DE10016721A1 - Oberflächenwellenelement mit mehreren Spuren zur Ausbreitung akustischer Oberflächenwellen - Google Patents

Abstract

Das Oberflächenwellenelement umfasst ein Substrat (1) mit einer planen Oberfläche (2), auf welcher mehrere Spuren (3, 4) zur Ausbreitung akustischer Oberflächenwellen bestimmt sind, deren jede von einer Wandleranordnung (5) ausgeht. Jede Spur hat mehrere erste Reflektoren (6), deren jeder eine von der Wandleranordnung auslaufende Oberflächenwelle in eine nach einer zugehörigen eindeutigen bestimmten Verzögerungszeit bei der Wandleranordnung eintreffende reflektierte Oberflächenwelle reflektiert. Dabei sind jede zwei erste Reflektoren, deren zugehörige Verzögerungszeiten einander unmittelbar folgen, auf verschiedenen Spuren angeordnet.

Description

Die Erfindung betrifft ein Oberflächenwellenelement umfas­ send:

• a) ein Substrat mit einer planen Oberfläche, auf welcher meh­ rere Spuren zur Ausbreitung akustischer Oberflächenwellen bestimmt sind;
• b) eine auf der Oberfläche angeordnete Wandleranordnung, von der jede Spur ausgeht und welche eine eindeutige Beziehung zwischen den akustischen Oberflächenwellen auf den Spuren sowie einem anliegenden elektrischen Signal definiert; und
• c) auf jeder Spur mehrere erste Reflektoren, deren jeder eine von der Wandleranordnung auslaufende Oberflächenwelle in eine nach einer zugehörigen eindeutig bestimmten Verzöge­ rungszeit bei der Wandleranordnung eintreffende reflek­ tierte Oberflächenwelle reflektiert.

Ein solches Oberflächenwellenelement geht hervor aus dem US- Patent 5,691,698, siehe insbesondere Fig. 2, 3 und 4 nebst zugehöriger Beschreibung, sowie der EP 0 619 906 B1, siehe insbesondere Fig. 3b, 5 und 9, jeweils mit zugehöriger Be­ schreibung.

Weitere Dokumente des Standes der Technik, die den maßgebli­ chen technologischen Hintergrund betreffen, sind US-Patent 5,841,214, US-Patent 5,919,779, EP 0 651 344 B1, EP 0 746 775 B1, DE 43 35 898 C1, DE 43 33 342 A1 und DE 43 33 340 C1.

Das oben beschriebene Oberflächenwellenelement dient insbe­ sondere als passive Identifizierungsmarke. Es enthält eine Anordnung von Reflektoren, welche dazu bestimmt ist, ein vor­ gegebenes hochfrequentes elektromagnetisches Signal in ein für die Anordnung der Reflektoren charakteristisches Signal umzuformen. Das vorgegebene Signal ist insbesondere ein kur­ zer Impuls und wird von dem Oberflächenwellenelement umge­ formt in eine Folge mehrerer kurzer Impulse, welche für die Anordnung der Reflektoren charakteristisch ist. Zu diesem Zweck wird das ursprüngliche elektrische Signal der Wandler­ anordnung zugeführt und von dieser in akustische Oberflächen­ wellen, welche sich auf den Spuren ausbreiten, umgewandelt. Die Oberflächenwellen werden an der Anordnung der Reflektoren teilweise reflektiert, und die reflektierten Oberflächenwel­ len gelangen zurück zu der Wandleranordnung und werden dort wieder in elektrische Signale verwandelt. Deren Kombination ist für die Anordnung der Reflektoren wie gewünscht charakte­ ristisch.

Es besteht ein Wunsch dahingehend, das Oberflächenwellenele­ ment mit einer möglichst großen Variabilität hinsichtlich der Charakteristik der Anordnung der Reflektoren, also einem gro­ ßen Codeumfang, auszustatten. Dies bedingt unmittelbar, dass eine größere Vielzahl von Reflektoren verwendet werden muss.

Dementsprechend muss damit gerechnet werden, dass außer ge­ wünschten reflektierten Oberflächenwellen, welche nach Refle­ xion an nur einem einzigen Reflektor zur Wandleranordnung zu­ rückgelangen, auch mehrfach reflektierte Oberflächenwellen auftreten, deren jede dadurch gekennzeichnet ist, dass sie an mehreren Reflektoren reflektiert wurde. Eine solche mehrfach reflektierte Oberflächenwelle kann die Funktion des Oberflä­ chenwellenelements unter Umständen stark beeinträchtigen.

