DE10039558A1 - Vorrichtung zur Sprühbehandlung von Leiterplatten - Google Patents

Abstract

Es wird eine Vorrichtung zur Sprühbehandlung von Leiterplatten vorgeschlagen. Sie verfügt über Transportmittel zum Transportieren der Leiterplatten (2) mit horizontal ausgerichteter Leiterplattenebene. Oberhalb der Transportebene (7) ist eine Düseneinrichtung (16) zum Besprühen der Oberseite (13) der Leiterplatten (2) mit einem flüssigen Behandlungsmittel vorgesehen. Die Vorrichtung ist mit einer Absaugeinrichtung (26) ausgestattet, die ein Absaugen des aufgesprühten Behandlungsmittels von der Oberseite (13) der Leiterplatten (2) während des Besprühvorganges ermöglicht. Auf diese Weise wird ein Rückstau des Behandlungsmittels verhindert und ein qualitativ hochwertiger Behandlungsvorgang gewährleistet.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Sprühbehandlung von Leiterplatten bei der Leiterplattenfertigung, mit Trans­ portmitteln zum Transportieren der Leiterplatten mit horizon­ tal ausgerichteter Leiterplattenebene, und mit einer oberhalb der Transportebene der Leiterplatten angeordneten Düsenein­ richtung zum Besprühen der Oberseite der Leiterplatten mit einem flüssigen Behandlungsmittel.

Eine derartige Vorrichtung geht aus dem deutschen Gebrauchs­ muster G 94 07 413.5 hervor und kann beispielsweise bei der Ätzbehandlung von Leiterplatten im Rahmen der Leiterplatten­ fertigung eingesetzt werden. Schon der bekannten Vorrichtung lag das Problem zugrunde, daß die von oben her auf die hori­ zontal transportierten Leiterplatten aufgesprühte Behand­ lungsflüssigkeit nicht rasch genug abfloss, so daß sich ein Flüssigkeitsstau einstellte, der zu einer ungleichmäßigen Be­ handlung und eventuell sogar zu einer Beschädigung der Lei­ terplatten führte. Um diesem Problem zu begegnen, hat man in der G 94 07 413.5 vorgeschlagen, die Düseneinrichtung derart auszubilden, daß das ausgesprühte Behandlungsmittel mit einem bevorzugten Richtungssinn quer zur Transportrichtung von den Leiterplatten abfließt. Wie sich jedoch herausgestellt hat, ist auch bei einer derart modifizierten Vorrichtung nicht immer ein optimales Behandlungsergebnis gewährleistet, zumal dann, wenn der Abströmvorgang durch maschineninterne Instal­ lationen behindert wird.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die einen qualitativ hochwertigen, gleichmäßigen Behandlungsvorgang der Leiterplatten ermöglichen.

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art, die mit einer Absaugeinrichtung zum Absaugen des aufgesprühten Behandlungsmittels von der Oberseite der Leiterplatten während des Besprühvorganges ausgestattet ist.

Somit ergibt sich eine Vorrichtung, bei der ein und dieselbe Leiterplatte von oben her jeweils gleichzeitig einem Besprüh­ vorgang und einem Absaugvorgang ausgesetzt ist. Die Leiter­ platten werden beim Durchlaufen der Vorrichtung mit dem ge­ wünschten flüssigen Behandlungsmittel besprüht, beispielswei­ se mit Ätz-, Entwicklungs-, oder Spülflüssigkeit, wobei dem Besprühvorgang ein Absaugvorgang parallel geschaltet ist, im Rahmen dessen die aufgesprühte Flüssigkeit direkt von der Oberseite der Leiterplatten abgesaugt wird. Auf diese Weise wird einem Flüssigkeitsstau vorgebeugt und auch bei ein übli­ ches Abströmen der Flüssigkeit behindernden technischen In­ stallationen werden die Leiterplatten sehr effektvoll von Flüssigkeitsrückständen befreit. Die Absaugeinrichtung arbei­ tet vorteilhaft auch bei Behandlungsvorrichtungen, deren Dü­ seneinrichtung keine quer orientierte bevorzugte Abströmrichtung des Behandlungsmittels erzeugen, doch lässt sie sich durchaus vorteilhaft mit einer entsprechenden Gestaltung der Düseneinrichtung, vergleichbar dem in der G 94 07 413.5 ge­ schilderten Aufbau, kombinieren.

