DE4302564A1 - Vorrichtung zum Ätzen, Beizen oder Entwickeln von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von Leiterplatten - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ätzen, Beizen oder Entwickeln plattenförmiger Gegenstände, insbesondere von elektronischen Leiterplatten, mit

• a) einem Fördersystem, welches die Gegenstände kontinuier­ lich durch eine Behandlungskammer hindurchbewegt;
• b) einer Vielzahl von Düsen, die entlang des Bewegungs­ weges der Gegenstände angeordnet sind und aus deren Düsenöffnungen die Behandlungsflüssigkeit unter einem gewissen Öffnungswinkel in Richtung auf die Gegen­ stände austritt.

Vorrichtungen dieser Art sind in großer Vielzahl bekannt. Als Beispiel sei die DE-PS 24 34 305 genannt. Bei all diesen Ätz-, Beiz- oder Entwicklungsvorrichtungen nach dem Stande der Technik befinden sich die Düsen in ver­ hältnismäßig großem Abstand, der zwischen 10 und 20 cm liegt, vom Bewegungsweg der Gegenstände. Obwohl die schematische Zeichnung der DE-PS 24 34 305 einen Öff­ nungswinkel der Strahlen anzudeuten scheint, der in der Größenordnung von 45° liegt, sind die tatsächlich eingesetzten Öffnungswinkel sehr viel größer, das heißt, zwischen 60 oder 90°. Die Winkel in der DE-PS 24 34 305 sind auf rein zeichnerischem Wege dadurch zustande gekommen, daß die Düsen gegenüberliegender Düsenstöcke geradlinig miteinander verbunden wurden. Hierdurch sollte keine technische Lehre bezüglich des Öffnungswinkels gegeben sondern nur die Tatsache veranschaulicht werden, daß aus den Düsen überhaupt Strahlen mit gewissem Öffnungs­ winkel austreten. Die Anordnung und Ausgestaltung der Düsen bei den bekannten Vorrichtungen hat zur Folge, daß die Behandlungsflüssigkeit als Art Sprühnebel mit nur minimaler kinetischer Energie und ohne wirklich definierten Druck auf die zu behandelnden Gegenstände auftrifft. Dies wurde bisher für erforderlich gehalten, um ein gleichmä­ ßiges Ätzen zu gewährleisten. Allerdings hat sich heraus­ gestellt, daß die Feinheit der Strukturen, die mit den bekannten Vorrichtungen erzeugt werden können, über ein gewisses Ausmaß hinaus nicht gesteigert werden kann.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrich­ tung der eingangs genannten Art so auszugestalten, daß durch den Ätz-, Beiz- oder Entwicklungsvorgang noch kleinere Strukturen erzeugt werden können.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß

• c) die Düsenöffnungen in geringem Abstand von nur wenigen Zentimetern vom Bewegungsweg der Gegenstände angeordnet sind;
• d) die Düsen so ausgebildet sind, daß
  • da) der Öffnungswinkel ungefähr 45° nicht übersteigt;
  • db) der Druck der Behandlungsflüssigkeit im austre­ tenden Strahl beim Auftreffen auf die zu behan­ delnde Oberfläche der Gegenstände an allen Stellen im wesentlichen konstant ist.

Mit der Erfindung wird somit das bisher allgemein benutzte Konzept verlassen, die Behandlungsflüssigkeit auf die Gegenstände nur aufzusprühen, wobei sie im Augenblick des Auftreffens keine nennenswerte kinetische Energie aufweist. Statt dessen verleiht die vorliegende Erfindung der Behandlungsflüssigkeit bewußt kinetische Energie, indem sie die Düsenöffnungen sehr nahe an den Bewegungsweg der Gegenstände heranführt. Durch den geringen Öffnungs­ winkel der aus den Düsenöffnungen austretenden Strahlen erhält die Behandlungsflüssigkeit im wesentlichen nur Geschwindigkeitskomponenten, die senkrecht zur Oberfläche der Gegenstände gerichtet sind. Aufgrund ihrer kinetischen Energie und ihrer Ausrichtung können die so erzeugten Strahlen der Behandlungsflüssigkeit auch in die sehr schmalen "Schluchten" feiner Strukturen eindringen, die zwischen mit Resist abgedeckten Bereichen liegen. Bei den bekannten Maschinen war der Austausch der Be­ handlungsflüssigkeit dort nur unvollkommen. Durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen dagegen erreichen die Strahlen der Behandlungsflüssigkeit auch den Grund derartiger enger Schluchten und sorgen dort für einen ständigen Austausch und die Erneuerung der im Behandlungsvorgang wirksamen Flüssigkeit. Die Behandlungsbedingungen sind daher sehr viel besser definiert und genauer kontrollierbar als dies beim Stande der Technik der Fall war. Dies führt im Ergebnis dazu, daß sehr viel feinere Strukturen bewältigbar sind.