Dementsprechend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Oberflächenwellenelement anzugeben, bei dem eine funktionelle Störung aufgrund einer mehrfach reflektierten Oberflächen­ welle in deutlich verringertem Umfang im Vergleich zu den Möglichkeiten des Standes der Technik auftritt.

Zur Lösung dieser Aufgabe angegeben wird ein Oberflächenwel­ lenelement umfassend:

• a) ein Substrat mit einer planen Oberfläche, auf welcher meh­ rere Spuren zur Ausbreitung akustischer Oberflächenwellen bestimmt sind;
• b) eine auf der Oberfläche angeordnete Wandleranordnung, von der jede Spur ausgeht und welche eine eindeutige Beziehung zwischen den akustischen Oberflächenwellen auf den Spuren sowie einem anliegenden elektrischen Signal definiert; und
• c) auf jeder Spur mehrere erste Reflektoren, deren jeder eine von der Wandleranordnung auslaufende Oberflächenwelle in eine nach einer zugehörigen eindeutig bestimmten Verzöge­ rungszeit bei der Wandleranordnung eintreffende reflek­ tierte Oberflächenwelle reflektiert.
  Bei diesem Oberflächenwellenelement sind jede zwei erste Reflektoren, deren zugehörige Verzögerungszeiten einander unmittelbar folgen, auf verschiedenen Spuren angeordnet.

Die erfindungsgemäße Anordnung der ersten Reflektoren stellt sicher, dass der Abstand zweier Reflektoren auf einer Spur stets einer Differenz zweier Verzögerungszeiten, die nicht unmittelbar aufeinander folgen, entspricht. Daraus ergibt sich eine wesentliche Verlängerung des Weges, den eine mehr­ fach reflektierte Oberflächenwelle auf einer Spur zurücklegen muss. Dies zieht nach sich, dass diese reflektierte Oberflä­ chenwelle besonders stark bedämpft wird. Bei einer Frequenz um 2,45 GHz beträgt die Dämpfung einer Oberflächenwelle auf einem Substrat aus Lithiumniobat bezogen auf eine Laufzeit einer Oberflächenwelle etwa 6 dB/µs. Da eine mehrfach reflek­ tierte Oberflächenwelle auf einer Spur zumindest dreimal re­ flektiert werden muss, ist der erfindungsgemäß vergrößerte Abstand der Reflektoren auf einer Spur untereinander mit dreifacher Potenz wirksam zur Unterdrückung der mehrfach re­ flektierten Oberflächenwellen.

Das Substrat kann als ganzes piezoelektrisch sein, beispiels­ weise in Form eines piezoelektrischen Kristalls wie Quarz, Lithiumniobat, Lithiumtantalat oder Langasit. Auch kann das Substrat aus einem beliebigen Material bestehen und eine piezoelektrische Schicht aufweisen, welche die Oberfläche mit den Spuren für die Oberflächenwellen bildet.

Bevorzugt ist den Spuren des Oberflächenwellenelements eine Reihenfolge zugewiesen und sind die ersten Reflektoren ent­ sprechend einer Folge ihrer zugehörigen Verzögerungszeiten zyklisch auf die Spuren verteilt. Zwei auf einer Spur einan­ der unmittelbar benachbarte Reflektoren haben dementsprechend immer einen Abstand, welcher einem Abstand zwischen zwei Ver­ zögerungszeiten entspricht, die versetzt um die Gesamtzahl der Spuren hintereinander folgen.

