DE10033314A1

DE10033314A1 - Vorrichtung zur Fehlerbehebung bei Bildaufbereitungsgeräten und Verfahren zum Testen von Bildaufbereitungsgeräten

Info

Publication number: DE10033314A1
Application number: DE10033314A
Authority: DE
Inventors: Hiroshi Tatekawa; Yukio Nishimura; Katsumi Sakamoto
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Current assignee: Agilent Technologies Inc
Priority date: 1999-06-30
Filing date: 2000-06-29
Publication date: 2001-03-22
Also published as: JP2001016622A; US6943826B1

Abstract

Um die Fehlerbehebung bei einem Bildaufbereitungsgerät mit einer großen Pixelzahl zu ermöglichen, weist eine Fehlerbehebungsvorrichtung eine Bildansichtanzeige (204) zum qualitativen Anzeigen von Pixelkennwerten in einem ersten Bereich des Bildaufbereitungsgerätes und eine Kodeansichtanzeige (210) zum quantitativen Anzeigen numerischer (211, 212) oder symbolischer Daten von einzelnen Pixeln in einem zweiten Bereich, der kleiner als der erste Bereich und in einer durch die Bildansichtanzeige bestimmten Fläche (204) ist, benannt auf.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG 1. Fachgebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Fehlerbehebungsvorrichtung, hier als ein Sichtge rät zum Analysieren und Anzeigen von bei einem Halbleiter-Test erhaltenen Messdaten be zeichnet, und ein Verfahren zum Anzeigen von Testergebnissen.

2. Beschreibung des relevanten Standes der Technik

Die Auflösung von Bildaufbereitungsgeräten wie CCD-Chips steigt gegenwärtig in ho hem Maße an. Die wachsende Auflösung von Bildaufbereitungsgeräten erfordert Bildaufbe reitungsgerätetests zum Behandeln und Verarbeiten einer sehr großen Informationsmenge.

Allgemein war es beim Entwickeln und Testen von Bildeinfanggeräten und Bildaufbe reitungsgeräten wie CCDs, CMOS-Bildgeräten usw. üblich, ein Bild eines Testmusters mit einem zu untersuchenden Gerät einzufangen, das eingefangene Bild von dem Gerät auszuge ben, und die auf Farbfilterung, Glättung usw. hin verarbeiteten Bilddaten des eingefangenen Bildes zu inspizieren, um zu bestimmen, ob das zu untersuchende Gerät brauchbar ist oder nicht. Um die Brauchbarkeit des geprüften Gerätes zu bestimmen, werden die numerischen Werte der verarbeiteten Bilddaten für alle Pixel inspiziert. Bei der Inspektion war es allge mein üblich, eine zum Testen von Bildaufbereitungsgeräten bestimmte Vorrichtung zu benut zen und automatisch solche Bildaufbereitungsgeräte auszuwählen, deren Werte gemäß einem Testprogramm in einen gewissen Bereich fallen.

In jüngster Zeit werden jedoch mehr und mehr Bildaufbereitungsgeräte mit Benutzung von Allgemeinzweckhalbleitertestvorrichtungen (sogenannten IC-Prüfgeräten) geprüft. Wenn ein solches Allgemeinzweck-IC-Prüfgerät zum Testen eines Bildaufbereitungsgerätes einge setzt wird, wird kein Testmuster benutzt, sondern das Bildaufbereitungsgerät wird auf einen mit dem IC-Prüfgerät verbundenen Testkopf aufgesetzt und mit Licht bestrahlt, um den Test durchzuführen. Der Benutzer betätigt einen an dem IC-Prüfgerät zum Analysieren und Anzei gen von Testergebnissen angeschlossenen PC.

Ein herkömmlicher Bildinspizierungsvorgang ist z. B. in der JP-Patentoffenlegungsschrift Nr. 7-230546 beschrieben. Gemäß dem beschriebenen Bildinspizierungsvorgang wird ein inspiziertes Bild als ein Histogramm angezeigt und analysiert.

Während einer Entwicklungsstufe für Bildaufbereitungsgeräte enthält ein Testprogramm oft Schritte des Anzeigens oder Druckens verarbeiteter Ergebnisse als numerische Binär-, Oktal- oder Hexadezimal-Werte für die Bedienungsperson, um die verarbeiteten Ergebnisse zu bestätigen. Gelegentlich können die angezeigten und gedruckten Daten die Werte aller Pixel eines geprüften Bildaufbereitungsgerätes überdecken. In den letzten Jahren sind Bild aufbereitungsgeräte mit einigen Millionen Pixeln entwickelt und hergestellt worden, wie Di gitalkameras, und finden breite Anwendung bei den Kunden.

