen der logischen Schwellenwertspannung Vc', welche von der Erzeugungseinheit 70a für eine logische Schwellenwertspannung geliefert wird, und der Bezugsspannung Vc, und erzeugt das Steuersignal VDP1. Da der Phasenkomparator 64b und die Steuersignal-Erzeugungseinheit 66b, die in der unter Verwendung von 13 erläuterten variablen Verzögerungsschaltung 100 enthalten sind, dieselbe Konfiguration und Arbeitsweise haben wie der Phasenkomparator 64a und die Steuersignal-Erzeugungseinheit 66a, die unter Verwendung von 14 erläutert wurden, wird deren Erläuterung abgekürzt.
15 zeigt ein Schaltbild eines variablen Verzöge rungselements 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp. Das variable Verzögerungselement 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp hat Transistoren 132, 134, 136, 138, 140, 142, 144, 146, 148 und 150 sowie Inverter 152 und 154. Das variable Verzögerungselement 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp kann die durch das Steuersignal VDP1 und VDN1 gesetzte Impedanz oder die von dem Steuersignal VDP2 und VDN2 gesetzte Impedanz auf der Grundlage des von dem Anschluß CONT gelieferten Wahrheitswertes auswählen.
In dem Fall, in welchem der Wahrheitswert ”0” von dem Anschluß CONT geliefert wird, erzeugt das variable Verzögerungselement 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp einen Verzögerungswert durch die von dem Steuersignal VDN1 und dem Steuersignal VDP1 gesetzte Impedanz. Mit einer Zunahme des elektrischen Potentials des Steuersignal VDN1 und/oder einer Abnahme des elektrischen Potentials des Steuersignals VDP1 nimmt die Treiberimpedanz ab und der zu erzeugende Verzögerungswert nimmt ab. Weiterhin nimmt mit einer Abnahme des elektrischen Potentials des Steuersignals VDN1 und/oder einer Zunahme des elektrischen Potentials des Steuersignals VDP1 die Treiberimpedanz zu und der zu erzeugende Verzögerungswert nimmt zu.
In dem Fall, in welchem der Wahrheitswert ”1” von dem Anschluß CONT geliefert wird, erzeugt das variable Verzögerungselement 74 vom Treiberimpedanz-Steuertyp einen Verzögerungswert durch die von dem Steuersignal VDN2 und dem Steuersignal VDP2 gesetzte Impedanz. Mit einer Zunahme des elektrischen Potentials des Steuersignals VDN2 und mit einer Abnahme des elektrischen Potentials des Steuersignals VDP2 nimmt die Treiberimpedanz ab und der zu erzeugende Verzögerungswert nimmt ab. Weiterhin nimmt mit einer Abnahme des e lektrischen Potentials des Steuersignals VDN2 und/oder einer Zunahme des elektrischen Potentials des Steuersignals VDP2 die Treiberimpedanz zu und der zu erzeugende Verzögerungswert nimmt zu.

Claims

Halbleiter-Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung (93), bestehend aus: einem Mustergenerator (90) zum Erzeugen eines in die Halbleitervorrichtung (93) einzugebenden Prüfmusters; einem Generator (92) zum Erzeugen eines formatierten Prüfmusters, der eine variable Verzögerungsschaltung (100) aufweist, die einen Verzögerungstakt erzeugt, wobei der Generator (92) das Prüfmuster auf der Grundlage des Verzögerungstakts formatiert; einer Vorrichtungskontakteinheit (94), auf der die Halbleitervorrichtung (93) angeordnet ist, zum Eingeben des formatierten Prüfmusters in die Halbleitervorrichtung (93); und einem Komparator (95), der die Qualität der Halbleitervorrichtung (93) auf der Grundlage eines der von der Halbleitervorrichtung (93), in welche das formatierte Prüfmuster eingegeben wurde, ausgegebenen Ausgangssignals beurteilt, wobei die variable Verzögerungsschaltung (100) aufweist: eine erste Verzögerungskompensationseinheit (54a), die eine erste Bezugsverzögerungseinheit (56a) mit mehreren ersten variablen Verzögerungselementen (72) enthält, deren Verzögerungswert bestimmt wird durch ein Treiberimpedanz-Steuersignal zum Steuern einer Treiberimpedanz und durch ein Kapazitätslast-Steuersignal zum Steuern einer Kapazitätslast, wobei die erste Verzögerungskompensationseinheit (54a) das Treiberimpedanz-Steuersignal entsprechend der Anzahl der in der ersten Bezugsverzögerungseinheit (56a) enthaltenen ersten variablen Verzögerungselemente (72) erzeugt und zu den in der ersten Bezugsverzögerungseinheit (56a) enthaltenen ersten variablen Verzögerungselementen (72) liefert, wobei die ersten variablen Verzögerungselemente (72) in der ersten Bezugsverzögerungseinheit (56a) in einen Zustand ohne Verwendung einer Kapazitätslast gebracht sind; eine zweite Verzögerungskompensationseinheit (54b), die eine zweite Bezugsverzögerungseinheit (56b) mit mehreren ersten variablen Verzögerungselementen (72) enthält, deren Anzahl geringer ist als die Anzahl der in der ersten Bezugsverzögerungseinheit (56a) enthaltenen ersten variablen Verzögerungselemente (72), wobei die zweite Verzögerungskompensationseinheit (57b) ein Kapazitätslast-Steuersignal entsprechend der Anzahl der in der zweiten Bezugsverzögerungseinheit (56b) enthaltenen ersten variablen Verzögerungselemente (72) erzeugt und zu den in der zweiten Bezugsverzögerungseinheit (56b) enthaltenen ersten variablen Verzögerungselementen (72) liefert und wobei, weiterhin das von der ersten Verzögerungskompensationseinheit (54a) erzeugte Treiberimpedanz-Steuersignal zu den in der zweiten Bezugsverzögerungseinheit (56b) enthaltenen ersten variablen Verzögerungselemente (72) geliefert wird; eine Verzögerungseinheit (10) zum Erzeugen des Verzögerungstakts, die mehrere zweite variable Verzögerungselemente (72) enthält, die dieselbe Charakteristik wie die der ersten variablen Verzögerungselemente (72) in der ersten Bezugsverzögerungseinheit (56a) und der zweiten Bezugsverzögerungseinheit (56b) haben, wobei der Verzögerungswert der zweiten variablen Verzögerungselemente (72) in der Verzögerungseinheit (10) durch Steuern mittels des Treiberimpedanz-Steuersignals der ersten Verzögerungskompensationseinheit (54a) und des Kapazitätslast-Steuersignals der zweiten Verzögerungskompensationseinheit (54b) bestimmt wird.