DE10038124A1 - Verfahren zum Binden einer mehrwandigen Nanoröhre auf einem Substrat und elektronisches Bauelement - Google Patents
Verfahren zum Binden einer mehrwandigen Nanoröhre auf einem Substrat und elektronisches BauelementInfo
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Abstract
Ein Verfahren zum Binden einer mehrwandigen Nanoröhre auf einem Substrat weist folgende Schritte auf: DOLLAR A È Erzeugen chemisch reaktiver Gruppen auf der äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre; DOLLAR A È Inkontaktbringen der chemisch so modifizierten mehrwandigen Nanoröhre mit dem Substrat, derart, dass zwischen den erzeugten chemisch reaktiven Gruppen auf der äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre und dem Substrat kovalente chemische Bindungen entstehen.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Binden einer
mehrwandigen Nanoröhre auf einem Substrat und ein
elektronisches Bauelement.
Ein solches Verfahren sowie ein solches elektronisches
Bauelement sind aus [1] bekannt.
Ferner sind aus [1] Kohlenstoff-Nanoröhren sowie Verfahren zu
deren Herstellung bekannt [1]. Eine typische mehrwandige
Nanoröhre hat einen Durchmesser von mehreren 10 nm, wobei die
Länge einer Nanoröhre mehrere Mikrometer betragen kann. Die
Enden einer Nanoröhre sind typischerweise mit jeweils einem
halben Fullerenmolekülteil gekappt, d. h. abgedeckt.
Eine Nanoröhre kann sowohl einwandig als auch mehrwandig
sein. Bei mehrwandigen Nanoröhren ist mindestens eine innere
Nanoröhre von einer äußeren Nanoröhre koaxial umgeben [1].
Je nach Chiralität weisen Nanoröhren entweder die
Eigenschaften eines Metalls oder die Eigenschaften eines
Halbleiters auf. Diese Leitfähigkeit kann weiterhin durch
Anlegen eines elektrischen Feldes (sogenannter Feldeffekt)
[2] und/oder durch Dotieren der Kohlenstoffnanoröhre mit
Bornitrid gesteuert werden, wie in [3] beschrieben. Im
letzteren Falle spricht man bei einer mit Boratomen und
Stickstoffatomen dotierten Nanoröhre auch von einer Bor-
Nitrid-Nanoröhre.
Wegen der Eignung der Nanoröhre als metallische Leiter sowie
als Halbleiter ist es im Rahmen der Nanoschalttechnik
wünschenswert, solche einwandigen und mehrwandigen Nanoröhren
auf festen Substraten aufzubringen.
Bislang wurde dies dadurch erreicht, dass ein Substrat zum
Beispiel durch Behandlung mit Trialkyl-substituierten
Silazanverbindungen hydrophob gemacht wurde, und die
Nanoröhre anschließend aufgrund Van der Waalschen Kräfte
darauf fixiert wurde [4].
Eine derartige Aufbringung führt jedoch zu der Möglichkeit,
dass die Nanoröhre auf dem Substrat verrutschen kann. Dieses
Verrutschen beeinträchtigt sowohl den gewünschten
vorgegebenen Aufbau als auch die langfristige Beständigkeit
solcher mit Nanoröhren konstruierten Schaltkreise erheblich.
Es besteht also das Bedürfnis für eine Technik, durch die ein
stärkerer Kontakt zwischen mehrwandigen Nanoröhren und einem
Substrat gewährleistet werden kann.
Somit liegt der Erfindung das Problem zugrunde, mehrwandige
Nanoröhren auf einem Substrat verglichen mit der Bindung aus
[4] stärker zu binden.
Das Problem wird durch ein Verfahren zum Binden einer
mehrwandigen Nanoröhre auf einem Substrat und ein
elektronisches Bauelement mit den Merkmalen gemäß den
unabhängigen Patentansprüchen gelöst.
