DD288899B5 - Prismenanordnung zur geometrischen Kanalaufspaltung - Google Patents

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DD288899B5
DD288899B5 DD33414589A DD33414589A DD288899B5 DD 288899 B5 DD288899 B5 DD 288899B5 DD 33414589 A DD33414589 A DD 33414589A DD 33414589 A DD33414589 A DD 33414589A DD 288899 B5 DD288899 B5 DD 288899B5
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prism arrangement
channel splitting
geometric channel
arrangement
light
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DD33414589A
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English (en)
Inventor
Guenter Dipl-Ing Rudolph
Wilfired Dr-Ing Grossmann
Original Assignee
Zeiss Carl Jena Gmbh
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Description

Die Erfindung ist in optischen Geräten anwendbar, boi denen Licht aus einem Aporturkegol in vier Einzolkanälo, insbosondero zur Quadrantenphotomeuiorung, aufgespalten wird.
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen
Zur geometrischen Strahlontoil jng ist es bekannt, ebene Spiegel sowie pyramidenförmige Prismen droieckförmiger bzw. quadratischer Grund?1" -he einzeln oder in Kombination miteinander anzuordnen.
In DD 248423A1 ist eine Anordnung zur photoeloktrischen Lagebostimmung für ein Bougungsscheibchen beschrieben, bei der zur winkelmäßigen Trennung von aus einem Kanal herrührendem Meßlicht in vier Quadranten ein gekreuztes Biprismenpaar vorgesehen ist. Nachteilig bei dieser Anordnung ist, daß Dispersion und eine w nkelmäßige Aperturaufweitung auftreten, die Meßfehler bei der Lokalisierung dos Beugungsscheibchens hervorrufen.
In DD 261658A1 wird ein rein mechanisch arbeitender Halbebonenvorschluß beschrieben, dossen Verschlußelemente bewirken, daß jeweils nur Licht einer Halbebene aus dem Meßlichtkanal zur Auswertung auf einen Pilotempfänger gelangt. Dio schneidenförmigen Verschlußelomento bilden die photometrischen Tronnkanten zur Quadrantonpnotometrio.
Nachteilig hierbei ist, daß zur Photometric des Lichtes in den vier Quadranten eine ständige Präzisionspositionhrung der Verschlußelemente im Submikrometerbereich bei einem Takt von Sekundenbruchteilnn über die Zeitdauer von Stunden erforderlich ist, was die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Quadrantonphotomotrierung beeinträchtigt. Dos weiteren ist es von Nachteil, daß die Anordnung der schneidonförmigenVerschlußilemento infolge des endlichen Schneidenradius von ca. 2 bis 3 pm eine ungenügende Tiofendefinition dor Schneiden gewährleistet. Der Restastigmatismus eines Strahlenbündels läßt sich damit nur bis zur Tiefengenauigkeit der Schneiden bestimmen.
Bei Verkleinerungsmaßstäben ab 1:5 ist dies nicht störend, weil die Seite mit der kleineren Apertur bei einem quadratischen Reduktionsfaktor von 1:25 und üesser benutzbar ist. Bei Abbildungsmaßstäben in der Nähe von 1:1 geht dies Möglichkeit verloren.
Die Schneide bzw. die photometrischo Trennkanto muß hior mit optischer Präzision verkörpert werden.
Ziel der Erfindung
Ziel der Erfindung ist es, die aufzuspaltenden Aperturkegel nicht winkelmäßig über prismatische Dispersion, sondern parallel zueinander zu versetzen, wobei die Tronnkanten zwischen don Quadranten exakter zu definieren sind sowie die Präzision dor Kanalaufspaltung zu erhöhen ist.
Darlegung des Wesens der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunae, eine Prismonanordnung zu entwickeln, dio eine Aufspaltung in vier Kanäle ermöglicht, wobei die Prismenanordnung keine Dispersion und keine winkelmäßige Aperturaufweitung verursacht.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß vier gleichartige Parallelepipede mit quadratischen Grundflächen mit ihren Mantelflächen zykli sch flächenschlüssig aneinandergefügt sind. Die vier Grundflächen bilden eine ebene quadratische Lichtdurchtrittsfläche. die senkrecht zur optischen Achse angeordnet ist, wobei dio Symmetrieachse der Prismonanordnung mit der optischen Achse des aufzuspaltenden Bündels zusammenfällt.
Die Prismenanordnung bewirkt, daß ein auf die Lichtdurchtrittsfläche einlaufender Strahlenkegel quadrantenweise durch zweimalige Spiegelung in vier achsparallelo aber lateral versetzte identische Kegel aufgespalten wird.
Ausführungsbeispiel
Die Erfindung soll anhand eines Ausführungsbeispiels noch näher erläutert werden. In der Zeichnung sind drei Ansichten der erfindungsgemäßen Prismenanordnung dargestellt.
In Fig. 1 sind vier Parallelepipede (.), (2), (3), (4) mit ihren Mantelflächen (5), (6), (7), (8) zyklisch flächenschlüssig aneinandergefügt.
Die Prismenanordnung ist, wie in Fig. 2 dargestellt, bezüglich der optischen Achse (9) angeordnet.
In Fig.3 ist die Prismenanordnung mit Blick in Lichtrichtung (10) dargestellt.
Die vier Grundflächen (11), (12), (13), (14) der Parallelepipede (1), (2), (3), (4) liegen in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse (9) und bilden eine quadratische Lichteintrittsfläche (15).
Die aneinanderliegendon Mantelflächen sind verspiegelt, um ein Übersprechen zwischen den Kanälen zu verhindern.

Claims (1)

  1. Prismenanordnung zur geometrischen Kanalaufspaltung, bestehend aus vier gleichartigen Einzelprismen, dadurch gekennzeichnet, daß vier Parallolepipede (1,2,3,4) mit quadratischen Grundflächen (11,12,13,14) mit ihren Mantelflächen (5, 6,7,8) zyklisch flächenschlüssig aneinandergefügt sind.
    Hierzu 1 Seite Zeichnungen
    Anwendungsgebiet der Erfindung
DD33414589A 1989-11-02 1989-11-02 Prismenanordnung zur geometrischen Kanalaufspaltung DD288899B5 (de)

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DD288899B5 true DD288899B5 (de) 1994-04-28

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Date Code Title Description
B5 Patent specification, 2nd publ. accord. to extension act
RPI Change in the person, name or address of the patentee (searches according to art. 11 and 12 extension act)
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