DE10035840A1 - Thermoelektrisches Halbleiterbauelement - Google Patents

Thermoelektrisches Halbleiterbauelement

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Abstract

Bekannte thermoelektrische Halbleiterbauelemente, die auf dem Peltier- oder dem Seebeck-Effekt basieren, weisen nicht zufriedenstellende Güteparameter ZT in der Nähe des Wertes "1" auf. Es werden ungeordnete kristalline Halbleitermaterialien eingesetzt. Die phononische Wärmeleitfähigkeit (lambda¶L¶) als ausgeprägt anisotrope Kristalleigenschaft hat reziproken Einfluss auf den Güteparameter ZT. Entlang polarer Achsen (PA) im Kristall, die aufgrund von Atomlagen mit polarer Symmetrie hervorgerufen werden, nimmt die phononische Wärmeleitfähigkeit (lambda¶L¶) als zweite Komponente der Leitfähigkeit (lambda) neben der elektronischen Wärmeleitfähigkeit (lambda¶e¶) minimale Werte an. Bei dem erfindungsgemäßen Halbleiterelement (SCE) ist deshalb vorgesehen, dass die eingesetzten Verbindungshalbleiter (SC) polare Achsen (PA) aufweisen und dass eine von maximal drei unabhängigen polaren Achsen (PA) - bevorzugt eine ausgezeichnete Achse (PA) mit der geringsten phononischen Wärmeleitfähigkeit (lambda¶L¶) - entlang des zu erzeugenden Temperaturgradienten DOLLAR I1 ausgerichtet ist. Entsprechend können orientiert angeordnete Halbleitermaterialien (SC) mit polaren Achsen (PA) mit optimierten Güteparametern (ZT) zu hocheffizienten thermoelektrischen Halbleiterbauelementen (SCE) in heizenden beziehungsweise kühlenden oder stromerzeugenden Funktionen in den vielfältigsten Anwendungsmöglichkeiten umgesetzt werden.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein thermoelektrisches Halbleiterbauelement mit zwei Versorgungsanschlüssen zur Erzeugung oder Ausnutzung eines Temperaturgradienten auf der Basis thermoelektrischer Effekte mit einer Materialkonfigurierung kristallin strukturierter Verbindungshalbleiter unter dem Gesichtspunkt einer optimierten phononischen und elektronischen Wärmeleit­ fähigkeit des Kristallgitters in Richtung des Temperaturgradienten.
In thermoelektrischen Halbleiterbauelementen wird die Trennbarkeit von elektrischem und thermischem Stromfluss in einem Temperaturgradienten ausgenutzt. Zu den thermoelektrischen Effekten gehören insbesondere der Seebeck-Effekt bezüglich der Umsetzung eines Temperaturgradienten in einen elektrischen Stromfluss (thermoelektrischer Generator) und der dazu inverse Peltier-Effekt bezüglich der Umsetzung eines Spannungsgradienten in einen Wärmefluss zur Erzeugung eines Temperaturgradienten (Kühl- oder Heiz­ element). Die genannten Vorrichtungen werden im Folgenden vereinfacht mit "Peltier-Element" bezeichnet.
Die Effektivität von Halbleitermaterialien für den Einsatz in Peltier-Elementen wird allgemein durch den temperaturabhängigen Güteparameter Z ("Effektivi­ tätskennzahl") erfasst, der proportional vom Quadrat des Seebeck-Koeffi­ zienten S und dem Quotienten aus der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit σ und der spezifischen thermischen Leitfähigkeit λ abhängig ist.
Es gilt:
Z = S2 σ/λ.
Neben einer möglichst hohen elektrischen Leitfähigkeit σ ist aufgrund dieses Zusammenhanges bei der Materialkonfiguration eine möglichst geringe Wärmeleitfähigkeit λ anzustreben.
