DE10040867A1 - Mikroschalter - Google Patents
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Abstract
Der Mikroschalter ist aus einem überwiegend plattenförmig ausgebildeten Substrat gefertigt und weist mindestens folgende Bestandteile auf: DOLLAR A ein auf dem Substrat angebrachtes feststehendes Kontaktstück (7, 9), DOLLAR A ein bewegliches Kontaktstück (6), welches in der Einschaltstellung des Schalters das feststehende Kontaktstück (7, 9) elektrisch kontaktiert und in der Ausschaltstellung des Schalters vom feststehenden Kontaktstück getrennt ist, DOLLAR A einen das bewegliche Kontaktstück (6) haltenden, biegbaren Kontaktträger (1), welcher mit zwei Enden (2, 3) am Substrat festgesetzt ist, und DOLLAR A einen den Kontaktträger (1) durch elastisches Verformen in die Ein- oder Ausschaltstellung führenden Antrieb (10). DOLLAR A Der Kontaktträger (1) ist substratparallel verformbar. In einer der Ausschaltstellung entsprechenden stabilen Lage weist der Kontaktträger (1) die Form eines symmetrischen Schwingungsbauchs auf. In einer der Einschaltstellung entsprechenden stabilen Lage ist der Kontaktträger (1) nach Art eines asymmetrisch ausgebildeten Schwingungsbauchs verformt. DOLLAR A Dieser Schalter weist sowohl in der Ein- als auch in der Ausschaltstellung jeweils eine stabile Lage auf. Daher ist unabhängig von zusätzlicher Kraft oder von zusätzlichen Sicherungsmitteln stets eine sichere Kontaktgabe bzw. eine sichere Kontakttrennung gewährleistet.
Description
Bei der Erfindung wird ausgegangen von einem Mikroschalter nach dem Oberbegriff
von Patentanspruch 1. Ein solcher Schalter ist auf einem Substrat angebracht und
weist eine zum Ein- oder Ausschalten eines Stroms vorgesehene Kontaktanordnung
und einen elektrisch betätigbaren Antrieb für ein bewegliches Kontaktstück der
Kontaktanordnung auf. Mit dem Antrieb, der beispielsweise elektrostatisch,
elektromagnetisch, piezoelektrisch oder thermisch arbeiten kann, wird das bewegliche
Kontaktstück von einer Ausschaltstellung in eine Einschaltstellung oder umgekehrt
bewegt, wobei ein durch Biegen elastisch verformbarer Kontaktträger für eine
Rückstellkraft sorgt.
Der Mikroschalter kann durch bekannten Verfahren der Halbleitertechnologie oder
vergleichbare Verfahren der Mikrotechnik hergestellt werden und eignet sich daher
besonders zur Integration mit anderen halbleitertechnologischen Einrichtungen,
insbesondere integrierten Schaltungen.
Daneben hat der Mikroschalter im Vergleich zu konventionellen elektromagnetischen
Schaltern aufgrund der kleinen bewegten Massen außerordentlich schnelle
Ansprechzeiten. Gleichzeitig sind die notwendigen Schaltleistungen sehr gering, so
daß sich insbesondere bei mehrfacher Verwendung in einer grösseren Schaltung
erhebliche Leistungseinsparungen erzielen lassen.
Mit dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 nimmt die Erfindung auf einen Stand der
Technik von Mikroschaltern bezug, wie er beispielsweise in US 5,638,946 A
angegeben ist. Ein in Fig. 4 dieses Dokuments beschriebener Mikroschalter enthält ein
plattenförmig ausgebildetes Substrat, auf dessen Oberfläche die beiden elektrisch
leitfähig ausgebildeten Endteile 96a, 96b eines U-förmig gebogenen, flexiblen
Kontakträgers befestigt sind. Am Kontaktträger ist elektrisch isoliert ein
Brückenkontaktstück 99 angebracht. Auf der Substratoberfläche sind ferner zwei
feststehende Kontaktstücke 94 und 94' sowie zwei Steuerelektroden 92a und 92b
angeordnet. Beim Betrieb dieses Schalters wird an die Steuerelektrode 92a und das
Endteil 96a oder an die Steuerelektrode 92b und das Endteil 96b ein elektrisches Feld
angelegt, welches den Kontaktträger in Richtung auf die Substratoberfläche verbiegt.