Ebenfalls bevorzugt umfassen die Spuren des Oberflächenwel­ lenelementes zumindest zwei Spuren, deren jede zumindest ei­ nen letzten Reflektor aufweist, wobei alle ersten Reflektoren zwischen dem letzten Reflektor und der Wandleranordnung ange­ ordnet sind, und wobei die letzten Reflektoren in der Wand­ leranordnung gleichzeitig erzeugte Oberflächenwellen derart reflektieren, dass die reflektierten Oberflächenwellen gleichzeitig an der Wandleranordnung eintreffen. In Sinne dieser Weiterbildung wird die erfindungsgemäße Systematik der möglichst weit distanzierten Anordnung von Reflektoren auf jeder Spur an einem der Wandleranordnung abgewandten Ende ei­ ner Spur durchbrochen. Dies hat für die Funktion des Ober­ flächenwellenelements keine nachteiligen Folgen, denn jedes an einem letzten Reflektor mehrfach reflektierte Signal hat eine Laufzeit, welche deutlich über der Laufzeit eines allein an einem letzten Reflektor reflektierten Signals liegt. Dem­ entsprechend wirkt sich eine solche mehrfach reflektierte O­ berflächenwelle nicht nachteilig auf die Funktion des Oberflä­ chenwellenelements aus. Außerdem wird ein Ausgleich geschaf­ fen für die Dämpfung der Oberflächenwelle auf dem Substrat, welche für eine an einem letzten Reflektor reflektierte Oberflächenwelle besonders hoch ist. Entsprechend sind letzte Reflektoren derart vorgesehen, dass gleichzeitig erzeugte Oberflächenwellen an ihnen derart reflektiert werden, dass sie gleichzeitig an der Wandleranordnung wieder eintreffen.

Somit wirken diese letzten Reflektoren zusammen und er­ zielen zumindest teilweise einen Ausgleich der Dämpfung. Es ist nicht ausgeschlossen, auf einer Spur mehrere letzte Re­ flektoren vorzusehen. Allerdings ist es bevorzugt, die Zahl der letzten Reflektoren in jeder Spur auf höchstens zwei zu begrenzen.

Ebenfalls vorzugsweise sind die auf dem Oberflächenwellenele­ ment vorgesehenen Spuren untereinander parallel.

Eine bevorzugte Weiterbildung des Oberflächenwellenelements ist dadurch gekennzeichnet, dass zwischen jeden zwei einander unmittelbar benachbarten Spuren eine zugehörige akustische Sperre, insbesondere ein Absorber, angeordnet ist. Eine sol­ che Sperre vermeidet ein Übersprechen von Oberflächenwellen zwischen einander benachbarten Spuren.

Die Wandleranordnung umfasst vorzugsweise für jede Spur einen zugehörigen Wandler; vorzugsweise sind alle diese Wandler e­ lektrisch untereinander parallelgeschaltet. Auch eine Schal­ tung der Wandler in Reihe, oder eine Kombination aus Reihen- und Parallelschaltungen, ist möglich, um die elektrische Im­ pedanz der Wandleranordnung an die Impedanz der eingesetzten Antenne anzupassen.

Ebenfalls vorzugsweise ist die Wandleranordnung unidirektio­ nal hinsichtlich der Erzeugung von Oberflächenwellen; dies ermöglicht bei gegebener Abmessung des Substrats besonders lange Spuren sowie große maximale Laufzeiten und damit einen besonders großen Codeumfang.

Das Oberflächenwellenelement jedweder Ausgestaltung ist vor­ zugsweise ausgelegt für einen Betrieb mit Oberflächenwellen einer Frequenz zwischen 100 MHz und 4 GHz, insbesondere um die standardisierte ISM-Frequenz von 2,45 GHz.

Insbesondere ist das Oberflächenwellenelement ein Bestandteil einer Identifizierungsmarke.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert. Die Darstellungen der Zeichnungen sind zu verstehen als Skizzen; in keinem Fall wird geltend gemacht, dass die Zeichnung eine maßstabsgetreue vollständige oder teilweise Widergabe eines realen Oberflächenwellenele­ mentes sei. Im einzelnen zeigen:

Fig. 1 eine Draufsicht auf ein Oberflächenwellenelement;

Fig. 2, 3 und 4 Ausführungsbeispiele für Elemente, die in Fig. 1 nur schemenhaft dargestellt sind.