Gemäß einem herkömmlichen Verfahren zum Anzeigen von Testinformation werden die Kennwerte jedes Pixels üblicherweise durch eine analoge Abstufung dargestellt, und die Kennwerte von mehreren Pixeln werden gleichzeitig angezeigt, um ein Bild der eingefange nen Daten an einer Anzeigeeinheit zu erzeugen. Bestimmte numerische Werte für Pixel kön nen durch Bewegen eines Cursors oder dergleichen angezeigt werden, und können, wenn er forderlich, abgerufen werden. Wenn eine derartige Pixelinformation als Flächen mit variie render Helligkeit und Dunkelheit (Luminanzinformation) an der Anzeigeeinheit angezeigt wird, kann die Bedienungsperson die allgemeine Tendenz der Pixelinformation erkennen. Der Benutzer wird es jedoch als schwierig empfinden, bestimmte Werte, wie bestimmte numeri sche Werte für gewisse Pixel und die Differenzen zwischen bestimmten numerischen Werten bei benachbarten Pixeln, z. B. oberen, unteren, linken und rechten Nachbarpixeln, nur aus der angezeigten Pixelinformation zu bestimmen und zu vergleichen.

Auch wenn das Testprogramm die Schritte des Anzeigens oder Ausdruckens aller nume rischen Daten von Pixeln eines Bildgerätes zur Bestätigung enthält, ist es für den Benutzer mühevoll und zeitraubend, einen gewissen Bereich von Pixeln zu bestimmen, da zu viele nu merische Daten vorhanden sind, wenn die Pixelzahl des Bildaufbereitungsgerätes sehr groß ist. Wenn ein anzuzeigender Bereich in dem Anzeigeschritt bestimmt wird, ist dann, wenn ein solcher Bereich geändert wird, der in dem Testprogramm aufgenommene Anzeigeschritt zu ändern. Zum Anzeigen numerischer Werte sollten diese nicht nur der Reihe nach in der Rei henfolge der Adressen ausgegeben und angezeigt werden, sondern auch ausgegeben werden, während Relativpositionen der Adressen unter Berücksichtigung der Anordnung der Pixel in dem Bildaufbereitungsgerät berechnet werden, so dass z. B. die numerischen Werte von hori zontal benachbarten Pixeln ebenso miteinander verglichen werden können, wie die numeri schen Werte von vertikal und im Schrägverlauf einander benachbarter Pixel. Wenn die Zahl von vertikal und horizontal angeordneten Pixeln sehr groß ist, muss beim Ausgeben und An zeigen der numerischen Werte der Pixel besondere Sorgfalt angewendet werden. Ein großer Arbeits- und Zeitaufwand kann erforderlich sein, um in jedem Testprogramm den Anzeige schritt mit Berücksichtigung der richtigen Beziehung zwischen dem anzuzeigenden Bereich und den Adressen der Originaldaten aufzunehmen.

Zum Beobachten der Tendenz bei Kodes, welche die Kennwerte jedes Punktes in einem zu prüfenden Bildaufbereitungsgerät repräsentieren, können die Kodes als Zeichen oder Sym bole direkt über einer Aufzeichnung angezeigt werden, die an einem Anzeigeschirm als Dar stellung des Bildaufbereitungsgerätes angezeigt wird. Da jedoch die als Zeichen oder Sym bole angezeigten Kodes relativ großen Raum an dem Anzeigeschirm einnehmen, wird der Bereich, der durch die Kodes angezeigt werden kann, weiter eingeschränkt als der Bereich, der mit Benutzung von Punkten angezeigt werden kann, und damit können nicht alle Daten zusammen an dem Anzeigeschirm angezeigt werden.

Es ist auch eine Anzeigeeinheit zum Anzeigen eines Punktbildes visueller Luminanzin formation bekannt, das aus Originaldaten oder verarbeiteten Daten gewandelt wurde.

AUFGABE UND ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, auf einfache Weise eine Kode ansicht in einem notwendigen Flächenbereich eines zu untersuchenden Bildaufbereitungsge rätes anzuzeigen, um es der Bedienungsperson zu ermöglichen, die detaillierten und be stimmten Tendenzen von Kennwerteänderungen der Pixel in der benötigten Fläche des Bild aufbereitungsgerätes abzulesen.

Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine in der Kodeansicht anzuzeigende Fläche mit einer in einer Bildansicht anzuzeigenden Fläche in Beziehung zu setzen, so dass alle notwendigen Daten mit Verwendung von Kodes in der Kodeansicht ange zeigt werden können, während sie gleichzeitig auch als ein Bild in der Bildansicht angezeigt werden können.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird auch eine Vorrichtung zur Feh lerbehebung bei einem Bildaufbereitungsgerät geschaffen mit einer Bildansichtanzeige oder einem Bildansichtanzeigemittel zum qualitativen Anzeigen von Pixelkennwerten in einem ersten Bereich des Bildaufbereitungsgerätes; und einer Kodeansichtanzeige oder einem Kode ansichtanzeigemittel zum quantitativen Anzeigen numerischer oder symbolischer Daten ein zelner Pixel in einem zweiten Bereich, der kleiner als der erste Bereich und in einer durch die Bildansichtanzeige angezeigten Fläche bestimmt ist.

Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird auch eine Halbleiter prüfvorrichtung zum Testen eines Bildaufbereitungsgerätes geschaffen, die einen Testkopf zum Lesen eines Ausgabesignals eines zu untersuchenden Bildaufbereitungsgerätes; ein IC- Prüfgerät, das Ausgabedaten von dem Testkopf aufnimmt und verarbeitet; einen Speicher zum Speichern von Ausgabedaten von dem IC-Prüfgerät; eine Anzeigeeinheit zum Anzeigen von in dem Speicher gespeicherten Daten; ein Eingabegerät zum Empfangen eines Befehls eines Benutzers; eine zentrale Verarbeitungseinheit zum Verarbeiten von in dem Speicher gespeicherten Daten aufgrund eines von dem Eingabegerät empfangenen Befehls des Benut zers, welche zentrale Verarbeitungseinheit mit der Anzeigeeinheit, dem Eingabegerät und dem IC-Prüfgerät verbunden ist; eine Bildansichtanzeige zum qualitativen Anzeigen von Pi xelkennwerten in einem ersten Bereich des Bildaufbereitungsgerätes gemäß einem Befehl des Benutzers; und eine Kodeansichtanzeige zum quantitativen Anzeigen numerischer oder sym bolischer Daten von einzelnen Pixeln in einem zweiten Bereich umfasst, der kleiner als der erste Bereich und in einer durch die Bildansichtanzeige an der Anzeigeeinheit bezeichneten Fläche angezeigt ist; wodurch Daten mit Bezug auf die Pixelkenngrößen des Bildaufberei tungsgerätes mittels der Bildansichtanzeige oder der Kodeansichtanzeige oder beider ange zeigt werden können.

Gemäß noch einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird weiter ein Verfah ren zum Testen eines Bildaufbereitungsgerätes geschaffen, das die Schritte des Wiedergewin nens von Ausgabedaten von dem Bildaufbereitungsgerät als digitale Daten, des qualitativen Anzeigens der digitalen Daten als eine Bildansicht in einem ersten Bereich des Bildaufberei tungsgerätes, des Aufnehmens der Bezeichnung eines zweiten Bereichs, der kleiner als der erste Bereich in der qualitativen Bildansicht ist, und des quantitativen Anzeigens von Kenn größen von Pixeln in dem zweiten Bereich in dem Bildaufbereitungsgerät mit numerischen oder symbolischen Kodes umfasst.

Die vorliegende Erfindung schafft auch ein computerlesbares Aufzeichnungsmedium, das ein Programm zum Ausführen des obigen Programms speichert. Insbesondere wird ein com puterlesbares Aufzeichnungsmedium geschaffen, das ein Programm speichert, um es einem Computer zu ermöglichen, als ein Bildansichtanzeige zum qualitativen Anzeigen von Pixelkennwerten in einem ersten Bereich eines Bildaufbereitungsgerätes und als eine Kodean sichtanzeige zum quantitativen Anzeigen numerischer oder symbolischer Daten von einzelnen Pixeln in einem zweiten Bereich zu funktionieren, der kleiner als der erste Bereich und in einer durch die Bildansichtanzeige angezeigten Fläche bestimmt ist.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Benutzer leicht Pixeldaten sowohl in der Bildansicht als auch in der Kodeansicht anzeigen und auch zwischen der Bildansicht und der Kodeansicht hin- und herschalten. Während des Analysierens der Pixeldaten kann der Benut zer detaillierte Beurteilungen über die Pixeldaten in einer bestimmten Fläche einfach durch Bezeichnen dieser Fläche zur Beobachtung herstellen. Deswegen findet es der Benutzer ein fach, eine Fehlerbehebung bei dem Bildaufbereitungsgerät durchzuführen, das eine relativ große Anzahl von Pixeln aufweist.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist ein Blockschaltbild einer Gesamtanordnung eines Testsystems, das Sichtgeräte gemäß der vorliegenden Erfindung enthält;

Fig. 2 ist ein Blockschaltbild eines zum Testen eines Bildaufbereitungsgerätes mit einem IC-Prüfgerät gemäß der vorliegenden Erfindung erforderlichen Softwareaufbaus;

Fig. 3 ist ein Ablaufdiagramm einer Betätigungsabfolge eines Fehlerbehebungsgerätes für ein Bildaufbereitungsgerät;

Fig. 4 ist eine Ansicht, die ein Beispiel einer Bildansicht und einer Kodeansicht zeigt, die gemäß der vorliegenden Erfindung angezeigt werden, und

Fig. 5 ist eine Ansicht, die ein anderes Beispiel einer Bildansicht und einer Kodeansicht zeigt, die gemäß der vorliegenden Erfindung angezeigt werden.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

In der nachfolgenden Beschreibung wird die Anzeige von Daten mit Bezug auf ein Pixel als ein Bild als eine "Bildansicht" bezeichnet, und die Anzeige von numerischen Werten, wel che für die Kenngrößen von Pixeln als Binär-, Oktal-, Dezimal-, Hexadezimal- oder andere numerische Werte oder Symbole repräsentativ sind, wird als eine "Kodeansicht" bezeichnet. Wenn eine Fläche in der Bildansicht bestimmt ist, kann die Kodeansicht für die bezeichnete Fläche erzeugt werden. Deshalb kann die Kodeansicht leicht aus der Bildansicht erzeugt wer den.