Bei einem Verfahren zum Binden einer mehrwandigen Nanoröhre
auf einem Substrat werden in einem ersten Schritt chemisch
reaktive Gruppen auf der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre erzeugt und in einem zweiten Schritt wird die
chemisch so modifizierte mehrwandige Nanoröhre mit dem
Substrat derart in Kontakt gebracht, dass zwischen den
erzeugten chemisch reaktiven Gruppen auf der äußeren Wand der
mehrwandigen Nanoröhre und dem Substrat kovalente chemische
Bindungen entstehen.
Das Kohlenstoffgerüst der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre wird durch Erzeugung reaktiver Gruppen
derivatisiert. Diese auf der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre erzeugten chemisch reaktiven Gruppen reagieren
anschließend mit auf dem Substrat sich befindlichen Resten,
die geeignet sind, mit den chemisch reaktiven Gruppen auf der
äußeren Wand der Nanoröhre zu reagieren, sodass eine
kovalente Bindung zwischen diesen entsteht.
Als Substrat können Materialien, die solche chemisch reaktive
Gruppen aufweisen, verwendet werden. Zum Beispiel weisen
Substrate auf Siliziumbasis, zum Beispiel Glas (SiO2),
Hydroxylgruppen auf. Alternativ kann als Substrat ein
Material, das solche chemisch reaktive Gruppen nicht
aufweist, mit einem weiteren Material beschichtet werden, das
solche chemisch reaktiven Gruppen aufweist. Bei dem Substrat
sind als chemisch reaktive Gruppen Nukleophile besonders
bevorzugt.
Als Derivatisierung der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre ist beispielsweise die Oxidation einer großen Zahl
sich in dieser Wand befindlichen Kohlenstoffatomen zur
Erzeugung chemisch reaktiver Gruppen besonders geeignet.
Eine solche Oxidation bringt insbesondere zwei Vorteile mit
sich.
Einerseits ermöglicht eine solche Erzeugung chemisch
reaktiver Gruppen wie oben beschrieben die kovalente Bindung
der mehrwandigen Nanoröhre auf dem Substrat.
Andererseits führt die weitgehende Oxidation der äußeren Wand
der mehrwandigen Nanoröhre einen elektrisch isolierenden
Effekt herbei, sodass die äußere Wand der mehrwandigen
Nanoröhre ihre Eigenschaft, den elektrischen Strom zu leiten,
verliert.
Dahingegen übernimmt eine der inneren Nanoröhren der
mehrwandigen Nanoröhre die Eigenschaft, den elektrischen
Strom zu leiten, weil diese zumindest eine innere Nanoröhre
der mehrwandigen Nanoröhre durch die äußere Wand der
mehrwandigen Nanoröhre von der chemischen Oxidation geschützt
wird.
Eine solches Beibehalten der Leitfähigkeit der zumindest
einen inneren Nanoröhre unter Verlust der Leitfähigkeit der
äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre ist im Hinblick auf
die Konstruktion von Nanoschaltkreisen besonders vorteilhaft,
denn eine solche äußere elektrische Isolierung ermöglicht den
kreuzweisen Aufbau von solchen Nanoschaltkreisen, ohne dass
es zu einem elektrischen Kurzschluss zwischen den sich
kreuzenden Nanoröhren kommt.
Es ist in diesem Zusammenhang anzumerken, dass bei der
gezielten chemischen Veränderung der äußeren Wand einer
mehrwandigen Nanoröhren die elektrische Leitung durch die
mehrwandige Nanoröhre automatisch von der nächstinneren
Nanoröhre übernommen wird.
Die mehrwandige Nanoröhre kann beispielsweise eine
mehrwandige Kohlenstoff-Nanoröhre oder eine mit Bornitrid
dotierte mehrwandige Nanoröhre sein.