Die Wärmeleitfähigkeit λ wird als Summe aus der Wärmeleitfähigkeit des Kristallgitters (phononische Wärmeleitfähigkeit λL mit L = Lattice) und der Wärmeleitfähigkeit der elektrischen Ladungsträger (elektronische Wärmeleit­ fähigkeit λe) dargestellt.
Es gilt:
λ = λL+ λe.
Die anzustrebende Verringerung der Wärmeleitfähigkeit λ kann praktisch nur über eine Verringerung der phononischen Wärmeleitfähigkeit λL umgesetzt werden.
Als geeignete Materialien für Peltier-Elemente haben sich vor allem Verbindungshalbleiter erwiesen, deren atomare Konstituenten schwere Elemente sind. Bei derartigen Halbleitern, z. B. Bi2Te3, ist die Wärmeleit­ fähigkeit λL des Kristallgitters vergleichsweise gering. Eine weitere Verringe­ rung der Wärmeleitung λL durch das Gitter kann dadurch bewirkt werden, dass Mischverbindungen, beispielsweise Bi2(Te,Se)3, eingesetzt werden. Die elektronische Leitfähigkeit λe bei der entsprechenden Arbeitstemperatur liegt vorteilhafterweise im Bereich der beginnenden Entartung des Halbleiters. Bei Berücksichtigung der genannten technischen Regeln lassen sich Materialien für thermoelektrische Halbleiterbauelemente konfigurieren, deren ZT-Werte unter oder nahe bei dem Wert "1" liegen. Die Verwendung der Größe "ZT" hat gegenüber dem Güteparameter Z den Vorteil, dass es ich um einen dimensionslosen Parameter handelt. Mit "T" wird dabei die mittlere Temperatur als Mittelwert zwischen den beiden immer auftretenden Gradienten­ temperaturen bezeichnet, bei der das Peltier-Element arbeitet (vergleiche Encyclopedia of Appl. Phys., Vol 21. (1997) "Thermoelectric Devices", insbesondere Kap. 1.1.3 "Thermal Conductivity"). ZT-Werte im Bereich des Wertes "1" sind aber in Anbetracht der beteiligten Parameter und ihrer Einstellmöglichkeiten nicht als befriedigend anzusehen.
Im Stand der Technik ist eine Vielzahl von unterschiedlich konfigurierten Peltier-Elementen bekannt. Genannt seien beispielhaft an dieser Stelle die EP 0924481, die US 5715684 und die DE 40 06 861. In diesen Druckschriften werden thermoelektrische Halbleiterbauelemente in Form von Peltier-Elemen­ ten aus parallel nebeneinander angeordneten n- und p-Halbleitern beschrie­ ben. Der über Versorgungsanschlüsse eingeleitete Strom fließt durch alle n- Halbleiter in eine und durch alle p-Halbleiter in die entgegengesetzte Richtung. In Kombination mit einer Verschaltung der n- und p- Halbleiterelemente in Reihe ergibt sich bei fließendem Strom ein Temperaturgradient, der entweder zur Kühlung oder Erwärmung einer Seite der Peltier-Elemente führt. Auf eine charakteristische Materialkonfigurierung jedes einzelnen n- und p-Halbleiter­ bauelements wird bei den bekannten Peltier-Elementen kein Bezug genommen. Vielmehr werden hier die Halbleitermaterialien durchgängig in einer regellosen Konfigurierung ohne einen speziell geordneten Aufbau eingesetzt.
Vor dem Hintergrund der oben aufgezeigten technischen Regeln bei der Konfigurierung von Materialien für thermoelektrische Halbleiterbauelemente und ausgehend von dem zuvor beschriebenen prinzipiellen Aufbau solcher Bauelemente ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein thermo­ elektrisches Bauelement der eingangs genannten Art in seiner Material­ konfigurierung so weiterzubilden, dass besonders hohe Güteparameter erreichbar werden. Dabei sollen die Mittel der Weiterbildung einfach und damit einfach herstell- und anwendbar sowie kostengünstig sein.