Es versteht sich, daß die Absaugeinrichtung in der Regel nicht das gesamte aufgesprühte Behandlungsmittel entfernen kann. Die Absaugintensität kann jedoch problemlos so gewählt werden, daß der Effekt der sich einstellenden zwangsweisen Flüssigkeitsabfuhr das Behandlungsergebnis sehr positiv be­ einflusst.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Un­ teransprüchen hervor.

Zweckmäßigerweise ist die Düseneinrichtung so ausgebildet, daß sie mindestens eine Besprühzone definiert, wobei der Be­ sprühzone mit Bezug zur Transportrichtung der Leiterplatten vor- und/oder nachgeordnete Absaugzonen der Absaugeinrichtung zugeordnet sind. Das Absaugergebnis ist optimal, wenn sowohl eine der jeweiligen Besprühzone vorgeordnete als auch eine nachgeordnete Absaugzone vorhanden ist, da in diesem Falle das aufgesprühte Behandlungsmittel sowohl vorne als auch hin­ ten zuverlässig abgesaugt wird und eine Staubildung unter­ bleibt.

Besonders vorteilhaft ist eine Ausführungsform, bei der meh­ rere in der Transportrichtung der Leiterplatten mit Abstand aufeinanderfolgend angeordnete Besprühzonen vorgesehen sind, die jeweils durch eine vorgeordnete und eine nachgeordnete Absaugzone flankiert sind.

Die Absaugeinrichtung ist insbesondere derart ausgebildet, daß sie ihre Absaugwirkung über die gesamte Leiterplatten­ breite hinweg entfaltet.

Die Absaugeinrichtung verfügt vorzugsweise über eine Saugdü­ senanordnung, die unmittelbar oberhalb der Transportebene der Leiterplatten plaziert ist und die zweckmäßigerweise mindes­ tens eine Saugdüseneinheit aufweist, die aus einer oder meh­ reren sich quer zur Transportebene erstreckenden Saugdüsen besteht. Bei einer konstruktiv besonders einfachen Lösung sind die Saugdüseneinheiten von Saugrohren gebildet, die mit einer oder mehreren schlitzartigen Öffnungen versehen sind, welche die Saugdüsen repräsentieren.

Die Transportmittel für die Leiterplatten verfügen zweckmäßi­ gerweise über untere Transportrollen, auf denen die Leiter­ platten während des Besprüh- und Absaugvorganges entlang lau­ fen. Zusätzlich können obere Transportrollen vorgesehen sein, die die Oberseite der Leiterplatten beaufschlagen, um eine exakte Führung zu gewährleisten und eventuell auch zur siche­ ren Fixierung gegenüber der Sogwirkung von oben her. Die obe­ ren Transportrollen können vertikal beweglich sein, um eine selbsttätige Anpassung an die Dicke der jeweiligen Leiter­ platte zu erhalten.

Sofern die Absaugeinrichtung derart ausgeführt ist, daß sie in nur einer oder zweckmäßigerweise in mehreren, in Trans­ portrichtung beabstandeten Absaugzonen wirksam ist, kann in zumindest einer und vorzugsweise in jeder Absaugzone eine sich quer zur Transportrichtung erstreckende Saugdüsenein­ heit, also beispielsweise ein Saugrohr, vorgesehen sein, der Transportrollen sowohl vorgeordnet als auch nachgeordnet sind. Es besteht die Möglichkeit, eine jeweilige Saugdüsen­ einheit mit den benachbarten oberen Transportrollen zu einer separat handhabbaren Absaugeinheit zusammenzufassen, die sich unabhängig von anderen Absaugeinheiten installieren oder aus­ wechseln lässt.