Ferner kann vor dem Schritt des Inkontaktbringens mit dem
Substrat die chemisch so modifizierte mehrwandige Nanoröhre
durch Filtration allein oder durch Ausfällung und Filtration
abgetrennt werden.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist es vorgesehen,
dass nach dem Schritt des Abtrennens aber vor dem Schritt des
Inkontaktbringens die chemisch so modifizierte mehrwandige
Nanoröhre in einem geeigneten Medium dispergiert wird.
Ferner kann die Erzeugung chemisch reaktiver Gruppen auf der
äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre mittels einer
Oxidation der äußeren Wand erfolgen, wobei gemäß einer
weiteren Ausgestaltung der Erfindung die Oxidation durch
Umsetzung mit einer starken oxidierenden Säure erfolgt.
Als starke oxidierende Säure kann Salpetersäure,
Schwefelsäure, Chromsäure, Carosche Säure, Perchlorsäure,
Jodsäure oder organischen Persäuren verwendet werden.
Weiterhin kann die Schwefelsäure als eine Mischung mit
Wasserstoffperoxid eingesetzt werden.
Die Erzeugung chemisch reaktiver Gruppen auf der äußeren Wand
der mehrwandigen Nanoröhre kann bei Raumtemperatur oder bis
zur Siedetemperatur erfolgen.
Weiterhin ist es gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung
vorgesehen, dass das Substrat chemisch reaktive Gruppen
aufweist, die imstande sind, mit den chemisch reaktiven, auf
der äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre erzeugten Gruppen
eine kovalente Bindung einzugehen.
Die chemisch reaktiven Gruppen auf dem Substrat können
Nukleophile, beispielsweise Hydroxylgruppen sein.
Die auf der äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre erzeugten
Gruppen können Carboxylfunktionen sein.
Vor dem Inkontaktbringen können die Carboxylgruppen mit einem
Reagenz zur Begünstigung der kovalenten Bindung behandelt
werden, wobei als Halogenierungsreagenz im Falle der
Säurechloridbildung SOCl2, COCl2, PCl3, PCl5, CCl4 und Ph3P,
PhCOCl, ClCOCOCl oder Cl2CHOMe, und als Kupplungsreagenz bei
direktem Umsatz von Säure- und Hydroxylgruppen Carbodiimide
oder Mineralsäuren verwendet werden können.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist es
vorgesehen, dass für den Fall, dass Thionylchlorid als
Halogenierungsreagenz zur Aktivierung der auf der äußeren
Wand der mehrwandigen Nanoröhre erzeugten Carboxylgruppen
verwendet wird, eine Base zusätzlich verwendet wird, um die
bei der Reaktion zwischen dem Säurechlorid auf der äußeren
Wand der mehrwandigen Nanoröhre und den Hydroxylgruppen auf
dem Substrat entstehende Chlorwasserstoffsäure zu
neutralisieren.
Als Base zur Neutralisation wird gemäß einer weiteren
Ausgestaltung der Erfindung bevorzugt eine nicht nukleophile
Base verwendet, vorzugsweise ein alkylsubstituiertes Amin wie
beispielsweise Triethylamin oder Diisopropylamin, oder
Imidazol, Pyridin oder eine Mischung aus Kalium-tert-Butoxid
und tert-Butanol.
Ein elektronisches Bauelement weist ein Substrat auf sowie
auf dem Substrat kovalent gebundenen mehrwandige Nanoröhren.
Die kovalente Bindung zwischen den mehrwandigen Nanoröhren
und dem Substrat kann gemäß dem oben beschriebenen Verfahren
gebildet werden.
Zusätzliche Merkmale der Erfindung werden nachfolgend anhand
der Ausführungsformen mit Bezugnahme auf die Zeichnung
erläutert.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren
dargestellt und werden im weiteren näher erläutert.
Es zeigen
Fig. 1 eine schematische Darstellung des Derivatisierens und
des Aufbringens der mehrwandigen Nanoröhre auf dem
Substrat gemäß einer Ausführungsform der Erfindung
und
Fig. 2 eine schematische vergrößerte Darstellung einer mit
Carboxylgruppen derivatisierten mehrwandigen
Nanoröhre mit kovalenten Bindungen mit dem Substrat.
