DE10046552C2 - Energiezuführungsanordnung und Planarmotor mit einer solchen - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Energiezuführungsan­ ordnung zum Anschluß eines Motorläufers an Versorgungsleitun­ gen, wobei der Läufer auf einem ebenen Stator eines Antriebs­ systems verfahrbar angeordnet ist. Außerdem betrifft die Erfindung einen Planarmotor mit einem aktiven Läufer und einem passiven Stator.

In Meßmaschinen, für hochgenaue Positionierungsarbeiten und auch für andere Antriebsaufgaben werden seit geraumer Zeit Linearantriebe verwendet, bei denen ein Läufer auf einem ebenen Stator bewegt wird. Wenn der Läufer das aktive Element eines solchen Antriebssystems ist, muß er über Versorgungs­ leitungen an geeignete Energiequellen angeschlossen werden, wobei diese Versorgungsleitungen mit bewegt werden müssen. Die allgemeine Funktionsweise von Linear- und Planarmotoren sind dem Fachmann bekannt, so daß hier auf eine detaillierte Beschreibung verzichtet wird.

Aus der DE 22 65 246 A1 ist eine Einstellvorrichtung bekannt, bei welcher ein aktives Läuferglied mit einem Ständerglied zusammenwirkt, um ein Antriebssystem aufzubauen, wobei das Läuferglied auf dem Ständerglied in zwei Richtungen, d. h. in einer Ebene verfahrbar ist. Auf diese Weise kann das Läufer­ glied an beliebige Positionen in der durch das Ständerglied vorgegebenen Ebene bewegt werden. Das Läuferglied wird über ein elektrisches Kabel mit den benötigten Antriebsströmen versorgt, die im Läuferglied ein sich entsprechend der gewünschten Bewegung änderndes Magnetfeld erzeugen. Weiterhin können über das elektrische Kabel zusätzliche Steuersignale geliefert werden oder auch Meßsignale von dem Läuferglied an eine entfernte Steuereinheit übermittelt werden. Die Lagerung zwischen dem Läuferglied und dem Ständerglied wird durch ein Luftlager erzeugt, wozu es notwendig ist, Druckluft an das Läuferglied zuzuführen. Um das Läuferglied jederzeit mit der benötigten Energie zu versorgen, muß sowohl das elektrische Kabel als auch die Druckluftleitung eine ausreichende Länge aufweisen und in dem gewünschten Verfahrbereich möglichst frei beweglich sein.

Im Stand der Technik werden die Versorgungsleitungen bei planaren Antriebssystemen von oben oder von der Seite an das Läuferelement zugeführt. Bei Linearantrieben kann die Zufüh­ rung der Versorgungsleitungen auch durch eine entsprechende Aussparung im Statorelement zum Läuferelement geführt werden. In jedem Fall ergeben sich bei bestimmten Positionierungen des Läufers jedoch schlaufenförmig verlaufende Versorgungs­ leitungen, die den Zugang zum Läufer teilweise erheblich behindern können. Insbesondere wenn ein solches Antriebs­ system für verschiedene Positionierungsaufgaben geeignet sein soll, bereitet die Zuführung der Versorgungsleitungen häufig Schwierigkeiten.