Die Transportrollen können beispielsweise von einzelnen, mit gleicher Drehachse zueinander beabstandeten Rollen gebildet sein, es wäre aber auch beispielsweise eine walzenartige Aus­ gestaltung möglich.

Der für die Absaugwirkung benötigte Unterdruck wird vorzugs­ weise innerhalb der Vorrichtung selbst erzeugt. Dabei kann die Vorrichtung ein zur Aufnahme von Behandlungsmittel die­ nendes Vorratsbehältnis aufweisen, dem ein mit einer Umwälz­ pumpe ausgestatteter Umwälzkreis zugeordnet ist, in den eine Ejektoreinrichtung eingeschaltet ist. Durch das umgewälzte Medium wird in der Ejektoreinrichtung eine Saugwirkung her­ vorgerufen, die sich an der Saugseite der Ejektoreinrichtung abgreifen und beispielsweise einer Saugdüsenanordnung aufge­ schaltet werden kann. Zweckmäßigerweise wird aus dem Vorrats­ behältnis gleichzeitig auch die für die Sprühbehandlung zuständige Düseneinrichtung gespeist, zu welchem Zweck eine weitere Pumpe vorgesehen sein kann.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beliegenden Zeich­ nung näher erläutert. In dieser zeigen:

Fig. 1 eine erste Bauform der erfindungsgemäßen Vorrich­ tung in Seitenansicht und stark schematisiert,

Fig. 2 den in Fig. 1 strichpunktiert umrandeten Bereich II in vergrößerter Einzeldarstellung, und

Fig. 3 den Ausschnitt aus Fig. 2 in Draufsicht gemäß Schnittlinie III-III.

Die in Fig. 1 abgebildete und allgemein mit Bezugsziffer 1 bezeichnete Behandlungsvorrichtung ist zur Sprühbehandlung von Leiterplatten bei der Leiterplattenfertigung vorgesehen. Beispielsweise kann sie zur Ätzbehandlung, zur Entwicklungs­ behandlung und/oder zur Spülbehandlung von Leiterplatten ein­ gesetzt werden.

Bevorzugt ist die Behandlungsvorrichtung 1 als Sprühbehand­ lungsmodul ausgebildet, also als modulartige Einheit, die sich mit anderen Arbeitsmodulen beliebiger Art zu einer Anla­ ge kombinierten lässt.

Die Behandlungsvorrichtung 1 verfügt über ein Gehäuse 3, das im Innern einen Behandlungsraum 4 definiert. Zu behandelnde Leiterplatten 2 werden in einer durch Pfeile angedeuteten Transportrichtung 5 durch den Behandlungsraum 4 hindurchge­ schleust. Geeignete Transportmittel 6 definieren dabei eine sich horizontal erstreckende Transportebene 7, die die Lei­ terplatten 2 mit ebenfalls horizontal ausgerichteter Leiter­ plattenebene in der Transportrichtung 5 durchlaufen.

Die Transportmittel 6 enthalten beim Ausführungsbeispiel un­ tere Transportrollen 8, die nach Art einer Rollenbahn ver­ teilt und ausgerichtet sein können und die zumindest partiell drehangetrieben sind um die Leiterplatten vorwärtszubewegen. Während des Hindurchlaufens durch den Behandlungsraum 4 lie­ gen die Leiterplatten 2 mit ihrer flächigen Unterseite von oben her auf den unteren Transportrollen 8 auf und werden durch diese horizontal verlagert.