Fig. 1a zeigt eine mehrwandige Nanoröhre 100 in einem Behälter
103, der ein Medium 110 enthält, vor der Erzeugung chemisch
reaktiver Gruppen auf der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre 100.
Fig. 1b zeigt die Nanoröhre 100 mit chemisch reaktiven Gruppen
102, die durch eine kovalente Bindung 101 auf der äußeren
Wand der mehrwandigen Nanoröhre 100 erzeugt worden sind.
Eine solche Derivatisierung der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre 100 erfolgt gemäß diesem Ausführungsbeispiel durch
Umsetzung mit starker oxidierender Säure.
Bevorzugt zu diesem Zweck ist beispielsweise die Verwendung
von konzentrierter Salpetersäure (bis zu 100
Gewichtsprozent), Chromsäure, Carosche Säure, Schwefelsäure,
bzw. Gemische aus Schwefelsäure und Wasserstoffperoxid,
Perchlorsäure, Jodsäuren oder organischen Persäuren.
Die Umsetzung kann bei Raumtemperatur oder bei einer
Temperatur bis zur Siedehitze der jeweiligen säurehaltigen
Medium erfolgen. Durch die Behandlung mit starker
oxidierender Säure in wässriger Umgebung werden
Kohlenstoffatome auf der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre in die entsprechenden Carbonsäurereste umgewandelt.
Nach der Erzeugung chemisch reaktiver Gruppen 102 auf der
Oberfläche der äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre 100
können die chemisch so modifizierten Nanoröhren 100 wahlweise
durch Filtration allein oder durch aufeinanderfolgende
Ausfällung und Filtration von dem säurehaltigen Medium 110
abgetrennt werden.
Die abgetrennten derivatisierten Nanoröhren 100 können dann
wahlweise gewaschen und dann in einem zweiten Medium 104
dispergiert werden oder ohne erstmals gewaschen zu werden,
direkt nach dem Abtrennen in einem zweiten Medium 104
dispergiert werden, wie in Fig. 1c dargestellt.
Das Ergebnis des Dispergierens der chemisch so modifizierten
Nanoröhre 100 ist in Fig. 1c gezeigt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann die
in Fig. 1c in dem Medium 104 dispergierte mehrwandige
Nanoröhre 100 mit einem weiteren Reagenz umgesetzt werden, um
die auf der äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre 100
erzeugten chemisch reaktiven Gruppen 102 gegenüber Reaktion
mit einem Nukleophil durch weitere Derivatisierung zu
aktivieren. Auf diese Weise wird die spätere Bildung einer
kovalenten Bindung mit den vorzugsweise nukleophilen Gruppen
auf dem Substrat begünstigt.
Für den Fall, dass die auf der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre 100 erzeugten Gruppen 102 Carboxylgruppen sind,
kann eine solche Aktivierung durch Zugabe eines bekannten
Halogenierungsreagenzes wie beispielsweise SOCl2, oder für
den Fall des direkten Umsatzes der Carboxylgruppen mit
Hydroxylgruppen des Substrats eines bekannten
Kupplungsreagenzes wie beispielsweise Carbonyldiimidazol,
Dicyclohexylcarbodiimid oder Mineralsäuren erfolgen.
Alternativ zu SOCl2 für die Konvertierung zum entsprechenden
Säurechlorid kann auch COCl2, PCl3, PCl5, (CCl4 und Ph3P),
PhCOCl, ClCOCOCl oder Cl2CHOMe verwendet werden.
Fig. 1d zeigt den Fall, bei dem ein Substrat 106 in einem
Substratgehäuse 105 nicht aus einem Material besteht, das
chemisch reaktive Gruppen aufweist.
In diesem Fall werden die chemisch reaktiven Gruppen 107
zunächst auf dem Substrat mittels bekannter Verfahren
beispielsweise durch Beschichtung mit einem Material, das
chemisch reaktiver Gruppen aufweist, aufgebracht.