Der Brückenkontakt 99 schliesst dann die beiden Kontaktstücke 94, 94' kurz und
Strom kann nun vom Kontaktstück 94 über den Brückenkontakt 99 zum Kontaktstück
94' fliessen. Das elektrische Feld hält den Brückenkontakt gegen die Federkraft des
Kontaktträgers in der Einschaltstellung. Zum Öffnen des Schalters wird das elektrische
Feld durch Änderung der Spannung der Steuerelektrode 92a bzw. 92b reduziert und
die Verbiegung des Kontaktträgers unter Trennen der Kontakte wieder rückgängig
gemacht. Die vom Antrieb aufgebrachte Kraft ist verhältnismässig gering. Zudem
öffnet der Schalter bei einer unbeabsichtigten Schwächung oder bei Ausfall des
elektrischen Feldes in unerwünschter Weise.
Die Erfindung, wie sie in den Patentansprüchen definiert ist, löst die Aufgabe, einen
Mikroschalter der eingangs genannten Art anzugeben, welcher mit geringem Kraft-
und Energieaufwand betrieben werden kann und welcher sich zugleich durch grosse
Betriebssicherheit auszeichnet.
Beim Mikroschalter nach der Erfindung ist der an beiden Enden festgesetzte, flexible
Kontaktträger parallel zum plattenförmigen Substrat verformbar ausgebildet und weist
zwei durch elastische Verformung des Kontaktträgers erreichbare stabile Lagen auf,
von denen die eine der Ausschalt- und die andere der Einschaltstellung zugeordnet
ist. Ein den Übergang von der Ausschalt- in die Einschaltstellung und umgekehrt von
der Einschalt- in die Ausschaltstellung bewirkender Schalterantrieb muss bei einem
Schaltvorgang daher lediglich eine vergleichsweise geringe Verformungsenergie
aufbringen. Da durch die beiden stabilen Lagen eine sichere Kontaktgabe bzw. eine
sichere Kontakttrennung gewährleistet ist, ist auch ohne zusätzliche Sicherungsmittel
bzw. ohne zusätzliche Kraft, wie sie etwa durch ein elektrisches Feld hervorgerufen
wird, eine hohe Betriebssicherheit des Schalters gewährleistet. Hierbei wird in
vorteilhafter Weise ausgenutzt, dass eine der beiden stabilen Lagen durch Einformung
eines als symmetrischer Schwingungsbauch ausgebildeten Kontaktträgers bereits bei
der Herstellung des Schalters, beispielsweise durch tiefes, reaktives Ionenätzen
(DRIE), erreicht wird. Zugleich wurde erkannt, dass die andere der beiden stabilen
Lagen erreicht werden kann, wenn der symmetrische Schwingungsbauch durch
elastische Verformung in einen asymmetrisch ausgebildeten Schwingungsbauch
überführt wird. Da der Kontaktträger beim Übergang von der einen in die andere
stabile Lage einen relativ grossen Hub ausführt, zeichnet sich eine beim Ausschalten
gebildete und durch den Hub definierte Trennstrecke zwischen den geöffneten
Kontakten des Schalters durch hohe dielektrische Festigkeit aus.
Ein asymmetrisch ausgebildeter Schwingungsbauch lässt sich erreichen, wenn das
feststehende Kontaktstück an der Stelle, an der es das bewegliche Kontaktstück
berührt, einen kleineren Abstand von einem der beiden Enden des Kontaktträgers
aufweist als von dessen anderem Ende. Zweckmässigerweise sollte hierbei jedoch der
Wert einer parallel zur Verbindungsstrecke zwischen den beiden Kontaktträgerenden
geführten Lagekoordinate am Ort der Kontaktstelle zwischen dem 0,08- und dem
0,48-fachen der Länge der Verbindungsstrecke liegen, da sonst die Lagestabilität zu
stark herabgesetzt wird. Um eine grosse Trennstrecke und damit hohe
Spannungsfestigkeit zu erhalten, sollte bei oberhalb der Verbindungsstrecke
liegendem, symmetrisch ausgebildetem Schwingungsbauch die Kontaktstelle auf oder
unterhalb der Verbindungsstrecke angeordnet sein.