Die Bildansicht bezieht sich auf einen Anzeigevorgang, bei welchem jedes Pixel oder einige wenige Pixel eines Bildaufbereitungsgerätes jeweiligen Pixeln in einer Anzeigeeinheit zugeordnet ist/sind, und die Kennwerte von Pixeln in dem Bildaufbereitungsgerät als Farbän derungen oder monochromatische Schattierungen an der Anzeigeeinheit angezeigt werden. Insbesondere werden die Kennwerte von Pixeln in dem Bildaufbereitungsgerät numerisch verarbeitet, um den Kontrast zu erhöhen, um eine Tiefpassfilterung durchzuführen, Abwei chungen von ihrem Durchschnittswert aufzufinden, und Singularitäten zu verarbeiten, und die verarbeiteten Kennwerte werden der Bedienungsperson in einer leicht erkennbaren Weise präsentiert. Deswegen sind Bildansichten für den Benutzer dazu geeignet, qualitative Ände rungen der Kenngrößen der Pixel in der gesamten Abbildungsfläche des Bildaufbereitungsge rätes oder in einem breiten Bereich der Abbildungsfläche des Bildaufbereitungsgerätes anzu sehen. Zum Beispiel sind Bildansichten geeignet, dem Benutzer eine fehlerhafte Gruppe von Pixeln oder Schattierungen erkennen zu lassen, d. h. graduelle Kenngrößenschwankungen bei weit voneinander entfernten Pixeln, z. B. zwischen oberen und unteren Enden der Bilddar stellungsfläche des Bildaufbereitungsgerätes. Während jedoch der Benutzer eine allgemeine Tendenz des Bildaufbereitungsgerätes aus der Bildansicht verstehen kann, findet er es schwie rig, klar zu erkennen, wie sich die Kenngrößen gewisser Pixel gegenüber den Kenngrößen eines benachbarten Pixels ändern. Weiter ist es unter Benutzung der Bildansicht für den Be nutzer nicht möglich, herauszufinden, ob ein als ein Punkt erscheinender Fehler auf ein Ein zelpixel oder auf eine Vielzahl von Pixeln bezogen ist. Die Kodeansicht ist ein Anzeigevor gang, der es dem Benutzer erlaubt, quantitative Daten der Kennwerte der Pixel zu sehen. Es sollte jedoch bemerkt werden, dass die Kodeansicht nicht notwendigerweise Daten von einem IC-Prüfgerät so anzeigt, wie sie sind. Stattdessen können in Abhängigkeit von der Natur der Testgegenstände oder der Art der durch die Bedienungsperson angeforderten Information die numerischen Werte von Pixeln für Kodeansichten in der Anzahl von anzuzeigenden Ziffern begrenzt, in Symbole gewandelt und als Binär-, Oktal-, Dezimal-, Hexadezimal- oder andere numerische Werte angezeigt, oder gefiltert sein.

Fig. 1 zeigt in Blockform eine Gesamtanordnung eines Testsystems, das das Sichtgerät gemäß der vorliegenden Erfindung aufweist. Wie in Fig. 1 gezeigt, ist ein Bildaufbereitungs gerät 101, das ein zu prüfendes Gerät (device under test DUT) darstellt, elektrisch mit einer in einem Testkopf 102 untergebrachten Testplatine (DUT-Platine) 103 verbunden. Von einer Lichtquelle 104 wird Licht auf das Bildaufbereitungsgerät 101 aufgestrahlt, um das Bildauf bereitungsgerät 101 unter Steuerung durch ein IC-Prüfgerät 105 zu veranlassen, elektrische Signale auszugeben. Der Benutzer steuert das IC-Prüfgerät 105 von einem Benutzerschnitt stellensteuerprozessor (BSSP) 107 aus über ein lokales Netz (local area net LAN), wie das Ethernet, oder einen Bus. Von der DUT-Platine 103 ausgegebene digitale Daten werden über eine (nicht gezeigte) Schnittstellenplatine in dem Testkopf 102 zu einer Schnittstelle 106 in dem IC-Prüfgerät 105 geliefert. Die Zeitgabe für die digitalen Daten wird durch eine (nicht gezeigte) Zeitsteuereinheit in dem IC-Prüfgerät 105 eingestellt, und dann werden sie zu einem Bildprozessor 108 gesendet. Der Bildprozessor 108 enthält eine Tastatur 109 und eine Maus 110, die durch die Bedienungsperson betrieben werden, und eine Anzeigeeinheit 111. Der Bildprozessor 108 kann empfangene digitale Daten verarbeiten und anzeigen. Der Bildprozes sor 108 umfasst einen PC oder einen anderen Computer, wie beispielsweise einen Arbeits platz (workstation). Der Bildprozessor 108 ist mit dem IC-Prüfgerät 105 und dem BSSP 107 durch ein LAN, wie das Ethernet oder einen Bus, verbunden, um Testinformation und verar beitete Daten damit auszutauschen.