Vorzugsweise beträgt der Abstand der Düsenöffnungen vom Bewegungsweg der Gegenstände 1 bis 2 cm.

Der Öffnungswinkel kann insbesondere zwischen 15° und 45° liegen.

Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung sind die Düsen an mindestens einem Düsenstock zusammen­ gefaßt, der umfaßt:

• e) mindestens ein senkrecht zur Bewegungsrichtung der Gegenstände verlaufendes Verteilerrohr;
• f) eine Vielzahl von Düsenkörpern, die mit dem Verteiler­ rohr in Verbindung stehen, senkrecht zu diesen ange­ ordnet sind und an ihrer freien Stirnfläche jeweils eine schlitzförmige Düsenöffnung aufweisen.

Ein derartiger Düsenstock wurde bereits in der Haupt­ patentanmeldung P 42 23 542.1 vorgeschlagen, dort aber speziell zur Behandlung (Reinigung, Vorbereitungsvor­ gänge für Beschichtungen, Beschichtungen usw.) der Wan­ dungen von Bohrungen eingesetzt, die sich in Leiterplatten befinden. In der vorliegenden Zusatzpatentanmeldung dagegen wird der Einsatzbereich derartiger Düsenstöcke auch auf das Ätzen, Beizen oder Entwickeln an Leiter­ platten ausgedehnt, die - jedenfalls im Augenblick dieser Behandlung - keine Bohrungen aufzuweisen brauchen. Mit diesem Düsenstock läßt sich besonders günstig die Forde­ rung erfüllen, daß der Öffnungswinkel der aus den Düsen­ öffnungen austretenden Strahlen eine bestimmte Ober­ grenze nicht übersteigen darf. Die Ausbildung des Düsen­ stockes mit einer Vielzahl von Schlitzen, die sich am Ende von senkrecht von einem Verteilerrohr abzweigenden Düsenkörpern befinden, stellt nämlich sicher, daß die durch das Verteilerrohr fließende Behandlungsflüssigkeit in den Düsenkörpern im wesentlichen vollständig um 90° umgelenkt wird. Die aus den Düsenöffnungen austretende Behandlungsflüssigkeit weist dann praktisch ausschließlich Bewegungskomponenten auf, die senkrecht zu den Ober­ flächen der zu behandelnden Leiterplatten stehen.

Ein besonders bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfin­ dung zeichnet sich dadurch aus, daß

• a) die Verteilerrohre paarweise vorgesehen sind;
• b) der Achsabstand benachbarter Düsenkörper in jedem Verteilerrohr etwa so groß wie die senkrecht zur Bewegungsrichtung der Gegenstände gerichtete Ab­ messung der aus den Düsenöffnungen austretenden Strahlen der Behandlungsflüssigkeit beim Auftreffen auf die Gegenstände ist;
• c) die Düsenkörper des einen Verteilerrohres im Paar gegenüber den Düsenkörpern des anderen Verteiler­ rohres im Paar um den halben Achsabstand benachbarter Düsenkörper versetzt sind.

Unter diesen Umständen wird erreicht, daß alle Bereiche der Leiterplatten bei der Passage des Verteilerrohrpaares gleichmäßig mit Behandlungsflüssigkeit beaufschlagt werden, daß aber andererseits auch möglichst kein Überlapp der Strahlen auf der Oberfläche der behandelten Gegenstände stattfindet. In diesem Sinne ergänzen sich die Schlitzöff­ nungen in den zu den beiden Verteilerrohren des Paares gehörenden Düsen geometrisch.