Wird die Trennstelle des Schalters lediglich vom feststehenden und dem beweglichen
Kontaktstück begrenzt, so sollte der Kontaktträger zumindest zwischen einem seiner
beiden Enden und dem beweglichen Kontaktstück elektrisch leitend ausgebildet sein.
Eine zusätzliche Stromzuführung zum beweglichen Kontaktstück kann dann
eingespart werden. Ist hingegen das bewegliche Kontaktstück als Brückenkontakt
ausgebildet und ist auf dem Substrat ein weiteres feststehendes Kontaktstück
angeordnet, welches wie das andere feststehende Kontaktstück in der
Einschaltstellung mit dem Brückenkontakt kontaktiert ist, so sollte der Kontaktträger
gegenüber dem Substrat bzw. der Brückenkontakt gegenüber dem Kontaktträger
elektrisch isoliert sein.
Bei einem besonders betriebssicher ausgebildeten Ausführungsform des
Mikroschalters nach der Erfindung weist der Schalterantrieb zwei unabhängig
voneinander verschiebbare mechanische Betätigungselemente auf, von denen eines
den Kontaktträger beim Einschalten mit einer Kraft beaufschlagt, welche erforderlich
ist, um durch elastisches Verformen des Kontaktträgers den Einschaltzustand zu
erreichen und das andere den Kontaktträger beim Ausschalten mit einer Kraft
beaufschlagt, welche erforderlich ist, um durch elastisches Verformen des
Kontaktträgers den Ausschaltzustand zu erreichen. In Verschieberichtung sollte
mindestens eines der beiden Betätigungselemente einen spitzen Winkel mit der
Tangentialebene im Auflagepunkt dieses Betätigungselements auf dem Kontaktträger
bilden. Es kann dann nämlich mit vergleichsweise kleiner Antriebskraft die
Verformungsarbeit beim Ein- oder Ausschalten geleistet werden. Ein hierzu besonders
geeigneter Antrieb mit grossem Hub bei vergleichsweise geringer Kraft ist ein Antrieb
mit zwei elektrostatisch wirkenden Kammstrukturen, von denen je eine mit je einem
der beiden Betätigungselemente zusammenwirkt. Ein solcher Antrieb kann zusammen
mit der Kontaktträger in wirtschaftlich vorteilhafter Weise, vorzugsweise durch ein
Ionenätzverfahren, aus dem Substrat herausgearbeitet werden.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen erläutert. Es
zeigt:
Fig. 1 in stark vereinfachter Darstellung eine Kontaktanordnung eines
Mikroschalters,
Fig. 2 in stark vereinfachter Darstellung eine Kontaktanordnung einer ersten
Ausführungsform eines Mikroschalters nach der Erfindung,
Fig. 3 in stark vereinfachter Darstellung eine Kontaktanordnung einer zweiten
Ausführungsform eines Mikroschalters nach der Erfindung, und
Fig. 4 die zweite Ausführungsform des Mikroschalters nach der Erfindung, in der
neben der Kontaktanordnung gemäss Fig. 3 nun auch ein Antrieb für die
Kontaktanordnung stark vereinfacht dargestellt ist.