Besondere Probleme ergeben sich, wenn mehrere Läufer auf einem gemeinsamen Stator angeordnet werden, wie dies beispielsweise für die Positionierung größerer Werkstücke wünschenswert ist. Wenn mehrere Läufer unabhängig voneinander Bewegungen auf dem Stator ausführen sollen, besteht die erhebliche Gefahr, daß die schlaufenförmig geführten Versor­ gungsleitungen eines Läufers die Bewegungsfreiheit eines anderen Läufers unangemessen einschränken. Die freie Zufüh­ rung der Versorgungsleitungen von oben ist zumeist nicht möglich, da dies die Bestückung der Läufer mit entsprechenden Werkstücken unzumutbar erschweren würde.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin, eine Energiezuführungsanordnung bereitzustellen, die unabhän­ gig von der jeweiligen Position des Läufers immer eine Zufüh­ rung der Versorgungsleitungen auf einem möglichst kurzen Weg sicherstellt, ohne daß dabei störende Schlaufen die Zugäng­ lichkeit erschweren. Durch eine derartige Gestaltung soll es auch ermöglicht werden, eine Vielzahl von Läufern auf einem gemeinsamen Stator anzuordnen, wobei die gegenseitige Behin­ derung der Läufer durch die angeschlossenen Versorgungslei­ tungen auf ein Minimum beschränkt werden soll. Außerdem ist es Aufgabe der Erfindung, den Anschluß der Versorgungsleitun­ gen zu vereinfachen und insbesondere elektrische Schleifkon­ takte zu beseitigen, die erfahrungsgemäß zu Kontaktschwierig­ keiten und erhöhten Übergangswiderständen führen können.

Diese und weitere Aufgaben werden durch eine Energiezufüh­ rungsanordnung gelöst, bei welcher ein elektrisches Kabel vom Läufer zu einem außerhalb des Verfahrbereichs des Läufers liegenden Vorratselement verläuft, wobei das elektrische Kabel an seinem inneren Ende fest mit dem Vorratselement verbunden ist und in diesem spiralförmig aufwickelbar ist, und wobei das Vorratselement eine Aufwickelfeder besitzt, deren Federkraft dimensioniert ist, um das Kabel unabhängig vom Abstand zwischen Läufer und Vorratselement jederzeit straff zu halten.

Diese Energiezuführungsanordnung bietet den Vorteil, daß das elektrische Kabel immer auf kürzester Linie zwischen dem Läufer und dem Vorratselement gehalten wird. Außerdem kann das Kabel relativ flach über dem Stator geführt werden, so daß sich eine geringere Aufbauhöhe für das Antriebssystem ergibt.

Bei einer besonders zweckmäßigen Ausführungsform besitzt das Vorratselement eine Wickeltrommel, in welcher ein innerer Abschnitt des Kabels spiralförmig aufgewickelt verläuft, wobei das Kabel die äußere Trommelwand der Wickeltrommel durchdringt und wobei ein äußerer Abschnitt des Kabels auf die äußere Trommelwand aufgewickelt ist. Sobald sich der Abstand zwischen dem Läufer und dem Vorratselement vergrö­ ßert, wird der äußere Abschnitt des Kabels von der äußeren Trommelwand abgewickelt, während zum Ausgleich der dafür erforderlichen Drehung der Wickeltrommel im Inneren der Wickeltrommel der innere Abschnitt des Kabels spiralförmig aufgewickelt wird.

Bei einer abgewandelten Ausführungsform verlaufen innerer und äußerer Abschnitt des Kabels gegenläufig, so daß sich die innere Spirale öffnet, wenn außen Kabel abgewickelt wird.

Die beiden Längen des inneren bzw. des äußeren Abschnitts des Kabels sind so aufeinander abgestimmt, daß die gewünschte Länge von der Wickeltrommel außen abgewickelt werden kann, ohne daß dadurch der innere Abschnitt übermäßig verdreht wird. Diese Ausführungsform bietet den Vorteil, daß auf sich mitdrehende Schleifkontakte zum Anschluß des elektrischen Kabels vollständig verzichtet werden kann. Das Vorratselement ist dadurch sehr einfach gestaltet und benötigt außer der Rückholfeder keine weiteren Elemente zur Ermöglichung der Auf- und Abwickelbewegung für das elektrische Kabel.