Fig. 2 zeigt in Blockform einen zum Testen eines Bildaufbereitungsgerätes mit dem IC- Prüfgerät 105 erforderlichen Softwareaufbau. Ein Testprogramm zum allgemeinen Verwalten und Ausführen eines Tests in seiner Gesamtheit wir durch das IC-Prüfgerät 105 betrieben. Das Testprogramm steuert ein zu untersuchendes Bildaufbereitungsgerät zum Ausgeben von Daten, die mittels eines durch den Bildprozessor 108 ablaufenden Bildverarbeitungspro gramms in den Bildprozessor 108 eingelesen werden. Der Bildprozessor 108 besitzt einen Fehlerbeheber (debugger) 120, einen Teilmodul-Vorgang 121, einen Datenspeicher 122, ein Bildanzeigesichtgerät 123 und ein Kodeanzeigesichtgerät 124. Der Fehlerbeheber 120, das Bildanzeigesichtgerät 123 und das Kodeanzeigesichtgerät 124 werden direkt durch den Be nutzer 125 betrieben. Der Datenspeicher 122 besitzt eine genügend große Speicherkapazität, um eine Vielzahl von Datensätzen für alle Pixel in dem zu prüfenden Bildaufbereitungsgerät zu speichern. Eindimensionale Daten, die in einem Messzyklus durch Überstreichen aller Pi xel erhalten wurden, werden in dem Datenspeicher 122 gespeichert und mit Bezug auf die notwendigen Testgegenstände analysiert. Die analysierten Daten werden in dem Datenspei cher 122 gespeichert, so dass die alten und die neuen analysierten Daten miteinander vergli chen werden können.

Fig. 3 zeigt einen durch den Bildprozessor 108 ausgeführten Betriebsablauf des Fehler behebers 120. Ein Fehlerbehebungstestvorgang, der sich sich für ein Bildaufbereitungsgerät mit dem Fehlerbeheber 120 ergibt, wird nachfolgend mit Bezug auf Fig. 3 beschrieben. Zuerst wird im Schritt 401 der Fehlerbeheber 120 aktiviert und führt im Schritt 402 ein Bildverar beitungsprogramm an dem Bildprozessor 108 aus. Die von dem zu untersuchenden Bildaufbe reitungsgerät gemäß dem Bildverarbeitungsprogramm erzeugten Ausgabedaten werden im Schritt 403 in den Datenspeicher 122 abrufen. Der Fehlerbeheber 120 gibt an, welcher Daten block in dem Datenspeicher 122 im Schritt 404 anzuzeigen ist, und stellt dann im Schritt 405 eine Bildanzeige dar. Der Fehlerbeheber 120 bestimmt aus der Bildanzeige im Schritt 406, ob ein in der Kodeanzeige darzustellender Bereich vorhanden ist oder nicht. Falls ein für eine Kodeanzeige darzustellender Bereich vorhanden ist, stellt der Fehlerbeheber im Schritt 407 eine Kodeanzeige in diesem Bereich dar. Danach bestimmt der Fehlerbeheber 120 im Schritt 408, ob ein weiterer Block zur Kodeanzeige vorhanden ist. Ist ein weiterer Block zur Kodean zeige vorhanden, kehrt die Steuerung zum Schritt 404 zurück, in welchem der Fehlerbeheber 120 bestimmt, welcher Datenblock im Datenspeicher 122 darzustellen ist. Wenn im Schritt 406 in der Kodeanzeige kein weiterer zu zeigender Bereich vorhanden ist, springt die Steue rung zum Schritt 408, in welchem der Fehlerbeheber 120 bestimmt, ob ein weiterer Block zur Kodeanzeige vorhanden ist oder nicht. Ist im Schritt 408 kein weiterer Block zur Kodeanzeige vorhanden, bestimmt der Fehlerbeheber 120 im Schritt 409, ob weitere Daten zu analysieren sind oder nicht. Falls weitere Daten zu analysieren sind, kehrt die Steuerung zum Schritt 402 zurück. Wenn keine weiteren Daten zu analysieren sind, wird die Betriebsabfolge des Fehler behebers 120 beendet. Auf diese Weise kann der Benutzer bei dem zu untersuchenden Bild aufbereitungsgerät die Fehler beseitigen, um bei jedem Pixel des Bildaufbereitungsgerätes zu sehen, ob es ein Problem hat oder nicht, oder ob die Steuerung des Bildaufbereitungsgerätes gemäß dem durch das IC-Prüfgerät 105 betriebenen Testprogramm problematisch ist oder nicht, während an der Anzeigeeinheit 111 zwischen Bild- und Kodeanzeige hin- und herge schaltet wird.

Fig. 4 zeigt ein Beispiel von durch den Betrachter der vorliegenden Erfindung erzeugten dargestellten Anzeigeansichten. Wie in Fig. 4 gezeigt, werden während des Tests von dem Bildaufbereitungsgerät ausgegebene Daten als eine Bildanzeigeansicht 200 an dem Anzeige schirm der Anzeigeeinheit 111 angezeigt. Die Bildanzeigeansicht 200 kann monochromati sche oder farbige Stufungen umfassen. Bei dem dargestellten Beispiel sind Musterdaten von dem zu untersuchenden Bildaufbereitungsgerät anzuzeigen, das eine große Anzahl von Pixeln aufweist. Da das anzuzeigende Datenmuster sehr groß ist, wird nur ein gewisser Bereich aller Pixel des Bildaufbereitungsgerätes an der Bildanzeigeansicht 200 angezeigt. Die Bildanzeige ansicht 200 enthält eine Bildlaufleiste 201. Wenn der Benutzer die Bildlaufleiste 201 betätigt, kann der angezeigte Pixelbereich frei in der Bildanzeigeansicht 200 bewegt werden. Bei die sem Beispiel bestimmt der Benutzer eine anfängliche Cursor-(oder Zeiger-)Position 202 in der Bildanzeigeansicht 200 als Ausgangspunkt für den rechtwinkligen Bereich, und bestimmt dann einen Endpunkt 203 für den rechtwinkligen Bereich, beispielsweise durch Ziehen der Maus oder Betätigen einer Taste der Tastatur 109. Danach betätigt der Benutzer die Maus oder die Tastatur, um einen Befehl zum Anzeigen einer Kodeanzeigeansicht 210 abzugeben. Wenn die Bedienungsperson die Cursorpositionen 202, 203 angibt, kann ein Rahmen 204 des rechtwinkligen Bereiches angezeigt werden, um es dem Benutzer zu ermöglichen, den ausge wählten rechtwinkligen Bereich visuell zu erkennen. Die Bildanzeigeansicht 200 zeigt auch einen schwarzen Fleck 206 als Fehler in dem rechtwinkligen Bereich oder andere Fehler 207 des zu untersuchenden Bildaufbereitungsgerätes.