In allen Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen auch gleichwirkende Teile. Die in
den Fig. 1 bis 3 dargestellten Kontaktanordnungen von Mikroschaltern sind jeweils
mikromaschnell, d. h. durch Auftrag- und Ätzverfahren, aus einem in der Papierebene
erstreckten plattenförmigen Substrat herausgearbeitet. Das Substrat ist schichtförmig
aufgebaut und weist vergrabene Schichten auf, welche an geeigneten Stellen entfernt
werden konnten, um bestimmte Teile des Substrats bewegbar zu gestalten. Analog zu
mikroelektronischen Verfahren ist als Strukturmaterial Silizium besonders geeignet, da
es bei geeigneter Dotierung je nach Anforderung sowohl elektrisch isolierend als auch
elektrisch leitfähig ausgeführt sein kann. Die vergrabenen Schichten werden von SiO2
gebildet. Bei Verwendung von Silizium auf SiO2 oder einem anderen Isolator kann
dabei auf bekannte SOI (Silicon on Insulator)-Strukturen zurückgegriffen werden,
insbesondere, wenn einkristallines Silizium als Baumaterial bevorzugt ist, auf SIMOX-
Wafer.
In das Substrat wurde bei allen Kontaktanordnungen ein als Stab oder Blatt
ausgebildeter, biegbaren Kontaktträger 1 eingeätzt, welcher mit seinen beiden Enden
2, 3 an zwei Substratstufen 4, 5 befestigt ist. Der Kontaktträger 1 wirkt wie eine
Biegefeder und weist eine beim Ätzen erzeugte stabile Lage auf, bei der er nach Art
eines symmetrischen (in den Figuren nach oben gerichteteten) Schwingungsbauchs
geformt ist. Am Kontaktträger 1 ist ein bewegliches Kontaktstück 6 angebracht,
welches in der Einschaltstellung des Schalters ein feststehendes Kontaktstück 7 der
Kontaktanordnung elektrisch kontaktiert und in der Ausschaltstellung des Schalters
vom feststehenden Kontaktstück 7 getrennt ist. Bei den Kontaktanordnungen nach
den Fig. 1 und 2 ist der zwischen dem Ende 2 und dem beweglichen Kontaktstück
6 befindliche Abschnitt des Kontaktträgers 1 elektrisch leitend ausgebildet und ist in
die Stufe 4 ein mit dem Ende 2 elektrisch leitend verbundener Stromanschluss 8
eingelagert. Der zweite Stromanschluss der Kontaktanordnung ist direkt mit dem
feststehende Kontaktstück 7 verbunden. Bei der Kontaktanordnung nach Fig. 3 ist das
bewegliche Kontaktstück 6 als elektrisch isoliert im Kontaktträger 1 angeordneter
Brückenkontakt ausgebildet bzw. der ganze Kontaktträger 1 ist gegenüber dem
Substrat elektrisch isoliert. Auf dem Substrat ist ein weiteres feststehendes
Kontaktstück 9 angeordnet. Die beiden Stromanschlüsse der Kontaktanordnung sind
jeweils mit einem der beiden feststehenden Kontaktstücke 7, 9 elektrisch leitend
verbunden.
Durch einen aus Fig. 4 ersichtlichen Antrieb 10 kann der Kontaktträger 1 bei allen drei
Kontaktanordnungen substratparallel, d. h. parallel zur Papierebene, biegeelastisch
verformt werden. In der nach oben weisenden stabilen Lage des Kontaktträgers sind
bei allen drei Kontaktanordnungen die Kontaktstücke 6 und 7 bzw. 6, 7 und 9
voneinander getrennt. Der zugeordnete Mikroschalter befindet sich dann also in seiner
Ausschaltstellung. Zum Einschalten wird durch den Antrieb 10 der Kontaktträger 1 mit
einer Verformungskraft F beaufschlagt und unter biegeelastischer Verformung solange
nach unten geführt bis die Kontakte 6 und 7 bzw. 6 und 7 sowie 6 und 9 einander
kontaktieren.
Bei der Kontaktanordnung nach Fig. 1 muss der Antrieb nicht nur die
Verformungsarbeit aufbringen, sondern muss dann in der in Fig. 1 punktiert
dargestellten Einschaltstellung während der gesamten Einschaltdauer beständig auch
die durch die biegeelastische Verformung des Kontaktträgers 1 hervorgerufene
Biegekraft und zusätzlich auch eine die Kontaktstücke zusammenpressende
Kontaktkraft aufbringen.