Bei einer abgewandelten Ausführungsform der Energiezufüh­ rungsanordnung verläuft zwischen dem Vorratselement und dem Läufer weiterhin eine Schlauchleitung, welche ebenfalls im Vorratselement aufwickelbar ist. Dadurch ist sichergestellt, daß auch die Schlauchleitung immer auf kürzester Verbindung, also in gerader Linie zwischen dem Läufer und dem Vorratsele­ ment verläuft. Die Aufwickelfeder des Vorratselements muß in diesem Fall hinsichtlich der Federkraft angepaßt sein, um ein sicheres Aufwickeln von elektrischem Kabel und Schlauchlei­ tungen zu ermöglichen, wenn sich der Abstand zwischen Läufer und Vorratselement verringert. Durch die Einbeziehung der Schlauchleitung in das Aufwickelsystem können auch Läufer versorgt werden, die beispielsweise zum Aufbau eines Luftla­ gers die Zufuhr einer Druckluftleitung erfordern.

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Schlauchleitung spiralförmig in einem drehbaren Wickelteller verläuft und mit ihrem inneren Ende an eine Rotationsverschraubung gekoppelt ist, die mit einem im Drehzentrum des Vorratselements fest­ stehend angeordneten Zuführkanal drehbar verbunden ist. Auf diese Weise wird ein einfacher Aufbau der Vorratselements ermöglicht, da das elektrische Kabel und die Schlauchleitung in fest miteinander verbundenen Bereichen des Vorratselements aufgenommen werden.

Sofern aufgrund unterschiedlicher Dicken des Kabels und der Schlauchleitung nicht sichergestellt werden kann, daß bei jeder vorgegebenen Winkeldrehung des Vorratselements jeweils gleiche Längen der Schlauchleitung und des Kabels ab- bzw. aufgewickelt werden, ist es vorteilhaft, wenn zusätzlich eine Spannvorrichtung vorgesehen ist, die einen Längenausgleich ermöglicht, um sowohl die Schlauchleitung als auch das Kabel stets straff zu halten. Die Spannvorrichtung kann durch eine Spannrolle gebildet sein, die beweglich an eine Spannfeder gekoppelt ist, wobei diese Spannvorrichtung vorzugsweise unmittelbar am Läufer befestigt ist.

Die Erfindung gibt außerdem einen Planarmotor an, bei welchem die Energieversorgung des Läufers mit Hilfe der genannten Energiezuführungsanordnung erfolgt. Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform des Planarmotors sind mehrere Läufer auf einem gemeinsamen Stator verfahrbar angeordnet, wobei jedem Läufer eine eigene Energiezuführungsanordnung zugeordnet ist. Auf diese Weise ist es möglich, eine Vielzahl von Läufern auf dem Stator anzuordnen, ohne daß die Gefahr der gegenseitigen Behinderung durch die Versorgungsleitungen besteht. Die Versorgungsleitungen können alle in einer gemeinsamen Ebene geführt werden, wodurch wiederum die Gesamtaufbauhöhe des Antriebs reduziert wird.

Bei anderen Ausführungsformen kann die erfindungsgemäße Ener­ giezuführungsanordnung beispielsweise auch verwendet werden, wenn mehrere Läufer an einem oder mehreren Statoren in einer räumlichen Gestaltung angeordnet sind. Die lineare Zuführung der Versorgungsleitungen zu den einzelnen Läufern erweist sich auch als vorteilhaft, wenn bei komplizierteren Bewe­ gungsabläufen die jeweilige Lage der Zuleitungen berechnet werden muß, um Kollisionen zwischen einzelnen Läufern und den Versorgungsleitungen zu vermeiden.

Weitere Vorteile, Einzelheiten und Weiterbildungen ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausfüh­ rungsformen der Erfindung, unter Bezugnahme auf die Zeich­ nung. Es zeigen:

Fig. 1 eine Draufsicht auf ein Antriebssystem, bei welchem mehrere Läufer auf einem gemeinsamen Stator ange­ ordnet sind;

Fig. 2 eine vereinfachte Seitenansicht eines Stators mit einem darauf angeordneten Läufer und einem seitlich angeordneten Vorratselement;

Fig. 3 eine Detailzeichnung des Läufers, welcher an das Vorratselement gekoppelt ist, in einer Seitenan­ sicht;

Fig. 4 die Darstellung aus Fig. 3 in einer Ansicht von oben;

Fig. 5 das Vorratselement in einer Ansicht von vorn;

Fig. 6 eine Prinzipdarstellung der Kabelführung im Vorratselement.