Das in Fig. 1 dargestellte Oberflächenwellenelement ist auf­ gebaut auf einem Substrat 1 aus einem piezoelektrischen Kris­ tall, insbesondere Quarz, Lithiumniobat, Lithiumtantalat oder Langasit. Auf diesem Substrat 1 ist eine plane Oberfläche 2 gebildet, und auf dieser planen Oberfläche 2 sind die Ele­ mente des Oberflächenwellenelements angeordnet. Zunächst sind drei Spuren 3 oder 4 zur Ausbreitung akustischer Oberflächen­ wellen bestimmt. Die akustischen Oberflächenwellen werden er­ zeugt von einer Wandleranordnung umfassend drei elektroakus­ tische Wandler 5. Jeder Wandler 5 definiert eine eindeutige Beziehung zwischen den akustischen Oberflächenwellen auf der zugehörigen Spur 3 oder 4 sowie einem anliegenden elektri­ schen Signal; Mittel zum Anlegen dieses elektrischen Signals sind der Übersicht halber nicht dargestellt. Jede Spur 3 oder 4 umfasst mehrere erste Reflektoren 6, deren jeder eine von der Wandleranordnung 5 auslaufende Oberflächenwelle in eine nach einer zugehörigen eindeutig bestimmten Verzögerungszeit bei der Wandleranordnung 5 eintreffende reflektierte Oberflä­ chenwelle reflektiert. Dabei sind jede zwei erste Reflektoren 6, deren zugehörige Verzögerungszeiten einander unmittelbar folgen, auf verschiedenen Spuren 3 oder 4 angeordnet. Insbe­ sondere erkennt man, dass den Spuren 3 und 4 eine Reihenfolge zugewiesen ist und die ersten Reflektoren 6 entsprechend einer Folge ihrer zugehörigen Verzögerungszeiten zyklisch auf die Spuren 3 und 4 verteilt sind. Die Verzögerungszeit jedes ersten Reflektors 6 ergibt sich aus der Zeichnung unmittelbar anschaulich als Distanz zwischen der Wandleranordnung 5 und dem entsprechenden ersten Reflektor 6, und es ist deutlich erkennbar, dass alle ersten Reflektoren 6 unterschiedliche Distanzen zu der Wandleranordnung 5, gesehen parallel zur Ausbreitungsrichtung der Oberflächenwellen, haben. Auf diese Weise werden auf allen Spuren 3 und 4 die Distanzen zwischen zwei einander unmittelbar folgenden ersten Reflektoren 6 ma­ ximiert; dies zieht unmittelbar eine Maximierung der Dämpfung für eine an zwei ersten Reflektoren 6 mehrfach reflektierte Oberflächenwelle nach sich.

Jede Spur 3 oder 4 umfasst außerdem eine Anordnung von letz­ ten Reflektoren 7, welche für die erste Spur 3 einen einzigen letzten Reflektor 7 und für die zweiten Spuren 4 jeweils zwei letzte Reflektoren 7 umfasst. Die drei äußerst rechts ange­ ordneten letzten Reflektoren 7 sind derart angeordnet, dass von den Wandlern 5 gleichzeitig erzeugte Oberflächenwellen derart reflektiert werden, dass die reflektierten Oberflä­ chenwellen wieder gleichzeitig an den Wandlern 5 eintreffen. Dasselbe gilt für die links neben den soeben genannten letz­ ten Reflektoren 7 angeordneten weiteren letzten Reflektoren 7 auf den beiden zweiten Spuren 4. Diese beiden weiteren letz­ ten Reflektoren 7 wirken auch wie vorstehend beschrieben zu­ sammen.

Alle Spuren 3 und 4 sind untereinander parallel, und jede Spur enthält neben den entsprechenden ersten Reflektoren 6 eine Anordnung letzter Reflektoren 7. Dabei liegt jeder erste Reflektor 6 zwischen der Anordnung der Wandler 5 und jedem letzten Reflektor 7. Es ist weder vorgesehen noch erwünscht, dass erste Reflektoren 6 auf verschiedenen Spuren 3 oder 4 zusammenwirken, wie vorstehend für die letzten Reflektoren 7 beschrieben. Dies gilt allerdings nicht für die letzten Re­ flektoren 7, da eine Einbeziehung dieser in eine mehrfach reflektierte Oberflächenwelle eine extrem hohe Laufzeit für diese mehrfach reflektierte Oberflächenwelle erfordert, wo­ durch sich bereits eine zeitliche Trennung einer solchen mehrfach reflektierten Oberflächenwelle von den erwünschten reflektierten Oberflächenwellen ergibt.