Die Transportmittel 6 verfügen beim Ausführungsbeispiel zu­ sätzlich über obere Transportrollen 12, die oberhalb der Transportebene 7 längs dieser verteilt sind und die auf der vertikal nach oben orientierten Oberseite 13 der die Behand­ lungsvorrichtung 1 durchlaufenden Leiterplatten 2 abrollen können. Diese oberen Transportrollen 12 verfügen zweckmäßi­ gerweise über keinen eigenen Antrieb und dienen der Stabili­ sierung der Horizontallage der Leiterplatten 2. Sie können die Funktion von Niederhaltern übernehmen. Mittels nicht nä­ her dargestellter Maßnahmen, beispielsweise in vertikalen Schlitzen beweglich geführter Drehachsen, kann gewährleistet werden, daß die oberen Transportrollen 12 vertikal beweglich sind und sich in ihrer Höhenposition selbsttätig an die Lei­ terplattendicke anpassen.

Während ihres Transportes längs der Transportebene werden die Leiterplatten 2 in der Regel in aufeinanderfolgender Reihen­ folge verlagert. Ihre beiden großflächigen Seiten weisen da­ bei nach oben bzw. unten. Der Durchlauf durch die Behand­ lungsvorrichtung 1 findet bevorzug im Rahmen einer kontinu­ ierlichen Bewegung statt.

Beim Durchlaufen der Behandlungsvorrichtung 1 werden die Lei­ terplatten 2 mit einem flüssigen Behandlungsmittel besprüht. Im Falle einer Ätzbehandlung kann eine Ätzflüssigkeit zum Einsatz kommen, die auf Kupferchlorid oder auf einem alkali­ schen Mittel basiert. Die Ätzflüssigkeit ätzt auf an sich be­ kannte Weise nicht benötigte Kupferschichtanteile von den Leiterplatten-Oberflächen weg, so daß nur noch die für eine elektronische Schaltung benötigten Leiterbahnen verbleiben. Bei anderen Behandlungsarten werden entsprechend andere Be­ handlungsflüssigkeiten verwendet.

Das flüssige Behandlungsmittel wird in Form von Sprühstrahlen 14 von oben her auf die als Oberseite 13 bezeichnete, nach oben weisende Leiterplattenfläche einer jeweiligen Leiter­ platte 2 aufgebracht. Die Sprühstrahlen 14 werden von einer Vielzahl von stationären Sprühdüsen 15 erzeugt, die in einer auch als Düsenstock bezeichenbaren Düseneinrichtung 16 zusam­ mengefasst sind. Diese befindet sich innerhalb des Behandlungsraumes 4 oberhalb der von den Leiterplatten 2 durchlau­ fenen Transportebene 7.

Über ein teils nur schematisch angedeutetes, in der Regel aus Rohrleitungen zusammengesetztes Sprühkanalsystem 17 sind alle Sprühdüsen 15 an eine Versorgungspumpe 18 angeschlossen, die das Behandlungsmittel zuführt. Dieses Behandlungsmittel, in Fig. 1 mit Bezugsziffer "22" bezeichnet, befindet sich in einem Vorratsbehältnis 23 der Behandlungsvorrichtung 1 und dabei vorzugsweise unterhalb des in einem Behandlungsbehält­ nis 24 ausgebildeten Behandlungsraumes 4. Dabei sind das Be­ handlungsbehältnis 24 und das Vorratsbehältnis 23 zweckmäßi­ gerweise als Baueinheit ausgeführt und stehen derart fluid­ technisch miteinander in Verbindung, daß im Behandlungsraum 4 versprühtes Behandlungsmittel in das Vorratsbehältnis 23 zu­ rückfließen kann. Das Behandlungsmittel durchläuft somit wäh­ rend des Behandlungsvorganges einen Kreislauf, der durch die Versorgungspumpe 18 aufrechterhalten wird.

Die Behandlungsvorrichtung 1 kann zusätzlich eine weitere Dü­ seneinrichtung 25 aufweisen, die ebenfalls von der Versor­ gungspumpe 18 gespeist wird und die unterhalb der Transport­ ebene 7 der Leiterplatten 2 in dem Behandlungsraum 4 angeord­ net ist. Diese weitere Düseneinrichtung 25 besprüht die Lei­ terplatten 2 beim Durchlaufen der Behandlungsvorrichtung 1 von unten her an ihrer Unterseite.