Bei dieser Ausgestaltung empfiehlt sich weiter, wenn die Verteilerrohre im Paar gegensinnig von der Behand­ lungsflüssigkeit durchströmt werden. Durch diese gegen­ sinnige Durchströmung werden Druckeffekte ausgeglichen, die sich dadurch ergeben, daß der Druck der Behandlungs­ flüssigkeit an demjenigen Ende des Verteilerrohres, an dem die Behandlungsflüssigkeit zugeführt wird, höher als am gegenüberliegenden Ende ist.

Zu Wartungszwecken, insbesondere auch an den Schlitzöff­ nungen, empfiehlt es sich, wenn die Düsenkörper lösbar an senkrecht vom Verteilerrohr abzweigenden Anschluß­ stutzen befestigt sind. Diese Anschlußstutzen tragen außerdem dazu bei, daß die Behandlungsflüssigkeit die gewünschten, senkrecht zur Oberfläche der Gegenstände gerichteten Bewegungskomponenten erhält.

Die schlitzförmigen Düsenöffnungen können senkrecht zur Bewegungsrichtung der Gegenstände ausgerichtet sein. Dann stoßen die austretenden Fächerstrahlen beim Auf­ treffen auf die zu behandelnden Gegenstände mit ihren Schmalseiten möglichst nahtlos, aber auch ohne Überlapp, aneinander an.

Wenn die schlitzförmigen Düsenöffnungen mit einem Winkel gegen die Bewegungsrichtung der Gegenstände angeordnet sind, können größere Mengen Behandlungsflüssigkeit de­ finiert aufgebracht werden. Die "Streifen", die auf den Oberflächen der zu behandelnden Gegenstände mit Behandlungsflüssigkeit beaufschlagt werden, sollten wiederum nahtlos und möglichst ohne Überlapp aneinander anstoßen.

Wenn die Düsen mit einem bestimmten Hub oszillierbar sind, trägt dies weiter zur Vergleichmäßigung des Be­ handlungsvorganges bei.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert; es zeigen

Fig. 1 schematisch einen Längsschnitt durch eine Vorrichtung zum Ätzen elektronischer Leiter­ platten;

Fig. 2 eine Ausschnittvergrößerung der Vorrichtung von Fig. 1;

Fig. 3 die Seitenansicht einer Düse von Fig. 2, gesehen in Richtung des Pfeiles III von Fig. 2;

Fig. 4 die teilweise Draufsicht auf den unteren Düsenstock von Fig. 2, gesehen in Richtung des Pfeiles IV;

Fig. 5 die Draufsicht auf ein alternatives Ausführungs­ beispiel eines Düsenstockes, ähnlich demjenigen von Fig. 4.

In Fig. 1 ist schematisch ein Längsschnitt durch eine Vorrichtung zum Ätzen elektronischer Leiterplatten dar­ gestellt. Sie trägt insgesamt das Bezugszeichen 1. Die mit dem Bezugszeichen 2 gekennzeichneten Leiterplatten werden in einer Aufgabestation 3 auf ein Fördersystem 4 gelegt, welches eine Vielzahl angetriebener Rollen umfaßt. Das Fördersystem 4 bewegt die Leiterplatten 2 in Fig. 1 von links nach rechts durch die Ätzmaschine 1 hindurch. Die Leiterplatten 2 treten dabei durch eine Einlaßstation 5, deren Aufbau hier nicht näher interes­ siert, in das Innere des Maschinengehäuses 6 der Ätz­ maschine 1 ein. Während des Durchganges durch die Ätz­ maschine 1 werden die Leiterplatten 2 in weiter unten genauer beschriebener Weise geätzt. Sie verlassen dann das Maschinengehäuse 6 der Ätzmaschine 1 über eine Aus­ laßstation 7, die wiederum als solche bekannt ist und hier nicht näher beschrieben wird. Rechts von der Ätz­ maschine 1 in Fig. 1 sind weitere Behandlungsmaschinen zu denken, welche von den Leiterplatten 2 nach dem Ätz­ vorgang in bekannter Weise durchlaufen werden, z. B. Spülmaschinen.

Oberhalb und unterhalb des Bewegungsweges der Leiter­ platten 2 innerhalb der Ätzmaschine 1 ist jeweils ein Düsenstock 8 bzw. 9 vorgesehen. Da der obere Düsenstock 9 im wesentlichen dem unteren Düsenstock 8 entspricht, erfolgt die Beschreibung beider Düsenstöcke 8, 9 nach­ folgend nur anhand des unteren Düsenstockes 8.