Als Lösung für diese Aufgabe ist bei dem erfindungsgemäßen thermoelek­ trischen Halbleiterbauelement mit zwei Versorgungsanschlüssen zur Erzeu­ gung oder Ausnutzung eines Temperaturgradienten auf der Basis thermo­ elektrischer Effekte mit einer Materialkonfigurierung kristallin strukturierter Verbindungshalbleiter unter dem Gesichtspunkt einer optimierten Wärmeleit­ fähigkeit in Richtung des Temperaturgradienten deshalb vorgesehen, dass die eingesetzten Verbindungshalbleiter aufgrund von im Kristallgitter charakte­ ristisch positionierter Atome in Lagen polarer Symmetrie eine maximal dreiachsig polare Kristallgitter-Wärmeleitfähigkeit mit ausgeprägt kleinen Werten entlang der auftretenden unabhängigen, polaren Achsen aufweisen und derart im Halbleiterbauelement orientiert angeordnet sind, dass eine von den maximal drei polaren Achsen entlang des zu erzeugenden Temperatur­ gradienten ausgerichtet ist.
Die Erfindung geht für ihren Lösungsansatz von mehreren Beobachtungen aus:
  • - Eine der Strategien für die Erreichung hoher ZT-Werte besteht darin, die phononische Wärmeleitfähigkeit des eingesetzten Halbleitermaterials in Richtung des Temperaturgefälles zu minimieren.
  • - In anisotropen Kristallen mit Atomen auf polaren Lagen treten für die verschiedenen Kristallrichtungen verschiedene phononische Wärmeleitfä­ higkeiten auf, die sich um Größenordnungen unterscheiden können. Dies gilt z. B. für Graphit, das aus übereinander liegenden Schichten aus hexagonal koordinierten C-Atomen aufgebaut ist, und in dem die Gitterwärmeleitfähigkeit parallel zu den Schichten über einen großen Temperaturbereich um den Faktor 20 größer ist als senkrecht dazu (vergleiche J.E. Parrott and A.D: Stuckes, "Thermal Conductivity of Solids", Pion London, 1975).
  • - Polare Lagen bzw. Lagen polarer Symmetrie im Sinne der Kristallographie mit unabhängigen polaren Achsen werden nach Schönfließ mit Symmetrie­ symbolen C1 (3 polare Achsen), Cs (2 polare Achsen), Cn, Cc ν (n = 2, 3, 4, 6; jeweils eine polare Achse) bezeichnet (vergleiche M. Birkholz "Crystal-field induce dipole moments in heteropolar crystals - I. concept", Z. Phys. B 96, 325-332, 1995). Beispielsweise besetzt das Se-Atom im geschichteten Gitter des Verbindungshalbleiters WSe2 eine polare Lage mit der Punktsymmetrie C3, wobei die polare Achse senkrecht zu den Se- und W- Schichten, d. h. parallel zur kristallographischen c-Achse orientiert ist.
Die Materialkonfigurierung in dem erfindungsgemäßen thermoelektrischen Halbleiterbauelement ist im Gegensatz zu den bekannten Konfigurierungen nicht regellos. Der geordnete Aufbau orientiert sich an der Geometrie der Kristallstruktur, aus dem der eingesetzte Halbleiter gebildet wird. Durch die Orientierung der Halbleiterkristallite entlang bestimmter kristallographischer Achsen ("polare Achsen") wird bewirkt, dass die Gitter-Wärmeleitung in Richtung der Achsen und damit senkrecht zu den Grenzschichten auf den kleinstmöglichen Wert reduziert wird. Durch diese resultierende Verringerung des starken Einflussfaktors der Wärmeleitfähigkeit sind mit dem erfindungs­ gemäßen Halbleiterbauelement bei der Realisierung von Kühl- oder Heizelementen bzw. thermischen Generatoren somit ohne Weiteres sehr hohe Güteparameter zu erzielen.