Die Bildanzeigeansicht 200 zeigt in ihrer unteren rechten Ecke Koordinaten der Mitte des rechtwinkligen Bereiches und eine gewählte Größe der als die Kodeanzeigeansicht 210 ge wählten rechtwinkligen Fläche. Die Bildanzeigeansicht 200 und die Kodeanzeigeansicht 210 können jeweils in verschiedenen Darstellungsarten dargestellt werden, z. B. in überdeckender Weise oder getrennt als Einzelfenster, oder sie können wahlweise abwechselnd einzeln ange zeigt werden. Die Kodeanzeigeansicht 210 kann in einer in Abhängigkeit von der Anzahl der gezeigten Pixel automatisch veränderbaren Größe dargestellt oder immer in fester Größe ge zeigt werden. Auf jeden Fall sollten, sobald die Bildanzeigeansicht 200 und die Kodeanzeige ansicht 210 gezeigt werden, ihre Größen und Position vorzugsweise mit dem Cursor verän derbar gemacht werden, welcher mit der Maus oder durch die Tastatur bewegt werden kann. Der Testprogrammentwickler oder der Benutzer kann so leicht gewisse Pixel und deren nu merische Werte bestätigen, während die Pixel in einer gegenseitigen Positionsbeziehung ge halten werden. Die Bildanzeigeansicht 200 und die Kodeanzeigeansicht 210 ermöglichen dem Testprogrammentwickler oder dem Benutzer die Verifizierung, ob die von dem zu untersu chenden Bildaufbereitungsgerät ausgegebenen Daten richtig verarbeitet sind, die Bestätigung, welchen numerischen Wert ein bestimmter weißer Fleck an dem zu untersuchenden Bildauf bereitungsgerät als Kode besitzt, und das Erhalten von Informationen für Fehlerbehebungs entscheidungen dahingehend, ob das Bildaufbereitungsgerät richtig arbeitet, oder ob das Test programm einen Fehler enthält, u.zw. durch Vergleich zwischen den numerischen Werten benachbarter Pixel.

Die erfindungsgemäße Fehlerbehebungsvorrichtung ist in der Lage, bei Bildaufberei tungsgeräten unter strengeren Inspektionsstandards wirksam Fehler zu beheben. Die Fehler behebungsvorrichtung lässt auch zu, dass der Benutzer makroskopische Kenngrößenänderun gen in gesamt angezeigten Bildern erfasst, wie z. B. langsame Pixelkenngrößen schwankungen von Bildaufbereitungsgeräten mit einer großen Anzahl von Pixeln, und auch zuverlässig Änderungen erkennt, die oft übersehen werden, wenn in einem Bild an den Bild aufbereitungsgeräten viele Pixel gezeigt werden, so z. B. kleine Änderungen, die durch Ver gleich zwischen den Kennwerten benachbarter Pixel gefunden werden, oder einen Fehler ei nes einzelnen Pixels oder einer Vielzahl von Pixeln.

Der in der Bildanzeigeansicht 200 gezeigte Cursor kann Kreuz- oder Pfeilform haben. Zwar kann eine rechtwinklige Fläche in ihrer Gesamtheit zur Anzeige als eine Kodeanzeige ansicht bestimmt werden, wie vorstehend mit Bezug auf Fig. 4 beschrieben wurde, doch kann die Kodeanzeigeansicht auch für eine rechtwinklige Fläche mit einer vorgegebenen Größe dargestellt werden, die einen durch den Benutzer festgelegten zentralen Punkt umgibt.

Wenn der Cursor in der Bildanzeigeansicht 200 mit Benutzung der Maus oder der Tasta tur bewegt wird, werden die auf die Pixel bezogenen Kodes in der Kodeanzeigeansicht 210 dementsprechend auf Realzeitbasis aktualisiert. Alternativ können auch die Kodes in der Ko deanzeigeansicht 210 nicht aktualisiert werden, bis der Cursor zu einem Punkt bewegt und dieser Punkt durch Tasten der Maus bestimmt wird.