Der Düsenstock 8 umfaßt zwei randseitige, parallel zur Förderrichtung der Leiterplatten 2 verlaufende Ätzmittel- Zufuhrrohre 10a, 10b, von denen in Fig. 1 nur eines zu erkennen ist; das andere Ätzmittel-Zufuhrrohr 10b ist, parallel zu dem dargestellten, unterhalb der Zeichenebene am gegenüberliegenden Rand des Düsenstockes 8 zu denken (vgl. auch Fig. 4). Eine Pumpe 11 entnimmt dem Ätzmittel­ sumpf 12 im unteren Bereich des Maschinengehäuses 6 Ätzmittel und führt dieses über die Leiterung 13a bzw. 13b den beiden Ätzmittel-Zufuhrrohren 10a, 10b des unteren Düsenstockes 8 zu.

Von Ätzmittel-Zufuhrrohr 10a zweigt in regelmäßigen Abständen eine Vielzahl von Verteilerrohren 14a unter rechtem Winkel ab (Fig. 4). In entsprechender Weise und in gleichem gegenseitigem Abstand zweigt vom Ätzmittel- Zufuhrrohr 10b eine Vielzahl von Verteilerrohren 14b unter rechtem Winkel ab. Fig. 4 macht deutlich, daß die zu den beiden Ätzmittel-Zufuhrrohren 10a, 10b gehörenden Vertei­ lerrohre 14a, 14b fingerartig ineinander greifen.

Von jedem Verteilerrohr 14a, 14b zweigt jeweils unter rechtem Winkel, nach oben gegen die Unterseite der Leiter­ platte 2 gerichtet, eine Vielzahl von Anschlußstutzen 15 ab (vgl. hierzu Fig. 2). Auf jeden Anschlußstutzen 15 ist mittels einer Überwurfmutter 16 ein Düsenkörper 17 aufgeschraubt. Jeder Düsenkörper 17 weist an seiner oberen, der Unterseite der Leiterplatte 2 zugewandten Stirnseite eine schlitzförmige Düsenöffnung 18 auf (vgl. Fig. 4). Die Düsenöffnungen 18 sind beim Ausführungs­ beispiel von Fig. 4 parallel zur Längsrichtung der Verteilerrohre 14a, 14b, also senkrecht zur Bewegungs­ richtung der Leiterplatten 2, ausgerichtet.

Wie Fig. 4 zu entnehmen ist, sind die Düsenkörper 17 in den beiden Verteilerrohren 14a, 14b um den halben Achsabstand benachbarter Düsenkörper 17 in Axialrichtung gegeneinander versetzt. Die Düsenöffnungen 18 sind so gestaltet, daß der Öffnungswinkel α des aus ihnen aus­ tretenden fächerförmigen Ätzmittelstrahles (vgl. Fig. 3) verglichen mit den Öffnungswinkeln bei bekannten Ätzmaschinen sehr klein ist; in Fig. 3 ist der Öff­ nungswinkel α etwa 15°. Dieser kleine Öffnungswinkel wird beim gezeigten Ausführungsbeispiel aufgrund der richtenden Wirkung der Anschlußstutzen 15 erreicht. Diese bewirken, daß das aus den Düsenöffnungen 18 aus­ tretende Ätzmittel im wesentlichen nur solche Geschwin­ digkeitskomponenten aufweist, die senkrecht zu den zu behandelnden Flächen der Leiterplatten 2 verlaufen. Der Öffnungswinkel der aus den Düsenöffnungen 18 aus­ tretenden Fächerstrahlen wird auf den Achsabstand benach­ barter Düsenkörper 17 in den Verteilerrohren 14a, 14b so abgestimmt, daß die aus den zum Verteilerrohr 14a gehö­ renden Düsenöffnungen 18 austretenden Fächerstrahlen auf der zu ätzenden Oberfläche der vorbeiwandernden Leiterplatten 2 gerade denjenigen Zwischenraum aussparen, welcher von den Fächerstrahlen abgedeckt wird, die aus den zum Verteilerrohr 14b gehörenden Düsenöffnungen 18 austreten. Auf diese Weise wird erreicht, daß die oberhalb des unteren Düsenstockes 8 passierenden Leiter­ platten 1 in ihrer gesamten Breite gleichmäßig von Ätz­ mittel beaufschlagt werden.