Die erfindungsgemäß eingesetzten Verbindungshalbleiter weisen durch charakteristische Atompositionen mit polarer Symmetrie eine ausgeprägte Anisotropie ihrer Gitterwärmeleitfähigkeit auf. In Richtung der polaren Achsen ist bei den verwendeten Verbindungshalbleitern die Wärmeleitfähigkeit stark reduziert, da hier Gitterschwingungen aufgrund der anisotropen Kristallpoten­ tiale stark unterdrückt werden. Die Strecken im Kristallgitter entlang der polaren Achsen wirken dann wie eine thermische Isolierung. Ein schwacher Einfluss wird auch auf die elektronische Wärmeleitfähigkeit λe als zweitem Anteil der Wärmeleitfähigkeit λ ausgeübt, der aber außer Acht gelassen werden kann. Da bei einigen Verbindungshalbleitern auch eine Vergrößerung der Kristall-Wärmeleitfähigkeit λL entlang der polaren Achsen auftreten kann, ist bei der Auswahl der für das erfindungsgemäße Halbleiterbauelement entsprechend sorgfältig vorzugehen. Erforderlichenfalls können getroffene Materialwahlen empirisch überprüft werden.
Gleiches gilt auch für die Wahl der geeigneten Material-Orientierung im Halbleiterbauelement. Da in den Kristallgittern maximal drei unabhängige polare Achsen mit unterschiedlicher Isolationswirkung auftreten können, ist diejenige mit den für den einzelnen Anwendungsfall günstigsten Isolations­ eigenschaften im Einzelfall dann empirisch zu ermitteln. Hierbei können sehr wohl auch die polaren Achsen ausgewählt werden, die nicht die minimale phononische Wärmeleitfähigkeit λL aufzeigen. Zum Aufbau eines Temperatur­ gradienten ist es jedoch wichtig, die beiden Punkte unterschiedlicher Tempe­ ratur optimal voneinander zu isolieren, um einen Temperaturausgleich zu verhindern und den aufgebauten oder angelegten Temperaturgradienten aufrecht zu erhalten. Je größer die selektive Isolationswirkung in Richtung des Temperaturgradienten ist, desto effektiver arbeitet das entsprechende Bau­ element. Deshalb ist es nach einer Ausgestaltung der Erfindung ist besonders sinnvoll, wenn die orientierte Anordnung der eingesetzten Verbindungs­ halbleiter entlang derjenigen ausgezeichneten polaren Achse erfolgt, entlang der die geringste Kristallgitter-Wärmeleitfähigkeit λL auftritt. Auch hierbei kann die festgelegte Kristallgitterorientierung gegebenenfalls empirisch durch einfache Messungen am Verbindungshalbleiter überprüft werden. In Abhängigkeit von der jeweiligen Wahl der günstigsten polaren Achse ist damit die hohe erreichbare Effektivität des erfindungsgemäßen Halbleiterbau­ elements erklärbar.
Nach einer Fortführung der Erfindung ist es daher vorteilhaft, wenn die beiden Energieanschlüsse so am Halbleiterbauelement angeordnet sind, dass der zur Erzeugung oder Ausnutzung des Temperaturgradienten erforderliche elektri­ sche Stromfluss entlang der einen ausgezeichneten polaren Achse erfolgt. Das gilt sowohl für den Fall der Aufprägung eines elektrischen Stroms zur Erzeugung eines Temperaturgradienten als auch für den inversen Fall der Aufprägung eines Temperaturgradienten zur Erzeugung eines elektrischen Stroms. Daneben kann es je nach Anwendungsfall für das Halbleiterbau­ element und damit je nach Anforderung an seine speziellen Betriebs­ charakteristika aber durchaus auch sinnvoll sein, wenn gemäß einer nächsten Erfindungsfortführung die beiden Energieanschlüsse so am Halbleiter­ bauelement angeordnet sind, dass der zur Erzeugung oder Ausnutzung des Temperaturgradienten erforderliche elektrische Stromfluss in beliebiger Orientierung zu der einen ausgezeichneten polaren Achse erfolgt.