Weiter kann das Fenster der Kodeanzeigeansicht 210 fokussiert oder aktiv gemacht wer den, die Eingabebetriebsarten können geändert werden, und dann können die X/Y- Koordinaten des Cursors direkt als Zahlenwerte in die Eingabeanzeigerahmen 211, 212 in einem oberen Abschnitt der Kodeanzeigeansicht 210 eingegeben werden, oder der Cursor kann in der Bildanzeigeansicht 200 durch die Tastatur so zum Bewegen eines zentralen Pixels in der Bildanzeigeansicht 200 betätigt werden, dass der in der Bildanzeigeansicht 200 und der Kodeanzeigeansicht 210 dargebotene Pixelbereich verschoben werden kann. Eine Markie rung, welche Pixeldaten an der Mittenposition in dem Kodeanzeigenansichtbereich darstellt, kann in der Kodeanzeigenansicht 210 gezeigt werden. Beispielsweise kann eine solche Mar kierung einen numerischen Wert oder einen in einer speziellen Färbung gezeigten Hinter grund umfassen.

Fig. 5 zeigt ein weiteres Beispiel einer Bildanzeigeansicht und einer Kodeanzeige ansicht, die gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt sind. Bei dem in Fig. 5 gezeigten Beispiel werden sowohl Bild- wie Kodeansichten gezeigt, und wenn sich der Cursor in der Bildanzeigeansicht bewegt, werden die Pixeln in einem anzuzeigenden Bereich in der Kode anzeigeansicht entsprechende Kodes neu berechnet, und die Kodeanzeigeansicht wird zu neu en Kodewerten aktualisiert. Wie insbesondere in Fig. 5 gezeigt, enthält ein angezeigtes Bild 300 eine Bildanzeigeansicht 301 und eine Kodeanzeigeansicht 302, mit einem in der Bildan zeigeansicht 301 angezeigten Cursor. Wenn der Cursor in der Bildanzeigeansicht 301 bewegt wird, werden die in der Kodeanzeigeansicht 302 angezeigten Kodes aktualisiert.

Kodes werden in der Kodeanzeigeansicht 302 unmittelbar nach dem Anzeigen wirksa mer Daten in der Bildanzeigeansicht 301 angezeigt. Alternativ können die Kodes in der Ko deanzeigeansicht 302 oder angezeigte Kodes in der Kodeanzeigeansicht 302 aktualisiert wer den, wenn die Maus oder die Tastatur in einer bestimmten Weise betätigt wird, nachdem wirksame Daten in der Bildanzeigeansicht 301 angezeigt werden, und der Cursor bewegt wird.

Wenn die Mitte des Cursors an einem oberen, unteren, linken oder rechten Ende der Bildanzeigeansicht 301 angesetzt wird, z. B. gemäß Fig. 5 am linken Ende der Bildanzeige- Ansicht 301, und eine rechtwinklige Fläche für die Kodeanzeigeansicht 302, z. B. eine recht winklige Fläche mit einem Ausgangspunkt 220 und einem Endpunkt 221, wie gestrichelt in Fig. 5 angezeigt, einen Abschnitt besitzt, der aus der Bildanzeigeansicht 301 heraus vorsteht, kann die Kodeanzeigeansicht 302 Nicht-Kode-Daten in dem Bereich, der dem vorstehenden Abschnitt der rechtwinkligen Fläche entspricht, mit speziellen Zeichen anzeigen, z. B. mit Gedankenstrichen "---". Die Kodeanzeigeansicht 302 kann derartige Nicht-Kode-Daten auch mit anderen Zeichen als Gedankenstriche anzeigen, wie mit Leerstellen, anderen Symbole oder mit Farben. Der Bildprozessor 108 ist so eingerichtet, dass dann, wenn sich der Cursor in der Bildanzeigeansicht 301 zu einem oberen, unteren, linken oder rechten Ende des zu prü fenden Bereichs des Bildaufbereitungsgerätes bewegt und der Bereich von zu zeigenden Kodes in der Kodeanzeigeansicht 302 anfängt, sich über das Ende des zu prüfenden Bereichs des Bildaufbereitungsgerätes hinaus zu bewegen, der Cursor bei einer Bewegung über das Ende des Bereichs hinaus angehalten wird. Jedoch kann der Bildprozessor 108 alternativ auch so eingerichtet sein, dass dann, wenn der Bereich der in der Kodeanzeigeansicht 302 zu zei genden Kodes anfängt, sich über das Ende des zu prüfenden Bereichs des Bildaufbereitungs gerätes hinaus zu bewegen, der Cursor in seiner Bewegung nicht begrenzt wird, sondern die Nicht-Kode-Daten in der Kodeanzeigeansicht 302 in Reaktion auf die Bewegung des Cursors gezeigt werden.

Auf die gesamte Offenbarung der am 30. Juni 1999 eingereichten JP-Patentanmeldung Nr. 184837/1999 einschließlich Beschreibung, Ansprüchen, Zeichnungen und Zusammenfas sung wird hier zum Bezug auf ihre Gesamtheit verwiesen.