Fig. 1 zeigt in einer vereinfachten Ansicht von oben ein planares Antriebssystem. Das Antriebssystem besitzt einen gemeinsamen Stator 1, auf welchem eine Vielzahl von Läufern 2 möglichst frei beweglich sein sollen. Bei den Läufern 2 kann es sich beispielsweise um permanent erregte Reluktanzmotoren handeln, wobei der Stator 1 als Lauffläche z. B. eine struktu­ rierte Weicheisenplatte bereitstellt. Auf das speziell verwendete Antriebsverfahren kommt es jedoch hier nicht an. In dem hier erläuterten Beispiel erfolgt die Lagerung zwischen Stator 1 und den Läufern 2 durch Luftlager, die dynamisch zwischen Stator und Läufer aufgebaut werden. Bei abgewandelten Ausführungsformen könnten auch Rollenlager oder dergleichen verwendet werden. Jedem der Läufer 2 ist ein Vorratselement 3 zugeordnet, über welches eine oder mehrere Versorgungsleitungen 4 zu dem jeweiligen Läufer 2 geführt sind.

Fig. 2 zeigt eine vereinfachte Seitenansicht des Antriebs­ systems, wobei nur ein Läufer 2 auf dem Stator 1 dargestellt ist. In dieser Ansicht ist gut erkennbar, daß das dem Läufer 2 zugeordnete Vorratselement 3 seitlich angeordnet ist, wobei die Versorgungsleitungen 4 in einer Ebene parallel zum Stator 1 verlaufen. In Verbindung mit der Darstellung in Fig. 1 ist außerdem erkennbar, daß alle Vorratselemente 3 außerhalb der für die Verfahrbewegungen der Läufer 2 reservierten Laufflä­ che angeordnet sind.

Fig. 3 zeigt den Läufer 2 und das Vorratselement 3 in einer teilweise geschnittenen seitlichen Detailansicht. Der Läufer 2 besteht aus einem Motor 6 und einem darauf befestigten Gehäuseabschnitt 7, welcher einerseits den Motor kapselt und andererseits den Anschluß der Versorgungsleitungen 4 ermög­ licht. Bei dem dargestellten Beispiel werden die Versorgungs­ leitungen 4 durch ein elektrisches Flachbandkabel 9 und eine Schlauchleitung 10 gebildet. Das Flachbandkabel 9 besitzt eine Vielzahl parallel zueinander verlaufender elektrischer Adern, die der Stromzufuhr zum Motor 6 dienen und als sonstige Signalleitungen benötigt werden. Die Schlauchleitung 10 ist eine Druckluftleitung, über welche Druckluft an ein im Motor 6 integriertes Luftlager zugeführt wird.

Bei der in Fig. 3 dargestellten Ausführungsform besitzt das Vorratselement 3 einen drehbar gelagerten Wickelkörper 11, der eine innere Wickeltrommel 12 enthält. Ein innerer Abschnitt 13 des Flachbandkabels 9 ist spiralförmig innerhalb der Wickeltrommel 12 angeordnet, wie dies weiter unten noch detaillierter beschrieben wird. Außerhalb einer äußeren Trom­ melwand 14 ist ein äußerer Abschnitt 15 des Flachbandkabels aufgewickelt, dessen Länge dem bei der Verfahrbewegung maxi­ mal erzielbaren Abstand zwischen Läufer 2 und Vorratselement 3 entspricht. Ohne die Notwendigkeit von Schleifkontakten ist das innere Ende des Flachbandkabels durch eine zentral ange­ ordnete, feststehende Hülse 16 geführt und an ein elektri­ sches Anschlußelement 17 gekoppelt.