Die Düsenöffnungen 18 der Düsenkörper 17 sind außerdem in an und für sich bekannter Weise so ausgestaltet, daß der Druck des Ätzmittels im Strahl in allen Berei­ chen des Fächers gleich groß ist; der Druck sollte also inbesondere an den Rändern des Strahles möglichst nicht abnehmen. Unerheblich ist dabei, ob bei der geforderten konstanten Druckverteilung auch eine konstante Mengen­ verteilung des Ätzmittels innerhalb des jeweiligen Fächer­ strahles vorliegt.

Wie der Fig. 4 zu entnehmen ist, sind die beiden Ver­ teilerrohre 14a, 14b vom Ätzmittel jeweils gegensinnig durchströmt. Auf diese Weise wird der Druckabfall, den das Ätzmittel beim Durchströmen der Verteilerrohre 14a, 14b erleidet, innerhalb eines Paares von Verteilerrohren 14a, 14b kompensiert, so daß über die Querabmessung der Leiterplatten 2 hinweg eine vollständig gleich­ mäßige Beaufschlagung mit Ätzmittel erzielt wird.

Wie bereits oben erwähnt, ist der obere Düsenstock 9 in gleicher Weise wie der soeben beschriebene untere Düsenstock 8 gebaut; er ist jedoch so angeordnet, daß die zu ihm gehörenden Düsenöffnungen 18 nach unten gegen die Oberseite der vorbeiwandernden Leiterplatten 2 ge­ richtet sind. Der obere Düsenstock 9 wird von einer Pumpe 19 versorgt, welche Ätzmittel dem Sumpf 12 ent­ nimmt und über Leitungen 20a, 20b in die Ätzmittel- Zufuhrrohre 10a, 10b einspeist.

Wie insbesondere Fig. 1, jedoch auch der Fig. 2 zu ent­ nehmen ist, befindet sich der untere Düsenstock 8 und der obere Düsenstock 9 in sehr viel engerer Nähe an dem Bewegungsweg der Leiterplatten 2 als dies bei be­ kannten Ätzmaschinen der Fall war. Der Abstand zwischen den Düsenöffnungen 18 und den zu ätzenden Oberflächen der Leiterplatten 2 sollte zwischen 10 und 20 mm liegen.

Wie dies an und für sich bei Ätzmaschinen bekannt ist, werden der untere Düsenstock 8 und der obere Düsenstock 9 zur Vergleichmäßigung des Ätzvorganges mit einem ge­ wissen Hub hin- und herbewegt ("oszilliert"). Die Fre­ quenz dieser Oszillationsbewegung sollte so hoch wie möglich sein. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel hat sich eine Frequenz von 170 Hüben pro Minute bewährt.

In Fig. 5 ist die Teildraufsicht auf einen Düsenstock dargestellt, der im wesentlichen demjenigen von Fig. 4 entspricht. Entsprechende Teile sind daher mit dem­ selben Bezugszeichen zuzüglich 100 gekennzeichnet.

Auch der Düsenstock von Fig. 5 umfaßt also zwei paral­ lele Ätzmittel-Zufuhrrohre 110a, 110b, von den jeweils unter rechtem Winkel eine Vielzahl von Verteilerrohren 114a, 114b abzweigen. Diese Verteilerrohre 114a, 114b greifen fingerartig ineinander. Von jedem Verteilerrohr 114a, 114b wiederum zweigt unter rechtem Winkel eine Vielzahl von Anschlußstutzen 115 ab, an denen jeweils mit einer Überwurfmutter 116 ein Düsenkörper 117 angeschraubt ist. Die an den Düsenkörpern 117 ausgebildeten Düsenöff­ nungen 118 sind aber nunmehr - anders als beim Ausführungs­ beispiel von Fig. 4 - nicht senkrecht zur Bewegungsrich­ tung der Leiterplatten sondern unter einem gewissen Winkel zu diesem angestellt. Wiederum ist durch Ab­ stimmung des Öffnungswinkels der Fächerstrahlen, des Anstellwinkels der Fächerstrahlen gegenüber der Bewe­ gungsrichtung der Leiterplatten 2 und den Abstand be­ nachbarter Düsenöffnungen innerhalb der Verteilerrohre 114a, 114b sichergestellt, daß die zu ätzende Oberfläche der vorbeiwandernden Leiterplatte 2 vollflächig besprüht wird. Die Ätzmittelstreifen, die von den zu dem Vertei­ lerrohr 114a gehörenden Düsenöffnungen 118 aufgesprüht werden, sollen dabei möglichst nahtlos aber auch ohne Überlapp an die Ätzmittelstreifen anstoßen, die von den zu dem Verteilerrohr 114b gehörenden Düsenöffnungen 118 erzeugt werden.