Bezugszeichenliste

101

"zu prüfendes" Bildaufbereitungsgerät (Device under test = DUT)

102

Testkopf

103

Test-Platine (DUT-Platine)

104

Lichtquelle

105

IC-Prüfgerät(-Testprogramm)

106

(Benutzer-)Schnittstelle

107

Benutzerschnittstellensteuerprozessor (BSSP)

108

Bildprozessor

109

Tastatur

110

Maus

111

Anzeigeeinheit

120

Fehlerbeheber

121

Teilmodul-Vorgang

122

Datenspeicher

123

Bildanzeige

124

Kodeanzeige

125

Benutzer

200

Bildanzeigeansicht

201

Bildlaufleiste

202

Cursorposition

203

Cursorposition

204

Bereichsrahmen

206

Schwarzer Fleck

207

andere Fehler

210

Kodeanzeigeansicht

211

Anzeigerahmen

21

Anzeigerahmen

300

Anzeigebild

301

Bildanzeigeansicht

302

Kodeanzeigeansicht

401-409

Einzelschritte des Flussdiagramms (

Fig.

3)

Claims

1. Vorrichtung zur Fehlerbehebung bei einem Bildaufbereitungsgerät, mit:
einer Bildansichtanzeige (200, 301) zum qualitativen Anzeigen von Pixelkennwerten in einem ersten Bereich des Bildaufbereitungsgerätes (101) und
einer Kodeansichtanzeige (210, 302) zum quantitativen Anzeigen numerischer oder sym bolischer Daten einzelner Pixel in einem zweiten Bereich, der kleiner als der erste Be reich und in einer durch die Bildansichtanzeige angezeigten Fläche bestimmt ist.

2. Halbleiterprüfvorrichtung zum Prüfen eines Bildaufbereitungsgerätes, mit:
einem Prüfkopf (102) zum Lesen eines Ausgabesignals eines zu untersuchenden Bildauf bereitungsgerätes;
einem Speicher (122), der Ausgabedaten des Prüfkopfes speichert, und
einem Bildprozessor (108), der die in dem Speicher gespeicherten Ausgabedaten verar beitet;
wobei der Bildprozessor (107) folgendes umfasst:
eine Anzeigeeinheit (111) zum Anzeigen von in dem Speicher gespeicherten Daten und
ein Eingabegerät (109, 110), das einen Befehl eines Benutzers erhält,
wobei der Bildprozessor (108) in dem Speicher gespeicherte Daten aufgrund eines von dem Eingabegerät (109, 110) empfangenen Benutzerbefehls verarbeitet,
der Bildprozessor (108) eine Bildanzeigeansicht (301) zum qualitativen Anzeigen von Pixelkennwerten in einem ersten Bereich des Bildaufbereitungsgerätes auf der Anzeige einheit gemäß einem Benutzerbefehl und eine Kodeanzeigeansicht zum quantitativen Anzeigen numerischer oder symbolischer Daten von einzelnen Pixeln auf der Anzeige einheit in einem zweiten Bereich, der kleiner als der erste Bereich ist, und der in einer durch die Bildansichtanzeige bezeichneten Fläche bestimmt ist, umfasst, wodurch Daten mit Bezug auf die Pixelkenngrößen des Bildaufbereitungsgerätes durch die Bildanzeigeansicht (200, 301) oder die Kodeanzeigeansicht (210, 302) oder durch beide angezeigt werden können.

3. Halbleiterprüfvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Bildanzei geansicht eine Kodeansicht (210) und eine Bereichsanzeige (211, 212) zum Anzeigen eines Kodeanzeigebereichs der Kodeansicht auf der Kodeansichtanzeige gelegen um fasst.

4. Halbleiterprüfvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kodean zeigeansicht (302) eine Kodeansicht und eine Koordinatenanzeige zum Anzeigen der Koordinaten von Daten umfasst, die in einer Mittenposition in der Kodeansichtanzeige gelegen sind.

5. Halbleiterprüfvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kodean sichtanzeige eine Kodeansicht und eine Markierungsanzeige zum Anzeigen von Daten umfassen, die in einer Mittenposition in der Kodeansichtanzeige gezeigt sind.

6. Verfahren zum Prüfen eines Bildaufbereitungsgerätes, mit folgenden Schritten:
Wiedergewinnen von Ausgabedaten von dem Bildaufbereitungsgerät als digitale Daten;
qualitatives Anzeigen der digitalen Daten als eine Bildansicht in einem ersten Bereich des Bildaufbereitungsgerätes;
Annehmen der Bestimmung eines zweiten Bereichs, der kleiner als der erste Bereich in der Bildansicht ist und qualitativ digitale Daten anzeigt, und quantitatives Anzeigen von Kenngrößen von Pixeln in dem Bildaufbereitungsgerät inner halb des zweiten Bereiches mit numerischen oder symbolischen Kodes.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Wiedergewin nens von Ausgabedaten von dem Bildaufbereitungsgerät den Schritt des Verarbeitens der wiedergewonnenen digitalen Daten umfasst.

8. Computerlesbares Aufzeichnungsmedium, das ein Programm speichert, um einem Com puter folgende Funktionen zu ermöglichen:
eine Bildansichtanzeige zum qualitativen Anzeigen von Pixelkennwerten in einem ersten Bereich eines Bildaufbereitungsgerätes, und
eine Kodeansichtanzeige zum quantitativen Anzeigen numerischer oder symbolischer Daten von einzelnen Pixeln in einem zweiten Bereich, der kleiner als der erste Bereich und in einem durch die Bildansichtanzeige angezeigten Bereich bestimmt ist.