Um von der Anisotropie der Gitterwärmeleitfähigkeit in Verbindungshalbleitern Gebrauch machen zu können, müssen solche Halbleiter ausgewählt werden, die Atome auf polaren Lagen, das heißt Atompositionen mit polarer Symmetrie aufweisen. Dabei können Materialien mit Atomen auf polaren Lagen sowohl mit nicht-stöchiometrischen als auch mit stöchiometrischen Verhältnissen der Konstituenten zum Einsatz kommen. Außerdem können Mischverbindungen von Halbleitermaterialien mit Atomen auf polaren Lagen zum Einsatz kommen, die dadurch erzeugt werden, dass in dem Maße wie auf eine Komponente verzichtet wird, eine andere dazulegiert wird, z. B. (Mo,W)Se2. Dabei kann es nach einer anderen Erfindungsausgestaltung vorgesehen sein, dass die eingesetzten Verbindungshalbleiter in reiner oder gemischter Form zu der Gruppe der Übergangsmetall-Dichalkogenide MX2 gehören mit insbesondere Mo, W oder Sn als Übergangsmetall M und S, Se oder Te als Chalkogenid X. Diese sogenannten "Schichtgitter-Halbleiter", an deren Bildung die Chalkogene X = S, Se und/oder Te beteiligt sein können, kristallisieren in der stark anisotropen CdJ2-Struktur. Einige dieser Verbindungshalbleiter können gezielt n- und p-dotiert werden, um die elektrische Leitfähigkeit durch Erhöhung der mobilen Ladungsträger zu verbessern (vergleiche M.C. Lux-Steiner "Synthese, optoelektronische Eigenschaften und Anwendungen neuer Halbleiterkristalle", Habilitationsschrift, Konstanz 1991). Diese und auch die weiter oben genannten Materialien können auch andere, beispielsweise für Peltier- Elemente verwendete Materialien zugesetzt werden, z. B. Bi2Te3 und WSe2. Weiterhin kann nach einer nächsten Fortführung des erfindungsgemäßen Halbleiterbauelements vorgesehen sein, dass den eingesetzten Verbindungs­ halbleitern weitere thermoelektrisch aktive Materialien zugemischt sind. Hierbei kann es sich beispielsweise um Bi2Te3 handeln. Durch Zugabe derartiger Materialien kann das Gesamtverhalten des Verbindungshalbleiters noch verbessert werden. Beispielsweise kann ein Material mit einem relativ schlechten Güteparameter, aber mit einer hohen Wärmeleitfähigkeit gemischt werden mit einem Material und einer niedrigen Wärmeleitfähigkeit, sodass ein neues Material entsteht mit einem hohen Güteparameter durch eine hohe elektrische Leitfähigkeit, aber mit einer geringen Gitter-Wärmeleitfähigkeit.
