DE10059775C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von analogen Ausgangssignalen von kapazitiven Sensoren - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von analogen Ausgangssignalen von kapazitiven Sensoren

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JP2002546232A JP2004526942A (ja) 2000-12-01 2001-11-30 容量性センサのアナログ出力信号を処理するための方法および装置
US10/433,177 US7054778B2 (en) 2000-12-01 2001-11-30 Method and device for processing analogue output signals from capacitive sensors
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004003181B3 (de) * 2004-01-22 2005-08-11 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Sensor mit einer Auswerteschaltung
DE102006055589B4 (de) * 2006-11-24 2012-07-19 Infineon Technologies Ag Messvorrichtung und Messgrößensensor mit gekoppelter Verarbeitungs- und Anregungsfrequenz

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10233604A1 (de) * 2002-07-24 2004-02-19 Alfred Brühn Parametrische Verstärkungstechnik als Verfahren zur hochempfindlichen Phasenmessung in Vorrichtungen und Geräten als universelle Sensor- und Brückenverstärker
DE10307950B4 (de) * 2003-02-25 2005-10-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Einrichtung zur Überwachung einer rotierenden Welle und/oder daran angebrachter Elemente
DE10321962B4 (de) * 2003-05-15 2005-08-18 Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zum Simulieren einer Drehrate und Verwendung von simulierten Drehraten zur initialen Kalibrierung von Drehratensensoren oder zur In-Betrieb-Nachkalibrierung von Drehratensensoren
JP4411529B2 (ja) * 2004-08-05 2010-02-10 株式会社デンソー 振動型角速度センサ
JP4600031B2 (ja) * 2004-12-17 2010-12-15 パナソニック電工株式会社 角速度検出装置
KR100688527B1 (ko) * 2005-02-03 2007-03-02 삼성전자주식회사 아날로그 반도체 장치를 테스트하는 디지털 테스트 장치
US7477711B2 (en) * 2005-05-19 2009-01-13 Mks Instruments, Inc. Synchronous undersampling for high-frequency voltage and current measurements
US8059102B2 (en) * 2006-06-13 2011-11-15 N-Trig Ltd. Fingertip touch recognition for a digitizer
JP5324440B2 (ja) 2006-07-12 2013-10-23 エヌ−トリグ リミテッド デジタイザのためのホバリングおよびタッチ検出
US8686964B2 (en) * 2006-07-13 2014-04-01 N-Trig Ltd. User specific recognition of intended user interaction with a digitizer
JP4816346B2 (ja) * 2006-09-06 2011-11-16 トヨタ自動車株式会社 容量変化検出装置およびその方法
JP4591580B2 (ja) * 2008-02-07 2010-12-01 株式会社デンソー 周期信号処理装置
JP2009258009A (ja) 2008-04-18 2009-11-05 Panasonic Corp 物理量検出回路およびそれを備える物理量センサ装置
US20100079170A1 (en) * 2008-09-29 2010-04-01 Infineon Technologies Ag Apparatus and method for the analysis of a periodic signal
JP4879252B2 (ja) * 2008-12-03 2012-02-22 日立オートモティブシステムズ株式会社 角速度検出装置
IT1392553B1 (it) * 2008-12-11 2012-03-09 St Microelectronics Rousset Dispositivo elettronico a capacita' variabile e dispositivo microelettromeccanico incorporante tale dispositivo elettronico
US9278845B2 (en) 2010-09-18 2016-03-08 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS multi-axis gyroscope Z-axis electrode structure
US9455354B2 (en) 2010-09-18 2016-09-27 Fairchild Semiconductor Corporation Micromachined 3-axis accelerometer with a single proof-mass
EP2616771B8 (en) 2010-09-18 2018-12-19 Fairchild Semiconductor Corporation Micromachined monolithic 6-axis inertial sensor
CN103221331B (zh) 2010-09-18 2016-02-03 快捷半导体公司 用于微机电系统的密封封装
DE112011103124B4 (de) 2010-09-18 2025-10-30 Fairchild Semiconductor Corporation Biegelager zum Verringern von Quadratur für mitschwingende mikromechanische Vorrichtungen
WO2012037492A2 (en) 2010-09-18 2012-03-22 Janusz Bryzek Multi-die mems package
EP2619130A4 (en) 2010-09-20 2014-12-10 Fairchild Semiconductor SILICONE CONTINUITY WITH REDUCED CROSS-CAPACITY
EP2619536B1 (en) 2010-09-20 2016-11-02 Fairchild Semiconductor Corporation Microelectromechanical pressure sensor including reference capacitor
DE102010041967A1 (de) 2010-10-05 2012-04-05 Zf Friedrichshafen Ag Verfahren zum Ermitteln einer Neigung eines Fahrzeuges in Fahrtrichtung
US9062972B2 (en) 2012-01-31 2015-06-23 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS multi-axis accelerometer electrode structure
US8978475B2 (en) 2012-02-01 2015-03-17 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS proof mass with split z-axis portions
US9488693B2 (en) 2012-04-04 2016-11-08 Fairchild Semiconductor Corporation Self test of MEMS accelerometer with ASICS integrated capacitors
US9069006B2 (en) 2012-04-05 2015-06-30 Fairchild Semiconductor Corporation Self test of MEMS gyroscope with ASICs integrated capacitors
EP2648334B1 (en) 2012-04-05 2020-06-10 Fairchild Semiconductor Corporation Mems device front-end charge amplifier
EP2647955B8 (en) 2012-04-05 2018-12-19 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS device quadrature phase shift cancellation