Problematisch bei der Behandlung von Leiterplatten 2 ist die Behandlung der während des Behandlungsprozesses nach oben weisenden Leiterplattenfläche, die vorliegend als Oberseite 13 bezeichnet wird. Aufgrund der starken Sprühstrahlen 14 und des hohen Durchsatzes kann das aufgesprühte Behandlungsmittel nicht sofort wieder abströmen, so daß sich Flüssigkeitsstaus ergeben, die eine lange Verweildauer der Behandlungsflüssig­ keit auf der Leiterplatten-Oberseite 13 zur Folge haben. Be­ sonders ausgeprägt ist dieses Verhalten in Fällen, in denen wie beim Ausführungsbeispiel Bestandteile der Transportmittel 6 - hier die oberen Transportrollen 12 - mit der Oberseite 13 der Leiterplatten 2 zusammenwirken, da diese dem aufgesprüh­ ten Behandlungsmittel ein zusätzliches Abströmhindernis ent­ gegensetzen. Bei der Sprühbehandlung der Unterseite der Lei­ terplatten tritt dieses Problem nicht auf, weil das Behand­ lungsmittel selbsttätig schwerkraftbedingt nach unten fällt.

Zur Behebung des geschilderten Problems ist die Behandlungs­ vorrichtung 1 zusätzlich mit einer Absaugeinrichtung 26 aus­ gestattet, deren Einzelheiten vor allem aus Fig. 1 und 2 gut ersichtlich sind. Sie ermöglicht ein Absaugen des von oben her aufgesprühten Behandlungsmittels von der Oberseite 13 der Leiterplatten 2, während bezüglich der betreffenden Leiterplatte 2 gleichzeitig ein Besprühvorgang durch die Dü­ seneinrichtung 16 stattfindet. Das aufgesprühte Behandlungs­ mittel wird also größtenteils bereits kurz nach dem Auftref­ fen auf der Leiterplatte 2 wieder von dieser abgesaugt, wobei zweckmäßigerweise eine Absaugleistung gewählt wird, die zu­ mindest der Besprühleistung entspricht, so daß prinzipiell das gesamte aufgesprühte Behandlungsmittel abgesaugt werden könnte. Es versteht sich, daß in der Regel nicht das gesamte aufgesprühte Behandlungsmittel abgesaugt wird, da dieses teilweise auch über den seitlichen Rand der Leiterplatten 2 ablaufen und nach unten fallen kann.

Entsprechend der Ausgestaltung der Düseneinrichtung 16 ist die Behandlungsvorrichtung 1 mit einer, oder vorzugsweise mit mehreren in der Transportrichtung 5 beabstandet aufeinander­ folgend angeordneten Besprühzonen 27 aufgestattet. Eine Be­ sprühzone 27 findet sich jeweils dort, wo ein Sprühstrahl 14 die Transportebene 7 oder eine auf dieser entlanglaufende Leiterplatte 2 trifft.

Die Absaugeinrichtung 26 ist zweckmäßigerweise derart ausge­ bildet, daß jede Besprühzone 27 in der Transportrichtung 5 zwischen zwei Absaugzonen 28 liegt, in denen eine Absaugung stattfindet. Jeder Besprühzone können somit zwei Absaugzonen 28 zugeordnet sein, die mit Bezug zur Transportrichtung 5 vorgeordnet und nachgeordnet sind.