Damit das Flachbandkabel 9 stets straff zwischen dem Läufer 2 und dem Vorratselement 3 verläuft, wirkt auf den Wickelkörper 11 eine Rückstellkraft ein, die hier von einer Spiralfeder 18 bereitgestellt wird. Die Spiralfeder 18 wird gespannt, wenn das Flachbandkabel von der äußeren Trommelwand 14 abgewickelt wird, so daß die Federkraft ein Aufwickeln des Flachbandka­ bels bewirkt, wenn der Läufer 2 den Abstand zum Vorratsele­ ment 3 verringert.

Die Bevorratung der Schlauchleitung 10 erfolgt in einem Wickelteller 20, der unmittelbar bzw. starr mit dem Wickel­ körper 11 verbunden ist. In der hier gezeigten Ausführungs­ form besitzt der Wickelteller 20 eine Wickelnut 21, in welcher die Schlauchleitung 10 spiralförmig aufgewickelt ist. Das innere Ende der Schlauchleitung 10 ist an eine drehbar gelagerte Rotationsverschraubung 22 angeschlossen. Die Rota­ tionsverschraubung 22 ist ihrerseits mit einem feststehenden Zuführkanal 23 gekoppelt, welcher im Drehzentrum des Vorrats­ elements, also innerhalb der Hülse 16 verläuft. Der Zuführka­ nal 23 endet im Fuß des Vorratselements 3 an einem gewöhnli­ chen Pneumatikanschluß 24. Sobald sich der Läufer 2 vom Vorratselement 3 entfernt, wird auch die Schlauchleitung 10 von dem Wickelteller 20 abgewickelt, vergleichbar zum Abwic­ keln des Flachbandkabels 9 von der äußeren Trommelwand 14.

Fig. 4 zeigt eine Detailansicht des Läufers und des Vorrats­ elements von oben. Es ist dabei erkennbar, daß die Schlauchleitung 10 und das Flachbandkabel im wesentlichen parallel vom Wickelkörper 11 abgewickelt und dem Läufer 2 zugeführt werden. Bei bestimmten Ausführungsformen wird die Schlauchleitung 10 dicker als das Flachbandkabel 9 sein, so daß sich auch bei gleichem Anfangsumfang der äußeren Trommel­ wand 14 einerseits und der Wickelnut 21 andererseits abwei­ chende Mengen des Umfangs der darauffolgenden Wickelebenen ergeben. Um trotzdem sicherzustellen, daß sowohl die Schlauchleitung 10 als auch das Flachbandkabel 9 unter allen Betriebsbedingungen straff zwischen dem Läufer 2 und dem Vorratselement 3 verlaufen, ist zusätzliche eine Spannvor­ richtung vorgesehen, die aus einer Spannrolle 26 und einer Spannfeder 27 besteht. Die Schlauchleitung 10 verläuft bis zu einer Klemmvorrichtung 28 parallel zum Flachbandkabel 9. An der Klemmvorrichtung 28 endet die freie Länge des Flachband­ kabels. Die Schlauchleitung wird über eine Umlenkrolle 29 geführt, und erstreckt sich über die Spannrolle 26 bis zu einem zweiten Pneumatikanschluß 30. Sobald aufgrund der unterschiedlichen Dicken zwischen Schlauchleitung und Flach­ bandkabel eine Längendifferenz auftritt, wird diese durch die in der Lage veränderte Spannrolle 26 ausgeglichen. Wenn Flachbandkabel und Schlauchleitung wieder auf das Vorratsele­ ment 3 aufgewickelt werden, wird die Spannfeder 27 weiter gedehnt, so daß die Schlauchleitung in eine Position zurück­ kehrt, die in der Fig. 4 gestrichelt dargestellt ist.

Fig. 5 zeigt das Vorratselement 3 in einer Ansicht von vorn. Es ist erkennbar, daß der Wickelteller 20 fest mit dem Wickelkörper 11 verbunden ist, so daß sich diese Elemente immer gemeinsam drehen, wenn Flachbandkabel und Schlauchlei­ tung ab- oder aufgewickelt werden müssen.