Nach einer anderen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Halbleiter­ bauelements kann vorgesehen sein, dass mehrere Schichten von Verbin­ dungshalbleitern gleicher oder unterschiedlicher Zusammensetzungen in einem Mehrschichtsystem übereinander gestapelt sind. Durch derartige Mehrschichtsysteme, zu denen sowohl makroskopische als auch mikrosko­ pische Schichtungen aus Halbleitermaterialien mit Atomen auf polaren Lagen zu zählen sind, kann in einfacher Weise eine Verstärkerwirkung für den gewünschten Effekt erzeugt werden. Dabei können nach einer weiteren Erfindungsausgestaltung die Schichten auch als dünne Filme ausgebildet sein, sodass sowohl mikroskopische Schichtungen aus einzelnen Schichtgittern erzielbar, aber auch die gesamten Schichtsysteme sehr dünn gestaltbar sind. Die Schichten können jeweils gleiche Materialzusammensetzung, aber auch unterschiedliche Zusammensetzungen aufweisen. Dabei können beispiels­ weise zwei oder mehrere verschiedene Materialzusammensetzungen wieder­ holt alternierend in das Mehrschichtpaket integriert sein, z. B. MoSe2-WSe2- MoSe2-WSe2 usw. Als Alternative zur Schichtenausbildung kann bei dem erfindungsgemäßen thermoelektrischen Halbleiterbauelement schließlich auch vorgesehen sein, dass kristallpulverförmige Verbindungsleiter gleicher oder unterschiedlicher Zusammensetzungen mit bevorzugten Kristallitorientierungen in einem Sinterverbund angeordnet sind. Die Herstellung von Halbleiterschichten aus Pulver durch Sinterung ist eine einfache und damit aussichtsreiche Methode. Geeignete Verfahren, durch die eine bevorzugte Orientierung von Kristalliten erzeugt werden kann, stehen zur Verfügung.
Eine Ausbildungsform der Erfindung wird nachfolgend anhand der schema­ tischen Figur näher erläutert. Diese zeigt ein Schichtenpaket aus Halbleiter­ materialien zur Realisierung eines Peltierelements.
Im gewählten Ausführungsbeispiel werden Schichtgitter-Verbindungen in Form von MX2-Kristallen (Übergangsmetalldichalkogenid) mit dem üblicherweise verwendeten CVT-Verfahren (Chemical Vapour Transport) hergestellt (andere geeignete Materialien SC ohne Schichtgitter-Verbindungen sind ebenfalls einsetzbar). Durch eine geeignete Wahl der Dotierstoffe können Kristalle mit n- und p-Leitung konfiguriert werden. Weiterhin können durch eine geeignete Wahl der Dotierkonzentrationen der Seebeck-Koeffizient S und die elektro­ nische Wärmeleitfähigkeit λe beispielsweise für Peltier-Element-Anwendungen optimiert, d. h. der Güterparameter Z bzw. ZT maximiert werden. Dazu sind die Kristallite mit einer polaren Achse PA entlang des zu erzeugenden oder aufrecht zu erhaltenden Temperaturgradienten ∇T zu orientieren, um die entlang der ausgezeichneten polaren Achse PA auftretende minimale phononische Wärmeleitfähigkeit λL auszunutzen.
Die erhaltenen, im gewählten Ausführungsbeispiel hexagonalen Kristalle (in der Figur als Ausschnittsvergrößerung dargestellt) sind flache Scheiben mit typischerweise seitlichen Abmessungen von Millimetern und Dicken von Mikrometern, wobei hier eine einzelne polare Achse PA der Chalkogenatome X senkrecht zu den Gitterflächen orientiert ist. In Richtung der polaren Achse weist die Gitterwärmeleitfähigkeit λL deutlich kleinere Werte auf als in der dazu senkrechten Richtung. Die scheibenförmigen Kristalle sind auf Dicken von ungefähr 5 mm aufgestapelt und zwischen dicken Kupferblechen Cu angeord­ net, wobei p- und n-Typ-Kristalle alternierend elektrisch in Reihe und thermisch parallel geschaltet sind. Die dazwischen liegenden Hohlräume dienen der elektrischen und thermischen Isolierung. Durch einen Einsatz geeigneter Verbindungsstrukturen - wie beim heutigen Stand der Technik von Peltier- Elementen üblich - ergibt sich ein Halbleiterbauelement SCE, das für Kühl- oder Heizzwecke sowie zur Stromerzeugung einsetzbar ist. Im dargestellten Ausführungsbeispiel fließt der elektrische Strom, der über zwei Versorgungs­ anschlüsse (EMK - Elektromotorische Kraft) ein- bzw. ausgeleitet wird, ebenso wie thermische Strom in den Halbleiterstapeln in Richtung der polaren Achse PA der X-Atome in Richtung des zu erzeugenden Temperaturgradienten ∇T.