EP2647952B1 (en) 2012-04-05 2017-11-15 Fairchild Semiconductor Corporation Mems device automatic-gain control loop for mechanical amplitude drive
US9094027B2 (en) 2012-04-12 2015-07-28 Fairchild Semiconductor Corporation Micro-electro-mechanical-system (MEMS) driver
US9625272B2 (en) 2012-04-12 2017-04-18 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS quadrature cancellation and signal demodulation
DE102013014881B4 (de) 2012-09-12 2023-05-04 Fairchild Semiconductor Corporation Verbesserte Silizium-Durchkontaktierung mit einer Füllung aus mehreren Materialien
DE102013100045B4 (de) * 2012-12-18 2022-07-14 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co Kg Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Prozessgröße
US9644963B2 (en) 2013-03-15 2017-05-09 Fairchild Semiconductor Corporation Apparatus and methods for PLL-based gyroscope gain control, quadrature cancellation and demodulation
US9668035B2 (en) * 2014-04-18 2017-05-30 Rosemount Aerospace, Inc. Microelectromechanical rate sensor
DE102016207987A1 (de) * 2016-05-10 2017-11-16 Robert Bosch Gmbh Sensor- und/oder Aktorvorrichtung und Verfahren zum Versetzen einer seismischen Masse in harmonische Schwingungen
US20180335458A1 (en) * 2017-05-18 2018-11-22 Cirrus Logic International Semiconductor Ltd. Capacitance sensor
DE102020213286A1 (de) * 2020-10-21 2022-04-21 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur Bestimmung einer Phasenlage eines Drehratensignals oder eines Quadratursignals, Verfahren zur Anpassung einer Demodulationsphase und Drehratensensor
CN118707135B (zh) * 2024-06-06 2025-11-04 浙江大学 一种可变量程的摆式加速度计差分电容测量电路的制作方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4203819A1 (de) * 1991-02-11 1992-08-20 Hewlett Packard Co Abtast-signalanalysator
WO1996021138A1 (de) * 1994-12-29 1996-07-11 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur ermittlung einer drehrate
DE19653021A1 (de) * 1996-12-19 1998-06-25 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate
DE19653020A1 (de) * 1996-12-19 1998-06-25 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4253066A (en) * 1980-05-13 1981-02-24 Fisher Charles B Synchronous detection with sampling
US4509017A (en) * 1981-09-28 1985-04-02 E-Systems, Inc. Method and apparatus for pulse angle modulation
US4547737A (en) * 1983-07-29 1985-10-15 Rca Corporation Demodulator of sampled data FM signals from sets of four successive samples
US5258720A (en) * 1984-03-02 1993-11-02 Itt Corporation Digital sample and hold phase detector
US4613974A (en) * 1984-03-16 1986-09-23 Vokac Peter R Method and system for modulating a carrier signal
US5142286A (en) * 1990-10-01 1992-08-25 General Electric Company Read-out photodiodes using sigma-delta oversampled analog-to-digital converters
US5461916A (en) 1992-08-21 1995-10-31 Nippondenso Co., Ltd. Mechanical force sensing semiconductor device
US5459432A (en) * 1993-07-22 1995-10-17 Rockwell International Corporation Use of a chopper and a sigma-delta modulator for downconverting and digitizing an analog signal including information modulated by a carrier
US5512843A (en) * 1993-11-15 1996-04-30 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Monitoring method and apparatus using high-frequency carrier
US5495204A (en) 1994-12-19 1996-02-27 Bei Electronics, Inc. Digital FM demodulator and method with enhanced resolution
US5805583A (en) * 1995-08-25 1998-09-08 Terayon Communication Systems Process for communicating multiple channels of digital data in distributed systems using synchronous code division multiple access
DE10107547A1 (de) * 2001-02-17 2002-08-29 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zur Synchronmodulation mehrfach modulierter Signale

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4203819A1 (de) * 1991-02-11 1992-08-20 Hewlett Packard Co Abtast-signalanalysator
WO1996021138A1 (de) * 1994-12-29 1996-07-11 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur ermittlung einer drehrate
DE19653021A1 (de) * 1996-12-19 1998-06-25 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate
DE19653020A1 (de) * 1996-12-19 1998-06-25 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004003181B3 (de) * 2004-01-22 2005-08-11 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Sensor mit einer Auswerteschaltung
DE102006055589B4 (de) * 2006-11-24 2012-07-19 Infineon Technologies Ag Messvorrichtung und Messgrößensensor mit gekoppelter Verarbeitungs- und Anregungsfrequenz

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Publication number Publication date
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US7054778B2 (en) 2006-05-30
EP1337861A1 (de) 2003-08-27
ATE443872T1 (de) 2009-10-15

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