Neben der teilweisen Reflexion hat jeder Reflektor 6 oder 7 die Eigenschaft, dass er demjenigen Teil einer Oberflächen­ welle, den er nicht reflektiert, eine spezifische Phasenver­ schiebung mitteilt. Vorliegend enthält die erste Spur 3 einen letzten Reflektor 7 weniger als jede zweite Spur 4. Die Pha­ senverschiebung einer vom Wandler 5 zum letzten Reflektor 7 der ersten Spur 3 gelaufenen Oberflächenwelle wäre dement­ sprechend anders als die Phasenverschiebung einer in einer zweiten Spur 4 zum entsprechenden letzten Reflektor 7 gelau­ fenen Oberflächenwelle. Um dies zu kompensieren ist in der ersten Spur 3 ein nicht-reflektierender Phasenkorrektor 8 vorgesehen; er erteilt der ihn passierenden Oberflächenwelle eine Phasenverschiebung entsprechend der Phasenverschiebung, die diese Oberflächenwelle an einem letzten Reflektor 7 er­ halten würde, und gleicht damit das Fehlen des zweiten letz­ ten Reflektors 7 in der ersten Spur 3 aus.

Zwischen jeden zwei einander unmittelbar benachbarten Spuren 3 oder 4 ist eine zugehörige akustische Sperre 9 in Form ei­ nes Absorbers 9 angeordnet. Jeder Absorber 9 kann ein auf die Oberfläche 2 aufgebrachtes Polymer sein. Die Absorber 9 ver­ hindern, dass es zu Rückwirkungen zwischen Oberflächenwellen auf verschiedenen Spuren 3 und 4 kommt, und vermeiden somit betriebliche Störungen.

Jeder Wandler 5 ist an einem Ende der Oberfläche 2 angeordnet und emittiert sowie empfängt Oberflächenwellen unidirektio­ nal; dies hat den Vorzug, dass die Spuren 3 und 4 besonders lang ausgelegt werden können. Alle Wandler 5 sind zueinander parallel geschaltet, was der Übersicht halber nicht darge­ stellt ist. Entlang der Verlaufsrichtung der Oberflächenwellen ist jede Spur 3 oder 4 abgeschlossen mit weiteren Sperren 10, insbesondere Absorbern 10 wie beschrieben oder Volumen­ konversionsstrukturen, welche Oberflächenwellen in Volumen­ wellen umwandeln und somit von der Oberfläche 2 abführen. Das Oberflächenwellenelement gemäß Fig. 1 ist ausgelegt für ei­ nen Betrieb mit Oberflächenwellen einer Frequenz zwischen 100 MHz und 4 GHz, wobei insbesondere ein Betrieb in dem standar­ disierten ISM-Frequenzband bei 2,45 GHz in Betracht gezogen wird. Das Oberflächenwellenelement ist primär bestimmt als Bestandteil einer Identifizierungsmarke. Mit entsprechend ausgelegten Reflektoren 6 oder 7 ist es allerdings auch mög­ lich, das Oberflächenwellenelement als Sensor zu betreiben; entsprechende Hinweise sind den zitierten Dokumenten des Standes der Technik entnehmbar.

Die Fig. 2, 3 und 4 zeigen Ausführungsbeispiele für Ele­ mente, die in dem Oberflächenwellenelement gemäß Fig. 1 zum Einsatz kommen. Fig. 2 zeigt einen Wandler 5, welcher Ober­ flächenwellen allein in der mit einem Pfeil markierten Rich­ tung aussendet; fachsprachlich wird dieser Wandler 5 als "SPUDT" bezeichnet. Fig. 3 zeigt einen Reflektor des Typs "Split-Finger", der sowohl als erster Reflektor 6 als auch als letzter Reflektor 7 zum Einsatz kommen kann. Ein solcher Reflektor zeichnet sich dadurch aus, dass seine Betriebsei­ genschaften weitgehend unabhängig sind von der Dicke der Me­ tallisierung, die diesen Reflektor bildet.