Ein Sprühstrahl 14 trifft in der Besprühzone 27 üblicherweise über die gesamte Leiterplattenbreite hinweg auf die die Be­ sprühzone 27 durchlaufende Leiterplatte 2 auf (Auftreffzone 32). Dabei teilt sich der Sprühstrahl 14 vergleichbar der schematischen Darstellung aus Fig. 2 und 3 in der Auf­ treffzone 32 auf, so daß sich zwei Hauptströmungen 14a, 14b ergeben, deren eine entgegen der Transportrichtung 5 und de­ ren andere gleichgerichtet mit der Transportrichtung 5 ver­ läuft, und zwar über die gesamte Leiterplattenbreite b hin­ weg. Diese Hauptströmungen 14a, 14b gelangen somit in die der Besprühzone 27 vor- und nachgeordneten Absaugzonen 28, wo sie von der Absaugeinrichtung 26 nach oben hin abgesaugt werden. Der größte Teil des aufgesprühten Behandlungsmittels wird so­ mit durch Absaugung von der Oberseite 13 der Leiterplatten 2 abgeführt. Verbleibende Anteile des aufgesprühten Behand­ lungsmittels können wie üblich quer zur Transportrichtung 5 über die seitlichen Ränder der Leiterplatten 2 hinweg abflie­ ßen und in das Behandlungsbehältnis 24 abtropfen.

Von denjenigen Absaugzonen 28, die sich zwischen zwei aufein­ anderfolgenden Besprühzonen 27 befinden, wird zweckmäßiger­ weise jeweils ein Hauptstrom beider benachbarter Sprühstrah­ len 14 gleichzeitig abgesaugt.

Das Absaugen des aufgesprühten Behandlungsmittels geschieht zweckmäßigerweise mittels einer unmittelbar oberhalb der Transportebene 7 der Leiterplatten 2 installierten Saugdüsen­ anordnung 33. Diese enthält beim Ausführungsbeispiel pro Ab­ saugzone 28 eine sich parallel zur Transportebene 7 quer und insbesondere rechtwinkelig zur Transportrichtung 5 erstre­ ckende Saugdüseneinheit 34, bevorzugt in einer Ausgestaltung als Saugrohr 35. Jedes Saugrohr 35 ist an seinem nach unten weisenden, der Transportebene 7 zugewandten Umfangsabschnitt mit mindestens einer, vorzugsweise aber mit mehreren Saugdü­ sen 36 versehen, die zusammengenommen die gesamte Leiterplat­ tenbreite b überdecken. Bevorzugt handelt es sich bei den Saugdüsen 36 um schlitzartige Öffnungen des Saugrohres 35, die im Falle einer Mehrfachanordnung gemäß Fig. 3 eine mit der Längserstreckung des Saugrohres 35 zusammenfallende Saugdüsenreihe bilden können, wobei eine Überlappung aufeinander­ folgender Saugdüsen 36 in der Rohrlängsrichtung empfehlens­ wert ist.

Die Saugdüseneinheiten 34 bzw. Saugrohre 35 können stirnsei­ tig an Haltekörpern 37 fixiert sein, über die eine bevorzugt lösbare Befestigung am Behandlungsbehältnis 24 erfolgen kann.

In diesem Zusammenhang besteht auch die vorteilhafte Möglich­ keit, die einzelnen Saugdüseneinheiten 34 jeweils gemeinsam mit benachbarten oberen Transportrollen 12 zu separat hand­ habbaren Absaugeinheiten 38 zusammenzufassen. Auf diese Weise lässt sich sehr leicht ein modularer Aufbau realisieren. Es kann insbesondere vorgesehen sein, jeder Saugdüseneinheit 34 zwei obere Transportrollen 12 zuzuordnen, die sich quer zur Transportrichtung 5 erstrecken, wobei eine davon der Saugdü­ seneinheit 34 bezüglich der Transportrichtung 5 vorgeordnet und die andere nachgeordnet ist. Diese oberen Transportrollen 12 können an den endseitig vorgesehen Haltekörpern 37 drehge­ lagert sein.

Die oberen Transportrollen 12, wie im übrigen auch die unte­ ren Transportrollen 8, können beispielsweise gemäß Fig. 3 aus Einzelrollen 42 bestehen, die mit gemeinsamer Drehachse 43 über die Leiterplattenbreite b hinweg mit Abstand zueinan­ der aufgereiht sind. Es versteht sich jedoch, daß der Aufbau der Transportrollen im Prinzip beliebig ist und beispielswei­ se auch walzenförmige Gestaltungen möglich sind. Zweckmäßi­ gerweise ist die Anordnung jedoch stets so getroffen, daß die Sprühstrahlen 14 nach dem Aufprall auf einer Leiterplatte 2 und der anschließenden Umlenkung die Möglichkeit haben, die benachbarten oberen Transportrollen 12 zu passieren und in den Einflussbereich der sich daran anschließenden Saugdüsen­ einheiten 34 zu gelangen.