Hingegen wird bei den Ausführungsformen der Kontaktanordnung nach den Fig. 2
und 3 eine (durchgezogen dargestellte) stabile Einschaltstellung erreicht, bei der der
Kontaktträger 1 nach Art eines asymmetrisch ausgebildeten Schwingungsbauchs
verformt ist (eine der Kontaktanordnung nach Fig. 1 entsprechende nichtstabile
symmetrische Einschaltstellung ist punktiert dargestellt). Durch die nach Art eines
asymmetrisch ausgebildeten Schwingungsbauchs ausgebildete Verformung wird nicht
nur eine stabile Lage erreicht, sondern infolge Schnappwirkung zugleich auch
Kontaktkraft K, welche beim Ausschalten vom Antrieb 10 wieder aufgehoben werden
muss. Die Schnappwirkung wird dadurch erzielt, dass das feststehende Kontaktstück
7 an der Kontaktstelle mit dem beweglichen Kontaktstück 6 einen kleineren Abstand
von Ende 2 des Kontaktträgers 1 aufweist als von dessen Ende 3. Um durch
Schnappwirkung noch ausreichend hohe Kontaktkraft zu erreichen, sollte der Wert x
einer parallel zur Verbindungsstrecke 11 der Länge L zwischen den beiden
Kontaktträgerenden 2, 3 geführten Lagekoordinate am Ort der Kontaktstelle 12 der
beiden Kontakte 6 und 7 zwischen dem 0,08- und dem 0,48-fachen der Länge L der
Verbindungstrecke liegen. Wie aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich ist, liegt in der
Einschaltposition die Kontaktstelle 12 unterhalb der Verbindungsstrecke 11. Eine für
höhere Spannungen ausreichend hohe dielektrische Festigkeit der bei geöffneten
Kontakten vorhandenen Kontakttrennstrecke wird so erzielt.
Wie Fig. 4 entnehmbar ist, weist der Antrieb 10 zwei unabhängig voneinander
verschiebbare mechanische Betätigungselemente 13, 14 auf, von denen das
Betätigungselement 13 den Kontaktträger 1 beim Einschalten mit einer Kraft F
beaufschlagt, welche erforderlich ist, um durch elastisches Verformen des
Kontaktträgers 1 den Einschaltzustand zu erreichen. Das zweite Betätigungselement
14 beaufschlagt den Kontaktträger 1 beim Ausschalten mit einer Gegenkraft, welche
erforderlich ist, um durch elastisches Verformen des Kontaktträgers 1 die Kontaktkraft
K aufzuheben und den Ausschaltzustand zu erreichen. Die Verschieberichtung der
beiden Betätigungselemente bildet einen spitzen Winkel (α, α' gemäss Fig. 4) mit der
Tangentialebene im Auflagepunkt dieses Betätigungselements auf dem Kontaktträger.
Das Betätigungselement kann dann mit relativ geringer Kraft eine grosse
Verformungskraft aufbringen. Beim Ausschalten wird ein Umschnappunkt bereits nach
einem kleineren Weg und bei einer kleineren Gegenkraft erreicht als beim
Einschalten. Der Mikroschalter kann daher wesentich schneller geöffnet als
geschlossen werden.