Fig. 1e zeigt das Substrat 106 in dem Substratgehäuse 105, bei
dem das Substratmaterial entweder bereits chemisch reaktive
Gruppen 107 aufweist oder bei dem solche chemisch reaktive
Gruppen 107 über die kovalente Bindung 108 auf die Oberfläche
des Substrats 106 aufgebracht worden sind.
In jedem Fall ist die Oberfläche des Substrats 106
vorzugsweise hydrophil, so dass eine gute Haftung der
ebenfalls durch die Derivatisierung hydrophil gemachten
mehrwandigen Nanoröhre 100 gewährleistet ist.
Fig. 1f zeigt das Inkontaktbringen des die derivatisierten
mehrwandigen Nanoröhren 100 enthaltenden Mediums 104 mit dem
Substrat 106. Für den Fall, dass Thionylchlorid oder ein
anderes halogenierendes Reagenz bei dem in Fig. 1c
dargestellten Schritt zur Aktivierung der auf der äußeren
Wand der mehrwandigen Nanoröhre 100 erzeugten Carboxylgruppen
verwendet wurde, kann eine zusätzliche Base bei dem in Fig. 1f
dargestellten Schritt zugesetzt werden.
Eine solche Base dient der Neutralisation der
Chlorwasserstoffsäure, die bei der Reaktion zwischen den
Säurechloridfunktionen auf der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre und den Hydroxylgruppen auf dem Substrat entsteht.
Somit wird während der Bildung der kovalenten Bindung 109
zwischen der Nanoröhre 100 und dem Substrat 106, bei der
Säure entsteht, verhindert, dass die Gegenreaktion, nämlich
die saure Hydrolyse der gebildeten Estergruppe zwischen der
Nanoröhre 100 und dem Substrat 106, stattfindet.
Für diesen Zweck werden möglichst nicht nukleophile Basen,
beispielsweise alkylsubstituierte Amine wie beispielsweise
Triethylamin oder Diisopropylamin, oder alternativ Imidazol,
Pyridin oder eine Mischung aus Kalium-tert-Butoxid und tert-
Butanol verwendet.
Fig. 1g zeigt die kovalente Bindung 109 zwischen der
derivatisierten mehrwandigen Nanoröhre 100 und dem Substrat
106.
Die auf diese Weise auf dem Substrat 106 gebundene
mehrwandige Nanoröhre 100 bleibt daher rutschfest auf der
Oberfläche des Substrats 106. Diese Rutschfestigkeit
ermöglicht eine bislang unerzielte Beständigkeit im Aufbau
von Nanoschaltkreisen.
Fig. 2 zeigt eine schematisierte vergrößerte Darstellung einer
mit Carboxylgruppen 203 derivatisierten Nanoröhre 201 beim
Inkontaktkommen mit Hydroxylgruppen 204 auf der Oberfläche
des Substrats 202.
Bei dieser Ausführungsform sind die Carboxylgruppen 203 der
äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre 201 nicht mit einem
Halogenierungsreagenz modifiziert worden.
Die Bereiche, in denen das Bilden einer Esterbindung zwischen
der mehrwandigen Nanoröhre und dem Substrat stattfindet, sind
durch Ellipsen 205 hervorgehoben.