Die Saugdüsenanordnung 33 steht mit einem Absaugkanalsystem 44 in Verbindung, über das im Bereich der Saugdüsen 36 die gewünschte Absaugwirkung hervorgerufen wird. Das Absaugkanal­ system 44 kann vergleichbar dem Sprühkanalsystem 17 zumindest partiell aus Rohrleitungen bestehen und ist in der Zeichnung nur schematisch angedeutet. Geeignete Rohrleitungen können beispielsweise an den Haltekörpern 37 angeschlossen werden, um durch diese hindurch eine Verbindung mit dem Innenraum des jeweils zugeordneten Saugrohres 35 herzustellen. Es versteht sich, daß auch ein direkter Anschluss möglich wäre.

Das Absaugkanalsystem 44 ist an die Saugseite einer Ejektor­ einrichtung 45 angeschlossen, die beispielsweise im Innern des Vorratsbehältnisses 23 oder an sonstiger geeigneter Stel­ le innerhalb der Behandlungsvorrichtung 1 untergebracht ist. Diese Ejektoreinrichtung 45 ist außerdem in einen Umwälzkreis 46 eingeschaltet, der mit einer Umwälzpumpe 47 ausgestattet ist. Der Umwälzkreis 46 ist ein geschlossener Kreislauf, wo­ bei die Umwälzpumpe 47 Behandlungsmittel 22 aus dem Vorrats­ behältnis 23 ansaugt und durch die Ejektoreinrichtung 45 hin­ durchpresst, wobei das aus der Ejektoreinrichtung 45 ausströ­ mende Medium wieder in das Vorratsbehältnis 23 zurückgelangt. Beim Hindurchströmen der Ejektoreinrichung 45 bewirkt das zirkulierende Behandlungsmittel an einem Sauganschluss 48 der Ejektoreinrichtung 45 einen Unterdruck, der über das Absaug­ kanalsystem 44 zur Saugdüsenanordnung 33 weitergeleitet wird.

Bedingt durch die geschilderte Wirkungsweise wird das von der Oberseite der Leiterplatten 2 abgesaugte Behandlungsmittel durch den Sauganschluss 48 der Ejektoreinrichtung 45 hindurch ebenfalls in das Vorratsbehältnis 23 zurückgeführt.

Es liegt somit ein interner, geschlossener Kreislauf des ge­ samten Behandlungsmittel vor, was externe Saugaggregate erüb­ rigt und Abscheide- bzw. Filtervorgänge überflüssig macht.

Die Ejektoreinrichtung 45 ist zweckmäßigerweise in an sich bekannter Weise mit einer Venturidüse ausgestattet. Um den geforderten Leistungsansprüchen genügen zu können, können oh­ ne weiteres mehrere derartige Venturidüsen vorgesehen sein, wobei auch die Möglichkeit besteht, die Saugdüsenanordnung 33 in einzelne Stufen zu unterteilen, die dann jeweils unabhän­ gig voneinander mit Unterdruck beaufschlagt werden.

Bei der abgebildeten Behandlungsvorrichtung hat sich eine konstruktive Auslegung als vorteilhaft erwiesen, bei der un­ mittelbar aufeinanderfolgende Absaugzonen 28 in der Trans­ portrichtung 5 mit etwa 10 cm zueinander beabstandet sind, wobei die in der gleichen Richtung gemessene Strahlbreite des dazwischen verlaufenden Sprühstrahls 14 etwa im Bereich zwi­ schen 5 mm und 15 mm liegt.