Der Antrieb weist zwei mit Gleichspannung U, U' beaufschlagbare, elektrostatisch
wirkende Kammstrukturen 15, 16 sowie zwei Rückstellfedern 17, 18 auf. Je eine der
beiden Kammstrukturen und je eine der beiden Rückstellfedern wirkt mit je einem der
beiden Betätigungselemente zusammen. Zum Einschalten wird an die Kammstruktur
15 die Spannung U angelegt. Ein mit dem Betätigungselement 13 verbundener und an
der Rückstellfeder 17 beweglich gelagerter Kamm der Kammstruktur 15 wird in einen
feststehenden Kamm der Kammstruktur hineingezogen und spannt hierbei die
Rückstellfeder 17. Das Betätigungselement 13 verbiegt dabei den Kontaktträger 1 und
führt ihn zum Umschnappunkt, von wo aus er das bewegliche Kontaktstück 7 unter
Bildung der Kontaktkraft K in die Einschaltstellung einfedert. Die Spannung U kann
nun weggenommen werden. Das Betätigungselement 13 wird durch die Rückstellfeder
17 wieder in seine Ausgangslage zurückgeführt und ist für einen neuerlichen
Einschaltvorgang bereits. Im entsprechender Weise wird beim Ausschalten ein mit
dem Betätigungselement 14 verbundener und an der Rückstellfeder 18 beweglich
gelagerter Kamm der Kammstruktur 16 in einen feststehenden Kamm der
Kammstruktur 16 hineingezogen und hierbei die Rückstellfeder 18 gespannt. Das
Betätigungselement 14 verbiegt dabei den Kontaktträger 1 und führt ihn bis zum
Umschnappunkt, von wo aus er in die ursprüngliche Lage zurückfedert.
1
Kontaktträger
2
,
3
Enden des Kontaktträgers
4
,
5
Substratstufen
6
bewegliches Kontaktstück
7
,
9
feststehende Kontaktstücke
8
Stromanschluss
9
Ring
10
Antrieb
11
Verbindungsstrecke
12
Kontaktstelle
13
,
14
Betätigungselemente
15
,
16
elektrostaische Kammstrukturen
17
,
18
Rückstellfedern
α, α' spitze Winkel
U, U' Gleichspannungen
L Streckenlänge
x Abstand
α, α' spitze Winkel
U, U' Gleichspannungen
L Streckenlänge
x Abstand
Claims (10)
1. Mikroschalter mit einem überwiegend plattenförmig ausgebildeten Substrat,
einem auf dem Substrat angebrachten feststehenden Kontaktstück (7, 9), einem
beweglichen Kontaktstück (6), welches in der Einschaltstellung des Schalters
das feststehende Kontaktstück (7, 9) elektrisch kontaktiert und in der
Ausschaltstellung des Schalters vom feststehenden Kontaktstück getrennt ist,
einem das bewegliche Kontaktstück (6) haltenden, biegbaren Kontaktträger (1),
welcher mit zwei Enden (2, 3) am Substrat festgesetzt ist, und einem den
Kontaktträger (1) durch elastisches Verformen in die Ein- oder Ausschaltstellung
führenden Antrieb (10), dadurch gekennzeichnet, dass der Kontaktträger (1)
substratparallel verformbar ist, dass in einer der Ausschaltstellung
entsprechenden ersten stabilen Lage der Kontaktträger (1) die Form eines
symmetrischen Schwingungsbauchs aufweist, und dass in einer der
Einschaltstellung entsprechenden zweiten stabilen Lage der Kontaktträger (1)
nach Art eines asymmetrisch ausgebildeten Schwingungsbauchs geformt ist.
2. Mikroschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das feststehende
Kontaktstück (7, 9) an einer Kontaktstelle (12) mit dem beweglichen Kontaktstück
(6) einen kleineren Abstand von einem ersten (2) beider Enden (2, 3) des
Kontaktträgers (1) aufweist als von dessen zweiten Ende (3).
3. Mikroschalter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Wert (x) einer
parallel zur Verbindungsstrecke (11) zwischen den beiden Kontaktträgerenden
(2, 3) geführten Lagekoordinate am Ort der Kontaktstelle (12) zwischen dem
0,08- und dem 0,48-fachen der Länge der Verbindungstrecke (11) liegt.
4. Mikroschalter nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass bei oberhalb der
Verbindungsstrecke (11) liegendem, symmetrisch ausgebildetem
Schwingungsbauch die Kontaktstelle (12) auf oder unterhalb der
Verbindungsstrecke (11) angeordnet ist.
5. Mikroschalter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass
der Kontaktträger (1) zumindest zwischen einem seiner beiden Enden (2, 3) und
dem beweglichen Kontaktstück (6) elektrisch leitend ausgebildet.