Claims (11)

1. Vorrichtung zum Ätzen, Beizen oder Entwickeln platten­ förmiger Gegenstände, insbesondere von elektronischen Leiterplatten, mit

• a) einem Fördersystem, welches die Gegenstände kontinuier­ lich durch eine Behandlungskammer hindurchbewegt;
• b) einer Vielzahl von Düsen, die entlang des Bewegungs­ weges der Gegenstände angeordnet sind und aus deren Düsenöffnungen die Behandlungsflüssigkeit unter einem gewissen Öffnungswinkel in Richtung auf die Gegen­ stände austritt,

dadurch gekennzeichnet, daß

• c) die Düsenöffnungen (18; 118) in geringem Abstand von nur wenigen Zentimetern vom Bewegungsweg der Gegenstände (2) angeordnet sind;
• d) die Düsen (15 bis 17) so ausgebildet sind, daß
  • da) der Öffnungswinkel ungefähr 45° nicht übersteigt;
  • db) der Druck der Behandlungsflüssigkeit im austre­ tenden Strahl beim Auftreffen auf die zu behan­ delnde Oberfläche der Gegenstände (2) an allen Stellen im wesentlichen konstant ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der Düsenöffnungen (18; 118) vom Bewegungsweg der Gegenstände (2) 1 bis 2 cm beträgt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Öffnungswinkel zwischen 15° und 45° liegt.

4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (15 bis 17; 115 bis 117) an mindestens einem Düsenstock (8, 9) zusam­ mengefaßt sind, der umfaßt:

• e) mindestens ein senkrecht zur Bewegungsrichtung der Gegenstände (2) verlaufendes Verteilerrohr (14a, 14b; 114a, 114b);
• f) eine Vielzahl von Düsenkörpern (17; 117), die mit dem Verteilerrohr (14a, 14b; 114a, 114b) in Verbindung stehen, senkrecht zu diesen angeordnet sind und an ihrer freien Stirnfläche jeweils eine schlitzförmige Düsen­ öffnung (18; 118) aufweisen.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß

• a) die Verteilerrohre (14a, 14b; 114a, 114b) paarweise vorgesehen sind;
• b) der Abstand benachbarter Düsenkörper (17; 117) in jedem Verteilerrohr (14a, 14b; 114a, 114b) etwa so groß wie die senkrecht zur Bewegungsrichtung der Gegenstände (2) gerichtete Abmessung der aus den Düsenöffnungen (18; 118) austretenden Strahlen der Behandlungsflüssigkeit beim Auftreffen auf die Gegen­ stände (2);
• c) die Düsenkörper (17; 117) des einen Verteilerrohres (14a; 114a) im Paar gegenüber den Düsenkörpern (17; 117) des anderen Verteilerrohres (14b; 114b) im Paar um den halben Achsabstand benachbarter Düsenkörper (17; 117) versetzt sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Verteilerrohre (14a, 14b; 114a, 114b) im Paar gegensinnig von der Behandlungsflüssigkeit durchströmt werden.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsenkörper (17; 117) lösbar an senkrecht vom Verteilerrohr (14a, 14b, 114a, 114b) abzweigenden Anschlußstutzen (15; 115) befestigt sind.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die schlitzförmigen Düsenöff­ nungen (18) senkrecht zur Bewegungsrichtung der Gegen­ stände (2) ausgerichtet sind.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die schlitzförmigen Düsenöff­ nungen (118) unter einem Winkel gegen die Bewegungsrich­ tung der Gegenstände (2) angeordnet sind.

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (15 bis 17; 115 bis 117) mit einem bestimmten Hub oszillierbar sind.