Bezugszeichenliste
Cu Kupferblech
EMK Elektromotorische Kraft
M Übergangsmetall
PA polare Achse
X Chalkogen
SC Verbindungshalbleiter
SCE Halbleiterbauelement
S Seebeck-Koeffizient
∇T Temperaturgradient
Z/ZT Güteparameter
λ. spezifische thermische Leitfähigkeit
λe
elektronische Wärmeleitfähigkeit
λL
phononische Wärmeleitfähigkeit (Gitter-Wärmeleitfähigkeit)
σ spezifische elektrische Leitfähigkeit

Claims (9)

1. Thermoelektrisches Halbleiterbauelement mit zwei Versorgungsanschlüssen zur Erzeugung oder Ausnutzung eines Temperaturgradienten auf der Basis thermoelektrischer Effekte mit einer Materialkonfigurierung kristallin strukturier­ ter Verbindungshalbleiter unter dem Gesichtspunkt einer optimierten Wärme­ leitfähigkeit in Richtung des Temperaturgradienten, dadurch gekennzeichnet, dass die eingesetzten Verbindungshalbleiter (SC) aufgrund von im Kristallgitter charakteristisch positionierter Atome in Lagen polarer Symmetrie eine maximal dreichachsig polare Kristallgitter-Wärmeleitfähigkeit (λL) mit ausgeprägt kleinen Werten entlang der auftretenden unabhängigen, polaren Achsen aufweisen und derart im Halbleiterbauelement (SCE) orientiert angeordnet sind, dass eine von den maximal drei polaren Achsen (PA) entlang des zu erzeugenden Temperaturgradienten (∇T) ausgerichtet ist.
2. Thermoelektrisches Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die orientierte Anordnung der eingesetzten Verbindungshalbleiter (SC) entlang derjenigen ausgezeichneten polaren Achse (PA) erfolgt, entlang der die geringste Kristallgitter-Wärmeleitfähigkeit (λL) auftritt.
3. Thermoelektrisches Halbleiterbauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Energieanschlüsse (EMK) so am Halbleiterbauelement (SCE) ange­ ordnet sind, dass der zur Erzeugung oder Ausnutzung des Temperaturgra­ dienten (∇T) erforderliche elektrische Stromfluss entlang der einen ausge­ zeichneten polaren Achse (PA) erfolgt.
4. Thermoelektrisches Halbleiterbauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Energieanschlüsse (EMK) so am Halbleiterbauelement (SC) ange­ ordnet sind, dass der zur Erzeugung oder Ausnutzung des Temperatur­ gradienten (∇T) erforderliche elektrische Stromfluss in beliebiger Orientierung zu der einen ausgezeichneten polaren Achse (PA) erfolgt.
5. Thermoelektrisches Halbleiterbauelement nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die eingesetzten Verbindungshalbleiter (SC) in reiner oder gemischter Form zu der Gruppe der Übergangsmetall-Dichalkogenide MX2 gehören mit insbe­ sondere Mo, W oder Sn als Übergangsmetall M und S, Se oder Te als Chalkogenid X.
6. Thermoelektrisches Halbleiterbauelement nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass den eingesetzten Verbindungshalbleitern (SC) weitere thermoelektrisch aktive Materialien zugemischt sind.
7. Thermoelektrisches Halbleiterbauelement nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Schichten von Verbindungshalbleitern (SC) gleicher oder unterschied­ licher Zusammensetzung in einem Mehrschichtsystem übereinander gestapelt sind.
8. Thermoelektrisches Halbleiterbauelement nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichten als dünne Filme ausgebildet sind.
9. Thermoelektrisches Halbleiterbauelement nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass pulverförmige Verbindungsleiter (SC) mit einer bevorzugten Kristallitorien­ tierung entlang einer ausgezeichneten polaren Achse (PA) in einem Sinterverbund angeordnet sind.
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