Claims (15)

1. Vorrichtung zur Sprühbehandlung von Leiterplatten bei der Leiterplattenfertigung, mit Transportmitteln (6) zum Transportieren der Leiterplatten (2) mit horizontal ausge­ richteter Leiterplattenebene, und mit einer oberhalb der Transportebene (7) der Leiterplatten (2) angeordneten Düsen­ einrichtung (16) zum Besprühen der Oberseite (13) der Leiter­ platten (2) mit einem flüssigen Behandlungsmittel, gekenn­ zeichnet durch eine Absaugeinrichtung (26) zum Absaugen des ausgesprühten Behandlungsmittels von der Oberseite der Lei­ terplatten (2) während des Besprühvorganges.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch min­ destens eine durch die Düseneinrichtung (16) definierte Be­ sprühzone (27) und durch der Besprühzone (27) mit Bezug zur Transportrichtung (5) der Leiterplatten (2) vor- und/oder nachgeordnete Absaugzonen (28) der Absaugeinrichtung (26).

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch mehre­ re in der Transportrichtung (5) der Leiterplatten (2) mit Ab­ stand aufeinanderfolgend angeordnete Besprühzonen (27), die jeweils von einer vorgeordneten und einer nachgeordneten Ab­ saugzone (28) flankiert sind.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugeinrichtung (26) derart ausge­ bildet ist, daß sie ihre Absaugwirkung über die gesamte Lei­ terplattenbreite hinweg entfaltet.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugeinrichtung (26) eine Saugdü­ senanordnung (33) aufweist, die unmittelbar oberhalb der Transportebene (7) der Leiterplatten (2) plaziert ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Saugdüsenanordnung (33) mindestens eine, aus einer oder mehreren sich quer zur Transportrichtung (5) erstreckenden Saugdüsen (36) zusammengesetzte Saugdüseneinheit (34) auf­ weist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Saugdüseneinheit (34) von einem mit einer oder mehreren Saugdüsen (36) versehenen Saugrohr (35) gebildet ist, das sich oberhalb der Transportebene (7) quer zur Transportrich­ tung (5) erstreckt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeich­ net, daß eine jeweilige Saugdüse (36) von einer schlitzarti­ gen Öffnung gebildet ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Definition der Transportebene (7) un­ tere Transportrollen (8) vorgesehen sind, die die Leiterplat­ ten (2) tragen, wobei zusätzlich obere Transportrollen (12) vorgesehen sind, die von oben her mit den Leiterplatten (2) zusammenwirken können und die vorzugsweise zur Anpassung an die jeweilige Leiterplattendicke vertikal beweglich sind.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugeinrichtung (26) in einer oder in mehreren in Transportrichtung (5) beabstandeten Absaugzonen (28) wirksam ist, wobei in mindestens einer Absaugzone (28) eine sich quer zur Transportrichtung (5) erstreckende Saugdüseneinheit (34) mit benachbarten, vor- und/oder nachgeordneten oberen Trans­ portrollen (12) vorgesehen ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Saugdüseneinheit (34) mit benachbarten oberen Transportrollen (12) zu einer separat handhabbaren Ab­ saugeinheit (38) zusammengefasst ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekenn­ zeichnet durch eine Ausgestaltung als Sprühbehandlungsmodul.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühbehandlung eine Ätzbehandlung, eine Entwicklungsbehandlung und/oder eine Spülbehandlung ist.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß ein das zu sprühende Behandlungsmittel aufnehmendes Vorratsbehältnis (23) vorgesehen ist, dem auch das abgesaugte Behandlungsmedium zugeführt wird.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß ein zur Aufnahme von Behandlungsmittel dienendes Vorratsbehältnis (23) vorgesehen ist, dem ein mit einer Umwälzpumpe (47) ausgestatteter Umwälzkreis (46) zuge­ ordnet ist, der eine Ejektoreinrichtung (45) enthält, wobei an der Saugseite der Ejektoreinrichtung der Abgriff des für den Absaugbetrieb erforderlichen Unterdruckes erfolgt.