Fig. 6 zeigt den Wickelkörper 11 in einer vereinfachten Schnittansicht von oben. Dies dient der Verdeutlichung der besonderen Führung des Flachbandkabels 9, die einerseits das häufige Auf- bzw. Abwickeln ohne Beschädigung des Kabels ermöglicht und andererseits auf Schleifkontakte vollständig verzichten kann. Die im Drehzentrum angeordnete Hülse 16 ist feststehend, so daß auch die Kabeleinführung in die Hülse unbeweglich ist. Zwischen der Hülse 16 und der äußeren Trom­ melwand 14 ist die Wickeltrommel 12 ausgebildet, in welcher der innere Abschnitt 13 des Flachbandkabels spiralförmig angeordnet ist. Beim Auf- oder Abwickeln des Flachbandkabels dreht sich die äußere Trommelwand 14. Das Flachbandkabel durchdringt die äußere Trommelwand 14 an einem Durchlaß 31, wobei das Kabel an dieser Stelle befestigt ist. Auf der äuße­ ren Trommelwand 14 ist der äußere Abschnitt 15 des Kabels aufgewickelt. Beim Abwickeln dieses äußeren Abschnitts 15 des Kabels wird sich daher der spiralförmige innere Abschnitt 13 zusammenziehen, während sich diese Spirale wiederum öffnet, wenn das Flachbandkabel auf der äußeren Trommelwand 14 aufge­ wickelt wird.

Bei einer anderen Ausführungsform ändert sich der Richtungs­ sinn des Kabels am Durchlaß 31, so das der innere Abschnitt gegenläufig zum äußeren Kabelabschnitt verläuft. Es kommt dabei (anders als im vorgenannten Beispiel) zum Öffnen der inneren Spirale, wenn Kabel von der Trommelwand abgewickelt wird.

Die sichere Funktion dieser Wickeltrommel setzt voraus, das zumindest der innere Abschnitt des Kabels eine eigene Feder­ wirkung besitzt, was bei herkömmlichen Flachbandkabeln der Fall ist. Abweichend davon könnte in der Wickeltrommel noch eine zusätzliche Spiralfeder mit dem inneren Abschnitt des Kabels gekoppelt werden, um das Aufwickeln zu unterstützen.

Es sind abgewandelte Konstruktionen möglich, um unabhängig von der Lage des Läufers stets eine straffe Führung der Versorgungsleitungen zwischen dem Läufer und einem Vorrats­ element zu gewährleisten.

Bezugszeichenliste

1

Stator

2

Läufer

3

Vorratselement

4

Versorgungsleitungen

6

Motor

7

Gehäuseabschnitt

9

Flachbandkabel

10

Schlauchbildungen

11

Wickelkörper

12

Wickeltrommel

13

innerer Abschnitt des Kabels

14

äußere Trommelwand

15

äußerer Abschnitt des Kabels

16

Hülse

17

elektrisches Anschlußelement

18

Spiralfeder

20

Wickelteller

21

Wickelnut

22

Rotationsverschraubung

23

Zuführkanal

24

Pneumatikanschluß

26

Spannrolle

27

Spannfeder

28

Klemmvorrichtung

29

Umlenkrolle

30

zweiter Pneumatikanschluß

31

Durchlaß

Claims (14)

1. Energiezuführungsanordnung zum Anschluß eines Läufers (2) an Versorgungsleitungen, wobei der Läufer auf einem ebenen Stator (1) eines Antriebssystems verfahrbar angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein elektrisches Kabel (9) vom Läufer (2) zu einem außerhalb des Verfahrbereichs des Läufers liegenden Vorratselement (3) verläuft, daß das elektrische Kabel an seinem inneren Ende fest mit dem Vorratselement verbunden ist und in diesem spiralförmig aufwickelbar ist, und daß das Vorratselement eine Aufwic­ kelfeder (18) besitzt, deren Federkraft dimensioniert ist, um das Kabel unabhängig vom Abstand zwischen Läufer und Vorratselement jederzeit straff zu halten.

2. Energiezuführungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Vorratselement (3) eine Wickel­ trommel (12) besitzt, in welcher ein innerer Abschnitt (13) des Kabels spiralförmig aufgewickelt verläuft, daß das Kabel (9) eine äußere Trommelwand (14) der Wickeltrom­ mel durchdringt und daß ein äußerer Abschnitt (15) des Kabels auf die äußere Trommelwand aufgewickelt ist, wenn der Läufer (2) sich nahe beim Vorratselement (3) befindet, und von der äußeren Trommelwand abgewickelt wird, wenn sich der Läufer vom Vorratselement entfernt.

3. Energiezuführungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Abschnitt (13) und der äußere Abschnitt (15) des Kabels gleichsinnig spiralförmig im Vorratselement angeordnet sind.

4. Energiezuführungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Abschnitt (13) und der äußere Abschnitt (15) des Kabels gegenläufig spiralförmig im Vorratselement angeordnet sind, so daß sich beim Abwic­ keln des äußeren Abschnitts die Spirale des inneren Abschnitts öffnet.

5. Energiezuführungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Vorratselement (3) und dem Läufer (2) weiterhin eine Schlauchleitung (10) verläuft, welche ebenfalls im Vorratselement aufwickelbar ist, um auch die Schlauchleitung unabhängig vom Abstand zwischen Läufer und Vorratselement jederzeit straff zu halten.

6. Energiezuführungsanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Schlauchleitung (10) spiralförmig um einen drehbaren Wickelteller (20) verläuft und mit ihrem inneren Ende an eine Rotationsverschraubung (22) gekoppelt ist, die mit einem im Drehzentrum des Vorrats­ elements (3) feststehend angeordneten Zuführkanal (23) drehbar verbunden ist.

7. Energiezuführungsanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Wickelteller (20) eine Wickelnut (21) zur Führung und Aufnahme der Schlauchleitung (10) besitzt, wobei der Außenradius der äußeren Trommelwand (14) und der Innenradius der Wickelnut (21) im wesentli­ chen übereinstimmen, um für die Schlauchleitung und das Kabel (9) einen im wesentlichen gleichen Wickelumfang je Umdrehung bereit zu stellen.

8. Energiezuführungsanordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zum Ausgleich unterschied­ licher Dicken verschiedener Versorgungsleitungen (4 bzw. 9 und 10) die dickere Versorgungsleitung (10) über eine variable Spannvorrichtung (26, 27) verläuft.

9. Energiezuführungsanordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannvorrichtung eine auf dem Läufer (2) angeordnete Spannrolle (26) ist, die beweglich mit einer Spannfeder (27) gekoppelt ist.

10. Energiezuführungsanordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Schlauchleitung eine Druckluftleitung (10) ist, die im Läufer (2) integrierte Luftlager versorgt.

11. Energiezuführungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrische Kabel ein aus mehreren parallel verlaufenden Adern bestehendes Flachbandkabel (9) ist.

12. Energiezuführungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Läufer (2) und der Stator (1) gemeinsam einen Planarmotor bilden.

13. Planarmotor mit einem aktiven Läufer (2) und einem passi­ ven Stator (1), dadurch gekennzeichnet, daß die Energie­ versorgung des Läufers mit Hilfe einer Energiezuführungs­ anordnung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12 erfolgt.

14. Planarmotor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Läufer (2) auf einem gemeinsamen Stator (1) verfahrbar angeordnet sind, wobei jedem Läufer eine eigene Energiezuführungsanordnung mit einem Vorratsele­ ment (3) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12 zugeordnet ist, und wobei alle Vorratselemente (3) außerhalb einer Lauffläche des Stators angeordnet sind, auf welcher die Läufer verfahrbar sind.