In diesem Dokument sind folgende Veröffentlichungen zitiert:
[1] P. M. Ajayan, Nanotubes from Carbon, Chem. Rev. 99, S. 1787-1799, 1999
[2] W. Han et al, Synthesis of Boron Nitride Nanotubes From Carbon Nanotubes by a substitution Reaction, Applied Physics Letters, Volume 73, Number 21, S. 3085-3087, November 1998
[3] R. Martel et al. Single- and Multi-Wall Carbon Nanotube Field-Effect Transistors, Applied Physics Letters, Volume 73, Number 17, S. 2447-2449, October 1998
[4] G. S. Duesberg, W. J. Blau et al., Chemical Physics Letters 310(1999) 8-14
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[4] G. S. Duesberg, W. J. Blau et al., Chemical Physics Letters 310(1999) 8-14
100
Mehrwandige Nanoröhre
101
Kovalente Bindung
102
Auf der mehrwandigen Nanoröhre aufgebrachte chemisch
reaktive Gruppe
103
Behälter
104
Zweites Medium
105
Substratgehäuse
106
Substrat
107
Chemisch reaktive Substratgruppe
108
Kovalente Bindung
109
Kovalente Bindung zwischen der mehrwandigen Nanoröhre und
dem Substrat
110
Erstes Medium
201
Mehrwandige Nanoröhre
202
Substrat
203
Auf der mehrwandigen Nanoröhre aufgebrachte
Carboxylgruppe
204
Substrathydroxylgruppe
205
Veresterungsbereich
Claims (22)
1. Verfahren zum Binden einer mehrwandigen Nanoröhre auf
einem Substrat, aufweisend folgende Schritte:
- - Erzeugen chemisch reaktiver Gruppen auf der äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre;
- - Inkontaktbringen der chemisch so modifizierten mehrwandigen Nanoröhre mit dem Substrat derart, dass zwischen den erzeugten chemisch reaktiven Gruppen auf der äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre und dem Substrat kovalente chemische Bindungen entstehen.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1,
bei dem die mehrwandige Nanoröhre eine mehrwandige
Kohlenstoffnanoröhre oder eine mit Bornitrid dotierte
mehrwandige Nanoröhre ist.
3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2,
bei dem vor dem Schritt des Inkontaktbringens mit dem
Substrat die chemisch so modifizierte mehrwandige Nanoröhre
durch Filtration allein oder durch Ausfällung und Filtration
abgetrennt wird.
4. Verfahren gemäß Anspruch 3,
bei dem nach dem Schritt des Abtrennens aber vor dem Schritt
des Inkontaktbringens die chemisch so modifizierte
mehrwandige Nanoröhre in einem geeigneten Medium dispergiert
wird.
5. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4,
bei dem das Aufbringen chemisch reaktiver Gruppen auf der
äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre mittels einer
Oxidation der äußeren Wand erfolgt.
6. Verfahren gemäß Anspruch 5,
bei dem die Oxidation durch Umsetzung mit einer starken Säure
erfolgt.
7. Verfahren gemäß Anspruch 6,
bei dem als starke oxidierende Säure Salpetersäure,
Schwefelsäure, Chromsäure, Carosche Säure, Perchlorsäure,
Jodsäure oder organischen Persäuren verwendet werden.
8. Verfahren gemäß Anspruch 7,
bei dem die Schwefelsäure als eine Mischung mit
Wasserstoffperoxid eingesetzt wird.
9. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 4 bis 8,
bei dem die Erzeugung chemisch reaktiver Gruppen auf der
äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre bei Raumtemperatur
oder bis zur Siedetemperatur erfolgt.
10. Verfahren gemäß Anspruch 1 bis 9,
bei dem das Substrat chemisch reaktive Gruppen aufweist, die
imstande sind, mit den chemisch reaktiven, auf der äußeren
Wand der mehrwandigen Nanoröhre aufgebrachten Gruppen eine
kovalente Bindung einzugehen.
11. Verfahren gemäß Anspruch 10,
bei dem die chemisch reaktiven Gruppen auf dem Substrat
Nukleophile sind.
12. Verfahren gemäß Anspruch 11,
bei dem die Nukleophile Hydroxylgruppen sind.
13. Verfahren gemäß Anspruch 10,
bei dem die auf der äußeren Wand der mehrwandigen Nanoröhre
erzeugten Gruppen Carboxylgruppen sind.