6. Mikroschalter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass
das bewegliche Kontaktstück (6) als Brückenkontakt ausgebildet ist, und dass
auf dem Substrat ein weiteres feststehendes Kontaktstück (9) angeordnet ist,
welches in der Einschaltstellung mit dem Brückenkontakt kontaktiert ist.
7. Mikroschalter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass
der Antrieb (10) zwei unabhängig voneinander verschiebbare mechanische
Betätigungselemente (13, 14) aufweist, von denen ein erstes (13) den
Kontaktträger (1) beim Einschalten mit einer Kraft beaufschlagt, welche
erforderlich ist, um durch elastisches Verformen des Kontaktträgers (1) den
Einschaltzustand zu erreichen und ein zweites (14) den Kontaktträger (1) beim
Ausschalten mit einer Kraft beaufschlagt, welche erforderlich ist, um durch
elastisches Verformen des Kontaktträgers (1) den Ausschaltzustand zu
erreichen.
8. Mikroschalter nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die
Verschieberichtung mindestens eines der beiden Betätigungselemente (13, 14)
einen spitzen Winkel (α, α') mit der Tangentialebene im Auflagepunkt dieses
Betätigungselements auf dem Kontaktträger (1) bildet.
9. Mikroschalter nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet,
dass der Antrieb (10) zwei elektrostatisch wirkende, federbelastete
Kammstrukturen (15, 16) aufweist, von denen je eine mit je einem der beiden
Betätigungselemente (13, 14) zusammenwirkt.
10. Mikroschalter nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest der
Kontaktträger (1) und/oder der Antrieb (10) vorzugsweise durch ein
Ionenätzverfahren aus dem Substrat herausgearbeitet sind.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10040867A DE10040867A1 (de) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | Mikroschalter |
EP01957680A EP1312100B1 (de) | 2000-08-21 | 2001-08-20 | Mikroschalter |
DE50112194T DE50112194D1 (de) | 2000-08-21 | 2001-08-20 | Mikroschalter |
AU2001279543A AU2001279543A1 (en) | 2000-08-21 | 2001-08-20 | Microswitch |
US10/344,278 US6743989B2 (en) | 2000-08-21 | 2001-08-20 | Microswitch |
AT01957680T ATE357052T1 (de) | 2000-08-21 | 2001-08-20 | Mikroschalter |
PCT/CH2001/000508 WO2002017342A1 (de) | 2000-08-21 | 2001-08-20 | Mikroschalter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10040867A DE10040867A1 (de) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | Mikroschalter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10040867A1 true DE10040867A1 (de) | 2002-05-23 |
Family
ID=7653183
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10040867A Withdrawn DE10040867A1 (de) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | Mikroschalter |
DE50112194T Expired - Lifetime DE50112194D1 (de) | 2000-08-21 | 2001-08-20 | Mikroschalter |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE50112194T Expired - Lifetime DE50112194D1 (de) | 2000-08-21 | 2001-08-20 | Mikroschalter |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6743989B2 (de) |
EP (1) | EP1312100B1 (de) |
AT (1) | ATE357052T1 (de) |
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- 2001-08-20 AU AU2001279543A patent/AU2001279543A1/en not_active Abandoned
- 2001-08-20 DE DE50112194T patent/DE50112194D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-20 EP EP01957680A patent/EP1312100B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-20 WO PCT/CH2001/000508 patent/WO2002017342A1/de active IP Right Grant
- 2001-08-20 US US10/344,278 patent/US6743989B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-20 AT AT01957680T patent/ATE357052T1/de not_active IP Right Cessation
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EP1312100A1 (de) | 2003-05-21 |
DE50112194D1 (de) | 2007-04-26 |
EP1312100B1 (de) | 2007-03-14 |
ATE357052T1 (de) | 2007-04-15 |
US20030169136A1 (en) | 2003-09-11 |
WO2002017342A1 (de) | 2002-02-28 |
AU2001279543A1 (en) | 2002-03-04 |
US6743989B2 (en) | 2004-06-01 |
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