Fig. 4 zeigt einen nicht-reflektierenden Phasenkorrektor 8. Dieser wird ebenso wie ein Wandler 5 oder ein Reflektor 6 o­ der 7 ausgeführt als Leiterbahnstruktur, wobei die Leiter­ bahnen im Unterschied zu den Leiterbahnen eines Reflektors nicht unterbrochen sind. Die beiden sich nur über die halbe Breite des Phasenkorrektors 8 erstreckenden Leiterbahnen die­ nen dazu, Streueffekte an den Begrenzungen des Phasenkorrek­ tors 8 zu verhindern. Der einem Reflektor sehr ähnliche Pha­ senkorrektor 8 wird mit denselben Mitteln und nach denselben Grundsätzen wie ein Reflektor dimensioniert und unterliegt hinsichtlich der bei der Fertigung einzuhaltenden Toleranzen denselben Bedingungen wie ein Reflektor. Es sei erwähnt, dass als Phasenkorrektor auch ein einfacher entsprechend dimensio­ nierter Metallstreifen benutzt werden kann; allerdings hat dessen Auslegung unter Umständen anderen Grundsätzen als die Auslegung eines Reflektors zu folgen und würde dementspre­ chend die Auslegung des gesamten Oberflächenwellenelements erschweren.

Claims (12)

1. Oberflächenwellenelement umfassend:

• a) ein Substrat (1) mit einer planen Oberfläche (2), auf welcher mehrere Spuren (3, 4) zur Ausbreitung akustischer Oberflächenwellen bestimmt sind;
• b) eine auf der Oberfläche (2) angeordnete Wandleranordnung (5), von der jede Spur (3, 4) ausgeht und welche eine ein­ deutige Beziehung zwischen den akustischen Oberflächen­ wellen auf den Spuren (3, 4) sowie einem anliegenden e­ lektrischen Signal definiert;
• c) auf jeder Spur (3, 4) mehrere erste Reflektoren (6), deren jeder eine von der Wandleranordnung (5) auslaufende Ober­ flächenwelle in eine nach einer zugehörigen eindeutig be­ stimmten Verzögerungszeit bei der Wandleranordnung (5) eintreffende reflektierte Oberflächenwelle reflektiert;

dadurch gekennzeichnet, dass jede zwei erste Reflektoren (6), deren zugehörige Verzöge­ rungszeiten einander unmittelbar folgen, auf verschiedenen Spuren (3, 4) angeordnet sind.

2. Oberflächenwellenelement nach Anspruch 1, bei dem den Spu­ ren (3, 4) eine Reihenfolge zugewiesen ist und die ersten Re­ flektoren (6) entsprechend einer Folge ihrer zugehörigen Ver­ zögerungszeiten zyklisch auf die Spuren (3, 4) verteilt sind.

3. Oberflächenwellenelement nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem die Spuren (3, 4) zumindest zwei Spuren (3, 4) umfas­ sen, deren jede zumindest einen letzten Reflektor (7) auf­ weist, wobei alle ersten Reflektoren zwischen dem letzten Re­ flektor (7) und der Wandleranordnung angeordnet sind, und wo­ bei die letzten Reflektoren (7) von der Wandleranordnung (5) gleichzeitig erzeugte Oberflächenwellen derart reflektieren, dass die reflektierten Oberflächenwellen gleichzeitig an der Wandleranordnung (5) eintreffen.

4. Oberflächenwellenelement nach Anspruch 3, bei dem jede Spur (3, 4) höchstens zwei letzte Reflektoren (7) aufweist.

5. Oberflächenwellenelement nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem alle Spuren (3, 4) untereinander parallel sind.

6. Oberflächenwellenelement nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem zwischen jeden zwei einander unmittelbar benachbarten Spuren (3, 4) eine zugehörige akustische Sperre (9) angeordnet ist.

7. Oberflächenwellenelement nach Anspruch 6, bei dem die Sperre (9) ein Absorber (9) ist.

8. Oberflächenwellenelement nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem die Wandleranordnung (5) für jede Spur (3, 4) einen zugehörigen Wandler (5) umfasst.

9. Oberflächenwellenelement nach Anspruch 8, bei dem alle Wandler (5) elektrisch untereinander parallelgeschaltet sind.

10. Oberflächenwellenelement nach einem der vorigen An­ sprüche, bei dem die Wandleranordnung (5) unidirektional hin­ sichtlich der Erzeugung von Oberflächenwellen ist.

11. Oberflächenwellenelement nach einem der vorigen An­ sprüche, welches ausgelegt ist für einen Betrieb mit Oberflä­ chenwellen einer Frequenz zwischen 100 MHz und 4 GHz.

12. Oberflächenwellenelement nach einem der vorigen An­ sprüche, welches ein Bestandteil einer Identifizierungsmarke ist.