14. Verfahren gemäß Anspruch 13,
bei dem vor dem Inkontaktbringen die Carboxylgruppen mit
einem Halogenierungsreagenz zur Säurechloridbildung zur
Begünstigung des Bildens der kovalenten Bindung behandelt
werden oder die Carboxylgruppen mittels Kupplungsreagenzien
direkt mit Hydroxylgruppen des Substrats zur Reaktion
gebracht werden.
15. Verfahren gemäß Anspruch 14,
bei dem als Halogenierungsreagenz SOCl2, COCl2, PCl3, PCl5,
CCl4 und Ph3P, PhCOCl, ClCOCOCl oder Cl2CHOMe, und als
Kupplungsreagenz Carbodiimide oder Mineralsäuren verwendet
wird.
16. Verfahren gemäß Anspruch 15,
bei dem, für den Fall, dass SOCl2, COCl2, PCl3, PCl5, CCl4 und
Ph3P, PhCOCl, ClCOCOCl oder Cl2CHOMe als
Halogenierungsreagenz zur Aktivierung der auf der äußeren
Wand der mehrwandigen Nanoröhre erzeugten Carboxylgruppen
verwendet wird, eine Base zusätzlich verwendet wird, um die
bei der Reaktion zwischen den dadurch entstandenen
Säurechloridgruppen auf der äußeren Wand der mehrwandigen
Nanoröhre und den Hydroxylgruppen auf dem Substrat
entstehende Chlorwasserstoffsäure zu neutralisieren.
17. Verfahren gemäß Anspruch 16, bei dem als die zum
Neutralisieren verwendete Base eine nicht nukleophile Base
verwendet wird.
18. Verfahren gemäß Anspruch 17, bei dem als die nicht
nukleophile Base ein alkylsubstitutiertes Amin verwendet
wird.
19. Verfahren gemäß Anspruch 18, bei dem das
alkylsubstituierte Amin Triethylamin oder Diisopropylamin
ist.
20. Verfahren gemäß Anspruch 17, bei dem als nicht
nukleophile Base Imidazol, Pyridin oder eine Mischung aus
Kalium-tert-Butoxid und tert-Butanol verwendet wird.
21. Elektronisches Bauelement mit einem Substrat und auf dem
Substrat kovalent gebundenen mehrwandigen Nanoröhren.
22. Elektronisches Bauelement gemäß Anspruch 13,
bei dem die kovalente Bindung zwischen den mehrwandigen
Nanoröhren und dem Substrat gemäß dem Verfahren eines der
Ansprüche 1 bis 12 gebildet wird.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10038124A DE10038124B4 (de) | 2000-08-04 | 2000-08-04 | Verwendung einer mehrwandigen Nanoröhre auf einem Substrat und als elektronisches Bauelement |
| US09/919,115 US20020125470A1 (en) | 2000-08-04 | 2001-08-01 | Multiwall nanotube and process for oxidizing only the outer wall of a multiwall nanotube |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10038124A DE10038124B4 (de) | 2000-08-04 | 2000-08-04 | Verwendung einer mehrwandigen Nanoröhre auf einem Substrat und als elektronisches Bauelement |
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ID=7651347
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| DE10038124A Expired - Fee Related DE10038124B4 (de) | 2000-08-04 | 2000-08-04 | Verwendung einer mehrwandigen Nanoröhre auf einem Substrat und als elektronisches Bauelement |
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- 2000-08-04 DE DE10038124A patent/DE10038124B4/de not_active Expired - Fee Related
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| US20020125470A1 (en) | 2002-09-12 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: QIMONDA AG, 81739 MUENCHEN, DE |
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| R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: INFINEON TECHNOLOGIES AG, DE Free format text: FORMER OWNER: QIMONDA AG, 81739 MUENCHEN, DE Owner name: POLARIS INNOVATIONS LTD., IE Free format text: FORMER OWNER: QIMONDA AG, 81739 MUENCHEN, DE |
|
| R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: POLARIS INNOVATIONS LTD., IE Free format text: FORMER OWNER: INFINEON TECHNOLOGIES AG, 85579 NEUBIBERG, DE |
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